特許 7125533 印刷用メタルマスクの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-16

(45)【発行日】2022-08-24

(54)【発明の名称】印刷用メタルマスクの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41N 1/24 20060101AFI20220817BHJP

   B41C 1/14 20060101ALI20220817BHJP

   H05K 3/12 20060101ALI20220817BHJP

【ＦＩ】

B41N1/24

B41C1/14 101

H05K3/12 610P

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2021215539

(22)【出願日】2021-12-17

【審査請求日】2022-02-15

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000220170

【氏名又は名称】東京プロセスサービス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100162868

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 英輔

(74)【代理人】

【識別番号】100196689

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 康一郎

(72)【発明者】

【氏名】茂木 正

(72)【発明者】

【氏名】池上 洋一

【審査官】亀田 宏之

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－１６８２５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２１７６４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０６６０６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｎ １／２４

Ｂ４１Ｃ １／１４

Ｈ０５Ｋ ３／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

曲線部分を有する印刷パターンを形成するための印刷用メタルマスクの製造方法であって、
導電性基板上に、フォトリソグラフィ法により、所定のパターンで第一レジスト層を形成する工程と、
前記導電性基板上に電気めっきにより、第一レジスト層に対応するメッシュ開口を有する第一金属層を形成する工程と、
前記第一金属層の上に、フォトリソグラフィ法により、前記印刷パターンに対応する大きさと形状で、第二レジスト層を形成する工程と、
前記第一金属層の上に、電気めっきにより、第二レジスト層に対応する印刷用開口を有する第二金属層を、前記第一金属層と一体的に形成する工程と、
前記第一レジスト層と前記第二レジスト層を除去して、前記メッシュ開口と前記印刷用開口を露出させ、前記第一金属層と前記第二金属層を前記導電性基板から剥離する工程と、を備え、
前記メッシュ開口は、前記印刷用開口より小さく、前記曲線部分に対応する部分を含む前記印刷用開口の一部または全部を覆う様に形成されるとともに、前記曲線部分の内側に配置されるものが、外側に配置されるものに比べて同等または大きく形成されている、
ことを特徴とする、印刷用メタルマスクの製造方法。

【請求項2】

前記印刷パターンは、細線状、ドーナツ状、円状、多角形状、またはこれらの組み合わせである、
ことを特徴とする、請求項１に記載の印刷用メタルマスクの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板やウエハー、グリーンシートなどのワーク上に、銀ペースト等の導電性ペーストや、ガラスペースト等の絶縁性ペースト（以下「導電性ペースト等」という）を印刷するための印刷用メタルマスクに関するものである。

【背景技術】

【0002】

基板上に導電性ペースト等を印刷することで電子回路や電子部品を形成するプリンテッドエレクトロニクスには、一般に、図９のように金属製の薄板であるマスク母材の面内に、印刷パターンに対応した形状と大きさで印刷用開口１０２が形成された印刷用メタルマスク１０１を、スクリーンメッシュＳにより金属枠Ｆに張設した、印刷版１００が従来から使用されてきた。

【0003】

ここで、プリンテッドエレクトロニクスに代表されるような、曲線部分を含むような、複雑で微細な印刷パターンを形成する場合には、それに対応して印刷用開口１０２も複雑な形状となるため、それを保持するための構造が必要となる。

【0004】

そこで、図１０の様に、ステンレス製のスクリーンメッシュＳに印刷用メタルマスク１０１を電気ニッケルめっきで固着したものが広く用いられてきた（例えば特許文献１参照）。図１０は、印刷用メタルマスク１０１の、印刷面（被印刷物に対向する側）から見た印刷用開口１０２である。

【0005】

この形態では、スクリーンメッシュＳの張力により、印刷用開口１０２の形状を保持しており、導電性ペースト等は、スクリーンメッシュＳの網目の隙間であるメッシュ開口１０３を通じて被印刷物に転写される。

