特許 7126035 セラミック板及びその製造方法、板ばね、セッター、並びにセラミック焼結体の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-17

(45)【発行日】2022-08-25

(54)【発明の名称】セラミック板及びその製造方法、板ばね、セッター、並びにセラミック焼結体の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C04B 35/587 20060101AFI20220818BHJP

   C04B 35/64 20060101ALI20220818BHJP

   F16F 1/18 20060101ALI20220818BHJP

   F27D 3/12 20060101ALI20220818BHJP

【ＦＩ】

C04B35/587

C04B35/64

F16F1/18 Z

F27D3/12 S

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022540695

(86)(22)【出願日】2021-09-02

(86)【国際出願番号】 JP2021032285

(87)【国際公開番号】W WO2022054684

(87)【国際公開日】2022-03-17

【審査請求日】2022-06-30

(31)【優先権主張番号】P 2020151970

(32)【優先日】2020-09-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000003296

【氏名又は名称】デンカ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100185591

【弁理士】

【氏名又は名称】中塚 岳

(72)【発明者】

【氏名】山縣 利貴

(72)【発明者】

【氏名】東 里樹

【審査官】浅野 昭

(56)【参考文献】

【文献】特開２００３－９０３７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平８－２４７６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平６－２９３５５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００９／０３１２３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平１－２０１０８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－０８８０３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０４Ｂ ３５／００－３５／８４

Ｆ１６Ｆ １／００－６／００

Ｆ２７Ｄ ３／００－５／００

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＳＴＣｈｉｎａ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

凸状に湾曲している第１主面と、当該第１主面の反対側に凹状に湾曲している第２主面と、アーチ状に湾曲している４つの側面と、を有し、
前記第１主面を上向きにして水平面に載置したときに前記水平面からの前記第２主面の最大高さとして測定される反り量Ｗが１ｍｍ以上である、セラミック板。

【請求項2】

厚みが２ｍｍ以下であり、前記第１主面と前記第２主面の曲率半径が１００～１０００ｍｍである、請求項１に記載のセラミック板。

【請求項3】

前記第１主面と前記第２主面の面積の平均値に対する反り量Ｗの比が１×１０^－５／ｍｍ以上である、請求項１又は２に記載のセラミック板。

【請求項4】

窒化ケイ素焼結体で構成される、請求項１～３のいずれか一項に記載のセラミック板。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか一項に記載のセラミック板で構成される板ばね。

【請求項6】

凸状又は凹状の湾曲面を有するセッターとセラミックグリーンシートとを、前記セラミックグリーンシートの主面が前記湾曲面に沿うように重ね合わせて加熱し、反り量Ｗが１ｍｍ以上であるセラミック板を得る工程を有し、
前記セラミック板は、凸状に湾曲している第１主面と、当該第１主面の反対側に凹状に湾曲している第２主面と、アーチ状に湾曲している４つの側面と、を有し、
前記反り量は前記第１主面を上向きにして水平面に載置したときに前記水平面からの前記第２主面の最大高さとして測定される、セラミック板の製造方法。

【請求項7】

凸状又は凹状の湾曲面を有し、
前記湾曲面が凹状である場合、前記湾曲面の４隅にある頂部が前記湾曲面の最も上方に位置するとともに、前記湾曲面の輪郭をなす４つの側縁が下方に向かって凸形状となるように曲がっており、
前記湾曲面が凸状である場合、前記湾曲面の４隅にある頂部が前記湾曲面の最も下方に位置するとともに、前記湾曲面の輪郭をなす４つの側縁が上方に向かって凸形状となるように曲がっており、
前記湾曲面におけるセラミックグリーンシートが載置される部分の高低差が１ｍｍ以上である、セッター。

【請求項8】

前記湾曲面の前記部分を覆うように載置された前記セラミックグリーンシートを加熱し、反り量Ｗが１ｍｍ以上であるセラミック板を形成する、請求項７に記載のセッター。

【請求項9】

複数のセラミックグリーンシートを含む積層体を加熱して脱脂する脱脂工程と、
脱脂された前記積層体を焼成してセラミック板を得る焼成工程と、を有し、
前記脱脂工程及び前記焼成工程の一方又は双方において、前記積層体はセラミック板の弾性変形によって生じる復元力によって保持され、
前記セラミック板は、凸状に湾曲している第１主面と、当該第１主面の反対側に凹状に湾曲している第２主面と、を有し、反り量Ｗが１ｍｍ以上である、セラミック焼結体の製造方法。

【請求項10】

前記脱脂工程及び前記焼成工程の一方又は双方において、前記セラミック板は、前記積層体の上方に設けられた固定部材と前記積層体との間に弾性変形した状態で配置され、前記積層体の収縮に伴って前記セラミック板の前記反り量Ｗが大きくなる、請求項９に記載のセラミック焼結体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、セラミック板及びその製造方法、板ばね、セッター、並びにセラミック焼結体の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

自動車、電鉄、産業用機器、及び発電関係等の分野には、大電流を制御するパワーモジュールが用いられている。パワーモジュールに搭載される回路基板は、絶縁性のセラミック板を有する。セラミック板は、例えば、セラミック粉末、焼結助剤、有機質バインダ及び分散剤等を混合した後にシート状に押出成形する工程と、打抜加工してセラミックグリーンシートを形成する工程と、セラミックグリーンシートを焼成する工程を順次行って製造される。焼成する際には、生産性向上のため、セッターの上に、複数のセラミックグリーンシートを含む積層体を載置し、加熱することによって複数のセラミック板を同時に生産することが試みられている。

【0003】

ところで、セラミックグリーンシートはバインダ及び分散剤等を含有することから、加熱に伴ってこれらの成分が内部から蒸発して収縮する。特許文献１では、このような収縮過程で生じる歪の影響を、セラミックグリーンシートに分割溝を予め設けることによって低減することが提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１４－５１４０９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

