特許 7127732 蓋開閉装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-08-22

(45)【発行日】2022-08-30

(54)【発明の名称】蓋開閉装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20220823BHJP

   B65B 69/00 20060101ALI20220823BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65B69/00 103

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021501711

(86)(22)【出願日】2020-01-20

(86)【国際出願番号】 JP2020001662

(87)【国際公開番号】W WO2020170672

(87)【国際公開日】2020-08-27

【審査請求日】2021-08-19

(31)【優先権主張番号】P 2019030400

(32)【優先日】2019-02-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100105946

【弁理士】

【氏名又は名称】磯野 富彦

(72)【発明者】

【氏名】坂本 顕史

(72)【発明者】

【氏名】山崎 良太

(72)【発明者】

【氏名】布目 涼馬

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】特開平０５－１７５３２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－００９１３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－１４１９２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０９３６９６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｂ ６９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

容器本体と、上蓋と、前記容器本体に前記上蓋が装着された状態において前記容器本体に対して前記上蓋を係止する係止機構と、前記上蓋に設けられ、前記容器本体に対して所定値を超えて上方に回動させられると前記係止機構による係止を解除させる水平方向の片部と、を備える容器の前記上蓋を開閉する蓋開閉装置であって、
前記容器を載置する載置台と、
前記載置台の上方かつ両側方に設けられ、前記容器が前記載置台の規定位置まで水平方向に挿入される際に、前記片部の下面に当接して前記片部を前記容器本体に対して前記所定値を超えて上方に回動させる案内部と、
前記係止機構による係止が解除された前記容器本体と前記上蓋とを上下方向に相対的に移動させる昇降機構と、を備える、蓋開閉装置。

【請求項2】

前記容器が前記載置台の規定位置まで水平方向に挿入される際に、前記片部の上方において対向する前記上蓋の側部の上面に当接する上側案内部を備える、請求項１に記載の蓋開閉装置。

【請求項3】

前記案内部の上面と、前記上側案内部の下面とにより溝が形成され、
前記上蓋の側部及び前記片部は、前記溝に沿って移動可能である、請求項２に記載の蓋開閉装置。

【請求項4】

前記溝は、前記昇降機構に備えられる、請求項３に記載の蓋開閉装置。

【請求項5】

前記溝は、前記上蓋の側部及び前記片部を保持し、
前記昇降機構は、前記溝により保持された前記案内部及び前記上側案内部を、前記容器本体に対して昇降させる昇降駆動部を備える、請求項４に記載の蓋開閉装置。

【請求項6】

前記載置台は、前記容器が挿入される際の入り口側の先端部分に傾斜部が設けられる、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の蓋開閉装置。

【請求項7】

前記案内部の入り口側の先端部分に、傾斜面又は曲面が設けられる、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の蓋開閉装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、蓋開閉装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工場等では、レチクル等の物品がレチクルポッド等の容器に収容されて保管装置又は半導体製造装置等に搬送され、保管装置等において容器からレチクル等が取り出される。この容器は、物品を載置する容器本体と、上蓋とを有し、容器本体に上蓋が装着された状態において容器本体に対して上蓋を係止する係止機構を備えている。この係止機構は、上蓋に設けられた水平方向の片部を容器本体に対して所定値を超えて上方に回動させると係止を解除される構成が適用されている。このような係止機構を有する容器から、収容した物品を取り出すために、保管装置等では、上記した係止機構を解除して上蓋を容器本体に対して開閉させる蓋開閉装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第３０８９５９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の蓋開閉装置では、係止機構の係止を解除するためのアクチュエータを有しており、このアクチュエータを駆動して容器の係止機構を解除した後に上蓋を容器本体から上昇させる構成が適用されている。係止機構の係止を解除するアクチュエータを有する蓋開閉装置では、アクチュエータの搭載により装置が大型化するといった課題がある。

【0005】

本発明は、装置の大型化を抑制することが可能な蓋開閉装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の態様に係る蓋開閉装置は、容器本体と、上蓋と、容器本体に上蓋が装着された状態において容器本体に対して上蓋を係止する係止機構と、上蓋に設けられ、容器本体に対して所定値を超えて上方に回動させられると係止機構による係止を解除させる水平方向の片部と、を備える容器の上蓋を開閉する蓋開閉装置であって、容器を載置する載置台と、載置台の上方かつ両側方に設けられ、容器が載置台の規定位置まで水平方向に挿入される際に、片部の下面に当接して片部を容器本体に対して所定値を超えて上方に回動させる案内部と、係止機構による係止が解除された容器本体と上蓋とを上下方向に相対的に移動させる昇降機構と、を備える。

【0007】

また、容器が載置台の規定位置まで水平方向に挿入される際に、片部の上方において対向する上蓋の側部の上面に当接する上側案内部を備えてもよい。また、案内部の上面と、上側案内部の下面とにより溝が形成され、上蓋の側部及び片部は、溝に沿って移動可能であってもよい。また、溝は、昇降機構に備えられてもよい。また、溝は、上蓋の側部及び片部を保持し、昇降機構は、溝により保持された案内部及び上側案内部を、容器本体に対して昇降させる昇降駆動部を備えてもよい。また、載置台は、容器が挿入される際の入り口側の先端部分に傾斜部が設けられてもよい。また、案内部の入り口側の先端部分に、傾斜面又は曲面が設けられてもよい。

