特許7125591 | 知財ポータル「IP Force」

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

青山学院大学 (神奈川県相模原市中央区淵野辺)

▶ シンフォニアテクノロジー株式会社の特許一覧

特許7125591ロードポート及びＥＦＥＭ

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

目に優しい文字サイズ小中大 PDF Top

< >

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-17

(45)【発行日】2022-08-25

(54)【発明の名称】ロードポート及びＥＦＥＭ

(51)【国際特許分類】

H01L 21/677 20060101AFI20220818BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2018072021

(22)【出願日】2018-04-04

(65)【公開番号】P2019186293

(43)【公開日】2019-10-24

【審査請求日】2021-02-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100130498

【弁理士】

【氏名又は名称】佐野禎哉

(72)【発明者】

【氏名】鈴木淳志

(72)【発明者】

【氏名】三浦辰弥

(72)【発明者】

【氏名】谷山育志

【審査官】鈴木孝章

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／０２２４３１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－１１８２７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表平０６－５０１８１５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成し且つ搬送対象物が通過可能な開口部を有するベースと、
前記搬送対象物を収容した容器が有する容器ドアに係合可能であり且つ前記ベースの前記開口部を開閉可能なロードポートドアと、
前記ベースの前方における所定位置に配置された容器と当該ベースとの間をシールする第１シール部と、
前記開口部を閉止した閉状態にある前記ロードポートドアと前記ベースとの間をシールする第２シール部とを備え、
前記ロードポートドアが前記閉状態にあって且つ前記第１シール部を介して前記容器を前記ベースに当接させた状態において、前記ロードポートドアと前記容器ドアが所定寸法の隙間を隔てて対向する空間を前記第１シール部及び前記第２シール部によって仕切られた密閉空間になるように構成し、
さらに、
前記密閉空間に対してガスを注入するガス注入部とを備え、
前記第１シール部の一部または全部を、前記密閉空間を前記ガスに置換するドアパージ処理時に前記密閉空間を陽圧にすることで前記第２シール部よりも優先して開放される優先開放部分に設定し、当該開放された部分を通じて前記密閉空間の少なくとも前記ガスを排気可能に構成したことを特徴とするロードポート。

【請求項2】

前記密閉空間の気体を排気するガス排出部を備えている請求項１に記載のロードポート。

【請求項3】

【請求項4】

搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成し且つ搬送対象物が通過可能な開口部を有するベースと、
前記搬送対象物を収容した容器が有する容器ドアに係合可能であり且つ前記ベースの前記開口部を開閉可能なロードポートドアと、
前記ベースの前方における所定位置に配置された容器と当該ベースとの間をシールする第１シール部と、
前記開口部を閉止した閉状態にある前記ロードポートドアと前記ベースとの間をシールする第２シール部とを備え、
前記ロードポートドアが前記閉状態にあって且つ前記第１シール部を介して前記容器を前記ベースに当接させた状態において、前記ロードポートドアと前記容器ドアが所定寸法の隙間を隔てて対向する空間を前記第１シール部及び前記第２シール部によって仕切られた密閉空間になるように構成し、
さらに、
前記密閉空間の気体を排気する排出部を備え、
前記第２シール部の一部または全部を、前記密閉空間を排気する密閉空間清浄化処理時に前記密閉空間を負圧にすることで前記第１シール部よりも優先して開放される優先開放部分に設定していることを特徴とするロードポート。

【請求項5】

前記密閉空間に対してガスを注入するガス注入部を備えている請求項４に記載のロードポート。

【請求項6】

前記密閉空間内を吸引する吸引経路の所定箇所に排気ユニットを設けている請求項４又は５に記載のロードポート。

【請求項7】

請求項１乃至６の何れかに記載のロードポートと、
搬送空間に搬送ロボットを配置した搬送室とを備えていることを特徴とするＥＦＥＭ。

【請求項8】

前記搬送室は、前記搬送空間にガスを循環させる循環ダクトを備えたものであり、
前記搬送空間は、当該搬送空間の外である外部空間に対して３乃至５００Ｐａ（Ｇ）の差圧がある請求項７に記載のＥＦＥＭ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、容器に収容された搬送対象物を搬送空間に受け渡すインターフェース部として機能するロードポート及びロードポートを備えたＥＦＥＭに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。近年では、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室（以下、搬送室）の壁面の一部を構成するとともに、高清浄な内部空間にウェーハ等の搬送対象物が収納された搬送容器（以下「容器」）を載置し、容器のドア（以下「容器ドア」）を開閉させる機能を有するロードポート（Load Port）が搬送室に隣接して設けられている。以下では、容器ドアに係合可能であって容器ドアを開閉させるロードポートのドアを「ロードポートドア」とする。

【0003】

ロードポートは、搬送室との間で搬送対象物の出し入れを行うための装置であり、搬送室と容器（例えばＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod））の間におけるインターフェース部として機能する。そして、ＦＯＵＰのドア（以下「ＦＯＵＰドア」）に対してロードポートドアを所定の隙間を介して対向する状態でこれらＦＯＵＰドア及びロードポートドアが同時に開けられると、搬送室内に配置された搬送ロボット（ウェーハ搬送装置）によって、ＦＯＵＰ内の搬送対象物を搬送室内に取り出したり、搬送対象物を搬送室内からＦＯＵＰ内に収納できるように構成されている。

【0004】

ウェーハ周辺の雰囲気を適切に維持するために、容器としてＦＯＵＰと呼ばれる密閉式の格納ポッドが用いられ、ＦＯＵＰの内部にウェーハを収容して管理している。さらに、ウェーハに処理を行う処理装置と、ＦＯＵＰとの間でウェーハの受け渡しを行うために、搬送室と、ロードポートとを用いて構成されるＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）が利用されている。

【0005】

近年では素子の高集積化や回路の微細化が進められており、ウェーハ表面へのパーティクルや水分の付着が生じないように、ウェーハ周辺を高いクリーン度に維持することが求められている。そこで、ウェーハ表面が酸化するなど表面の性状が変化することがないよう、ＦＯＵＰの内部に窒素を充填して、ウェーハ周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態としたりすることも行われている。

【0006】

さらに、ウェーハの最先端プロセスにおいては、搬送室上部に配置したファンフィルタユニットから常時流すダウンフローとして用いられる清浄な大気に含まれる酸素、水分などですら、ウェーハの性状を変化させるおそれがある。このため特許文献１のように、不活性ガスをＥＦＥＭ内に循環させる技術の実用化が求められている。特許文献１に記載のシステムは、容器ドア（ＦＯＵＰドア）とロードポートドアとの間を密閉空間にすべくロードポートにおける適宜箇所にシール部材を設ける構成である。

【0007】

しかしながら、シール部材を設けた上記構成であれば、密閉空間に大気やパーティクルが残存してしまい、ＦＯＵＰドアに対してロードポートドアを所定の隙間を介して対向する状態でこれらＦＯＵＰドア及びロードポートドアが同時に開けられた際に、密閉空間で残存する大気やパーティクルがＦＯＵＰ内や搬送室に混入することで、低酸素濃度、低湿度が求められるＥＦＥＭにおいてウェーハの性状が変化してしまうおそれがあり得る。

【0008】

そこで、本出願人は、ＦＯＵＰドアとロードポートドアとの間の密閉空間にガスを注入するガス注入ノズルと、密閉空間のガスを排出するガス排出ノズルとを用いて、密閉空間の大気を除去して窒素ガスを充填（パージ）する構成を案出した（特許文献２）。このように、ＦＯＵＰドアとロードポートドアとの間に形成される密閉空間の気体を窒素で置換（以下、ドアパージという。）することによって、ＦＯＵＰドアに付着するパーティクル等がドア開放時にＥＦＥＭ搬送室内に流入する事態や、ＦＯＵＰドアとロードポートとの間の微小空間に含まれる酸素がＥＦＥＭ搬送室内に流入することを抑制することが図られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【文献】特開２０１４－１１２６３１号公報

【文献】国際公開２０１７／０２２４３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

ところが、タクトタイムの短縮化を図るため、ドアパージ（密閉空間の窒素置換処理）に要する時間は限定される。そこで、密閉空間に対する窒素ガスの供給量を増やすと、密閉空間における圧力が高くなってしまい、その結果、ベースの開口部を閉止した状態にあるロードポートドアに対して密閉空間からＥＦＥＭ搬送室側に向かう押圧力が作用し、ロードポートドアの閉止力が不足するとロードポートドア側の密閉性を維持することができず、密閉空間の酸素を含む気体やパーティクルがＥＦＥＭ搬送室内に流入する事態が起こり得る。

【0011】

一方、このような事態の発生を回避するため、密閉空間内の気体雰囲気を吸引する構成も考えられるが、置換ガスの供給と吸引のバランスが崩れて、吸引量が供給量よりも多くなると、密閉空間が陰圧となる。その結果、ＦＯＵＰドアが密閉空間側に引っ張られて容器本体との密閉性が低下して、ＦＯＵＰ内の気体が密閉空間に流入することが考えられる。ここで、ＦＯＵＰの底部には、ＦＯＵＰ内をパージ処理（ボトムパージ処理）するために窒素ガス供給ポートと、ＦＯＵＰ内からガスを自然排出する排気ポートが設けられており、ドアパージ処理に用いるガス吸引量がガス供給量よりも多くなれば、ボトムパージ処理用の排気ポートからＦＯＵＰ内に気体（大気）が吸引されて逆流し、密閉空間、ひいてはＥＦＥＭ搬送室内に流入するおそれがあり得る。

【0012】

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、ドアパージ処理またはドアパージ処理に準じた密閉空間清浄化処理に要する時間の短縮化を図りつつ、搬送対象物（ウェーハ）の性状変化を招来し得る望ましくない気体を搬送室内に流入させない構造のロードポート、及びこのようなロードポートを備えたＥＦＥＭを提供することにある。なお、本発明は、ＦＯＵＰ以外の容器に対応可能なロードポート及びＥＦＥＭに適用可能な技術である。

【課題を解決するための手段】

【0013】

すなわち、本発明は、搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成し且つ搬送対象物が通過可能な開口部を有するベースと、搬送対象物を収容した容器が有する容器ドアに係合可能であり且つベースの開口部を開閉可能なロードポートドアと、ベースの前方における所定位置に配置された容器と当該ベースとの間をシールする第１シール部と、開口部を閉止した閉状態にあるロードポートドアとベースとの間をシールする第２シール部とを備え、ロードポートドアが閉状態にあって且つ第１シール部を介して容器をベースに当接させた状態において、ロードポートドアと容器ドアが所定寸法の隙間を隔てて対向する空間を第１シール部及び第２シール部によって仕切られた密閉空間になるように構成したロードポートを基本構成とするものである。

【0014】

そして、本発明に係るロードポートは、このような基本構成において、密閉空間に対してガスを注入するガス注入部をさらに備え、第１シール部の一部または全部を、ドアパージ処理時に密閉空間を陽圧にすることで第２シール部よりも優先して開放される優先開放部分に設定し、この開放された部分を通じて密閉空間の少なくともガスを排気可能に構成していることを特徴としている。

【0015】

ここで、本発明において、密閉空間が陽圧状態にある場合に第２シール部よりも優先して開放される部分は、第１シール部の一部であってもよいし、第１シール部の全部であってもよい。つまり、密閉空間が陽圧状態にある場合に少なくとも第１シール部の１箇所でシール状態が解除される部分（排気されやすい部分）を設定しておくことが、これまでに着想されることのなかった本発明特有の構成である。また、本発明は、密閉空間が陽圧になったその時点で第１シール部の優先開放部分が第２シール部よりも優先して開放された状態になる構成や、密閉空間が陽圧になったその時点以降の適宜の時点（例えば密閉空間が所定値以上の圧になった時点等）で第１シール部の優先開放部分が第２シール部よりも優先して開放された状態になる構成、これら両方の構成も包含する。

【0016】

本発明に係るロードポートは、容器ドアとロードポートドアの間の隙間であって且つ第１シール部及び第２シール部にシールされた密閉空間を、ガス注入部によってガスに置換可能なドアパージ機能を発揮するものであるため、容器ドアに付着しているパーティクルや、容器ドアとロードポートドアとの間に存在してウェーハを酸化させるなど、ウェーハの性状を変化させるおそれのある酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が、ロードポートドアを開放した際に搬送空間及び容器の内部に流入する事態を防止・抑制できる。つまり、容器ドアを開放して密閉空間が開放される前に、密閉空間の酸素、水分、パーティクルを排除できる。

