特許 7115638 振動装置及び撮像装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-01

(45)【発行日】2022-08-09

(54)【発明の名称】振動装置及び撮像装置

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/06 20060101AFI20220802BHJP

   H02N 2/04 20060101ALI20220802BHJP

【ＦＩ】

B06B1/06 Z

H02N2/04

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2021521540

(86)(22)【出願日】2020-06-25

(86)【国際出願番号】 JP2020024948

(87)【国際公開番号】W WO2021111668

(87)【国際公開日】2021-06-10

【審査請求日】2021-04-20

(31)【優先権主張番号】P 2019221418

(32)【優先日】2019-12-06

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100145403

【弁理士】

【氏名又は名称】山尾 憲人

(74)【代理人】

【識別番号】100132241

【弁理士】

【氏名又は名称】岡部 博史

(74)【代理人】

【識別番号】100183265

【弁理士】

【氏名又は名称】中谷 剣一

(72)【発明者】

【氏名】北森 宣匡

【審査官】中島 亮

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／１３０６２３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００９－０７７５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／１６３１６６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１８／１９８４１７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０６Ｂ １／００－ ３／０４

Ｈ０２Ｎ ２／００－ ２／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

透光体カバーと、
前記透光体カバーを振動させる圧電素子と、
前記圧電素子と接続される１つ又は複数の振動体と、
前記圧電素子に接触し、前記圧電素子に給電する１つ又は複数の給電導体と、
前記１つ又は複数の給電導体を前記圧電素子に対して押圧する１つ又は複数の弾性部と、
を備え、
前記圧電素子は、１つ又は複数の電極を有し、
前記１つ又は複数の振動体には、前記１つ又は複数の電極を露出させる１つ又は複数の溝が設けられており、
前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の溝に配置される、
振動装置。

【請求項2】

前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の給電導体を折り曲げて形成される部分であり、前記１つ又は複数の給電導体を湾曲した板バネ形状を有する、
請求項１に記載の振動装置。

【請求項3】

前記１つ又は複数の給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記１つ又は複数の振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さい、
請求項１又は２に記載の振動装置。

【請求項4】

前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
前記振動体は、前記透光体カバーと前記圧電素子の前記第１面とに接続され、
前記給電導体は、前記圧電素子の前記第１面に接触し、
前記１つ又は複数の弾性部は、前記給電導体を前記圧電素子の前記第１面に押圧し、
前記圧電素子の前記第１面において、
前記接続領域の占める割合は７０％以上であり、
前記接触領域の占める割合は３０％以下である、
請求項３に記載の振動装置。

【請求項5】

前記１つ又は複数の給電導体は、環状部を有し、
前記複数の弾性部は、前記環状部において等間隔で配置されている、
請求項１～４のいずれか一項に記載の振動装置。

【請求項6】

前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
前記複数の給電導体は、前記第１面と接触する第１給電導体と、前記第２面と接触する第２給電導体と、を有し、
前記複数の弾性部は、前記第１給電導体を前記第１面に押圧する１つ又は複数の第１弾性部と、前記第２給電導体を前記第２面に押圧する１つ又は複数の第２弾性部と、のうち少なくともいずれか一方を有する、
請求項１又は２に記載の振動装置。

【請求項7】

前記圧電素子は、環状に形成され、
前記複数の振動体は、前記透光体カバーの底面と前記圧電素子との前記第１面に接続される第１振動体と、前記圧電素子の前記第２面に接続される第２振動体と、を有し、
前記第２給電導体は、前記第１給電導体よりも前記圧電素子の内周側で前記圧電素子に接触する、
請求項６に記載の振動装置。

【請求項8】

前記圧電素子の前記第１面において、前記第１給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第１振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さく、
前記圧電素子の前記第２面において、前記第２給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第２振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さい、
請求項７に記載の振動装置。

【請求項9】

前記圧電素子は、前記第１面に設けられる第１電極と、前記第２面に設けられる第２電極と、を有し、
前記第１振動体には、前記第１電極を露出させる１つ又は複数の第１溝が設けられており、
前記第２振動体には、前記第２電極を露出させる１つ又は複数の第２溝が設けられており、
前記１つ又は複数の第１弾性部は、前記１つ又は複数の第１溝に配置され、
前記１つ又は複数の第２弾性部は、前記１つ又は複数の第２溝に配置される、
請求項７又は８に記載の振動装置。

【請求項10】

前記第１給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第１支持部を有し、前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第１支持部との間に前記圧電素子を保持する、
請求項９に記載の振動装置。

【請求項11】

前記第２給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第２支持部を有し、前記１つ又は複数の第２弾性部と前記１つ又は複数の第２支持部との間に前記圧電素子を保持する、
請求項９又は１０に記載の振動装置。

【請求項12】

前記複数の第２弾性部は、前記複数の第１弾性部の間に配置されている、
請求項６～１１のいずれか一項に記載の振動装置。

【請求項13】

前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第２弾性部とは、前記圧電素子の厚み方向において対向して配置されている、
請求項６に記載の振動装置。

【請求項14】

前記１つ又は複数の振動体は、金属で形成されており、
前記１つ又は複数の振動体は、絶縁材料で覆われている、
請求項１～１３のいずれか一項に記載の振動装置。

【請求項15】

請求項１～１４のいずれか一項に記載の振動装置と、
前記振動装置内に配置される撮像素子と、
を備える、撮像装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動によって液滴などを除去する振動装置及び撮像装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、圧電バイモルフ型のアクチュエータと力検出センサとを複合した圧電複合装置が開示されている。特許文献１に記載の装置は、圧電素子の給電用の電極に引き出し線を半田付けしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００６－４８３０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の装置では、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させるという観点において未だ改善の余地がある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一態様の振動装置は、
透光体カバーと、
前記透光体カバーを振動させる圧電素子と、
前記圧電素子と接続される１つ又は複数の振動体と、
前記圧電素子に接触し、前記圧電素子に給電する１つ又は複数の給電導体と、
前記１つ又は複数の給電導体を前記圧電素子に対して押圧する１つ又は複数の弾性部と、
を備える。

【0006】

本発明の一態様の撮像装置は、
前記態様の振動装置と、
前記振動装置内に配置される撮像素子と、
を備える。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させた振動装置及び撮像装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明に係る実施の形態１の振動装置の一例の構成を示す概略図である。

【図2】本発明に係る実施の形態１の振動装置の一例を示す分解斜視図である。

【図3】本発明に係る実施の形態１の振動装置の一例の部分拡大図である。

【図4】本発明に係る実施の形態１における給電導体の一例を下から見た概略図である。

【図5】圧電素子の第１面における第１振動体の接着面積の割合と最大変位量比との関係の一例を示す図である。

【図6A】本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図6B】本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図6C】本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図6D】本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図7】本発明に係る実施の形態２の振動装置の一例を示す分解斜視図である。

【図8A】本発明に係る実施の形態２の振動装置の一例の第１弾性部における部分拡大断面図である。

【図8B】本発明に係る実施の形態２の振動装置の一例の第２弾性部における部分拡大断面図である。

【図9】本発明に係る実施の形態２における給電導体の一例を上から見た概略図である。

【図10A】本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図10B】本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図10C】本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図11】本発明に係る実施の形態３の振動装置の一例の部分拡大断面図である。

【図12A】本発明に係る実施の形態３の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図12B】本発明に係る実施の形態３の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【図13】本発明に係る実施の形態４の振動装置の一例の部分拡大断面図である。

【図14】本発明に係る実施の形態５の撮像装置の構成の一例を示す概略図である。

【図15】他の実施形態の振動装置における第１給電導体の一例を下から見た概略図である。

【図16】他の実施形態の振動装置における第２給電導体の一例を上から見た概略図である。

【図17】他の実施形態の振動装置の構成の一例を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（本発明に至った経緯）
特許文献１に記載の装置は、圧電素子の給電用の電極に、引き出し線である給電導体を半田付けすることによって、圧電素子と給電導体とを接続している。特許文献１に記載の装置は、給電導体を介して圧電素子に給電することによって、圧電素子を振動させている。

【0010】

しかしながら、圧電素子と給電導体とは半田付けによって接続されているため、圧電素子の振動によって、圧電素子と給電導体との接続部分に応力が加わり、接続部分が破断される場合がある。