【0006】

この場合、スクリーンメッシュＳは一定のパターンで編まれている一方で、印刷用開口１０２は多様で複雑な形状をしており、曲線部分を有する印刷パターンを形成するような場合、それに対応する印刷用開口１０２の特に曲線部分では、図１０の様に、局所的にメッシュ開口１０３が極めて小さくなり、導電性ペースト等が適正に印刷できなくなるという問題があった。これは、印刷パターンが微小になり、メッシュスクリーンＳの線の太さが印刷用開口１０２の大きさに対して無視できないような場合に特に顕著である。

【0007】

一方で、図１１の様に、印刷用メタルマスク２０１を第一金属層Ｍ１と第二金属層Ｍ２が密着して一体化した多層構造とし、第一金属層Ｍ１に架橋部２０４を、第二金属層Ｍ２に印刷用開口２０２を形成して、架橋部２０４で印刷用開口２０２を保持する方法も用いられている（例えば特許文献２参照）。

【0008】

なお、この場合、スクリーンメッシュＳは、印刷用メタルマスク２０１にテンションを与えて金属枠Ｆに張設して印刷版（図示略）を形成しているが、印刷用メタルマスク２０１の四辺に固着しており、印刷用メタルマスク２０１の内部に被る部分は、製造工程において切除されており、印刷用メタルマスク１０１と異なり、印刷用開口２０２を覆うような構造にはなっていない。

【0009】

ここで、導電性ペースト等は、架橋部２０４により形成されたメッシュ開口２０３（必要に応じて非曲線部分をメッシュ開口２０３ａ、曲線部分の内側をメッシュ開口２０３ｂ、曲線部分の外側をメッシュ開口２０３ｃとして区別する）を通じて被印刷物に転写されるが、印刷用開口２０２が微小で曲線部を持つような構造の場合には、やはり曲線部分の内側のメッシュ開口２０３ｂが極端に小さくなり、導電性ペースト等が通過しづらくなり、印刷品質の低下の原因となっていた。

【0010】

一方で、導電性ペースト等の通過性を向上させるために、架橋部２０４を細くしたり、間隔を広げたり、本数を減らしたりすると、スクリーンメッシュＳによる張力や、印刷時のスキージによる圧力により個々の架橋部２０４にかかる荷重が増えるため、破断しやすくなり、印刷用メタルマスク２０１の構造強度の低下を招いていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【文献】特開２０１５－２１７６４１

【文献】特開２０２１－０６６０６７

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

この発明は、上記の事情に鑑み、曲線部分を有する微細で複雑な印刷パターンを、高品質で印刷することができる印刷用メタルマスクの製造方法を提供することを目的とする。

【0013】

また、このような印刷パターンに対応した印刷用開口を保持するためのメッシュ開口の破断を抑制して、構造強度の高い印刷用メタルマスクの製造方法を提供することを目的とする。

【0014】

また、曲線部分を含む複雑な形状の印刷パターンでも印刷用開口の形状を適正に保持することが可能な印刷用メタルマスクの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0015】

請求項１に記載の発明は、曲線部分を有する印刷パターンを形成するための印刷用メタルマスクの製造方法であって、導電性基板上に、フォトリソグラフィ法により、所定のパターンで第一レジスト層を形成する工程と、前記導電性基板上に電気めっきにより、第一レジスト層に対応するメッシュ開口を有する第一金属層を形成する工程と、前記第一金属層の上に、フォトリソグラフィ法により、前記印刷パターンに対応する大きさと形状で、第二レジスト層を形成する工程と、前記第一金属層の上に、電気めっきにより、第二レジスト層に対応する印刷用開口を有する第二金属層を、前記第一金属層と一体的に形成する工程と、前記第一レジスト層と前記第二レジスト層を除去して、前記メッシュ開口と前記印刷用開口を露出させ、前記第一金属層と前記第二金属層を前記導電性基板から剥離する工程と、を備え、前記メッシュ開口は、前記印刷用開口より小さく、前記曲線部分に対応する部分を含む前記印刷用開口の一部または全部を覆う様に形成されるとともに、前記曲線部分の内側に配置されるものが、外側に配置されるものに比べて同等または大きく形成されている、ことを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の印刷用メタルマスクの製造方法であって、前記印刷パターンは、細線状、ドーナツ状、円状、多角形状、またはこれらの組み合わせである、ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0016】

