特許 7120752 ＭＥＭＳ検知素子およびワイヤーボンドの封止部

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-08

(45)【発行日】2022-08-17

(54)【発明の名称】ＭＥＭＳ検知素子およびワイヤーボンドの封止部

(51)【国際特許分類】

   B81B 7/02 20060101AFI20220809BHJP

【ＦＩ】

B81B7/02

【請求項の数】 12

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2017218567

(22)【出願日】2017-11-13

(65)【公開番号】P2018075710

(43)【公開日】2018-05-17

【審査請求日】2020-11-13

(31)【優先権主張番号】1619078.7

(32)【優先日】2016-11-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】GB

(73)【特許権者】

【識別番号】506154029

【氏名又は名称】センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000855

【氏名又は名称】特許業務法人浅村特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】フランク モルシンク

(72)【発明者】

【氏名】ロレンツォ ライク

【審査官】永井 友子

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１２／１２３０５４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特表２０１０－５１１０８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１０－０１２１２８３（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開平０４－０４２５８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／０２９１５５９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】"Fomblin PFPE Lubricants"，ベルギー，Solvay Specialty Polymers，2014年，Version 2.1，p.1-4

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ８１Ｂ ７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＭＥＭＳセンサー１００であって、
検知するための環境と流体連通する内部１０４および入口を画定するハウジング１０２と、
前記環境に基づいて信号を生成するハウジング１０２に結合された検知ダイ１１６と、
前記検知ダイ１１６の動作を妨害することなく前記検知ダイ１１６を保護するために前記検知ダイ１１６に適用される封止剤１２４と、
を備え、前記封止剤１２４が、有機物質の非架橋分散体と、無機物質のシリカ増粘剤とを含む組成物であり、前記シリカ増粘剤は、疎水性および親水性シリカのブレンドであり、
前記ＭＥＭＳセンサーは、圧力センサーであることを特徴とする、ＭＥＭＳセンサー１００。

【請求項2】

前記封止剤１２４は、少なくとも２重量％のシリカ増粘剤を含む、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサー。

【請求項3】

前記封止剤１２４は、シリカ増粘ペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油である、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサー。

【請求項4】

前記封止剤１２４は、Ｋ型ペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油と、少なくとも２重量％のシリカを含む前記疎水性シリカおよび親水性シリカのブレンドとを含む、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサー。

【請求項5】

ＭＥＭＳセンサー１００を製造する方法であって、
検知するための環境と流体連通する内部１０４および入口を画定するハウジング１０２を提供する工程、
前記環境に基づいて信号を生成するハウジング１０２に結合された検知ダイ１１６を提供する工程、
前記検知ダイ１１６の動作を妨害することなく前記検知ダイ１１６を保護するために前記検知ダイ１１６に封止剤１２４を適用する工程
を含み、前記封止剤１２４が、有機物質の非架橋分散体と、無機物質のシリカ増粘剤とを含む組成物であり、前記シリカ増粘剤は、疎水性および親水性シリカのブレンドであり、
前記ＭＥＭＳセンサーは、圧力センサーであることを特徴とする、ＭＥＭＳセンサー１００を製造する方法。

【請求項6】

微細シリカ粒子を使用してペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油を半固体に増粘させることによって前記封止剤を製造する工程をさらに含む、請求項５に記載の方法。

【請求項7】

前記封止剤１２４は、少なくとも２重量％のシリカ増粘剤を含む、請求項５に記載の方法。

【請求項8】

前記封止剤１２４は、シリカ増粘ペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油である、請求項５に記載の方法。

【請求項9】

前記封止剤１２４は、Ｋ型ペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油と、少なくとも２重量％のシリカを含む前記疎水性および親水性シリカのブレンドとを含む、請求項５に記載の方法。

