特許 7115356 物品搬送設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-01

(45)【発行日】2022-08-09

(54)【発明の名称】物品搬送設備

(51)【国際特許分類】

   B65G 49/00 20060101AFI20220802BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20220802BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20220802BHJP

【ＦＩ】

B65G49/00 A

B65G49/07 C

H01L21/68 A

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2019031804

(22)【出願日】2019-02-25

(65)【公開番号】P2020132407

(43)【公開日】2020-08-31

【審査請求日】2021-02-05

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】夫馬 貴史

【審査官】板澤 敏明

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－１６５２３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－３２３６５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－２６０２２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１６８９８２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ４９／００

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

クリーンルーム内を走行する第１物品搬送車と第２物品搬送車とを備えた物品搬送設備であって、
前記第１物品搬送車は、第１物品を収容する第１収容室と、前記第１物品搬送車の外部の気体を前記第１収容室に吸気する第１吸気部と、前記第１収容室の気体を前記第１物品搬送車の外部に排気する第１排気部と、を備え、
前記第１吸気部は、前記第１物品搬送車の外部から前記第１収容室に向けて送風する第１送風部を備え、
前記第２物品搬送車は、前記第１物品よりも塵埃の発生量が多い第２物品を収容する第２収容室と、前記第２物品搬送車の外部の気体を前記第２収容室に吸気する第２吸気部と、前記第２収容室の気体を前記第２物品搬送車の外部に排気する第２排気部と、を備え、
前記第２吸気部は、前記第２物品搬送車の外部から前記第２収容室に向けて送風する第２送風部を備え、
前記第２排気部は、前記第２収容室から前記第２物品搬送車の外部に向けて送風する第３送風部と、前記第２排気部を通過する気体から塵埃を減少させる排気用フィルター部と、を備え、
前記第３送風部の単位時間当たりの送風量が、前記第２送風部の単位時間当たりの送風量より多い、物品搬送設備。

【請求項2】

前記第１吸気部は、前記第１送風部に加えて、前記第１吸気部を通過する気体から塵埃を減少させる第１フィルター部を更に備えている、請求項１に記載の物品搬送設備。

【請求項3】

前記第２吸気部は、前記第２送風部に加えて、前記第２吸気部を通過する気体から塵埃を減少させる第２フィルター部を更に備えている、請求項１又は２に記載の物品搬送設備。

【請求項4】

前記第１物品搬送車が走行する走行経路を囲む囲み壁体と、前記囲み壁体によって囲まれている内部空間に上方から下方に向かう気流を生成する気流生成部と、を更に備え、
前記気流生成部は、前記内部空間の下部から前記囲み壁体の外部に向けて下方に気体を送風する壁体用送風部を備え、
前記第１排気部は、前記第１物品搬送車の下方に向けて気体を排気する、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。

【請求項5】

前記第１物品は、上下方向に連通する連通部を備え、
前記第１排気部は、前記第１収容室に収容されている前記第１物品に対して上下方向に沿う上下方向視で重なる領域に形成されている、請求項４に記載の物品搬送設備。

【請求項6】

前記第２吸気部は、前記第２物品搬送車の前方から気体を吸気し、
前記第２排気部は、前記第２物品搬送車の後方に向けて気体を排気する、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリーンルーム内を走行する物品搬送車を備えた物品搬送設備に関する。

【背景技術】

【0002】

このような物品搬送設備として、例えば、特開２００８－１６８９８２号公報（特許文献１）に記載されたものが知られている。以下、背景技術の説明において、かっこ書きの符号又は名称は、先行技術文献における符号又は名称とする。この特許文献１に記載の物品搬送設備の物品搬送車（板状体搬送車１）は、物品（物品保持体１１）を収容する収容室（収容空間１２）と、物品搬送車の外部の気体を収容室に吸気する吸気部と、収容室の気体を物品搬送車の外部に排気する排気部と、を備えている。吸気部に、物品搬送車の外部から収容室に向けて送風するファンフィルタユニットを備えて、浄化された空気が収容室を通気するようにし、物品（詳しくは、容器に収容している板状物品）に塵埃が付着することを防止している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００８－１６８９８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記した物品搬送車が、上述した物品（以下、第１物品と称する）より塵埃の発生量が多い物品（以下、第２物品と称する）を搬送する場合、この第２物品から発生した塵埃が排気部から物品搬送車の外部に排気されるため、クリーンルームが汚損される可能性がある。そこで、排気部に、この排気部を通過する気体から塵埃を減少させるフィルター部を備えて、排気部から物品搬送車の外部に塵埃が排出される量を減少させることが考えられる。しかし、物品搬送設備を走行する全ての物品搬送車における排気部にフィルター部を備えると、物品搬送設備の製造コストが高くなるという問題がある。