セラミックグリーンシートに含まれる成分が揮発して収縮すると、揮発及び収縮に伴って積層されている複数のセラミックグリーンシートの位置が互いにずれて、品質に影響を及ぼすことが懸念される。そこで、本開示は、優れた耐熱性を有し、積層された複数のセラミックグリーンシートの互いの位置がずれることを抑制できる板ばね、並びに、当該板ばねとして好適に用いられるセラミック板及びその製造方法を提供する。また、本開示では、そのようなセラミック板を簡便に製造できるセッターを提供する。また、本開示では、積層された複数のセラミックグリーンシートの互いの位置がずれることを抑制することによって、高い品質を有するセラミック焼結体を安定的に製造すること可能な製造方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示は、一つの側面において、凸状に湾曲している第１主面と、当該第１主面の反対側に凹状に湾曲している第２主面とを有し、反り量Ｗが１ｍｍ以上である、セラミック板を提供する。このようなセラミック板は、セラミック製であることから耐熱性に優れる。また、凸状の第１主面と凹状の第２主面を有するとともに、大きい反り量Ｗを有することから、弾性変形によって生じる復元力を利用する板ばねとして好適に用いることができる。ただし、その用途は板ばねに限定されない。本開示におけるセラミック板の反り量Ｗは、セラミック板を、第１主面側を上向きにして、測定台上に載置したときの測定台からの第２主面の最大高さとして測定される。

【0007】

上記セラミック板の厚みは２ｍｍ以下であり、第１主面と第２主面の曲率半径が１００～１０００ｍｍであってよい。これによって、板ばねとして用いたときに、変形による破損を抑制しつつたわみを十分に大きくすることができる。

【0008】

第１主面と第２主面の面積の平均値に対する反り量Ｗの比は１×１０^－５／ｍｍ以上であってよい。これによって、主面の単位面積当たりのたわみを大きくすることができるため、板ばねとして一層好適に用いることができる。

【0009】

上記セラミック板は、窒化ケイ素焼結体で構成されてよい。窒化ケイ素焼結体は、耐熱性と高い強度を兼ね備えるうえに、ばねとして用いたときにたわみを大きくすることができる。このため、板ばねとして、大きい復元力（反発力）と大きいたわみを必要とする用途に特に好適に用いることができる。

【0010】

本開示は、一つの側面において、上述のいずれかのセラミック板で構成される板ばねを提供する。このような板ばねは、耐熱性に優れるため、セラミックグリーンシートの加熱温度においても、ばねとしての機能を十分に発揮することができる。したがって、このような板ばねを用いて積層体を保持することによって、積層体に含まれる複数のグリーンシートの位置が互いにずれることを抑制できる。

【0011】

本開示は、一つの側面において、凸状又は凹状の湾曲面を有するセッターと、セラミックグリーンシートとを、セラミックグリーンシートの主面が上記湾曲面に沿うように重ね合わせて加熱し、反り量Ｗが１ｍｍ以上であるセラミック板を得る工程を有する、セラミック板の製造方法を提供する。

【0012】

上記製造方法では、凸状又は凹状の湾曲面を有するセッターを用いることによって、反り量Ｗが１ｍｍ以上であるセラミック板を得ている。このように、簡便な製造方法で、復元力を利用する板ばねとして好適に用いられるセラミック板を得ることができる。したがって、上述のセラミック板の製造方法は、板ばねの製造方法ということもできる。ただし、上述の製造方法で得られるセラミック板の用途は板ばねに限定されない。

【0013】

本開示は、一つの側面において、凸状又は凹状の湾曲面を有し、当該湾曲面におけるセラミックグリーンシートが載置される部分の高低差が１ｍｍ以上である、セッターを提供する。このようなセッターを用いることによって、例えば板ばねとして好適に用いられるセラミック板を簡便に製造することができる。上記セッターは、湾曲面の上記部分を覆うように載置されたセラミックグリーンシートを加熱し、反り量Ｗが１ｍｍ以上であるセラミック板を形成してよい。

【0014】

本開示は、一つの側面において、複数のセラミックグリーンシートを含む積層体を加熱して脱脂する脱脂工程と、脱脂された積層体を焼成してセラミック板を得る焼成工程と、を有し、脱脂工程及び焼成工程の一方又は双方において、上記積層体は、上述のいずれかのセラミック板の弾性変形によって生じる復元力によって保持される、セラミック焼結体の製造方法を提供する。

【0015】

積層体を加熱してセラミック焼結体を製造する場合、積層された複数のセラミックグリーンシートの位置が互いにずれると、露出した表面と露出していない表面とで加熱状態が変わるため、一表面における色及び性状等の品質がばらつく要因となる。また、複数のセラミックグリーンシートの位置が互いにずれると反り発生の要因となる場合もある。しかしながら、上記製造方法では、セラミック板の弾性変形によって生じる復元力によって積層体が保持される。このため、積層された複数のセラミックグリーンシートの位置が互いにずれることを抑制できる。したがって、高い品質を有するセラミック焼結体を安定的に製造することができる。

【0016】

上記製造方法の脱脂工程及び焼成工程の一方又は双方において、セラミック板は、積層体の上方に設けられた固定部材と積層体との間に弾性変形した状態で配置され、積層体の収縮に伴ってセラミック板の反り量Ｗが大きくなってよい。これによって、積層体を安定的に保持し、積層された複数のセラミックグリーンシートの位置が互いにずれることを十分に抑制することができる。

【発明の効果】

【0017】

優れた耐熱性を有し、積層された複数のセラミックグリーンシートの互いの位置がずれることを抑制できる板ばね、並びに、当該板ばねとして好適に用いられるセラミック板及びその製造方法を提供することができる。また、そのようなセラミック板を簡便に製造できるセッターを提供することができる。また、積層された複数のセラミックグリーンシートの互いの位置がずれることを抑制することによって、高い品質を有するセラミック焼結体を安定的に製造すること可能な製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、一実施形態に係るセラミック板の斜視図である。

【図2】図２は、一実施形態に係るセラミック板の側面図である。

【図3】図３は、別の実施形態に係るセラミック板の斜視図である。

【図4】図４は、一実施形態に係るセッターの斜視図である。

【図5】図５は、図４のセッターの側面図である。

【図6】図６は、別の実施形態に係るセッターの斜視図である。

【図7】図７は、図６のセッターの側面図である。

【図8】図８は、セラミック板の製造方法に用いる積層体の例を示す斜視図である。

【図9】図９は、セラミック板の製造方法に用いる積層体の別の例を示す斜視図である。

【図10】図１０は、本実施形態のセラミック焼結体の製造方法で用いる積層体及び保持体の一例を示す側面図である。

【図11】図１１は、脱脂工程後の積層体及び保持体の一例を示す側面図である。

【図12】図１２は、参考例１のたわみ量の測定結果を示すグラフである。

【図13】図１３は、参考例２のたわみ量の測定結果を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、場合により図面を参照して、本開示の実施形態を説明する。ただし、以下の実施形態は、本開示を説明するための例示であり、本開示を以下の内容に限定する趣旨ではない。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、説明に使用される上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。