【請求項10】

ＭＥＭＳの圧力センサーの検知ダイを水分および／または酸から保護する、前記ＭＥＭＳの圧力センサーの封止剤１２４であって、有機物質の非架橋分散体と、非架橋有機物質中の無機物質のシリカ増粘剤とを含み、前記シリカ増粘剤は、疎水性および親水性シリカのブレンドである、封止剤。

【請求項11】

前記封止剤１２４は、少なくとも２重量％の前記シリカ増粘剤を含む、請求項１０に記載の封止剤。

【請求項12】

前記封止剤１２４は、Ｋ型ＰＦＰＥ油と、少なくとも２重量％のシリカを含む前記疎水性および親水性シリカのブレンドとを含む、請求項１１に記載の封止剤。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

主題の開示は、ＭＥＭＳの構成要素、特に、ＭＥＭＳ検知素子の保護に関する。

【背景技術】

【0002】

マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）は、様々な用途に使用されている。多くの用途は、厳しい動作環境でＭＥＭＳを適用する。多くのセンサー用途では、ＭＥＭＳは、基板上に半導体ダイを有する半導体デバイス（別名、センサーオンチップ）の形態をとる。

【0003】

適切に機能するためには、センサーオンチップの検知素子は検知される環境内になければならない。結果として、検知素子（例えば、ダイ、ワイヤーボンド等）は、湿度、埃、光、腐食等の環境要因から保護されなければならない。ＭＥＭＳの動作を妨害することなくＭＥＭＳを保護することが困難になっている。

【0004】

ＭＥＭＳ上のいずれのバリアも、デバイスの性能、特に感度を制限し得る。例えば、バリア材料が高い弾性率を有し、バリアとパッケージとの間の界面で水、蒸気等の浸透を制限するように、センサーダイおよびデバイスのパッケージングに対して非常に良好な接着性を示す場合、センサーダイとバリアとの間の熱膨張係数（ＣＴＥ）の不一致があれば、望ましくない応力が発生し、電気的パラメーターがシフトし、センサーデバイスの精度が低下する。したがって、バリアは慎重に選択する必要がある。

【0005】

圧力検知用途では、ＭＥＭＳが圧力に曝されなければならないという点でさらに複雑である。したがって、硬質エポキシなどの材料は、保護のために使用することができない。このような困難を克服する１つの試みが、自動車排気のセンサーを開示する、２０１２年９月２０日にＷＯ２０１２／１２３０５４ Ａ１として公開された、２０１２年２月６日に出願された特許協力条約特許出願第ＰＣＴ／ＥＰ２０１２／０００５２５号（’５２５出願）に示されている。このセンサーを保護するために、’５２５出願は、センサーの膜の一側面をシリコーン油グリースまたはペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油脂などの架橋されていない有機物質でコーティングすることを開示している。’５２５出願はまた、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のコーティング中に増稠剤を使用することを開示している。別の典型的なアプローチは、Ｓｈｉｎ－Ｅｔｓｕ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ（Ｔｏｋｙｏ，Ｊａｐａｎ）から市販されているＳｈｉｎ－Ｅｔｓｕ ＳＩＦＥＬ（登録商標）のようなＰＴＦＥ系ゲルを使用することである。ＳＩＦＥＬ（登録商標）は、架橋パーフルオロポリエーテル／シリコーンである。

【0006】

さらなる例は、２００１年４月１０日にＯｓａｊｄａらに発行された米国特許第６，２１４，６３４号、２００７年５月１５日にＵｃｈｉｄａらに発行された米国特許第７，２１６，５４５号、２００６年８月２９日にＫａｗａｍｕｒａらに発行された米国特許第７，０９６，７３９号、２０１０年５月２５日にＡｐｐｅｌｏらに発行された米国特許第７，７２５，２６８号、２０１０年４月１日に公開されたＢｅｎｚｅｌらの米国特許出願公開第２０１０／００７７８６２号、および２００９年９月１０日にＬｕｔｚ ＭｕｅｌｌｅｒによるＤＥ１０２００８０１２８９５ Ａ１として公開されたドイツ出願に開示されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