【発明の効果】

【0008】

上記した蓋開閉装置によれば、容器が載置台の規定位置まで水平方向に挿入される際に、案内部が片部の下面に当接して片部を容器本体に対して所定値を超えて上方に回動させ、係止機構を解除する。すなわち、容器を載置台の規定位置まで水平方向に挿入するだけで容器の係止機構を解除するので、係止機構を解除するためのアクチュエータを不要として装置の大型化を抑制することができ、また、アクチュエータ等の可動部がないので、パーティクルの発生を低減することができる。

【0009】

また、容器が載置台の規定位置まで水平方向に挿入される際に、片部の上方において対向する上蓋の側部の上面に当接する上側案内部を備える構成では、案内部により片部を上方に回動させる際に、上側案内部により上蓋が上方に移動するのを押さえることができる。従って、容器本体に対して片部を確実に回動させることができる。また、案内部の上面と、上側案内部の下面とにより溝が形成され、上蓋の側部及び片部が、溝に沿って移動可能である構成では、溝によって上蓋の側部及び片部を挟むことで、片部を確実に回動させることができる。また、溝が、昇降機構に備えられる構成では、昇降機構により溝を昇降させることで、溝に挟まれている上蓋の側部及び片部（すなわち上蓋）を容易に昇降させることができる。また、溝が、上蓋の側部及び片部を保持し、昇降機構が、溝により保持された案内部及び上側案内部を、容器本体に対して昇降させる昇降駆動部を備える構成では、溝により上蓋の保持部を兼ねるので、別途上蓋を保持するための保持部が不要となり、部品数の増加を回避できる。さらに、係止機構による係止が解除された上蓋を容易に容器本体から離すことができる。また、載置台が、容器が挿入される際の入り口側の先端部分に傾斜部が設けられる構成では、容器を挿入する際に容器の下部が傾斜部に案内されることで、容器を適正な高さにすることができる。また、案内部の入り口側の先端部分に、傾斜面又は曲面が設けられる構成では、容器を挿入する際に片部が傾斜面又は曲面に当たることで、片部を案内部上に適切に案内することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】第１実施形態に係る蓋開閉装置の一例を示す斜視図である。

【図2】蓋開閉装置を－Ｘ側から視た図である。

【図3】蓋開閉装置を－Ｙ側から視た図である。

【図4】容器の一例を示す分解斜視図である。

【図5】（Ａ）は、容器の係止機構による係止を解除した図、（Ｂ）は、上蓋を容器本体に対して上方に移動させた図である。

【図6】容器を載置台に配置する前の状態を示す図である。

【図7】容器を載置台の規定位置に配置した状態を示す図である。

【図8】（Ａ）は、図７における要部を拡大して示す図、（Ｂ）は、図７に示す状態において係止機構が解除された状態を示す図である。

【図9】上蓋を上方に移動させる動作の一例を示す図である。

【図10】第２実施形態に係る蓋開閉装置の一例を示す斜視図である。

【図11】（Ａ）から（Ｃ）は、シャッタを開閉する動作の一例を示す図であり、側壁部の外側の状態を示す。

【図12】（Ａ）から（Ｃ）は、シャッタを開閉する動作の一例を示す図であり、側壁部の内側の状態を示す。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等、適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図においては、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系では、上下方向（鉛直方向）をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｙ方向は、水平方向内における一方向であって、後述する容器の挿入方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と直交する方向である。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印が指す向きを＋方向（例えば、＋Ｘ方向）と表現し、矢印が指す向きの反対方向を－方向（例えば、－Ｘ方向）と表現する。

【0012】

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る蓋開閉装置１００の一例を示す斜視図である。図２は、蓋開閉装置１００を－Ｘ側から視た図である。図３は、蓋開閉装置１００を－Ｙ側から視た図である。図１から図３に示す蓋開閉装置１００は、容器本体１及び上蓋２を有し、レチクル等の物品が収容される容器３の上蓋２を開閉する。

【0013】

容器３は、容器本体１に上蓋２が装着された状態において容器本体１に対して上蓋２を係止する係止機構４を備えている。容器３は、物品であるレチクルＲを収容するレチクルポッドである。係止機構４は、上蓋２に設けられた水平方向の片部５ａを容器本体１に対して所定値を超えて上方へ回動させると係止を解除される構成が適用されている。なお、容器３の詳細については後述する。本実施形態の蓋開閉装置１００は、このような係止機構４を有する容器３から、収容した物品を取り出すために、上記した係止機構４を解除して上蓋２を容器本体１に対して開閉させる。

【0014】

蓋開閉装置１００は、載置台１０と、下側案内部（案内部）２０と、上側案内部３０と、昇降機構４０とを備える。図１から図３に示す蓋開閉装置１００は、容器３を上下２段に配置する形態を示しているが、この形態に限定されず、１つの容器３を載置する形態であってもよいし、３つ以上の容器３を上下に配置する形態であってもよい。載置台１０は、容器３を載置する規定位置Ｐが定められている。載置台１０は、Ｙ方向に延在する２本の棒状部材であって、Ｘ方向に複数並んで平行して配置されている。載置台１０は、容器３の＋Ｘ側の鍔部１ｄ、及び－Ｘ側の鍔部１ｄを支持し、容器３を水平面に平行に載置する。

