特許 7122110 導電率計又は比抵抗計用の電極、当該電極を用いた導電率計及び比抵抗計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-10

(45)【発行日】2022-08-19

(54)【発明の名称】導電率計又は比抵抗計用の電極、当該電極を用いた導電率計及び比抵抗計

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/22 20060101AFI20220812BHJP

   G01N 27/07 20060101ALI20220812BHJP

【ＦＩ】

G01R27/22 Z

G01N27/07

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2017241192

(22)【出願日】2017-12-15

(65)【公開番号】P2019109096

(43)【公開日】2019-07-04

【審査請求日】2020-11-16

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】592187534

【氏名又は名称】株式会社 堀場アドバンスドテクノ

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(72)【発明者】

【氏名】市成 祐一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 理一郎

(72)【発明者】

【氏名】西谷 悠吾

【審査官】島田 保

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１０／０３２１０４６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１１／０２６０７３８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２００７－２１２３２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１６２１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０４８８３５６６（ＵＳ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／００１６４４０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平１１－２８１６０４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ ２７／００－２７／３２

Ｇ０１Ｎ ２７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電極本体と、
前記電極本体を貫通する被検液取込み流路と、
前記被検液取込み流路を形成する対向する内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電圧極と、
前記各内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電流極と
を有し、
前記一対の電流極のそれぞれが炭素系材料を含むものであり、
前記内壁面に露出する前記一対の電流極のそれぞれの表面の形状が有端帯状であり、
前記電極本体が柱状をなすものであり、
前記被検液取込み流路は前記電極本体の側周面を貫通するように形成されており、
前記一対の電圧極と前記一対の電流極は、これらの長手方向が前記電極本体の軸方向に平行になるように設けられ、かつ前記被検液取込み流路の貫通方向に沿って互いに隣り合うように設けられたものである、導電率計又は比抵抗計用の電極。

【請求項2】

前記一対の電流極を複数有し、
複数の前記一対の電流極の間に前記一対の電圧極が位置するように構成された、請求項１記載の導電率計又は比抵抗計用の電極。

【請求項3】

前記炭素系材料としてガラス状炭素が用いられている請求項１又は２に記載の導電率計又は比抵抗計用の電極。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか記載の電極と、
前記電極からの出力信号を受信し、当該受信した出力信号に基づいて導電率を算出して出力する導電率算出器と、
を備える導電率計。

【請求項5】

請求項１～３のいずれか記載の電極と、
前記電極からの出力信号を受信し、当該受信した出力信号に基づいて比抵抗を算出して出力する比抵抗算出器と、
を備える比抵抗計。

【請求項6】

電極本体と、
前記電極本体を貫通する被検液取込み流路と、
前記被検液取込み流路を形成する対向する内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電圧極と、
前記各内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電流極と
を有し、
前記一対の電流極のそれぞれが炭素系材料を含むものであり、
前記各内壁面において、前記電流極と前記電圧極は、それぞれ樹脂部材により囲まれており、
前記各内壁面において、前記電流極を取り囲む樹脂部材と前記電圧極を取り囲む樹脂部材とが連なっており、
前記電極本体が柱状をなすものであり、
前記被検液取込み流路は前記電極本体の側周面を貫通するように形成されており、
前記一対の電圧極と前記一対の電流極は、これらの長手方向が前記電極本体の軸方向に平行になるように設けられ、かつ前記被検液取込み流路の貫通方向に沿って互いに隣り合うように設けられたものであることを特徴とする、導電率計又は比抵抗計用の電極。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、交流４電極式の、導電率計又は比抵抗計用の電極、当該電極を用いた導電率計及び比抵抗計に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、交流４電極式の導電率計又は比抵抗計用の電極としては、例えば特許文献１に示すように、被検液取込み流路内に一対の電流極（電圧印加極）と一対の電圧極（電圧検出極）とが平面上に並べて配置されているものが知られている。このような導電率計又は比抵抗計用の電極は、被検液の流入出口を通って電極の外部へ漏れ出る電気力線が多い。そのため、使用条件によっては一対の電圧極間の電気力線の密度が大きく変化し、測定される導電率や比抵抗の値が大きく変化してしまい、正確に測定できない可能性がある。