【0017】

さらに、本発明に係るロードポートは、ドアパージ処理時に密閉空間を陽圧にすることで第１シール部の一部または全部に設定した優先開放部分が第２シール部よりも優先して開放され、この開放された部分を通じて密閉空間の少なくともガス（ドアパージ処理実行前に密閉空間に存在する空気やパーティクル等が含まれる場合もある）を排気可能に構成しているため、密閉空間が陽圧になることに起因してロードポートドアの閉止力が弱まり、ドアパージ処理実行前の時点で、容器ドアに付着しているパーティクルや、容器ドアとロードポートドアとの間に存在する酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が密閉空間から搬送空間に流入する事態を防止することができる。これにより、容器内、密閉空間及び搬送空間の清浄度を維持できるとともに、密閉空間に対してガスを短時間で大量に供給して密閉空間を陽圧状態することが許容され、密閉空間にガスを少しずつ供給して圧力調整しながら密閉空間内のゴミ等を除去する態様と比較してタクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0018】

加えて、本発明のロードポートであれば、密閉空間の圧力を他の空間の圧力と均等にするといった特別な制御が不要であり、コントロールするための制御機器（バルブや配管類）が不要になることによるコストダウンやタクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0019】

特に、本発明に係るロードポートが、密閉空間の気体を排気するガス排出部を備えたものであれば、ガス排出部を備えていない構成と比較して、密閉空間内にガスが入れ替わり難い場所が生じ得る事態を防止・抑制できる。加えて、このようなロードポートにおいて、優先開放部分の近傍であって且つ密閉空間の外である大気圧下に排気ユニットを設けた構成を採用すれば、密閉空間の圧力が高まった場合に、容器側のシール部材である第１シール部に設定した優先開放部分から密閉空間の外へ漏洩する少なくともドアパージ用ガス等の気体を排気ユニットによって効率良く排気することができる。

【0020】

また、本発明に係るロードポートは、前述した基本構成に加えて密閉空間の気体を排気する排出部を備えた構成において、第２シール部の一部または全部を、排出部によって密閉空間を排気する密閉空間清浄化処理時に密閉空間を負圧にすることで第１シール部よりも優先して開放される優先開放部分に設定していることを特徴としている。

【0021】

ここで、本発明において、密閉空間が負圧状態にある場合に第１シール部よりも優先して開放される部分は、第２シール部の一部であってもよいし、第２シール部の全部であってもよい。つまり、密閉空間が負圧状態にある場合に少なくとも第２シール部の１箇所でシール状態が解除される部分（排気されやすい部分）を設定しておくことが、これまでに着想されることのなかった本発明特有の構成である。また、本発明は、密閉空間が負圧になったその時点で第２シール部の優先開放部分が第１シール部よりも優先して開放された状態になる構成や、密閉空間が負圧になったその時点以降の適宜の時点（例えば密閉空間が所定値以下の圧になった時点等）で第２シール部の優先開放部分が第１シール部よりも優先して開放された状態になる構成、これら両方の構成も包含する。

【0022】

本発明に係るロードポートは、容器ドアとロードポートドアの間の隙間であって且つ第１シール部及び第２シール部にシールされた密閉空間を排出部によって排気して清浄化する機能を発揮するものであるため、容器ドアに付着しているパーティクルや、容器ドアとロードポートドアとの間に存在してウェーハを酸化させるなど、ウェーハの性状を変化させるおそれのある酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が、ロードポートドアを開放した際に搬送空間及び容器の内部に流入する事態を防止・抑制できる。つまり、容器ドアを開放して密閉空間が開放される前に、密閉空間の酸素、水分、パーティクルを排除できる。

【0023】

さらに、本発明に係るロードポートは、タクトの短縮化を図るべく、密閉空間から密閉空間外への排気を短時間で大量に行って密閉空間を負圧状態にすると、第２シール部の一部または全部に設定した優先開放部分が第１シール部よりも優先して開放され、この開放部分を通じて搬送空間から密閉空間に気体が流入することになり、密閉空間が負圧になることに起因して容器ドアの閉止力が弱まり、排出部を用いた密閉空間の清浄化処理実行前の時点で、容器ドアに付着しているパーティクルや、容器ドアとロードポートドアとの間に存在する酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が密閉空間から容器内に流入する事態や、密閉空間が負圧になることに起因して容器ドアの閉止力が弱まり、容器ドアと容器本体の隙間を通じて容器の内部から密閉空間に向かう気流が形成され、容器底部の排気ポートから気体（大気）が容器内、あるいは密閉空間に逆流してしまう事態を悉く防止することができる。これにより、容器内、密閉空間及び搬送空間の高い清浄度を維持できるとともに、密閉空間に対して短時間で大量に排気して密閉空間を負圧状態することが許容され、密閉空間を少しずつ排気して圧力調整しながら密閉空間内のゴミ等を除去する態様と比較してタクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0024】

【0025】

特に、本発明に係るロードポートが、密閉空間に対してガスを注入するガス注入部を備えたものであれば、密閉空間内をガスに置換するドアパージ機能を発揮し、ドアパージ処理時に密閉空間内においてガスが入れ替わり難い場所が生じ得る事態を防止・抑制できる。加えて、本発明に係るロードポートにおいて、密閉空間内を吸引する吸引経路の所定箇所に排気ユニットを設けた構成を採用すれば、密閉空間が負圧状態になった場合に、密閉空間の気体（ガス注入部を備えた構成であればドアパージ用ガスを含む）を排気ユニットによって効率良く密閉空間外に排気することができ、過度の負圧状態になれば生じ得る事態、すなわち、容器ドアによる容器内の密閉度合いが低下して、容器内に設けた排気ポートから大気が容器内に逆流するという事態も解消できる。

【0026】

また、本発明に係るＥＦＥＭは、上述の構成を有するロードポートと、搬送空間に搬送ロボットを配置した搬送室とを備えていることを特徴としている。このようなＥＦＥＭであれば、ロードポートにセットした容器と搬送室との間でウェーハ等の搬送対象物を搬送ロボットで出し入れすることができ、この出し入れ処理よりも前の時点でドアパージ処理または密閉空間清浄化処理を行う際に、密閉空間を陽圧または負圧にすることで優先開放部分を開放させる構成を採用したことにより、開放部分を通じて密閉空間のガス（ドアパージ用ガス）を密閉空間外へ排気したり、開放部分を通じて搬送空間から密閉空間に気体が流入可能であり、容器内、密閉空間及び搬送空間の高い清浄度を維持した状態で出し入れ処理を行うことができる。特に、本発明に係るＥＦＥＭにおいて、搬送室が、搬送空間にガスを循環させる循環ダクトを備えたものであれば、搬送空間に所定のガス（例えば不活性ガスまたは窒素ガス等の環境ガス）を循環させて清浄な状態に維持することができる。この場合、搬送空間の外である外部空間（大気圧下）に対する搬送空間の差圧は、プラス３乃至５００Ｐａ（Ｇ）であることが好ましい。

【発明の効果】

【0027】

本発明によれば、ベースの前方における所定位置に配置された容器の容器ドアとロードポートドアとの隙間を、これらドア同士が対面する前後方向において第１シール部及び第２シール部による二重シール構造で密閉空間に設定し、密閉空間の圧力と大気圧との間で圧力差が生じるように構成し、圧力差が生じた状態で第１シール部または第２シール部の何れか一方の一部または全部が優先的に開放されるように設定しているため、ドアパージ処理または密閉空間清浄化処理に要する時間の短縮化を図りつつ、搬送対象物（ウェーハ等）の性状変化を招来し得る望ましくない気体を搬送室内に流入させない構造のロードポート、及びこのようなロードポートを備えたＥＦＥＭを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】本発明の一実施形態に係るロードポートを備えたＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。

【図2】実施形態に係るロードポートを一部省略して示す斜視図。

【図3】図２のｘ方向矢視図。

【図4】図２のｙ方向矢視図。

【図5】容器がフレームから離間し且つロードポートドアが全閉位置にある状態の同実施形態に係るロードポートの側断面を模式的に示す図。

【図6】容器がフレームに第１シール部を介して当接し且つロードポートドアが全閉位置にある状態を図５に対応して示す図。

【図7】ロードポートドアが開放位置にある状態を図５に対応して示す図。

【図8】同実施形態におけるウインドウユニットの全体斜視図。

【図9】図６の要部拡大図であって且つ第１シール部及び第２シール部によるシール状態が維持されている時点を模式的に示す図。

【図10】同実施形態において第１シール部によるシール状態が解除されている時点を図９に対応して示す図。

【図11】本発明の第２実施形態に係るロードポートの要部を図９に対応して示す図。

【図12】同実施形態において第２シール部によるシール状態が解除されている時点を図１１に対応して示す図。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

【0030】

本実施形態に係るロードポート２は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１に示すように、クリーンルーム内において、搬送室３の壁面の一部を構成し、搬送室３と容器４との間で被搬送物の出し入れを行うためのものである。以下の説明では、本発明に係るＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）の一部を構成するロードポート２であって、被搬送物である例えばウェーハＷを容器４（例えば本実施形態ではＦＯＵＰ）と搬送室３（ウェーハ搬送室）の間で出し入れ処理する態様について説明する。なお、ＥＦＥＭで取り扱うウェーハのサイズはＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格として標準化されているが、生産性向上の観点からウェーハの大径化が進められ、これまでの直径３００ｍｍから直径４５０ｍｍ乃至直径５００ｍｍのウェーハへの移行が推進されている。

【0031】

以下の説明では、ＦＯＵＰ４、ロードポート２、搬送室３がこの順で並ぶ前後方向Ｄにおいて、搬送室３側を「後方」と定義し、ＦＯＵＰ４側を「前方」と定義し、前後方向Ｄ及び垂直方向Ｈに直交する方向を「側方」と定義する。したがって、本実施形態において、搬送室３のうちロードポート２を配置した壁面３Ａは前壁面と捉えることができる。
本実施形態におけるＦＯＵＰ４は、図１、図５及び図９に示すように、後面４２Ｂ（ベース２１側の面）に形成した搬出入口４１を通じて内部空間４Ｓを後方にのみ開放可能なＦＯＵＰ本体４２と、搬出入口４１を開閉可能なＦＯＵＰドア４３（本発明の「容器ドア」に相当）を備えている。ＦＯＵＰ４は、内部に複数枚の被搬送物であるウェーハＷを上下方向Ｈに多段状に収容し、搬出入口４１を介してこれらウェーハＷを出し入れ可能に構成された既知のものである。

【0032】

ＦＯＵＰ本体４２は、前壁、左右一対の側壁、上壁及び底壁を一体に有する。これら各壁によって囲まれる内部空間４ＳにウェーハＷを複数段所定ピッチで載せることが可能な棚部（ウェーハ載置部）を備えたものである。上壁における上向面の中央部に、容器搬送装置（例えばＯＨＴ：Over Head Transport）等に把持されるフランジ部を設けている。ＦＯＵＰ本体４２の後端部には、他の部分よりも上方及び両側方に突出させた鍔部４５を設けている。つまり、ＦＯＵＰ本体４２のうち、ＦＯＵＰドア４３が配置される領域の周囲部分に鍔部４５を設けている。

【0033】

ＦＯＵＰドア４３は、ロードポート２の後述する載置台２３に載置された状態においてロードポート２のロードポートドア２２と対面するものであり、概略板状をなす。ＦＯＵＰドア４３の高さ寸法は、ロードポートドア２２のうちＦＯＵＰドア４３に所定の隙間を介して対向する面の高さ寸法と略等しく設定されている。なお、図５等では、ロードポートドア２２のうちＦＯＵＰドア４３に所定の隙間を介して対向する面の高さ寸法よりも僅かに大きい高さ寸法に設定されたＦＯＵＰドア４３を模式的に示している。ＦＯＵＰドア４３には、このＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２にロックし得るラッチ部（図示省略）を設けている。ＦＯＵＰドア４３の内向き面４３１のうち搬出入口４１をＦＯＵＰドア４３で閉止した状態においてＦＯＵＰ本体４２に接触または近接する所定の部分にガスケット（図示省略）を設けている。そして、ＦＯＵＰドア４３の内向き面４３１よりも優先してガスケットをＦＯＵＰ本体４２に接触させて弾性変形させることで、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓを密閉できるように構成されている。

【0034】

本実施形態に係るロードポート２は、図１乃至図４に示すように、搬送室３の前壁面３Ａの一部を構成し、且つ搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口部２１ａが形成された板状をなすベース２１と、ベース２１の開口部２１ａを開閉するロードポートドア２２と、ベース２１に略水平姿勢で設けた載置台２３とを備えている。ここで、搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口部２１ａは、ベース２１によって仕切られる空間である搬送室３の内部空間３Ｓを開放するためにベース２１に形成された開口である。