【0015】

載置台１０の－Ｙ側端部は、容器３を挿入するための入り口部分に相当する。容器３は、この入り口部分から＋Ｙ方向に挿入されて載置台１０上に配置される。載置台１０の－Ｙ側の端部（入り口部分）には、傾斜部１１が設けられる。傾斜部１１は、－Ｙ側の端部から＋Ｙ側に向けて、上側（＋Ｚ側）に傾くように形成される。傾斜部１１が設けられることにより、容器３を挿入する際に容器３の鍔部１ｄが傾斜部１１から載置台１０に案内され、容器３を適正な高さに配置することができる。また、各載置台１０の内側の面（－Ｘ側の載置台１０の＋Ｘ側の面、＋Ｘ側の載置台１０の－Ｘ側の面）には、それぞれ第２傾斜部１１ａが設けられている。容器３が挿入される際、第２傾斜部１１ａは、容器本体１において鍔部１ｄを形成するために底部から立設された側部（図４参照）と接触して、容器３（容器本体１）をＸ方向の適正な位置に案内して位置決めする。なお、第２傾斜部１１ａは、各載置台１０において、－Ｙ側の端部から設けられてもよい。

【0016】

また、蓋開閉装置１００は、容器３を挿入するための入り口側において、２本の載置台１０の間の部分を下方側に凹ませた凹部１２が設けられている。この凹部１２が設けられることにより、例えば、作業者等により容器３を載置台１０上に挿入する際、又は載置台１０上の容器３を取り出す際に、作業者の手が邪魔されず、その結果、容器３を持ちやすくして、容器３の出し入れにおける利便性を向上させている。載置台１０の＋Ｙ側の上方には押え部１３が設けられている。押え部１３は、載置台１０の上面から、容器本体１の鍔部１ｄの厚さの分だけ上方に配置されている。押え部１３は、容器３が規定位置Ｐに配置された場合、載置台１０上の鍔部１ｄの上面側に配置され、容器本体１が上方に移動するのを規制する。

【0017】

なお、容器３が規定位置Ｐに配置された場合に、容器本体１の＋Ｙ側に当たる不図示のストッパが設けられてもよい。このストッパは、容器３が規定位置Ｐに配置された際に、容器３が配置された位置から＋Ｙ方向への容器本体１の移動を規制し、容器本体１をＹ方向において位置決めしてもよい。また、蓋開閉装置１００は、規定位置Ｐに配置された容器３の抜け（－Ｙ方向への移動）を規制するための保持部材１４を備えている。保持部材１４は、先端側を蓋開閉装置１００の内側に向けた状態で設けられる。保持部材１４は、例えば、図示しない弾性部材により内側に向けて弾性的に支持された、図示しない突起部を備える。この突起部は、容器３が規定位置Ｐに配置された際に、鍔部１ｄに設けられた段部１ｆ（図４参照）の－Ｙ側に弾性部材により突出し、規定位置Ｐに配置された容器３の－Ｙ方向への移動を規制する。なお、保持部材１４は、図６、図７、及び図９において省略している。

【0018】

下側案内部２０は、＋Ｘ側及び－Ｘ側の各載置台１０に対して上方に設けられる。下側案内部２０は、載置台１０が延在する方向に沿って配置される。下側案内部２０は、容器３が載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入された際に、容器３に設けられている係止機構４の片部５ａの下面に当接して、この片部５ａを容器本体１に対して所定値を超えて上方に回動させる。片部５ａの下面には、下側案内部２０の上面２０ａが当接する。下側案内部２０は、入り口側（－Ｙ側）の先端部分に、傾斜面又は曲面が設けられる。本実施形態では、下側案内部２０の－Ｙ側の先端部分に曲面２１が設けられる。曲面２１が設けられることにより、容器３を挿入する際に片部５ａが曲面２１に当たることで、片部５ａを下側案内部２０上に適切に案内することができる。

【0019】

下側案内部２０は、奥側（＋Ｙ側）の端部が上方に屈曲され、後述する上側案内部３０に取り付けられている。下側案内部２０の上面２０ａの＋Ｙ側は上方に向かい屈曲しており、ストッパ２２を形成する。ストッパ２２は、規定位置Ｐに配置された容器３の突出片２ｃの＋Ｙ側の端部が当たることで、容器３が規定位置Ｐからさらに＋Ｙ方向に移動しないように規制する。

【0020】

上側案内部３０は、２つの下側案内部２０それぞれの上方に、下側案内部２０に沿ってＹ方向に延在して設けられる。上側案内部３０と下側案内部２０とは平行に設けられている。また、上側案内部３０は、下側案内部２０よりもＹ方向の長さが長い。上側案内部３０は、容器３が載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入された際に、片部５ａの上方において対向する上蓋２の側部２ａの上面に当接する。上側案内部３０が設けられることにより、下側案内部２０により片部５ａを上方に回動させる際に、上蓋２を上方から押さえることができる。すなわち、側部２ａと片部５ａとを上側案内部３０と下側案内部２０とで挟み込むことにより、上側案内部３０で側部２ａ（上蓋２）の上方への移動を規制しつつ、下側案内部２０で片部５ａを上方に回動させている。