【0003】

近時では、このような被検液取込流路外への電気力線の漏れを低減できる導電率計又は比抵抗計用の電極に対する要求が高まっており、それも製造が容易でかつ加工性にも優れた導電率計又は比抵抗計用の電極に対する要求が高まっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平１１－２８１６０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

そこで本発明は、外部への電気力線の漏れが少なく、しかも製造が容易でかつ加工性に優れた交流４電極式の導電率計又は比抵抗計用の電極を提供することを所期の課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

すなわち本発明に係る導電率計又は比抵抗計用の電極は、電極本体と、前記電極本体を貫通する被検液取込み流路と、前記被検液取込み流路を形成する対向する内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電圧極と、前記各内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電流極とを有し、前記一対の電流極のそれぞれが炭素系材料を含むものであり、前記内壁面に露出する前記一対の電流極のそれぞれの表面の形状が有端帯状であることを特徴とする。

【0007】

このような構成であれば、一対の電流極が被検液取込流路を挟んで対向して設けられているので、一方の電流極から出た電気力線が電極本体を回り込むことなく直接他方の電流極に入りやすい。そのため、電極本体の外部へ漏れ出る電気力線を低減することができる。このため、本発明の電極を、例えば測定中に被検液が入ったビーカーの壁等に近づけたりしても、一対の電圧極の間に形成される電気力線の密度が大きく変化せず、測定した導電率や比抵抗が大きく変動しない。すなわち、測定場所を問わず精度の高い導電率測定や比抵抗測定を行うことができる。

【0008】

また、このような構成であれば、製造が容易でかつ加工性に優れた交流４電極式の導電率計又は比抵抗計用の電極を提供することができる。例えば、電流極の端面が有端帯状をなすものであって電圧極の周りを取り囲まないので、製造過程において電流極と電圧極とを筒状の型に入れて熱硬化性樹脂等の樹脂を流し込んだ場合に、電圧極と電流極との間に樹脂が容易に流れていき、この間に樹脂を容易に充填することができる。すなわち、電流極の形状を、例えば電圧極を取り囲むような円環状にする場合には、電圧極の周りを円環状の電流極が取り囲んでいるので、製造過程において電圧極と電流極との間に樹脂が充填されにくいという問題が生じ得るが、電流極の端面を前記したように有端帯状にすることで、このような問題も解消できる。
また、電流極の端面が有端帯状であるので、製造の際には例えば予め準備した板状の電流極を切削するだけでよいので、電流極自体の加工が容易である。そのため、製品の仕様に応じて電流極の面積等を容易に変更することができる。
なお、本発明でいう「有端帯状」とは、両端を有する帯状をなす形を意味し、例えば円環状のように外周と内周とを有するものを含まない。

【0009】

さらに、電流極は炭素系材料を含むものであるので、優れた耐薬品性及び耐アルカリ性を発揮することができる。ここで「炭素系材料を含む」とは、電流極が炭素系材料のみから構成されていることや、電流極が炭素系材料と炭素系材料以外の材料との複合材料から構成されていることを意味する。
なおこの炭素系材料を含む電流極は製造の際に焼成を行う必要があるため、一般的には金属からなる電流極に比べて加工が難しい。しかしながら、上述のように、本発明の導電率計又は比抵抗計用の電極では、電流極の端面が有端帯状であるので電流極自体の加工が容易であるので、電流極として炭素系材料を含むものを適用することが可能である。

【0010】

なお本発明で言う「導電率」とは、ＪＩＳで規定される「電気伝導率」を意味し、「比抵抗」とはＪＩＳで規定する「電気抵抗率」を意味する。

【0011】

上述した導電率計又は比抵抗計用の電極は、前記一対の電流極を複数有しており、複数の前記一対の電流極の間に前記一対の電圧極が位置するように構成されていることが好ましい。
このような構成であれば、複数の一対の電流極によって一対の電圧極を挟み込むようにすることで、一対の電圧極間を通る電気力線をより密にし、電極本体の外部への電気力線の漏れをより少なくすることができる。そのため、上記した測定中の導電率や比抵抗の変動をより小さくすることができる。

