特許 7136211 Ｘ線分析装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-05

(45)【発行日】2022-09-13

(54)【発明の名称】Ｘ線分析装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/223 20060101AFI20220906BHJP

   G01N 23/2204 20180101ALI20220906BHJP

【ＦＩ】

G01N23/223

G01N23/2204

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020539174

(86)(22)【出願日】2018-08-27

(86)【国際出願番号】 JP2018031550

(87)【国際公開番号】W WO2020044399

(87)【国際公開日】2020-03-05

【審査請求日】2021-01-06

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】秋山 剛志

【審査官】越柴 洋哉

(56)【参考文献】

【文献】実用新案登録第２５８７２００（ＪＰ，Ｙ２）

【文献】特開２００３－０５７１９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１５７０８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－１８８３４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－２５６８０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０３９１９５４８（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００ － Ｇ０１Ｎ ２３／２２７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

各待機位置に配置された複数の試料を支持する試料支持部と、
前記試料を把持する把持部を有し、前記各待機位置と測定位置との間で前記試料を移動させる搬送部と、
前記測定位置に配置された前記試料に向けて１次Ｘ線を照射するＸ線照射部と、
前記１次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
分離可能に設けられた第１部分および第２部分を含み、前記測定位置に前記試料が配置された状態で前記試料および前記把持部を収容することとなる試料室と、を備え、
前記第１部分は、前記測定位置の周辺に設けられており、
前記第２部分は、前記把持部から離間して前記搬送部に設けられており、
前記搬送部は、前記待機位置から前記測定位置まで前記把持部が前記試料を把持した状態で、前記試料を移動させ、
前記測定位置に前記試料が配置された状態において、前記第２部分が前記第１部分に当接することにより前記試料室が形成された状態となる、Ｘ線分析装置。

【請求項2】

前記把持部は、前記測定位置で前記試料の把持を維持した状態と前記試料の把持を解除した状態とを選択可能に設けられている、請求項１に記載のＸ線分析装置。

【請求項3】

前記測定位置において前記試料を載置させるための試料ステージをさらに備え、
前記試料ステージは、前記Ｘ線照射部および前記検出器側を向く第１主面と、前記第１主面の反対側に位置し、前記試料が載置される第２主面とを有し、
前記把持部は、前記第２主面に垂直な法線方向に移動可能に設けられ、
前記第１部分は、前記法線方向に平行な筒軸を有し、前記筒軸方向における一端側が前記試料ステージによって閉塞されるように前記第２主面上に設けられた筒状部材であり、
前記第２部分は、前記筒軸方向における前記筒状部材の他端側から前記筒状部材に対向可能に設けられた蓋部材であり、
前記把持部が前記法線方向に沿って前記第２主面に近づくように移動して前記測定位置に前記試料が配置された状態で、前記蓋部材が前記筒状部材の前記他端側を閉塞することにより、前記試料室が形成された状態となる、請求項１または２に記載のＸ線分析装置。

【請求項4】

前記把持部は、前記測定位置にて前記試料を把持した状態を維持し、
前記Ｘ線照射部は、前記把持部に把持された前記試料に向けて前記１次Ｘ線を照射する、請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線分析装置。

【請求項5】

前記把持部は、前記試料の分析面に垂直な回転軸まわりに回転可能に設けられている、請求項１から４のいずれか１項に記載のＸ線分析装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試料にＸ線を照射して分析を行なうＸ線分析装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来のＸ線分析装置において、複数の試料が載置された回転テーブルを回転させ、昇降位置に移動された試料を、昇降機構を用いて計測器室に移動させる技術が開示されている（特開昭６０－００００４３号公報（特許文献１）参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開昭６０－００００４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に開示のＸ線分析装置においては、計測器室に試料を移動させるためには、回転テーブルを回転させて各試料を順に昇降位置に移動させなければならない。このため、試料が配置された各位置と計測器室との間で直接試料を移動することができなかった。この場合には、回転テーブルの所定の移動経路上にしか試料を配置できないため、装置内のスペースを効率よく利用することが困難となる。