【0035】

ベース２１は、起立姿勢で配置され、載置台２３上に載置したＦＯＵＰ４の搬出入口４１と連通し得る大きさの開口部２１ａを有する略矩形板状のものである。本実施形態のロードポート２は、ベース２１を搬送室３に密着させた状態で使用可能なものである。また、ベース２１の下端には、キャスタ及び設置脚を有する脚部２４を設けている。本実施形態では、両側方に起立させた支柱２１１と、これら支柱２１１により支持されたベース本体２１２と、ベース本体２１２に略矩形状に開放された窓部２１３に取り付けられたウインドウユニット２１４とを備えたベース２１を適用している。

【0036】

ウインドウユニット２１４は、ＦＯＵＰドア４３と対向する位置に設けられており、このウインドウユニット２１４に設けた開口部２１５が、本発明における「搬送対象物が通過可能な開口部」に相当する。

【0037】

ここで、本実施形態でいう略矩形とは、四辺を備える長方形を基本形状としながら四隅を円弧によって滑らかにつないだ形状をいう。なお、図示していないが、ベース本体２１２のうち搬送室３側の面（前面）の外周近傍には、矩形枠状に形成された弾性材としてのガスケットを設け、搬送室３のうちベース２１が装着される開口の縁部近傍にガスケットを接触させることで、ベース本体２１２と搬送室３との隙間を無くし、ベース本体２１２と搬送室３の隙間を通じて搬送室３の内部空間３Ｓから外部ＧＳへのガスの漏れを抑制するようにしている。

【0038】

ロードポート２の載置台２３は、ベース２１のうち高さ方向中央よりもやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置される水平基台２５（支持台）の上部に設けられる。この載置台２３は、ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓを開閉可能とするＦＯＵＰドア４３をロードポートドア２２に対向させる向きでＦＯＵＰ４を載置可能なものである。また、載置台２３は、図５及び図６に示すように、ＦＯＵＰドア４３がベース２１の開口部２１ａに接近する所定のドッキング位置（図６参照）と、ＦＯＵＰドア４３をドッキング位置よりもベース２１から所定距離離間した位置（図５参照）との間で、ベース２１に対して進退移動可能に構成されている。載置台２３は、図２に示すように、上向きに突出させた複数の突起（ピン）２３１を有し、これらの突起２３１をＦＯＵＰ４の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置台２３上におけるＦＯＵＰ４の位置決めを図っている。なお、図５及び図６等では、載置台２３上におけるＦＯＵＰ４の載置状態として、載置台２３の上面にＦＯＵＰ４の底面が接触している状態を示している。しかしながら、実際には、載置台２３の上面よりも上方に突出している複数の位置決め用突起２３１が、ＦＯＵＰ４の底面に形成された有底の穴に係合することでＦＯＵＰ４を支持しており、載置台２３の上面とＦＯＵＰ４の底面は相互に接触せず、載置台２３の上面とＦＯＵＰ４の底面の間に所定の隙間が形成されるように規定されている。また、載置台２３に対してＦＯＵＰ４を固定するためのロック爪２３２を設けている。このロック爪２３２をＦＯＵＰ４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に引っ掛けて固定したロック状態にすることで、位置決め用の突起２３１と協働してＦＯＵＰ４を載置台２３上における適正な位置に案内しながら固定することができる。また、ＦＯＵＰ４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除することでＦＯＵＰ４を載置台２３から離間可能な状態にすることができる。

【0039】

本実施形態のロードポート２は、載置台２３上の所定箇所に複数のノズル２６１を設けている。これらのノズル２６１は、ＦＯＵＰ４の底面側から当該ＦＯＵＰ４内に窒素ガスや不活性ガス又はドライエア等の適宜選択された気体である環境ガス（パージガスとも称され、主に窒素ガスやドライエアが用いられる）を注入し、ＦＯＵＰ４内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部２６を構成するものとして備えられたものである。これら複数のノズル２６１は、環境ガスをＦＯＵＰ４内に注入するボトムパージ注入用ノズルや、ＦＯＵＰ４内の気体雰囲気を排出するボトムパージ排出用ノズルとして機能するものであり、例えば載置台２３の幅方向に沿って離間した位置に対にして設けることができる。また、これら複数のノズル２６１は、ＦＯＵＰ４の底部に設けた注入口及び排出口（ともに図示省略）に嵌合した状態で連結可能なものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）又は注入口及び排出口は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）とＦＯＵＰ４の注入口及び排出口との嵌合部分は、ノズル２６１に設けたパッキン等によって密閉状態になる。なお、本実施形態のロードポート２は、載置台２３上にＦＯＵＰ４が載置されていない状態であれば、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を載置台２３の上面よりも下方に位置付けている。そして、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部をＦＯＵＰ４のうち底面部が押圧したことを検出した際に、制御部２Ｃからの信号によって、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を上方に進出させてＦＯＵＰ４の注入口と排出口にそれぞれ連結するように構成している。

【0040】

ロードポートドア２２は、ＦＯＵＰドア４３に当該ロードポートドア２２を連結して、ＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２から取り外し可能な蓋連結状態と、ＦＯＵＰドア４３に対する連結状態を解除し、且つＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２に取り付けた蓋連結解除状態との間で切替可能な連結機構２２１（図４参照）を備えている。ロードポートドア２２は、連結機構２２１によってＦＯＵＰドア４３を一体化した状態で保持したまま所定の移動経路に沿って移動可能なものである。本実施形態のロードポート２は、図５及び図６に示すように、ロードポートドア２２を、当該ロードポートドア２２が保持するＦＯＵＰドア４３によってＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓを密閉する全閉位置（Ｃ）と、当該ロードポートドア２２が保持するＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２から離間させて当該ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓを搬送室３内に向かって開放させる開放位置（Ｏ）との間で少なくとも移動可能に構成している。本実施形態のロードポート２は、図５及び図６に示す全閉位置（Ｃ）に位置付けたロードポートドア２２の起立姿勢を維持したまま図７に示す開放位置（Ｏ）まで移動させることができ、さらに、図７に示す開放位置（Ｏ）から図示しない全開位置まで起立姿勢を維持したまま下方向に移動可能に構成している。すなわち、全閉位置（Ｃ）と全開位置との間におけるロードポートドア２２の移動経路は、全閉位置（Ｃ）にあるロードポートドア２２をその高さ位置を維持したまま開放位置（Ｏ）まで搬送室３側へ移動させた経路（水平経路）と、開放位置（Ｏ）にあるロードポートドア２２をその前後位置を維持したまま下方へ移動させた経路（鉛直経路）とからなり、水平経路と鉛直経路が交わるポイントである開放位置（Ｏ）において、ロードポートドア２２の移動方向が水平方向から鉛直方向に、或いは鉛直方向から水平方向に切り替わる。開放位置（Ｏ）に位置付けたロードポートドア２２が鉛直方向及び水平方向の何れにも移動できるように、開放位置（Ｏ）に位置付けたロードポートドア２２に保持されるＦＯＵＰドア４３は、ロードポートドア２２と共にベース２１よりも後方の位置（ＦＯＵＰ本体４２から完全に離間し、搬送室３の内部空間３Ｓに配置される位置）に位置付けられる。

【0041】

このようなロードポートドア２２の移動は、ロードポート２に設けたドア移動機構２７によって実現している。ドア移動機構２７は、図５乃至図７に示すように、ロードポートドア２２を支持する支持フレーム２７１と、スライド支持部２７２を介して支持フレーム２７１を前後方向Ｄに移動可能に支持する可動ブロック２７３と、可動ブロック２７３を上下方向Ｈに移動可能に支持するスライドレール２７４と、ロードポートドア２２の水平経路に沿った前後方向Ｄの移動、及び鉛直経路に沿った上下方向Ｈの移動を行わせるための駆動源（例えば図示しないアクチュエータ）とを備えている。このアクチュエータに対して制御部２Ｃから駆動指令を与えることで、ロードポートドア２２を前後方向Ｄ及び上下方向Ｈに移動させることができる。なお、前後移動用のアクチュエータと、上下移動用のアクチュエータとを別々に備えた態様であってもよいし、共通のアクチュエータを駆動源として前後移動及び上下移動を行う態様であってもよい。

【0042】

支持フレーム２７１は、ロードポートドア２２の後部下方を支持するものである。この支持フレーム２７１は、下方に向かって延材した後に、ベース２１に形成したスリット状の挿通孔２１ｂを通過して搬送室３の外側（載置台２３側）に張り出した略クランク状のものである。本実施形態では、支持フレーム２７１を支持するためのスライド支持部２７２、可動ブロック２７３及びスライドレール２７４を搬送室３の外側に配置している。これらスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４は、ロードポートドア２２を移動させる際の摺動箇所となる。本実施形態では、これらを搬送室３の外側に配置することで、ロードポートドア２２の移動時にパーティクルが万が一発生した場合であっても、挿通孔２１ｂを微小なスリット状に設定していることにより、搬送室３内にパーティクルが進入する事態を防止・抑制することができる。また、ドア移動機構２７のうち搬送室３の外側に配置されるパーツや部分、具体的には、支持フレーム２７１の一部、スライド支持部２７２、可動ブロック２７３及びスライドレール２７４を被覆するカバー２８を設けている。これにより、ベース２１に形成した上述の挿通孔２１ｂを通じて搬送室３内の環境ガスがＥＦＥＭ１の外部ＧＳに流出しないように設定している。

【0043】

本実施形態に係るロードポート２は、図５及び図９等に示すように、開口部２１ａの周縁近傍に設けた第１シール部５と、第２シール部６とを備え、ロードポートドア２２が閉状態にあって且つ第１シール部５を介してＦＯＵＰドア４３をベース２１に当接させた状態において、ＦＯＵＰドア４３及びロードポートドア２２が前後方向Ｄに所定の隙間を隔てて対向する空間を第１シール部５、第２シール部６によって外部ＧＳから仕切った密閉空間ＤＳが形成されるように構成している。本実施形態では、第１シール部５及び第２シール部６を上述のウインドウユニット２１４としてユニット化している。

【0044】

ウインドウユニット２１４は、図２乃至図４及び図８に示すように、当該ウインドウユニット２１４のうちＦＯＵＰドア４３と対向する位置（図示例ではウインドウユニット２１４の中央部分）に略矩形状の開口部２１５を有する枠形状の窓枠部２１６を主体として構成されたものである。

【0045】

本実施形態では、窓枠部２１６の開口部２１５をＦＯＵＰドア４３の外周（外寸）よりも僅かに大きい開口寸法に設定し、この開口部２１５を通じて、ＦＯＵＰドア４３がロードポートドア２２に保持された状態で搬送室３内へ移動できるように構成している。窓枠部２１６の開口部２１５は、ベース２１の開口部２１ａそのものである。

【0046】

第１シール部５は、ベース２１の前面のうち開口部２１ａの開口縁近傍領域において開口部２１ａを周回するように設けられ、ＦＯＵＰ４を載置した載置台２３をドッキング位置に位置付けた際に、ベース２１の開口部２１ａの周縁とＦＯＵＰ４との間をシールするものである（図６及び図９等参照）。ベース２１にウインドウユニット２１４を取り付けた構成を採用している本実施形態では、窓枠部２１６の前面２１６Ａのうち開口部２１５の開口縁近傍領域において開口部２１５を周回する位置に第１シール部５を設けている（図８参照）。具体的には、窓枠部２１６の前面２１６Ａのうち、ＦＯＵＰ本体４２の後面４２ＢであるＦＯＵＰシール面（ＦＯＵＰ本体４２のうちＦＯＵＰドア４３の周囲部分に設定した面）と対向する位置に第１シール部５を周回させて取り付けている。矩形状をなす開口部２１５の開口縁近傍において開口部２１５を周回するように配置された第１シール部５は、ＦＯＵＰ４側から見て略矩形状をなす。したがって、第１シール部５は、図８に示すように、開口部２１５の開口上縁近傍に配置されている上辺部分５Ａ、開口部２１５の開口下縁近傍に配置されている下辺部分５Ｂ、開口部２１５の開口両側縁近傍にそれぞれ配置されている側辺部分５Ｃに大別することができる。これら四つの辺部分５Ａ，５Ｂ，５Ｃを備える長方形を基本形状とした本実施形態の第１シール部５は、四隅を円弧によって滑らかにつないだ形状を有する。