【0012】

また、電極本体が円柱状等の柱状をなすものであり、前記被検液取込み流路は前記電極本体の側周面を貫通するように形成されており、前記一対の電圧極と前記一対の電流極は、前記電極本体の軸方向に平行になるように設けられ、かつ前記被検液取込み流路の貫通方向に沿って互いに隣り合うように設けられたものであることが好ましい。
このような構成であれば、製造過程で筒状の型に樹脂を流し込んで電流極と電圧極とを固定する際に、電流極と電圧極との間に樹脂をより容易に流し込みやすくすることができる。また電流極と電圧極との間の気泡をより逃げやすくすることができる。

【0013】

上記炭素系材料の具体的な態様としては、ガラス状炭素を挙げることができる。
このようなものであれば、電流極自体の機械的強度を向上することができる。なお、上述のように、本発明の電流極は端面が有端帯状をなすものであるので、端面が円環状のものに比べて加工が容易である。そのため、ガラス状炭素等の硬い材料を適用することが可能である。

【0014】

本発明に係る導電率計又は比抵抗計用の電極はまた、電極本体と、前記電極本体を貫通する被検液取込み流路と、前記被検液取込み流路を形成する対向する内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電圧極と、前記各内壁面に表面が露出するようにそれぞれ設けられた一対の電流極とを有し、前記一対の電流極のそれぞれが炭素系材料を含むものであり、前記各内壁面において、前記電流極と前記電圧は、それぞれ樹脂部材により囲まれており、前記各内壁面において、前記電流極を取り囲む樹脂部材と前記電圧極を取り囲む樹脂部材とが連なっているものであってもよい。
このようなものであれば、上述した、内壁面に露出する一対の電流極のそれぞれの表面の形状が有端帯状である導電率計又は比抵抗計用の電極により得られる作用効果と同様の作用効果を奏し得る。
ここで、「電流極を取り囲む樹脂部材と前記電圧極を取り囲む樹脂部材とが連なっている」とは、電流極を取り囲む樹脂部材と前記電圧極を取り囲む樹脂部材とが、途切れることなく連続して繋がっていることを意味する。すなわち、製造過程において電流極と電圧極とを型に入れて熱硬化性樹脂等の樹脂を流し込んだ際に、電圧極と電流極との間に樹脂が流れていき、この間に樹脂が充填されたことを意味する。

【0015】

また、本発明にかかる導電率計は、上述した導電率計又は比抵抗計用の電極と、当該電極からの出力信号を受信し、この受信した出力信号に基づいて導電率を算出して出力する導電率算出器と、を備えることを特徴とする。
また、本発明に係る比抵抗計は、上述した導電率計又は比抵抗計用の電極と、当該電極からの出力信号を受信し、この受信した出力信号に基づいて比抵抗を算出して出力する比抵抗算出器と、を備えることを特徴とする。
このような導電率計や比抵抗計であれば、上述した導電率計又は比抵抗計用の電極により得られる作用効果と同様の作用効果を奏し得る。

【発明の効果】

【0016】

このように構成した本発明によれば、外部への電気力線の漏れが少なく、しかも製造が容易でかつ加工性に優れた交流４電極式の導電率計又は比抵抗計用の電極を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本実施形態の導電率計の構成を模式的に示す図。

【図2】同実施形態の電極の電流極及び電圧極の構成を模式的に示す図。

【図3】図１のＡ－Ａ線断面図。

【図4】同実施形態の電極の製造過程を模式的に示す図。

【図5】他の実施形態の電極の電流極及び電圧極の構成を模式的に示す図。

【図6】他の実施形態の電極の電流極及び電圧極の構成を模式的に示す図。

【図7】他の実施形態の電極の被検液取込み流路の構成を模式的に示す図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下に本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に説明する導電率計は本発明の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本発明を以下のものに限定しない。また、一の実施形態において説明する内容は、他の実施形態にも適用可能である。また、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張していることがある。