【0005】

そこで、製造コストを低く抑えながらクリーンルームが汚損されることを抑制できる物品搬送設備の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記に鑑みた、物品搬送設備の特徴構成は、クリーンルーム内を走行する第１物品搬送車と第２物品搬送車とを備え、
前記第１物品搬送車は、第１物品を収容する第１収容室と、前記第１物品搬送車の外部の気体を前記第１収容室に吸気する第１吸気部と、前記第１収容室の気体を前記第１物品搬送車の外部に排気する第１排気部と、を備え、前記第１吸気部は、前記第１物品搬送車の外部から前記第１収容室に向けて送風する第１送風部を備え、前記第２物品搬送車は、前記第１物品よりも塵埃の発生量が多い第２物品を収容する第２収容室と、前記第２物品搬送車の外部の気体を前記第２収容室に吸気する第２吸気部と、前記第２収容室の気体を前記第２物品搬送車の外部に排気する第２排気部と、を備え、前記第２吸気部は、前記第２物品搬送車の外部から前記第２収容室に向けて送風する第２送風部を備え、前記第２排気部は、前記第２収容室から前記第２物品搬送車の外部に向けて送風する第３送風部と、前記第２排気部を通過する気体から塵埃を減少させる排気用フィルター部と、を備え、前記第３送風部の単位時間当たりの送風量が、前記第２送風部の単位時間当たりの送風量より多い点にある。

【0007】

この特徴構成によれば、第１物品搬送車では、第１吸気部によって第１収容室に吸気した気体が第１排気部から排気される。これにより、第１収容室を気体が通気し、第１収容室に収容されている第１物品の周囲を気体が流動することで、第１物品に塵埃が付着することを抑制できる。そして、第１物品は塵埃の発生量が比較的少ないため、第１収容室の気体をそのまま第１物品搬送車の外部に排気したとしてもクリーンルームのクリーン度は低下し難い。そのため、第１物品搬送車の第１排気部にフィルター部を備えなくてもよく、第１物品搬送車の製造コストを低く抑えることができる。

【0008】

また、第２物品搬送車では、第２吸気部によって第２収容室に吸気した気体が第２排気部から排気される。これにより、第２収容室を気体が通気し、第２収容室に収容されている第２物品の周囲に気体が流動することで、第２物品に塵埃が付着することを抑制できる。ところで、第２物品は塵埃の発生量が比較的多いため、第２収容室の気体をそのまま第２物品搬送車の外部に排気した場合にクリーンルームのクリーン度が低下し易い。そこで、第２物品搬送車の第２排気部に排気用フィルター部を備えることで、クリーンルームに排出される塵埃を抑えることができ、クリーンルームのクリーン度が低下することを抑制できる。

【0009】

このように、塵埃の発生が比較的少ない第１物品を搬送する第１物品搬送車については、第１排気部にフィルター部を備えず、塵埃の発生が比較的多い第２物品を搬送する第２物品搬送車については、第２排気部に排気用フィルター部を備えることで、製造コストを低く抑えながらクリーンルームのクリーン度が低下することを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】物品搬送設備の平面図

【図2】物品搬送設備の一部を示す側面図

【図3】第１物品の斜視図

【図4】囲み壁体及び気流生成部を示す正面図

【図5】第１物品搬送車の縦断側面図

【図6】第２物品搬送車の縦断側面図

【発明を実施するための形態】

【0011】

１．実施形態
物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備１００は、第１物品搬送車１と第２物品搬送車２と自動倉庫３と処理装置４と洗浄装置５と移載装置６とを備えている。第１物品搬送車１は、第１物品Ｗ１を搬送し、第２物品搬送車２は、第１物品Ｗ１より塵埃の発生量が多い第２物品Ｗ２を搬送する。本実施形態では、第２物品搬送車２は、第１物品搬送車１が走行する走行経路Ｌを走行する。つまり、第１物品搬送車１と第２物品搬送車２とは同じ走行経路Ｌを走行する。