請求項１から２の発明によれば、印刷用開口の形状の保持のために、一定のパターンで編まれたメッシュの代わりに、任意に設計されたメッシュ開口が設置されているため、導電性ペースト等が通過する空間の部分的なバラつきが少なく、印刷品質を向上させることが可能となる。

【0017】

また、曲線部分のメッシュ開口が、その内側に対応するものの一部または全部が、外側に対応するものに比べて同等または大きく形成されているために、曲線部分を有する微細な印刷パターンを形成する場合においても、印刷品質を向上させることが可能となる。

【0018】

また、曲線部分の外側に対応するメッシュ開口には、内側に比べて架橋部が多く配置されているため、メッシュ開口の破断を抑制して、印刷用メタルマスクの構造強度を高めることが可能となる。

【0019】

請求項２の発明によれば、細線状、ドーナツ状、円状、多角形状、またはこれらの組み合わせからなる複雑で微細な形状の印刷パターンを形成する場合でも、印刷用開口の形状を適正に保持することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施の形態１に係る、印刷用メタルマスクの概略の正面図である。

【図2】本発明の実施の形態１に係る、印刷用メタルマスクの印刷用開口とメッシュ開口の概略の正面図（ａ）と側面（Ｘ_１－Ｘ_１）断面図（ｂ）である。

【図3】本発明の実施の形態１に係る、印刷用メタルマスクの製造方法を示す概略の工程フロー図である。

【図4】本発明の実施の形態１に係る、印刷用メタルマスクの製造方法を示す概略の工程フロー図である。

【図5】本発明の実施の形態２に係る、印刷用メタルマスクの印刷用開口とメッシュ開口の概略の正面図である。

【図6】本発明の別の実施の形態に係る、印刷用メタルマスクの印刷用開口とメッシュ開口の概略の正面図である。

【図7】本発明の別の実施の形態に係る、印刷用メタルマスクの印刷用開口とメッシュ開口の概略の正面図である。

【図8】本発明の別の実施の形態に係る、印刷用メタルマスクの印刷用開口とメッシュ開口の概略の正面図（ａ）と側面（Ｘ_２－Ｘ_２）断面図（ｂ）である。

【図9】従来の印刷版の概略の正面図である。

【図10】従来の印刷用メタルマスクの印刷用開口と、メッシュ開口の概略の正面図（ａ）と側面（Ｘ_３－Ｘ_３）断面図（ｂ）である。

【図11】従来の印刷用メタルマスクの印刷用開口と、メッシュ開口の概略の正面図（ａ）と側面（Ｘ_４－Ｘ_４）断面図（ｂ）である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図面において、図面中の各部の構成の大きさ、間隔、数、その他詳細は、視認と理解の助けのために、実際の物に比べて大幅に簡略化して表現している。

【0022】

発明の実施の形態１
図１は発明の実施の形態１に係る、印刷用メタルマスク１の概略の正面図である。印刷用メタルマスク１は、図１、図２に示すように、平板状のマスク母材１１と、マスク母材１１の面内に形成された印刷用開口１２と、同様に形成されたメッシュ開口１３を備えている。メッシュ開口１３は、印刷用開口１２と連結して、貫通孔を形成している。ここで、図１、２は、印刷用メタルマスク１と印刷用開口１２を、被印刷物と対向する側から見たものであり、以降の図と実施の形態においても同様とする。

【0023】

マスク母材１１は、一辺が２００～８００ｍｍの四辺形（正方形または長方形）の金属製の平板であり、本実施の形態１では従来の印刷用メタルマスク２０１の場合と同様に、使用時にスキージを滑動させる面（スキージ面）となる第一金属層Ｍ１と、印刷物に対向する面（印刷面）となる第二金属層Ｍ２が、密着して一体化された二層構造をしている。厚さは第一金属層Ｍ１が５～１００μｍ、第二金属層Ｍ２が１～２００μｍに設定されている。