保護層は、欠陥を防止するために様々な形態の水に対する保護に非常に有効でなければならない。酸性水分は特に有害である。さらに、ストレスの多いエンジン条件および温度負荷の下では、劣化および膨潤は、欠陥、感度不足、および／または性能低下を招くことがある。上記に鑑みて、検知素子、ワイヤーボンドおよび他の構成要素を費用効果的かつ堅牢に保護するＭＥＭＳの封止の必要性が存在する。

【0008】

本開示は、検知するための環境と流体連通する内部および入口を画定するハウジングを備えるＭＥＭＳセンサーに関する。検知ダイは、環境に基づいて信号を生成するハウジングに結合されている。封止剤は、検知ダイの動作を妨害することなく検知ダイを保護するために検知ダイに適用され、封止剤が、非架橋有機物質、つまり有機骨格とシリカ増粘剤とを有する非架橋物質であることを特徴とする。封止剤は、フッ素化有機物質の非架橋分散体であり得る。封止剤はまた、少なくとも２重量％シリカ増粘剤であり得る。一実施形態では、封止剤は、シリカで増粘化したペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油である。別の実施形態では、封止剤は、高粘度Ｋ型ＰＦＰＥ油（すなわち、ＡＭＵが７０００を超える分枝状ＰＦＰＥ）ならびに約５重量％シリカである疎水性シリカおよび親水性シリカのブレンド（すなわち、５０：５０ブレンド）を含む。

【0009】

本開示のさらに別の実施形態は、検知するための環境と流体連通する内部および入口を画定するハウジングを提供する工程、環境に基づいて信号を生成するハウジングに結合されている検知ダイを提供する工程、検知ダイの動作を妨害することなく検知ダイを保護するために検知ダイに封止剤を適用する工程を含み、封止剤が、非架橋有機物質、つまり有機骨格とシリカ増粘剤とを有する非架橋物質であることを特徴とする、ＭＥＭＳセンサーを製造する方法を含む。本方法は、微細シリカ粒子を使用してペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油を半固体に増粘させることによって封止剤を製造する工程をさらに含む。

【0010】

本主題技術は、プロセス、装置、システム、デバイス、現在知られており、後に開発される用途の方法として限定されるものではないが、多くの方法で実施および利用できることを理解されたい。本明細書に開示されたシステムのこれらおよび他の独特な特徴は、以下の説明および添付図面からより容易に明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0011】

開示された技術に属する技術分野の当業者であれば、その製造方法および使用方法をより容易に理解できるように、以下の図面を参照することができる。

【0012】

【図1】本主題の開示によるＭＥＭＳセンサーの概略図である。

【図2】本主題の開示による第１の封止剤ブレンドを使用したＭＥＭＳセンサーの出力誤差対圧力のグラフである。

【図3】本主題の開示による封止部を含む様々な封止部を備えるＭＥＭＳセンサーの酸滴試験中のＭＥＭＳ動作対時間のグラフである。

【図4】本主題の技術によるＭＥＭＳセンサーまたは同様のデバイスを酸滴試験するための装置のちょっとした概略図である。

【図5】本主題の開示による別のＭＥＭＳセンサーの概略図である。

【図6】粒子増粘剤の一連の写真である。左および中央のパネルは本主題の開示のものではないＰＴＦＥであり、右のパネルは本主題の開示によるヒュームドシリカである。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の技術は、ＭＥＭＳの構成要素、特にＭＥＭＳ検知素子を保護することに関連する多くの先行技術の問題を克服する。本明細書で開示された技術の利点および他の特徴は、本技術の代表的な実施形態を示す図面と関連した以下の特定の好ましい実施形態の詳細な説明から当業者にはより容易に明らかになり、ここで、同様の参照番号は同様の構造素子を示す。上向き、下向き、右向き、左向きなどの方向指示は、図に関して使用されており、限定的な意味ではない。