【0047】

そして、本実施形態では、図９に示すように、第１シール部５の大部分を断面形状が略円形の弾性体（円形弾性体Ｄ１）で形成し、一部を断面形状が略円形の弾性体よりも弾性変形しやすい弾性体（非円形弾性体Ｄ２）で形成している。具体的には、第１シール部５のうち下辺部分５Ｂ全体、左右両側辺部分５Ｃ全体、及び上辺部分５Ａの幅方向両端部を含む所定部分を円形弾性体Ｄ１で形成し、第１シール部５のうち上辺部分５Ａの幅方向中央部分を非円形弾性体Ｄ２で形成している。本実施形態の非円形弾性体Ｄ２は、断面形状が棒形状（断面視長手方向の寸法が略円形の弾性体の直径よりも大きい棒形状）であって且つ丸みを帯びた先端部分が前方に向かって漸次上方に変位する姿勢（跳ね上がるような姿勢、先端部分が密閉空間ＤＳの外ＧＳに向かう方向に変位する姿勢）で配置した弾性体である。なお、図５乃至図８では、第１シール部５を円形弾性体Ｄ１と非円形弾性体Ｄ２に明確に区別せずに模式的に示している。

【0048】

このような第１シール部５は、ＦＯＵＰ４を載置した載置台２３をドッキング位置に位置付けた際に、ベース２１の開口部２１ａの周縁とＦＯＵＰ４との間に介在してシール機能を発揮する。シール機能を発揮する状態において、第１シール部５によるシール領域を含む密閉空間ＤＳと外部ＧＳ（大気圧下）との差圧が例えば５００Ｐａ（Ｇ）以下、好ましくは３００Ｐａ（Ｇ）以下である場合に、第１シール部５のうち非円形弾性体Ｄ２で形成した部分は、図１０に示すように、円形弾性体Ｄ１で形成した部分よりも優先してシール状態が解除されて開放される。以下では、第１シール部５のうち非円形弾性体Ｄ２で形成した部分を優先開放部分Ｘとし、円形弾性体Ｄ１で形成した部分を非開放部分Ｙとする。

【0049】

図９には、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ４に対して第１シール部５（優先開放部分Ｘ及び非開放部分Ｙの両方）が弾接している状態を示している。本実施形態のロードポート２は、第１シール部５をロードポートドア２２のうちＦＯＵＰ４に最も近い端面よりもＦＯＵＰ４側に所定寸法Ｌ２（例えば０．１ｍｍ以上で３ｍｍ以下）だけ突出した形態で配置している。したがって、ＦＯＵＰドア４３及びロードポートドア２２が相互に接触することなく、ベース２１とロードポートドア２２の間に形成される密閉空間ＤＳの高い密閉性を第１シール部５によって維持することができる。

【0050】

すなわち、図９に示すように、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂに対して、第１シール部５が弾接する。特に、第１シール部５の優先開放部分Ｘは、ＦＯＵＰ４に弾接することで、ＦＯＵＰ４に弾接する前の時点よりも先端部分が上方（密閉空間ＤＳの外ＧＳに向かう方向）に押し上げられた形態に弾性変形する。また、第１シール部５のうち非開放部分Ｙは、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂに対して弾接することで、ＦＯＵＰ４に弾接する前の時点よりも前後方向Ｄに押し潰された形態に弾性変形する。このような第１シール部５とＦＯＵＰ４との弾接状態が維持されることで、良好なシール領域を形成することができる。

【0051】

なお、図５乃至図７では、第１シール部５及び第２シール部６を黒く塗りつぶした略楕円形状のマークで模式的に示している。また、図６及び図７では、ＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂ（シール面）がベース２１（ウインドウユニット２１４）に接触しているが、実際には、ＦＯＵＰ本体４２のシール面はベース２１（ウインドウユニット２１４）に接触せず、上述したように、ＦＯＵＰ本体４２のシール面とベース２１（ウインドウユニット２１４）の間に第１シール部５が介在している。

【0052】

第２シール部６は、ベース２１の後面２１Ｂのうち開口部２１ａの開口縁近傍領域において開口部２１ａを周回するように設けられる。ベース２１にウインドウユニット２１４を取り付けた構成を採用している本実施形態では、窓枠部２１６の後面２１６Ｂのうち開口部２１５の開口縁近傍領域において開口部２１５を周回する位置に第２シール部６を設けている。具体的には、窓枠部２１６の後面２１６Ｂのうち、ロードポートドア２２の前面、つまりベースの全面２１Ａの所定部分に設定したシール面（ロードポートドア２２における外縁部分に設定した面）に対向する位置に第２シール部６を周回させて取り付けている。本実施形態では、ロードポートドア２２の外縁部分に鍔状の薄肉部を形成し、この薄肉部をロードポートドア２２のシール面に設定している。矩形状をなす開口部２１５の開口縁近傍において開口部２１５を周回するように配置された第２シール部６は、搬送室３側から見て略矩形状をなす。

【0053】

本実施形態では、第２シール部６として断面形状が略円形のＯリングを適用し、共通のＯリングを、第２シール部６の上辺部分６Ａ、下辺部分６Ｂ、左右の両側辺部分６Ｃに亘って配置している。このように、本実施形態では、第２シール部６の全部を断面形状が略円形の弾性体（円形弾性体Ｄ１）で形成し、第２シール部６の全部を「非開放部分Ｙ」に設定している。そして、ロードポートドア２２を閉位置に位置付けた際に、第２シール部６を介してロードポートドア２２（より具体的には薄肉部）が窓枠部２１６の後面２１６Ｂに当接した状態になり、第２シール部６がベース２１の開口部２１ａの周縁とロードポートドア２２との間をシールする（図９参照）。その結果、ロードポートドア２２を閉位置に位置付けた状態では、搬送室３の内部空間３Ｓから搬送室３の外部へのガスの流出や、搬送室３の外部から搬送室３の内部空間３Ｓへのガスの流入を抑制することができる。なお、ロードポートドア２２のうち薄肉部を除く部分である中央部分は薄肉部よりも厚みの大きい厚肉部であり、この厚肉部がベース２１の開口部２１ａ（窓枠部２１６の開口部２１５）から前方に向かって張り出す形態で開口部２１ａ（開口部２１５）に臨むように設定している。

【0054】

本実施形態のロードポート２では、窓枠部２１６の前面２１６Ａ及び後面２１６Ｂに、それぞれ開口部２１５の開口縁近傍を周回するように断面が凹形状となる取付溝（図９及び図１０において第１シール部５、第２シール部６が嵌まっている凹部）を形成している。各シール取付溝に第１シール部５、第２シール部６をそれぞれ挿入した状態で緊密に取り付けている。特に、第１シール部５のうち優先開放部分Ｘが取り付けられるシール取付溝は、溝の奥方に向かって漸次広がる断面台形に設定され、この台形状のシール取付溝に、優先開放部分Ｘの基端部に設けた差込部を嵌合させた状態で、接着剤等の適宜の手段によって固定している。これにより、第１シール部５の優先開放部分Ｘがシール取付溝から抜け外れる事態を防止している。この取付状態において、第１シール部５及び第２シール部６のうち取付溝に収容されていない部分は、取付溝の外に露出している。

【0055】

また、本実施形態のロードポート２は、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向（後方）に移動することを規制する移動規制部Ｌを備えている。本実施形態では、移動規制部Ｌをウインドウユニット２１４としてユニット化している。

【0056】

移動規制部Ｌは、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向（後方）に移動することを規制する移動規制状態と、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向へ移動することを許容する移動許容状態との間で切替可能なものである。すなわち、移動規制部Ｌは、移動規制状態になることで、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ４を保持することが可能である。

【0057】

本実施形態における移動規制部Ｌは、図８等に示すように、ＦＯＵＰ本体４２のうちＦＯＵＰドア４３の周囲部分に設けられた鍔部４５に係合可能な係合片Ｌ１と、係合片Ｌ１を鍔部４５に係合させた状態でベース２１側に移動させる引き込み部Ｌ２とを備えている。このような移動規制部Ｌは、ＦＯＵＰ本体４２の鍔部４５を係合片Ｌ１とベース２１との間に挟み込む状態で保持可能なクランプ機能を発揮する。本実施形態では、ベース２１にウインドウユニット２１４を設けている。したがって、移動規制部Ｌは、ＦＯＵＰ本体４２の鍔部４５を係合片Ｌ１とウインドウユニット２１４の窓枠部２１６との間に挟み込む機能を有する。

【0058】

係合片Ｌ１は、先端を含む全体が前後方向ＤにおいてＦＯＵＰ４に対面しない非対面姿勢と、ＦＯＵＰ４に対面する対面姿勢（図８に示す姿勢）との間で姿勢変更可能なものである。本実施形態に係るロードポート２は、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで、ＦＯＵＰ４を載置している載置台２３を、ＦＯＵＰドア４３が開口部２１５に接近する所定のドッキング位置と、ドッキング位置よりも搬送室３から所定距離離間した位置との間で移動させることができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで移動許容状態になる。

【0059】

このような移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした状態で、アンドッキング位置にある載置台２３を、ＦＯＵＰ４を載置したままドッキング位置に移動させた時点以降に、非対面姿勢にある係合片Ｌ１を搬送室３側に引き込む方向に移動させて非対面姿勢から対面姿勢に変更する。すると、係合片Ｌ１をＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂにおいて外側方に張り出した鍔部４５に係合させることができる。そして、係合片Ｌ１を引き込み部Ｌ２によって搬送室３側引き込むことで、係合片Ｌ１とＦＯＵＰ４の鍔部４５との係合状態を維持したまま係合片Ｌ１が搬送室３側（後方）に引き込まれる。その結果、ＦＯＵＰ４の鍔部４５を係合片Ｌ１とベース２１の間に挟み込む状態になり、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向に移動することを規制することができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢から対面姿勢に変更させて、その係合片Ｌ１を引き込み部Ｌ２によってベース２１側に引き込むことで移動規制状態（図８に示す状態）になる。

【0060】

本実施形態のロードポート２では、このような移動規制部Ｌを、図２及び図８に示すように、ベース２１のうち略矩形状をなす開口部２１ａの両サイドにおける上端近傍及び下端近傍の合計４箇所にそれぞれ配置している。具体的には、ウインドウユニット２１４のうち窓枠部２１６のうち略矩形状をなす開口部２１５の両側部において上下方向に離間させた合計４箇所に移動規制部Ｌを配置している。

【0061】

本実施形態では、図９に示すように、ドッキング位置に位置付けた載置台２３に載置されているＦＯＵＰ４のうちＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂが、所定寸法の隙間を隔ててベース２１の前面２１Ａ（窓枠部２１６の前面２１６Ａ）に接近し、その隙間を第１シール部５によってシール可能に構成している。また、本実施形態のロードポート２は、載置台２３を所定のドッキング位置に位置付けた時点以降、ロードポートドア２２が閉状態にあれば、ＦＯＵＰドア４３とロードポートドア２２が所定寸法の隙間を隔てて接近するとともに、ロードポートドア２２とベース２１との間を第２シール部６でシール可能に構成している。したがって、ロードポートドア２２とＦＯＵＰドア４３が所定寸法の隙間を隔てて対向する空間は、第１シール部５及び第２シール部６によって仕切られた密閉空間ＤＳになる。

【0062】

本実施形態に係るロードポートドア２２は、図５及び図９等に示すように、密閉空間ＤＳに対してガスを注入するガス注入部７１と、密閉空間ＤＳの気体を排気するガス排出部７２とを備えている。ガス注入部７１は、例えば長尺のノズルを用いて構成したものであり、ノズルの一端（ガス注入方向下流端）をロードポートドア２２の外表面まで到達させるとともに、ノズルの他端（ガス注入方向上流端）近傍にガス注入バルブ７１ａを接続している。同様に、ガス排出部７２は、例えばノズルを用いて構成したものであり、ノズルの一端（ガス排出方向上流端）をロードポートドア２２の外表面まで到達させるとともに、ノズルの他端（ガス排出方向下流端）近傍にガス排出バルブ７２ａを接続している。このような構成により、ガス注入部７１によって密閉空間ＤＳに環境ガス（本実施形態では窒素ガス）を供給し、ガス排出部７２によって密閉空間ＤＳを排気することで、密閉空間ＤＳをガスパージすることが可能である。ＦＯＵＰドア４３及びロードポートドア２２が所定隙間を隔てて対向する密閉空間ＤＳをガスに置換するガスパージ処理が本発明における「ドアパージ処理」である。

【0063】

図５に示すように、ガス注入部７１のガス注入方向上流端、ガス注入バルブ７１ａ、ガス排出部７２のガス排出方向下流端、ガス排出バルブ７２ａは、上述のカバー２８によって被覆されている。なお、ガス注入部７１及びガス排出部７２を構成する各ノズルの所定部分は、ロードポートドア２２を厚み方向（前後方向Ｄ）に貫通している。ロードポートドア２２のうちノズルが貫通する部分に適宜のシール処理を施している。本実施形態では、フレキシブル性或いは伸縮性（蛇腹タイプも含む）に優れたノズルを適用している。ノズルの一部または全部をチューブで代用することもできる。図５等においてガス注入部７１及びガス排出部７２のうち搬送空間３Ｓに露出している部分は、実際には、ロードポートドア２２を搬送室３側から被覆するドアカバー（図示省略）内に収められている。