【0005】

搬送機構を用いて試料が配置された各位置（待機位置）と計測器室との間で直接試料を移動させる場合に、試料を測定位置に配置して計測器室から搬送機構を退避させた後にＸ線分析を行なう場合には、搬送機構の移動経路が長くなる。この場合には、搬送機構の移動時間が長くなり、試料の数が多くなった場合には、試料の搬送時間も相当程度掛かってしまう。

【0006】

また、計測器室に搬送機構を受け入れる受入部が必要となり、この場合において、何ら手立てがない場合には、当該受入部からＸ線が計測器室外に漏れ出ることが懸念される。

【0007】

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、測定時のＸ線の漏れを抑制しつつ、待機位置と測定位置との間で試料を搬送可能なＸ線分析装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に基づくＸ線分析装置は、各待機位置に配置された複数の試料を支持する試料支持部と、上記試料を把持する把持部を有し、上記各待機位置と測定位置との間で上記試料を移動させる搬送部と、上記測定位置に配置された上記試料に向けて１次Ｘ線を照射するＸ線照射部と、上記１次Ｘ線を照射された上記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、分離可能に設けられた第１部分および第２部分を含み、上記測定位置に上記試料が配置された状態で上記試料および上記把持部を収容することとなる試料室と、を備える。上記第１部分は、上記測定位置の周辺に設けられており、上記第２部分は、上記搬送部に設けられている。上記測定位置に上記試料が配置された状態において、上記第２部分が上記第１部分に当接することにより上記試料室が形成された状態となる。

【0009】

上記構成によれば、Ｘ線分析装置において、試料を搬送する搬送部を設けたことにより、各待機位置と測定位置との間で試料を搬送することが可能となる。さらに、分離可能に設けられた試料室の一部である第２部分を搬送部に設け、試料が測定位置に配置された状態において、上記第２部分が当該試料室の他の一部である第１部分に当接することにより、試料室が形成された状態となる。この状態においては、試料を把持するための把持部および当該試料が試料室内に収容されるため、測定時に試料を透過したＸ線の一部が試料室によって遮蔽される。これにより、Ｘ線が試料室の外部に漏れ出ることを抑制することができる。

【0010】

上記本発明に基づくＸ線分析装置は、上記測定位置において上記試料を載置させるための試料ステージをさらに備えていてもよい。上記試料ステージは、上記Ｘ線照射部および上記検出器側を向く第１主面と、上記第１主面の反対側に位置し、上記試料が載置される第２主面とを有していることが好ましい。上記把持部は、上記第２主面に垂直な法線方向に移動可能に設けられていてもよい。この場合には、上記第１部分は、上記法線方向に平行な筒軸を有し、上記筒軸方向における一端側が上記試料ステージによって閉塞されるように上記第２主面上に設けられた筒状部材であってもよく、上記第２部分は、上記筒軸方向における上記筒状部材の他端側から上記筒状部材に対向可能に設けられた蓋部材であってもよい。さらに、この場合には、上記把持部が上記法線方向に沿って上記第２主面に近づくように移動して上記測定位置に上記試料が配置された状態で、上記蓋部材が上記筒状部材の上記他端側を閉塞することにより、上記試料室が形成された状態となることが好ましい。

【0011】

上記構成によれば、試料ステージに試料を載置してＸ線分析を行なうことができるため、試料を精度よく測定することができる。また、一端側が試料ステージによって閉塞された筒状部材と、筒状部材の他端側を閉塞可能に設けられた蓋部材とによって試料室を構成することにより、試料室の構成を簡素化することができる。さらに、試料ステージの第２主面の法線方向に搬送部を移動させることにより試料室を形成することができるため、試料室を形成するための搬送部の動作をシンプルにすることができる。