【0020】

図１は、一実施形態に係るセラミック板の斜視図である。セラミック板１００は、アーチ状に反っており、凸状に湾曲している第１主面１００Ａと、第１主面１００Ａの反対側に凹状に湾曲している第２主面１００Ｂとを有する。セラミック板１００の４つの側面のうち、対向配置される一対の側面１１は長方形であるのに対し、対向配置される別の一対の側面１３はアーチ状に湾曲している。

【0021】

図２は、図１のセラミック板１００の側面図である。セラミック板１００は、水平な平面を有する測定台１５０上に載置されている。セラミック板１００はアーチ状に反っている。このため、セラミック板１００の第２主面１００Ｂのうち、一対の側面１１側の辺１２のみが測定台１５０と接触し、第２主面１００Ｂの他の部分と測定台１５０との間には隙間が生じている。セラミック板１００の反り量Ｗは、セラミック板１００を、第１主面１００Ａ側を上向きにして、測定台１５０上に載置したときの測定台１５０からの第２主面１００Ｂの最大高さとして測定される。反り量Ｗは、セラミック板１００に外力が与えられておらず、弾性変形していない状態での値である。反り量Ｗは１ｍｍ以上であるため、第２主面１００Ｂと測定台１５０とが平行になるまでのたわみを十分に大きくすることができる。したがって、復元力を利用する板ばねとして好適に用いることができる。セラミック板１００の反り量Ｚは、凸状に湾曲している第１主面１００Ａの高低差の最大値である。反り量Ｚも１ｍｍ以上であってよい。

【0022】

図２のような側面視において、第１主面１００Ａ及び第２主面１００Ｂの曲率半径は１００～１０００ｍｍであってよく、１５０～８００ｍｍであってよく、２００～５００ｍｍであってよい。これによって、破損を抑制しつつ、たわみを十分に大きくすることができる。このため、板ばねとしての機能を十分に発揮することができる。第１主面１００Ａと第２主面１００Ｂの曲率半径は同一であってよく、異なっていてもよい。また、第１主面１００Ａにおける曲率半径は一様でなくてよく、位置によって異なっていてもよい。この場合も、各位置における曲率半径が上述の範囲にあればよい。第２主面１００Ｂにおける曲率半径も一様でなくてよく、位置によって異なっていてもよい。この場合も、各位置における曲率半径が上述の範囲にあればよい。

【0023】

第２主面１００Ｂと測定台１５０とが平行になるまでの変形量を一層大きくする観点から、反り量Ｗ（反り量Ｚ）は、１．２ｍｍ以上であってよく、１．４ｍｍ以上であってもよい。一方、変形量を大きくし過ぎるとセラミック板１００が破損し易くなる傾向にある。このため、セラミック板１００の耐久性を十分に高くする観点から、反り量Ｗ（反り量Ｚ）は、５ｍｍ以下であってよく、４ｍｍ以下であってよく、３ｍｍ以下であってもよい。反り量Ｗに対する反り量Ｚの比は、０．９～１．１であってよく、０．９５～１．０５であってもよい。

【0024】

セラミック板１００の厚み（第１主面１００Ａと第２主面１００Ｂとの距離）は、たわみを十分に大きくする観点から、２ｍｍ以下であってよく、１．５ｍｍ以下であってよく、１ｍｍ以下であってよい。セラミック板１００の厚みは、板ばねとしたときの復元力を十分に大きくする観点から、０．１ｍｍ以上であってよく、０．２ｍｍ以上であってもよい。セラミック板１００の厚みの一例は、０．１～２ｍｍであってよい。

【0025】

セラミック板１００の厚みに対する反り量Ｗの比は、第２主面１００Ｂと測定台１５０とが平行になるまでのたわみを十分に大きくする観点から、１以上であってよく、２以上であってもよい。セラミック板１００の厚みに対する反り量Ｗの比は、板ばねとしての耐久性を十分に高くする観点から、１５以下であってよく、１０以下であってもよい。セラミック板１００の厚みに対する反り量Ｗの比の一例は、１～１５であってよい。

【0026】

第１主面１００Ａ及び第２主面１００Ｂの面積は、１００～１００００ｍｍ^２であってよく、５００～５０００ｍｍ^２であってもよい。第１主面１００Ａと第２主面１００Ｂの面積は同じであってよく、異なっていてもよい。第１主面１００Ａ及び第２主面１００Ｂの面積の平均値に対する反り量Ｗの比は、板ばねとしての有用性を十分に高める観点から、１×１０^－５／ｍｍ以上であってよく、５×１０^－５／ｍｍ以上であってよく、１×１０^－４／ｍｍ以上であってもよい。第１主面１００Ａ及び第２主面１００Ｂの面積の平均値に対する反り量Ｗの比は、同様の観点から、２×１０^－２／ｍｍ以下であってよく、１×１０^－２／ｍｍ以下であってよく、５×１０^－３／ｍｍ以下であってもよい。

【0027】

セラミック板１００は、窒化物焼結体、炭化物焼結体、又は酸化物焼結体で構成されていてよい。セラミック板１００を板ばねとして用いる場合、窒化ケイ素焼結体で構成されていてよい。窒化ケイ素焼結体で構成される板ばねは、たわみを十分に大きくすることができる。また、窒化ケイ素焼結体は高い抗折強度を有するため、耐久性にも優れる。

【0028】

セラミック板１００の抗折強度は、耐久性向上の観点から、５００ＭＰａ以上であってよく、６００ＭＰａ以上であってもよい。セラミック板１００の抗折強度は、例えば、１０００ＭＰａ以下であってよく、９００ＭＰａであってよい。セラミック板１００の抗折強度の一例は５００～１０００ＭＰａである。本開示における抗折強度は、３点曲げ抗折強度であり、ＪＩＳ Ｒ １６０１：２００８に準拠して市販の抗折強度計（島津製作所製、装置名：ＡＧ－２０００）を用いて測定される。

【0029】

セラミック板１００は、セラミック製であるため、耐熱性に優れる。このため、セラミック板１００で構成される板ばねは、種々の環境下において好適に用いることができる。例えば、高温環境下において、弾性変形による復元力が必要となる用途に好適である。