【0019】

本実施形態に係る導電率計１００は、例えば半導体プロセスで用いられる材料液や洗浄液などの被検液の導電率を測定する交流４電極式のものである。
具体的にこの導電率計１００は、図１に示すように、被検液に浸けられる電極１（導電率電極ともいう）と、当該電極１にケーブルＣＬを介して電気的に接続された導電率計本体２（本発明の「導電率算出器」に相当）と、を備えたものである。
以下、各部について説明する。

【0020】

電極１は、図１に示すように、ボディ１１（本発明の「電極本体」に相当）と、ボディ１１を貫通して形成された被検液取込み流路１２と、当該被検液取込み流路１２を挟むようにして設けられた複数の電流極１４と、電流極１４と同様に当該被検液取込み流路１２を挟むようにして設けられた複数の電圧極１５とを具備するものである。

【0021】

ボディ１１は、複数の電流極１４及び複数の電圧極１５を収容して保持するものである。このボディ１１は細長い円柱状をなすものであり、絶縁性が高い材料から構成されている。ここでは、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂により構成されている。

【0022】

被検液取込み流路１２は、導電率測定する被検液をボディ１１内に取り込むためのものである。この被検液取込み流路１２は、ボディ１１の先端部近傍において、ボディ１１の軸方向に垂直な方向に、ボディ１１の側周面１１１を貫通するように形成されており、ボディ１１の軸方向に平行な断面における断面形状が長孔状をなすものである。図３に示すように、この被検液取込み流路１２は、ボディ１１の軸方向に平行な対向する２つの内壁面１２１、１２２によって形成されている。
なお、ここでいう「ボディの側周面を貫通する」とは、ボディ１１の軸方向に垂直な方向に被検液が流体連通できるように被検液取込み流路１２が形成されることを意味する。

【0023】

図２及び図３に示すように、ボディ１１内には、被検液取込み流路１２を挟んで２枚の矩形板状の電子基板１３１、１３２が収容されており、これに複数の電流極１４及び複数の電圧極１５が取り付けられている。この電子基板１３１及び１３２の端面には、複数の電流極１４及び複数の電圧極１５と電気的に接続するリード線が接続されており、これらのリード線は、電極１の基端部からケーブルＣＬとして延び、導電率計本体２に接続されている。

【0024】

複数の電流極１４は、被検液取込み流路１２内に電界を生じさせて、被検液取込み流路１２内にある被検液に電流を流すためのものである。具体的にこの複数の電流極１４はそれぞれ、プラスチックフォームドカーボンからなる矩形板状のものであり、上述の内壁面１２１、１２２に有端帯状の表面が露出するようにボディ１１に設けられている。図２に示すように、各電流極１４は、長手方向が、ボディ１１の軸方向に平行になるようにそれぞれ設けられている。

【0025】

図２及び図３に示すように、この複数の電流極１４は、被検液取込み流路１２を挟んで対向する一対の電流極１４ａ（以下、「第１電流極対」と記載する）と、一対の電流極１４ｂ（以下、「第２電流極対」と記載する）とを有している。この第１電流極対１４ａと第２電流極対１４ｂは、被検液取込み流路１２の貫通方向に沿って平行に設けられている。

【0026】

複数の電圧極１５は、被検液取込み流路１２内にある被検液に生じる電位差を検出するためのものである。具体的にこの複数の電流極１５は、前記電流極１４同様に、それぞれプラスチックフォームドカーボンからなる矩形板状のものであり、上述の内壁面１２１、１２２に有端帯状の表面が露出するようにボディ１１に設けられている。各電流極１５は、長手方向が、ボディ１１の軸方向に平行になるようにそれぞれ設けられている。
この複数の電圧極１５は、被検液取込み流路１２を挟んで対向する一対の電圧極１５ａ（以下、「電圧極対」と記載する）を有している。