【0014】

図１を今参照すると、本主題の開示によるＭＥＭＳセンサー１００の概略図が示されている。ＭＥＭＳセンサー１００は、自動車排ガスなどのような様々な用途に使用することができる。例えば、改良された酸堅牢性および腐食保護は、エンジンの吸気側（例えば、ＭＡＰセンサー）の検知、空気ブレーキの圧力検知、ＥＧＲ弁に対する差圧検知のような高同相圧力用途における圧力検知のような高圧用途に適切な大きな圧力に対処し得る。追加の自動車用途は、エンジンクランクケースの圧力検知、または保護機能と相互作用するものではない油環境にある油であれば、どのような油環境であってもよい。ＭＥＭＳセンサー１００は、内部１０４を画定するハウジング１０２を備える。内部１０４は、入口１０６を介して排気ガスと流体連通している。膜またはダイヤフラム１０８は、ハウジング１０２を排気ガスに曝された上半分１１２と実質的に中実の下半分１１４とに分割するために、マウント１１０によって内部１０４内に懸架されている。

【0015】

検知素子またはダイ１１６は、下半分１１４に結合された固定構成要素１１８と、ワイヤーボンド１２２によって固定構成要素１１８に結合された応答構成要素１２０とを備える。内部の変化は、検知ダイ１１６からの電気信号の対応する変化をもたらし、排気圧の正確な測定値を決定し得る。検知ダイ１１６の動作を妨害することなく検知ダイ１１６を保護するために、封止剤１２４が膜１０８の上に適用される。封止剤１２４は、非架橋有機物質、すなわち有機骨格を有し、シリカ増粘剤を有する非架橋物質であってもよい。一実施形態では、封止剤１２４は、フッ素化有機物質および無機物質の非架橋分散体である。好ましくは、無機物質の重量百分率は少なくとも２％である。

【0016】

別の実施形態では、封止剤１２４は、シリカで増粘化したペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油である。シリカで増粘されたペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油は、微視的シリカ粒子を用いてＰＦＰＥ油を半固体に増粘することによって製造される。典型的には、少量のシリカ粒子のみが所望の半固体を生成するために必要とされる。ＰＦＰＥ油およびシリカ粒子の両方は、極めて安定であり、不燃性であり、化学的に不活性であるので、得られる半固体は他のフッ素化化合物にのみ溶解する。一実施形態では、本技術は、２０１１年８月９日にＭｕｌｌｉｇａｎらに発行された米国特許第７，９９２，４４１号（’９９２特許）に示されるような圧力センサーに適用される。

【0017】

様々な実施形態では、ペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）は、式Ｉの化合物、式ＩＩの化合物、または式Ｉの化合物（分枝状分子）と式ＩＩの化合物（直鎖分子）とのブレンドである組成物である。

【数1】

【数2】

式Ｉの適切なＰＦＰＥは、ＡＭＵが７０００超である。式Ｉの好ましいＰＦＰＥはＹＲ１８００であり、より好ましくはさらに重いＹＲ１８００＋油である。式ＩＩの適切なＰＦＰＥは、ＡＭＵが１８，０００超である。式ＩＩの好ましいＰＦＰＥは、Ｍ１００およびＺ６０である。

【表1】

【0018】

ＰＦＰＥ組成物が式Ｉの化合物と式ＩＩの化合物とのブレンドである様々な実施形態では、ＰＦＰＥの総量当たりの式ＩＩの重量％は、５０％まで、好ましくは４０％まで、３０％まで、２０％までまたは１０％までであり得る。代替的な実施形態では、式ＩＩの重量％は０％まで低下し得る。いくつかの実施形態では、ＰＦＰＥの総量の１００重量％が式Ｉの化合物である。他の実施形態では、式ＩＩの重量％は０％～５０％であり得る。