【0021】

上側案内部３０は、下側案内部２０に対して上下方向（Ｚ方向）に所定の距離Ｌを隔てて配置される（図８参照）。この所定の距離Ｌは、例えば、下側案内部２０と上側案内部３０との間で上蓋２の側部２ａと片部５ａとを挟み、上蓋２の上昇を抑えつつ、片部５ａを容器本体１に対して所定値を超えて上方に回動させ（片部５ａの端部を上方に移動させ）、係止機構４による係止を解除することが可能な距離である。また、上側案内部３０の下面３０ａで上蓋２の側部２ａの上面を押さえるので、下側案内部２０により片部５ａを上方に回動させる際に、上蓋２の上方への移動を規制し、係止機構４による係止を確実に解除させることができる。また、下側案内部２０と上側案内部３０との間で上蓋２の側部２ａと片部５ａとを挟むことにより上蓋２を保持する。すなわち、下側案内部２０及び上側案内部３０は、上蓋２の保持部として機能する。また、下側案内部２０の先端部分と、上側案内部３０とは、ブラケット２３を介して連結されている。下側案内部２０は、ストッパ２２の近傍から－Ｙ方向に延在して片持ちで設けられている。ブラケット２３により下側案内部２０の先端部分と、上側案内部３０とが連結されることで下側案内部２０の剛性を向上させ、下側案内部２０の先端部分が垂れ下がるのを防止している。なお、ブラケット２３は、図１において表記し、他の図においては省略している。

【0022】

上側案内部３０は、例えば板状の昇降部材３１に取り付けられ、昇降部材３１の昇降により昇降する。また、上側案内部３０に取り付けられている下側案内部２０は、上側案内部３０及び昇降部材３１の昇降により昇降する。すなわち、下側案内部２０及び上側案内部３０は、昇降部材３１と一体的に昇降する。昇降部材３１は、昇降機構４０により昇降させられる。昇降機構４０の駆動は、容器３が規定位置Ｐに配置されたことをセンサ等により検知して不図示の制御装置等により自動で行われる構成であってもよいし、作業者が図示しない操作盤を操作すること（マニュアル操作）により行われる構成であってもよい。

【0023】

昇降機構４０は、係止機構４による係止が解除された容器本体１に対して、上蓋２を上昇させる。なお、昇降機構４０は、容器本体１に対して上蓋２を上昇させる構成に限定されず、上蓋２に対して容器本体１を下降させる構成であってもよいし、上蓋２を上昇させかつ容器本体１を下降させる構成であってもよい。昇降機構４０は、昇降駆動部４１を有する。昇降駆動部４１は、昇降部材３１を昇降させる。昇降駆動部４１としては、例えばエアシリンダ装置等が用いられる。昇降部材３１を昇降させることにより、上記のように、上蓋２を保持した下側案内部２０及び上側案内部３０を、容器本体１に対して昇降させることができる。

【0024】

また、昇降部材３１の＋Ｙ側の端部には、カバー部３２が設けられる。カバー部３２は、昇降部材３１の＋Ｙ側の端部から下方に向けて屈曲して設けられ、昇降部材３１の端部から垂下して配置される。カバー部３２は、例えば柵状に設けられて、作業者が筐体７０内に手を突っ込んだ際に、さらに筐体７０より奥に配置されている各種装置（例えば、レチクルＲの搬送装置）が作動する領域まで手を入れないように規制する。なお、カバー部３２は、昇降部材３１と一体的に昇降し、昇降部材３１の下降時には載置台１０の＋Ｙ側（筐体７０の背面部７３に設けられた不図示の開口部）に配置され、昇降部材３１の上昇時には昇降部材３１とともに上昇して、容器本体１の＋Ｙ側を開放する。従って、上蓋２を上昇させた際に、容器本体１に載置されているレチクルＲを、蓋開閉装置１００の＋Ｙ側（不図示の開口部）から出し入れすることが可能となる。

【0025】

図４は、容器３の一例を示す分解斜視図である。図５（Ａ）は、容器３の係止機構４による係止を解除した図、（Ｂ）は、上蓋を容器本体に対して上方に移動させた図である。図４及び図５に示すように、容器本体１は、例えば矩形の板状である。容器本体１は、矩形板状のレチクルＲを支持する複数の支持部１ａを有する。複数の支持部１ａは、レチクルＲの角部に対応する４カ所にそれぞれ配置される。各支持部１ａには、位置決め部１ｂが設けられる。位置決め部１ｂは、レチクルＲの＋Ｙ側及び－Ｙ側を支持し、レチクルＲのＹ方向の位置ずれを防止する。また、容器本体１には、位置決め部１ｃが設けられる。位置決め部１ｃは、レチクルＲの＋Ｘ側及び－Ｘ側を支持し、レチクルＲのＸ方向の位置ずれを防止する。なお、容器本体１におけるレチクルＲの支持方法は任意であり、上記した構成に限定されない。

【0026】

容器本体１の＋Ｘ側と－Ｘ側には、それぞれ鍔部１ｄを有する。鍔部１ｄは、容器本体１の対向する２辺に沿って形成される。鍔部１ｄは、Ｙ方向に沿って延在し、容器本体１の底部と平行である。鍔部１ｄは、底部に対してＺ方向に立設された側部があり、その側部からＸ方向に鍔状に設けられている。この鍔部１ｄは、段部により容器本体１の底部に対して上方に配置される。鍔部１ｄの一部には、係止部１ｅを有する。係止部１ｅは、鍔部１ｄにおいて長手方向であるＹ方向のほぼ中央部に設けられる。また、鍔部１ｄの縁部において＋Ｙ側及び－Ｙ側には段部１ｆが設けられる。この段部１ｆ（＋Ｙ側の段部１ｆ）は、容器３が規定位置Ｐに配置された際に、上記した保持部材１４（図１等参照）の図示しない突出部に係止され、容器３の－Ｙ方向への移動を規制する。