【0024】

印刷用開口１２は、マスク母材１１の片側（本実施の形態では、第二金属層Ｍ２）の面内に、印刷パターンに対応した大きさと形状で、第二金属層Ｍ２を貫通するように形成されている。また、本実施の形態１では、略Ｊ字形状をしており、その一部に曲線部分を有している。

【0025】

また、印刷用開口１２は、最大寸法が０．０３～１．０ｍｍ程度の大きさであり、図のようにマスク母材１１の面内に複数個形成されている。

【0026】

メッシュ開口１３は、マスク母材１１の、印刷用開口１１と反対側（本実施の形態では第一金属層Ｍ１）の面内に、印刷用開口１２より小さく、印刷用開口１２の曲線部分に対応する部分を含む印刷用開口１２の全部と同じ領域に、印刷用開口１２を覆う様に複数形成されており、その寸法は一辺が０．０１～０．１ｍｍ程度である。

【0027】

また、メッシュ開口１３が形成されている領域は、従来の印刷版の場合と同様に、印刷用開口１２の形状と相似的に小さく設定されており、図２（ｂ）のように、第一金属層Ｍ１が印刷用開口１２の内側に０．００１～０．０３ｍｍ程度せり出す形になっている。

【0028】

メッシュ開口１３（以下、必要に応じて非曲線部分をメッシュ開口１３ａ、曲線部分の内側をメッシュ開口１３ｂ、曲線部分の外側をメッシュ開口１３ｃとして区別する）は、印刷用開口１２の非曲線部分のメッシュ開口１３ａでは、その大きさは略同一に設定されているが、曲線部分では、曲線の内側（曲率が大きい側）のメッシュ開口１３ｂは、曲線の外側（曲率の小さい側）のメッシュ開口１３ｃより大きく形成されている。

【0029】

ここで、本実施の形態１では、二つのメッシュ開口１３の大小の比較は、単純な面積の大小ではなく、実際の印刷時における導電性ペースト等の通過性を鑑みて、一方が他方の内部に収まるように重ね合わせることができるかどうかで判定している。すなわち、本実施の形態１では、曲線の外側のメッシュ開口１３ｃと内側の１３ｂを重ねた場合、メッシュ開口１３ｃは１３ｂの内部に収まるので、メッシュ開口１３ｂの方が１３ｃより大きいと判定される。一方、メッシュ開口１３を形成する全ての辺が略一致する場合、大きさは同一と判定する。さらに、一部の辺が略重なり合うが、一方の残りの辺が他方の内部に位置するような場合も、後者が前者より大きいとする。

【0030】

メッシュ開口１３の外形は、印刷用開口１２の形状を保持するために、第一金属層Ｍ１の印刷用開口１２の曲線部分に対応する部分を含む印刷用開口１２の全部と同じ領域に、印刷用開口１２を覆う様に形成された、架橋部１４により形作られている。

【0031】

本実施の形態１では、架橋部１４は、印刷用開口１２の曲線部に沿って伸長し、印刷用開口１２の内側にせり出した第一金属層Ｍ１の短辺同士を接続する架橋部１４ａと、これと交差する方向に伸長し、同様に第一金属層Ｍ１の長辺同士を接続する架橋部１４ｂと、架橋部１４ａ同士または架橋部１４ａと第一金属層Ｍ１の長辺とを接続する、架橋部１４ｃにより構成されている。架橋部１４の幅は，印刷中に破断しない強度を確保できるとともに、隣接するメッシュ開口１３から吐出された導電性ペースト等が，隔離せずに接続されうる程度の範囲である必要があり、本実施の形態１では、０．０１～０．１ｍｍ程度である。

【0032】

架橋部１４ｃは、１４ａと１４ｂにより形成されたメッシュ開口１３を分割し、曲線部の外側のメッシュ開口１３ｃが内側のメッシュ開口１３ｂより小さくするように配置されている。