【0011】

また、圧電素子と給電導体とを導電性接着剤で接着することによって接続する方法もある。しかしながら、圧電素子と給電導体とを導電性接着剤で接着する場合、導電性を確保するために、接着剤は、導電フィラーなどの導電材料を含んでいる。導電材料は、接着性を有していない。このため、導電性接着剤による接着では、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることが難しい。

【0012】

そこで、本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討したところ、弾性部によって給電導体を圧電素子に押圧し、給電導体と圧電素子とを電気的に接続する構成を見出し、以下の発明に至った。

【0013】

本発明の一態様の振動装置は、
透光体カバーと、
前記透光体カバーを振動させる圧電素子と、
前記圧電素子と接続される１つ又は複数の振動体と、
前記圧電素子に接触し、前記圧電素子に給電する１つ又は複数の給電導体と、
前記１つ又は複数の給電導体を前記圧電素子に対して押圧する１つ又は複数の弾性部と、
を備える。

【0014】

このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。

【0015】

前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の給電導体を折り曲げて形成される部分であり、前記１つ又は複数の給電導体を湾曲した板バネ形状を有していてもよい。

【0016】

このような構成により、給電導体を圧電素子に押圧し、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。

【0017】

前記１つ又は複数の給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記１つ又は複数の振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さくてもよい。

【0018】

このような構成により、圧電素子の振動が低減することを抑制しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。

【0019】

前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
前記振動体は、前記透光体カバーと前記圧電素子の前記第１面とに接続され、
前記給電導体は、前記圧電素子の前記第１面に接触し、
前記１つ又は複数の弾性部は、前記給電導体を前記圧電素子の前記第１面に押圧し、
前記圧電素子の前記第１面において、前記接続領域の占める割合は、７０％以上であり、前記接触領域の占める割合は、３０％以下であってもよい。

【0020】

このような構成により、圧電素子の振動が低減することを更に抑制しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0021】

前記圧電素子は、１つ又は複数の電極を有し、
前記１つ又は複数の振動体には、前記１つ又は複数の電極を露出させる１つ又は複数の溝が設けられており、
前記１つ又は複数の弾性部は、前記１つ又は複数の溝に配置されていてもよい。

【0022】

このような構成により、給電導体を圧電素子に容易に押圧することができ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。

【0023】

前記１つ又は複数の給電導体は、環状部を有し、
前記複数の弾性部は、前記環状部において等間隔で配置されていてもよい。

【0024】

このような構成により、圧電素子に給電導体をバランスよく接触させることができ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0025】

前記圧電素子は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、を有し、
前記複数の給電導体は、前記第１面と接触する第１給電導体と、前記第２面と接触する第２給電導体と、を有し、
前記複数の弾性部は、前記第１給電導体を前記第１面に押圧する１つ又は複数の第１弾性部と、前記第２給電導体を前記第２面に押圧する１つ又は複数の第２弾性部と、のうち少なくともいずれか一方を有していてもよい。

【0026】

このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0027】

前記圧電素子は、環状に形成され、
前記複数の振動体は、前記透光体カバーの底面と前記圧電素子との前記第１面に接続される第１振動体と、前記圧電素子の前記第２面に接続される第２振動体と、を有し、
前記第２給電導体は、前記第１給電導体よりも前記圧電素子の内周側で前記圧電素子に接触していてもよい。

【0028】

このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0029】

前記圧電素子の前記第１面において、前記第１給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第１振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さく、
前記圧電素子の前記第２面において、前記第２給電導体と前記圧電素子との接触領域は、前記第２振動体と前記圧電素子との接続領域よりも小さくてもよい。

【0030】

このような構成により、圧電素子の振動が低減することを更に抑制しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。

【0031】

前記圧電素子は、前記第１面に設けられる第１電極と、前記第２面に設けられる第２電極と、を有し、
前記第１振動体には、前記第１電極を露出させる１つ又は複数の第１溝が設けられており、
前記第２振動体には、前記第２電極を露出させる１つ又は複数の第２溝が設けられており、
前記１つ又は複数の第１弾性部は、前記１つ又は複数の第１溝に配置され、
前記１つ又は複数の第２弾性部は、前記１つ又は複数の第２溝に配置されていてもよい。

【0032】

このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0033】

前記第１給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第１支持部を有し、前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第１支持部との間に前記圧電素子を保持していてもよい。

【0034】

このような構成により、圧電素子を第１給電導体によって挟持し、圧電素子と第１給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0035】

前記第２給電導体は、前記圧電素子の厚み方向と交差する方向に延びる１つ又は複数の第２支持部を有し、前記１つ又は複数の第２弾性部と前記１つ又は複数の第２支持部との間に前記圧電素子を保持していてもよい。

【0036】

このような構成により、圧電素子を第２給電導体によって挟持し、圧電素子と第２給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0037】

前記複数の第２弾性部は、前記複数の第１弾性部の間に配置されていてもよい。

【0038】

このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0039】

前記１つ又は複数の第１弾性部と前記１つ又は複数の第２弾性部とは、前記圧電素子の厚み方向において対向して配置されていてもよい。

【0040】

このような構成により、圧電素子を第１弾性部と第２弾性部とによって挟持し、圧電素子と第２給電導体との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0041】

前記１つ又は複数の振動体は、金属で形成されており、
前記１つ又は複数の振動体は、絶縁材料で覆われていてもよい。

【0042】

このような構成により、製造コストを低減しつつ、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。

【0043】

本発明の一態様の撮像装置は、
前記態様の振動装置と、
前記振動装置内に配置される撮像素子と、
を備える。

【0044】

このような構成により、圧電素子と給電導体との接続の信頼性を向上させることができる。

【0045】

以下、本発明の一実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

【0046】

（実施の形態１）
［全体構成］
図１は、本発明に係る実施の形態１の振動装置１Ａの一例の構成を示す概略図である。図２は、本発明に係る実施の形態１の振動装置１Ａの一例を示す分解斜視図である。図３は、本発明に係る実施の形態１の振動装置１Ａの一例の部分拡大図である。図４は、本発明に係る実施の形態１における給電導体６の一例を下から見た概略図である。なお、図中のＸ，Ｙ，Ｚ方向は、それぞれ、振動装置１Ａの縦方向、横方向、高さ方向を示す。

【0047】

図１－図４に示すように、振動装置１Ａは、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、及び給電導体６を備える。振動装置１Ａにおいては、給電導体６に複数の弾性部７が設けられている。実施の形態１では、複数の振動体４，５は、第１振動体４及び第２振動体５を含む。給電導体６には、２つの弾性部７が設けられている。なお、振動装置１Ａは、給電導体６に電力を供給する給電回路、及び給電回路を制御する制御部を備えていてもよい。

【0048】

振動装置１Ａは、透光体カバー２を振動させることによって、透光体カバー２に付着した液滴などを霧化して除去する。また、振動装置１Ａは、透光体カバー２を振動させることによって、透光体カバー２に付着した異物等を移動させる。例えば、振動装置１Ａは、内部空間に配置された撮像素子の視野内から透光体カバー２に付着した液滴及び／又は異物を除去する。なお、異物とは、例えば、砂、石及び／又は埃などを含む。

【0049】

内部空間は、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、及び給電導体６により形成されている。この内部空間には、撮像素子などの光学検出素子が配置される。なお、本明細書において、内部空間は密閉された空間には限られない。一部が外部に開いた空間も内部空間とする。

【0050】

以下において、振動装置１Ａの構成の詳細について説明する。

【0051】

＜透光体カバー＞
透光体カバー２は、振動装置１Ａの外装を形成している。透光体カバー２は、撮像素子などの光学検出素子が検出する波長のエネルギー線又は光が透過する透光性を有する。

【0052】

透光体カバー２を形成する材料としては、例えば、透光性のプラスチック、石英、ホウ桂酸などのガラス、又は透光性のセラミックなどを用いることができる。

【0053】

透光体カバー２は、ドーム状の形状を有する。透光体カバー２の平面視における形状は円形である。透光体カバー２は、第１振動体４に接続される。具体的には、透光体カバー２は底面２ａを有する。底面２ａは、第１振動体４の上面に接続される。なお、透光体カバー２の形状は、これに限定されない。例えば、透光体カバー２は、平板状であってもよい。透光体カバー２の平面視における形状は、例えば、多角形、楕円形、三角形などであってもよい。本明細書において、平面視とはＺ方向から見る方向をいう。

