特許 7140930 基板検査装置及び基板検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-12

(45)【発行日】2022-09-21

(54)【発明の名称】基板検査装置及び基板検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20220913BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20220913BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 B

H05K3/00 Q

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2022034459

(22)【出願日】2022-03-07

【審査請求日】2022-08-23

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100111095

【弁理士】

【氏名又は名称】川口 光男

(72)【発明者】

【氏名】菊池 和義

(72)【発明者】

【氏名】小畑 卓也

【審査官】井上 徹

(56)【参考文献】

【文献】特開平６－３３４３１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１８２０７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－８０１４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１３９４５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－２０４４８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１６２２７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／００３９５２４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－８６０３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－７０７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／０２５４０３（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／８４－２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００－１１／３０

Ｇ０６Ｔ １／００、７／００

Ｈ０５Ｋ ３／００、３／３０－３／３４、１３／００－１３／０８

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＩＥＥＥ Ｘｐｌｏｒｅ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に塗布された接着剤を検査可能な基板検査装置であって、
前記基板における少なくとも前記接着剤が塗布された領域を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段によって得られた撮像画像における前記接着剤の中央部領域を特定する中央部特定手段と、
前記中央部特定手段による前記中央部領域の特定手法とは異なる特定手法により、前記撮像画像における、前記中央部領域の周囲に位置する前記接着剤のすそ野部領域を特定するすそ野部特定手段と、
前記中央部特定手段により特定された前記中央部領域と、前記すそ野部特定手段により特定された前記すそ野部領域とに基づき、前記接着剤の全体領域を特定する全体特定手段と、
前記全体特定手段により特定された前記全体領域に基づいて、前記接着剤に関する良否判定を行う判定手段とを備え、
前記基板は、緑色のレジスト領域を有し、
前記接着剤は、赤色であるとともに、前記レジスト領域上に塗布されたものであり、
前記すそ野部特定手段は、前記すそ野部領域の特定にあたって、前記撮像画像に基づく彩度画像のうちの所定の彩度閾値よりも低彩度の領域を抽出するように構成されていることを特徴とする基板検査装置。

【請求項2】

前記中央部特定手段は、前記中央部領域の特定にあたって、前記撮像画像に基づく色相画像のうちの赤色の領域、又は、前記撮像画像に基づく赤色輝度画像のうちの所定の輝度閾値よりも高輝度の領域を抽出するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。

【請求項3】

前記中央部特定手段、前記すそ野部特定手段及び前記全体特定手段のうちの少なくとも１つは、最終的に特定する領域の中から、前記基板に設けられたシルクに係る領域を除外する処理を実行可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査装置。

【請求項4】

基板に塗布された接着剤を検査するための基板検査方法であって、
前記基板における少なくとも前記接着剤が塗布された領域を撮像可能な撮像工程と、
前記撮像工程によって得られた撮像画像における前記接着剤の中央部領域を特定する中央部特定工程と、
前記中央部特定工程による前記中央部領域の特定手法とは異なる特定手法により、前記撮像画像における、前記中央部領域の周囲に位置する前記接着剤のすそ野部領域を特定するすそ野部特定工程と、
前記中央部特定工程により特定された前記中央部領域と、前記すそ野部特定工程により特定された前記すそ野部領域とに基づき、前記接着剤の全体領域を特定する全体特定工程と、
前記全体特定工程により特定された前記全体領域を用いて、前記接着剤に関する良否判定を行う判定工程とを含み、
前記基板は、緑色のレジスト領域を有し、
前記接着剤は、赤色であるとともに、前記レジスト領域上に塗布されたものであり、
前記すそ野部特定工程は、前記すそ野部領域の特定にあたって、前記撮像画像に基づく彩度画像のうちの所定の彩度閾値よりも低彩度の領域を抽出するように構成されていることを特徴とする基板検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プリント基板等に代表される基板に関する検査を行うための基板検査装置、及び、基板検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、プリント基板上に電子部品を実装する場合、まずプリント基板上に配設された電極パターン上にクリーム半田が印刷される。次いで、クリーム半田が印刷されたプリント基板に対し、クリーム半田の粘性に基づいて電子部品が仮止めされる。また、電子部品が実装されたプリント基板を所定のリフロー炉に通す際などにおいて、電子部品が脱落してしまうことなどを防止すべく、プリント基板上に接着剤（例えば熱硬化性接着剤）を塗布することがある。そして、電子部品の実装後、プリント基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることで半田付けが行われる。

【0003】

ところで、リフロー工程の前段階においては、接着剤の塗布状態に関する検査が行われることがある。接着剤の塗布状態に関する検査の手法としては、例えば、プリント基板を撮像して得た画像データから接着剤の占める領域（実接着剤領域）を特定（抽出）した上で、特定した実接着剤領域とクリーム半田等との位置関係に基づいて検査を行う方法が知られている（例えば、特許文献１等参照）。尚、画像データとしては、輝度データなどが挙げられている。

【0004】

また、接着剤の占める領域を特定（抽出）する手法としては、カラー画像を用いる手法が知られている（例えば、特許文献２等参照）。この手法では、カラー画像信号と予め設定された接着剤の色分布とが比較され、カラー画像のうち前記色分布内の色を有する部分が接着剤の占める領域として特定される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第６２６２３７８号公報

【文献】特開平６－３４７４１９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、接着剤は、通常半透明であるところ、接着剤の全域における塗布厚さが十分に大きなものであれば、上記特許文献２のように色を利用して接着剤の占める領域を正確に特定可能ではある。

【0007】

しかしながら、実際の接着剤の塗布厚さは、全域で一定ということはなく、外縁側部分（すそ野部分）で比較的小さなものとなっている。そして、このような塗布厚さが比較的小さな部分は、接着剤の下に位置する部分の影響を受けて、塗布厚さが十分に大きな部分と異なる色を呈することがある。そのため、単に色を用いた手法では、接着剤の占める領域のうち塗布厚さが十分に大きな領域だけしか特定することができず、接着剤の占める領域を正確に特定することができないおそれがある。

【0008】

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、接着剤の占める領域をより正確に特定することができる基板検査装置などを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

以下、上記目的を解決するのに適した各手段につき、項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果を付記する。

