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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-07-29
(45)【発行日】2022-08-08
(54)【発明の名称】光源を特徴付ける工程および装置
(51)【国際特許分類】
G01J 3/26 20060101AFI20220801BHJP
G01J 3/45 20060101ALI20220801BHJP
G01M 11/00 20060101ALI20220801BHJP
【ＦＩ】
G01J3/26
G01J3/45
G01M11/00 T
【請求項の数】
15
(21)【出願番号】P 2019523171
(86)(22)【出願日】2017-07-06
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2019-09-12
(86)【国際出願番号】 EP2017067017
(87)【国際公開番号】W WO2018011063
(87)【国際公開日】2018-01-18
【審査請求日】2020-05-22
(31)【優先権主張番号】1656663
(32)【優先日】2016-07-12
(33)【優先権主張国・地域又は機関】FR
(73)【特許権者】
【識別番号】519011876
【氏名又は名称】ブルー インダストリー アンド サイエンス
【氏名又は名称原語表記】ＢＬＵＥ ＩＮＤＵＳＴＲＹ ＡＮＤ ＳＣＩＥＮＣＥ
(74)【代理人】
【識別番号】100139594
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 健次郎
(74)【代理人】
【識別番号】100185915
【弁理士】
【氏名又は名称】長山 弘典
(74)【代理人】
【識別番号】100090251
【氏名又は名称】森田 憲一
(72)【発明者】
【氏名】ジョルジュ デ オルノワ，ジョアン
(72)【発明者】
【氏名】シマンスキー，バンジャマン
(72)【発明者】
【氏名】ハーディ＝バランスキー，ベルトラン
【審査官】横尾 雅一
(56)【参考文献】
【文献】特開２００１－１６８４２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１５－５１８１３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第０４８６４５７８（ＵＳ，Ａ）
【文献】特開昭６４－０２２０８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－３４８１３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－３１５１６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－２７９０３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００５／０２０１４２６（ＵＳ，Ａ１）
【文献】HONDA C , et al.，Transient local magnetic field measurement in a bumpy torus by rapid-frequency-scan laser spectroscopy，Review of Scientific Instruments，1987年09月，Vol.58, No.9，pp.1593-1596，https://doi.org/10.1063/1.1139406
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｊ ３／００ － Ｇ０１Ｊ ３／５２
Ｇ０１Ｍ １１／００
Ｈ０１Ｓ ３／００
ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
光源（１）を特徴付ける方法であって、前記光源は、自由スペクトル範囲を有する固定キャビティ（２）を備え、前記光源（１）の異なる状態を調査しながら、前記光源によって第１の放射（３）を生成するステップであって、前記光源（１）の前記異なる状態は、前記光源（１）によって放射された前記第１の放射（３）の波長に影響を及ぼす、前記光源（１）の物理パラメータの相違によって区別される、ステップと、
少なくとも１つのセンサ（４）によって、前記第１の放射の少なくとも一部を受けるステップであって、前記少なくとも１つのセンサは、フォトダイオード（６）を伴ったファブリペローエタロン（５）を備える、ステップと、
前記光源の前記調査状態で前記少なくとも１つのセンサが受けた、前記第１の放射の少なくとも１つの部分の関数として、前記少なくとも１つのセンサを用いて、かつ前記光源の前記調査状態の各々に対して、信号を測定するステップと、
前記第１の放射の波長を表す第１のデータ項目の単位で表される前記固定キャビティの前記自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数（ｂ）を決定または記録するステップと、
前記光源の前記調査状態の各々に対して、前記第１の放射の前記波長を表す、前記第１のデータ項目を計算するために、前記少なくとも１つのセンサにより測定された前記信号を用いるステップであって、前記計算するステップは、前記光源の前記調査状態の各々に対して、前記第１のデータ項目の値の選択と、前記第１のデータ項目の単位で表される、前記固定キャビティの前記自由スペクトル範囲による除法の剰余である前記定数（ｂ）と一致しない、前記第１のデータ項目の値を排除することを含む、ステップと
を含む方法。
【請求項2】
前記少なくとも１つのセンサが、フォトダイオードアレイを含まないことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項3】
前記少なくとも１つのセンサの前記ファブリペローエタロンが、可動部品を含まないことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項4】
前記第１の放射の前記波長を示す、前記第１のデータ項目が、前記第１の放射の前記波長、または
前記第１の放射の周波数、または
前記第１の放射の波数
であることを特徴とする、請求項１～３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項5】
前記選択が、前記第１の放射の既知のスペクトル領域範囲（１５）外にある、前記第１のデータ項目の値をさらに排除することを特徴とする、請求項１～４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項6】
前記各ファブリペローエタロンが、前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の強度の透過曲線（１２、１３、１４）を有し、前記第１の放射の前記既知のスペクトル領域範囲以上の期間を有することを特徴とする、請求項５に記載の方法。
【請求項7】
前記第１の放射の少なくとも一部を受けるステップが、いくつかのセンサ（４）で受けることを含み、前記センサの各々が、フォトダイオード（６）を伴ったファブリペローエタロン（５）を備え、前記各ファブリペローエタロンが、前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の透過強度曲線を有し、前記異なるファブリペローエタロン（５）の前記透過強度曲線が、前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の全体的な透過強度曲線（１６）を共に形成し、前記第１の放射の前記既知のスペクトル領域範囲以上の期間を有することを特徴とする、請求項５に記載の方法。
【請求項8】
前記少なくとも１つのセンサが、いくつかのセンサを含み、前記いくつかのセンサの前記異なるファブリペローエタロンが、少なくとも一対の２つのファブリペローエタロンを含み、前記２つのファブリペローエタロンは、前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の第１の透過強度曲線を有する、第１のファブリペローエタロンと、
前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の第２の透過強度曲線を有する、第２のファブリペローエタロンとを含み、
その結果、
前記第１の放射（３）の同一の波長が、前記第１の透過強度曲線（１３）の最大勾配（１３０）、および絶対値で前記最大勾配（１３０）の１０％以下の、前記第２の透過強度曲線（１２）の勾配（１２０）の両方と一致し、かつ／または、
前記第１の放射（３）の同一の波長が、前記第２の透過強度曲線（１２）の最大勾配（１２１）、および絶対値で前記最大勾配（１２１）の１０％以下の、前記第１の透過強度曲線（１３）の勾配（１３１）の両方と一致することを特徴とする、請求項１～７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項9】
前記光源の異なる調査状態に従って、前記光源によって前記第１の放射（３）を生成する場合は、前記定数（ｂ）を決定する工程が、前記光源の前記異なる状態の各々に対する、前記第１のデータ項目の予備計算の実施と、
前記光源の前記異なる状態のすべてに対する、前記第１のデータ項目の前記第１の予備計算を用いて、前記定数（ｂ）を決定することと、
を含むことを特徴とする、請求項１～８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項10】
前記第１のデータ項目の値の選択が、前記自由スペクトル範囲による除法の剰余である前記定数（ｂ）と一致しない前記第１のデータ項目の値を排除した後の、最終値の選択を含むことを特徴とする、請求項１～９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項11】
前記最終値の選択が最小二乗法による、請求項１０に記載の方法。
【請求項12】
前記光源が、光パラメトリック発振器、またはレーザであることを特徴とする、請求項１～１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項13】
前記光源が、少なくとも二重共振光源であって、１つの放射生成結晶（９）を共有する２つのキャビティを有し、前記キャビティが、前記第１の放射（３）を生成する、可動キャビティ（７）と、
第２の放射（８）を生成する、固定キャビティ（２）と
を含むことを特徴とする、請求項１～１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項14】
