特許7136453六方晶窒化ホウ素薄膜とその製造方法

発明の名称　六方晶窒化ホウ素薄膜とその製造方法

出願人　独立行政法人科学技術振興機構　（識別番号 503360115）

　　　　特許公開件数ランキング 12122 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 672 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7136453

公報発行日　2022年9月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7136453

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