【0010】

手段１．基板に塗布された接着剤を検査可能な基板検査装置であって、
前記基板における少なくとも前記接着剤が塗布された領域を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段によって得られた撮像画像における前記接着剤の中央部領域を特定する中央部特定手段と、
前記中央部特定手段による前記中央部領域の特定手法とは異なる特定手法により、前記撮像画像における、前記中央部領域の周囲に位置する前記接着剤のすそ野部領域を特定するすそ野部特定手段と、
前記中央部特定手段により特定された前記中央部領域と、前記すそ野部特定手段により特定された前記すそ野部領域とに基づき、前記接着剤の全体領域を特定する全体特定手段と、
前記全体特定手段により特定された前記全体領域に基づいて、前記接着剤に関する良否判定を行う判定手段とを備え、
前記基板は、緑色のレジスト領域を有し、
前記接着剤は、赤色であるとともに、前記レジスト領域上に塗布されたものであり、
前記すそ野部特定手段は、前記すそ野部領域の特定にあたって、前記撮像画像に基づく彩度画像のうちの所定の彩度閾値よりも低彩度の領域を抽出するように構成されていることを特徴とする基板検査装置。

【0011】

上記手段１によれば、中央部特定手段によって、撮像画像における接着剤の中央部の領域が特定される。また、すそ野部特定手段によって、中央部領域の特定手法とは異なる手法により、中央部領域と比較して通常薄くなる接着剤のすそ野部領域（外縁側の領域）が特定される。そして、全体特定手段によって、それぞれ特定された中央部領域とすそ野部領域とに基づき、最終的に接着剤の全体領域が特定される。このように上記手段１によれば、光学的特性の異なる中央部領域及びすそ野部領域を異なる特定手法によって別々に特定するため、両者を精度よく特定することができ、ひいては接着剤の占める領域をより正確に特定することができる。その結果、接着剤の良否判定（例えば、接着剤の塗布範囲に関する良否判定や、半田等に対する接着剤の相対位置関係についての良否判定）に係る精度をより良好なものとすることができる。
また、緑色のレジスト領域上に赤色の接着剤が塗布されてなる基板において、接着剤における塗布厚さの比較的小さな部分は、下地に当たる緑色のレジスト領域の影響で比較的低い彩度を有するものとなる。この点を利用して、上記手段１によれば、すそ野部領域の特定にあたって、撮像画像に基づく彩度画像から低彩度の領域を抽出する。従って、接着剤のすそ野部領域をより正確にかつより容易に特定することができる。

【0012】

手段２．前記中央部特定手段は、前記中央部領域の特定にあたって、前記撮像画像に基づく色相画像のうちの赤色の領域、又は、前記撮像画像に基づく赤色輝度画像のうちの所定の輝度閾値よりも高輝度の領域を抽出するように構成されていることを特徴とする手段１に記載の基板検査装置。

【0013】

赤色の接着剤は一般に広く用いられるところ、上記手段２によれば、このような赤色の接着剤における中央部領域をより正確にかつより容易に特定することができる。

【0016】

手段３．前記中央部特定手段、前記すそ野部特定手段及び前記全体特定手段のうちの少なくとも１つは、最終的に特定する領域の中から、前記基板に設けられたシルクに係る領域を除外する処理を実行可能に構成されていることを特徴とする手段１又は２に記載の基板検査装置。

【0017】

尚、「最終的に特定する領域」とあるのは、中央部特定手段においては中央部領域であり、すそ野部特定手段においてはすそ野部領域であり、全体特定手段においては全体領域である。

【0018】

上記手段３によれば、シルク（基板に印刷された、文字や記号などの情報を示す印刷部）に係る領域が接着剤に係る領域（中央部領域、すそ野部領域又は全体領域）として誤って特定されることをより確実に防止できる。これにより、接着剤に係る領域をより一層正確に特定することができる。

【0019】

手段４．基板に塗布された接着剤を検査するための基板検査方法であって、
前記基板における少なくとも前記接着剤が塗布された領域を撮像可能な撮像工程と、
前記撮像工程によって得られた撮像画像における前記接着剤の中央部領域を特定する中央部特定工程と、
前記中央部特定工程による前記中央部領域の特定手法とは異なる特定手法により、前記撮像画像における、前記中央部領域の周囲に位置する前記接着剤のすそ野部領域を特定するすそ野部特定工程と、
前記中央部特定工程により特定された前記中央部領域と、前記すそ野部特定工程により特定された前記すそ野部領域とに基づき、前記接着剤の全体領域を特定する全体特定工程と、
前記全体特定工程により特定された前記全体領域を用いて、前記接着剤に関する良否判定を行う判定工程とを含み、
前記基板は、緑色のレジスト領域を有し、
前記接着剤は、赤色であるとともに、前記レジスト領域上に塗布されたものであり、
前記すそ野部特定工程は、前記すそ野部領域の特定にあたって、前記撮像画像に基づく彩度画像のうちの所定の彩度閾値よりも低彩度の領域を抽出するように構成されていることを特徴とする基板検査方法。

【0020】

上記手段４によれば、上記手段１と同様の作用効果が奏される。尚、上記手段４に対し、上記手段２～３に係る技術事項を適用してもよい。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】プリント基板の概略構成を示す部分拡大平面模式図である。

【図2】プリント基板の部分拡大断面模式図である。

【図3】プリント基板の製造ラインの構成を示すブロック図である。

【図4】基板検査装置を模式的に示す概略構成図である。

【図5】基板検査装置の機能構成を示すブロック図である。

【図6】接着剤検査部の機能構成を示すブロック図である。

【図7】ＨＳＶ色空間の色相環を簡易的に示す図である。

【図8】中央部特定工程のフローチャートである。

【図9】色相画像の一例を示す図である。

【図10】中央部抽出画像の一例を示す図である。

【図11】すそ野部特定工程のフローチャートである。

【図12】彩度画像の一例を示す図である。

【図13】反転彩度画像の一例を示す図である。

【図14】二値化反転彩度画像の一例を示す図である。

【図15】二値化反転明度画像の一例を示す図である。

【図16】すそ野部抽出画像の一例を示す図である。

【図17】接着剤抽出画像の一例を示す図である。

【図18】接着剤単体の検査を説明するための平面模式図である。

【図19】半田及び接着剤の位置関係に関する検査を説明するための平面模式図である。

【図20】電極部の配置予定領域及び接着部の位置関係に関する検査を説明するための平面模式図である。

【図21】別の実施形態における中央部特定工程のフローチャートである。

【図22】赤色輝度画像の一例を示す図である。

【図23】二値化赤色輝度画像の一例を示す図である。

【図24】二値化彩度画像の一例を示す図である。

【図25】別の実施形態における中央部抽出画像の一例を示す図である。

【図26】接着剤及びシルク抽出画像の一例を示す図である。

【図27】別の実施形態におけるシルク領域除外工程のフローチャートである。

【図28】明度画像の一例を示す図である。

【図29】二値化明度画像の一例を示す図である。

【図30】シルク画像の一例を示す図である。

【図31】反転シルク画像の一例を示す図である。

【図32】別の実施形態における接着部抽出画像の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。まず、基板としてのプリント基板の構成について説明する。