【0012】

図２に示すように、物品搬送設備１００が設置されるクリーンルームＲの天井部には、除塵送風装置８が設置されている。本実施形態では、除塵送風装置８は、ファンとフィルター部とを筐体に組込んでユニット化されたファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵと略称する）を複数設置して構成されている。また、物品搬送設備１００が設置されるクリーンルームＲの床部には、上下方向Ｚに貫通する通気孔が複数形成されたグレーチング床９が設置されている。そして、除塵送風装置８によってクリーンルームＲに吸気された清浄された空気は、天井側から床側に流動してグレーチング床９から排気される。このように、クリーンルームＲには、天井側から床側に向けて空気が下向きに流動するダウンフローが形成されている。第１物品搬送車１及び第２物品搬送車２が走行する走行経路ＬはクリーンルームＲ内に設定されており、第１物品搬送車１及び第２物品搬送車２は、クリーンルームＲ内を走行する。

【0013】

図３に示すように、本実施形態では、複数枚の板状体Ｗを収容した容器Ｃを第１物品Ｗ１及び第２物品Ｗ２としている。詳しくは、複数枚のフォトマスクを収容した容器Ｃを第１物品Ｗ１及び第２物品Ｗ２としている。処理装置４は、板状体Ｗを使用して処理を行う装置である。洗浄装置５は、容器Ｃ及び板状体Ｗを洗浄する装置である。本実施形態では、洗浄装置５で洗浄した後、処理装置４で使用する前の物品を第１物品Ｗ１とし、処理装置４で使用した後、洗浄装置５で洗浄する前の物品を第２物品Ｗ２としている。第１物品Ｗ１は、洗浄装置５で洗浄されることで付着している塵埃が減少している。これに対して、第２物品Ｗ２は、処理装置４で使用されることで塵埃が付着しており、付着している塵埃の数が比較的多い。そのため、第２物品Ｗ２を、第１物品Ｗ１よりも塵埃の発生量が多い物品、としている。

【0014】

次に、第１物品Ｗ１について説明する。尚、第１物品Ｗ１を説明するにあたり、図５に示すように、第１物品Ｗ１が第１物品搬送車１や第２物品搬送車２に収容されている状態に基づいて説明する。尚、第１物品Ｗ１は、状況の変化により第２物品Ｗ２になるものであり、第１物品Ｗ１と第２物品Ｗ２とは同様に構成されているため、第２物品Ｗ２についての説明は省略する。

【0015】

図３に示すように、第１物品Ｗ１の容器Ｃは、板状の天板１１と、複数の板状の底板１２と、複数の連結体１３と、板状体Ｗを支持する複数の支持体１４と、で形成されている。天板１１及び底板１２の夫々には、上下方向Ｚに貫通する貫通孔１５が形成されている。複数の連結体１３は、天板１１と底板１２とを連結する状態で備えられており、容器Ｃの側壁を形成している。容器Ｃは、前後方向Ｘに互いに間隔を空けた状態で備えられた一対の支持体１４に支持した状態で板状体Ｗを収容する。容器Ｃは、一対の支持体１４を上下方向Ｚに並ぶ状態で複数組備えることで、複数枚の板状体Ｗを上下方向Ｚに互いに間隔を空けた状態で収容可能に構成されている。また、図示は省略するが、板状体Ｗは上下方向Ｚに貫通する部分を有する形状に形成されている。

【0016】

容器Ｃの天板１１及び底板１２に貫通孔１５が形成されていると共に、板状体Ｗが上下方向Ｚに貫通する部分を有する形状に形成されていることで、第１物品Ｗ１には、上下方向Ｚに連通する上下連通部１７が形成されている。このように、第１物品Ｗ１は、上下連通部１７を備えており、空気を上下方向Ｚに通気可能に構成されている。尚、上下連通部１７は、上下方向Ｚに連通する連通部に相当する。

【0017】

また、容器Ｃの連結体１３が互いに離間する状態で設置されると共に、板状体Ｗを上下方向Ｚに互いに離間する状態で収容することで、第１物品Ｗ１には、前後方向Ｘに連通する前後連通部１６が形成されている。このように、第１物品Ｗ１は、前後連通部１６を備えており、空気を前後方向Ｘに通気可能に構成されている。尚、前後連通部１６と上下連通部１７とは互いに連通している。