【0027】

本実施形態の電極１では、図２及び図３に示すように、第１電流極対１４ａと第２電流極対１４ｂの間に電圧極対１５ａが位置するように構成されている。具体的には、第１電流極対１４ａと電圧極対１５ａと第２電流極対１４ｂとが、間に絶縁性の樹脂（ボディ１１の一部）を挟んでこの順に、被検液取込み流路１２が貫通する方向に沿って等間隔で隣り合うように設けられている。

【0028】

より具体的には、被検液取込み流路１２を形成する一方の内壁面１２１側では、第１電流極対１４ａの一方の第１電流極１４１ａと第２電流極対１４ｂの一方の第２電流極１４１ｂとの間に、電圧極対１５ａの一方の電圧極１５１ａが絶縁性の樹脂を介して挟まれるように構成されている。
さらに具体的には、第１電流極１４１ａと第２電流極１４１ｂと電圧極１５１ａは、それぞれ、絶縁性の樹脂によって周りを囲まれており、この第１電流極１４１ａと第２電流極１４１ｂと電圧極１５１ａを取り囲んでいる絶縁性の樹脂が、連なるように（すなわち、連続して繋がるように、又は連通するように）構成されている。
なお、一方の第１電流極１４１ａと一方の第２電流極１４１ｂとは、電子基板１３１を介して電気的に接続されている。

【0029】

被検液取込み流路１２を形成する他方の内壁面１２２側では、第１電流極対１４ａの他方の第１電流極１４２ａ、第２電流極対１４ｂの他方の第２電流極１４２ｂ及び電圧極対１５ａの他方の電圧極１５２ａが、前述した第１電流極１４１ａ、第２電流極１４１ｂ及び電圧極１５１ａと同様の構成を有するように、設けられている。

【0030】

図３に示すように、一方の第１電流極１４１ａと、一方の第２電流極１４１ｂと、一方の電圧極１５１ａは、内壁面１２１と同一平面上にそれぞれの表面が露出するように（すなわち、内壁面１２１に面一になるように）、ボディ１１に設けられている。
同様に、他方の第１電流極１４２ａ、他方の第２電流極１４２ｂ、及び他方の電圧極１５２ａも、内壁面１２２と同一平面上にそれぞれの表面が露出するように（すなわち、内壁面１２２に面一になるように）、ボディ１１に設けられている。

【0031】

導電率計本体２は、電極１からの出力信号を受信し、この受信した出力信号に基づいて被検液の導電率を算出して、算出した導電率をディスプレイ２１に表示するものである。

【0032】

具体的に導電率計本体２は、ハードウェア構成として、ＣＰＵ、Ａ／Ｄ変換器、記憶装置、入力手段、ディスプレイ２１、更には交流電源や演算増幅器等からなる測定回路等を一体的に備えたものである。そして前記ＣＰＵや必要に応じてその周辺機器が、記憶装置に格納されたプログラムに基づいて動作することにより、例えば、電極１が被検液に浸漬した状態で、第１電流極対１４ａ及び第２電流極対１４ｂに流れる電流値及び電圧極対１５ａ間に生じる電位差に基づいて、被検液の導電率を算出できるように構成されている。

【0033】

具体的には、第１電流極対１４ａ及び第２電流極対１４ｂによって被検液中に電流を流し、電圧極対１５ａによって被検液中の電位差を測定するように構成されている。そして、前記電位差の値に対する電流値の比（電流値／電圧値）を用いて、被検液の導電率を算出するように構成されている。なお、被検液の導電率は温度によって変化するので、この導電率計本体２は、２５℃における導電率の推定値を算出するように温度補償できるように構成されている。具体的には、内壁面１２１上には図示しないサーミスタが設けられており、導電率計本体２は、このサーミスタから得られる温度情報に基づいて導電率を温度補償できるように構成されている。