【0023】

図１，２に示すように、プリント基板１（以下、単に「基板１」という）は、ガラスエポキシ樹脂等からなる平板状のベース基板２に、銅箔からなるランド３や所定の電極パターン（不図示）などが形成されたものである。ランド３上には、半田粒をフラックスで練ってなるクリーム半田４（以下、単に「半田４」という）が印刷されている。

【0024】

半田４上には、チップ等の電子部品５が搭載されている。より詳しくは、電子部品５は電極やリードにより構成された電極部５ａを複数備えており、各電極部５ａがそれぞれ所定の半田４に対し接合されている。

【0025】

加えて、電子部品５は、半田４によって固定された状態となっているが、本実施形態では、固定状態をより強固なものとすべく、接着剤６（図１にて斜線を付した部位）により接着された状態となっている。接着剤６は、熱硬化性を有する絶縁性の接着剤である。接着剤６は、少なくとも硬化前において、赤色を呈するともに半透明であり、かつ、粘性を有する液体である。基板１を平面視したとき、接着剤６は、中央部６ａと該中央部６ａの周囲に位置するすそ野部６ｂとを有する構成となっている。電子部品５の実装前において、通常、中央部６ａにおける塗布厚さは比較的大きなものとなる一方、接着剤６の外縁側に位置するすそ野部６ｂの塗布厚さは比較的小さなものとなる。

【0026】

また、ベース基板２の表面であってランド３を除く部位には、緑色のレジスト領域７（図１にて散点模様を付した領域）が設けられている。レジスト領域７は、絶縁性のレジストからなり、ベース基板２や前記電極パターンをコーティングする。本実施形態では、レジスト領域７上に接着剤６が塗布されている。

【0027】

さらに、レジスト領域７には、文字や記号などの情報が印刷されてなる印刷部であるシルク８が設けられている。シルク８の色は、一般的には白色又は黄色であり、本実施形態では、白色とされている。

【0028】

次に、プリント基板１を製造する製造ライン（製造工程）について説明する。図３に示すように、製造ライン１０には、その上流側（図３上側）から順に、半田印刷機１１、接着剤塗布装置１２、基板検査装置１３、部品実装機１４、リフロー装置１５及びリフロー後検査装置１６が設置されている。基板１は、これら装置に対しこの順序で搬送されるように設定されている。

【0029】

半田印刷機１１は、基板１の所定箇所（例えば、ランド３上）に所定量の半田４を印刷する。より詳しくは、半田印刷機１１は、基板１上のランド３等に対応する位置に複数の孔が形成されたメタルスクリーン（図示せず）を備えており、当該メタルスクリーンを用いて基板１に対し半田４をスクリーン印刷する。

【0030】

接着剤塗布装置１２は、基板１の所定箇所（例えば、電子部品５の配置予定箇所）に所定量の接着剤６を塗布する。接着剤塗布装置１２は、例えば、Ｘ－Ｙ方向に移動可能なノズルヘッド（図示せず）を備えており、該ノズルヘッドから接着剤６を吐出することでレジスト領域７に対し接着剤６を塗布する。

【0031】

基板検査装置１３は、塗布された接着剤６に関する検査を行う。また、基板検査装置１３は、印刷された半田４の状態や基板１における異物の有無に関する検査機能も備えている。基板検査装置１３については後により詳しく説明する。

【0032】

部品実装機１４は、半田４が印刷されたランド３などに電子部品５を搭載する部品実装工程（マウント工程）を行う。これにより、電子部品５の電極部５ａがそれぞれ所定の半田４に対し仮止めされる。

【0033】

リフロー装置１５は、半田４を加熱溶融させるとともに、接着剤６を加熱硬化させるためのものである。リフロー装置１５によるリフロー工程を経た基板１においては、半田４によってランド３と電子部品５の電極部５ａとが接合されるとともに、接着剤６によって電子部品５が強固に固定された状態となる。

【0034】

リフロー後検査装置１６は、リフロー工程において半田接合が適切に行われたか否か等について検査するリフロー後検査工程を行う。例えばリフロー工程後の基板１の画像データ等を用いて電子部品５における位置ずれの有無などを検査する。

【0035】

この他、図示は省略するが、製造ライン１０は、半田印刷機１１と接着剤塗布装置１２との間などの上記各装置間に、基板１を移送するためのコンベア等を備えている。また、基板検査装置１３と部品実装機１４との間やリフロー後検査装置１６の下流側には分岐装置が設けられている。そして、基板検査装置１３やリフロー後検査装置１６にて良品判定された基板１は、そのまま下流側へ案内される一方、検査装置１３，１６にて不良品判定された基板１は分岐装置により不良品貯留部（不図示）へと排出されるようになっている。

【0036】

次に、基板検査装置１３の構成について説明する。図４，５に示すように、基板検査装置１３は、基板１の搬送や位置決め等を行う搬送機構３１と、基板１の検査を行うための検査ユニット３２と、搬送機構３１や検査ユニット３２の駆動制御をはじめ、基板検査装置１３における各種制御や画像処理、演算処理を実行する制御装置３３とを備えている。

【0037】

搬送機構３１は、基板１の搬入出方向に沿って配置された一対の搬送レール３１ａと、各搬送レール３１ａに対し回転可能に配設された無端のコンベアベルト３１ｂとを備えている。また、図示は省略するが、搬送機構３１には、前記コンベアベルト３１ｂを駆動するモータ等の駆動手段と、基板１を所定位置に位置決めするためのチャック機構とが設けられている。搬送機構３１は、制御装置３３（後述する搬送機構制御部３３９）により駆動制御される。

【0038】

上記構成の下、基板検査装置１３へ搬入された基板１は、搬入出方向と直交する幅方向の両側縁部がそれぞれ搬送レール３１ａに挿し込まれるとともに、コンベアベルト３１ｂ上に載置される。続いて、コンベアベルト３１ｂが動作を開始し、基板１が所定の検査位置まで搬送される。基板１が検査位置に達すると、コンベアベルト３１ｂが停止するとともに、前記チャック機構が作動する。このチャック機構の動作により、コンベアベルト３１ｂが押し上げられ、コンベアベルト３１ｂと搬送レール３１ａの上辺部によって基板１の両側縁部が挟持された状態となる。これにより、基板１が検査位置に位置決め固定される。検査が終了すると、チャック機構による固定が解除されるとともに、コンベアベルト３１ｂが動作を開始する。これにより、基板１は、基板検査装置１３から搬出される。勿論、搬送機構３１の構成は、上記形態に限定されるものではなく、他の構成を採用してもよい。

【0039】

検査ユニット３２は、搬送レール３１ａ（基板１の搬送路）の上方に配設されている。検査ユニット３２は、照明装置３２１及びカメラ３２２を備えている。本実施形態では、カメラ３２２が「撮像手段」を構成する。