前記光源の異なる状態の各々に対して、前記第１の放射の前記波長を表す前記第１のデータ項目の前記計算の関数として、前記第２の放射の前記波長を表す、第２のデータ項目を計算するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
【請求項15】
光源（１）を特徴付ける装置（１０）であって、計算ユニット（１１）であって、光源（１）がどのような状態になるかを制御するために、かつ／あるいは前記光源（１）の状態の、または前記光源（１）の異なる状態の情報項目を受けるために、配置および／またはプログラムされる、計算ユニット（１１）と、
少なくとも１つのセンサ（４）であって、前記光源の異なる状態に従って前記光源によって生成された、第１の放射（３）の少なくとも一部を受けるために配置され、前記少なくとも１つのセンサは、フォトダイオード（６）を伴ったファブリペローエタロン（５）を備え、前記少なくとも１つのセンサは、前記少なくとも１つのセンサが受けた、前記第１の放射の前記少なくとも１つの部分の関数として、前記光源の各状態に対する信号を測定するために配置される、少なくとも１つのセンサ（４）と、
前記第１の放射の波長を表す第１のデータ項目の単位で表される前記固定キャビティの前記自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数（ｂ）を決定または記録する手段と
を備え、
前記計算ユニット（１１）は、前記少なくとも１つのセンサによって測定され、かつ前記光源の前記各状態に対する前記信号から、前記第１の放射の前記波長を表す、前記第１のデータ項目を計算するために配置および／またはプログラムされ、前記計算ユニットは、前記光源の前記各状態に対して、前記第１のデータ項目の値の選択を実施するために配置および／またはプログラムされ、前記選択は、前記第１のデータ項目の前記単位で表される、前記自由スペクトル範囲による除法の剰余である前記定数（ｂ）と一致しない、前記第１のデータ項目の値を排除することを含む、装置（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光源を特徴付ける方法に関する。また、光源を特徴付ける装置、およびこのような装置を備えたシステムに関する。
【0002】
このような装置により、ユーザは、光源を特徴付ける、例えば、この光源によって放射された放射の波長を特徴付けることが可能になる。
【背景技術】
【0003】
光源によって放射された放射の波長を測定する、様々な装置が当業者に知られている。
【0004】
このような装置は、可能な波長の範囲の中で光源がどの波長を放射したかを判定するために、波長の範囲を調査する必要がある。この調査は、通常は以下のようにして実施することができる。
－費用がかかる方策として、フォトダイオードアレイによる調査。既存の方策ではファブリペロー構成を提案しており、これは機械部品を動かすことはないが、検出器としてアレイを用いる。部品を動かさない態様には、堅牢性および信頼性について一定の利点がある。一方、検出アレイの使用は、特に、１１００ｎｍを超える波長を測定する場合で、シリコンを使用できないときは、費用の面で不利な点がある。したがって、通信波長用のＩｎＧａＡｓ、または中赤外光用のＰｂＳｅやＭＣＴなどの、より高価な材料に変える必要がある。アレイは通常、数千ユーロの費用がかかる。
－時間がかかる方策として、可変ファブリペローによる調査。可変ファブリペロー方式は、アレイは使用せず、１つのみ、またはいくつかのフォトダイオードを使用する。しかしながら、所望の調査を実施し、所望の情報（ファブリペローの透過ピーク位置）を取得するためには、ファブリペローのミラーの１つを動かす必要がある。この走査によって、測定速度が著しく低下する。実際に、アレイ検出器の使用時は、インターフェログラム全体を同時に取得するのではなく、ミラーの各位置を取得することが必要になる。通常の応答時間０．１ｍｓで１００個のミラー位置を測定する場合、１回の測定にかかる最小時間は１０ｍｓになるが、リフレッシュレートが（処理時間は計算に入れずに）１００Ｈｚに制限される。
－費用がかかる方策として、フォトダイオードアレイによる調査。既存の方策ではファブリペロー構成を提案しており、これは機械部品を動かすことはないが、検出器としてアレイを用いる。部品を動かさない態様には、堅牢性および信頼性について一定の利点がある。一方、検出アレイの使用は、特に、１１００ｎｍを超える波長を測定する場合で、シリコンを使用できないときは、費用の面で不利な点がある。したがって、通信波長用のＩｎＧａＡｓ、または中赤外光用のＰｂＳｅやＭＣＴなどの、より高価な材料に変える必要がある。アレイは通常、数千ユーロの費用がかかる。
－時間がかかる方策として、可変ファブリペローによる調査。可変ファブリペロー方式は、アレイは使用せず、１つのみ、またはいくつかのフォトダイオードを使用する。しかしながら、所望の調査を実施し、所望の情報（ファブリペローの透過ピーク位置）を取得するためには、ファブリペローのミラーの１つを動かす必要がある。この走査によって、測定速度が著しく低下する。実際に、アレイ検出器の使用時は、インターフェログラム全体を同時に取得するのではなく、ミラーの各位置を取得することが必要になる。通常の応答時間０．１ｍｓで１００個のミラー位置を測定する場合、１回の測定にかかる最小時間は１０ｍｓになるが、リフレッシュレートが（処理時間は計算に入れずに）１００Ｈｚに制限される。
【0005】
本発明の目的は、光源を特徴付ける方法および／または装置を提案することであり、これによって従来技術よりも経済的かつ／または迅速な特徴付けが可能になる。
【発明の開示】
【0006】
この目的は光源を特徴付ける方法によって達成され、前記光源は、自由スペクトル範囲を有する固定キャビティを備え、前記方法は、
－光源の状態、または光源の異なる調査状態に従って、光源によって第１の放射を生成するステップと、
－少なくとも１つのセンサによって、この第１の放射の少なくとも一部を受けるステップであって、各センサは、フォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備える、ステップと、
－各センサで、かつ光源の各調査状態に対して、光源のこの調査状態でこのセンサが受けた、第１の放射の少なくとも１つの部分の関数として、信号を測定するステップと、
－測定された信号から、かつ光源の各調査状態に対して、第１の放射の波長を表す第１のデータ項目を計算するステップであって、計算するステップは、光源の各調査状態に対して、いくつかの可能な値から第１のデータ項目の選択値の選択を含み、前記選択は、第１のデータ項目の単位で表される、固定キャビティの自由スペクトル範囲による除法の剰余である既知の定数と一致しない、第１のデータ項目の値を排除することを含む、ステップと
を含む。
－光源の状態、または光源の異なる調査状態に従って、光源によって第１の放射を生成するステップと、
－少なくとも１つのセンサによって、この第１の放射の少なくとも一部を受けるステップであって、各センサは、フォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備える、ステップと、
－各センサで、かつ光源の各調査状態に対して、光源のこの調査状態でこのセンサが受けた、第１の放射の少なくとも１つの部分の関数として、信号を測定するステップと、
－測定された信号から、かつ光源の各調査状態に対して、第１の放射の波長を表す第１のデータ項目を計算するステップであって、計算するステップは、光源の各調査状態に対して、いくつかの可能な値から第１のデータ項目の選択値の選択を含み、前記選択は、第１のデータ項目の単位で表される、固定キャビティの自由スペクトル範囲による除法の剰余である既知の定数と一致しない、第１のデータ項目の値を排除することを含む、ステップと
を含む。
【0007】
例えば、定数は、本発明による方法では、排除する手順の前に計算または決定する、あるいは記録することができる。定数は、例えば、排除する手順の前にユーザが入力することができる。
【0008】
固定キャビティの自由スペクトル範囲は、例えば、本発明による方法では、排除する手順の前に記録することができる。固定キャビティの自由スペクトル範囲は、例えば、排除する手順の前にユーザが入力することができる。
【0009】
光源の異なる状態は、好ましくは光源の物理パラメータの相違によって区別され、物理パラメータは、光源が放射した、第１の放射の波長に影響を及ぼす。
【0010】
各センサは、好ましくはフォトダイオードアレイを含まない。
【0011】
各センサのファブリペローエタロンは、好ましくは可動部品を含まない。
【0012】
第１の放射の波長を示す第１のデータ項目は、
－第１の放射の波長、または
－第１の放射の時間周波数、または
－第１の放射の一時的な期間、または
－第１の放射の波数とすることができる。
－第１の放射の波長、または
－第１の放射の時間周波数、または
－第１の放射の一時的な期間、または
－第１の放射の波数とすることができる。
【0013】
この選択により、第１の放射のスペクトル領域範囲外にある、第１のデータ項目の値をさらに排除することができる。この場合、
－各ファブリペローエタロンは、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有することができ、好ましくは第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有し、かつ／または、
－第１の放射の少なくとも一部を受けるステップが、好ましくはいくつかのセンサで受けることを含み、各センサがフォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備え、各ファブリペローエタロンが、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有し、異なるファブリペローエタロンの透過曲線が、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の全体的な透過強度曲線を共に形成し、好ましくは、第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有する。
－各ファブリペローエタロンは、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有することができ、好ましくは第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有し、かつ／または、