【0019】

様々な実施形態では、シリカは、疎水性シリカと親水性シリカとのブレンドである。疎水性シリカ：親水性シリカの比率は、５０：５０、好ましくは６０：４０、７０：３０、８０：２０または９０：１０であってもよい。代替的な実施形態では、疎水性シリカの部分は、７０～１００％、好ましくは１００％までであり得る。いくつかの実施形態では、１００％疎水性シリカ（すなわち、１００：０の比）が封止剤配合物に使用される。疎水性シリカおよび親水性シリカのブレンドまたは１００％疎水性シリカを使用するかどうかにかかわらず、封止剤配合物の様々な実施形態におけるシリカの量は、約２重量％～約５重量％であり得る。本主題の開示による封止剤配合物に使用されるシリカは、約５～５０ｎｍの粒径を有する（図６参照）。比較のために、従来技術の配合物に使用される有機ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）粒子も図６に示されている。本主題の開示による封止剤配合物に使用されるシリカは、有機ＰＴＦＥ粒子と比較してはるかに高い表面積を有する。封止剤配合物中にシリカの代わりにＰＴＦＥ粒子を使用する試みは、ヒステリシスおよび精度の問題をもたらした。

【表2】

【0020】

本主題の開示による、非架橋有機物質、すなわち有機骨格およびシリカ増粘剤を有する非架橋物質の封止剤配合物は、堅牢性が向上する。正確な低圧センサーを生成するためには、材料中の粘性損失を低減させるためにシリカ増粘剤が必要である。振動要件を満たすためには、封止剤配合物に重質ＰＦＰＥ油（ＡＭＵ＞７０００）が必要である。

【0021】

図２を今参照すると、本主題の開示による第１の封止剤ブレンドを使用したＭＥＭＳセンサーの出力誤差対圧力のグラフ２００が示される。様々な温度の望ましい仕様は、グラフ指数２０４を用いて特別に識別され得る、限界線２０２としてグラフ線２００に示される。複数の性能線２０６は、広い温度範囲（例えば、－４０℃～１４０℃）にわたって優れた出力誤差を示す。本主題の封止剤は、従来技術の封止剤とは異なり、欠陥または著しいヒステリシスなしに非常に良好に機能した。図２の配合物は、ＡＭＵが７０００超であるｋ型または他の分枝状分子を含有する高粘度ＰＦＰＥ油と、約５重量％のシリカである疎水性シリカおよび親水性シリカとのブレンドからなる。この配合物は、ＰＦＰＥゲルのような他の組成物配合物と比較して広い温度範囲である、少なくとも２５０℃までの使用に適する。見て分かるように、この配合物は優れた性能を提供し、低温性能は特に改善される。

【0022】

ＭＥＭＳセンサーに対する本主題の封止剤配合物の車両試験を行った。先行技術のゲルは、２０，０００ｋｍを走行した後に十分に機能しなかった。本主題の封止剤は、このような現実の条件において完全性を有利に維持する。本主題の封止剤は、ＭＥＭＳセンサーをｐＨ１．６の酸中に８５℃で４８０時間浸漬することからなる酸試験を受けた。封止部は劣化も膨潤もしなかった。さらに、封止部は発泡または他の欠陥の特徴を示さなかった。封止部はまた、同じ溶液中で４０サイクルの酸滴試験で試験した。再度、封止部は、許容できないほど劣化したり、泡立ったり、または膨潤しなかった。その結果、本主題の封止部は、アルミニウム検知素子のような非貴金属物質を保護することができる有効な酸バリアを提供する。