【0030】

図３は、別の実施形態に係るセラミック板の斜視図である。セラミック板１０２は、４つの側面２４がいずれもアーチ状となるように反っており、凸状に湾曲している第１主面１０２Ａと、第１主面１０２Ａの反対側に凹状に湾曲している第２主面１０２Ｂとを有する。第１主面１０２Ａの中心部は端部よりも上方に突出している。第２主面１０２Ｂの中心部は端部よりも窪んでいる。４つの側面２４のアーチ形状は互いに同じであってよく、異なっていてもよい。

【0031】

セラミック板１０２を、図２と同様に、第１主面１０２Ａ側を上向きにして、測定台１５０上に載置すると、セラミック板１０２の第２主面１０２Ｂのうち、４つの頂部２０のみが測定台１５０と接触する。第２主面１０２Ｂの他の部分と測定台１５０との間には隙間が生じる。セラミック板１０２の反り量Ｗも、図２と同様に、第１主面１０２Ａ側を上向きにして、測定台１５０上に載置したときの測定台１５０からの第２主面１０２Ｂの最大高さとして測定される。セラミック板１０２の反り量Ｚも、凸状に湾曲している第１主面１０２Ａの高低差の最大値として測定される。

【0032】

セラミック板１０２の反り量Ｗ、反り量Ｚ、厚み、及び厚みに対する反り量Ｗの比等の数値範囲、並びに材質は、セラミック板１００と同じであってよい。第１主面１０２Ａ及び第２主面１０２Ｂの曲率半径及び面積等の数値範囲も、第１主面１００Ａ及び第２主面１００Ｂと同じであってよい。セラミック板１０２も、板ばねとして種々の環境下において好適に用いることができる。

【0033】

図４は、一実施形態に係るセッターの斜視図である。セッター５０は、略蒲鉾形状を呈している。すなわち、セッター５０は、一方面がアーチ状に膨らんだ形状を有しており、凸状に湾曲している湾曲面５０Ａと、湾曲面５０Ａの反対側に平面５０Ｂを有する。湾曲面５０Ａにおいて対向する一対の側縁５４は曲線状であり、対向する他方の一対の側縁５２は直線状に伸びている。セッター５０の湾曲面５０Ａの少なくとも一部を覆うようにセラミックグリーンシートが載置される。湾曲面５０Ａにセラミックグリーンシートを載置すると、セラミックグリーンシートは湾曲面５０Ａに沿って湾曲する。湾曲したセラミックグリーンシートを加熱することによって、図１に示すとおり、アーチ状に反り、凸状に湾曲している第１主面１００Ａと、第１主面１００Ａの反対側に凹状に湾曲している第２主面１００Ｂとを有し、反り量Ｗ（反り量Ｚ）が１ｍｍ以上であるセラミック板１００を形成することができる。

【0034】

図５のような側面視において、セッター５０の湾曲面５０Ａの曲率半径は１００～１０００ｍｍであってよく、１５０～８００ｍｍであってよく、２００～５００ｍｍであってよい。これによって、板ばねとして好適なセラミック板を簡便に製造することができる。湾曲面５０Ａの中央部における頂部と湾曲面の下端にある側縁５２との高低差Ｈ１は、十分にたわむ板ばね（セラミック板１００）を製造する観点から、１ｍｍ以上であってよく、１．２ｍｍ以上であってよく、１．４ｍｍ以上であってもよい。弾性変形の繰り返しに対する耐久性に優れるセラミック板を製造する観点から、高低差Ｈ１は、５ｍｍ以下であってよく、４ｍｍ以下であってよく、３ｍｍ以下であってもよい。

【0035】

図６は、別の実施形態に係るセッターの斜視図である。セッター６０は、凹状に湾曲している湾曲面６０Ａと、湾曲面６０Ａの反対側に平面６０Ｂを有する。湾曲面６０Ａの輪郭をなす４つの側縁６４はいずれも曲線状であり、下方に向かって凸形状となるように曲がっている。湾曲面６０Ａの中心部における窪み部６１は、湾曲面６０Ａにおいて、平面６０Ｂに最も近接する部位である。湾曲面６０Ａは、当該中心部から湾曲面６０Ａの側縁６４に向かうにつれて、平面６０Ｂから離れるように湾曲している。湾曲面６０Ａの４隅にある頂部６５は、湾曲面６０Ａにおいて平面６０Ｂから最も離れている部位である。

【0036】

セッター６０の湾曲面６０Ａの少なくとも一部を覆うようにセラミックグリーンシートが載置される。湾曲面６０Ａにセラミックグリーンシートを載置すると、セラミックグリーンシートは湾曲面６０Ａに沿って湾曲する。湾曲したセラミックグリーンシートを加熱することによって、図３に示すような、凸状に湾曲している第１主面１０２Ａと、第１主面１０２Ａの反対側に凹状に湾曲している第２主面１０２Ｂとを有し、４つの側面がアーチ形状を有するセラミック板１０２を製造することができる。

【0037】

図７のような側面視において、セッター６０の湾曲面６０Ａの曲率半径は１００～１０００ｍｍであってよく、１５０～８００ｍｍであってよく、２００～５００ｍｍであってよい。これによって、板ばねとして好適なセラミック板を簡便に製造することができる。湾曲面６０Ａの中心部における窪み部６１と湾曲面の頂部６５との高低差Ｈ２は、十分にたわむ板ばね（セラミック板１００）を製造する観点から、１ｍｍ以上であってよく、１．２ｍｍ以上であってよく、１．４ｍｍ以上であってもよい。弾性変形の繰り返しに対する耐久性を向上する観点から、高低差Ｈ２は、５ｍｍ以下であってよく、４ｍｍ以下であってよく、３ｍｍ以下であってもよい。

【0038】

セラミック板１００（１０２）の製造方法は、凸状の湾曲面５０Ａ（凹状の湾曲面６０Ａ）を有するセッター５０（６０）と、セラミックグリーンシートとを、セラミックグリーンシートの主面が湾曲面５０Ａ（６０Ａ）に沿うように重ね合わせて加熱し、反り量Ｗ（反り量Ｚ）が１ｍｍ以上であるセラミック板１００（１０２）を得る工程を有する。上記製造方法では、凸状又は凹状の湾曲面を有するセッター５０又はセッター６０を用いることによって、反り量Ｗ（反り量Ｚ）が１ｍｍ以上であるセラミック板を得ることができる。このように、簡便な製造方法で、復元力を利用する板ばねとして好適に用いられるセラミック板を得ることができる。なお、セラミック板の用途は板ばねに限定されるものではない。