【0040】

また、検査ユニット３２は、Ｘ軸方向（図４左右方向）の移動を可能とするＸ軸移動機構３２３、及び、Ｙ軸方向（図４前後方向）の移動を可能とするＹ軸移動機構３２４をも備えている。両移動機構３２３，３２４は、制御装置３３（後述する移動機構制御部３３８）により駆動制御される。

【0041】

照明装置３２１は、基板検査装置１３による検査対象となる基板１に対し、所定の光を照射する。より詳しく説明すると、照明装置３２１は、第一リングライト３２１ａ、第二リングライト３２１ｂ及び第三リングライト３２１ｃを備えている（図４参照）。

【0042】

第一リングライト３２１ａは、基板１に対し略水平方向からの光照射を行う。第二リングライト３２１ｂは、第一リングライト３２１ａよりも上方に配置され、基板１に対し斜め上方からの光照射を行う。第三リングライト３２１ｃは、第二リングライト３２１ｂの内側に配置されており、基板１に対しほぼ鉛直上方からの光照射を行う。

【0043】

各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃは、それぞれ基板１に対し白色光を照射する。すなわち、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃは、赤色光、青色光及び緑色光という複数のカラー光を一度に基板１へと照射する。

【0044】

カメラ３２２は、その光軸が上下方向（Ｚ軸方向）に延びるように配置されており、検査対象の基板１における所定の被検査領域を真上から撮像する。尚、基板１の「被検査領域」は、カメラ３２２の撮像視野（撮像範囲）の大きさを１単位として基板１に予め設定された複数のエリアのうちの１つのエリアである。

【0045】

カメラ３２２は、カラーカメラで構成されており、制御装置３３（後述するカメラ制御部３３３）により動作制御される。制御装置３３の動作制御により、カメラ３２２は、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃから基板１に対する光の同時照射が行われている状態で、基板１における少なくとも接着剤６が塗布された領域を含む被検査領域を撮像する。これにより、被検査領域に係るＲＧＢ輝度画像が取得される。このＲＧＢ輝度画像は、多数の画素を有しており、各画素に対応して、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に係る３種類のパラメータ値がそれぞれ設定されている。本実施形態において、これらパラメータ値は０～１の範囲で表現される。カメラ３２２によって基板１における少なくとも接着剤６が塗布された領域を撮像する工程が「撮像工程」に相当する。また、ＲＧＢ輝度画像が「撮像画像」に相当する。

【0046】

カメラ３２２によって取得されたＲＧＢ輝度画像は、制御装置３３（後述のカラー画像取込部３３４）に転送される。制御装置３３は、該ＲＧＢ輝度画像に基づき接着剤６についての検査処理を実行する。

【0047】

制御装置３３は、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、各種プログラムや固定値データ等を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、各種演算処理の実行に際して各種データが一時的に記憶されるＲＡＭ（Random Access Memory）及びこれらの周辺回路等を含んだコンピュータからなる。

【0048】

制御装置３３は、ＣＰＵが各種プログラムに従って動作することで、メイン制御部３３１、照明制御部３３２、カメラ制御部３３３、カラー画像取込部３３４、電極部領域生成部３３５、半田特定部３３６、接着剤検査部３３７、移動機構制御部３３８、搬送機構制御部３３９などの各種機能部として機能する。

【0049】

但し、上記各種機能部は、上記ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどの各種ハードウェアが協働することで実現されるものであり、ハード的又はソフト的に実現される機能を明確に区別する必要はなく、これらの機能の一部又は全てがＩＣなどのハードウェア回路により実現されてもよい。尚、制御装置３３は、半田４の状態や基板１における異物の有無を検査するための機能部を備えているが、本実施形態では、該機能部に関する記載を省略している。

【0050】

さらに、制御装置３３には、キーボードやマウス、タッチパネル等で構成される入力部３４０、液晶ディスプレイ等で構成される、表示画面を備えた表示部３４１、各種データやプログラム、演算結果、検査結果等を記憶可能な記憶部３４２、外部と各種データを送受信可能な通信部３４３などが設けられている。まず、記憶部３４２及び通信部３４３について説明する。

【0051】

記憶部３４２は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）やＳＳＤ（Solid State Drive）等で構成されており、各種情報を記憶する。記憶部３４２は、画像記憶部３４２ａ、検査用情報記憶部３４２ｂ及び検査結果記憶部３４２ｃを備えている。

【0052】

画像記憶部３４２ａは、カメラ３２２により撮像され取得されたＲＧＢ輝度画像を記憶する。また、画像記憶部３４２ａには、それぞれ後述する色相画像や彩度画像などの各種画像も記憶される。画像記憶部３４２ａに記憶された画像は、適宜表示部３４１に表示させることが可能である。

【0053】

検査用情報記憶部３４２ｂは、基板１の検査に用いられる各種情報を記憶する。例えば、検査用情報記憶部３４２ｂには、画像に二値化処理を施したり、良否判定を行ったりする際に用いられる各種閾値や、設計データ及び製造データなどが記憶されている。設計データ及び製造データには、接着剤６の塗布予定位置、理想的な塗布状態における接着剤６のサイズ（例えば、接着剤６の面積、輪郭長、体積等）、電極部５ａの大きさや配置予定領域などの電子部品５に関する各種情報が含まれる。

【0054】

検査結果記憶部３４２ｃは、接着剤検査部３３７による検査結果データを記憶する。また、検査結果記憶部３４２ｃには、半田４の状態や基板１における異物の有無に関する検査結果データや、各種検査結果データを確率統計的に処理した統計データなども記憶される。これらの検査結果データや統計データは、適宜表示部３４１に表示させることが可能となっている。

【0055】

通信部３４３は、例えば有線ＬＡＮ（Local Area Network）や無線ＬＡＮ等の通信規格に準じた通信インターフェースなどを備え、外部と各種データを送受信可能に構成されている。例えば接着剤検査部３３７により行われた検査の結果などが通信部３４３を介して外部に出力されたり、リフロー後検査装置１６により行われた検査の結果が通信部３４３を介して入力されたりする。

【0056】

次に、制御装置３３を構成する上記各種機能部について詳しく説明する。まず、移動機構制御部３３８及び搬送機構制御部３３９について説明し、その後、メイン制御部３３１等について説明する。

【0057】

移動機構制御部３３８は、Ｘ軸移動機構３２３及びＹ軸移動機構３２４を駆動制御する機能部であり、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、検査ユニット３２の位置を制御する。移動機構制御部３３８は、Ｘ軸移動機構３２３及びＹ軸移動機構３２４を駆動制御することにより、検査ユニット３２を、検査位置に位置決め固定された基板１における任意の被検査領域の上方位置へ移動させることができる。そして、基板１に設定された複数の被検査領域に検査ユニット３２が順次移動されつつ、該被検査領域に係る検査が実行されていくことで、基板１全域の検査が実行される。