【0023】

図３を今参照すると、本主題の開示による封止部を含む様々な封止部を備えるＭＥＭＳセンサーの酸滴試験中のＭＥＭＳ動作対時間のグラフが示される。本主題の技術による封止部を備えるＭＥＭＳセンサーでは、線３１０によって示されるように、酸滴試験中に一貫した読取り値をもたらすように性能が設計された。対照的に、従来技術の封止部を備えるＭＥＭＳセンサーは、線３１２によって示されるように破損した。［Ｖ］の出力は圧力に相関する。試験中に圧力は一定のままであるため、出力の偏差は酸（電気的短絡または接点の腐食）によって引き起こされる。いずれの特定の理論にも限定されるものではないが、酸は従来技術のゲル組成物を膨張させ、次にワイヤーボンドが電気的に破壊する（例えば、シャントコンダクタンス）。別の実施形態では、本主題の封止剤を塗布したが、ワイヤーボンドを露出させたＭＥＭＳセンサーも試験した。性能は従来技術よりも改善されたが、ワイヤーボンドもカバーされたときほど性能は良くなかった。検査の際に、本主題の技術による封止部は、従来技術よりも改善された方法で完全性を維持したことにも留意されたい。酸滴試験では、グリース配合物はＹＲ１８００であり、疎水性シリカおよび親水性シリカのブレンドである。疎水性シリカ：親水性シリカの比率は約５０：５０である。

【0024】

振動試験も実施した。振動試験は、５０Ｇの正弦波を８０時間にわたって一方向に印加することからなる。検査の際、本主題の技術による封止部は完全性を維持した。本主題の封止部も温度および圧力試験に付した。

【0025】

温度試験のために、１５０℃で４８０時間および１５０℃で３０００時間の滞留条件下で封止部を試験した。－４０℃～１４０℃の１０００サイクルの温度衝撃試験も試験した。圧力試験のために、封止部を１０ｂａｒＧで２４時間滞留する条件下で試験した。検査の際に再び、本主題の技術による封止部は、従来技術よりも完全性を良好に維持した。

【0026】

図４を今参照すると、本主題の技術によるＭＥＭＳセンサー５００の酸滴試験（ＡＤＴ）用のＡＤＴ装置４００のちょっとした概略図が示されている。試験される装置は、上に示されるような、２００２年６月１１日にＭｏｎｋらに発行された米国特許第６，４０１，５４５号に示される、または既知もしくは今後開発される装置のような任意のものであり得る。ＭＥＭＳセンサー５００は、能動アセンブリ５０８の上方に空洞領域５０６を生成する封止部ダム５０４を形成するハウジング５０１を備える。能動アセンブリ５０８は、空洞領域５０６を有するセンサーダイ５１２に組み込まれたダイヤフラム５１０を備える。ワイヤーボンド５１４は、センサーダイ５１２を電気的に接続する。接着剤５１６は、センサーダイ５１２を基板５１８に固定する。本明細書に開示されるような封止剤５２０は、ワイヤーボンド５１４がカバーされるように空洞領域５０６の一部を充填する。

【0027】

ＡＤＴ装置４００は、必要に応じてＭＥＭＳセンサー５００上に酸滴４１０を放出することができる酸ディスペンサー４０２を備える。酸滴４１０は、実世界の条件をまねた合成排ガス凝縮物である。ＡＤＴ装置４００は、別の酸滴をいつ放出するかを決定するために、酸滴４１０の蒸発量を測定する。一実施形態では、次の酸滴４１０は、先の酸滴の蒸発時に放出される。代替的に、新しい液滴４１０は、前のものがほぼ蒸発したときに分配されて、ＭＥＭＳセンサー４００が湿った条件に維持される。

【0028】

ＡＤＴ装置４００はまた、様々な実際の動作温度をまねた封止剤温度を制御するために、基板５１８に結合されたヒーターアセンブリ４０４を備える。一実施形態では、ヒーターアセンブリ４０４は、４５℃で７時間、次いで７８℃で１時間の封止剤温度を有するサイクルを生成する。サイクルは、酸滴４１０が分配されている間に、例えば３０サイクル（２４０時間）の間、何回でも繰り返すことができる。