【0064】

このように構成したロードポート２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。本実施形態のＥＦＥＭ１は、このようなロードポート２を搬送室３の前壁面３Ａに複数（例えば３台）並べて配置している。

【0065】

ＥＦＥＭ１は、図１に示すように、共通のクリーンルーム内に相互に隣接する位置に設けたロードポート２及び搬送室３を主体として構成されたものである。ＥＦＥＭ１の作動は、ロードポート２のコントローラ（図２に示す制御部２Ｃ）や、ＥＦＥＭ１全体のコントローラ（図１に示す制御部３Ｃ）によって制御される。

【0066】

搬送室３のうちロードポート２を配置した前壁面３Ａに対向する後壁面３Ｂには例えば処理装置Ｍ（半導体処理装置）が隣接して設けられる。クリーンルームにおいて、処理装置Ｍの内部空間ＭＳ、搬送室３の内部空間３Ｓ及びロードポート２上に載置されるＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓは高清浄度に維持される。一方、ロードポート２を配置した空間、換言すれば処理装置Ｍ外、ＥＦＥＭ１外は比較的低清浄度となる。なお、図１は、ロードポート２及び搬送室３の相対位置関係、及びこれらロードポート２及び搬送室３を備えたＥＦＥＭ１と、処理装置Ｍとの相対位置関係を模式的に示した側面図である。

【0067】

処理装置Ｍは、相対的に搬送室３に近い位置に配置したロードロック室と、相対的に搬送室３から遠い位置に配置した処理装置本体とを備えたものである。本実施形態では、図１に示すように、ＥＦＥＭ１の前後方向Ｄにおいてロードポート２、搬送室３、処理装置Ｍをこの順で相互に密接させて配置している。なお、処理装置Ｍの作動は、処理装置Ｍのコントローラ（図１に示す制御部ＭＣ）によって制御される。ここで、処理装置Ｍ全体のコントローラである制御部ＭＣや、ＥＦＥＭ１全体のコントローラである制御部３Ｃは、ロードポート２の制御部２Ｃの上位コントローラである。

【0068】

搬送室３は、被搬送物であるウェーハＷをＦＯＵＰ４と処理装置Ｍとの間で搬送可能な搬送ロボット３１を内部空間３Ｓに設けている。搬送ロボット３１は、例えば複数のリンク要素を相互に水平旋回可能に連結し、先端部にハンドを設けたアームと、アームの基端部を構成するアームベースを旋回可能に支持し且つ搬送室３の幅方向（ロードポート２の並列方向）に走行する走行部とを備え、アーム長が最小になる折畳状態と、アーム長が折畳状態時よりも長くなる伸長状態との間で形状が変わるリンク構造（多関節構造）のものである。なお、搬送室３の側面にバッファステーション、アライナの何れか一方または両方を配置したＥＦＥＭを構成することも可能である。

【0069】

搬送室３は、ロードポート２及び処理装置Ｍが接続されることによって、内部空間３Ｓが略密閉された状態となる。搬送室３内は、図示しないガス供給口及びガス排出口を用いて所定のガス（不活性ガスまたは窒素ガス等の環境ガス）によるパージ処理を行うことで、環境ガス濃度を高めることが可能となっている。そして、ウェーハ搬送室３の上部にファンフィルタユニット３２を設けて下方に向けてガスを送出し、下部に設けたケミカルフィルタよりガスの吸引を行う。吸引したガスは、循環ダクト３２１を介して上部のファンフィルタユニット３２に向けて戻される。こうすることで、搬送室３の内部空間３Ｓで上方から下方に向かう気流であるダウンフローを形成する。したがって、搬送室３内の環境ガスを循環させて清浄な状態に維持することができる。また、搬送室３の内部空間３ＳにウェーハＷの表面を汚染するパーティクルが存在した場合であっても、ダウンフローによってパーティクルを下方に押し下げ、搬送中のウェーハＷの表面へのパーティクルの付着を抑制することが可能となる。図１には、ファンフィルタユニット３２によるガスの流れを矢印で模式的に示している。

【0070】

本実施形態に係るロードポート２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。本実施形態では、ロードポート２が有する制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えるように構成している。制御部２Ｃは、ＣＰＵ、メモリ及びインターフェースを備えた通常のマイクロプロセッサ等により構成されるもので、メモリには予め処理に必要なプログラムが格納してあり、ＣＰＵは逐次必要なプログラムを取り出して実行し、周辺ハードリソースと協働して所期の機能を実現するものとなっている。

【0071】

次に、ロードポート２を備えたＥＦＥＭ１の使用方法及び作用と併せて、ＥＦＥＭ１の動作フローを説明する。

【0072】

先ず、搬送室３のうちロードポート２を配置した共通の前壁面３Ａに沿って延伸する直線上の搬送ライン（動線）で作動するＯＨＴ等の容器搬送装置によりＦＯＵＰ４がロードポート２の上方まで搬送され、載置台２３上に載置される。この際、例えば載置台２３に設けた位置決め用突起２３１がＦＯＵＰ４の位置決め用凹部に嵌まる。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２をロック状態にする（ロック処理）。具体的には、ＦＯＵＰ４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に対して、載置台２３上のロック爪２３２を引っ掛けて固定することでロック状態になる。これにより、ＦＯＵＰ４を載置台２３上の所定の正規位置に載置して固定することができる。本実施形態では、搬送室３の幅方向に３台並べて配置したロードポート２の載置台２３にそれぞれＦＯＵＰ４を載置することができる。また、ＦＯＵＰ４が載置台２３上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）によりＦＯＵＰ４が載置台２３上の正規位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。

【0073】

次いで、本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、図５に示す位置にある載置台２３を図６に示すドッキング位置まで移動させる（ドッキング処理）。すなわち、図５に示す位置にある載置台２３をベース２１に向かって移動させて、ベース２１のうち開口部２１ａの周縁における最もＦＯＵＰ本体４２に近いベース最前面２１ＡにＦＯＵＰ４の後面（相互に面一なＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂ及びＦＯＵＰドア４３の外向き面）を所定距離まで接近させる。このドッキング処理を実行するまでは、移動規制部Ｌが、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした移動許容状態に維持されている。なお、図５等における符号２１Ｂが指す面は、ベース２１のうち開口部２１ａ（窓枠部２１６の開口部２１５）の周縁においてＦＯＵＰ本体４２から最も遠いベース最後面である。

【0074】

そして、載置台２３を所定のドッキング位置まで移動させると、本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、移動規制部Ｌを用いてＦＯＵＰ４の少なくとも両サイドを保持して固定する処理を行う。具体的には、移動規制部Ｌの引き込み部Ｌ２によって係合片Ｌ１をベース２１側に引き込む。すると、係合片Ｌ１は非対面姿勢から対面姿勢に切り替わり、ＦＯＵＰ本体４２の鍔部４５に係合した状態になる。この状態で、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４の鍔部４５を、移動規制部Ｌの係合片Ｌ１とベース最前面２１Ａ（窓枠部２１６の前面２１６Ａ）との間で挟み込むことができる。すなわち、容器クランプ処理は、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える処理で実現できる。

【0075】

なお、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替えるタイミングは、載置台２３をドッキング位置に位置付けた時点以降であればよく、載置台２３をドッキング位置に位置付けた直後に、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。また、載置台２３をドッキング位置に位置付けてから所定時間経過後に、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。

【0076】

そして、本実施形態のロードポート２では、容器クランプ処理を終了した時点で、ベース２１の開口部２１ａ（窓枠部２１６の開口部２１５）の近傍において、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ４のうちシール面に設定したＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂが、ベース２１の第１シール部５に弾接し、第１シール部５の弾性変形によりＦＯＵＰ４とベース２１の間に良好なシール領域を形成することができる。すなわち、本実施形態のロードポート２では、容器クランプ処理を実施することによって、ＦＯＵＰ４とベース２１の間に良好なシール領域を形成する処理（シール処理）を同時に実施することができる。

【0077】

具体的に、第１シール部５が弾接する部分は、ＦＯＵＰ本体４２の後面４２ＢのうちＦＯＵＰ４の搬出入口４１の近傍を周回する部分である。本実施形態のロードポート２では、ＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂをシール面とし、振動等によってシール面が変動した場合にも直ちに追随することが可能なシール領域を形成している。本実施形態のロードポート２では、容器クランプ処理を経ることによって、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４を移動規制部Ｌで固定した状態を維持することができる。このため、第１シール部５に弾接するＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向に移動したり、傾動する事態を防止することができる。特に、本実施形態では、略矩形状をなす開口部２１５の両サイドにおける上端近傍及び下端近傍の合計４箇所に配置した移動規制部Ｌによって、ＦＯＵＰ本体４２の前端部における両サイドの上端近傍及び下端近傍の合計４箇所を固定することができる。

【0078】

本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、容器クランプ処理及びシール処理に続いて、密閉空間ＤＳに窒素ガスを供給するとともに、それまで密閉空間ＤＳに留まっていたガス（大気）をガス排出部７２よって排出する処理を行う（ドアパージ処理）。ドアパージ処理は、適宜のガス供給源から供給される窒素ガスを密閉空間ＤＳ内に注入して、密閉空間ＤＳ内を窒素ガスに置換する処理である。具体的には、ドアパージ用ガス注入バルブ７１ａを開くことで、ガス注入部７１から窒素ガスを密閉空間ＤＳに供給すると同時に、ドアパージ用ガス排出バルブ７２ａを開くことで、それまで密閉空間ＤＳに留まっていたガス（大気）をガス排出部７２より排出する処理である。ここで、大気とは、ウェーハＷを酸化させるなど、ウェーハＷの性状を変化させるおそれのある酸素、水分、パーティクルなどを包含する。なお、ＦＯＵＰドア４３の内部が中空であり、ＦＯＵＰドア４３の後面に形成した孔（ドア保持用孔等）を通じてＦＯＵＰドア４３の内部空間が密閉空間ＤＳと連通する構成であれば、本実施形態のドアパージ処理によってＦＯＵＰドア４３の内部空間を窒素ガスに置換することが可能である。

【0079】

本実施形態では、ドアパージ処理時に窒素ガスの供給量を窒素ガスの排出量よりも多くすることで、密閉空間ＤＳを陽圧にするように設定している。そして、図１０に示すように、密閉空間ＤＳが陽圧になった時点以降の適宜のタイミングで、第１シール部５のうち優先開放部分Ｘ（本実施形態では上辺部分５Ａの幅方向中央部分）が、第１シール部５の他の部分及び第２シール部６、つまり非開放部分Ｙよりも優先して開放された状態になる。すなわち、第１シール部５のうち先端部分を跳ね上げた形態でＦＯＵＰ４のシール面に弾接している優先開放部分Ｘが、密閉空間ＤＳに充満した窒素ガスに押圧されて弾性変形し、優先開放部分Ｘの先端部が跳ね上がる方向に変形することで、ＦＯＵＰ４のシール面に対する弾接状態が解除される。その結果、本実施形態に係るロードポート２は、第１シール部５のうち開放された（弾接状態が解除された）部分、すなわち優先開放部分Ｘから密閉空間ＤＳ内の窒素ガスを排気することが可能である（図１０に排気方向を矢印で模式的に示す）。第１シール部５の優先開放部分Ｘから窒素ガスを排気可能になった時点以降も密閉空間ＤＳに対する窒素ガスの供給及び窒素ガスの排出を継続して行い、密閉空間ＤＳへガスを充填し続ける。ドアパージ処理開始から所定時間の経過後、ドアパージ用ガス注入バルブ７１ａ及びドアパージ用ガス排出バルブ７２ａを閉じることで、密閉空間ＤＳへのガスの充填を終了する。なお、ガス注入部７１から密閉空間ＤＳにガスを注入するガス注入動作と、ガス排出部７２によって密閉空間ＤＳからガスを排出する排出動作を繰り返してもよい。本実施形態のロードポート２は、ドアパージ処理中も第１シール部５の非開放部分Ｙ及び第２シール部６の非開放部分Ｙのシール状態を維持することができる。