－第１の放射の少なくとも一部を受けるステップが、好ましくはいくつかのセンサで受けることを含み、各センサがフォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備え、各ファブリペローエタロンが、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有し、異なるファブリペローエタロンの透過曲線が、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の全体的な透過強度曲線を共に形成し、好ましくは、第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有する。
【0014】
少なくとも１つのセンサは、好ましくはいくつかのセンサを含み、異なるセンサの異なるファブリペローエタロンが、好ましくは少なくとも一対の２つのファブリペローエタロンを含み、２つのファブリペローエタロンは、
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第１の透過強度曲線を有する、第１のファブリペローエタロンと、
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第２の透過強度曲線を有する、第２のファブリペローエタロンとを含み、
その結果、
－第１の放射の同一の波長は、第１の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第２の透過曲線の勾配の両方と一致し、かつ／または、
－第１の放射の同一の波長は、第２の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第１の透過曲線の勾配の両方と一致する。
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第１の透過強度曲線を有する、第１のファブリペローエタロンと、
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第２の透過強度曲線を有する、第２のファブリペローエタロンとを含み、
その結果、
－第１の放射の同一の波長は、第１の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第２の透過曲線の勾配の両方と一致し、かつ／または、
－第１の放射の同一の波長は、第２の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第１の透過曲線の勾配の両方と一致する。
【0015】
本発明による方法は、固定キャビティの自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数と一致しない、第１のデータ項目の値を排除する選択を実行する前に、定数を決定する、または知る工程を含むことができる。光源の異なる調査状態に従って、光源によって第１の放射を生成する場合は、定数の決定は、
－光源の各調査状態に対する、第１のデータ項目の予備計算と、
－光源の異なる調査状態のすべてに対して、第１のデータ項目を予備計算することから、定数を決定することとを含むことができる。
－光源の各調査状態に対する、第１のデータ項目の予備計算と、
－光源の異なる調査状態のすべてに対して、第１のデータ項目を予備計算することから、定数を決定することとを含むことができる。
【0016】
第１のデータ項目の選択値の選択は、自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数と一致しない第１のデータ項目の値を排除した後の、好ましくは最小二乗法による、選択値の最終選択を含むことができる。
【0017】
光源は、光パラメトリック発振器、またはレーザにすることができる。
【0018】
光源は、少なくとも二重共振光源にすることができ、同一の放射生成結晶を共有する２つのキャビティを備え、２つのキャビティは、
－第１の放射を生成する、可動キャビティと、
－第２の放射を生成する、固定キャビティとを含む。
－第１の放射を生成する、可動キャビティと、
－第２の放射を生成する、固定キャビティとを含む。
【0019】
本発明による方法は、光源の各調査状態に対して、第１の放射の波長を表す第１のデータ項目の計算の関数として、第２の放射の波長を表す第２のデータ項目を計算するステップをさらに含むことができる。
【0020】
本発明の別の特徴によれば、光源を特徴付ける装置が提案され、前記装置は、
－光源の状態、または光源の異なる調査状態に従って、光源によって生成された、第１の放射の少なくとも一部を受けるために配置された、少なくとも１つのセンサであって、各センサは、フォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備え、各センサは、光源のこの調査状態でこのセンサが受けた第１の放射の少なくとも１つの部分の関数として、各調査状態に対する信号を測定するために配置される、少なくとも１つのセンサと、
－各センサによって、かつ光源の各調査状態に対して測定された信号から、第１の放射の波長を表す第１のデータ項目を計算するために配置および／またはプログラムされた計算ユニットであって、計算ユニットは、光源の各調査状態に対して、いくつかの可能な値からの、第１のデータ項目の選択値の選択を実施するために配置および／またはプログラムされ、前記選択は、第１のデータ項目の単位で表される、自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数と一致しない第１のデータ項目の値を排除することを含む。
－光源の状態、または光源の異なる調査状態に従って、光源によって生成された、第１の放射の少なくとも一部を受けるために配置された、少なくとも１つのセンサであって、各センサは、フォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備え、各センサは、光源のこの調査状態でこのセンサが受けた第１の放射の少なくとも１つの部分の関数として、各調査状態に対する信号を測定するために配置される、少なくとも１つのセンサと、
－各センサによって、かつ光源の各調査状態に対して測定された信号から、第１の放射の波長を表す第１のデータ項目を計算するために配置および／またはプログラムされた計算ユニットであって、計算ユニットは、光源の各調査状態に対して、いくつかの可能な値からの、第１のデータ項目の選択値の選択を実施するために配置および／またはプログラムされ、前記選択は、第１のデータ項目の単位で表される、自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数と一致しない第１のデータ項目の値を排除することを含む。
【0021】
計算ユニットは、好ましくは定数を知るために配置／プログラムされる。
【0022】
本発明による装置は、定数を計算または決定、あるいは記録する手段を備えることができる。本発明による装置は、本発明による装置に定数を示すために配置された、通信手段または入力手段を備えることができる。
【0023】
本発明による装置は、固定キャビティの自由スペクトル範囲を記録する手段を備えることができる。本発明による装置は、本発明による装置に固定キャビティの自由スペクトル範囲を示すために配置された、通信手段または入力手段を備えることができる。
【0024】
光源の異なる状態は、好ましくは光源の物理パラメータの相違によって区別され、物理パラメータは、光源が放射した、第１の放射の波長に影響を及ぼす。
【0025】
光源は、好ましくは本発明による装置の一部を形成しない。
【0026】
計算ユニットは、光源がどのような状態になるかを制御し、かつ／あるいは光源の状態、または光源の異なる調査状態についての情報項目を受けるために、配置および／またはプログラムすることができる。
【0027】
計算ユニットはまた、
－光源がどのような状態になるかを制御し、かつ／あるいは光源の状態、または光源の異なる調査状態についての情報項目を受けるため、ならびに、
－光源の各調査状態を、各センサが光源のこの調査状態に対して測定した信号と関連付ける、または同期させるために、
配置および／またはプログラムすることができる。
－光源がどのような状態になるかを制御し、かつ／あるいは光源の状態、または光源の異なる調査状態についての情報項目を受けるため、ならびに、
－光源の各調査状態を、各センサが光源のこの調査状態に対して測定した信号と関連付ける、または同期させるために、
配置および／またはプログラムすることができる。
【0028】
各センサは、好ましくはフォトダイオードアレイを含まない。
【0029】
各センサのファブリペローエタロンは、好ましくは可動部品を含まない。
【0030】
第１の放射の波長を示す第１のデータ項目は、
－第１の放射の波長、または
－第１の放射の時間周波数、または
－第１の放射の一時的な期間、または
－第１の放射の波数とすることができる。
－第１の放射の波長、または
－第１の放射の時間周波数、または
－第１の放射の一時的な期間、または
－第１の放射の波数とすることができる。
【0031】
計算ユニットは、第１の放射のスペクトル領域範囲外にある第１のデータ項目の値をさらに排除することによって、選択を実施するために配置および／またはプログラムすることができる。この場合、
－各ファブリペローエタロンは、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有することができ、好ましくは第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有する。
－少なくとも１つのセンサは、いくつかのセンサを含むことができ、各センサが、フォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備え、各ファブリペローエタロンは、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有し、異なるファブリペローエタロンの透過曲線が、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の全体的な透過強度曲線を共に形成し、好ましくは第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有する。
－各ファブリペローエタロンは、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有することができ、好ましくは第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有する。