【0012】

上記本発明に基づくＸ線分析装置にあっては、上記把持部は、上記測定位置にて上記試料を把持した状態を維持してもよく、上記Ｘ線照射部は、上記把持部に把持された上記試料に向けて上記１次Ｘ線を照射してもよい。

【0013】

上記構成によれば、把持部が試料を把持した状態で１次Ｘ線を試料に照射するため、分析時に測定位置で試料を把持部から取り外すことを省略することができる。これに伴い、測定位置で取り外された試料を再度把持部で把持したりすることも省略することができる。この結果、試料を移動させるための時間を短縮することができる。

【0014】

上記本発明に基づくＸ線分析装置にあっては、上記把持部は、上記試料の分析面に垂直な回転軸まわりに回転可能に設けられていてもよい。

【0015】

上記構成によれば、把持部が回転可能に設けられることにより、測定位置において試料を回転させることができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、測定時のＸ線の漏れを抑制しつつ、待機位置と測定位置との間で試料を搬送可能なＸ線分析装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】実施の形態に係るＸ線分析装置を示す概略断面図である。

【図2】図１に示す矢視ＩＩ方向から見た場合の搬送部および試料支持部を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。以下に示す実施の形態においては、Ｘ線分析装置として、蛍光Ｘ線分析装置を例示して説明する。また、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。

【0019】

（Ｘ線分析装置の構成）
図１は、実施の形態に係るＸ線分析装置を示す概略断面図である。図２は、図１に示す矢視ＩＩ方向から見た場合の搬送部および試料支持部を示す図である。図１および図２を参照して、実施の形態に係るＸ線分析装置１について説明する。

【0020】

図１および図２に示すように、Ｘ線分析装置１は、筐体２、試料支持部１０、搬送部２０、Ｘ線照射部３０、検出器４０、分析チャンバ５０、および制御部６０を備える。

【0021】

筐体２は、Ｘ線分析装置１の外殻を構成する部材であり、試料支持部１０、搬送部２０、Ｘ線照射部３０、検出器４０、分析チャンバ５０、および制御部６０を内部に収容する。

【0022】

試料支持部１０は、たとえば平板形状を有する。試料支持部１０は、各待機位置に配置された複数の試料Ｓを支持する。複数の試料Ｓは、たとえば、試料支持部１０に行列状に配置されている。これにより、複数の試料Ｓを効率よく配置することができる。

【0023】

搬送部２０は、各待機位置と測定位置との間で試料Ｓを移動させる。搬送部２０は、Ｘ軸レール２１、Ｙ軸レール２２、Ｚ軸レール２３、移動体２４、アーム部２５、把持部２６、および回転駆動部２７を含む。

【0024】

Ｘ軸レール２１は、Ｘ軸方向に延在する。Ｘ軸レール２１は、Ｙ軸レール２２によってＹ軸方向に移動可能に設けられている。Ｘ軸レール２１は、たとえばモータ等の駆動源によってＹ軸レール２２上を走行する。

【0025】

なお、Ｘ軸方向とは、水平方向における任意の１方向であり、Ｙ軸方向とは、Ｘ軸方向に直交する方向である。

【0026】

Ｙ軸レール２２は、Ｙ軸方向に沿って延在する。Ｙ軸レール２２は、Ｘ軸レール２１のＹ軸方向の移動を案内する。Ｙ軸レール２２は、Ｘ軸方向におけるＸ軸レール２１の両端に設けられている。

【0027】

Ｚ軸レール２３は、Ｚ軸方向に沿って延在する。Ｚ軸方向は、上下方向であり、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する。Ｚ軸レール２３は、移動体２４に固定されている。Ｚ軸レール２３は、アーム部２５のＺ軸方向の移動を案内する。

【0028】

移動体２４は、Ｘ軸レール２１に沿ってＸ軸方向に移動可能に設けられている。移動体２４は、モータ等の駆動源によって移動する。移動体２４には、Ｚ軸レール２３が固定されている。これにより、移動体２４が移動することにより、Ｚ軸レール２３もＸ軸方向に沿って移動する。