【0058】

搬送機構制御部３３９は、搬送機構３１を駆動制御する機能部であり、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、基板１の搬送位置を制御する。

【0059】

次いで、メイン制御部３３１等について説明する。メイン制御部３３１は、基板検査装置１３全体の制御を司る機能部であり、照明制御部３３２やカメラ制御部３３３など他の機能部と各種信号を送受信可能に構成されている。

【0060】

照明制御部３３２は、照明装置３２１を駆動制御する機能部である。照明制御部３３２は、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、照明装置３２１から基板１に対する光の照射又は照射停止に関するタイミング制御などを行う。

【0061】

カメラ制御部３３３は、カメラ３２２を駆動制御する機能部である。カメラ制御部３３３は、メイン制御部３３１からの指令信号に基づき、カメラ３２２による基板１の撮像タイミングなどを制御する。

【0062】

カラー画像取込部３３４は、カメラ３２２により撮像され取得されたＲＧＢ輝度画像を取り込むための機能部である。カラー画像取込部３３４によって取り込まれたＲＧＢ輝度画像は、画像記憶部３４２ａに記憶される。

【0063】

電極部領域生成部３３５は、電子部品５の電極部５ａの配置予定領域を示す電極部領域Ａｄｈ（図２０参照）を生成する。本実施形態において、電極部領域生成部３３５は、基本的には、電極部領域Ａｄｈとして、設計データや製造データ上における電極部５ａの配置予定領域を生成する。但し、実際の半田４の占める領域（次述する半田領域Ａｊｈ）が理想的な半田４の占める領域に対しずれている場合、電極部領域生成部３３５は、このずれに合わせて電極部領域Ａｄｈの調節を行う。

【0064】

半田特定部３３６は、カメラ３２２によって得られたＲＧＢ輝度画像に基づき、基板１上における半田４の占める領域（以下、「半田領域Ａｊｈ」という）を特定する。より詳しくは、半田特定部３３６は、前記ＲＧＢ輝度画像に対し予め設定された所定の輝度値を閾値として二値化処理を行うこと等により、半田４の占める平面領域を示す半田領域Ａｊｈを特定する。尚、半田４の塗布予定位置に対応するサーチエリアを設定し、該サーチエリアの面積に対する、該サーチエリア内に位置する半田４の面積の割合に基づき、面積が極端に小さな半田４の平面領域を半田領域Ａｊｈとして扱わないようにしてもよい。

【0065】

接着剤検査部３３７は、基板１に塗布された接着剤６の検査を行う。接着剤検査部３３７は、図６に示すように、中央部特定部３３７ａ、すそ野部特定部３３７ｂ、全体特定部３３７ｃ及び判定部３３７ｄなどの各種機能部を有する。本実施形態では、中央部特定部３３７ａが「中央部特定手段」を構成し、同様に、すそ野部特定部３３７ｂが「すそ野部特定手段」を、全体特定部３３７ｃが「全体特定手段」を、判定部３３７ｄが「判定手段」を、それぞれ構成する。

【0066】

中央部特定部３３７ａは、前記ＲＧＢ輝度画像における、中央部６ａに当たる領域である中央部領域Ａｊｓａ（図１０参照）を特定するための中央部特定工程を行う。

【0067】

中央部特定工程では、図８に示すように、まず、ステップＳ１１において、カメラ３２２によって得られたＲＧＢ輝度画像を用いて、基板１の被検査領域に係る色相画像が取得される。より詳しくは、０°（３６０°）を赤、６０°を黄、１２０°を（厳密な）緑、１８０°をシアン、２４０°を青、３００°をマゼンタとしたＨＳＶ色空間の色相環（図７参照）における各画素の色相Ｈｕｅ（以下、「色相Ｈ」と記載する）が算出され、各画素とその色相Ｈとが関連付けられてなる色相画像が取得される。色相画像は、画像記憶部３４２ａに記憶される。

【0068】

色相Ｈは、以下の数式１，２又は３を用いて算出される。尚、数式１は、ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＢのパラメータ値が最大である場合に用いられる。数式２は、ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＲのパラメータ値が最大である場合に用いられる。数式３は、ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＧのパラメータ値が最大である場合に用いられる。但し、ＲＧＢに係る各パラメータ値の最大値及び最小値が等しい場合、色相Ｈは定義されない。
＜数式１＞ Ｈ＝６０×（Ｇ－Ｒ）／（ＭＡＸ－ＭＩＮ）＋６０
＜数式２＞ Ｈ＝６０×（Ｂ－Ｇ）／（ＭＡＸ－ＭＩＮ）＋１８０
＜数式３＞ Ｈ＝６０×（Ｒ－Ｂ）／（ＭＡＸ－ＭＩＮ）＋３００
尚、数式１～３において、Ｒ，Ｇ，ＢはそれぞれＲＧＢに係る各パラメータ値を示し、ＭＡＸは各パラメータ値のうちの最大値を示し、ＭＩＮは各パラメータ値のうちの最小値を示す。

【0069】

色相画像は、ＲＧＢ輝度画像における各画素の、ＨＳＶ色空間の色相環における色相を示す画像である。図９に色相画像の一例を示す。色相画像には、接着剤６やシルク８などが含まれる。

【0070】

尚、ＲＧＢ輝度画像において、塗布厚さが比較的大きな中央部６ａは赤色となる一方、塗布厚さが比較的小さなすそ野部６ｂは、下地となる緑色のレジスト領域７の影響を受けて黒色に近い色となる。そのため、取得される色相画像において、中央部６ａは比較的暗いものとなり、すそ野部６ｂは比較的明るいものとなる（図９参照）。また、色相画像において、シルク８は比較的明るいものとなる。

【0071】

色相画像の取得後、ステップＳ１２において、前記色相画像から赤色の領域（つまり、中央部６ａを含む領域）を抽出すべく、所定の色相閾値を用いて前記色相画像に二値化処理を施すことにより、中央部抽出画像が取得される。図１０に中央部抽出画像の一例を示す。尚、色相閾値は、色相画像における中央部６ａの色相に基づき設定される。

【0072】

中央部抽出画像は、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像であり、画像記憶部３４２ａに記憶される。本実施形態では、色相画像における赤色の領域に対応する、中央部抽出画像の明部分が中央部領域Ａｊｓａ（図１０参照）として特定される。尚、中央部領域Ａｊｓａの特定にあたって、孤立点を除去するための穴埋め処理などを行ってもよい。また、仮にＲＧＢ輝度画像に接着剤６以外の赤色領域が存在する場合には、設計データや製造データに基づき、該赤色領域が中央部領域Ａｊｓａに含まれないように該赤色領域の除去処理を行ってもよい。