【0033】

次に、図３、４を参照しながら、印刷用メタルマスク１の製造方法について説明する。本実施の形態１において、印刷用メタルマスク１は、フォトリソグラフィ法と電気めっき法を用いて製造される。

【0034】

先ず、電気めっきの電極であり、めっきを析出させるめっき基材となる導電性基板Ｓｂを準備する（ａ）。導電性基板は、取り扱い性と、めっき中のめっき液内での安定性を考慮して好適な厚さと素材を選択するが、本実施の形態では、１ｍｍの長方形状のステンレス材を使用している。また、長方形の寸法は、製造する印刷用メタルマスク１の大きさを考慮して、適切なサイズの物を選択する。本実施の形態１では、長辺６５０ｍｍ、短辺５５０ｍｍのものを使用している。

【0035】

次に、導電性基板上に、フォトレジストＦＲのドライフィルムを被覆して（ｂ）、露光機により、メッシュ開口１３のパターンに対応してフォトレジストＦＲを露光し（ｃ）、現像機で未露光部分を溶融させ除去して、第一レジスト層Ｒ１を形成する（ｄ）。ここで、露光機はフォトマスクを使用せずにフォトレジストＦＲに所定のパターンで直接光を照射する、直描型を用いた。ここで、第一レジスト層Ｒ１の大きさ、形状、配置は、メッシュ開口１３に対応している。

【0036】

次に、第一レジスト層Ｒ１が形成された導電性基板上に、電気めっき法により、第一金属層Ｍ１を形成する（ｅ）。第一金属層Ｍ１には、第一レジスト層Ｒ１に対応するメッシュ開口１３が形成される。ここで、本実施の形態１では、電気めっき法は、スルファミン酸ニッケルをベースとしためっき液を用いた。

【0037】

次に、第一金属層Ｍ１と第一レジスト層Ｒ１の上に、フォトレジストＦＲのドライフィルムを被覆して（ｆ）、露光・現像を行い、印刷パターンすなわち印刷用開口１２に対応する大きさと形状と配置で、第二レジスト層を形成する（ｇ、ｈ）。ここで、第二レジスト層Ｒ２は、メッシュ開口１３が形成されている領域よりも、０．００１～０．０３ｍｍ外側にまで形成され、これにより第一金属層Ｍ１が印刷用開口１２の内側にせり出す構造が形成される。

【0038】

次に、第一金属層Ｍ１の上に電気めっき法により、第二金属層Ｍ２を形成する。第二金属層Ｍ２には、第二レジスト層Ｒ２に対応する印刷用開口１２が形成される（ｉ）。第二金属層Ｍ２は、第一金属層Ｍ１と密着して一体的に形成され、マスク母材１１を形成している。ここで、前述のように、メッシュ開口１３は、印刷用開口１２より小さく、印刷用開口の曲線部分に対応する部分を含む印刷用開口１２の一部または全部を覆う様に形成されるとともに、曲線部分の内側に配置されるものの一部または全部が、外側に配置されるものに比べて同等または大きく形成されている。

【0039】

次に、レジスト剥離液中に、導電性基板を浸漬して第一レジスト層Ｒ１と第二レジスト層Ｒ２を除去し、メッシュ開口１３と印刷用開口１２を露出させる。本実施の形態１では、レジスト剥離液は苛性ソーダ水溶液を使用した。

【0040】

次に、マスク母材１１を導電性基板から剥離することで、印刷用メタルマスク１が完成する（ｊ）。

【0041】

本実施の形態１では、印刷用メタルマスク１は前述の印刷版と同様に、金属枠Ｆに、ポリエステルメッシュＭを介して張設して印刷版として用いられる。

【0042】

この発明によれば、印刷用開口１２の形状の保持のために、一定のパターンで編まれたメッシュＭの代わりに、任意に設計されたメッシュ開口１３が設置されているため、導電性ペースト等が通過する空間の部分的なバラつきが少なく、印刷品質を向上させることが可能となる。