【0029】

アーム部２５は、Ｚ軸レール２３によってＺ軸方向に移動可能に設けられている。アーム部２５は、Ｚ軸方向に移動可能にＺ軸レール２３に固定されている。また、アーム部２５は、試料Ｓの分析面Ｓａに垂直な回転軸まわりに回転可能に設けられている。アーム部２５は、回転駆動部２７によって回転する。

【0030】

把持部２６は、アーム部２５の先端（図１中下端）に設けられている。把持部２６は、試料Ｓを把持可能に設けられている。把持部２６は、試料Ｓを把持し、待機位置と測定位置との間で試料Ｓを移動させる。

【0031】

把持部２６は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動可能に設けられている。把持部２６は、移動体２４がＸ軸方向に沿って移動することにより、移動体２４とともにＸ軸方向に沿って移動する。把持部２６は、Ｘ軸レール２１がＹ軸方向に沿って移動することにより、Ｘ軸レール２１とともにＹ軸方向に沿って移動する。把持部２６は、アーム部２５がＺ軸方向に沿って移動することにより、アーム部２５とともにＺ軸方向に沿って移動する。

【0032】

把持部２６は、試料Ｓの分析面Ｓａに垂直な回転軸まわりに回転可能に設けられている。具体的には、上記のようにアーム部２５が回転することにより、アーム部２５と一体となって把持部２６が回転する。なお、上記回転軸方向は、Ｚ軸方向および後述する第１部分５１１の筒軸Ｃ方向と一致する。

【0033】

Ｘ線照射部３０は、測定位置に配置された試料Ｓに向けて１次Ｘ線を照射する。Ｘ線照射部３０は、たとえばＸ線管である。Ｘ線管の内部には陽極であるターゲットと陰極であるフィラメントとが配置されている。ターゲットとフィラメントとの間に高電圧を印加することにより、フィラメントから放射された熱電子をターゲットに衝突させる。これにより、ターゲットで発生した１次Ｘ線が出射される。

【0034】

検出器４０は、１次Ｘ線を照射された試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線を検出する。検出器４０は、蛍光Ｘ線が導入される導入窓が設けられた筐体と、筐体内部に収容された検出素子（半導体素子）によって構成されている。検出器４０は、検出した蛍光Ｘ線のエネルギーに比例した信号を制御部６０に出力する。

【0035】

分析チャンバ５０は、試料室５１、照射室５２、および試料ステージ５３によって構成される。

【0036】

試料ステージ５３は、測定位置に試料を載置させるためのステージである。試料ステージ５３は、板状形状を有し、試料室５１と照射室５２とを仕切るように設けられている。試料ステージ５３は、Ｘ線照射部３０および検出器４０側を向く第１主面５３ａと、当該第１主面５３ａと反対側に位置し、試料Ｓが載置される第２主面５３ｂとを有する。

【0037】

試料室５１は、分離可能に構成された第１部分５１１および第２部分５１２を有し、測定位置に試料Ｓが配置された状態で、試料Ｓおよび把持部２６を内部に収容する。試料室５１は、減圧可能に設けられている。また、試料室５１は、所望のガスを導入可能に設けられている。

【0038】

第１部分５１１は、測定位置の周辺に設けられている。第１部分５１１は、たとえば、上記第２主面５３ｂの法線方向に平行な筒軸Ｃを有する筒状部材である。第１部分５１１は、筒軸Ｃ方向の一端側が試料ステージ５３に閉塞されるように第２主面５３ｂ上に設けられている。第１部分５１１は、鉄板およびＳＵＳ等のＸ線を遮蔽可能な部材によって構成されている。

【0039】

筒軸Ｃ方向の第１部分５１１の他端（上端）には、溝部が設けられており、当該溝部内にシール部材５１３が配置されている。シール部材５１３は、試料室５１内を気密に維持するための部材である。シール部材５１３は、たとえば、弾性を有するゴム部材によって構成されている。