【0073】

すそ野部特定部３３７ｂは、ＲＧＢ輝度画像における、中央部領域Ａｊｓａの周囲に位置し接着剤６のすそ野部６ｂに当たる領域であるすそ野部領域Ａｊｓｂを特定するためのすそ野部特定工程を行う。すそ野部特定工程では、中央部特定部３３７ａによる中央部領域Ａｊｓａの特定手法とは異なる特定手法によって、すそ野部領域Ａｊｓｂの特定が行われる。

【0074】

すそ野部特定工程では、図１１に示すように、まず、ステップＳ２１において、画像記憶部３４２ａに記憶されたＲＧＢ輝度画像を用いて、基板１の被検査領域に係る彩度画像が取得される。より詳しくは、次の数式４を用いてＲＧＢ輝度画像における各画素の彩度Ｓ（ＨＳＶ形式の彩度）が算出され、各画素とその彩度Ｓとが関連付けられてなる彩度画像が取得される。彩度画像は、画像記憶部３４２ａに記憶される。
＜数式４＞ Ｓ＝（１－３×ＭＩＮ／（Ｒ＋Ｇ＋Ｂ））
尚、数式１～３と同様に、数式４において、Ｒ，Ｇ，ＢはそれぞれＲＧＢに係る各パラメータ値を示し、ＭＩＮは各パラメータ値のうちの最小値を示す。また、彩度画像における各画素の彩度Ｓは０～１で表され、画素の彩度Ｓが１に近いほど該画素の色は原色に近いものとなる。尚、数式４に代えて、次の数式４ａから彩度Ｓを求めてもよい。
＜数式４ａ＞ Ｓ＝（ＭＡＸ－ＭＩＮ）／ＭＡＸ
彩度画像は、ＲＧＢ輝度画像における各画素の彩度を示す画像である。図１２に彩度画像の一例を示す。彩度画像には、接着剤６やシルク８などが含まれる。

【0075】

尚、ＲＧＢ輝度画像において、塗布厚さが比較的小さなすそ野部６ｂは、下地となる緑色のレジスト領域７の影響を受けて低彩度となるため、取得される彩度画像において、すそ野部６ｂは比較的暗いものとなる（図１２参照）。また、彩度画像において、シルク８も比較的暗いものとなる。一方、彩度画像において、中央部６ａやレジスト領域７は、明るいものとなる。

【0076】

次いで、ステップＳ２２において、前記彩度画像から比較的低彩度の領域（つまり、すそ野部６ｂを含む領域）を抽出すべく、まず、前記彩度画像を反転させた反転彩度画像が取得される。図１３に反転彩度画像の一例を示す。反転彩度画像において、すそ野部６ｂやシルク８は比較的明るいものとなる。

【0077】

ステップＳ２２の後、ステップＳ２３において、所定の彩度閾値を用いて前記反転彩度画像に二値化処理を施すことにより、二値化反転彩度画像が取得される。図１４に二値化反転彩度画像の一例を示す。二値化反転彩度画像は、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像であり、画像記憶部３４２ａに記憶される。二値化反転彩度画像においては、すそ野部６ｂのみならず、シルク８も明部分となる。尚、彩度閾値は、二値化反転彩度画像におけるすそ野部６ｂ及びレジスト領域７の各彩度に基づき設定される。

【0078】

次に、ステップＳ２４において、二値化反転彩度画像からシルク８に係る領域を除外すべく、シルク領域除外工程を行う。シルク領域除外工程では、まず、ステップＳ２４１において、ＲＧＢ輝度画像のうちの特に明度の低い領域を抽出すべく、ＲＧＢ輝度画像に基づく二値化反転明度画像が取得される。二値化反転明度画像を得るにあたっては、まず、次の数式５を用いてＲＧＢ輝度画像における各画素の明度Ｖ（ＨＳＶ形式の明度）が算出され、各画素とその明度Ｖとが関連付けられてなる明度画像が取得される。明度画像は、ＲＧＢ輝度画像における各画素の明度を示す画像である。
＜数式４＞ Ｖ＝ＭＡＸ
尚、数式１～３と同様に、数式５において、ＭＡＸはＲＧＢに係る各パラメータ値のうちの最大値を示す。

【0079】

その上で、前記明度画像に対し反転処理及び二値化処理を行うことにより、二値化反転明度画像が取得される。図１５に二値化反転明度画像の一例を示す。尚、この二値化処理の際には、シルク８に係る領域が除外される（抽出されない）一方、すそ野部６ｂに係る領域が抽出されるような明度閾値が用いられる。尚、シルク８に係る領域をより確実に除外するために、後述するシルク画像（図３０）を取得し、該シルク画像を用いて、二値化反転明度画像からシルク８に係る領域を除外する処理を別途行ってもよい。

【0080】

次いで、ステップＳ２４２において、取得した二値化反転彩度画像及び二値化反転明度画像の論理積をとることで、二値化反転彩度画像からシルク８に係る領域が除外される。これにより、すそ野部抽出画像が取得される。図１６にすそ野部抽出画像の一例を示す。すそ野部抽出画像は、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像であり、画像記憶部３４２ａに記憶される。本実施形態では、すそ野部抽出画像における明部分がすそ野部領域Ａｊｓｂとして特定される。

【0081】

尚、すそ野部領域Ａｊｓｂの特定にあたっては、彩度が比較的低いものとなり得るランド３や前記電極パターンに係る領域を除外する処理を別途行ってもよい。この処理は、例えば、設計データや製造データにおけるランド３等の位置に基づき、該位置に存在する低彩度の領域を二値化反転彩度画像から除外すること等により行うことができる。

【0082】

全体特定部３３７ｃは、中央部特定部３３７ａにより特定された中央部領域Ａｊｓａと、すそ野部特定部３３７ｂにより特定されたすそ野部領域Ａｊｓｂとに基づき、接着剤６の全体領域Ａｊｓ（図１７参照）を特定するための全体特定工程を行う。全体特定工程では、前記中央部抽出画像と前記すそ野部抽出画像との論理和をとることで、接着剤抽出画像が取得される。図１７に接着剤抽出画像の一例を示す。接着剤抽出画像は、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像であり、画像記憶部３４２ａに記憶される。本実施形態では、接着剤抽出画像における明部分が全体領域Ａｊｓとして特定される。

【0083】

尚、接着剤抽出画像の取得にあたって、中央部領域Ａｊｓａとすそ野部領域Ａｊｓｂとの間に孤立点（暗部分）が存在する場合には、該孤立点を埋める穴埋め処理（該孤立点を明部分として扱う処理）を行うようにしてもよい。

【0084】

上記のように、本実施形態では、カメラ３２２によって基板１を撮像する工程（撮像工程）と、中央部特定工程と、すそ野部特定工程と、全体特定工程とを行うことにより、最終的に全体領域Ａｊｓが特定される。そして、基板１の全ての被検査領域を対象として上記各工程が行われることにより、基板１に設けられた全ての接着剤６に係る全体領域Ａｊｓが特定される。