－少なくとも１つのセンサは、いくつかのセンサを含むことができ、各センサが、フォトダイオードを伴ったファブリペローエタロンを備え、各ファブリペローエタロンは、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の透過強度曲線を有し、異なるファブリペローエタロンの透過曲線が、第１の放射の波長の関数として、第１の放射の全体的な透過強度曲線を共に形成し、好ましくは第１の放射のスペクトル領域範囲以上の期間を有する。
【0032】
少なくとも１つのセンサは、好ましくはいくつかのセンサを含み、異なるセンサの異なるファブリペローエタロンが、好ましくは少なくとも一対の２つのファブリペローエタロンを含み、２つのファブリペローエタロンは、
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第１の透過強度曲線を有する、第１のファブリペローエタロンと、
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第２の透過強度曲線を有する、第２のファブリペローエタロンとを含み、
その結果、
－第１の放射の同一の波長は、第１の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第２の透過曲線の勾配の両方と一致し、かつ／または、
－第１の放射の同一の波長は、第２の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第１の透過曲線の勾配の両方と一致する。
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第１の透過強度曲線を有する、第１のファブリペローエタロンと、
－第１の放射の波長の関数として、第１の放射の第２の透過強度曲線を有する、第２のファブリペローエタロンとを含み、
その結果、
－第１の放射の同一の波長は、第１の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第２の透過曲線の勾配の両方と一致し、かつ／または、
－第１の放射の同一の波長は、第２の透過曲線の最大勾配、および絶対値でこの最大勾配の１０％以下の、第１の透過曲線の勾配の両方と一致する。
【0033】
計算ユニットは、固定キャビティの自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数と一致しない、第１のデータ項目の値を排除する選択を行う前に、定数を決定する、または知るように、配置および／またはプログラムすることができる。定数を決定するために、計算ユニットはさらに、
－光源の各調査状態に対して、第１のデータ項目を事前に決定し、
－光源の異なる調査状態のすべてに対して、第１のデータ項目を予備計算することから定数を決定するために、配置および／またはプログラムすることができる。
－光源の各調査状態に対して、第１のデータ項目を事前に決定し、
－光源の異なる調査状態のすべてに対して、第１のデータ項目を予備計算することから定数を決定するために、配置および／またはプログラムすることができる。
【0034】
計算ユニットは、選択を実施するために配置および／またはプログラムすることができ、選択には、自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数と一致しない第１のデータ項目の値を排除した後に、好ましくは最小二乗法による、選択値の最終選択が含まれる。計算ユニットは、光源の各調査状態に対して、第１の放射の波長を表す第１のデータ項目の計算の関数として、第２の放射の波長を表す第２のデータ項目を計算するために、配置および／またはプログラムすることができる。
【0035】
本発明のさらに別の態様によれば、
－自由スペクトル範囲を有する固定キャビティを備える光源であって、前記光源は、光源の状態に従って、あるいは光源の異なる調査状態に従って、第１の放射を生成するために配置される、光源と、
－本発明による、この光源を特徴付ける装置とを備える、システムが提案される。
－自由スペクトル範囲を有する固定キャビティを備える光源であって、前記光源は、光源の状態に従って、あるいは光源の異なる調査状態に従って、第１の放射を生成するために配置される、光源と、
－本発明による、この光源を特徴付ける装置とを備える、システムが提案される。
【0036】
光源は、光パラメトリック発振器、またはレーザにすることができる。
【0037】
光源は、少なくとも二重共振光源にすることができ、同一の放射生成結晶を共有する２つのキャビティを備え、２つのキャビティは、
－第１の放射を生成する、可動キャビティと、
－第２の放射を生成する、固定キャビティとを含む。
－第１の放射を生成する、可動キャビティと、
－第２の放射を生成する、固定キャビティとを含む。
【図面の簡単な説明】
【0038】
本発明の他の利点および特徴は、決して限定的なものではない、実施および実施形態の詳細な説明を読むことによって、かつ以下に添付した図から明らかになるであろう。
【図1】本発明による、システム１００の好ましい実施形態の概略図であり、本発明による好ましい実施形態の装置１０を備える。
【図2】装置１０の光源１の放射スペクトル範囲１５における、装置１０の３つのファブリペロー５の透過曲線を示し、測定ノイズが、これらの曲線上に垂線で図式的に示されている。
【図3】光源１のミラー７ａが動いている間に、システム１００の光源１が放射した、モード跳びのシーケンスを示す。
【図5】・モジュロＦＳＲを計算に入れる前に本発明によって計算された波数（円）、および ・実際に放射されたモードの波数（点）の様々な値の波数を示す。
【図7】放射され得る波数と、実際に放射された波数とを制限した後に、計算またはシミュレートされた測定値間の相違を示し、 ・モジュロの計算前を円で、 ・モジュロの計算後を星形で示す。
【図8】ＦＳＲの情報を用いた（曲線８２）、およびＦＳＲの情報を用いない（曲線８１）、ランダムな測定ノイズを伴う、１０００シーケンスのモード跳びに見られる平均誤差を示す。
【図9】ランダムな測定ノイズを伴う、１０００シーケンスのモード跳びに見られる誤差の、ＦＳＲの情報を用いた場合（曲線９２）、およびＦＳＲの情報を用いない場合（曲線９１）の、３×σの標準偏差を示す。
【発明を実施するための形態】
【0039】
これらの実施形態は、決して限定的なものではなく、本発明の変形例が考えられる。特に、以下に記載または図示された特徴からのある選択のみを含み、この特徴の選択が、技術的な利点を与えるのに十分であるか、あるいは本発明を先行技術の水準に対して区別するのに十分であれば、記載または図示されている他の特徴からは孤立した（この選択が、これら他の特徴を含む表現の中で孤立している場合であっても）この選択のみを含む本発明の変形例が考えられる。この選択は、少なくとも１つの、好ましくは機能的で、構造的な詳細のない特徴、および／もしくは、構造的な詳細の一部分が単独で、技術的な利点を与えるのに十分であるか、あるいは本発明を最新技術に対して区別するのに十分であれば、この構造的な詳細の一部分のみを伴う特徴を備える。
【0040】
まず図１および２を参照して、本発明による装置１０を備える、本発明によるシステム１００について説明する。
【0041】
システム１００は光源１を備え、光源１は、自由スペクトル範囲を有する２枚のミラー２ａ、２ｂで区切られた固定キャビティ２を含み、前記の光源は、光源の状態に従って、または光源の異なる調査状態に従って、第１の放射３を生成するために配置され、第１の放射３は、この放射３の生成中は、光源の状態に依存する。
【0042】
自由スペクトル範囲は、キャビティ２の２つの連続する共振ピーク同士の間の、（波長、周波数、期間、波数などにおける）距離と一致する。
【0043】
光源１は、通常は光パラメトリック発振器（ｏｐｔｉｃａｌ ｐａｒａｍｅｔｒｉｃ ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ、ＯＰＯ）、またはレーザである。
【0044】
光源１は、少なくとも二重共振光源であり、同一の放射生成結晶９を共有する２つのキャビティを備え、２つのキャビティは、
－２枚のミラー７ａ、７ｂで区切られ、第１の放射３を生成する、可動キャビティ７と、
－第２の放射８を生成する、固定キャビティ２とを含む。
－２枚のミラー７ａ、７ｂで区切られ、第１の放射３を生成する、可動キャビティ７と、
－第２の放射８を生成する、固定キャビティ２とを含む。
【0045】
二重共振光源１は、非線形結晶９と、３枚のミラー、７ａと、２ａと、２ｂ／７ｂとを備え、そのうちの２枚（２ａ、および２ｂ／７ｂ）が直接、結晶９と、可動ミラー７ａとに配置される。
【0046】
これら３枚のミラーのうちの１枚、２ｂ／７ｂは、２つのキャビティ２および７を共有する。
【0047】
この説明において、光源１の異なる「状態」は、光源１の物理パラメータの相違によって区別され、物理パラメータは、光源１が放射した、第１の放射３の波長に影響を及ぼす。
【0048】
図１のこの説明では、光源１の異なる状態が、ミラー７ａの位置の違いによって区別される、非限定的な事例が考えられる。
【0049】
（光源１の異なる状態を、第１の放射３の同じ波長に対応させられる場合であっても）第１の放射３の波長を変更するために、光源１のいくつかの状態が調査されるが、キャビティ２の自由スペクトル範囲は保持される。
【0050】
以下、光源１の特定の、ただし非制限的な事例について検討し、光源１は、二重共振光パラメトリック発振器である。
【0051】
光源１は例えば、Ｂｌｕｅ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ ａｎｄ Ｓｃｉｅｎｃｅ社製造のＸ－ＦＬＲ８に準拠した光源である。
【0052】
システム１００は、この光源１を特徴付けるための、本発明による装置１０をさらに備える。
【0053】
装置１０は、少なくとも１つのセンサ４（好ましくは少なくとも２つ、または理想的には少なくとも３つのセンサ４）を備え、各センサ４は、光源の状態、または光源１の異なる調査状態に従って、光源１が生成した第１の放射３の少なくとも一部を受けるために配置され、各センサ４は、フォトダイオード６を伴ったファブリペローエタロン５を含む。
【0054】
各センサ４は、光源１の各調査状態に対する信号を、光源のこの調査状態でこのセンサ４が受けた、第１の放射３の少なくとも１つの部分の関数として、測定するために配置される。
【0055】
装置１０は、放射３を異なるセンサ４に分配するために配置された、少なくとも１つの半反射および／またはダイクロイックミラー７１、７２、７３を備える。
【0056】
各センサ４のすぐ上流、すなわち、
－第１のセンサでは、ミラー（またはダイクロイック）７１とファブリペロー５１との間、
－第２のセンサでは、ミラー（またはダイクロイック）７２とファブリペロー５２との間、