【0040】

第２部分５１２は、搬送部２０に設けられている。具体的には、第２部分５１２は、アーム部２５に設けられている。第２部分５１２は、第１部分５１１に当接可能に設けられている。第２部分５１２は、測定位置に試料Ｓが配置された状態で第１部分５１１に当接する。これにより、試料室５１が形成された状態となる。

【0041】

第２部分５１２は、上記筒軸Ｃ方向における第１部分５１１の他端側から第１部分５１１に対向可能に設けられている。第２部分５１２は、筒軸Ｃ方向における第１部分５１１の他端側を閉塞可能に設けられた蓋部材である。第２部分５１２は、測定位置に試料Ｓが配置された状態で第１部分５１１の他端側を閉塞する。第２部分５１２は、鉄板およびＳＵＳ等のＸ線を遮蔽可能な部材によって構成されている。

【0042】

照射室５２には、Ｘ線照射部３０および検出器４０が設けられている。照射室５２は、減圧可能に設けられている。また、照射室５２は、所望のガスを導入可能に設けられている。

【0043】

制御部６０は、搬送部２０の動作、Ｘ線照射部３０および検出器４０の動作等のＸ線分析装置１の動作を制御する。

【0044】

（搬送部の搬送動作およびＸ線分析）
待機位置に位置する試料Ｓを測定位置に移動させる場合には、まず、待機位置に位置する試料Ｓの上方に把持部２６を移動させる。具体的には、試料Ｓの上方に把持部２６が位置するように、移動体２４、Ｘ軸レール２１およびアーム部２５をそれぞれ、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動させる。

【0045】

続いて、試料Ｓに近づけるように把持部２６を移動させる。具体的には、Ｚ軸レール２３に沿ってアーム部２５を試料Ｓ側に移動させる。試料Ｓに把持部２６を当接させて、試料Ｓを把持する。

【0046】

次に、試料Ｓを把持した状態で測定位置の上方に把持部２６を移動させる。具体的には、測定位置の上方に把持部２６が位置するように、移動体２４、Ｘ軸レール２１およびアーム部２５をそれぞれ、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動させる。これにより、アーム部２５に設けられた第２部分５１２が、第１部分５１１の上方に位置することとなり、第２部分５１２が、第１部分５１１の他端側（上端側）から第１部分５１１に対向する。

【0047】

続いて、試料ステージ５３の第２主面５３ｂの法線方向に沿って把持部２６を第２主面５３ｂに近づけるように移動させる。なお、上記法線方向は、Ｚ軸方向に一致する。把持部２６で把持された試料Ｓが測定位置に到達するまで、把持部２６を第２主面５３ｂに近づける。具他的には、試料Ｓが測定位置に到達するように、アーム部２５をＺ軸方向に沿って移動させる。この場合には、試料Ｓは、第２主面５３ｂ上に載置されることが好ましい。

【0048】

試料Ｓが測定位置に配置された状態においては、第２部分５１２が第１部分５１１の他端側を閉塞する。これにより、試料室５１が形成された状態となる。この状態においては、試料室５１の内部に把持部２６および試料Ｓが収容される。

【0049】

試料Ｓが測定位置に配置されることにより、Ｘ線分析が可能となる。分析を行なう場合には、Ｘ線照射部３０から１次Ｘ線を測定位置に配置された試料Ｓに照射し、試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線を検出器４０にて検出する。

【0050】

１次Ｘ線を試料Ｓに照射する際には、把持部２６および試料Ｓが第１部分５１１および第２部分５１２によって覆われている。これにより、分析時に試料Ｓを透過したＸ線の一部が第１部分５１１および第２部分５１２によって遮蔽される。これにより、Ｘ線が試料室５１の外部に漏れ出ることを抑制することができる。

