特許7140164貴金属スパッタリングターゲット

発明の名称　貴金属スパッタリングターゲット

出願人　松田産業株式会社　（識別番号 596133201）

　　　　特許公開件数ランキング 5080 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4182 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7140164

公報発行日　2022年9月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7140164

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