－第３のセンサでは、ミラー（またはダイクロイック）７３とファブリペロー５３との間
に到達する、放射３の各部分の光強度は、初期較正（通常は装置１０の製造時、または工場における）によって知られる、あるいは、
－ファブリペローなしで放射３の一部の強度を測定するために配置された、任意の基準センサ６６（ファブリペローなし）と、
－各ミラー７１、７２、および７３の反射係数および透過係数の情報とを用いることによって知られる。
－第１のセンサでは、ミラー（またはダイクロイック）７１とファブリペロー５１との間、
－第２のセンサでは、ミラー（またはダイクロイック）７２とファブリペロー５２との間、
－第３のセンサでは、ミラー（またはダイクロイック）７３とファブリペロー５３との間
に到達する、放射３の各部分の光強度は、初期較正（通常は装置１０の製造時、または工場における）によって知られる、あるいは、
－ファブリペローなしで放射３の一部の強度を測定するために配置された、任意の基準センサ６６（ファブリペローなし）と、
－各ミラー７１、７２、および７３の反射係数および透過係数の情報とを用いることによって知られる。
【0057】
各フォトダイオード６、６６は、例えば、Ｈａｍａｍａｔｓｕ社製造のＧ６８５４－０１に準拠したフォトダイオードである。
【0058】
各エタロン５は、例えば、ＬｉｇｈｔＭａｃｈｉｎｅｒｙ社製造のＯＰ－７４２３シリーズのエタロンである。
【0059】
各センサ４は、フォトダイオードアレイは含まないが、単一のフォトダイオード６を含んでいる。
【0060】
各センサ４のファブリペローエタロン５は、可動部品を含まない。
【0061】
装置１０は、計算ユニット１１を備える。
【0062】
ユニット１１は、技術的手段のみを備え、好ましくは電子的な手段、かつ／あるいはハードウェアおよび／またはソフトウェア手段を備える。
【0063】
計算ユニット１１は、
－光源１がどのような状態になるかを制御し、かつ／あるいは光源１の状態、または光源１の異なる調査状態についての情報項目を受けるため、および
－光源１の各調査状態を、各センサ４が、光源１のこの調査状態に対して測定した信号と関連付ける、または同期させるために、
配置および／またはプログラムされる。
－光源１がどのような状態になるかを制御し、かつ／あるいは光源１の状態、または光源１の異なる調査状態についての情報項目を受けるため、および
－光源１の各調査状態を、各センサ４が、光源１のこの調査状態に対して測定した信号と関連付ける、または同期させるために、
配置および／またはプログラムされる。
【0064】
したがって、各フォトダイオード６の信号は、各ファブリペローを通る放射３の透過についての情報項目を与える。
【0065】
計算ユニット１１は、各センサ４が測定した信号から、かつ光源１の各調査状態に対して、第１の放射３の波長を表す第１のデータ項目（例えばｋｓ）を計算するために配置および／またはプログラムされ、光源１の各調査状態に対して、計算ユニット１１は、光源１の各調査状態に対して、いくつかの可能な値からの、第１のデータ項目（例えばｋｓ）の選択値の選択を実施するために、配置および／またはプログラムされる。
【0066】
第１の放射の波長を示す第１のデータ項目は、第１の放射の波長に依存する、または第１の放射の波長の関数になる、データ項目である。
【0067】
第１の放射の波長を示す第１のデータ項目は、例えば、
－第１の放射の波長、または
－第１の放射の時間周波数、または
－第１の放射の一時的な期間、または
－この例示的だが非限定的な例で示されている通りの、第１の放射３の波数ｋｓである。
－第１の放射の波長、または
－第１の放射の時間周波数、または
－第１の放射の一時的な期間、または
－この例示的だが非限定的な例で示されている通りの、第１の放射３の波数ｋｓである。
【0068】
第１の放射の波長を示す第１のデータ項目はまた、第１の放射のこの波長、または第１の放射のこの時間周波数、または第１の放射のこの一時的な期間、あるいは第１の放射３のこの波数ｋｓに比例する任意のデータ項目とすることができる。
【0069】
より正確には、計算ユニット１１は、以下の目的のために配置／プログラムされる。
－定数「ｂ」を知るため。計算ユニット１１は、光源１が、光源１の異なる調査状態に従って第１の放射３を生成する場合に、定数「ｂ」を決定するために配置および／またはプログラムされ、この目的のために、
・光源１の各調査状態に対する、第１のデータ項目ｋｓを予備計算し、第１の放射３のスペクトル領域範囲１５の範囲外にある第１のデータ項目ｋｓの値を排除して、好ましくは最小二乗法によって、光源１の各調査状態に対する、第１のデータ項目ｋｓの値を選択し、
・光源１のすべての異なる調査状態に対する、第１のデータ項目ｋｓの予備計算から、定数「ｂ」を決定するために、
配置および／またはプログラムされる。
－各センサ４が測定した信号から、かつ光源１の各調査状態に対して、光源１の各調査状態に対する第１の放射３の波長を示す第１のデータ項目ｋｓを計算するためであって、いくつかの可能な値から第１のデータ項目ｋｓの選択値を選択し、計算ユニット１１は、
・第１の放射３のスペクトル領域範囲１５の範囲外にある、第１のデータ項目ｋｓの値の排除（選択の一部を形成する）を実施し、
・第１の放射ｋｓの単位で表される、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１の放射ｋｓの値の排除（選択の一部を形成する）を実施し、
・先の２回の排除の後に、好ましくは最小二乗法によって、選択値の最終選択（選択の一部を形成する）を実施するために、
配置および／またはプログラムされる。
－定数「ｂ」を知るため。計算ユニット１１は、光源１が、光源１の異なる調査状態に従って第１の放射３を生成する場合に、定数「ｂ」を決定するために配置および／またはプログラムされ、この目的のために、
・光源１の各調査状態に対する、第１のデータ項目ｋｓを予備計算し、第１の放射３のスペクトル領域範囲１５の範囲外にある第１のデータ項目ｋｓの値を排除して、好ましくは最小二乗法によって、光源１の各調査状態に対する、第１のデータ項目ｋｓの値を選択し、
・光源１のすべての異なる調査状態に対する、第１のデータ項目ｋｓの予備計算から、定数「ｂ」を決定するために、
配置および／またはプログラムされる。
－各センサ４が測定した信号から、かつ光源１の各調査状態に対して、光源１の各調査状態に対する第１の放射３の波長を示す第１のデータ項目ｋｓを計算するためであって、いくつかの可能な値から第１のデータ項目ｋｓの選択値を選択し、計算ユニット１１は、
・第１の放射３のスペクトル領域範囲１５の範囲外にある、第１のデータ項目ｋｓの値の排除（選択の一部を形成する）を実施し、
・第１の放射ｋｓの単位で表される、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１の放射ｋｓの値の排除（選択の一部を形成する）を実施し、
・先の２回の排除の後に、好ましくは最小二乗法によって、選択値の最終選択（選択の一部を形成する）を実施するために、
配置および／またはプログラムされる。
【0070】
計算ユニット１１は、光源１の各調査状態に対して、第１の放射３の波長を表す第１のデータ項目ｋｓの計算の関数として、第２の放射８の波長を表す第２のデータ項目ｋｃを計算するために、配置および／またはプログラムされる。
【0071】
第２の放射の波長８を示す第２のデータ項目ｋＣは、例えば、
－第２の放射の波長、または
－第２の放射の周波数、または
－この例示的だが非限定的な例で示されている通りの、第２の放射８の波数ｋｃである。
－第２の放射の波長、または
－第２の放射の周波数、または
－この例示的だが非限定的な例で示されている通りの、第２の放射８の波数ｋｃである。
【0072】
計算ユニット１１が配置および／またはプログラムされる方法については、装置１０によって実施される、本発明による方法の実施形態を参照して以下で詳細に説明する。
【0073】
計算ユニット１１は、定数ｂを知るために配置／プログラムされる。
【0074】
装置１０は、定数ｂを計算および／または決定、ならびに／あるいは記録するために配置された手段（より正確にはユニット１１）を備える。
【0075】
装置１０は、装置１０（より正確にはユニット１１）に定数ｂを示すために配置された、通信手段および／または入力手段を備える。
【0076】
計算ユニット１１は、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲を知るために、配置および／またはプログラムされる。
【0077】
装置１０は、
－固定キャビティ２の自由スペクトル範囲を記録する手段（より正確にはユニット１１）、および／または、
－装置１０（より正確にはユニット１１）に、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲を示すために配置された、通信手段および／または入力手段を備える。
－固定キャビティ２の自由スペクトル範囲を記録する手段（より正確にはユニット１１）、および／または、
－装置１０（より正確にはユニット１１）に、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲を示すために配置された、通信手段および／または入力手段を備える。
【0078】
特に、装置１０は、１種類の、または単一基準の光源１に対する測定の実施専用にすることができるので、通信または入力手段は必須ではなく、１つの光源１と別の光源１とで固定キャビティの自由スペクトル範囲は変化しない。
【0079】
光源１は、好ましくは装置１０の一部を形成しない。装置１０は、光源１からは独立して光源１を特徴付ける、またはテストする装置として市販することができる。
【0080】
図２を参照すると、各ファブリペローエタロン５は、第１の放射３の波長の関数として、第１の放射３のスペクトル領域範囲１５以上の期間を有する、第１の放射３の透過強度曲線１２、１３、１４を有する。
【0081】
各ファブリペローエタロン５は、第１の放射３の波長の関数として、第１の放射３の透過強度曲線１２、１３、１４を有し、異なるファブリペローエタロン５の透過曲線は、第１の放射３の波長の関数として、第１の放射のスペクトル領域範囲１５以上の期間を有する、第１の放射の全体的な透過強度曲線１６を共に形成する。
【0082】
少なくとも１つのセンサ４は、いくつかのセンサ４を含み、異なるセンサ４の異なるファブリペローエタロン５は、２つのファブリペローエタロン５の対を少なくとも一対（好ましくはファブリペローエタロンの対のみを）含み、各対は、
－第１の放射３の波長の関数として、第１の放射３の第１の透過強度曲線１３を有する、第１のファブリペローエタロンと、