【0080】

本実施形態のロードポート２は、第１シール部５のうち優先開放部分Ｘの近傍であって且つ密閉空間ＤＳの外ＧＳである大気圧下に排気ユニット８を設けている（図９及び図１０に二点鎖線で示す）。排気ユニット８は、第１シール部５のうち密閉空間ＤＳの陽圧時に開放される部分（優先開放部分Ｘ）を被覆し得る開口寸法に設定した排気口８１と、排気口８１を通過する気体を吸引する吸引タンク８２とを備えたものである。また、排気ユニット８は、ＥＦＥＭ１が設置されている工場の排気ブロア等の排気系（図示省略）に接続されて余剰気体を強制的に吸引及び排気可能に構成されている。なお、排気ブロアと排気ユニット８との間に適宜の流量調整弁または遮蔽弁を配置することにより、排気ユニット８の吸引力或いは排出量を調整可能に構成している。

【0081】

したがって、本実施形態に係るロードポート２は、第１シール部５のうち開放された（弾接状態が解除された）優先開放部分Ｘを通じて密閉空間ＤＳ内から密閉空間ＤＳの外ＧＳに漏れる窒素ガスを排気ユニット８内に誘導して排気、吸引することができる。なお、ドアパージ処理の実行中、密閉空間ＤＳ内が陽圧になった時点よりも後の適宜のタイミングで、密閉空間ＤＳに対する窒素ガスの供給量を、密閉空間ＤＳの陽圧を維持できる限りにおいて（密閉空間ＤＳを陽圧から大気圧に近付くように減圧しながら）低減することによりガス使用量及びガス使用時間を制限し、コストの削減を図ることが可能である。また、排気ユニット８内の酸素濃度を計測する酸素濃度計を設けておくことにより、排気ユニット８内の酸素濃度を把握することができる。酸素濃度計の検出値を制御部に入力可能に構成した場合には、酸素濃度計の検出値に応じた適宜の制御を行うことが可能である。

【0082】

本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、ドアパージ処理に続いて、連結機構２２１を蓋連結状態に切り替える（蓋連結処理）。この処理により、予め全閉位置（Ｃ）で待機させているロードポートドア２２にＦＯＵＰドア４３を連結機構２２１で連結して所定の隙間を介して対向する状態で保持することができる。また、ＦＯＵＰ本体４２からＦＯＵＰドア４３を取り外し可能な状態になる。また、本実施形態のロードポート２では、載置台２３上の正規位置にＦＯＵＰ４が載置された時点で、制御部２Ｃが、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部をＦＯＵＰ４のうち底面部が押圧したことを検出する。これをきっかけに、制御部２Ｃが、載置台２３に設けたノズル２６１（ガス導入部として機能するノズルを含む全てのノズル２６１）を載置台２３の上面よりも上方へ進出させる駆動命令（信号）を与える。その結果、これら各ノズル２６１をＦＯＵＰ４の注入口と排出口にそれぞれ連結し、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓに窒素ガスを供給するとともに、ＦＯＵＰ４内の気体雰囲気を排出し、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓを窒素ガスに置換して、ＦＯＵＰ４内の水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで低下させてＦＯＵＰ４内におけるウェーハＷの周囲環境を低湿度環境及び低酸素環境にする（ボトムパージ処理）。

【0083】

そして、本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、蓋連結処理に続いて、ＦＯＵＰドア４３をロードポートドア２２とともに移動させて、ベース２１の開口部２１ａ及びＦＯＵＰ４の搬出入口４１を開放して、ＦＯＵＰ４内の密閉状態を解除する処理（容器密閉解除処理）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図７に示すように、ロードポートドア２２をドア移動機構２７により全閉位置（Ｃ）からチャンバ５の内部空間５Ｓにおいて搬送室３側に向かって上述の水平経路に沿って上述の開放位置（Ｏ）まで移動させ、さらに、上述の開放位置（Ｏ）に到達したロードポートドア２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離降下させて全開位置（図示省略）に位置付ける。この容器密閉解除処理の実行開始時点では、上述のドアパージ処理及びボトムパージ処理（容器内パージ処理）によって密閉空間ＤＳ及びＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓは窒素ガスで充填されているため、ロードポートドア２２を搬送室３の内部空間３Ｓ側に移動させる処理時に、ドアパージ処理実行前の時点でＦＯＵＰドア４３に付着しているパーティクル等が舞うことを防止することができる。

【0084】

これにより、ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓ及び搬送室３の内部空間３Ｓが相互に連通した状態になる。搬送空間３Ｓ内で生じている下降気流の窒素も清浄に維持されている。ここで、容器密閉解除処理を実施する際、密閉空間ＤＳの体積（容積）が増加すると密閉空間ＤＳは負圧になり易く、外部空間ＧＳから密閉空間ＤＳに大気が入り込むおそれがある。そこで、本実施形態では、外部空間ＧＳに対して密閉空間ＤＳが陽圧の状態で容器密閉解除処理を実施する。具体的には、容器密閉解除処理を実行する時点においてもガス注入部７１から窒素ガスを供給し続ける。このようにして、本実施形態では、密閉空間ＤＳが少なくとも負圧でない状態で容器密閉解除処理を行うように設定している。また、容器密閉解除処理は、搬送空間３Ｓに対して密閉空間ＤＳが同程度の圧で開放することが好ましい。なお、外部空間ＧＳと搬送空間３Ｓの差圧は、３乃至５００Ｐａ（Ｇ）であり、好ましくは５乃至１００Ｐａ（Ｇ）である。容器密閉解除処理によってＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとを連通させた状態で、搬送室３の内部空間３Ｓに設けた搬送ロボット３１がＦＯＵＰ４内にアクセスして、ウェーハＷに対する搬送処理を実施する（搬送処理）。搬送処理において実施可能な搬送処理内容は、搬送ロボット３１がハンドでＦＯＵＰ４内のウェーハＷを取り出す処理や、処理装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みのウェーハＷをハンドでＦＯＵＰ４内に入れる処理である。例えば搬送処理によってＦＯＵＰ４内のウェーハＷを搬送室３内に搬送した場合、搬送室３内に搬送されたウェーハＷは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍ（具体的にはロードロック室）に搬送したり、バッファステーション又はアライナに搬送される。また、処理装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みのウェーハＷは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍの内部空間ＭＳからＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓに直接収納されたり、バッファステーションを経由してからＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓに順次収納される。

【0085】

そして、本実施形態に係るロードポート２では、ＦＯＵＰ４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する場合、搬送処理を繰り返し行う。本実施形態に係るロードポート２では、ＦＯＵＰ４内のウェーハＷが全て処理装置Ｍによる処理工程を終えたものになると、制御部２Ｃが、ドア移動機構２７によりロードポートドア２２を全閉位置（Ｃ）に移動させて、ベース２１の開口部２１ａ及びＦＯＵＰ４の搬出入口４１を閉止して、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓを密閉する処理（容器密閉処理）を実行する。

【0086】

続いて、制御部２Ｃが、連結機構２２１を蓋連結状態から蓋連結解除状態に切り替える処理（蓋連結解除処理）を実行する。この処理により、連結機構２２１によるロードポートドア２２とＦＯＵＰドア４３の連結状態（蓋連結状態）を解除して、ＦＯＵＰ本体４２にＦＯＵＰドア４３を取り付けることができる。その結果、ベース２１の開口部２１ａ及びＦＯＵＰ４の搬出入口４１はそれぞれロードポートドア２２、ＦＯＵＰドア４３によって閉止されて、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓは密閉状態になる。

【0087】

本実施形態に係るロードポート２では、ドアパージ処理を停止すると、密閉空間ＤＳは陽圧状態ではなくなり、第１シール部５のうちドアパージ処理時に開放されていた部分（優先開放部分Ｘ）が弾性復帰し、ＦＯＵＰ４のシール面に弾接する。しなしながら、上述した密閉空間ＤＳの陽圧状態ではないことに起因する不具合の発生を回避するためには、密閉空間ＤＳの陽圧状態を維持することが肝要である。

【0088】

続いて、本実施形態に係るロードポート２では、制御部２Ｃが、移動規制部ＬによるＦＯＵＰ４の固定状態（クランプ状態）を解除する容器クランプ解除処理を行う。具体的には、移動規制部Ｌの引き込み部Ｌ２によってベース２１側に引き込まれた位置にある係合片Ｌ１をベース２１から離間する方向に移動させる。すると、係合片Ｌ１が対面姿勢から非対面姿勢に自動的に切り替わり、ＦＯＵＰ本体４２の鍔部４５に対する係合片Ｌ１の係合状態が解除され、移動規制部ＬによるＦＯＵＰ４の固定状態を解除することができる。すなわち、容器クランプ解除処理は、移動規制部Ｌを移動規制状態から移動許容状態に切り替える処理で実現できる。

【0089】

次いで、本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、載置台２３をベース２１から離間する方向に移動させる処理（ドッキング解除処理）を実行する。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２でＦＯＵＰ４をロックしている状態を解除する（ロック解除処理）。具体的には、ＦＯＵＰ４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除する。これにより、所定の処理を終えたウェーハＷを格納したＦＯＵＰ４は、各ロードポート２の載置台２３上から容器搬送装置に引き渡され、次工程へと運び出される。

【0090】

以上のように、本実施形態に係るロードポート２は、ロードポートドア２２が閉状態にあって且つ第１シール部５を介して容器４をベース２１に当接させた状態において、ロードポートドア２２とＦＯＵＰドア４３が所定寸法の隙間を隔てて対向する空間を第１シール部５及び第２シール部６によって仕切られた密閉空間ＤＳになるように構成し、この密閉空間ＤＳに対してガスを注入するガス注入部７１をさらに備え、密閉空間ＤＳをガスに置換するドアパージ処理を実行可能なものであるため、ＦＯＵＰドア４３に付着しているパーティクルや、ＦＯＵＰドア４３とロードポートドア２２との間に存在してウェーハＷを酸化させるなど、ウェーハＷの性状を変化させるおそれのある酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が、ロードポートドア２２を開放した際に搬送空間３Ｓ及びＦＯＵＰ４の内部に流入する事態を防止・抑制できる。つまり、ＦＯＵＰドア４３を開放して密閉空間ＤＳが開放される前に、密閉空間ＤＳの酸素、水分、パーティクルを排除できる。

【0091】

加えて、本実施形態に係るロードポート２は、第１シール部５及び第２シール部６のうちＦＯＵＰ４側のシール部である第１シール部５の一部または全部を、ドアパージ処理時に密閉空間ＤＳを陽圧にすることで第２シール部６よりも優先して開放される優先開放部分Ｘに設定し、この開放された部分を通じて密閉空間ＤＳの少なくともガス（ドアパージ処理実行前に密閉空間ＤＳに存在する空気やパーティクル等が含まれる場合もある）を外部ＧＳに排気可能に構成しているため、密閉空間ＤＳが陽圧になることに起因してロードポートドア２２の閉止力が弱まり、ドアパージ処理実行前の時点で、ＦＯＵＰドア４３に付着しているパーティクルや、ＦＯＵＰドア４３とロードポートドア２２との間に存在する酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が密閉空間ＤＳから搬送空間３Ｓに流入する事態を防止することができる。これにより、ＦＯＵＰ４内、密閉空間ＤＳ及び搬送空間３Ｓの高い清浄度を維持できるとともに、密閉空間ＤＳに対してガスを短時間で大量に供給して密閉空間ＤＳを陽圧状態することが許容され、密閉空間ＤＳにガスを少しずつ供給して圧力調整しながら密閉空間ＤＳ内のゴミ等を除去する態様と比較してタクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0092】

さらに、本実施形態に係るロードポート２によれば、密閉空間ＤＳの圧力を他の空間（ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓ、搬送空間３Ｓ等）の圧力と均等にするといった特別な制御が不要であり、コントロールするための制御機器（バルブや配管類）が不要になることによるコストダウンやタクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0093】

特に、本実施形態に係るロードポート２は、優先開放部分Ｘの近傍であって且つ密閉空間ＤＳの外ＧＳである大気圧下に排気ユニット８を設けた構成であるため、密閉空間ＤＳの圧力が高まった場合に、ＦＯＵＰ４側のシール部である第１シール部５に設定した優先開放部分Ｘから密閉空間ＤＳの外ＧＳへ漏洩する少なくともドアパージ用ガス等の気体を排気ユニット８によって効率良く排気することができる。特に、本実施形態では、密閉空間ＤＳ内の気体の流れを形成すべく、密閉空間ＤＳの気体を排気するガス排出部７２をガス注入部７１とセットで設けている。ここで、密閉空間ＤＳのガスを排気するガス排出部７２を設けていない構成を採用した場合、密閉空間ＤＳのうちシール状態が開放される部分（優先開放部分Ｘ）からのみ密閉空間ＤＳ内の気体が抜けていくことになり、密閉空間ＤＳ内にガスの入れ替わり難い場所ができるおそれがある。一方、本実施形態では、密閉空間ＤＳの気体を積極的に排気するガス排出部７２を備えた構成を採用しているため、ガス排出部７２を備えていない構成と比較して、密閉空間ＤＳ内にガスが入れ替わり難い場所が生じる事態を防止・抑制できる。なお、ガス排出部７２は、吸引するものであることが必須要件ではなく、大気開放するものであってもよい。大気開放する場合には、ガス排出部７２を形成する配管（排気管）の径を大きくすることが好ましく、より具体的には、ガス注入部７１を形成する配管（供給管）よりも径を大きくすることが望ましい。また、ガス注入部７１やガス排出部７２を複数設けた態様を採用することで、密閉空間ＤＳ内にガスが入れ替わり難い場所が生じる事態をより高い確率で防止・抑制できる。なお、本発明には、本実施形態に係るＥＦＥＭの一例として、敢えてガス排出部７２を備えていない構成も含まれる。