【0034】

次に、上述した本実施形態の電極１の製造方法について説明する。なお、説明を簡略にするため、リード線の接続等の工程についての説明を省略している。

【0035】

本実施形態の電極１の製造方法では、樹脂を充填するための有底筒状の型４１と、２枚の板状の電子基板１３１、１３２と、３枚の厚板状のプラスチックフォームドカーボン板４３ａ、４３ｂ、４３ｃと、を準備する。この厚板状のプラスチックフォームドカーボン板４３ａ及び４３ｃは、加工された後に電流極１４になるものであり、板状の電流極１４を厚み方向に伸ばしたような形状をなすものである。同様に、厚板状のプラスチックフォームドカーボン板４３ｂは、加工された後に電圧極１５になるものである。このような３枚の厚板状のプラスチックフォームドカーボン板４３ａ～４３ｃを、等間隔を空けて並列するように、２枚の板状の電子基板１３１、１３２の間に挟んで固定する。そしてこれを、図４の（ａ）に示すように、３枚の厚板状のプラスチックフォームドカーボン板４３ａ～４３が並んで立つような姿勢で筒状の型４１内にセットし、型４１の開放端からエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を流し込む。その後加熱する等によりエポキシ樹脂を硬化させることで、内側に電子基板１３１、１３２及びプラスチックフォームドカーボン板４３ａ、４３ｂ、４３ｃを収容して保持するボディ１１が形成される。

【0036】

ボディ１１を筒状の型４１から取り出した後、図４の（ｂ）に示すように、ボディ１１を切削して、ボディ１１の側周面を貫通する被検液取込み流路１２を形成する。より具体的には、３枚のプラスチックフォームドカーボン板４３ａ～４３ｃを、ボディ１１の半径方向に打ち抜くようにしてボディ１１を切削して、被検液取込み流路１２を形成する。このようにして、被検液取込み流路１２の内壁面と面一となる露出表面を有する複数の電流極１４及び複数の電圧極１５とを備える電極１を得ることができる。

【0037】

このように構成した本実施形態の導電率計１００によれば、一方の第１電流極１４１ａ及び第２電流極１４１ｂが、被検液取込流路１２を挟んで、他方の第１電流極１４２ａ及び第２電流極１４２ｂとそれぞれ対向しているので、一方の第１電流極１４１ａ及び第２電流極１４１ｂから出た電気力線が、ボディ１１を回り込むことなく、他方の第２電流極及び第２電流極に直接入りやすい。さらに、第１電流極対１４ａと第２電流極対１４ｂによって電圧極対１５ａを挟み込むように構成されているので、電圧極対１５ａの間を通る電気力線の密度が高くなっている。これらの構成により、本実施形態の電極１では、ボディ１１の外部へ漏れ出る電気力線が少なくなっており、例えば測定中に被検液が入ったビーカーの壁に近づけたりしても、電圧極対１５ａの間に形成される電気力線の密度が大きく変化せず、導電率が大きく変動しない。そのため、ビーカー内での測定場所を問わず精度の高い導電率測定を行うことができる。

【0038】

また、電極１が有する電流極１４１ａ及び１４１ｂ（１４２ａ及び１４２ｂ）の端面が有端帯状をなすものであって電圧極１５１ａ（１５２ａ）の周りを取り囲んでおらず、さらに、電流極１４１ａ及び１４１ｂ（１４２ａ及び１４２ｂ）と電圧極１５１ａ（１５２ａ）とが、それらの長手方向がボディ１１の軸方向に平行になるように互いに隣り合うように設けられているので、製造過程において筒状の型４１に熱硬化性樹脂を流し込んで固定する場合に、電圧極１４１ａ及び１４１ｂ（１４２ａ及び１４２ｂ）と電流極１５１ａ（１５２ａ）との間に熱可塑性樹脂が容易に流れていき、この間に容易に充填することができる。

【0039】

また、電流極１４１ａ及び１４１ｂ（１４２ａ及び１４２ｂ）の端面が有端帯状であるので加工が容易であり、製品の仕様に応じて電流極１４１ａ及び１４１ｂ（１４２ａ及び１４２ｂ）の面積等を容易に変更することができる。