－第１の放射３の波長の関数として、第１の放射３の第２の透過強度曲線１２を有する、第２のファブリペローエタロンとを備え、
その結果、
－第１の放射３の同一の波長が、第１の透過曲線１３の最大勾配（すなわち第１の導関数）１３０、および絶対値でこの最大勾配１３０の１０％以下の、第２の透過曲線１２の勾配１２０の両方と一致し、かつ／または、
－第１の放射３の同一の波長が、第２の透過曲線１２の最大勾配１２１、および絶対値でこの最大勾配１２１の１０％以下の、第１の透過曲線１３の勾配１３１の両方と一致する。
－第１の放射３の波長の関数として、第１の放射３の第１の透過強度曲線１３を有する、第１のファブリペローエタロンと、
－第１の放射３の波長の関数として、第１の放射３の第２の透過強度曲線１２を有する、第２のファブリペローエタロンとを備え、
その結果、
－第１の放射３の同一の波長が、第１の透過曲線１３の最大勾配（すなわち第１の導関数）１３０、および絶対値でこの最大勾配１３０の１０％以下の、第２の透過曲線１２の勾配１２０の両方と一致し、かつ／または、
－第１の放射３の同一の波長が、第２の透過曲線１２の最大勾配１２１、および絶対値でこの最大勾配１２１の１０％以下の、第１の透過曲線１３の勾配１３１の両方と一致する。
【0083】
なお、これは装置１０のすべてのファブリペローエタロン５の、透過曲線のすべての対１２、１３、または１３、１４、あるいは１４、１２に有効である。
【0084】
また、異なる透過曲線１２、１３、１４の同一符号（すなわち増加勾配、または減少勾配）の最大勾配１２１、１３０が、領域１５内で、同一の離間間隔１７で規則的に離間されていることにも留意されたい。
【0085】
したがって、この実施形態では、アレイ検出器に干渉パターンを結像することのない、（機械部品を動かすことのない）ファブリペローエタロン５が使用される。ファブリペローステージ５毎に、測定点が１つのみ作成される。
【0086】
精度を高めるために、コヒーレント光源１の１つのキャビティ７のみを修正することによって、光源１の放射利得帯域幅全体にわたって波長が調整される。したがって、波長はすべて、光源１のキャビティ２の、同一のモジュロＦＳＲであることがわかる。これによって追加情報が与えられ、ビーム３、８の各放射波長を達成することが可能になる。
【0087】
この実施形態には、以下の利点がある。
－非常に小型であって、この方策により、長さの合計を１０ｃｍ未満にすることができる。
－非常に迅速であり、適切な電子機器１１を用いることによって、各レーザパルス（＞１００ｋＨｚ）を測定することが可能になる。また本発明は、最大測定値での測定を行い、フォトダイオード６の処理用電子機器１１を用いて、連続的な光源１で動作することができる。本発明は、調節可能なファブリペローの一部を動かすのに使用される、圧電トランスデューサの応答時間によって制限されない。
－高価な部品を備えておらず安価であり、調節できないファブリペローエタロン５、およびアレイのないフォトダイオード６は、アレイシステムに対して非常に経済的である。
－非常に小型であって、この方策により、長さの合計を１０ｃｍ未満にすることができる。
－非常に迅速であり、適切な電子機器１１を用いることによって、各レーザパルス（＞１００ｋＨｚ）を測定することが可能になる。また本発明は、最大測定値での測定を行い、フォトダイオード６の処理用電子機器１１を用いて、連続的な光源１で動作することができる。本発明は、調節可能なファブリペローの一部を動かすのに使用される、圧電トランスデューサの応答時間によって制限されない。
－高価な部品を備えておらず安価であり、調節できないファブリペローエタロン５、およびアレイのないフォトダイオード６は、アレイシステムに対して非常に経済的である。
【0088】
装置１０およびシステム１００によって実施される、本発明による方法の実施形態について、ここで図１～９を参照して説明する。
【0089】
この方法は、以下の１）から８）までのステップを含む。
１）光源の状態、または光源１の異なる調査状態に従って、光源１によって、第１の放射３（および第２の放射８）を生成するステップ。コヒーレント光源１は、二重共振ＯＰＯである。波数ｋｐの励起レーザビームは、周期分極反転を伴って非線形結晶９を通過する。結晶９は、波数ｋｓの第１の放射３（信号とも呼ばれる）、および波数ｋｃの第２の放射８（相補とも呼ばれる）の、２つの新たなビームを放射する。波数は、エネルギー保存の法則によって、次の式で表される。
ｋｐ＝ｋｓ＋ｋｃ
１）光源の状態、または光源１の異なる調査状態に従って、光源１によって、第１の放射３（および第２の放射８）を生成するステップ。コヒーレント光源１は、二重共振ＯＰＯである。波数ｋｐの励起レーザビームは、周期分極反転を伴って非線形結晶９を通過する。結晶９は、波数ｋｓの第１の放射３（信号とも呼ばれる）、および波数ｋｃの第２の放射８（相補とも呼ばれる）の、２つの新たなビームを放射する。波数は、エネルギー保存の法則によって、次の式で表される。
ｋｐ＝ｋｓ＋ｋｃ
【0090】
図１に図式的に示されているように、放射３は、ミラー７ａおよび７ｂによって形成された、可動キャビティ７で共振する。放射８は、ミラー２ａと２ｂとの間の固定キャビティ２で共振する。可動キャビティ７は、（ミラー７ａの位置に応じて）約０．２６ｃｍ－１の自由スペクトル範囲（ＦＳＲ）Δｋｓを有し、固定キャビティ２は、０．２５ｃｍ－１の自由スペクトル範囲（ＦＳＲ）Δｋｃを有する。
【0091】
ミラー７ａは可動であり、例えば、圧電素子に取り付けられる。
【0092】
光源１の通常のスペクトル許容性（パラメトリック利得帯域幅と呼ばれる）は、５ｃｍ－１である。つまり、非線形結晶９は、励起レーザの波数、結晶９の温度、分極反転格子がないなどのパラメータが設定された場合は、５ｃｍ－１のスペクトル範囲にわたってのみ放射することができる。
【0093】
相補キャビティの固定位置に対して放射され得るモード数は、したがって５／０．２５＝２０モードになる。
【0094】
各ビームに対して、以下の波数が想定される。
・励起放射の波数は、９，３９４．５ｃｍ－１
・「信号」放射、または放射３の波数は、６，６６２．５ｃｍ－１～６，６６７．５ｃｍ－１（この間隔は、本明細書では、第１の放射のスペクトル領域範囲１５と呼ぶ）
・「相補」放射、または放射８の波数は、２，７２７ｃｍ－１～２，７３２ｃｍ－１。
・励起放射の波数は、９，３９４．５ｃｍ－１
・「信号」放射、または放射３の波数は、６，６６２．５ｃｍ－１～６，６６７．５ｃｍ－１（この間隔は、本明細書では、第１の放射のスペクトル領域範囲１５と呼ぶ）
・「相補」放射、または放射８の波数は、２，７２７ｃｍ－１～２，７３２ｃｍ－１。
【0095】
２）ユニット１１によって、光源１がどのような状態になるかを制御するステップ、および／あるいはユニット１１によって、光源１の状態について、または光源１の異なる調査状態についての情報項目を受けるステップであって、前述のように、光源１の異なる状態は、光源が放射した第１の放射３の波長に影響を及ぼす、光源１の物理パラメータの変化、例えば、ミラー７ａの位置の変化によって調査される。（光源１の異なる状態を、第１の放射３の同じ波長に対応させられる場合であっても）第１の放射３の波長を変更するために、光源１のいくつかの状態が調査されるが、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲は保持される。
【0096】
各ビーム３、８は、そのそれぞれのキャビティ７、２内に、可能なモードコムを有する。パラメトリック利得帯域幅内で、２つの信号および相補モード同士が十分に重なり合っている場合、すなわちエネルギー保存条件が尊重される場合は、振動が発生する。
【0097】
ミラー７ａの圧電素子に圧力を印加することによって、可動キャビティ７は、わずかに数百ナノメートルだけ移動する。その後、関連するモードコムが移動し、一致するモードコムもまた、ビーム１信号と、ビーム８相補モードとが新たに重なり合うことによって移動する。
【0098】
【0099】
移動されるのはミラー７ａのみである。したがって相補キャビティ２は、固定されたままである。キャビティ２によって放射され得る波数のコムは、したがって同一のままである。したがってビーム８のモードはすべて、定義上はキャビティ２のモジュロＦＳＲと等しい（ここではＦＳＲの分散は無視する）。エネルギー保存によって、これはビーム３の場合にも当てはまる。このために、ビーム８の波数はすべて式１によって、およびエネルギー保存によって表され、ビーム３の波数は、式２で表される。
ｋｃ＝ａ［ＦＳＲｃ］ 式１
ｋｓ＝ｂ［ＦＳＲｃ］ 式２
ここで「ａ」および「ｂ」はそれぞれ定数であり、より正確にはゼロ以上の実数であり、定数「ｂ」は、本明細書で既に述べたものであり、［ＦＳＲｃ］は、「固定キャビティＦＳＲｃのモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃは、波数の単位（長さの逆数）で表された、固定キャビティのＦＳＲになる。一般に、本発明のこの原理は、任意の光源１に対して、有効でありかつ一般化できることに留意されたく、その利得媒体（レーザ結晶、非線形結晶など）は、共振キャビティに収容される。これら２つの式は当然、時間周波数、または一時的な期間、あるいは波長として表すことができる。例えば、式２の場合、
ｆｓ＝ｂ’［ＦＳＲｃ’］ 式２’
ｔｓ＝ｂ’’［ＦＳＲｃ’’］ 式２’’
λｓ＝ｂ’’’［ＦＳＲｃ’’’］ 式２’’’
であり、ここで、
－「ｂ’」「ｂ’’」および「ｂ’’’」はそれぞれ定数であり、より正確にはゼロ以上の実数であり、
－ｆｓは放射３の時間周波数であり、
－［ＦＳＲｃ’］は、「固定キャビティＦＳＲｃ’のモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃ’は、時間周波数の単位（時間の逆数）で表される、固定キャビティのＦＳＲになり、
－ｔｓは、放射３の一時的な期間であり、
－［ＦＳＲｃ’’］は、「固定キャビティＦＳＲｃ’’のモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃ’’は、一時的な期間の単位（時間）で表される、固定キャビティのＦＳＲになり、
－λｓは、放射３の波長であり、
－［ＦＳＲｃ’’’］は、「固定キャビティＦＳＲｃ’’’のモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃ’’’は、波長の単位（長さ）で表される、固定キャビティのＦＳＲになる。
ｋｃ＝ａ［ＦＳＲｃ］ 式１
ｋｓ＝ｂ［ＦＳＲｃ］ 式２