【0027】

上蓋２は、側部２ａと、側壁部２ｂと、突出片２ｃとを有する。側部２ａは、例えば平面視で矩形状の天板部分の＋Ｘ側及び－Ｘ側にそれぞれ突出して設けられている。側壁部２ｂは、平面視において矩形枠状であり、天板部の外周に沿って設けられてる。側壁部２ｂは、容器本体１において２つの鍔部１ｄ（底部に立設された一対の側部）の間に挿入可能な大きさに設けられる。突出片２ｃは、側部２ａの＋Ｙ側にそれぞれ側壁部２ｂから外側に突出するように設けられる。突出片２ｃの厚み寸法は、突出片２ｃが上記した下側案内部２０と上側案内部３０との間に挿入可能となるように設定されている。突出片２ｃは、＋Ｙ側端部が下側案内部２０のストッパ２２に当たることで、載置台１０上における容器３の挿入方向の位置を規定する。

【0028】

また、容器３は、係止機構４を有する。係止機構４は、係止部材５と、軸６と、弾性部材７とを有する。これら係止部材５、軸６、及び弾性部材７は、上蓋２に設けられる。係止部材５は、側部２ａの下方に配置される。係止部材５は、片部５ａと、垂下部５ｂと、爪部５ｃとを有する。片部５ａは、側部２ａに沿って水平方向に延在し、側部２ａに対して下方に所定の間隔をあけて配置される。垂下部５ｂは、片部５ａの側壁部２ｂ側から下方に屈曲された部分である。爪部５ｃは、垂下部５ｂの下端に設けられ、容器本体１の係止部１ｅに係止される。

【0029】

軸６は、片部５ａの側壁部２ｂ側に配置され、軸心方向がＹ軸方向となるように上蓋２（側部２ａ）に設けられる。軸６は、係止部材５を回転可能に支持する。つまり、係止部材５は、軸６を中心として回転可能である。換言すれば、片部５ａは、軸６まわりに回動可能に設けられており、片部５ａの回動に伴って垂下部５ｂ及び爪部５ｃの容器本体１（係止部１ｅ）に対する位置が変化する。片部５ａが軸６まわりに上方（＋Ｚ軸方向）に回動すると、垂下部５ｂ及び爪部５ｃは容器本体１から離間する。片部５ａが軸６まわりに下方（－Ｚ軸方向）に回動すると、垂下部５ｂ及び爪部５ｃは容器本体１に接近する。弾性部材７は、片部５ａと側部２ａとの間に配置される。弾性部材７は、例えばコイルスプリング等が用いられ、片部５ａに対して下向きの弾性力を付与する。

【0030】

図５（Ａ）に示すように、片部５ａに対して弾性部材７の弾性力よりも大きな力が上向きに加えられた場合、片部５ａの端部が側部２ａに近づく方向に回動し、その結果、係止部材５が軸６を中心として回動する。片部５ａが容器本体１に対して所定値を超えて上方に回動した場合、又は側部２ａの上面と片部５ａの端部の下面との間の距離が所定の距離Ｌ（図８参照）よりも小さくなった場合には、爪部５ｃが容器本体１から離間し、係止部１ｅから外れた状態となる。爪部５ｃが係止部１ｅから外れることにより、係止機構４による上蓋２の係止が解除される。係止機構４による上蓋２の係止が解除された状態では、平面視において爪部５ｃと係止部１ｅとが重なっていない。

【0031】

図５（Ｂ）に示すように、係止機構４による係止が解除された状態で、上蓋２を上方に移動させることにより、上蓋２が容器本体１から離れる。この結果、上蓋２が容器本体１から取り外され、容器３が開いた状態（レチクルＲを取り出し又は載置可能な状態）となる。なお、係止機構４による係止が解除された状態で、容器本体１を下降させても、容器３が容器本体１に対して上方に移動した状態となる。なお、上蓋２が容器本体１に装着され、この容器３が載置台１０から取り出されることで（すなわち片部５ａが下側案内部２０から離れることで）、弾性部材７により片部５ａが押されて下方に回動し、係止部材５を回動させて爪部５ｃを容器本体１に接近させることにより、爪部５ｃが係止部１ｅに係止された状態に戻る。

【0032】

次に、上記した蓋開閉装置１００に容器３を配置し、上蓋２を開く動作の一例について図６から図９を用いて説明する。なお、図６から図９では、１つの容器３を例に挙げて説明している。図６は、容器３を載置台１０に配置する前の状態を示す図である。図６に示すように、１つの載置台１０の入り口部分の手前側（－Ｙ側）に容器３が配置される。この容器３は、例えば、作業者が手で持った状態であってもよいし、ロボットハンド等により保持された状態であってもよい。

【0033】

容器３は、例えば、容器３の鍔部１ｄが載置台１０の高さとなるように配置される。この状態から、容器３を＋Ｙ方向に挿入して、容器３を規定位置Ｐに配置させる。なお、容器３を挿入する際に、鍔部１ｄの高さが載置台１０より低い場合であっても、鍔部１ｄが傾斜部１１に当たって案内されることにより、鍔部１ｄを載置台１０に載置された状態で容器３を挿入することができる。容器３が挿入されると、係止機構４の片部５ａが下側案内部２０の曲面２１に到達する。この片部５ａは、曲面２１に当たることで、下側案内部２０上に適切に案内される。片部５ａが下側案内部２０上に案内されると、片部５ａは、下側案内部２０により上方に回動させられた状態となる。すなわち、容器３を規定位置Ｐまで挿入する途中で、片部５ａは、下側案内部２０により上方に回動させられた状態となる。