【0054】

＜圧電素子＞
圧電素子３は、透光体カバー２を振動させる。圧電素子３は、複数の振動体４，５に接続されている。また、圧電素子３は、給電導体６に接続されている。例えば、圧電素子３は、複数の弾性部７を介して給電導体６に接続されている。圧電素子３は、給電導体６から給電されることによって振動する。

【0055】

圧電素子３は、第１面ＰＳ１と、第１面ＰＳ１と反対側の第２面ＰＳ２と、を有する。具体的には、圧電素子３は板状に形成されており、第１面ＰＳ１と第２面ＰＳ２とはＺ方向において対向している。圧電素子３の第１面ＰＳ１側には、第１振動体４が配置されている。圧電素子３の第２面ＰＳ２側には、第２振動体５が配置されている。

【0056】

圧電素子３は、圧電体３ａと、第１面ＰＳ１側に設けられる電極３ｂと、を有する。

【0057】

圧電体３ａを形成する材料としては、例えば、ＰＺＴ、（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ_３などの適宜の圧電セラミックス、又はＬｉＴａＯ_３、ＬｉＮｂＯ_３などの適宜の圧電単結晶などを用いることができる。圧電体３ａは、例えば、円環状に形成されている。なお、圧電体３ａの形状は、これに限定されない。

【0058】

電極３ｂは、例えば、円環状に形成されている。電極３ｂは、圧電素子３の第１面ＰＳ１において外周側に設けられている。電極３ｂは、例えば、Ｎｉ電極であってもよい。あるいは、電極３ｂは、スパッタリング法により形成される、Ａｇ又はＡｕなどの金属薄膜からなる電極であってもよい。電極３ｂは、給電導体６に接続されている。電極はスパッタリングの他、めっき、蒸着でも形成可能である。

【0059】

＜複数の振動体＞
複数の振動体４，５は、圧電素子３に接続され、圧電素子３の振動を増幅する。第１振動体４は、透光体カバー２と圧電素子３との間に配置されている。第２振動体５は、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に配置されている。

【0060】

第１振動体４は、透光体カバー２の底面２ａと圧電素子３の第１面ＰＳ１とに接続されている。具体的には、第１振動体４は、接続領域９ａを介して圧電素子３の第１面ＰＳ１に接続されている。例えば、第１振動体４は、接続領域９ａに塗布された接着剤によって接着されている。

【0061】

第１振動体４は、円筒状に形成されている。第１振動体４は、Ｚ方向に延びる円筒形状を有する。具体的には、第１振動体４は、筒状体４ａと、筒状体４ａの上面側において、筒状体４ａの中心側に向かって突設する天板４ｂと、筒状体４ａの下面側で外周側に向かって突設するフランジ部４ｃと、を有する。

【0062】

天板４ｂは、円環状の板材で形成されている。また、天板４ｂの下面には、給電導体６が配置される溝８が設けられている。溝８は、円環状に窪んで形成されている。具体的には、溝８は、天板４ｂの厚み方向（Ｚ方向）に窪んで形成されている。溝８の深さは、給電導体６の厚みより大きい。

【0063】

溝８は、圧電素子３の第１面ＰＳ１の一部を露出させている。溝８は、圧電素子３の第１面ＰＳ１側に設けられた電極３ｂを第１振動体４から露出させている。

【0064】

第２振動体５は、圧電素子３の第２面ＰＳ２に接続されている。具体的には、第２振動体５は、接続領域９ｂを介して圧電素子３の第２面ＰＳ２に接続されている。例えば、第２振動体５は、接続領域９ｂに塗布された接着剤によって接着されている。

【0065】

第２振動体５は、円筒状に形成されている。具体的には、第２振動体５の外径は、第１振動体４の筒状体４ａの内径より小さい。第２振動体５は、第１振動体４の内側に配置される。

【0066】

第１振動体４及び第２振動体５を形成する材料は、例えば、金属、又はガラス、セラミックである。

【0067】

実施の形態１では、第１振動体４及び第２振動体５は金属で形成されている。また、第１振動体４及び第２振動体５は、絶縁材料で覆われている。

【0068】

＜給電導体＞
給電導体６は、圧電素子３に接触し、圧電素子３に給電する。給電導体６は、圧電素子３の第１面ＰＳ１側に接触する。

【0069】

給電導体６は、環状部６ａと、複数のガイド６ｂと、を有する。

【0070】

環状部６ａは、円環状に形成されている。また、環状部６ａは、板状の部材で形成されている。環状部６ａは、第１振動体４の溝８に配置される。

【0071】

複数のガイド６ｂは、環状部６ａから延びる板状の部材である。複数のガイド６ｂは、第１振動体４の筒状体４ａの内周に沿ってＺ方向に延び、且つ第１振動体４の外周側に向かって延びている。言い換えると、複数のガイド６ｂは、第１振動体４の筒状体４ａの内周に沿って延び、且つ筒状体４ａの下面においてフランジ部４ｃ側に向かって屈曲している。

【0072】

実施の形態１では、２つのガイド６ｂが環状部６ａに設けられている。２つのガイド６ｂは、環状部６ａにおいてＸ方向に対向して設けられている。

【0073】

給電導体６は、導電性を有する材料で形成されている。給電導体６を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。あるいは、絶縁材料表面に金属メッキ等導電性を施した構成でもよい。

【0074】

給電導体６は、例えば、給電回路に接続されている。給電回路は、給電導体に電力を供給する。給電回路は、例えば、半導体素子によって構成される。給電回路は、例えば、制御部によって制御される。制御部は、例えば、プログラムを記憶したメモリと、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などのプロセッサに対応する処理回路を備える。例えば、制御部においては、プロセッサがメモリに記憶されたプログラムを実行する。

【0075】

＜複数の弾性部＞
複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に対して押圧する。具体的には、複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３の第１面ＰＳ１に設けられた電極３ｂに対して押圧する。

【0076】

「給電導体６を圧電素子３に対して押圧する」は、給電導体６の一部を弾性部７として形成し、弾性部７を圧電素子３に接触させることを含む。また、「給電導体６を圧電素子３に対して押圧する」は、給電導体６とは別体で弾性部７を形成し、弾性部７によって給電導体６を圧電素子３に押圧して接触させること、を含む。

【0077】

実施の形態１では、複数の弾性部７は、給電導体６の一部で形成されている。複数の弾性部７が、圧電素子３の電極３ｂに対して力を加えながら接触することによって、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとを電気的に接続している。

【0078】

図３に戻って、弾性部７は、給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６を湾曲した板バネ形状を有する。具体的には、弾性部７は、給電導体６の環状部６ａから中心側に向かって突出する板状部材をＵ字状に湾曲させることによって形成されている。

【0079】

弾性部７は、例えば、０．２ｍｍの厚みの板状部材で形成されている。弾性部７は、給電導体６と同じ材料で形成されている。弾性部７を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。あるいは、接続箇所のみ金属を露出させる構成でもよい。

【0080】

具体的には、弾性部７は、第１板状部７ａと、第１板状部７ａと間隔を有して対向する第２板状部７ｂと、第１板状部７ａと第２板状部７ｂとを接続する湾曲部７ｃと、を備える。

【0081】

第１板状部７ａは、Ｙ方向に延びている。第２板状部７ｂは、第１板状部７ａに対してＺ方向に間隔を有して対抗し、Ｙ方向に延びている。また、第２板状部７ｂは、圧電素子３の電極３ｂに接触している。湾曲部７ｃは、板状部材を湾曲して形成される。例えば、湾曲部７ｃは、板状部材をＹ方向においてＵ字状に湾曲して形成される。湾曲部７ｃの一端は、第１板状部７ａに接続される。湾曲部７ｃの他端は、第２板状部７ｂに接続される。

【0082】

第１板状部７ａは、第１振動体４の溝８の凹面で支持されている。第２板状部７ｂは、圧電素子３の電極３ｂに接触する。湾曲部７ｃは、第２板状部７ｂを圧電素子３の電極３ｂに対して押圧する。例えば、湾曲部７ｃは、振動装置１Ａの高さ方向（Ｚ方向）において、第２板状部７ｂを第１板状部７ａから離れる方向に力を加えている。これにより、湾曲部７ｃは、第１板状部７ａと第２板状部７ｂとの間隔を広げる方向に力を加えることができる。その結果、第２板状部７ｂが圧電素子３の電極３ｂに押圧される。