【0039】

セラミック板の製造に用いるセッターは、図４，図５，図６，図７のような形状に限定されず、セラミック板の形状に応じて適宜変更してよい。例えば、変形例では、図４のセッター５０に変えて、凹状に湾曲している湾曲面を有するセッターを用いてよい。この場合の湾曲面の曲線状の一対の側縁５４は、図４とは逆に下方に突出するように曲がってよい。また、別の変形例では、図６のセッター６０に変えて、凸状に湾曲している湾曲面を有するセッターを用いてよい。この場合の湾曲面の曲線状の４つの側縁６４は、図６とは逆に上方に突出するように曲がってよい。このようなセッターを用いて製造されるセラミック板は、十分な反り量を有する。このため、以下に述べるセラミック焼結体の製造方法に用いられる板ばねとして好適である。

【0040】

図８は、セラミック板の製造方法に用いるセッターと、セラミックグリーンシートが積層された積層体の例を示す斜視図である。図８の積層体２００は、最下部に図４に示すセッター５０が配置され、セッター５０の湾曲面５０Ａの上に、３枚のセラミックグリーンシート１１０が積層されている。その上に、セッター７０が配置され、セッター７０の一方面（上面）上に、３枚のセラミックグリーンシート１１０が積層されている。その上に、セッター８０が配置されている。

【0041】

セッター５０の湾曲面５０Ａの上に配置される３枚のセラミックグリーンシート１１０には湾曲面５０Ａの湾曲形状が転写される。セッター７０の他方面（下面）は、凸状の湾曲面５０Ａと相補的な凹状の湾曲面となる。したがって、セッター７０とセッター５０で挟まれる３枚のセラミックグリーンシート１１０には、湾曲面５０Ａとセッター７０の下面の湾曲形状が十分に転写される。これによって、セラミックグリーンシート１１０の一方の主面は凸状に湾曲し、他方の主面は凹状に湾曲する。

【0042】

セッター７０の上面は、セッター５０の湾曲面５０Ａと同様に凸状に湾曲している。セッター８０の下面は、凸状のセッター７０の上面と相補的な凹状の湾曲面となっている。このため、セッター７０の上面上に載置される３枚のセラミックグリーンシート１１０には、セッター７０の上面の湾曲形状と、セッター８０の下面の湾曲形状が十分に転写される。これによって、セラミックグリーンシート１１０の一方の主面は凸状に湾曲し、他方の主面は凹状に湾曲する。このような積層体２００を加熱することによって、複数のセラミックグリーンシート１１０を同時に脱脂して焼成し、図１に示すセラミック板１００を大量生産することができる。

【0043】

積層体２００は、複数のセラミックグリーンシート１１０を上下から一対のセッター５０，８０で挟んでいる。一対のセッター５０，８０のセラミックグリーンシート１１０と接する主面は、それぞれ凸状及び凹状に湾曲するとともに互いに相補的な形状を有することから、複数のセラミック板１００の反り量Ｗ及び反り量Ｚのばらつきを十分に低減することができる。また、一対のセッター５０，８０の間に、セラミックグリーンシート１１０で挟まれるセッター７０を用いている。セッター７０のセラミックグリーンシート１１０との接触面は、セッター５０，８０の湾曲面と同じように湾曲している。このようなセッター７０を用いることによって、セラミックグリーンシート１１０の積層数を増やすことができる。これによって、多数のセラミック板１００を同時に製造することができる。ただし、セッター７０を用いずに積層体を構成してもよい。また、一対のセッター５０，８０の間の任意の位置に、複数のセッター７０を個別に配置してもよい。

【0044】

図９は、セラミック板の製造方法に用いるセッターと、セラミックグリーンシートが積層された積層体の別の例を示す斜視図である。図９の積層体２１０は、最下部にセッター８２を配置し、セッター８２の湾曲面の上に、３枚のセラミックグリーンシート１１１が積層されている。その上に、セッター７２が配置され、セッター７２の一方面（上面）上に、３枚のセラミックグリーンシート１１１が積層されている。その上に、図６のセッター６０が、平面６０Ｂが上方を向くようにして配置されている。

【0045】

セッター８２の湾曲面の上に配置されるセラミックグリーンシート１１１には当該湾曲面の湾曲形状が転写される。セッター８２の湾曲面は、凹状のセッター６０の湾曲面６０Ａと相補的な凸状の湾曲面となっている。セッター７２の他方面（下面）は、セッター６０の湾曲面６０Ａと同一形状の湾曲面となっている。したがって、セッター７２とセッター８２で挟まれるセラミックグリーンシート１１１は、セッター８２の上面の湾曲形状と、セッター７２の下面の湾曲形状が十分に転写される。これによって、セラミックグリーンシート１１１の一方の主面は凸状に湾曲し、他方の主面は凹状に湾曲する。

【0046】

セッター７２の上面は、凹状のセッター６０の湾曲面６０Ａと相補的な凸状の湾曲面となっている。このため、セッター７２の上面上に載置されるセラミックグリーンシート１１０にも、セッター７２の上面の湾曲形状と、セッター６０の湾曲面６０Ａの湾曲形状が十分に転写される。このため、セッター７２の上面とセッター６０の湾曲面６０Ａで挟まれるセラミックグリーンシート１１０の一方の主面は凸状に湾曲し、他方の主面は凹状に湾曲する。このような積層体２１０を加熱することによって、複数のセラミックグリーンシート１１１を同時に脱脂して焼成し、図３に示すセラミック板１０２を大量生産することができる。

【0047】

積層体２１０は、複数のセラミックグリーンシート１１１を上下から一対のセッター６０，８２で挟んでいる。一対のセッター６０，８２のセラミックグリーンシート１１１と接する主面は、それぞれ凸状及び凹状に湾曲するとともに互いに相補的な形状を有することから、複数のセラミック板１０２の反り量Ｗ及び反り量Ｚのばらつきを十分に低減することができる。また、一対のセッター６０，８２の間に、セラミックグリーンシート１１１で挟まれるようにセッター７２が配置されている。セッター７２のセラミックグリーンシート１１１との接触面は、セッター６０，８２の湾曲面と同じように湾曲している。このようなセッター７２を用いることによって、セラミックグリーンシート１１１の積層数を増やすことができる。これによって、多数のセラミック板１０２を同時に製造することができる。ただし、セッター７２を用いずに積層体を構成してもよい。また、一対のセッター６０，８２の間の任意の位置に、複数のセッター７２を個別に配置してもよい。