【0018】

図１に示すように、自動倉庫３は、第１物品Ｗ１又は第２物品Ｗ２を搬送するスタッカークレーン２１と、第１物品Ｗ１又は第２物品Ｗ２を収容する収容部を複数備えた物品収容棚２２と、自動倉庫３に入庫する第２物品Ｗ２や自動倉庫３から出庫する第１物品Ｗ１を搬送する入出庫装置２３と、を備えている。スタッカークレーン２１は、入出庫装置２３の設定位置Ｐ１から物品収容棚２２に第２物品Ｗ２を搬送すると共に、物品収容棚２２から洗浄装置５に第２物品Ｗ２を搬送する。また、スタッカークレーン２１は、洗浄装置５から物品収容棚２２に第１物品Ｗ１を搬送すると共に、物品収容棚２２から入出庫装置２３の設定位置Ｐ１に第１物品Ｗ１を搬送する。入出庫装置２３は、入出庫装置２３に対応する位置に停止している第２物品搬送車２から設定位置Ｐ１に第２物品Ｗ２を搬送し、設定位置Ｐ１から入出庫装置２３に対応する位置に停止している第１物品搬送車１に第１物品Ｗ１を搬送する。

【0019】

移載装置６は、移載装置６に対応する位置に停止している第１物品搬送車１から処理装置４に第１物品Ｗ１を移載し、処理装置４から移載装置６に対応する位置に停止している第２物品搬送車２に第２物品Ｗ２を移載する。また、図２に示すように、移載装置６が第１物品Ｗ１や第２物品Ｗ２を移載可能な位置に、第１物品Ｗ１を収容する第１収容部２４と第２物品Ｗ２を収容する第２収容部２５とが備えられている。本実施形態では、第１収容部２４及び第２収容部２５は、上下方向Ｚに沿う上下方向視で、走行経路Ｌを囲む囲み壁体３１と重なる位置に設置されている。これら第１収容部２４及び第２収容部２５は、囲み壁体３１に対して下方側に間隔を空けた状態で設置されている。これら第１収容部２４や第２収容部２５はバッファ用の収容部として用いている。なお、本実施形態において、２つの部材の配置に関して、「特定方向視で重なる」とは、その視線方向に平行な仮想直線を当該仮想直線に直交する各方向に移動させた場合に、当該仮想直線が２つの部材の双方に交わる領域が少なくとも一部に存在することを指す。

【0020】

物品搬送設備１００では、洗浄装置５によって洗浄された第１物品Ｗ１は、自動倉庫３、第１物品搬送車１、及び移載装置６によって処理装置４に搬送され、処理装置４によって使用された第２物品Ｗ２は、移載装置６、第２物品搬送車２、及び自動倉庫３によって、洗浄装置５に搬送される。

【0021】

図４に示すように、物品搬送設備１００は、走行経路Ｌを囲む囲み壁体３１と、囲み壁体３１によって囲まれている内部空間Ｓに上方から下方に向かう気流を生成する気流生成部３２と、を更に備えている。尚、走行経路Ｌが設定されている領域（第１物品搬送車１や第２物品搬送車２が走行する領域）と自動倉庫３が設置されている領域と移載装置６が設置されている領域とは囲み壁体３１等の壁体によって区画されており、各領域での空気の流動が規制されている。

【0022】

気流生成部３２は、囲み壁体３１の上部に設置された壁体吸気部３３と、囲み壁体３１の下部に設置された壁体排気部３４と、を備えている。壁体吸気部３３は、内部空間Ｓを走行する第１物品搬送車１や第２物品搬送車２に対して上方側に設置されている。壁体排気部３４は、内部空間Ｓを走行する第１物品搬送車１や第２物品搬送車２に対して下方側及び左右方向Ｙの両側に設置されている。

【0023】

壁体吸気部３３は、内部空間Ｓの上部において、囲み壁体３１の外部の空気を吸気する。本実施形態では、壁体吸気部３３は、囲み壁体３１の外部から内部空間Ｓの上部に向けて下方に空気を送風する上部送風部３５と、壁体吸気部３３を通気する空気から塵埃を減少させる上部フィルター部３６と、を備えている。本実施形態では、壁体吸気部３３は、囲み壁体３１の上部に設置された複数のＦＦＵによって構成されており、この囲み壁体３１の上部に設置された複数のＦＦＵが、上部送風部３５及び上部フィルター部３６を備えている。