【0083】

このように、弾性部７は、給電導体６の一部で形成されており、給電導体６を圧電素子３の電極３ｂに押圧している。これにより、圧電素子３が振動した場合でも、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとの電気的な接続が破断されることを抑制することができる。

【0084】

実施の形態１では、２つの弾性部７が、環状部６ａにおいてＹ方向に対向して設けられている。また、２つの弾性部７は、２つのガイド６ｂの間に設けられている。

【0085】

なお、弾性部７の形状、数及び配置位置は、これに限定されない。弾性部７は、後述する様々な形状、数及び配置を採用することができる。また、弾性部７は、給電導体６の一部で形成される例について説明したが、これに限定されない。弾性部７は、給電導体６と別体で形成されていてもよい。

【0086】

次に、圧電素子３の第１面ＰＳ１における第１振動体４の接続領域９ａと、給電導体６の接触領域との関係について説明する。なお、第１振動体４の接続領域９ａとは、接着剤によって第１振動体４と圧電素子３とが接着されている領域である。給電導体６の接触領域とは、圧電素子３の電極３ｂが形成されている領域である。なお、接続領域９ａは、電極が形成されていてもよいし、電極が形成されていなくてもよい。

【0087】

図５は、圧電素子３の第１面ＰＳ１における第１振動体４の接続領域９ａの割合と最大変位量比との関係の一例を示す図である。なお、圧電素子３の第１面ＰＳ１における第１振動体４の接続領域９ａの割合とは、圧電素子３の第１面ＰＳ１の面積に対する接続領域９ａの面積の占める割合を意味する。例えば、第１振動体４の接続領域の割合が８０％である場合、給電導体６の接触領域は２０％である。最大変位量比とは、変位量１００％を基準として算出される最大変位量の割合を意味する。最大変位量比が大きいほど、振動が大きいことを意味している。

【0088】

図５に示すように、圧電素子３の第１面ＰＳ１において、給電導体６と圧電素子３との接触領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。言い換えると、圧電素子３の第１面ＰＳ１において、電極３ｂの形成されている領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。

【0089】

具体的には、圧電素子３の第１面ＰＳ１において、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合が７０％以上であることが好ましい。これにより、最大変位量比を０．８以上で維持することができる。あるいは、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合が７５％以上であることが好ましい。これにより、最大変位量比を１以上で維持することができる。また、圧電素子３の第１面ＰＳ１には、電極３ｂが形成される領域を確保するために、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合が９５％以下であることが好ましい。

【0090】

このように、圧電素子３の第１面ＰＳ１においては、好ましくは、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合は７０％以上である。より好ましくは、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合は７５％である。圧電素子３の第１面ＰＳ１においては、好ましくは、給電導体６の接触領域の占める割合は３０％以下である。より好ましくは、給電導体６の接触領域の占める割合は２５％以下である。

【0091】

［動作］
次に、振動装置１Ａの動作の一例について説明する。

【0092】

振動装置１Ａにおいて、制御部は、給電回路を制御することによって、給電導体６に電力を供給する。これにより、給電回路は、給電導体６を介して圧電素子３に給電する。

【0093】

圧電素子３は、給電回路による給電によって振動する。圧電素子３の振動は、第１振動体４及び第２振動体５によって増幅される。振動装置１Ａは、圧電素子３の振動により、透光体カバー２を振動させ、透光体カバー２に付着した液滴及び／又は異物を除去する。

【0094】

振動装置１Ａにおいて、給電導体６は、複数の弾性部７によって圧電素子３の電極３ｂに押圧されている。これにより、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとの接続が破断されることを抑制している。

【0095】

［効果］
実施の形態１に係る振動装置１Ａによれば、以下の効果を奏することができる。

【0096】

振動装置１Ａは、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、給電導体６、及び複数の弾性部７を備える。圧電素子３は、透光体カバー２を振動させる。複数の振動体４，５は、圧電素子３と接続される。給電導体６は、圧電素子３に接触し、圧電素子３に給電する。複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に対して押圧する。このような構成により、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。

【0097】

複数の弾性部７は、給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６を湾曲した板バネ形状を有する。このような構成により、給電導体６を圧電素子３に容易に押圧することができ、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。また、複数の弾性部７を給電導体６の一部で構成することができ、別体で弾性体を設ける場合と比べて、製造コストを低減することができる。

【0098】

給電導体６と圧電素子３との接触領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。このような構成により、複数の弾性部７による振動の減衰を抑制しつつ、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。

【0099】

圧電素子３は、第１面ＰＳ１と、第１面ＰＳ１と反対側の第２面ＰＳ２と、を有する。第１振動体４は、透光体カバー２と圧電素子３の第１面ＰＳ１とに接続される。給電導体６は、圧電素子３の第１面ＰＳ１に接触する。複数の弾性部７は、給電導体６を圧電素子３の第１面ＰＳ１に押圧する。圧電素子３の第１面ＰＳ１において、第１振動体４の接続領域９ａの占める割合は７０％以上であり、給電導体６の接触領域の占める割合は３０％以下である。このような構成により、複数の弾性部７による振動の減衰を更に抑制しつつ、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。

【0100】

圧電素子３は電極３ｂを有する。第１振動体４には、電極３ｂを露出させる溝８が設けられている。複数の弾性部７は、溝８に配置される。このような構成により、複数の弾性部７によって給電導体６を容易に押圧することができる。溝８内で、複数の弾性部７によって給電導体６を電極３ｂに押圧しながら接触させることによって、給電導体６と圧電素子３との剥離を抑制しやすくなる。これにより、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0101】

複数の振動体４，５は、金属で形成されている。複数の振動体４，５は、絶縁材料で覆われている。このような構成により、複数の振動体４，５を安価に製造できると共に、電気的な安全性を保つことができる。

【0102】

なお、実施の形態１では、振動装置１Ａが１つの円環状の圧電素子３を備える例について説明したが、これに限定されない。例えば、振動装置１Ａは、矩形状、円形状、多角形状又は楕円形状の複数の圧電素子を有していてもよい。この場合、複数の圧電素子は、例えば、円環状に並べられて配置されてもよい。あるいは、複数の圧電素子は、透光体カバー２の形状に応じて配置されてもよい。

【0103】

実施の形態１では、振動装置１Ａが複数の振動体４，５を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ａは、１つ又は複数の振動体を備えていればよい。例えば、振動装置１Ａは、透光体カバー２と圧電素子３とに接続される１つの振動体を有していてもよい。

【0104】

実施の形態１では、振動装置１Ａが１つの給電導体６を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ａは、１つ又は複数の給電導体を備えていればよい。

【0105】

実施の形態１では、振動装置１Ａが複数の弾性部７を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ａは１つ又は複数の弾性部７を備えていればよい。

【0106】

実施の形態１では、電極３ｂが圧電素子３の第１面ＰＳ１上の外周側に設けられる例について説明したが、これに限定されない。電極３ｂは、圧電素子３と給電導体６とが接触する位置に設けられていればよい。例えば、電極３ｂは、圧電素子３の第１面ＰＳ１上の内周側に設けられていてもよい。あるいは、電極３ｂは、圧電素子３の第２面ＰＳ２上に設けられていてもよい。

【0107】

実施の形態１では、電極３ｂが円環状に形成されている例について説明したが、これに限定されない。電極３ｂは、給電導体６と接触する部分に設けられていればよい。例えば、矩形状を有する複数の電極３ｂが圧電素子３の第１面ＰＳ１に設けられていてもよい。

【0108】

実施の形態１では、給電導体６が圧電素子３の第１面ＰＳ１側に接触する例について説明したが、これに限定されない。例えば、給電導体６は、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触していてもよい。この場合、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に電極３ｂが形成されていてもよい。

【0109】

実施の形態１では、第１振動体４に設けられる溝８が円環状に設けられている例について説明したが、これに限定されない。第１振動体４には、複数の弾性部７が配置される空間を有する１つ又は複数の溝８が形成されていればよい。また、１つ又は複数の溝８は、電極３ｂを第１振動体４から露出させていればよい。