【0048】

セッター５０，６０，７０，７２，８０，８２は、セラミック製であってよい。例えば、窒化ホウ素、炭化ケイ素、アルミナ、ジルコニア、グラファイト、及び窒化ケイ素からなる群より選ばれる少なくとも一種で構成されるものが挙げられる。これらのうち、窒化ホウ素製のセッターは、耐熱性と良好な切削性を兼ね備えるため、好適に用いられる。なお、焼成時にセッターとセラミック板との接着を抑制する観点から、セッターの材質は、セラミック板の材質とは異なるものであってよい。

【0049】

セッター５０，６０，７０，７２，８０，８２は、耐熱性の観点から、窒化ホウ素（ＢＮ）製であってよい。窒化ホウ素製のセッターは、以下の手順で製造することができる。まず、原料として、六方晶窒化ホウ素粉末を用いて成形体を作製する。必要に応じて、成形前に六方晶窒化ホウ素粉末に焼結助剤を配合してもよい。焼結助剤としては、酸化マグネシウム、酸化カルシウム等のアルカリ土類金属の酸化物、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化イットリウム等の希土類酸化物、及び、スピネル等の複合酸化物が挙げられる。成形は、一軸加圧成形とＣＩＰ成形を行ってよい。一軸加圧成形は３～２０ＭＰａで行ってよい。ＣＩＰ成形は、５０～３００ＭＰａで行ってよい。

【0050】

得られた成形体の焼成を行って窒化ホウ素製のセッターを得る。焼成は、非酸化性雰囲気下、昇温速度を１５０℃／ｈｒ以下、最高温度を１８００～２２００℃、この温度範囲における保持時間を５時間以上の条件で行ってよい。非酸化性雰囲気としては、例えば窒素、アンモニア等の窒化性ガス雰囲気が挙げられる。窒化ホウ素製のセッターの密度は１６００ｋｇ／ｍ^３以上であってよい。なお、セッターの製造方法は上述の方法に限定されない。例えば、ホットプレス法によって製造してもよい。また、焼成の前に脱脂を行ってもよい。脱脂は、成形体を空気中又は窒素等の非酸化雰囲気中で３００～７００℃に加熱して行ってよい。加熱時間は、例えば１～１０時間であってよい。

【0051】

一実施形態に係るセラミック焼結体の製造方法では、反り量Ｗが１ｍｍ以上であるセラミック板を用いる。当該製造方法は、複数のセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層工程と、当該積層体を加熱して脱脂する脱脂工程と、脱脂された積層体を焼成してセラミック板を得る焼成工程と、を有する。詳細を以下に説明する。

【0052】

セラミックグリーンシートを、例えば以下の手順で作製する。セラミック粉末、焼結助剤、バインダ及び分散剤を含む原料スラリーを調製する。セラミックとしては、特に制限されず、例えば、窒化物、酸化物及び炭化物等が挙げられる。具体的には、窒化ケイ素、炭化ケイ素、アルミナ、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素等が挙げられる。バインダは有機成分を含むものが挙げられる。バインダは、アクリル系共重合物であってよい。分散剤は、不飽和脂肪酸であってよい。

【0053】

原料スラリーをドクターブレード法、カレンダー法、又は押し出し法等によって離型フィルム上に所定の厚みで塗布する。その後、塗布された原料スラリーを乾燥させて離型フィルムから剥がすことによって、セラミックグリーンシートが得られる。セラミックグリーンシートは、例えば切断等によって所望の形状に加工してよい。複数のセラミックグリーンシートの材質及び形状は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。

【0054】

セラミック焼結体の製造方法で用いるセッターは、例えば市販のものを購入してもよいし、公知の方法で製造してもよい。セッターは、例えば、窒化ホウ素、炭化ケイ素、アルミナ、ジルコニア、グラファイト、及び窒化ケイ素からなる群より選ばれる少なくとも一種で構成されるものが挙げられる。これらのうち、窒化ホウ素製のセッターは、耐熱性と良好な切削性を兼ね備えるため、好適に用いられる。なお、焼成後のセッターと本製造方法で製造されるセラミック焼結体との接着を抑制する観点から、セッターの材質は、セラミック焼結体の材質とは異なるものであってよい。

【0055】

このようにして準備したセッターの上に、複数のセラミックグリーンシートを重ねて積層体を得る。複数のセラミックグリーンシートの主面同士が互いに接触するように積層し、その上に別のセッターを載せて積層体を作製してよい。すなわち、積層された複数のセラミックグリーンシートを、積層方向に対向するように配置される一対のセッターで挟み、積層体を作製してよい。作製した積層体における一対のセッターよりも外側に反り量が１．５ｍｍ以上のセラミック板を配置し、積層方向に沿って積層体を押圧して保持体を作製する。

【0056】

図１０は、本実施形態のセラミック焼結体の製造方法で用いる積層体及び保持体の一例を示す側面図である。図１０の保持体３５０は、積層体３００と、積層体３００の上方に設けられ、積層体３００を固定する固定部材３７と、固定部材３７と積層体３００の間にセラミック板１００ａと、を備える。積層体３００は、支持体４００の上に載置されており、支持体４００側から、セッター９２、複数のセラミックグリーンシート４１、セッター９４、複数のセラミックグリーンシート４１、及びセッター９６が、この順に積層されている。これらのセッター及びセラミックグリーンシートは、いずれも平板形状を有している。セラミック板１００ａは、外力が与えられていない状態では、図２にセラミック板１００として示すように反り量Ｗのアーチ状を呈する。

【0057】

図１０の保持体３５０では、セッター９６の上面に対向するように配置されているセラミック板１００ａは、固定部材３７によって積層体３００に向かって押圧されている。このため、反り量が小さくなるように弾性変形し、平板形状になっている。セラミック板１００ａの下側にあるセッター９６は、セラミック板１００ａの板ばねとしての復元力によって、下方に付勢されている。このようにして、保持体３５０は、積層体３００を支持体４００とセラミック板１００ａとによって積層方向に挟んで拘束している。