【0085】

判定部３３７ｄは、全体特定部３３７ｃにより特定された全体領域Ａｊｓに基づいて、接着剤６に関する良否を判定するための判定工程を行う。判定工程では、検査用情報記憶部３４２ｂに記憶された設計データ又は製造データに基づき、接着剤６の基準検査範囲を示す接着剤検査窓Ｋｒｓ（図１８参照）が生成される。接着剤検査窓Ｋｒｓは、接着剤６単体のサイズや位置に関する良否判定基準である。接着剤検査窓Ｋｒｓは、データ上における接着剤６の占める平面領域と相似する形状であり、かつ、その中心座標が該平面領域の中心座標と同一の座標となる領域である。また、接着剤検査窓Ｋｒｓは、データ上における接着剤６の占める平面領域よりも一回り大きなサイズに設定される。

【0086】

その上で、接着剤検査窓Ｋｒｓを用いて全体領域Ａｊｓが適正であるか否かが判定される。具体的には、接着剤検査窓Ｋｒｓに対する全体領域Ａｊｓ以外の領域の占める範囲割合が予め設定された所定の閾値を超えるか否かについての判定が行われる。そして、前記範囲割合が前記閾値以下であれば接着剤６単体の塗布状態が「良」と判定され、前記範囲割合が前記閾値よりも大きければ接着剤６単体の塗布状態が「不良」と判定される。

【0087】

さらに、判定工程では、接着剤６及び半田４の位置関係が適正であるか否かの判定が行われる。より詳しくは、半田領域Ａｊｈと全体領域Ａｊｓとの重なり領域の面積が求められるとともに、この重なり領域の面積が予め設定された所定の面積閾値を超えるか否かが判定される（図１９参照）。ここで、重なり領域の面積が前記面積閾値を超えており、接着剤６及び半田４の位置関係が適正でない場合、半田４との位置関係の点で接着剤６の塗布状態が「不良」であると判定される。尚、この場合には、半田４の塗布状態も「不良」であるといえる。一方、重なり領域の面積が前記面積閾値以下であり、接着剤６及び半田４の位置関係が適正である場合、半田４との位置関係の点で接着剤６の塗布状態が「良」であると判定される。

【0088】

加えて、判定工程では、接着剤６及び電極部領域Ａｄｈの位置関係が適正であるか否かの判定も行われる。より詳しくは、全体領域Ａｊｓと電極部領域Ａｄｈの重なり領域の面積が求められるとともに、この重なり領域の面積が予め設定された所定の面積閾値を超えるか否かが判定される（図２０参照）。ここで、重なり領域の面積が前記面積閾値を超えており、接着剤６及び電極部領域Ａｄｈの位置関係が適正でない場合、電極部５ａの配置予定領域との関係で接着剤６の塗布状態が「不良」であると判定される。一方、重なり領域の面積が前記面積閾値以下であり、接着剤６及び電極部領域Ａｄｈの位置関係が適正である場合、電極部５ａの配置予定領域との関係で接着剤６の塗布状態が「良」と判定される。

【0089】

そして、判定工程では、上記各判定の全てにおいて「良」と判定された場合、接着剤６の塗布状態が「良」と判定される。一方、上記各判定工程の少なくとも１つにて「不良」と判定された場合、接着剤６の塗布状態は「不良」と判定される。

【0090】

尚、本実施形態において、上記のような接着剤６に関する良否判定は、基板１上に設けられた全ての接着剤６を対象に行われる。そして、各接着剤６などのいずれかが「不良」と判定された場合、制御装置３３によって基板１は「不良」であると判断される。基板１が「不良」であると判定された場合、前記分岐装置によって該基板１は前記不良品貯留部へと排出される。

【0091】

以上詳述したように、本実施形態によれば、中央部領域Ａｊｓａは色相Ｈを利用して、すそ野部領域Ａｊｓｂは彩度Ｓを利用して、それぞれ特定される。このように光学的特性の異なる中央部領域Ａｊｓａ及びすそ野部領域Ａｊｓｂを異なる特定手法によって別々に特定するため、両者を精度よく特定することができ、ひいては接着剤６の占める領域（全体領域Ａｊｓ）をより正確に特定することができる。その結果、接着剤６の良否判定に係る精度をより良好なものとすることができる。

【0092】

また、中央部特定部３３７ａは、中央部領域Ａｊｓａの特定にあたって、色相画像のうちの赤色の領域を抽出する。従って、一般に広く用いられる赤色の接着剤６における中央部領域Ａｊｓａをより正確にかつより容易に特定することができる。

【0093】

加えて、すそ野部特定部３３７ｂは、すそ野部領域Ａｊｓｂの特定にあたって、彩度画像から低彩度の領域を抽出する。従って、下地に当たる緑色のレジスト領域７の影響で比較的低い彩度となるすそ野部領域Ａｊｓｂ（すそ野部６ｂ）をより正確にかつより容易に特定することができる。

【0094】

さらに、すそ野部特定工程では、シルク８に係る領域を除外する処理が行われるため、シルク８に係る領域が接着剤６に係る領域（すそ野部領域Ａｊｓｂ又は全体領域Ａｊｓ）として誤って特定されることをより確実に防止できる。これにより、接着剤６に係る領域をより一層正確に特定することができる。

【0095】

尚、上記実施形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。勿論、以下において例示しない他の応用例、変更例も当然可能である。

【0096】

（ａ）上記実施形態において、中央部特定部３３７ａは、中央部領域Ａｊｓａの特定にあたって、ＲＧＢ輝度画像に基づく色相画像のうちの赤色の領域を抽出するように構成されている。これに対し、中央部特定部３３７ａは、中央部領域Ａｊｓａの特定にあたって、ＲＧＢ輝度画像に基づく赤色輝度画像のうちの所定の輝度閾値よりも高輝度の領域を抽出するものであってもよい。この場合、中央部特定工程は次のようにして行われる。

【0097】

すなわち、図２１に示すように、まず、ステップＳ３１において、カメラ３２２によって得られたＲＧＢ輝度画像を用いて、基板１の被検査領域に係る赤色輝度画像が取得される。より詳しくは、ＲＧＢ輝度画像において、ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＲのパラメータ値のみを抽出することで、赤色輝度画像が取得される。図２２に赤色輝度画像の一例を示す。赤色輝度画像においては、Ｒのパラメータ値が比較的高い中央部６ａが比較的明るいものとなる。また、赤色輝度画像においては、シルク８も比較的明るいものとなる。