【0040】

＜その他の実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0041】

前記実施形態の電極１では、複数の電流極１４は、２つの電流極対１４ａ及び１４ｂを有しているものであったがこれに限定されない。他の実施形態では、複数の電流極１４は１つの電流極対１４ａのみを有していてもよい。また、３つ以上の電流極対を有していてもよい。

【0042】

前記実施形態の電極１では、複数の電流極１４がいずれも、内壁面１２１又は１２２に露出する面が両端に角を有する長方形状をなす有端帯状のものであったが、これに限定されない。他の実施形態では、図５に示すように、これらの露出面の形状が、両端が丸みを帯びた形状や楕円形状等をなす有端帯状のものであってもよい。また、これらの露出面の形状は、直線状の有端帯状に限らず、図６に示すように、Ｕ字型なす有端帯状のものであってもよい。

【0043】

前記実施形態の電極１では、複数の電流極１４と複数の電圧極１５はいずれも、プラスチックフォームドカーボンからなるものであったがこれに限定されない。例えば、グラファイトやガラス状炭素、導電性ダイヤモンド等のその他の炭素系材料からなるものであってもよい。また、グラファイトの表面にガラス状炭素やその他の炭素系材料を形成したものであってもよい。また、炭素系材料とその他の材料とを組み合わせた複合材料からなるものであってもよい。これらのものが電極１の用途や仕様に応じて適宜選択されてよい。

【0044】

前記実施形態の被検液取込み流路１２は、内壁面によって周囲を囲まれており、ボディ１１の軸方向に平行な断面における断面形状が長孔状をなすものであったが、これに限定されない。他の実施形態の被検液取込み流路１２は、例えば図７に示すように、ボディ１１の軸方向先端に開口を有するものであってもよい。
なお、前記実施形態のように、被検液取込み流路１２が内壁面によって周囲を囲まれているものであれば、長期間使用することによる内壁面１２１及び内壁面１２２間の距離の変動を抑制でき、測定精度の低下を効果的に防止できるので好ましい。

【0045】

前記実施形態の電極１は、導電率計本体２に接続されて被検液の導電率を測定するために用いられていたが、これに限定されない。他の実施形態では、比抵抗を算出する比抵抗計本体に接続されて、被検液の比抵抗を測定するのに用いられてもよい。また、導電率と比抵抗の両方を測定できる電気特性測定計に接続されて、被検液の導電率と比抵抗の両方を測定するために用いられてもよい。

【0046】

前記実施形態の導電率計１００では、電極１と導電率計本体２とが別体として設けられていたが、これに限らない。他の実施形態では、電極１に導電率計本体２が取り付けられて、電極１と導電率計本体２とが一体的に構成されていてもよい。
また、前記実施形態においてディスプレイ２１は導電率計本体２に設けられていたが、これに限らず、電極１に一体的に設けられていてもよい。また、導電率計本体２が算出した導電率が、パソコン、タブレット、スマートフォン、その他のポータブル機器等の外部機器に無線乃至有線で送信され、その外部機器が有するディスプレイに表示するように構成してもよい。従って、電極１又は導電率計本体２にディスプレイを必ずしも設ける必要はない。
また、導電率計本体２の機能を、前記した外部機器に持たせてもよい。この場合には、当該外部機器に所定のアプリケーションをインストールすることにより、電極１からの出力信号を受信し、この受信した出力信号に基づいて被検液の導電率を算出して、算出した導電率、外部機器が有するディスプレイに表示するように構成されてよい。この所定のアプリケーションはプログラムとしてユーザに提供されてもよく、このプログラムは、光ディスク、半導体メモリ等の記録媒体に記録されて提供されてもよいし、ネットワークを介してダウンロードされて提供されてもよい。

【0047】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0048】

１００・・・導電率計
１ ・・・電極
１１ ・・・ボディ（電極本体）
１２ ・・・被検液取込み流路
１２１、１２２・・・内壁面
１４ａ・・・第１電流極対（一対の電流極）
１４ｂ・・・第２電流極対（一対の電流極）
１５ ・・・一対の電圧極
２ ・・・導電率計本体（導電率算出器）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】