【0058】

脱脂工程では、この積層体３００を備える保持体３５０を脱脂炉に収容し、例えば３００℃～７００℃に加熱する。これによって、セラミックグリーンシート４１に含まれるバインダ及び分散剤が揮散し、セラミックグリーンシート４１が収縮する。

【0059】

図１１は、セラミックグリーンシート４１を脱脂して得られるセラミックグリーンシート４２、積層体３０１及び保持体３５１を示す側面図である。セラミックグリーンシート４２は、脱脂前のセラミックグリーンシート４１よりも、収縮によって厚みが薄くなっている。このため、脱脂後の積層体３０１におけるセッター９６の位置は、脱脂前の積層体３００におけるセッター９６よりも支持体４００に近づいている。このとき、支持体４００と固定部材３７の位置関係は脱脂前後で不変であるため、セッター９６と固定部材３７との間隔が大きくなる。これにともなって、弾性変形していたセラミック板１００ａは復元し、反り量Ｗ１が大きくなる。すなわち、反り量Ｗ１は加熱時間の経過に伴って大きくなる。セラミック板１００ｂの反り量Ｗ１は、外力が与えられていない時のセラミック板１００の反り量Ｗよりも小さい。このため、セラミック板１００ｂは、積層体３００を板ばねとしての復元力で拘束し続けることができる。

【0060】

保持体３５１は、板ばねとして機能するセラミック板１００（１００ｂ）を備えることから、脱脂工程の間、セラミックグリーンシート４２が収縮しても、弾性変形していたセラミック板１００の復元力が作用することによって積層体３０１を継続して拘束することができる。このため、セラミックグリーンシート４１，４２の位置がずれて、焼き具合がばらついたり、反りが発生したりすることを抑制できる。したがって、高い品質を有するセラミック焼結体を安定的に製造することができる。

【0061】

保持体３５０（３５１）で用いられるセラミック板１００の枚数は一枚に限定されず、複数枚を上下方向に重ねて用いてもよい。これによって板ばねとしての復元力を大きくして、積層体３００，３０１をより強固に拘束することができる。また、セラミック板１００の配置は、セッター９６と固定部材３７の間に限定されず、セッター９２と支持体４００との間であってもよいし、一対のセラミックグリーンシート４１（４２）の間であってもよい。複数のセラミック板１００を、互いに異なる位置に配置してもよい。セラミック板１００の代わりにセラミック板１０２を用いてもよい。また、板ばねとして機能するものであれば、これらとは異なる形状を有するセラミック板を用いてもよい。

【0062】

積層体３００，３０１を構成するセッター９２，９４，９６及びセラミックグリーンシート４１（４２）の枚数に特に制限はない。複数のセラミックグリーンシート４１（４２）の材質及び厚みは、互いに同一であってよいし、異なっていてもよい。セラミックグリーンシート４１（４２）の主面には、焼成の際に隣り合うセラミックグリーンシート同士が接着することを抑制するため、離型剤が塗布されていてもよい。また、セッター９２，９４，９６のセラミックグリーンシート４１（４２）の主面との対向面にも、離型剤が塗布されていてもよい。離型剤の含有成分としては、窒化ホウ素等のセラミック粉末、黒鉛粉末、及びバインダ等が挙げられる。

【0063】

焼成工程では、脱脂されたセラミックグリーンシート４２を焼成炉に収容して、１６００℃～２０００℃に加熱する。これによって、セラミックグリーンシートが焼成され、セラミック板が得られる。脱脂で用いる脱脂炉と焼成で用いる焼成炉は同一炉であってもよいし、異なる炉であってもよい。また、加熱の温度、時間及び雰囲気は、セラミックグリーンシートの組成に応じて適宜調整してよい。

【0064】

焼成工程では、図１１の保持体３５１を焼成炉に収容してセラミックグリーンシート４２を焼成してもよいし、保持体３５１を解体し、別のセッターでセラミックグリーンシート４２を保持して焼成してもよい。焼成工程においても、粒成長の進行、並びに残存するバインダ及び分散剤の揮発等の要因によって、セラミックグリーンシート４２がさらに収縮する場合がある。このため、脱脂工程と同様に、セラミック板１００の復元力によって積層体３０１を付勢し、拘束することによって、セラミックグリーンシート４２の位置ずれを抑制することができる。

【0065】

変形例では、セラミック板１００を備える保持体を、焼成工程のみで用いてもよい。この場合も、脱脂後の複数のセラミックグリーンシート同士の位置がずれることを抑制することができる。これによって、高い品質を有するセラミック焼結体を安定的に製造することができる。

【0066】

以上、本開示の実施形態を説明したが、本開示は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、セラミック板の厚みは一様ではなく、異なっていてもよい。この場合、セラミック板の平均厚みは、最も厚みの大きい部分と、最も厚みが小さい部分の平均値として求めることができる。この平均厚みが、上述の厚みの数値範囲内にあってよい。

【0067】

セラミック板は、板ばねとは異なる用途に用いてもよい。例えば、セラミック板はフィルタの部材として用いてもよい。この場合、例えば、２つのセラミック板１００（１０２）を、第１主面１００Ａ（１０２Ａ）と第２主面１００Ｂ（１０２Ｂ）が対向するように並べて２つのセラミック板の間に湾曲した流路を形成し、当該流路を流通するガス中に含まれる液体分又は固形分を取り除いてもよい。なお、流路を流通する媒体はガスに限定されず、ミスト又は液体であってもよい。フィルタは、３つ以上のセラミック板１００（１０２）を、主面同士が互いに対向するように並べて構成されてもよい。フィルタにおける流路は、平らな主面を有するセラミック板とセラミック板１００（１０２）とを並べて形成してもよい。

【実施例】

【0068】

実施例及び参考例を参照して本開示の内容をより詳細に説明するが、本開示は下記の具体例に限定されるものではない。

【0069】

（実施例１）
＜セラミック板の作製＞
窒化ケイ素粉末と、焼結助剤として、酸化マグネシウム粉末、及び酸化イットリウム粉末を準備した。これらを、Ｓｉ_３Ｎ_４：Ｙ_２Ｏ_３：ＭｇＯ＝９４．０：３．０：３．０（質量比）で配合して原料粉末を得た。この原料粉末を、一軸加圧成形し、複数枚のセラミックグリーンシートを作製した。作製したセラミックグリーンシートと、窒化ホウ素製のセッターとを重ねて、図８に示すような積層体を得た。３枚のセッターの湾曲面の曲率半径は、いずれも２９０ｍｍであった。これを、カーボンヒータを備える電気炉中に配置し、空気中、５００℃で５時間加熱して脱脂した後、窒素ガスの雰囲気下、１８００℃で１２時間焼成して、窒化ケイ素焼結体で構成されるセラミック板を得た。