【0110】

実施の形態１では、複数の弾性部７が給電導体６の環状部６ａ上でＹ方向に対向して配置される例について説明したが、これに限定されない。複数の弾性部７は、給電導体６の環状部６ａ上でランダムに配置されていてもよい。

【0111】

実施の形態１では、弾性部７が給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６をＵ字状に湾曲した板バネ形状を有する例について説明したが、これに限定されない。弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に押圧させて接触させる形状を有していればよい。例えば、弾性部７は給電導体６をコイル状に折り曲げて形成してもよい。弾性部７は、Ｖ字状、Ｗ字状などの形状を有していてもよい。

【0112】

図６Ａ－図６Ｄは、本発明に係る実施の形態１の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。

【0113】

図６Ａに示す振動装置１ＡＡにおいて、弾性部７Ａは、給電導体６を折り曲げて形成される部分であり、給電導体６を湾曲した板バネ形状を有する。弾性部７Ａは、第３板状部７ｄ、第３板状部７ｄと間隔を有して配置される第４板状部７ｅと、第３板状部７ｄと第４板状部７ｅとを接続する湾曲部７ｆと、を備える。

【0114】

第３板状部７ｄは、Ｙ方向に延びている。第４板状部７ｅは、第３板状部７ｄと同じ高さでＹ方向に延びている。第３板状部７ｄと第４板状部７ｅとは、間隔を有して配置されている。湾曲部７ｆは、板状部材をＺ方向においてＵ字状に湾曲して形成される。湾曲部７ｆの一端は、第３板状部７ｄの端部に接続される。湾曲部７ｆの他端は、第４板状部７ｅの端部に接続される。湾曲部７ｆは、圧電素子３の電極３ｂに接触している。

【0115】

湾曲部７ｆは、第３板状部７ｄと第４板状部７ｅとの間隔を狭める方向に力を加えながら、圧電素子３の電極３ｂに接触している。これにより、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとを電気的に接続している。

【0116】

図６Ｂに示す振動装置１ＡＢにおいて、弾性部７Ｂは、給電導体６の一部で形成されており、環状部６ａの内周からＹ方向に延びる板状部材で形成されている。振動装置１ＡＢは、弾性部７Ｂから圧電素子３側に突出する凸部６ｃを有している。凸部６ｃは、導電性を有する弾性材料で形成されている。凸部６ｃは、例えば、金属体を蒸着、スパッタ、メッキ等を行うことによって形成することができる。凸部６ｃは、例えば、半球形状を有する。凸部６ｃは、溝８内において、弾性部７Ｂと圧電素子３の電極３ｂとの間に配置されている。これにより、給電導体６と圧電素子３とを電気的に接続している。なお、凸部６ｃと圧電素子３の電極３ｂとの間には、導電シートが配置されてもよい。

【0117】

図６Ｃに示す振動装置１ＡＣにおいて、弾性部７Ｃは、給電導体６の一部で形成されており、環状部６ａの内周からＹ方向に延びる板状部材で形成されている。振動装置１ＡＣは、第１振動体４に設けられた溝８を画定する壁面から突出する凸部４ｄを有する。凸部４ｄは、例えば、半球形状を有する。凸部４ｄは、溝８の凹面と弾性部７Ｃとの間に配置されている。これにより、弾性部７Ｃを圧電素子３の電極３ｂに押圧し、給電導体６と圧電素子３とを電気的に接続している。

【0118】

図６Ｄに示す振動装置１ＡＤにおいて、弾性部７Ｄは、給電導体６の一部で形成されており、環状部６ａの内周からＹ方向に延びる板状部材で形成されている。振動装置１ＡＤは、圧電素子３に設けられた凸部３ｄを有する。凸部３ｄは、圧電素子３の電極３ｂに設けられている。凸部３ｄは、例えば、半球形状を有する。凸部４ｄは、弾性部７Ｄと圧電素子３との間に配置されている。これにより、給電導体６と圧電素子３とを電気的に接続している。

【0119】

なお、弾性部７は、給電導体６の一部で形成される例について説明したが、これに限定されない。弾性部７は、給電導体６を圧電素子３に押圧して接触させることができればよい。弾性部７は、給電導体６と別体で構成されていてもよい。例えば、弾性部７は、溝８内において、給電導体６と圧電素子３の電極３ｂとの間に配置される導電性の弾性部材であってもよい。

【0120】

（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る振動装置について説明する。なお、実施の形態２では、主に実施の形態１と異なる点について説明する。実施の形態２においては、実施の形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態２では、実施の形態１と重複する記載は省略する。

【0121】

図７は、本発明に係る実施の形態２の振動装置１Ｂの一例を示す分解斜視図である。図８Ａは、本発明に係る実施の形態２の振動装置１Ｂの一例の第１弾性部７における部分拡大断面図である。図８Ｂは、本発明に係る実施の形態２の振動装置１Ｂの一例の第２弾性部１１における部分拡大断面図である。図９は、本発明に係る実施の形態２における第２給電導体１０の一例を上から見た概略図である。

【0122】

実施の形態２においては、実施の形態１の圧電素子３の電極３ｂ、給電導体６、弾性部７及び溝８を、それぞれ、第１電極３ｂ、第１給電導体６、第１弾性部７及び第１溝８と称する。

【0123】

実施の形態２では、第２給電導体１０及び複数の第２弾性部１１を備えている点、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２電極３ｃが設けられている点、第２振動体５に第２溝１２が設けられている点で、実施の形態１と異なる。

【0124】

図７－図９に示すように、振動装置１Ｂは、実施の形態１の振動装置１Ａの構成に加えて、第２給電導体１０及び複数の第２弾性部１１を備える。実施の形態２では、２つの第２弾性部１１が第２給電導体１０に設けられている。２つの第１弾性部７がＹ方向に対向して配置されているのに対し、２つの第２弾性部１１はＸ方向に対向して配置されている。

【0125】

図８Ａに示す振動装置１Ｂの構成と、実施の形態１の図３に示す振動装置１Ａの構成とは、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２電極３ｃが設けられている点と、第２振動体５に第２電極３ｃを露出させる第２溝１２が設けられている点と、を除いて同様である。

【0126】

第２電極３ｃは、第２給電導体１０と接触する。第２電極３ｃは、圧電素子３の第２面ＰＳ２上で圧電素子３の内周側に設けられている。第２電極３ｃは、圧電素子３の第２面ＰＳ２において、円環状に形成されている。圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２電極３ｃが形成されている領域は、第２振動体５の接続領域９ｂより小さい。言い換えると、圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２給電導体１０と圧電素子３との接触領域は、第２振動体５と圧電素子３との接続領域９ｂよりも小さい。

【0127】

第２溝１２は、圧電素子３の第２電極３ｃを第２振動体５から露出させる。第２溝１２は、第２振動体５の内周側から外周側に向かって窪んで形成されている。第２溝１２は、例えば、円環状に窪んで形成されている。

【0128】

第２給電導体１０及び複数の第２弾性部１１について詳細に説明する。

【0129】

＜第２給電導体＞
第２給電導体１０は、圧電素子３に接触し、圧電素子３に給電する。第２給電導体１０は、第１給電導体６よりも圧電素子３の内周側で圧電素子３に接触する。また、第２給電導体１０は、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触する。

【0130】

第２給電導体１０は、環状部１０ａと、複数の突出部１０ｂと、を有する。

【0131】

環状部１０ａは、円環状に形成されている。また、環状部１０ａは、板状の部材で形成されている。環状部１０ａは、第２振動体５に取り付けられる。

【0132】

複数の突出部１０ｂは、環状部１０ａから延びる板状の部材である。複数の突出部１０ｂは、第２振動体５の内周に沿ってＺ方向に延びている。また、複数の突出部１０ｂの端部のそれぞれには、第２弾性部１１が設けられている。

【0133】

実施の形態２では、２つの突出部１０ｂが環状部１０ａに設けられている。２つの突出部１０ｂは、環状部１０ａにおいてＸ方向に対向して設けられている。

【0134】

第２給電導体１０は、導電性を有する材料で形成されている。第２給電導体１０を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。