【0043】

また、曲線部分のメッシュ開口１３が、その内側に対応するメッシュ開口１３ｂの一部または全部が、外側に対応するメッシュ開口１３ｃに比べて同等または大きく形成されているために、曲線部分を有する微細な印刷パターンを形成する場合においても、印刷品質を向上させることが可能となる。

【0044】

また、曲線部分の外側に対応するメッシュ開口１３ｃには、内側に比べて架橋部１４が多く配置されているため、メッシュ開口１３ｃの破断を抑制して、印刷用メタルマスク１の構造強度を高めることが可能となる。

【0045】

さらに、細線状、ドーナツ状、円状、多角形状、またはこれらの組み合わせからなる複雑で微細な印刷パターンを形成する場合でも、印刷用開口１２の形状を適正に保持することが可能である。

【0046】

発明の実施の形態２
図５は、発明の実施の形態２に係る、印刷用メタルマスク２（図示略）の印刷用開口２２とメッシュ開口２３の概略の正面図である。ここで、本実施の形態２において、実施の形態１と共通の要素は図示や説明を省略する。また、その製造方法についても、実施の形態１と同様である。

【0047】

印刷用開口２２は、大小２つの同心円から構成されるドーナツ状の形状をしており、内円の直径が０．５～１．０ｍｍ、外円の直径が１．５～３．０ｍｍに設定されている。

【0048】

また、メッシュ開口２３は、略楕円形状をしており、印刷用開口２２と連結して、貫通孔を形成している。本実施の形態２においては、メッシュ開口２３の大きさは、印刷用開口２２の曲線部の内側（すなわち内円の近傍）と外側（外円の近傍）とで同等としており、長軸が０．０１～０．２ｍｍであり、短軸が０．００５～０．１ｍｍである。

【0049】

また、メッシュ開口２３が形成されている領域は、実施の形態１と同様に、印刷用開口２２の形状と相似的に小さく設定されており、内円及び外円と同心円状に配置されている。

【0050】

印刷用開口２２は、ドーナツ形状であり、全体が曲線から構成されており、メッシュ開口２３は、全体的に曲線の内側（曲率が大きい側）のメッシュ開口２３と、曲線の外側（曲率の小さい側）と同等の大きさに形成されている。

【0051】

架橋部２４は、印刷用開口２２の外円及び内円と略同心円の方向には切れ目なく形成されているが、一方で、その直径方向には特段の方向性を持たずに、不規則に配置されている。

【0052】

この発明によれば、印刷用開口２２の形状の保持のために、一定のパターンで編まれたメッシュＭの代わりに、任意に設計されたメッシュ開口２３が設置されているため、導電性ペースト等が通過する空間の部分的なバラつきが少なく、印刷品質を向上させることが可能となる。

【0053】

また、曲線部分のメッシュ開口２３が、その内側に対応するものの全部が、外側に対応するものに比べて同等の大きさに形成されているために、曲線部分を有する印刷パターンを形成する場合においても、印刷品質を向上させることが可能となる。

【0054】

さらに、細線状、ドーナツ状、円状、多角形状、またはこれらの組み合わせからなる印刷パターンを形成する場合でも、印刷用開口２２の形状を適正に保持することが可能である。

【0055】

以上、本実施の形態１、２について説明したが、本願発明の範囲は以上の実施の形態に限られるものではなく、これと同視しうる他の形態に対しても及ぶ。

【0056】

例えば、架橋部１４は、図６、７の様な形態もとりうる。ここで、実施の形態と同一の構成については、特に必要のない限り、説明を省略する。

【0057】

図６において、メッシュ開口３３（以下、必要に応じて非曲線部分をメッシュ開口３３ａ、曲線部分の内側をメッシュ開口３３ｂ、曲線部分の外側をメッシュ開口３３ｃとして区別する）は、曲線部の内側のメッシュ開口３３ｂと、外側のメッシュ開口３３ｃとで、略同じ大きさに設定している。そのため、長辺同士を接続する架橋部１４ｂのようなものを設けずに、架橋部３４ｃを適宜配置して、メッシュ開口３３ｂ、３３ｃの大きさを調節している（曲線部の中間の領域についても同様である）。これにより、さらに曲線部の内側と外側による印刷量のバラツキを低減して、印刷品質を向上させることが可能となる。