【0034】

また、容器３が挿入されると、上蓋２の側部２ａは、上側案内部３０に当たって案内される。なお、容器３を挿入する際、側部２ａが上側案内部３０に当たり始めるタイミングは、片部５ａが下側案内部２０に案内され始めるタイミングよりも前である。容器３は、挿入の途中から、側部２ａが上側案内部３０に案内され、かつ、片部５ａが下側案内部２０に案内された状態で規定位置Ｐまで挿入される。なお、片部５ａが下側案内部２０により上方に回動させられた状態では、係止機構４は係止を解除している。また、容器３は、突出片２ｃがストッパ２２に当たるまで挿入される。作業者は、容器３が止まる（それ以上押し込めない状態となる）まで挿入することにより、容器３を規定位置Ｐに容易に配置させることができる。

【0035】

図７は、容器３を規定位置Ｐに配置した状態を示す図である。図８（Ａ）は、図７における要部を拡大して示す図である。図８（Ｂ）は、図７に示す状態において上蓋２の係止機構４の一例を模式的に示す図である。図７に示すように、容器３が載置台１０の規定位置Ｐに配置された状態では、側部２ａと片部５ａとが下側案内部２０と上側案内部３０とで挟まれており、上蓋２は、下側案内部２０と上側案内部３０とで保持されている。

【0036】

図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、上蓋２の両側の片部５ａが下側案内部２０により案内され、片部５ａが弾性部材７の弾性力に抗して、容器本体１（容器３）に対して上方に回動させられた状態となる。また、上蓋２の側部２ａは、上面が上側案内部３０の下面３０ａに当接している。なお、片部５ａが上方に回動させられた際、上蓋２には上方に向けた力が作用する。この力は上側案内部３０により受け止められるので、上蓋２は、上下方向の位置が維持される。図８（Ｂ）に示すように、下側案内部２０の上面２０ａと、上側案内部３０の下面３０ａとの間は所定の距離Ｌに設定されている。この所定の距離Ｌは、片部５ａを上方に回動させて係止機構４による係止を解除させるのに必要な距離である。すなわち、片部５ａは、所定の距離Ｌとなるまで下側案内部２０により上方に回動させられることで、係止機構４による係止を確実に解除させることができる。

【0037】

また、側部２ａは上側案内部３０により上方への移動が押さえられている。このため、片部５ａが上方に回動させられるときに上蓋２が上方に移動することを防止し、容器本体１に対して片部５ａを確実に上方に回動させることができる。この片部５ａの上方への回動により、係止部材５が軸６を中心として回動し、爪部５ｃが容器本体１の係止部１ｅから外れる。その結果、係止機構４による係止が解除され、上蓋２を容器本体１に対して上方に移動させることが可能となる。なお、容器３は、規定位置Ｐに配置されている間、係止機構４による係止が解除された状態が維持される。

【0038】

図９は、上蓋２を開く動作の一例を示す図である。図９に示すように、昇降機構４０の昇降駆動部４１により昇降部材３１を上昇させることで、昇降部材３１と一体の下側案内部２０及び上側案内部３０が上昇させられる。上蓋２の両側の側部２ａ及び片部５ａは、下側案内部２０と上側案内部３０との間に挟まれて保持されているので、下側案内部２０及び上側案内部３０の上昇により、上蓋２も容器本体１に対して上昇する。上蓋２が上昇することで、容器本体１の上面側が開放された状態となり、容器本体１に対してのレチクルＲの取り出し又は載置が可能となる。

【0039】

なお、下側案内部２０の上面２０ａは、片部５ａの下面が摺動し、上側案内部３０の下面３０ａは、上蓋２の側部２ａの上面が摺動する。従って、下側案内部２０の上面２０ａ及び上側案内部３０の下面３０ａの一方又は双方は、摩擦を低減する加工が施されてもよいし、摩擦を低減するための被膜が形成されてもよい。このような摩擦を低減する構成が適用されることで、容器３の挿入又は取り出し時においてパーティクルの発生を低減できる。また、下側案内部２０の上面２０ａは、係止機構４による係止が解除された状態、つまり片部５ａが上方に回動させられた状態で片部５ａの下面に面同士で接触するように、内側が下方に傾いた状態で形成されてもよい。この構成により、片部５ａが下側案内部２０によって安定して支持される。

【0040】

このように、本実施形態に係る蓋開閉装置１００によれば、容器３が載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入された際に、下側案内部２０が片部５ａの下面に当接して片部５ａを容器本体１に対して所定値を超えて上方に回動させることで係止機構４を解除する。すなわち、容器３を載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入するだけで容器３の係止機構４が解除されるので、係止機構４を解除するためのアクチュエータを不要として装置の大型化を抑制することができ、また、アクチュエータ等の可動部がないので、パーティクルの発生を低減することができる。