【0135】

第２給電導体１０は、例えば、給電回路に接続されている。

【0136】

＜複数の第２弾性部＞
図８Ｂに戻って、複数の第２弾性部１１は、第２給電導体１０を圧電素子３に対して押圧する。複数の第２弾性部１１は、第２給電導体１０を圧電素子３の第２面ＰＳ２に設けられた第２電極３ｃに対して第２給電導体１０を押圧する。具体的には、複数の第２弾性部１１は、第２振動体５に設けられた第２溝１２内に配置される。複数の第２弾性部１１は、第２溝１２内において、第２給電導体１０を圧電素子３の第２電極３ｃに向かって押圧する。

【0137】

第２弾性部１１は、第１弾性部７と同様の構成を有する。具体的には、第２弾性部１１は、第２給電導体１０を折り曲げて形成される部分であり、第２給電導体１０を湾曲した板バネ形状を有する。具体的には、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の突出部１０ｂの端部から環状部１０ａの外周側に向かって突出させた板状部材をＵ字状に湾曲させることによって形成されている。

【0138】

第２弾性部１１は、例えば、０．２ｍｍの厚さの板状部材で形成されている。第２弾性部１１は、第２給電導体１０と同じ材料で形成されている。第２弾性部１１を形成する材料は、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅、洋白、銅などの金属である。

【0139】

このように、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の一部で形成されており、第２給電導体１０を圧電素子３の第２電極３ｃに押圧している。これにより、圧電素子３が振動した場合でも、第２給電導体１０と圧電素子３の第２電極３ｃとの電気的な接続が破断されることを抑制することができる。

【0140】

図９に戻って、実施の形態２では、２つの第２弾性部１１が、環状部１０ａにおいてＸ方向に対向して設けられている。

【0141】

また、振動装置１Ｂの平面視において、複数の第２弾性部１１は、複数の第１弾性部７の間に配置されている。言い換えると、振動装置１Ｂの平面視において、複数の第２弾性部１１は、複数の第１弾性部７と重なっていない。複数の第２弾性部１１と複数の第１弾性部７とは交互に配置されている。

【0142】

［効果］
実施の形態２に係る振動装置１Ｂによれば、以下の効果を奏することができる。

【0143】

振動装置１Ｂは、透光体カバー２、圧電素子３、複数の振動体４，５、複数の給電導体６，１０、及び複数の弾性部７，１１を備える。圧電素子３は、第１面ＰＳ１と、第１面ＰＳ１と反対側の第２面ＰＳ２と、を有する。複数の給電導体６，１０は、第１面ＰＳ１と接触する第１給電導体６と、第２面ＰＳ２と接触する第２給電導体１０と、を有する。複数の弾性部７，１１は、第１給電導体６を第１面ＰＳ１に押圧する複数の第１弾性部７と、第２給電導体１０を第２面ＰＳ２に押圧する複数の第２弾性部１１と、を有する。このような構成により、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を向上させることができる。

【0144】

圧電素子３は、環状に形成される。複数の振動体４，５は、透光体カバー２の底面２ａと圧電素子３との第１面ＰＳ１に接続される第１振動体４と、圧電素子３の第２面ＰＳ２に接続される第２振動体５と、を有する。第２給電導体１０は、第１給電導体６よりも圧電素子３の内周側で圧電素子３に接触する。このような構成により、複数の第１弾性部７によって圧電素子３の外周側で第１給電導体６を圧電素子３の第１面ＰＳ１に押圧することができる。また、複数の第２弾性部１１によって圧電素子３の内周側で第２給電導体１０を圧電素子３の第２面ＰＳ２に押圧することができる。これにより、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0145】

圧電素子３の第１面ＰＳ１において、第１給電導体６と圧電素子３との接触領域は、第１振動体４と圧電素子３との接続領域９ａよりも小さい。圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２給電導体１０と圧電素子３との接触領域は、第２振動体５と圧電素子３との接続領域９ｂよりも小さい。このような構成により、複数の弾性部７，１１による振動の減衰を抑制しつつ、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を向上させることができる。

【0146】

圧電素子３は、第１面ＰＳ１に設けられる第１電極３ｂと、第２面ＰＳ２に設けられる第２電極３ｃと、を有する。第１振動体４には、第１電極３ｂを露出させる第１溝８が設けられている。第２振動体５には、第２電極３ｃを露出させる第２溝１２が設けられている。複数の第１弾性部７は、第１溝８に配置される。複数の第２弾性部１１は、第２溝１２に配置される。このような構成により、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0147】

なお、実施の形態２では、振動装置１Ｂが複数の第２弾性部１１を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ｂは１つ又は複数の第２弾性部１１を備えていればよい。

【0148】

実施の形態２では、第２電極３ｃが圧電素子３の第２面ＰＳ２上の内周側に設けられる例について説明したが、これに限定されない。第２電極３ｃは、圧電素子３と給電導体６とが接触する位置に設けられていればよい。例えば、第２電極３ｃは、圧電素子３の第１面ＰＳ１上の外周側に設けられていてもよい。あるいは、第２電極３ｃは、圧電素子３の第１面ＰＳ１上に設けられていてもよい。

【0149】

実施の形態２では、第２電極３ｃが円環状に形成されている例について説明したが、これに限定されない。第２電極３ｃは、第２給電導体１０と接触する部分に設けられていればよい。例えば、矩形状を有する複数の第２電極３ｃが圧電素子３の第２面ＰＳ２に設けられていてもよい。

【0150】

実施の形態２では、第２給電導体１０が圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触する例について説明したが、これに限定されない。例えば、第２給電導体１０は、圧電素子３の第１面ＰＳ１側に接触してもよい。この場合、第１給電導体６が圧電素子３の第２面ＰＳ２側に接触していてもよい。

【0151】

実施の形態２では、第２振動体５に設けられる第２溝１２が円環状に設けられている例について説明したが、これに限定されない。第２振動体５には、第２給電導体１０と複数の第２弾性部１１とが配置される空間を有する１つ又は複数の第２溝１２が形成されていればよい。また、１つ又は複数の第２溝１２は、第２電極３ｃを第２振動体５から露出させていればよい。

【0152】

実施の形態２では、複数の第２弾性部１１が第２給電導体１０の環状部１０ａ上でＸ方向に対向して配置される例について説明したが、これに限定されない。複数の第２弾性部１１は、第２給電導体１０の環状部１０ａ上でランダムに配置されてもよい。

【0153】

実施の形態２では、複数の第２弾性部１１が複数の第１弾性部７の間に交互に配置される例について説明したが、これに限定されない。複数の第２弾性部１１は、複数の第１弾性部７と対向して配置されてもよい。

【0154】

実施の形態２では、第２弾性部１１が第２給電導体１０の一部を折り曲げて形成される部分であり、第２給電導体１０の一部をＵ字状に湾曲した板バネ形状を有する例について説明したが、これに限定されない。第２弾性部１１は、第２給電導体１０を圧電素子３に押圧させて接触させる形状を有していればよい。第２弾性部１１は、第１弾性部７と同様に様々な形状を有していてもよい。例えば、第２弾性部１１は第２給電導体１０をコイル状に折り曲げて形成してもよい。第２弾性部１１は、Ｖ字状、Ｗ字状などの形状を有していてもよい。あるいは、第２弾性部１１は、第２給電導体１０と別体で構成されていてもよい。

【0155】

図１０Ａ－図１０Ｃは、本発明に係る実施の形態２の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。なお、図１０Ａ－図１０Ｃにおいては、説明を容易にするために、第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１とが同じ断面に示されている。しかしながら、第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１との配置位置はこれらに限定されない。第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１とは、同じ断面になくてもよい。

【0156】

図１０Ａに示す振動装置１ＢＡにおいて、第１給電導体６は、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に延びる第１支持部１３を有し、第１弾性部７と第１支持部１３との間に圧電素子３を保持する。振動装置１ＢＡにおいて、第１弾性部７は、第１給電導体６の途中に設けられている。第１支持部１３は、第１給電導体６を屈曲させて形成された部分であり、第１給電導体６の端部に設けられている。

【0157】

第１支持部１３は、第１溝８に配置される第１弾性部７から第２振動体５の外周部をＺ方向に延び、且つ圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に屈曲している。これにより、第１支持部１３が第２振動体５に係合し、圧電素子３及び第２振動体５を、第１弾性部７と第１支持部１３との間に保持する。第１支持部１３は、例えば、板状の部材で形成されている。