【0029】

本主題の技術および先行技術のゲルに従う封止剤を、上記のようにＡＤＴ装置４００を用いて４０サイクル試験した。先行技術のゲルは、望ましくないほど膨潤して泡立つ。しかし、本主題の技術による封止剤は、劣化、気泡または膨潤を有していなかった。結果として、本主題の封止剤は、非貴金属アルミニウムダイを保護するのに特に適しており、封止剤のより薄い層が利用され得る。

【0030】

図５を今参照すると、本主題の開示による別のＭＥＭＳセンサー６００の概略図が示される。当業者には理解されるように、ＭＥＭＳセンサー６００は、上述のＭＥＭＳセンサー１００と同様の原理を利用する。したがって、数字「１］の代わりに数字「５」が付された同様の参照番号は、同様の素子を示すために使用される。以下の説明は、相違点を対象とする。

【0031】

ＭＥＭＳセンサー６００の主な違いは、検知素子６１６の両側が検知された媒体に曝されることである。下半分６１４はまた、媒体をハウジング６０２内に入れるための入口６０６を画定する。このように、封止剤６２４は、検知素子６１６およびワイヤーボンド６２２を保護するために膜６０８の上部および底部に塗布される。

【0032】

他の実施形態は、それぞれに封止剤が塗布された複数の側面を有するセンサーを備え得る。さらに、封止剤コーティングはいくつかの層を有してもよく、各層は異なる品質を有する。当業者であれば、いくつかの要素の機能が、代替の実施形態では、より少ない要素または単一の要素によって実行されてもよいことが理解されよう。同様に、いくつかの実施形態では、任意の機能的素子は、図示された実施形態に関して説明したものよりも少ない、または異なる動作を実行し得る。また、例示目的のために区別されるように示された機能的素子（例えば、膜、ハウジング、マウント、ワイヤーボンドなど）は、特定の実施において他の機能的素子内に組み込まれてもよい。

【0033】

さらに、本主題の技術はセンサーワイヤーを保護する分野に関して記載されているが、本技術は他の分野および用途にも等しく適用可能であることが想定される。当業者であれば、本主題の開示を読めば理解できるであろうが、開示された封止剤またはグリースは、センサー精度を低下させずに、圧力センサーに対する水分および酸保護を提供する。高い熱安定性、不燃性、優れた化学的不活性、良好な誘電特性、材料との良好な適合性、低いガス抜き、ならびに放射性および放射線環境における安定性の本主題の封止剤の性質に起因して、本主題の技術は、航空宇宙および医療機器などの他の用途におけるセンサーおよび電子機器の封止部に適している。さらに、本主題の封止剤は半透明であるので、水分および腐食保護を必要とする光検知用途もまた想定される。同様に、熱伝導率はまた、本主題の技術を温度検知素子およびそのワイヤーの封止部として適したものにする。一実施形態では、熱伝導率は２５℃で約０．０７Ｗ／ｍ℃程度である。

【0034】

本明細書で言及される全ての数値範囲は、そのような範囲内に含まれる各数値または数値の組み合わせを含む。一例として、７０～１００は、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７７、７８、７９、８０、８１などを含む。同様に、数字の各リストは、そのリストに含まれる各数字または数字の組み合わせを含む。一例として、５０％まで、好ましくは４０％、３０％、２０％、または１０％は、１％、２％、３％、４％、５％、６％、７％、８％、９％、１０％、１１％などを含む。

【0035】

本明細書中に開示される全ての特許、特許出願および他の参考文献は、参照によりその全体が明示的に組み込まれる。本主題の技術を好ましい実施形態に関して説明してきたが、当業者は、添付の特許請求の範囲によって画定される本発明の精神または範囲から逸脱することなく、本主題の技術に様々な変更および／または修正を加えることができることを容易に理解するであろう。例えば、各請求項は、それが最初に請求されていないにもかかわらず、マルチ従属様式のいずれかまたは全ての請求項に従属し得る。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】