【0024】

壁体排気部３４は、内部空間Ｓの下部の空気を囲み壁体３１の外部に排気する。本実施形態では、壁体排気部３４は、内部空間Ｓの下部から囲み壁体３１の外部に向けて下方に送風する下部送風部３７と、壁体排気部３４を通気する空気から塵埃を減少させる下部フィルター部３８と、を備えている。本実施形態では、壁体排気部３４は、囲み壁体３１の下部に設置された複数のＦＦＵを備えており、この囲み壁体３１の下部に設置されたＦＦＵが、下部送風部３７及び下部フィルター部３８を備えている。更に本実施形態では、壁体排気部３４は、内部空間Ｓの下部と囲み壁体３１の外部とを連通する連通孔３９を備えている。そして、上部送風部３５の単位時間当たりの送風量は、下部送風部３７の単位時間当たりの送風量より多い。そのため、内部空間Ｓは、囲み壁体３１の外部に対して陽圧となっており、囲み壁体３１の下部に設置されたＦＦＵを通って囲み壁体３１の外部に向けて排気されることに加えて、内部空間Ｓの下部の空気が連通孔３９を通って囲み壁体３１の外部に向けて排気されるようになっている。このように、気流生成部３２は、内部空間Ｓの下部から囲み壁体３１の外部に向けて下方に空気を送風する下部送風部３７を備えている。この下部送風部３７は、壁体用送風部に相当する。

【0025】

次に、第１物品搬送車１及び第２物品搬送車２について説明する。図５に示すように、第１物品搬送車１は、第１物品Ｗ１を収容する第１収容室４１と、第１物品搬送車１の外部の空気を第１収容室４１に吸気する第１吸気部４２と、第１収容室４１の空気を第１物品搬送車１の外部に排気する第１排気部４３と、第１収容室４１を囲む第１筐体４７と、を備えている。

【0026】

第１吸気部４２は、第１物品搬送車１の外部から第１収容室４１に向けて送風する第１送風部４４と、第１吸気部４２を通過する空気から塵埃を減少させる第１フィルター部４５と、を備えている。本実施形態では、第１吸気部４２は、第１筐体４７の前部に設置されたＦＦＵによって構成されており、この第１筐体４７の前部に設置されたＦＦＵが、第１送風部４４及び第１フィルター部４５を備えている。第１吸気部４２は、第１収容室４１に収容されている第１物品Ｗ１の前端より前方側Ｘ１に設置されており、第１物品搬送車１の前方から空気を吸気する。第１吸気部４２は、第１収容室４１に収容されている第１物品Ｗ１に対して前後方向Ｘに沿って見た前後方向視で重なる領域に形成されている。本実施形態では、第１送風部４４及び第１フィルター部４５の双方が、第１収容室４１に収容されている第１物品Ｗ１に対して前後方向視で重なるように設置されている。

【0027】

第１排気部４３は、第１収容室４１の下部と第１筐体４７の外部とを連通する多孔状の第１連通部４６を備えている。第１排気部４３は、第１収容室４１に収容されている第１物品Ｗ１の下端より下方側に設置されており、第１物品搬送車１の下方に向けて空気を排気する。尚、本実施形態では、第１排気部４３は、送風部やフィルター部を備えていない。第１排気部４３は、第１収容室４１に収容されている第１物品Ｗ１に対して上下方向視で重なる領域に形成されている。本実施形態では、第１連通部４６を構成する複数の孔の少なくとも一部が、第１収容室４１に収容されている第１物品Ｗ１に対して上下方向視で重なるように設置されている。

【0028】

第１物品搬送車１は、第１吸気部４２によって第１収容室４１に空気を吸気することで、第１収容室４１は第１物品搬送車１の外部に対して陽圧となっている。そのため、第１収容室４１を囲む第１筐体４７に隙間があった場合でも、この隙間からは第１収容室４１から第１物品搬送車１の外部に空気が排気されることになるため、第１物品搬送車１の外部の空気が第１フィルター部４５を通さずに第１収容室４１に入ることを抑制できる。従って、第１収容室４１のクリーン度を高く維持し易い。

【0029】

第２物品搬送車２は、第２物品Ｗ２を収容する第２収容室５１と、第２物品搬送車２の外部の空気を第２収容室５１に吸気する第２吸気部５２と、第２収容室５１の空気を第２物品搬送車２の外部に排気する第２排気部５３と、第２収容室５１を囲む第２筐体５８と、を備えている。