【0070】

＜セラミック板の形状評価＞
このセラミック板は、図１及び図２に示すようにアーチ状に反っており、凸状に湾曲している第１主面と、当該第１主面の反対側に凹状に湾曲している第２主面とを有していた。第１主面及び第２主面の長手方向に沿って測定される縦方向の長さ（弧の長さ）はともに６８ｍｍであった。第１主面及び第２主面の短手方向に沿って測定される横方向の長さ（幅）は、ともに３５．４ｍｍであった。第１主面及び第２主面の面積は、ともに６８×３５．４＝２４０７．２ｍｍ^２であった。第１主面及び第２主面に直交する方向に沿って測定される厚さ（第１主面と第２主面との最短距離）は、０．６３５ｍｍであった。

【0071】

得られたセラミック板を、図２に示すように、水平な平面を有する測定台の上におき、反り量Ｗを測定した。測定には、株式会社キーエンス製のワンショット３Ｄ形状測定機（商品名：ＶＲ－３０５０）を用いた。３枚のセラミック板の反り量Ｗの測定結果は、表１に示すとおりであった。反り量Ｗは、図２に示されるとおり、測定台からの凹状に湾曲している第２主面の最大高さである。また、同じ測定器を用いて測定した、３枚のセラミック板の反り量Ｚは表１に示すとおりであった。反り量Ｚは、図２に示されるとおり、凸状に湾曲している第１主面の高低差の最大値である。

【0072】

【表1】

【0073】

表１に示すとおり、３枚のセラミック板の反り量Ｗはほぼ同じであった。また、反り量Ｗと反り量Ｚも大きく変わらなかった。第１主面と第２主面の曲率半径は、セッターの湾曲面の曲率半径と同じであった。表１には、主面の面積、厚み、主面の面積に対する反り量Ｗの比、及び、厚みに対する反り量Ｗの比を示した。

【0074】

実施例１－１，１－２，１－３のセラミック板を３枚重ね合わせて、図１０の保持体３５０と同様の保持体を作製した。図１０では、セラミック板１００ａが１枚しか示されていないが、この実施例では、３枚のセラミック板を、第１主面及び第２主面の向きが揃うように重ね合わせて用いた。セラミックグリーンシートは、上述の「セラミック板の作製」と同様にして６０枚作製した。セッターは、いずれも窒化ホウ素製の市販のものを用いた。下側のセッター（第１セッター）の上に３０枚のセラミックグリーンシート、セッター（第２セッター）及び３０枚のセラミックグリーンシート及びセッター（第３セッター）の順に積層して積層体を得た。上側のセッター（第３セッター）の上に３枚のセラミック板を配置した。３枚のセラミック板の上側に配置した固定部材で下方に押圧して積層体を拘束し、図１０に示されるような保持体を作製した。積層体は、３枚のセラミック板の弾性変形に伴う復元力によって下方に付勢されていた。

【0075】

このような積層体を備える保持体を、脱脂炉に収容し、空気中、５００℃で５時間加熱して脱脂工程を行った。脱脂工程において、複数のセラミックグリーンシート同士の位置がずれることはなかった。その後、保持体からセラミックグリーンシートを取り出し、別の窒化ホウ素製のセッターの上に載置して焼成工程を行った。焼成工程は、窒素雰囲気下、焼成炉中で脱脂されたセラミックグリーンシートを１８００℃で１２時間加熱した。得られた窒化ケイ素焼結体は、十分に品質のばらつきが低減されていた。

【0076】

（参考例１）
実施例１と同様の手順でセラミックグリーンシートを作製した。平板形状のセッターの上にセラミックグリーンシートを載置し、実施例１と同じ加熱条件で脱脂工程と焼成工程を行って、窒化ケイ素焼結体で構成される平板形状のセラミック板を得た。セラミック板のサイズは、縦×横×厚さ＝６８ｍｍ×３５．４ｍｍ×０．６３５ｍｍであった。

【0077】

上述のセラミック板をｎ個作製し、たわみ量を以下の手順で測定した。たわみ量は、株式会社今田製作所製の引張圧縮試験機（型式：ＳＤＴ－５０３ＮＢ－５０Ｒ１Ｔ）を用い、支点間距離３０ｍｍにて３点曲げ試験を行って測定した。図１２に、ｎ個のセラミック板の測定結果を並べて示す。

【0078】

（参考例２）
セラミック板の厚さを変更したこと以外は、参考例１と同様にして窒化ケイ素焼結体で構成される平板形状のセラミック板を得た。セラミック板のサイズは、縦×横×厚さ＝６８ｍｍ×３５．４ｍｍ×０．３２ｍｍであった。セラミック板をｎ個用意して、参考例１と同じ手順でたわみ量を測定した。測定結果は図１３に示すとおりであった。図１２及び図１３の結果から、セラミック板の厚みを変えることで、たわみ量を調整できることが確認された。

【産業上の利用可能性】

【0079】

本開示によれば、優れた耐熱性を有し、積層された複数のセラミックグリーンシートの互いの位置がずれることを抑制できる板ばね、並びに、当該板ばねとして好適に用いられるセラミック板及びその製造方法を提供することができる。また、そのようなセラミック板を簡便に製造できるセッターを提供することができる。また、積層された複数のセラミックグリーンシートの互いの位置がずれることを抑制することによって、高い品質を有するセラミック焼結体を安定的に製造すること可能な製造方法を提供することができる。

【符号の説明】

【0080】

１１，１３，２４…側面、２０，６５…頂部、３７…固定部材、４１，４２，１１０…セラミックグリーンシート、５０，６０，７０，７２，８０，８２，９２，９４，９６…セッター、５０Ａ，６０Ａ…湾曲面、５０Ｂ，６０Ｂ…平面、５２，５４…側縁、６１…窪み部、６４…側縁、４００…支持体、１００，１００ａ，１００ｂ，１０２…セラミック板、１００Ａ，１０２Ａ…第１主面、１００Ｂ，１０２Ｂ…第２主面、１５０…測定台、２００，２１０，３００，３０１…積層体、３５０，３５１…保持体。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】