【0094】

以上に説明した実施形態を第１実施形態とした場合、以下に、本発明の第２実施形態に係るロードポート２について説明する。

【0095】

第２実施形態に係るロードポート２は、第１実施形態に係るロードポート２と略同様の構成であり、第２シール部６の一部または全部を、密閉空間ＤＳをガスに置換するドアパージ処理時に密閉空間ＤＳを負圧にすることで第２シール部６よりも優先して開放される優先開放部分Ｘに設定している点が相違する。以下の説明及び図１１、図１２において、第１実施形態に係るロードポート２の各部、各部分に対応する箇所には同じ符号を付している。

【0096】

第２実施形態に係るロードポート２が備える第１シール部５は、ベース２１の前面２１Ａのうち開口部２１ａの開口縁近傍領域において開口部２１ａを周回するように設けられ、ＦＯＵＰ４をベース２の前方の所定位置に位置付けた際に、ベース２１の開口部２１ａの周縁とＦＯＵＰ４との間をシールするものである（図１１参照）。ベース２１にウインドウユニット２１４を取り付けた構成を採用している本実施形態では、窓枠部２１６の前面２１６Ａのうち開口部２１５の開口縁近傍領域において開口部２１５を周回する位置に第１シール部５を設けている。具体的には、窓枠部２１６の前面２１６Ａのうち、ＦＯＵＰ本体４２の後面４２ＢであるＦＯＵＰシール面（ＦＯＵＰ本体４２のうちＦＯＵＰドア４３の周囲部分に設定した面）と対向する位置に第１シール部５を周回させて取り付けている。矩形状をなす開口部２１５の開口縁近傍において開口部２１５を周回するように配置された第１シール部５は、ＦＯＵＰ４側から見て略矩形状をなす。したがって、第１シール部５は、開口部２１５の開口上縁近傍に配置されている上辺部分５Ａ、開口部２１５の開口下縁近傍に配置されている下辺部分５Ｂ、開口部２１５の開口両側縁近傍にそれぞれ配置されている側辺部分５Ｃに大別することができる。これら四つの辺部分を備える長方形を基本形状とした本実施形態の第１シール部５は、四隅を円弧によって滑らかにつないだ形状を有する。

【0097】

そして、本実施形態では、第１シール部５として断面形状が略円形のＯリングを適用し、共通のＯリングを、第１シール部５の上辺部分５Ａ、下辺部分５Ｂ、左右の両側辺部分５Ｃに亘って配置している。このように、本実施形態では、第１シール部５の全部を断面形状が略円形の弾性体（円形弾性体Ｄ１）で形成し、第１シール部５の全部を「非開放部分Ｙ」に設定している。

【0098】

このような第１シール部５は、ドッキング位置に位置付けた載置台２３に載置されているＦＯＵＰ４とベース２１の開口部２１ａの周縁との間に介在してシール機能を発揮する。

【0099】

図１１には、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ４に対して第１シール部５が弾接している状態を示している。本実施形態のロードポート２は、第１シール部５をロードポートドア２２のうちＦＯＵＰ４に最も近い端面よりもＦＯＵＰ４側に所定寸法Ｌ２（例えば０．１ｍｍ以上で３ｍｍ以下）だけ突出した形態で配置している。したがって、ＦＯＵＰドア４３及びロードポートドア２２が相互に接触することなく、ベース２１とロードポートドア２２の間に形成される密閉空間ＤＳの高い密閉性を第１シール部５によって維持することができる。

【0100】

すなわち、図１１に示すように、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂに対して、第１シール部５が弾接する。具体的には、第１シール部５の全体が、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂに対して弾接することで、ＦＯＵＰ４に弾接する前の時点よりも前後方向Ｄに押し潰された形態に弾性変形する。このような第１シール部５とＦＯＵＰ４との弾接状態が維持されることで、良好なシール領域を形成することができる。

【0101】

第２シール部６は、ベース２１の後面２１Ｂのうち開口部２１ａの開口縁近傍領域において開口部２１ａを周回するように設けられる。ベース２１にウインドウユニット２１４を取り付けた構成を採用している本実施形態では、窓枠部２１６の後面２１６Ｂのうち開口部２１５の開口縁近傍領域において開口部２１５を周回する位置に第２シール部６を設けている。具体的には、窓枠部２１６の後面２１６Ｂのうち、ロードポートドア２２の前面、つまりベースの全面２１Ａの所定部分に設定したシール面（ロードポートドア２２における外縁部分に設定した面）に対向する位置に第２シール部６を周回させて取り付けている。本実施形態では、ロードポートドア２２の外周縁部に形成した鍔状の薄肉部をロードポートドア２２のシール面に設定している。矩形状をなす開口部２１５の開口縁近傍において開口部２１５を周回するように配置された第２シール部６は、搬送室３側から見て略矩形状をなす。

【0102】

本実施形態では、第２シール部６の大部分を断面形状が略円形の弾性体（円形弾性体Ｄ１）で形成し、一部を断面形状が略円形の弾性体よりも弾性変形しやすい弾性体（非円形弾性体Ｄ２）で形成している。具体的には、第２シール部６のうち下辺部分６Ｂ全体、左右両側辺部分６Ｃ全体、及び上辺部分６Ａの幅方向両端部を含む所定部分を円形弾性体Ｄ１で形成し、第２シール部６のうち上辺部分６Ａの幅方向中央部分を非円形弾性体Ｄ２で形成している。本実施形態の非円形弾性体Ｄ２は、断面形状が棒形状（断面視長手方向の寸法が略円形の弾性体の直径よりも大きい棒形状）であって且つ丸みを帯びた先端部分が後方（搬送室３側）に向かって漸次下方に変位する姿勢（垂れ下がるような姿勢、先端部分が密閉空間ＤＳ内に向かって変形する姿勢）で配置した弾性体である。

【0103】

そして、ロードポートドア２２を閉位置に位置付けた際に、第２シール部６を介してロードポートドア２２（より具体的には薄肉部）が窓枠部２１６の後面２１６Ｂに当接した状態になり、第２シール部６がベース２１の開口部２１ａの周縁とロードポートドア２２との間をシールする（図１１参照）。特に、第２シール部６の優先開放部分Ｘは、ロードポートドア２２に弾接することで、ロードポートドア２２に弾接する前の時点よりも先端部分が下方（密閉空間ＤＳ内に向かう方向）に押し下げられた形態に弾性変形する。その結果、ロードポートドア２２を閉位置に位置付けた状態では、搬送室３の内部空間３Ｓから搬送室３の外部へのガスの流出や、搬送室３の外部から搬送室３の内部空間３Ｓへのガスの流入を抑制することができる。第２シール部６がシール機能を発揮する状態において、第２シール部６によるシール領域を含む密閉空間ＤＳと搬送室３の内部空間３Ｓとの間で第２シール部６が所定の圧力を受けることで、第２シール部６のうち優先開放部分Ｘは、図１２に示すように、非開放部分Ｙよりも優先してシール状態が解除されて開放される。

【0104】

本実施形態のロードポート２では、窓枠部２１６の前面２１６Ａ及び後面２１６Ｂに、それぞれ開口部２１５の開口縁近傍を周回するように断面が凹形状となる取付溝（図１１及び図１２において第１シール部５、第２シール部６が嵌まっている凹部）を形成している。各シール取付溝に第１シール部５、第２シール部６をそれぞれ挿入した状態で緊密に取り付けている。特に、第２シール部６のうち優先開放部分Ｘが取り付けられるシール取付溝は、溝の奥方に向かって漸次広がる断面台形に設定され、この台形状のシール取付溝に、優先開放部分Ｘの基端部に設けた差込部を嵌合させた状態で、接着剤等の適宜の手段によって固定している。これにより、第２シール部６の優先開放部分Ｘがシール取付溝から抜け外れる事態を防止している。この取付状態において、第１シール部５及び第２シール部６のうち取付溝に収容されていない部分は、取付溝の外に露出している。

【0105】

本実施形態では、載置台２３を所定のドッキング位置に位置付けた際に、ＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂが所定寸法の隙間を隔ててベース２１の前面２１Ａ（窓枠部２１６の前面２１６Ａ）に接近し、その隙間を第１シール部５によってシール可能に構成している。また、本実施形態のロードポート２は、載置台２３を所定のドッキング位置に位置付けた時点以降、ロードポートドア２２が閉状態にあれば、ＦＯＵＰドア４３とロードポートドア２２が所定寸法の隙間を隔てて接近するとともに、ロードポートドア２２とベース２１との間を第２シール部６でシール可能に構成している。したがって、ロードポートドア２２とＦＯＵＰドア４３が所定寸法の隙間を隔てて対向する空間は、第１シール部５及び第２シール部６によって仕切られた密閉空間ＤＳになる。

【0106】

第２実施形態に係るロードポートドア２２は、密閉空間ＤＳに対してガスを注入するガス注入部７１と、密閉空間ＤＳの気体を排気するガス排出部７２（本発明の「排出部」に相当）とを備え、ガス注入部７１によって密閉空間ＤＳに乾燥窒素ガス等のガスを供給し、ガス排出部７２によって密閉空間ＤＳの気体（ガスを含む）を排出することで、密閉空間ＤＳをガスパージすることが可能である。

【0107】

【0108】

本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、容器クランプ処理及びシール処理に続いて、密閉空間ＤＳに窒素ガスを供給するとともに、それまで密閉空間ＤＳに留まっていたガス（大気）をガス排出部７２よって排出する処理を行う（ドアパージ処理）。本実施形態では、ドアパージ処理時に窒素ガスの排出量を窒素ガスの供給量よりも多くすることで、密閉空間ＤＳを負圧にするように設定している。

【0109】

そして、図１２に示すように、密閉空間ＤＳが負圧になった時点以降の適宜のタイミングで、第２シール部６のうち優先開放部分Ｘ（本実施形態では上辺部分６Ａの幅方向中央部分）が、第２シール部６の他の部分及び第１シール部５、つまり非開放部分Ｙよりも優先して開放された状態になる。すなわち、第２シール部６のうち先端部分が垂れ下がった形態でロードポートドア２２のシール面に弾接している優先開放部分Ｘが、密閉空間ＤＳに充満した窒素ガスに押圧されて弾性変形し、優先開放部分Ｘの先端部が押し下げられる方向（密閉空間ＤＳ内に向かう方向）に変形することで、ロードポートドア２２のシール面に対する弾接状態が解除される。その結果、本実施形態に係るロードポート２は、第２シール部６のうち開放された（弾接状態が解除された）部分、すなわち優先開放部分Ｘを通じて搬送室３の内部空間３Ｓから密閉空間ＤＳに向かう気流を形成する（図１２に搬送室３の内部空間３Ｓから密閉空間ＤＳに向かう気流を矢印で模式的に示す）。第２シール部６の優先開放部分Ｘを通過する気流が形成された時点以降も密閉空間ＤＳに対する窒素ガスの供給及び窒素ガスの排出を継続して行い、密閉空間ＤＳへガスを充填し続ける。ドアパージ処理開始から所定時間の経過後、ドアパージ用ガス注入バルブ及びドアパージ用ガス排出バルブを閉じることで、密閉空間ＤＳへのガスの充填を終了する。なお、ガス注入部７１から密閉空間ＤＳにガスを注入するガス注入動作と、ガス排出部７２によって密閉空間ＤＳからガスを排出する排出動作を繰り返してもよい。

【0110】

本実施形態のロードポート２では、ガス排出部７２によって密閉空間ＤＳ内を吸引する吸引経路を構成し、排出部７２を排気ユニットとして機能させている。排気ユニットは、ＥＦＥＭ１が設置されている工場の排気ブロア等の排気系（図示省略）に接続されて余剰気体を強制的に吸引及び排気可能に構成されている。なお、排気ブロアと排気ユニットとの間に適宜の流量調整弁または遮蔽弁を配置することにより、排気ユニットの吸引力或いは排出量を調整可能に構成している。