【0030】

第２吸気部５２は、第２物品搬送車２の外部から第２収容室５１に向けて送風する第２送風部５４と、第２吸気部５２を通過する空気から塵埃を減少させる第２フィルター部５５と、を備えている。本実施形態では、第２吸気部５２は、第２筐体５８の前部に設置されたＦＦＵによって構成されており、この第２筐体５８の前部に設置されたＦＦＵが、第２送風部５４及び第２フィルター部５５を備えている。第２吸気部５２は、第２収容室５１に収容されている第２物品Ｗ２の前端より前方側Ｘ１に設置されており、第２物品搬送車２の前方から空気を吸気する。第２吸気部５２は、第２収容室５１に収容されている第２物品Ｗ２に対して前後方向視で重なる領域に形成されている。本実施形態では、第２送風部５４及び第２フィルター部５５の双方が、第２収容室５１に収容されている第２物品Ｗ２に対して前後方向視で重なるように設置されている。

【0031】

第２排気部５３は、第２収容室５１から第２物品搬送車２の外部に向けて送風する第３送風部５６と、第２排気部５３を通過する空気から塵埃を減少させる第３フィルター部５７と、を備えている。本実施形態では、第２排気部５３は、第２物品搬送車２の後部に設置されたＦＦＵによって構成されており、この第２物品搬送車２の後部に設置されたＦＦＵが、第３送風部５６及び第３フィルター部５７を備えている。第２排気部５３は、第２収容室５１に収容されている第２物品Ｗ２より後端より後方側Ｘ２に設置されており、第２物品搬送車２の後方に向けて空気を排気する。第２排気部５３は、第２収容室５１に収容されている第２物品Ｗ２に対して前後方向視で重なる領域に形成されている。本実施形態では、第３送風部５６及び第３フィルター部５７の双方が、第２収容室５１に収容されている第２物品Ｗ２に対して前後方向視で重なるように設置されている。

【0032】

第３送風部５６の単位時間当たりの送風量は、第２送風部５４の単位時間当たりの送風量より多い。本実施形態では、第３送風部５６のファンの回転速度を、第２送風部５４のファンの回転速度より速くすることで、第３送風部５６の単位時間当たりの送風量を、第２送風部５４の単位時間当たりの送風量より多くしている。これにより、第２収容室５１は第２物品搬送車２の外部に対して陰圧となっている。そのため、第２収容室５１を囲む第２筐体５８に隙間があった場合でも、この隙間からは第２物品搬送車２の外部から第２収容室５１に空気が吸気されることになるため、第２収容室５１の空気が第３フィルター部５７を通さずに第２物品搬送車２の外部に出ることを抑制できる。従って、第２物品搬送車２の外部が汚損され難い。

【0033】

２．その他の実施形態
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。

【0034】

（１）上記の実施形態では、第１吸気部４２は、第１物品搬送車１の前方から空気を吸気する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、第１吸気部４２を、第１物品搬送車１の上方から空気を吸気する構成としてもよい。或いは、第１吸気部４２を、横側方等、前方及び上方以外から空気を吸気する構成としてもよい。

【0035】

（２）上記の実施形態では、第１排気部４３は、送風部やフィルター部を備えず、第１物品搬送車１の下方に空気を排気する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、第１排気部４３に、送風部とフィルター部とのうちの何れか一方のみを備える、又は、送風部とフィルター部との双方を備える構成としてもよい。また、第１排気部４３を、第１物品搬送車１の後方に空気を排気する構成としてもよい。或いは、第１排気部４３を、横側方等、下方及び後方以外に空気を排気する構成としてもよい。

【0036】

（３）上記の実施形態では、第２吸気部５２は、第２送風部５４と第２フィルター部５５とを備え、第２物品搬送車２の前方から空気を吸気する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、第２吸気部５２を、第２送風部５４と第２フィルター部５５とのうちの第２送風部５４のみを備える構成としてもよい。また、第２吸気部５２を、第２物品搬送車２の上方から空気を吸気する構成としてもよい。或いは、第２吸気部５２を、横側方等、前方及び上方以外から空気を吸気する構成としてもよい。

【0037】

（４）上記の実施形態では、第２排気部５３は、第２物品搬送車２の後方に向けて空気を排気する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、第２排気部５３を、第２物品搬送車２の下方に空気を排気する構成としてもよい。或いは、第２排気部５３を、横側方等、後方及び下方以外に空気を排気する構成としてもよい。