【0041】

［第２実施形態］
図１０は、第２実施形態に係る蓋開閉装置２００の一例を示す斜視図である。図１０に示すように、蓋開閉装置２００は、第１実施形態に係る蓋開閉装置１００の構成に加えて、容器３を挿入するための入り口部分を開閉可能なシャッタ５０と、シャッタ５０を開閉するシャッタ駆動機構６０と、上記した蓋開閉装置１００を囲む筐体７０とを有する。シャッタ５０及びシャッタ駆動機構６０は、容器３を挿入する入り口部分ごとに（載置台１０ごと）に設けられる。筐体７０は、２つの側壁部７１と、背面部７３とを有する。側壁部７１は、蓋開閉装置２００の＋Ｘ側及び－Ｘ側にそれぞれ配置される。なお、図１０に示す蓋開閉装置２００において、昇降機構４０の記載を省略している。筐体７０の背面部７３には、不図示の開口部が設けられる。この開口部は、載置台１０に載置された容器３に対応して設けられる。容器３に収容されたレチクルＲの取り出し、又は、容器３へのレチクルＲの載置は、不図示の開口部を介して行われる。

【0042】

シャッタ５０は、例えば板状であり、筐体７０の２つの側壁部７１の相互間に配置される。シャッタ５０のそれぞれには、筐体７０内を視認可能な窓部５０ａが設けられている。シャッタ５０は、容器３を挿入する入り口部分を閉じた閉状態と、入り口部分を開放した開状態とに移動可能である。シャッタ５０は、閉状態で平面に沿った方向が上下方向となり、開状態で平面に沿った方向が水平方向又はほぼ水平方向となる。シャッタ５０には、Ｘ方向の両端側かつ閉状態で上端側にそれぞれ連結部５１が設けられる。２つの側壁部７１には、それぞれ連結部５１が移動する軌跡に対応する溝部７２が設けられる。シャッタ５０は、連結部５１から吊り下げられて（連結部５１に片持ちされた状態で）設けられる。溝部７２は、Ｘ方向に視て、上に凸となった円弧状に設けられている。溝部７２の長手方向における長さは、シャッタ５０を開状態とするのに必要な長さに設定されている。溝部７２の幅（長手方向と直交する長さ）は、連結部５１が移動するのに必要な幅に設定されている。

【0043】

また、シャッタ５０は、閉状態で下方かつ内面側にマグネット５２（図１１、図１２等参照）を有する。蓋開閉装置２００は、載置台１０の下方に、上記マグネット５２が吸着する被吸着部５３を有する。なお、シャッタ５０に被吸着部５３が設けられ、載置台１０の下方にマグネット５２が設けられてもよい。

【0044】

シャッタ駆動機構６０は、駆動部６１と、リンク部材６２と、シャッタ支持ローラ６３（図１２参照）とを有する。駆動部６１は、例えばエアシリンダ装置が用いられるがこの構成に限定されず、例えば、電動モータ及びボールねじ機構等、他の構成が用いられてもよい。本実施形態に係る駆動部６１は、シリンダ６１ａ及びシャフト６１ｂを有する。シリンダ６１ａは、Ｘ方向に沿って設けられた軸部材６１ｄによって側壁部７１に支持される。シリンダ６１ａは、軸部材６１ｄを中心としてＸ軸まわりに回転可能である。シャフト６１ｂは、シリンダ６１ａから突出する方向及びシリンダ６１ａに収容される方向に往復移動可能である。シャフト６１ｂの先端には、軸受部６１ｃが設けられる。

【0045】

リンク部材６２は、シャッタ駆動機構６０の駆動部６１と、シャッタ５０の連結部５１とを連結し、駆動部６１の駆動力を連結部５１を介してシャッタ５０に伝達する。リンク部材６２は、例えば三角形状の板状体である。リンク部材６２は、３つの角部のうち１つの角部が軸部材６２ａによって側壁部７１に支持される。リンク部材６２は、軸部材６２ａを中心としてＸ軸まわりに回転可能である。また、リンク部材６２は、３つの角部のうち上記とは異なる１つの角部がシャフト６１ｂの先端の軸受部６１ｃに連結される。リンク部材６２は、軸受部６１ｃに対してＸ軸まわりに相対的に回転可能である。また、リンク部材６２は、３つの角部のうち上記２つとは異なる１つの角部が、連結部５１に連結される。リンク部材６２は、連結部５１に対してＸ軸まわりに相対的に回転可能である。

【0046】

図１１（Ａ）から（Ｃ）及び図１２（Ａ）から（Ｃ）は、シャッタ５０を開閉する動作の一例を示す図である。図１１は側壁部７１の外側の状態を示し、図１２は側壁部７１の内側の状態を示している。なお、シャッタ５０の開閉は、不図示の制御装置により自動で行ってもよいし、作業者によるマニュアル操作により行ってもよい。また、図１１及び図１２では、上下２つのシャッタ５０を同時に駆動しているが、個別に駆動させることができる。

【0047】

図１１（Ａ）に示すように、駆動部６１のシャフト６１ｂがシリンダ６１ａから所定長突出した状態とすることにより、リンク部材６２が軸部材６２ａを中心として時計まわりの方向の端部に配置される。この場合、図１２（Ａ）に示すように、シャッタ５０の連結部５１が溝部７２の手前側（－Ｙ側）の端部に配置される。この連結部５１の位置では、シャッタ５０がシャッタ支持ローラ６３の手前側に垂下し、シャッタ５０が閉状態となる。なお、シャッタ５０は、閉状態において下端に配置されるマグネット５２が被吸着部５３に吸着した状態となる。従って、シャッタ５０の閉状態が維持される。