【0158】

第２給電導体１０は、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に延びる第２支持部１４を有し、第２弾性部１１と第２支持部１４との間に圧電素子３を保持する。振動装置１ＢＡにおいて、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の途中に設けられている。第２支持部１４は、第２給電導体１０を屈曲させて形成された部分であり、第２給電導体１０の端部に設けられている。

【0159】

第２支持部１４は、第２溝１２に配置される第２弾性部１１から第１振動体４の外周部をＺ方向に延び、且つ圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に屈曲している。これにより、第１支持部１３が第１振動体４に設けられた第３溝１５に係合し、圧電素子３及び第１振動体４を、第２弾性部１１と第２支持部１４との間に保持する。第３溝１５は、圧電素子３と接触する面よりも上方であって、第１振動体４の内周側から外周側に向かって窪んで形成されている。第２支持部１４は、例えば、板状の部材で形成されている。

【0160】

図１０Ｂに示す振動装置１ＢＢにおいて、第１弾性部７Ａは、第１給電導体６の端部に設けられている。第１支持部１３は、第１給電導体６の途中に設けられている。また、振動装置１ＢＢにおいて、第２振動体５の外周側のコーナーに段差１６が設けられている。段差１６には、第１支持部１３が配置される。これにより、第１支持部１３が第２振動体５の段差１６に係合し、圧電素子３及び第２振動体５を、第１弾性部７Ａと第１支持部１３との間に保持する。

【0161】

図１０Ｃに示す振動装置１ＢＣにおいて、第２給電導体１０は、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に延びる第３支持部１７を有し、第２弾性部１１と第３支持部１７との間に圧電素子３を保持する。振動装置１ＢＣにおいて、第２弾性部１１は、第２給電導体１０の端部に設けられている。第３支持部１７は、第２給電導体１０を屈曲させて形成された部分であり、第２給電導体１０の途中に設けられている。また、振動装置１ＢＣは、第２振動体５を備えておらず、圧電素子３の第２面ＰＳ２の全面には、第２電極３ｃが設けられている。

【0162】

第２弾性部１１は、第１振動体４に設けられた第４溝１８に配置されている。第４溝１８は、圧電素子３の第１面ＰＳ１よりも上方であって、第１振動体４の内周側から外周側に向かって窪んで形成されている。第２弾性部１１は、圧電素子３に接触していない。

【0163】

第３支持部１７は、第４溝１８に配置される第２弾性部１１から第１振動体４の外周部及び圧電素子３の側方をＺ方向に延び、且つ圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（Ｘ，Ｙ方向）に屈曲している。これにより、第３支持部１７が圧電素子３の第２面ＰＳ２に係合し、圧電素子３及び第１振動体４を、第２弾性部１１と第３支持部１７との間に保持する。第３支持部１７は、例えば、板状の部材で形成されている。

【0164】

振動装置１ＢＣでは、第２弾性部１１によって第３支持部１７を圧電素子３の第２面ＰＳ２に押圧している。これにより、圧電素子３を第２弾性部１１と第３支持部１７との間に保持している。

【0165】

また、第２給電導体１０は、第３支持部１７と圧電素子３の第２電極３ｃを電気的に接触させることによって、圧電素子３に給電している。

【0166】

上記のような変形例の構成により、複数の給電導体６，１０と圧電素子３との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0167】

なお、図１０Ａ－図１０Ｃに示す変形例は例示であって、振動装置１ＢＡ－１ＢＣはこれらの形態に限定されない。例えば、振動装置１ＢＡ－１ＢＣにおいて、１つ又は複数の第１支持部１３、１つ又は複数の第２支持部１４、１つ又は複数の第３溝１５、１つ又は複数の第３支持部１７、及び／又は１つ又は複数の第４溝１８を有していてもよい。あるいは、振動装置１ＢＡ－１ＢＣは、第１支持部１３、第２支持部１４及び第３支持部１７のうち少なくともいずれか１つを有していればよい。

【0168】

図１０Ａ－図１０Ｃに示す変形例では、説明を容易にするために、第１支持部１３、第２支持部１４及び第３支持部１７という名称を用いたが、これらに限定されない。支持部の数に応じて、名称を変更する場合がある。例えば、第３支持部１７を第２支持部と称する場合もあるし、第２支持部１４を第３支持部と称する場合もある。

【0169】

（実施の形態３）
本発明の実施の形態３に係る振動装置について説明する。なお、実施の形態３では、主に実施の形態２と異なる点について説明する。実施の形態３においては、実施の形態２と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態３では、実施の形態２と重複する記載は省略する。

【0170】

図１１は、本発明に係る実施の形態３の振動装置１Ｃの一例の部分拡大断面図である。

【0171】

実施の形態３では、第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａとが圧電素子３の外周側に配置され、圧電素子３を挟持している点で、実施の形態２と異なる。

【0172】

図１１に示すように、圧電素子３の第２面ＰＳ２において、第２電極３ｃは圧電素子３の外周側に設けられている。具体的には、第２電極３ｃは、第１電極３ｂと対向して配置されている。

【0173】

また、第２溝１２は、第２振動体５の外周に設けられている。具体的には、第２溝１２は、第２振動体５の外周側から内周側に向かって窪んでいる。これにより、第２溝１２は第２電極３ｃを第２振動体５から露出させている。

【0174】

第２溝１２内において、第２弾性部１１Ａが配置されている。第２溝１２内において、第２弾性部１１Ａは、第２給電導体１０を圧電素子３の第２電極３ｃに押圧している。具体的には、第２弾性部１１Ａは、第２給電導体１０の一部で形成されており、圧電素子３の第２電極３ｃに接触している。これにより、第２給電導体１０は、第２弾性部１１Ａを介して圧電素子３の第２電極３ｃに電気的に接続されている。

【0175】

一方、第１振動体４に設けられた第１溝８内においては、第１弾性部７Ａが配置されている。第１溝８内において、第１弾性部７Ａは、第１給電導体６を圧電素子３の第１電極３ｂに対して押圧している。具体的には、第１弾性部７Ａは、第１給電導体６の一部で形成されており、圧電素子３の第１電極３ｂに接触している。これにより、第１給電導体６は、第１弾性部７Ａを介して圧電素子３の第１電極３ｂに電気的に接続されている。

【0176】

第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａとは、振動装置１Ｃの高さ方向（Ｚ方向）において、重なるように配置されている。即ち、第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａとは、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）において、対向して配置されている。これにより、圧電素子３は、第１弾性部７Ａと第２弾性部１１Ａによって挟持されている。

【0177】

［効果］
実施の形態３に係る振動装置１Ｃによれば、以下の効果を奏することができる。

【0178】

振動装置１Ｃにおいて、複数の給電導体６，１０は、第１面ＰＳ１と接触する第１給電導体６と、第２面ＰＳ２と接触する第２給電導体１０と、を有する。複数の弾性部７Ａ，１１Ａは、第１給電導体６を第１面ＰＳ１に押圧する複数の第１弾性部７Ａと、第２給電導体１０を第２面ＰＳ２に押圧する複数の第２弾性部１１Ａと、を有する。複数の第１弾性部７Ａと複数の第２弾性部１１Ａとは、それぞれ、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）に対向して配置されている。これにより、複数の第１弾性部７Ａと複数の第２弾性部１１Ａとによって圧電素子３を挟持することができる。その結果、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0179】

なお、実施の形態３では、第１電極３ｂ及び第２電極３ｃが圧電素子３の外周側に設けられる例について説明したが、これに限定されない。第１電極３ｂ及び第２電極３ｃは、圧電素子３において互いに対向する位置に設けられていればよい。例えば、第１電極３ｂ及び第２電極３ｃは、圧電素子３の内周側に設けられていてもよい。

【0180】

実施の形態３では、第１弾性部７Ａ及び第２弾性部１１Ａが圧電素子３の外周側で圧電素子３を挟持する例について説明したが、これに限定されない。第１弾性部７Ａ及び第２弾性部１１Ａは、圧電素子３の厚み方向（Ｚ方向）において対向して配置されていればよい。

【0181】

図１２Ａ及び図１２Ｂは、本発明に係る実施の形態３の変形例の振動装置の構成を示す部分拡大図である。なお、図１２Ａに示す振動装置１ＣＡは、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２振動体５を備える。一方、図１２Ｂに示す振動装置１ＣＢは、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２振動体５を備えていない。