【0038】

（５）上記の実施形態では、第１物品搬送車１と第２物品搬送車２とが同じ走行経路Ｌを走行する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、第１物品搬送車１と第２物品搬送車２とが異なる走行経路Ｌを走行する構成としてもよい。

【0039】

（６）上記の実施形態では、走行経路Ｌを囲む囲み壁体３１を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、走行経路Ｌが囲み壁体３１で囲まれていない構成としてもよい。

【0040】

（７）上記の実施形態では、第１物品Ｗ１や第２物品Ｗ２を、フォトマスクを収容した容器Ｃとする構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、第１物品Ｗ１及び第２物品Ｗ２の一方又は双方を、ウェハを収容したＦＯＵＰとする構成としてもよく、また、液晶用のガラス基板を収容した容器Ｃとする構成としてもよい。

【0041】

（８）上記の実施形態では、第１物品Ｗ１が処理装置４で使用する前の物品であり、第２物品Ｗ２が処理装置４で使用した後の物品である場合の例について説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、第１物品Ｗ１が物品搬送設備内のみで搬送される物品であり、第２物品Ｗ２が物品搬送設備の外部から物品搬送設備に搬送されてきた物品であってもよい。或いは、第１物品Ｗ１と第２物品Ｗ２とが異なる材質で構成された部材を備え、第２物品Ｗ２が、第１物品Ｗ１が備える部材よりも塵埃を発生させ易い材質の部材を含むものであってもよい。

【0042】

（９）上記した実施形態では、気体を、空気とする構成を例に説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、気体を、窒素の含有率が高い不活性気体等としてもよい。

【0043】

（１０）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0044】

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。

【0045】

物品搬送設備は、クリーンルーム内を走行する第１物品搬送車と第２物品搬送車とを備え、
前記第１物品搬送車は、第１物品を収容する第１収容室と、前記第１物品搬送車の外部の気体を前記第１収容室に吸気する第１吸気部と、前記第１収容室の気体を前記第１物品搬送車の外部に排気する第１排気部と、を備え、前記第１吸気部は、前記第１物品搬送車の外部から前記第１収容室に向けて送風する第１送風部を備え、前記第２物品搬送車は、前記第１物品よりも塵埃の発生量が多い第２物品を収容する第２収容室と、前記第２物品搬送車の外部の気体を前記第２収容室に吸気する第２吸気部と、前記第２収容室の気体を前記第２物品搬送車の外部に排気する第２排気部と、を備え、前記第２吸気部は、前記第２物品搬送車の外部から前記第２収容室に向けて送風する第２送風部を備え、前記第２排気部は、前記第２収容室から前記第２物品搬送車の外部に向けて送風する第３送風部と、前記第２排気部を通過する気体から塵埃を減少させる排気用フィルター部と、を備え、前記第３送風部の単位時間当たりの送風量が、前記第２送風部の単位時間当たりの送風量より多い。

【0046】

本構成によれば、
第１物品搬送車では、第１吸気部によって第１収容室に吸気した気体が第１排気部から排気される。これにより、第１収容室を気体が通気し、第１収容室に収容されている第１物品の周囲を気体が流動することで、第１物品に塵埃が付着することを抑制できる。そして、第１物品は塵埃の発生量が比較的少ないため、第１収容室の気体をそのまま第１物品搬送車の外部に排気したとしてもクリーンルームのクリーン度は低下し難い。そのため、第１物品搬送車の第１排気部にフィルター部を備えなくてもよく、第１物品搬送車の製造コストを低く抑えることができる。

【0047】

また、第２物品搬送車では、第２吸気部によって第２収容室に吸気した気体が第２排気部から排気される。これにより、第２収容室を気体が通気し、第２収容室に収容されている第２物品の周囲に気体が流動することで、第２物品に塵埃が付着することを抑制できる。ところで、第２物品は塵埃の発生量が比較的多いため、第２収容室の気体をそのまま第２物品搬送車の外部に排気した場合にクリーンルームのクリーン度が低下し易い。そこで、第２物品搬送車の第２排気部に排気用フィルター部を備えることで、クリーンルームに排出される塵埃を抑えることができ、クリーンルームのクリーン度が低下することを抑制できる。