【0111】

本実施形態に係るロードポート２は、ドアパージ処理の実行中、密閉空間ＤＳ内が負圧になった時点よりも後の適宜のタイミングで、密閉空間ＤＳの負圧状態を維持できる限りにおいて、密閉空間ＤＳに対する窒素ガスの供給量を低減することによりガス使用量及びガス使用時間を制限し、コストの削減を図ることが可能である。また、排気ユニット内の酸素濃度を計測する酸素濃度計を設けておくことにより、排気ユニット内の酸素濃度を把握することができ、酸素濃度計の検出値を制御部に入力可能に構成した場合には、酸素濃度計の検出値に応じた適宜の制御を行うことが可能である。なお、容器密閉解除処理を実施する際に、密閉空間ＤＳが負圧状態であることに起因して、外部空間ＧＳから密閉空間ＤＳに大気が入り込むおそれがある。そこで、本実施形態においても、外部空間ＧＳに対して密閉空間ＤＳが陽圧の状態で容器密閉解除処理を実施することが好ましい。具体的には、容器密閉解除処理を実行する時点においてもガス注入部７１から窒素ガスを供給し続けることで、密閉空間ＤＳが少なくとも負圧でない状態で容器密閉解除処理を行うことができる。

【0112】

このような第２実施形態に係るロードポート２は、ドアパージ機能を発揮することにより、ＦＯＵＰドア４３に付着しているパーティクルや、ＦＯＵＰドア４３とロードポートドア２２との間に存在してウェーハＷを酸化させるなど、ウェーハＷの性状を変化させるおそれのある酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が、ロードポートドア２２を開放した際に搬送空間３Ｓ及びＦＯＵＰ４の内部に流入する事態を防止・抑制できる。つまり、ＦＯＵＰドア４３を開放して密閉空間ＤＳが開放される前に、密閉空間ＤＳの酸素、水分、パーティクルを排除できる。

【0113】

さらに、第２実施形態に係るロードポート２は、第１シール部５及び第２シール部６のうち搬送室３側のシール部である第２シール部６の一部または全部を、ドアパージ処理時に密閉空間ＤＳを負圧にすることで第１シール部５よりも優先して開放される優先開放部分Ｘに設定し、この開放された部分を通じて搬送空間３Ｓから密閉空間ＤＳに向かう気流を形成することができ、密閉空間ＤＳが負圧になることに起因してＦＯＵＰドア４３の閉止力が弱まり、ドアパージ処理実行前の時点で、ＦＯＵＰドア４３に付着しているパーティクルや、ＦＯＵＰドア４３とロードポートドア２２との間に存在する酸素、水分、パーティクルなどを含む大気が密閉空間ＤＳからＦＯＵＰ４内に流入する事態や、密閉空間ＤＳが負圧になることに起因してＦＯＵＰドア４３の閉止力が弱まり、ＦＯＵＰドア４３とＦＯＵＰ本体４２の隙間を通じてＦＯＵＰ４の内部から密閉空間ＤＳに向かう気流が形成され、ＦＯＵＰ底部の排気ポートから気体（大気）がＦＯＵＰ４内、あるいは密閉空間ＤＳに逆流してしまう事態を悉く防止することができる。これにより、ＦＯＵＰ４内、密閉空間ＤＳ及び搬送空間３Ｓの高い清浄度を維持できるとともに、密閉空間ＤＳに対してガスを短時間で大量に排気して密閉空間ＤＳを負圧状態することが許容され、密閉空間ＤＳにガスを少しずつ供給して圧力調整しながら密閉空間ＤＳ内のゴミ等を除去する態様と比較してタクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0114】

加えて、第２実施形態に係るロードポート２によれば、密閉空間ＤＳの圧力を他の空間（ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓや搬送空間３Ｓ）の圧力と均等にするといった特別な制御が不要であり、コントロールするための制御機器（バルブや配管類）が不要になることによるコストダウンやタクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0115】

特に、第２実施形態に係るロードポート２は、密閉空間ＤＳ内を吸引する吸引経路の所定箇所に排気ユニットを設けた構成を採用しているため、密閉空間ＤＳが負圧状態になった場合に、密閉空間ＤＳのガス（ドアパージ用ガス）を排気ユニットによって効率良く密閉空間ＤＳの外ＧＳに排気することができ、過度の負圧状態になれば生じ得る事態、すなわち、ＦＯＵＰドア４３によるＦＯＵＰ４内の密閉度合いが低下して、ＦＯＵＰ４内に設けた排気ポートから大気がＦＯＵＰ４内に逆流するという事態も解消できる。

【0116】

また、第１本実施形態及び第２実施形態に係るＥＦＥＭ１は、上述の構成を有するロードポート２と、搬送空間３Ｓに搬送ロボットを配置した搬送室３とを備えているため、ロードポート２にセットしたＦＯＵＰ４と搬送室３との間でウェーハＷ等の搬送対象物を搬送ロボットで出し入れすることができ、この出し入れ処理よりも前の時点でドアパージ処理を行うことで、ＦＯＵＰ４内、密閉空間ＤＳ及び搬送空間３Ｓの高い清浄度を維持した状態で出し入れ処理を行うことが可能である。また、ロードポート２が奏する上述の作用効果を得て、密閉空間ＤＳが陽圧状態または負圧状態になることに起因する不具合（ロードポートドア２２の閉止力の低下、ＦＯＵＰドア４３の閉止力の低下、ひいては搬送室３内の汚染、ＦＯＵＰ４内の汚染）を解消することができるとともに、ドアパージ処理時間の短縮化、タクトタイムの短縮化を図ることができる。

【0117】

なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。

【0118】

密閉空間が陽圧状態にある場合に第２シール部よりも優先して開放される部分（優先開放部分）は、第１シール部の一部であってもよいし、第１シール部の全部であってもよい。つまり、密閉空間が陽圧状態にある場合に密閉空間内から密閉空間外へ向かう圧力を受けて少なくとも第１シール部の１箇所でシール状態が解除される部分（シールが破れやすい部分）を設定しておくことで、上述の第１実施形態に係るロードポートと略同様の作用効果を得ることができる。したがって、第１シール部の複数箇所に優先開放部分を設定した構成を採用することも可能である。

【0119】

また、本発明は、密閉空間が陽圧になったその時点で第１シール部の優先開放部分が第２シール部よりも優先して開放された状態になる構成や、密閉空間が陽圧になった時点以降の適宜の時点（例えば密閉空間が所定値以上の圧になった時点等）で第１シール部の優先開放部分が第２シール部よりも優先して開放された状態になる構成、これら何れの構成であってもよい。

【0120】

同様に、密閉空間が負圧状態にある場合に第１シール部よりも優先して開放される部分は、第２シール部の一部であってもよいし、第２シール部の全部であってもよい。つまり、密閉空間が負圧状態にある場合に密閉空間内に吸引される力を受けて少なくとも第２シール部の箇所でシール状態が解除される部分（シールが破れやすい部分）を設定しておくことで上述の第２実施形態に係るロードポートと略同様の作用効果を得ることができる。したがって、第２シール部の複数箇所に優先開放部分を設定した構成を採用することも可能である。

【0121】

また、本発明は、密閉空間が負圧になったその時点で第２シール部の優先開放部分が第１シール部よりも優先して開放された状態になる構成や、密閉空間が負圧になったその時点以降の適宜の時点（例えば密閉空間が所定値以下の圧になった時点等）で第２シール部の優先開放部分が第１シール部よりも優先して開放された状態になる構成、これら何れの構成であってよい。

【0122】

第１シール部及び第２シール部の優先開放部分や非開放部分の断面形状や素材も上述の実施形態のものに限らず、シール性（密閉性）を担保する部材であれば良く、適宜変更・選択することが可能である。一例として、流体の導入或いは排出によって膨張或いは収縮する中空シール部を用いて優先開放部分または非開放部分の両方または何れか一方を構成した態様を挙げることができる。

【0123】

第１シール部や第２シールが取り付けられるシール取付溝の形状もシール部の基端部（取付端部）の形状等に応じて適宜変更することができる。

【0124】

排気ユニットは、自然排気タイプまたは吸引排気（負圧排気）タイプの何れかを適宜選択することができる。第１シール部のうち密閉空間が陽圧状態にある場合に第２シール部よりも優先して開放される部分（優先開放部分）の位置、サイズ、数等に応じて排気ユニットの排気口の位置、サイズ、数等を設定すればよい。

【0125】

上述の実施形態では、容器としてウェーハ搬送に用いられるＦＯＵＰを採用した。しかし本発明における容器はこれに限定されず、ＭＡＣ(Multi Application Carrier)、Ｈ－ＭＡＣ(Horizontal-MAC)、ＦＯＳＢ(Front Open Shipping Box)などを採用することが可能である。また、容器はウェーハ収容容器に限定されず、不活性ガスを充填した状態で搬送される電子部品のような収容物（搬送対象物）を収容する密閉容器であってもよい。

【0126】

上述の実施形態では、ロードポートをＥＦＥＭに取り付けた態様を例示したが、ロードポートに載置された容器内の搬送対象物の並べ替えや他のロードポートに載置された容器の搬送対象物とを交換するための搬送室を備えるソータや、プロセス装置自体を搬送室として、プロセス装置自体にロードポートを取り付ける装置にも適用できる。

【0127】

実施形態ではドアパージ処理等に用いる環境ガスとして窒素ガスを例にしたが、これに限定されず、乾燥ガス、アルゴンガスなど所望のガス（不活性ガス）を用いることができる。

【0128】

実施形態では、第１シール部と第２シール部を個別に備えた態様を例示したが、ベースの前面に配置される第１シール部と、ベースの後面に配置される第２シール部と、ベースを厚み方向に貫通する姿勢で配置されて第１シール部及び第２シール部を連結する連結部分とを一体に有する共通のシール部を備えたロードポートであってもよい。

【0129】

シールが破れた箇所（優先開放部分）から排気ユニットにガスを導くガイドを設けることも可能である。また、ドアパージ処理実行中に陽圧状態にある密閉空間から優先開放部分を通じて密閉空間外へ漏洩するガス量が微量（作業者の危険とならない程度の量）であれば排気ユニットを省略することができる。

【0130】

上述の実施形態では第２シール部をベースの後面に設けた態様を例示したが、第２シール部をロードポートドアの前面（例えば上述の実施形態における薄肉部の前面）に設け、ベースの開口部を閉止した閉状態にあるロードポートドアとベースとの間を第２シール部でシールする態様を採用してもよい。

【0131】

ベースの厚み方向（容器、ベース、搬送室が並ぶ前後方向）に沿った第１シール部によってシール可能な隙間寸法、つまりベースの前方における所定位置に配置された容器とベースとの隙間と、ベースの厚み方向に沿った第２シール部によってシール可能な隙間寸法、つまり開口部を閉止した閉状態にあるロードポートドアとベースとの隙間は同程度であってもよいし、大きく異なっていてもよい。シール可能な隙間寸法に応じてシール部の形状や素材等を適宜変更することで対応できる。

【0132】

ロードポートドアが、閉位置から全開位置に移動する過程で一時的に傾斜姿勢となる（部分円弧状の軌跡を描くような動作を伴う）ものであっても構わない。

【0133】

また、上述の第１実施形態では、ロードポートとして、ガス供給部及びガス排出部を備えた構成を例示したが、同実施形態に係るロードポートの変形例として、ガス排出部を備えていないものを挙げることができる。このような構成のロードポートであってもガス供給部によるドアパージ処理またはドアパージ処理に準じた密閉空間清浄化処理を実行することができ、第１実施形態に係るロードポートに準じた作用効果を奏する。

【0134】

また、上述の第２実施形態では、ロードポートとして、ガス供給部及びガス排出部を備えた構成を例示したが、同実施形態に係るロードポートの変形例として、ガス供給部を備えていないものを挙げることができる。このような構成のロードポートであっても排出部（ガス外出部）によって密閉空間の気体を排出することで、密閉空間を清浄化する処理（密閉空間清浄化処理）を実行することができ、第２実施形態に係るロードポートに準じた作用効果を奏する。

【0135】

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

【符号の説明】

【0136】

１…ＥＦＥＭ
２…ロードポート
２１…ベース
２１ａ…開口部
２２…ロードポートドア
３…搬送室
３１…搬送ロボット
３Ｓ…搬送空間
４…容器（ＦＯＵＰ）
４３…容器ドア（ＦＯＵＰドア）
５…第１シール部
６…第２シール部
７１…ガス注入部
７２…ガス排出部（排出部）
８…排気ユニット
ＤＳ…密閉空間
Ｗ…搬送対象物（ウェーハ）
Ｘ…優先開放部分

【図1】