【0182】

図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に、第２弾性部１１Ｂが配置されている。第２弾性部１１Ｂは、間隔を有して対向して配置される２つの板状部材と、２つの板状部材を接続する湾曲部と、を有している。第２弾性部１１Ｂにおいて、２つの板状部材は、Ｙ方向に間隔を有して対向して配置されている。湾曲部は、Ｚ方向にＵ字状に湾曲しており、圧電素子３の第２電極３ｃと接触している。

【0183】

このような構成により、第１弾性部７，７Ａと第２弾性部１１Ｂとによって圧電素子３を挟持することができる。これにより、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0184】

（実施の形態４）
本発明の実施の形態４に係る振動装置について説明する。なお、実施の形態４では、主に実施の形態１と異なる点について説明する。実施の形態４においては、実施の形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態４では、実施の形態１と重複する記載は省略する。

【0185】

図１３は、本発明に係る実施の形態４の振動装置１Ｄの一例の部分拡大断面図である。

【0186】

実施の形態４では、第２振動体５を備えない点、及び第２給電導体１０を備える点で、実施の形態１と異なる。

【0187】

図１３に示すように、圧電素子３の第１面ＰＳ１側においては、溝８内において、弾性部７が第１給電導体６を圧電素子３の第１電極３ｂに押圧している。一方、圧電素子の第２面ＰＳ２側には、第２給電導体１０が接触して配置されている。

【0188】

具体的には、圧電素子３の第２面ＰＳ２の全面には、第２電極３ｃが設けられている。第２給電導体１０は、第２電極３ｃに接触して配置されている。

【0189】

［効果］
実施の形態４に係る振動装置１Ｄによれば、以下の効果を奏することができる。

【0190】

振動装置１Ｄにおいては、第１給電導体６に設けられた弾性部７によって第１給電導体６を圧電素子３に押圧している。一方、第２給電導体１０には弾性部が設けられていない。また、圧電素子３の第２面ＰＳ２側に第２振動体５が設けられている。このような構成であっても、圧電素子３と複数の給電導体６，１０との接続の信頼性を向上させることができる。

【0191】

なお、実施の形態４では、振動装置１Ｄが第１給電導体６を圧電素子３に押圧する弾性部７を備える例について説明したが、これに限定されない。振動装置１Ｄは、第１給電導体６と第２給電導体１０とのうち少なくともいずれか一方を圧電素子３に押圧する弾性部を備えていればよい。例えば、振動装置１Ｄは、第２給電導体１０を圧電素子３に押圧する弾性部を備えていてもよい。この場合、振動装置１Ｄは、第１給電導体６を圧電素子３に押圧する弾性部７を有していなくてもよい。

【0192】

（実施の形態５）
本発明の実施の形態５に係る撮像装置について説明する。なお、実施の形態５では、主に実施の形態１と異なる点について説明する。実施の形態５においては、実施の形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施の形態５では、実施の形態１と重複する記載は省略する。

【0193】

図１４は、本発明に係る実施の形態５の撮像装置５０の構成の一例を示す概略図である。

【0194】

実施の形態５では、実施の形態１の振動装置１Ａと、撮像素子５１と、を備える撮像装置５０について説明する。

【0195】

図１４に示すように、撮像装置５０は、実施の形態１の振動装置１Ａと、振動装置１A内に配置される撮像素子５１と、を備える。なお、振動装置１Ａについては、実施の形態１と同様のため、説明を省略する。

【0196】

＜撮像素子＞
撮像素子５１は、振動装置１Ａの内部空間に配置される。撮像素子５１は、回路基板５２に搭載されている。回路基板５２は、撮像素子を駆動する撮像素子用制御回路を含む。

【0197】

撮像素子５１としては、例えば、可視領域から遠赤外領域のいずれかの波長の光を受光する、ＣＭＯＳ、ＣＣＤ、ボロメーターやサーモパイルなどを挙げることができる。

【0198】

［効果］
実施の形態５に係る撮像装置５０によれば、以下の効果を奏することができる。

【0199】

撮像装置５０は、実施の形態１の振動装置１Ａと、振動装置１Ａ内に配置される撮像素子５１と、を備える。このような構成により、圧電素子３と給電導体６との接続の信頼性を向上させることができる。

【0200】

なお、実施の形態５では、撮像装置５０が実施の形態１の振動装置１Ａを備える例について説明したが、これに限定されない。撮像装置５０は、実施の形態１～４の振動装置１Ａ～１Ｄを備えていてもよい。

【0201】

実施の形態５では、撮像装置５０が回路基板５２を備える例について説明したが、これに限定されない。回路基板５２は必須の構成ではない。

【0202】

（他の実施形態）
他の実施形態について説明する。

【0203】

図１５は、他の実施形態の振動装置における第１給電導体６Ａの一例を下から見た概略図である。図１６は、他の実施形態の振動装置における第２給電導体１０Ａの一例を上から見た概略図である。

【0204】

図１５に示すように、第１給電導体６Ａは、３つの第１弾性部７を有する。３つの第１弾性部７は、等間隔で配置されている。具体的には、第１給電導体６Ａの平面視において、第１給電導体６Ａの中心から３つの第１弾性部７のそれぞれに向かって線分を引いた場合、隣り合う線分で画定される角度θ１が等しい。このような構成により、３つの第１弾性部７によって、圧電素子３に第１給電導体６Ａをバランスよく接触させることができる。これにより、圧電素子３と第１給電導体６Ａとの接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0205】

図１６に示すように、第２給電導体１０Ａは、３つの第２弾性部１１を有する。３つの第２弾性部１１は、等間隔で配置されている。具体的には、第２給電導体１０Ａの平面視において、第２給電導体１０Ａの中心から３つの第２弾性部１１のそれぞれに向かって線分を引いた場合、隣り合う線分で画定される角度θ２が等しい。このような構成により、３つの第２弾性部１１によって、圧電素子３に第２給電導体１０Ａをバランスよく接触させることができる。これにより、圧電素子３と第２給電導体１０Ａとの接続の信頼性を更に向上させることができる。

【0206】

なお、第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、３つに限定されない。第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、４つ以上であってもよい。ただし、組み立ての観点から、第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、２つ以上４つ以下が好ましい。より好ましくは、第１弾性部７の数及び第２弾性部１１の数は、２つ以上３つ以下である。

【0207】

図１７は、他の実施形態の振動装置１Ｅの構成の一例を示す概略図である。図１７に示すように、振動装置１Ｅは、透光体カバー２を備えず、別の部品、装置及び／又はシステムに組み込まれてもよい。言い換えると、振動装置１Ｅは、撮像装置５０での使用に限定されず、様々なデバイスに応用可能である。

【0208】

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施の形態に関連して充分に記載されているが、この技術に熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

【産業上の利用可能性】

【0209】

本発明の振動装置は、例えば、撮像装置、携帯電話機、デジタルカメラ、携帯端末装置、リモートコントローラ等に適用できる。

【符号の説明】

【0210】

１Ａ，１ＡＡ，１ＡＢ，１ＡＣ，１ＡＤ，１Ｂ，１ＢＡ，１ＢＢ，１ＢＣ，１Ｃ，１ＣＡ，１ＣＢ，１Ｄ，１Ｅ 振動装置
２ 透光体カバー
２ａ 底面
３ 圧電素子
３ａ 圧電体
３ｂ 第１電極
３ｃ 第２電極
３ｄ 凸部
４ 第１振動体
４ａ 筒状体
４ｂ 天板
４ｃ フランジ部
４ｄ 凸部
５ 第２振動体
６，６Ａ 第１給電導体
６ａ 環状部
６ｂ ガイド
６ｃ 凸部
７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ 第１弾性部
７ａ 第１板状部
７ｂ 第２板状部
７ｃ 湾曲部
７ｄ 第３板状部
７ｅ 第４板状部
７ｆ 湾曲部
８ 第１溝
９ａ，９ｂ 接続領域
１０，１０Ａ 第２給電導体
１１，１１Ａ，１１Ｂ 第２弾性部
１２ 第２溝
１３ 第１支持部
１４ 第２支持部
１５ 第３溝
１６ 段差
１７ 第３支持部
１８ 第４溝
５０ 撮像装置
５１ 撮像素子
５２ 回路基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図10C】

【図11】

【図12A】

【図12B】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】