【0048】

シャッタ５０が閉状態となることにより、外部からのパーティクルの侵入が抑制される。また、図１２（Ａ）に示すように、昇降部材３１（下側案内部２０及び上側案内部３０）の上方にシャッタ５０がない状態となっている。従って、シャッタ５０が閉状態では、下側案内部２０及び上側案内部３０は、シャッタ５０と干渉することなく昇降可能である。一方、容器３を挿入する入り口部分がシャッタ５０により閉じられているため、容器３は、挿入できない。

【0049】

次に、図１１（Ｂ）に示すように、シリンダ６１ａに収容される方向（収縮する方向）にシャフト６１ｂを移動させることにより、リンク部材６２が軸部材６２ａを中心として反時計まわりに回転する。リンク部材６２の回転により、図１２（Ｂ）に示すように、連結部５１が奥側（＋Ｙ側）に引っ張られ、シャッタ５０がシャッタ支持ローラ６３を支点として回転することで、マグネット５２が被吸着部５３から外れてシャッタ５０が徐々に開いた状態となる。そして、シャッタ５０の内面側がシャッタ支持ローラ６３に支持された状態で、シャッタ５０が奥側（＋Ｙ方向）に移動する。

【0050】

図１１（Ｃ）に示すように、シャフト６１ｂをさらにシリンダ６１ａに収容することにより、リンク部材６２が軸部材６２ａを中心としてさらに反時計まわりに回転する。リンク部材６２の回転により、図１２（Ｃ）に示すように、連結部５１が溝部７２の奥側（＋Ｙ側）の端部まで移動する。連結部５１の移動により、シャッタ５０の内面側がシャッタ支持ローラ６３に支持された状態で、シャッタ５０が奥側（＋Ｙ方向）に移動する。この結果、シャッタ５０がほぼ水平方向に平行な姿勢となり、閉状態でシャッタ５０の上側部分が筐体７０に収容されて、シャッタ５０が開状態となる。

【0051】

シャッタ５０が開状態では、容器３を挿入する入り口部分が開放された状態となる。従って、容器３は、シャッタ５０と干渉することなく載置台１０上に挿入可能である。一方、シャッタ５０が開状態では、昇降部材３１（下側案内部２０及び上側案内部３０）の上方にシャッタ５０が配置される。従って、昇降部材３１（下側案内部２０及び上側案内部３０）は、シャッタ５０と干渉するため昇降できない。その結果、シャッタ５０の開状態では、容器本体１から上蓋２が上昇して、レチクルＲが露出することを防止できる。

【0052】

また、シャッタ５０を開状態から閉状態とするときは、上記と逆の動作により、連結部５１を溝部７２の手前側（－Ｙ側）に位置させる。その結果、シャッタ５０は、連結部５１から垂下して、図１１（Ａ）及び図１２（Ａ）に示すように、容器３を挿入する入り口部分を閉じた状態となる。

【0053】

このように、第２実施形態に係る蓋開閉装置２００によれば、第１実施形態と同様に、容器３を載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入するだけで容器３の係止機構４を解除するので、装置の大型化を抑制することができ。さらに、蓋開閉装置２００によれば、容器３の入り口側を開閉可能なシャッタ５０を備えるので、蓋開閉装置２００内に外気の流入を抑制できる。

【0054】

以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、載置台１０の入り口側の端部に傾斜部１１が設けられる構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されず、傾斜部１１が設けられない構成であってもよい。また、傾斜部１１に代えて曲面が設けられてもよい。

【0055】

また、上記した実施形態では、下側案内部２０の入り口側の先端部分に、曲面２１が設けられる構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されず、曲面２１に代えて傾斜面が設けられる構成であってもよい。また、傾斜面及び曲面２１の双方が設けられない構成であってもよい。

【0056】

また、上記した実施形態では、容器３が載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入される際に、片部５ａの上方において対向する上蓋２の側部２ａの上面に当接する上側案内部３０を備える構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。上側案内部３０は、側部２ａの上面に当接することに代えて、上蓋２の上面の一部に当接する構成であってもよい。また、上側案内部３０は、設けられなくてもよい。例えば、容器３が重い場合には、下側案内部２０により片部５ａを上方に回動させても、容器３（上蓋２）は同時に上方に移動しない。従って、このような容器３の場合は、上側案内部３０は、設けられなくてもよい。

【0057】

また、上記した実施形態では、下側案内部２０及び上側案内部３０は、係止機構４による係止を解除した状態で上蓋２を保持する構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、下側案内部２０及び上側案内部３０により係止機構４による係止を解除しつつ、他の保持部によって上蓋２を保持して上昇させる構成であってもよい。

【0058】

なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１９－０３０４００、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

【符号の説明】

【0059】

Ｇ・・・溝
Ｌ・・・所定の距離
Ｐ・・・規定位置
Ｒ・・・レチクル
１・・・容器本体
２・・・上蓋
２ａ・・・側部
２ｃ・・・突出片
３・・・容器
４・・・係止機構
５・・・係止部材
５ａ・・・片部
５ｃ・・・爪部
１０・・・載置台
１１・・・傾斜部
２０・・・下側案内部（案内部）
２０ａ・・・上面
２１・・・曲面
３０・・・上側案内部
３０ａ・・・下面
４０・・・昇降機構
４１・・・昇降駆動部
５０・・・シャッタ
５２・・・マグネット
５３・・・被吸着部
６０・・・シャッタ駆動機構
６１・・・駆動部
６２・・・リンク部材
７１・・・側壁部
７２・・・溝部
１００、２００・・・蓋開閉装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】