ここで「ａ」および「ｂ」はそれぞれ定数であり、より正確にはゼロ以上の実数であり、定数「ｂ」は、本明細書で既に述べたものであり、［ＦＳＲｃ］は、「固定キャビティＦＳＲｃのモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃは、波数の単位（長さの逆数）で表された、固定キャビティのＦＳＲになる。一般に、本発明のこの原理は、任意の光源１に対して、有効でありかつ一般化できることに留意されたく、その利得媒体（レーザ結晶、非線形結晶など）は、共振キャビティに収容される。これら２つの式は当然、時間周波数、または一時的な期間、あるいは波長として表すことができる。例えば、式２の場合、
ｆｓ＝ｂ’［ＦＳＲｃ’］ 式２’
ｔｓ＝ｂ’’［ＦＳＲｃ’’］ 式２’’
λｓ＝ｂ’’’［ＦＳＲｃ’’’］ 式２’’’
であり、ここで、
－「ｂ’」「ｂ’’」および「ｂ’’’」はそれぞれ定数であり、より正確にはゼロ以上の実数であり、
－ｆｓは放射３の時間周波数であり、
－［ＦＳＲｃ’］は、「固定キャビティＦＳＲｃ’のモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃ’は、時間周波数の単位（時間の逆数）で表される、固定キャビティのＦＳＲになり、
－ｔｓは、放射３の一時的な期間であり、
－［ＦＳＲｃ’’］は、「固定キャビティＦＳＲｃ’’のモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃ’’は、一時的な期間の単位（時間）で表される、固定キャビティのＦＳＲになり、
－λｓは、放射３の波長であり、
－［ＦＳＲｃ’’’］は、「固定キャビティＦＳＲｃ’’’のモジュロＦＳＲ」を意味し、ＦＳＲｃ’’’は、波長の単位（長さ）で表される、固定キャビティのＦＳＲになる。
【0100】
３）少なくとも１つのセンサ４によって、また本実施形態ではいくつかのセンサ４によって、第１の放射３の少なくとも一部を受けるステップ。
【0101】
４）各センサ４によって、かつ光源１の各調査状態に対して、光源１のこの調査状態でこのセンサ４が受けた、第１の放射３の少なくとも１つの部分の関数として、信号を測定するステップ。
【0102】
ファブリペロー５１、５２、５３は、これらの自由スペクトル範囲（ＦＳＲ）がそれぞれ９６１．２９μｍ、９６１．５４μｍ、および９６１．７９μｍになるように寸法決めされる。パラメトリック利得帯域幅内の波数の関数としてのこれらの透過については、図２で説明されている。
【0103】
【0104】
５）ユニット１１によって、光源１の各調査状態を、各センサ４が光源１のこの調査状態に対して測定した信号と関連付ける、または同期させるステップ。
【0105】
６）定数「ｂ」を事前に知るステップであって、光源１の異なる調査状態に従って、光源１によって第１の放射３を生成する場合、定数「ｂ」は、この定数「ｂ」を決定する工程によって知られ、この定数「ｂ」を決定する工程は、以下のａ～ｂの項目を含む。
ａ．光源１の各調査状態に対する、第１の放射３の波長を表す、第１のデータ項目ｋｓの予備計算であって、計算には、光源１の各調査状態に対して、いくつかの可能な値から第１のデータ項目ｋｓの値を選択することが含まれ、前記の選択は、以下のｉ～ｉｉの項目を含む。
ｉ．第１の放射３のスペクトル領域範囲１５外にある、第１のデータ項目ｋｓの値を排除すること。この目的は、これ以降、フォトダイオード６の情報項目から、光源１が放射した放射３の波数ｋｓが、６，６６２．５ｃｍ－１～６，６６７．５ｃｍ－１、すなわち５ｃｍ－１のその可能な放射範囲内にあると認めることである。２・１０－３ｃｍ－１の分解能を達成するために、放射範囲１５は、２・１０－３ｃｍ－１ずつ離間されて、２５００の点でサンプリングされる。３つのフォトダイオード６からの透過のトリプレットは、これらの点に対応する。
ｉｉ．好ましくは最小二乗法によって、選択値を選択すること。センサ４の数がＮｃと等しい場合、かつ光源１の各状態に対して、放射範囲１５をＮＰ個の点（ＮＰの数が大きいほど、より正確になる）でサンプリングするために選択がなされた場合、ＮＣ（ここではＮＣ＝３）個のセンサ４によって測定されたＮＣ個の信号は、Ｎｐ（ここではＮＰ＝２５００）組の理論値と比較され、理論値の各組は、ＮＣ個のセンサ４のＮＣ個の理論信号を含み、図２、あるいは公式または相当値表に従って、すなわちＮＣ個のファブリペロー５１、５２、５３の透過に従って、波数ｋｓの関数として、ｋＳの値と関連付けられる。最小二乗法によって、測定されたトリプレットのそれぞれは、式３に従って２５００の理論的なトリプレットと比較される。
ｍｊ＝√［（Ｔｊ ｔｈ１－Ｔｍ１）２＋（Ｔｊ ｔｈ２－Ｔｍ２）２＋（Ｔｊ ｔｈ３－Ｔｍ３）２］ 式３
ここでＴｊ ｔｈｉは、ｊｔｈトリプレット（２５００から可能）のｉｔｈファブリペロー（３から可能）の理論的な透過に相当し、かつＴｍｉは、ｉｔｈファブリペローの測定された透過に相当する。測定されたトリプレットのそれぞれに対して、ビーム３の波数ｋＳの値は、２５００の可能性の中から保持されて、「ｍｊ」の値を最小化する。
ａ．光源１の各調査状態に対する、第１の放射３の波長を表す、第１のデータ項目ｋｓの予備計算であって、計算には、光源１の各調査状態に対して、いくつかの可能な値から第１のデータ項目ｋｓの値を選択することが含まれ、前記の選択は、以下のｉ～ｉｉの項目を含む。
ｉ．第１の放射３のスペクトル領域範囲１５外にある、第１のデータ項目ｋｓの値を排除すること。この目的は、これ以降、フォトダイオード６の情報項目から、光源１が放射した放射３の波数ｋｓが、６，６６２．５ｃｍ－１～６，６６７．５ｃｍ－１、すなわち５ｃｍ－１のその可能な放射範囲内にあると認めることである。２・１０－３ｃｍ－１の分解能を達成するために、放射範囲１５は、２・１０－３ｃｍ－１ずつ離間されて、２５００の点でサンプリングされる。３つのフォトダイオード６からの透過のトリプレットは、これらの点に対応する。
ｉｉ．好ましくは最小二乗法によって、選択値を選択すること。センサ４の数がＮｃと等しい場合、かつ光源１の各状態に対して、放射範囲１５をＮＰ個の点（ＮＰの数が大きいほど、より正確になる）でサンプリングするために選択がなされた場合、ＮＣ（ここではＮＣ＝３）個のセンサ４によって測定されたＮＣ個の信号は、Ｎｐ（ここではＮＰ＝２５００）組の理論値と比較され、理論値の各組は、ＮＣ個のセンサ４のＮＣ個の理論信号を含み、図２、あるいは公式または相当値表に従って、すなわちＮＣ個のファブリペロー５１、５２、５３の透過に従って、波数ｋｓの関数として、ｋＳの値と関連付けられる。最小二乗法によって、測定されたトリプレットのそれぞれは、式３に従って２５００の理論的なトリプレットと比較される。
ｍｊ＝√［（Ｔｊ ｔｈ１－Ｔｍ１）２＋（Ｔｊ ｔｈ２－Ｔｍ２）２＋（Ｔｊ ｔｈ３－Ｔｍ３）２］ 式３
ここでＴｊ ｔｈｉは、ｊｔｈトリプレット（２５００から可能）のｉｔｈファブリペロー（３から可能）の理論的な透過に相当し、かつＴｍｉは、ｉｔｈファブリペローの測定された透過に相当する。測定されたトリプレットのそれぞれに対して、ビーム３の波数ｋＳの値は、２５００の可能性の中から保持されて、「ｍｊ」の値を最小化する。
【0106】
このように計算された波数ｋｓが、図５に示されている。
残念なことに、測定ノイズが計算の妨げとなって、結果の精度を落としている。図６は、計算値と、実際に放射された波数との相違を点毎に示す。
ｂ．光源１の異なる調査状態のすべてに対して、第１のデータ項目ｋｓの予備計算から定数「ｂ」を決定すること。実際には、図５におけるこのようなノイズの多い測定からでも、式２に示す「ｂ」の正確な計算を行うことが可能である。実際には、測定ノイズはその後、２５０の取得のすべてにわたって平均化される。これがガウス型白色ノイズであれば、１５よりも大きい因数（√２５０）によって、ノイズはその後減少する。異常値の影響を制限するために、平均ではなく中央値（ｍｅｄ）が使用される。したがって、
ｂ＝ｍｅｄ（ｋｓ ｍｅａｓｕｒｅｄ［ＦＳＲｃ］） 式４
となる。
残念なことに、測定ノイズが計算の妨げとなって、結果の精度を落としている。図６は、計算値と、実際に放射された波数との相違を点毎に示す。
ｂ．光源１の異なる調査状態のすべてに対して、第１のデータ項目ｋｓの予備計算から定数「ｂ」を決定すること。実際には、図５におけるこのようなノイズの多い測定からでも、式２に示す「ｂ」の正確な計算を行うことが可能である。実際には、測定ノイズはその後、２５０の取得のすべてにわたって平均化される。これがガウス型白色ノイズであれば、１５よりも大きい因数（√２５０）によって、ノイズはその後減少する。異常値の影響を制限するために、平均ではなく中央値（ｍｅｄ）が使用される。したがって、
ｂ＝ｍｅｄ（ｋｓ ｍｅａｓｕｒｅｄ［ＦＳＲｃ］） 式４
となる。
【0107】
この例では、ｂ＝０．１４０４ｃｍ－１である。見てきたように、光源１は、（式４で）こうして計算した値「ｂ」を持つ、式２に従った波数でのみ放射できることがわかる。
【0108】
ｂを決定する別の代替手段は、（例えば、工場で）装置１０にｂを記録することであるが、これでは、温度変化などのｂの変化を考慮に入れることができない。
【0109】
７）測定された信号から、かつ光源１の各調査状態に対して、第１の放射３の波長を表す第１のデータ項目ｋｓを、光源１の各調査状態に対して計算するステップであって、計算には、光源１の各調査状態に対して、いくつかの可能な値から第１のデータ項目ｋｓの選択値を選択することが含まれ、前記の選択は、以下のａ～ｃの項目を含む。
ａ．前述のステップ６のａのｉにあるように、第１の放射３のスペクトル領域範囲１５外にある、第１のデータ項目ｋｓの理論値を排除すること。
ｂ．第１のデータ項目の単位で表される、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの値を排除すること。放射範囲１５をＮＰ個の点（ＮＰの数が大きいほど、より正確になる）でサンプリングするために選択された場合は、Ｎｐ（ここではＮＰ＝２５００）組の理論値があり、理論値の各組は、ＮＣ個のセンサ４のＮＣ個の理論信号を含み、図２、あるいは公式または相当値表に従って、すなわちＮＣ個のファブリペロー５１、５２、５３の透過に従って、波数ｋｓの関数として、ｋＳの値と関連付けられる。固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの理論値をこのように排除することにより、ＮＰからＮＲまでの理論値の組の数を減らすことが可能になる。