【0058】

また、図７のように、曲線の部分の方向に沿った架橋部４４ｄの配置を、非等間隔にすることで、さらにメッシュ開口４３ｂ、４３ｃの大きさの微妙な調整が可能となり、より微小な印刷用開口４４や、曲線部の曲率が大きい印刷用開口４４に対しても、良好な印刷品質を保つことが可能となる。

【0059】

また、実施の形態２において、印刷用開口５２の内円及び外円と同心円状に、第一金属層の架橋部５４に、第二金属層Ｍ２と同じ厚さでリブ部５５を形成することで、より、微細な曲線を印刷することが可能となる。

【0060】

さらに、印刷用メタルマスク１の製造方法は、電気めっき法に限られず、エッチング法、レーザ加工法、無電解めっき法なども用いてもよい。例えば、第一金属層Ｍ１と第二金属層Ｍ２を別個にエッチング法またはレーザ加工法で作製して、これらを電気めっき法で接合しても、製造が可能である。また、無電解めっき法を用いることで、電気めっき法を用いた場合に発生しがちな、めっき皮膜の厚さのバラツキをなくすことができるので、厚さ精度の良い、印刷用メタルマスク１を得ることが可能となる。

【0061】

また、上記の実施の形態では、メッシュ開口１３は、印刷用開口１２の全体に渡って設けていたが、必ずしもこれに限られず、印刷用開口１２の曲線部分の形状保持ができるのであれば、印刷用開口１２の一部にだけ設けても良い。これにより、設計や製造の簡略化が図れるので、生産性を向上させることが可能となる。

【0062】

また、メッシュ開口１３は、曲線部分の曲率が小さい場合（すなわち曲がり方が緩い場合）は、必ずしも曲線部分の内側に対応するもの全てが外側に対応するものより同等または大きく形成されていなくてもよく、必要に応じて一部のメッシュ開口１３だけであってもよい。これにより、さらなる設計や製造の簡略化が図れるので、より生産性を向上させることが可能となる。

【0063】

また、細線状、ドーナツ状、円状、多角形状、またはこれらの組み合わせである、印刷パターンの印刷に対応した、印刷用開口１２、メッシュ開口１３を設定しても良い。

【0064】

また、必ずしも金属枠Ｆに張設してコンビネーション版としなくとも、印刷用メタルマスク１を湾曲し、対辺を接合させてロール形状にして使用してもよい。

【0065】

また、製造方法において使用するフォトレジストＦＲは、ドライフィルムに限られず、液状レジストを用いてもよい。

【0066】

また、フォトレジストＦＲの露光は、直描型に限られず、フォトマスク（Ｃｒマスク、ガラスマスクなど）を使用した、露光法を使用してもよい。

【符号の説明】

【0067】

１ 印刷用メタルマスク
１１ マスク母材
１２、２２、３２、４２、５２ 印刷用開口
１３、２３、３３、４３、５３ メッシュ開口
１４、２４、３４、４４、５４ 架橋部

【要約】

【課題】 曲線部分を有する微細な印刷パターンを、高品質で印刷することができ、印刷用開口を保持するためのメッシュ開口の破断を抑制して、構造強度が高く、曲線部分を含む複雑な形状の印刷パターンでも印刷用開口の形状を適正に保持することが可能な印刷用メタルマスクを提供する。
【解決手段】 印刷用メタルマスクは、第一金属層と第二金属層の二層構造で形成され、第二金属層には印刷パターンに対応した印刷用開口が、第一金属層には、印刷用開口を保持するための複数のメッシュ開口が形成され、メッシュ開口は、印刷用開口と連結して、貫通孔を形成するとともに、曲線部分の内側に対応するものが、外側に対応するものに比べて同等または大きく形成されている、
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】