【0051】

また、１次Ｘ線を試料Ｓに照射する際には、把持部２６が測定位置にて試料Ｓを把持した状態を維持していてもよい。この場合には、測定時に測定位置で試料Ｓを把持部２６から取り外すことを省略することができる。これに伴い、測定位置で取り外された試料Ｓを再度把持部２６で把持したりすることも省略することができる。この結果、試料Ｓを移動させるための時間を短縮することができる。

【0052】

なお、測定位置において把持部２６による試料Ｓの把持を解除してもよい。この場合には、測定時に搬送部２０側から振動が試料Ｓに伝達されることを防止することができる。

【0053】

さらに、１次Ｘ線を試料Ｓに照射する際には、試料Ｓを把持した状態で、試料Ｓの分析面Ｓａに垂直な回転軸まわりに把持部２６を回転させてもよい。この場合には、測定位置にて試料Ｓを回転させることができるため、周方向に試料Ｓを分析することができる。また、モータ等の駆動源でアーム部２５を回転させるため、回転機構も簡素化することができる。

【0054】

分析が終了すると、測定位置から待機位置に試料Ｓを移動させる。具体的には、測定位置に配置された試料Ｓを把持した状態で把持部２６を試料ステージ５３の第２主面５３ｂから遠ざかるように、第２主面５３ｂの法線方向に沿って移動させる。具体的には、第２主面５３ｂから遠ざかるように、アーム部２５をＺ軸方向に移動させる。

【0055】

続いて、試料Ｓが待機位置に位置するように、移動体２４、およびＸ軸レール２１およびアーム部２５をそれぞれ、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動させる。待機位置にて把持部２６による試料Ｓの把持を解除する。次に、把持部２６を所定の位置に移動させる。

【0056】

上記のような搬送動作を繰り返し行うことにより、複数の試料Ｓを分析することができる。

【0057】

（その他の変形例）
上述の実施の形態においては、試料ステージ５３を設け、分析時に試料ステージ５３に試料Ｓを載置する場合を例示して説明したが、これに限定されない。把持部２６が試料Ｓを測定位置で把持した状態を維持でき、この状態で１次Ｘ線を試料Ｓに照射できる限り、試料ステージ５３を省略してもよい。試料ステージ５３に試料を載置してＸ線分析を行なう場合には、試料Ｓを精度よく測定することができる。

【0058】

上述の実施の形態においては、試料室５１を構成する第１部分５１１が筒状部材であり、第２部分５１２が筒状部材の他端側を閉塞可能に設けられた蓋部材である場合を例示して説明したが、これに限定されない。第２部分５１２をＸＹＺ軸方向の少なくともいずれかに沿って移動させて第１部分５１１に当接させた状態において試料室５１が形成される限り、第１部分５１１および第２部分５１２の形状は、適宜選択することができる。

【0059】

なお、上記のように、第１部分５１１を、一端側が試料ステージ５３によって閉塞された筒状部材とし、第２部分５１２を、第１部分５１１の他端側を閉塞可能に設けられた蓋部材とすることにより、試料室５１の構成を簡素化することができる。さらに、試料ステージ５３の第２主面５３ｂの法線方向に把持部２６を移動させることにより試料室５１を形成することができるため、試料室５１を形成するための搬送部２０の動作をシンプルにすることができる。

【0060】

以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

【符号の説明】

【0061】

１ Ｘ線分析装置、２ 筐体、１０ 試料支持部、２０ 搬送部、２１ Ｘ軸レール、２２ Ｙ軸レール、２３ Ｚ軸レール、２４ 移動体、２５ アーム部、２６ 把持部、２７ 回転駆動部、３０ Ｘ線照射部、４０ 検出器、５０ 分析チャンバ、５１ 試料室、５２ 照射室、５３ 試料ステージ、５３ａ 第１主面、５３ｂ 第２主面、６０ 制御部、５１１ 第１部分、５１２ 第２部分、５１３ シール部材、Ｃ 筒軸、Ｓ 試料、Ｓａ 分析面。

【図1】

【図2】