ｃ．次に、前述の２つを排除した後の、好ましくは最小二乗法による、選択値の最終選択。ここでも最小二乗法が用いられ、式２に従って、可能な解をパラメトリック利得帯域幅（スペクトル範囲１５）の波数のみに制限する。センサ４の数がＮｃと等しく、ＮＲ組（ここではＮＲ＝１９）の可能な理論値が残っている場合は、光源１の各状態に対して、ＮＣ個（ここではＮＣ＝３）のセンサ４によって測定されたＮＣ個の信号は、ＮＲ（ここではＮＲ＝１９）組の理論値と比較され、理論値の各組は、ＮＣ個のセンサ４のＮＣ個の理論信号を含み、図２、あるいは公式または相当値表に従って、すなわちＮＣ個のファブリペロー５１、５２、５３の透過に従って、波数ｋｓの関数として、ｋＳの値と関連付けられる。したがって、ステップ６とは異なり、２５００の可能なトリプレット間ではなく、モジュロ条件に従った１９の可能なモード間で選択される。ｂ＝０であれば、２０の可能なモードがある。１９の可能なトリプレットについてのみ、式３の「ｍｊ」の計算が繰り返される。所与の測定のために保持された波数値は、１９の計算値の中で、「ｍｊ」を最小化するものである。したがって図７が得られ、これは、図６で示した結果６０（分散した円）に加えて、これらの新しい最小二乗から生じた結果７０（ほぼすべてが一直線に並んでいる星形）を表す。
ａ．前述のステップ６のａのｉにあるように、第１の放射３のスペクトル領域範囲１５外にある、第１のデータ項目ｋｓの理論値を排除すること。
ｂ．第１のデータ項目の単位で表される、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの値を排除すること。放射範囲１５をＮＰ個の点（ＮＰの数が大きいほど、より正確になる）でサンプリングするために選択された場合は、Ｎｐ（ここではＮＰ＝２５００）組の理論値があり、理論値の各組は、ＮＣ個のセンサ４のＮＣ個の理論信号を含み、図２、あるいは公式または相当値表に従って、すなわちＮＣ個のファブリペロー５１、５２、５３の透過に従って、波数ｋｓの関数として、ｋＳの値と関連付けられる。固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの理論値をこのように排除することにより、ＮＰからＮＲまでの理論値の組の数を減らすことが可能になる。
ｃ．次に、前述の２つを排除した後の、好ましくは最小二乗法による、選択値の最終選択。ここでも最小二乗法が用いられ、式２に従って、可能な解をパラメトリック利得帯域幅（スペクトル範囲１５）の波数のみに制限する。センサ４の数がＮｃと等しく、ＮＲ組（ここではＮＲ＝１９）の可能な理論値が残っている場合は、光源１の各状態に対して、ＮＣ個（ここではＮＣ＝３）のセンサ４によって測定されたＮＣ個の信号は、ＮＲ（ここではＮＲ＝１９）組の理論値と比較され、理論値の各組は、ＮＣ個のセンサ４のＮＣ個の理論信号を含み、図２、あるいは公式または相当値表に従って、すなわちＮＣ個のファブリペロー５１、５２、５３の透過に従って、波数ｋｓの関数として、ｋＳの値と関連付けられる。したがって、ステップ６とは異なり、２５００の可能なトリプレット間ではなく、モジュロ条件に従った１９の可能なモード間で選択される。ｂ＝０であれば、２０の可能なモードがある。１９の可能なトリプレットについてのみ、式３の「ｍｊ」の計算が繰り返される。所与の測定のために保持された波数値は、１９の計算値の中で、「ｍｊ」を最小化するものである。したがって図７が得られ、これは、図６で示した結果６０（分散した円）に加えて、これらの新しい最小二乗から生じた結果７０（ほぼすべてが一直線に並んでいる星形）を表す。
【0110】
図７は、ノイズがほとんどゼロであり、最も近いＦＳＲに対して、１つの測定点のみが誤りであることをはっきりと示している（測定１９６）。モード跳びに近い測定点を排除するフィルタが、これを排除することができる。このようなフィルタは、分光法で知られており、実際には、モード跳びに近い点は、スペクトル的に完全に純粋ではない光源を反射する。したがってこれらは波数の測定とは無関係に、測定品質を保証するためにフィルタリングされる。
【0111】
したがって説明した例では、以下の表に示す結果が取得される。
【表1】
【0112】
結果は、固定キャビティ２のＦＳＲの情報を用いることで、際立って良くなっている。また、フィルタリングは、第２の計算ではなく第１の計算（モジュロを使用しない）に適用されると、それ以上多くの測定点を除去しないこともわかる。両方の事例において、取得したうちの約７０％が残っている。
【0113】
図８および図９は、以下の結果を示す。
－第１の計算（符号８１、モジュロは使用せず）、および第２の計算（符号８２、式２のモジュロを使用）における平均誤差、ならびに
－第１の計算（符号９１、モジュロは使用せず）、および第２の計算（符号９２、式２のモジュロを使用）における標準偏差
これらは、一連のモード跳びの数多くのシミュレーションに対するもので、ノイズは、１つのシーケンスからもう１つのシーケンスまでランダムになる。
－第１の計算（符号８１、モジュロは使用せず）、および第２の計算（符号８２、式２のモジュロを使用）における平均誤差、ならびに
－第１の計算（符号９１、モジュロは使用せず）、および第２の計算（符号９２、式２のモジュロを使用）における標準偏差
これらは、一連のモード跳びの数多くのシミュレーションに対するもので、ノイズは、１つのシーケンスからもう１つのシーケンスまでランダムになる。
【0114】
（ユニット１１によって）定数ｂが知られるのは、ステップ７）において、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの値を排除するときである。例えば、定数ｂは、本発明による方法では、ステップ７）における、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの値を排除するステップの前に、（前述のステップ６）で説明したように）計算または決定する、あるいは記録することができる。定数ｂは、例えば、ステップ７）の、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない第１のデータ項目ｋｓの値を排除するこのステップの前に、ユーザが入力することができる。
【0115】
（ユニット１１によって）固定キャビティ２の自由スペクトル範囲が知られるのは、ステップ７）において、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの値を排除するときである。固定キャビティ２の自由スペクトル範囲は、例えば、本発明による方法では、ステップ７）の、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない、第１のデータ項目ｋｓの値を排除するステップの前に記録することができる。固定キャビティの自由スペクトル範囲は、例えばステップ７）の、固定キャビティ２の自由スペクトル範囲による除法の剰余である定数「ｂ」と一致しない第１のデータ項目ｋｓの値を排除するこのステップの前に、ユーザが入力することができる。
【0116】
８）本発明による方法の、この実施形態では、可動キャビティ７は、第１の放射３を生成し、固定キャビティ２は、第２の放射８を生成する。この方法は、光源の各調査状態に対して、第１の放射３の波長を表す第１のデータ項目ｋｓの計算の関数として、第２の放射８の波長を表す第２のデータ項目ｋｃを計算するステップをさらに含む。－知られて制御され、その推測値は光源１の状態変化中に変化しない、励起のｋｐ値と、
－光源１の異なる調査状態に対して計算された、ｋｓの異なる値と、
この２つの値がわかれば、光源１の異なる調査状態に対して計算されたｋｓの異なる値は、次の式で計算される。
ｋｃ＝ｋｐ－ｋｓ
－光源１の異なる調査状態に対して計算された、ｋｓの異なる値と、
この２つの値がわかれば、光源１の異なる調査状態に対して計算されたｋｓの異なる値は、次の式で計算される。
ｋｃ＝ｋｐ－ｋｓ
【0117】
無論、本発明は、説明した例に限定されることはなく、本発明の範囲を超えることなく、これらの例に多くの調整を行うことが可能である。
【0118】
したがって、前述した実施形態の変形例には、以下のことを組み入れることができる。
－本発明による方法は、定数「ｂ」を必ずしも計算しなくても、既に知られている場合がある（例えば、工場その他での較正によって）。この場合、本発明による方法または装置は、光源１の１つの状態、すなわち図７の単一のドット７０を調査することによって実施でき、
－光源１は、可動キャビティ７を有さずに、１つの固定キャビティ２のみを有してもよい。この場合、キャビティ２は、固定ミラー２ａと２ｂとの間に結晶９を備えることができる。キャビティ２の自由スペクトル範囲ＦＳＲｃは、常に固定され、光源１の状態は、例えば、結晶９の温度が変化することによって変化し、本発明による装置および方法は、このときは次の式ｋｃ＝ｂ［ＦＳＲｃ］に基づいて実施され、定数ｂは、前述したものと同じ原理で知られ、または決定され、第１のデータ項目はｋｃになり、
－本発明による装置および方法は、センサ４が、可動ミラー２ａまたは２ｂ、および好ましくは固定ミラー７ａを含む筐体内において、キャビティ７の信号ではなくキャビティ２の信号を測定することに基づくことができ、例えば、結晶９の代わりにガスが用いられ、
－第１のデータ項目は必ずしも波数でなくてもよく、本発明による装置および方法は、第１のデータ項目を時間周波数、一時的な期間、または少なくとも１つのセンサ４が受けた放射の波長として用いて実施することも可能である。
－本発明による方法は、定数「ｂ」を必ずしも計算しなくても、既に知られている場合がある（例えば、工場その他での較正によって）。この場合、本発明による方法または装置は、光源１の１つの状態、すなわち図７の単一のドット７０を調査することによって実施でき、
－光源１は、可動キャビティ７を有さずに、１つの固定キャビティ２のみを有してもよい。この場合、キャビティ２は、固定ミラー２ａと２ｂとの間に結晶９を備えることができる。キャビティ２の自由スペクトル範囲ＦＳＲｃは、常に固定され、光源１の状態は、例えば、結晶９の温度が変化することによって変化し、本発明による装置および方法は、このときは次の式ｋｃ＝ｂ［ＦＳＲｃ］に基づいて実施され、定数ｂは、前述したものと同じ原理で知られ、または決定され、第１のデータ項目はｋｃになり、
－本発明による装置および方法は、センサ４が、可動ミラー２ａまたは２ｂ、および好ましくは固定ミラー７ａを含む筐体内において、キャビティ７の信号ではなくキャビティ２の信号を測定することに基づくことができ、例えば、結晶９の代わりにガスが用いられ、
－第１のデータ項目は必ずしも波数でなくてもよく、本発明による装置および方法は、第１のデータ項目を時間周波数、一時的な期間、または少なくとも１つのセンサ４が受けた放射の波長として用いて実施することも可能である。
【0119】
無論、本発明の様々な特徴、形態、変形、および実施形態は、それらが適合しないか、または互いに矛盾しない限りにおいて、様々な組み合わせで組み合わせることができる。特に、前述したすべての変形例および実施形態は、互いに組み合わせることができる。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】