【0048】

このように、塵埃の発生が比較的少ない第１物品を搬送する第１物品搬送車については、第１排気部にフィルター部を備えず、塵埃の発生が比較的多い第２物品を搬送する第２物品搬送車については、第２排気部に排気用フィルター部を備えることで、製造コストを低く抑えながらクリーンルームのクリーン度が低下することを抑制できる。

【0049】

ここで、前記第１吸気部は、前記第１送風部に加えて、前記第１吸気部を通過する気体から塵埃を減少させる第１フィルター部を更に備えていると好適である。

【0050】

本構成によれば、第１物品搬送車の外部から第１収容室に進入する塵埃が減少するため、第１収容室に収容されている第１物品が塵埃によって汚損され難い。また、第１吸気部によって第１収容室に気体を吸気することで、第１収容室は第１物品搬送車１の外部に対して陽圧となる。そのため、第１収容室を囲む第１物品搬送車の筐体に隙間があった場合でも、この隙間からは第１収容室から第１物品搬送車の外部に空気が排気されることになるため、第１物品搬送車の外部の空気が第１フィルター部を通さずに第１収容室に入ることを抑制できる。

【0051】

また、前記第２吸気部は、前記第２送風部に加えて、前記第２吸気部を通過する気体から塵埃を減少させる第２フィルター部を更に備えていると好適である。

【0052】

本構成によれば、第２物品搬送車の外部から第２収容室に進入する塵埃が減少するため、第２収容室に収容されている第２物品が塵埃によって汚損され難い。また、第２吸気部と同様に、第１吸気部に、第１送風部に加えて第１フィルター部を備えた場合には、第２物品搬送車の第２吸気部を、第１物品搬送車の第１吸気部に流用することも可能となり、第１物品搬送車の製造コストを低く抑えることができる。

【0053】

また、前記第１物品搬送車が走行する走行経路を囲む囲み壁体と、前記囲み壁体によって囲まれている内部空間に上方から下方に向かう気流を生成する気流生成部と、を更に備え、前記気流生成部は、前記内部空間の下部から前記囲み壁体の外部に向けて下方に気体を送風する壁体用送風部を備え、前記第１排気部は、前記第１物品搬送車の下方に向けて気体を排気すると好適である。

【0054】

本構成によれば、第１排気部から内部空間に排気した気体は、その内部空間に生成されている気流によって下方に流れ、壁体用送風部によって囲み壁体の外部に排気される。そのため、第１排気部から排気した気体が内部空間に留まり難く、内部空間のクリーン度が低下することを抑制できる。

【0055】

また、前記第１物品は、上下方向に連通する連通部を備え、前記第１排気部は、前記第１収容室に収容されている前記第１物品に対して上下方向に沿う上下方向視で重なる領域に形成されていると好適である。

【0056】

本構成によれば、第１収容室の気体は、第１物品の連通部を上方から下方に通気した後、第１排気部から排気され易くなる。よって、第１収容室に収容されている第１物品の周囲を気体が流動し易くなり、第１物品に塵埃が付着することを更に抑制できる。

【0057】

また、前記第２吸気部は、前記第２物品搬送車の前方から気体を吸気し、前記第２排気部は、前記第２物品搬送車の後方に向けて気体を排気すると好適である。

【0058】

本構成によれば、第２吸気部によって第２物品搬送車の前方から第２収容室に吸気された気体は、そのまま後側に流動し、第２排気部によって第２収容室から第２物品搬送車の後方に向けて排気される。このように、気体を前方から吸気して後方に排気させることで、第２吸気部から第２排気部に向けて第２収容室内で気体を流動させ易くすることができる。

【産業上の利用可能性】

【0059】

本開示に係る技術は、物品搬送車を備えた物品搬送設備に利用することができる。

【符号の説明】

【0060】

１：第１物品搬送車
２：第２物品搬送車
１７：上下連通部（連通部）
３１：囲み壁体
３２：気流生成部
３７：下部送風部（壁体用送風部）
４１：第１収容室
４２：第１吸気部
４３：第１排気部
４４：第１送風部
４５：第１フィルター部
５１：第２収容室
５２：第２吸気部
５３：第２排気部
５４：第２送風部
５５：第２フィルター部
５６：第３送風部
５７：第３フィルター部（排気用フィルター部）
１００：物品搬送設備
Ｒ：クリーンルーム
Ｗ１：第１物品
Ｗ２：第２物品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】