【0098】

その後、ステップＳ３２において、所定の輝度閾値を用いて前記赤色輝度画像に二値化処理を施すことにより、二値化赤色輝度画像が取得される。図２３に二値化赤色輝度画像の一例を示す。二値化赤色輝度画像は、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像である。該画像では、中央部６ａのみならず、シルク８も明部分となる。

【0099】

次に、ステップＳ３３において、二値化赤色輝度画像からシルク８に係る領域を除外すべく、シルク領域除外工程を行う。シルク領域除外工程では、まず、ステップＳ３３１において、ＲＧＢ輝度画像のうちの特に彩度の低い領域を抽出すべく、ＲＧＢ輝度画像に基づき彩度画像（図１２参照）が取得される。彩度画像において、彩度が比較的高い中央部６ａなどは明るいものとなる一方、彩度が比較的低いシルク８は暗いものとなる。

【0100】

次いで、ステップＳ３３２において、所定の彩度閾値を用いて前記彩度画像に二値化処理を施すことにより、二値化彩度画像が取得される。図２４に二値化彩度画像の一例を示す。二値化彩度画像は、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像であり、画像記憶部３４２ａに記憶される。二値化彩度画像においては、中央部６ａが明部分となる一方、シルク８が暗部分となる。

【0101】

次に、ステップＳ３３３において、取得した二値化赤色輝度画像及び二値化彩度度画の論理積をとることで、二値化赤色輝度画像からシルク８に係る領域が除外される。これにより、中央部抽出画像（図２５参照）が取得される。この中央部抽出画像も、上記実施形態における中央部抽出画像と同様に、０（明部分）及び１（暗部分）を備えた白黒画像となる。そして、中央部抽出画像の明部分が中央部領域Ａｊｓａとして特定される。

【0102】

（ｂ）上記実施形態や上記（ａ）では、中央部領域Ａｊｓａやすそ野部領域Ａｊｓｂを特定する際に、シルク８に係る領域を除外する処理を行うこととしている。これに対し、全体領域Ａｊｓを特定する際に、シルク８に係る領域を除外する処理を行うこととしてもよい。

【0103】

この場合、中央部特定工程では、上記（ａ）のように、シルク８に係る領域を除外する処理を行う必要がないから、中央部特定部３３７ａにより、中央部領域Ａｊｓａとシルク８に係る領域とを含み、中央部領域Ａｊｓａを特定可能な二値化赤色輝度画像（図２３）が取得される。また、すそ野部特定部３３７ｂでは、すそ野部領域Ａｊｓｂとシルク８に係る領域とを含み、すそ野部領域Ａｊｓｂを特定可能な二値化反転彩度画像（図１４参照）が取得される。

【0104】

そして、全体特定部３３７ｃでは、中央部特定部３３７ａにより取得された二値化赤色輝度画像と、すそ野部特定部３３７ｂにより取得された二値化反転彩度画像との論理和をとることで、接着剤及びシルク抽出画像が取得される。図２６に接着剤及びシルク抽出画像の一例を示す。この画像には、全体領域Ａｊｓのみならず、シルク８に係る領域が含まれる。全体特定部３３７ｃは、全体領域Ａｊｓのみを特定するために、シルク８に係る領域を除外する処理（シルク領域除外工程）を行う。

【0105】

該シルク領域除外工程では、まず、シルク８に係る領域のみを抽出するための処理が行われる。すなわち、図２７に示すように、まず、ステップＳ４１において、ＲＧＢ輝度画像に基づき反転彩度画像（図１３参照）が取得されるとともに、ステップＳ４２において、二値化反転彩度画像（図１４参照）が取得される。二値化反転彩度画像において、シルク８に係る領域は明部分となる。

【0106】

さらに、ステップＳ４３において、ＲＧＢ輝度画像に基づき明度画像（図２８参照）が取得される。その上で、ステップＳ４４において、ステップＳ４３にて得られた明度画像に対し所定の明度閾値を用いて二値化処理を施すことで、二値化明度画像（図２９参照）が取得される。尚、この明度閾値は、明度画像における中央部６ａ及びシルク８の明度に基づき設定される。二値化明度画像においても、二値化反転彩度画像と同様に、シルク８に係る領域は明部分となる。尚、ステップＳ４１，Ｓ４２の処理に先立って、又は、これら処理と並行して、ステップＳ４３，Ｓ４４の処理を行ってもよい。

【0107】

その後、ステップＳ４５において、ステップＳ４２にて取得された二値化反転彩度画像とステップＳ４４にて取得された二値化明度画像との論理積をとることで、シルク８に係る領域８のみが抽出されたシルク画像（図３０参照）が取得される。尚、シルク画像においては、シルク８に係る領域を膨張させるための処理を行うこととしてもよい。このような処理を行うことで、シルク８に係る領域をより確実に除外することが可能となる。

【0108】

次いで、ステップＳ４６，Ｓ４７において、接着剤及びシルク抽出画像から、シルク８に係る領域が除外されることで、全体領域Ａｊｓのみを含む接着剤抽出画像が取得される。まず、ステップＳ４６において、ステップＳ４５で取得されたシルク画像を反転させることで、反転シルク画像（図３１参照）が取得される。反転シルク画像では、シルク８に係る領域が暗部分となる。そして、ステップＳ４７において、接着剤及びシルク抽出画像と反転シルク画像の論理積をとることで、接着剤及びシルク抽出画像からシルク８に係る領域が除外される。これにより、接着剤抽出画像（図３２）が取得される。全体特定部３３７ｃは、取得した接着剤抽出画像の明部分を全体領域Ａｊｓとして特定する。

【0109】

（ｃ）上記実施形態や上記（ｂ）では、シルク８が白色である場合におけるシルク８に係る領域の除外について説明しているが、シルク８が黄色である場合には、次のようにしてシルク８に係る領域を除外することができる。すなわち、ＲＧＢ輝度画像から色相画像を得るとともに、この色相画像における黄色の領域を特定（抽出）することで、シルク８に係る領域を抽出したシルク画像を得る。その上で、該シルク画像を用いること（例えば、上述の接着剤及びシルク抽出画像と該シルク画像の反転画像との論理積をとること）により、シルク８に係る領域を除外することができる。

【0110】

（ｄ）上記実施形態では、中央部特定部３３７ａ（中央部特定工程）により、色相画像から中央部領域Ａｊｓａを特定するにあたって、シルク８に係る領域を除外する処理は行われていないが、色相画像から中央部領域Ａｊｓａを特定するにあたっても、上記（ａ）や（ｂ）のようなシルク領域除外工程を行うこととしてもよい。

【0111】

（ｅ）上記実施形態において、すそ野部特定部３３７ｂは、すそ野部領域Ａｊｓｂを特定するにあたって、二値化反転彩度画像からボンド８に係る領域を除外する処理を行うように構成されている。

【0112】

これに対し、すそ野部特定部３３７ｂは、二値化反転彩度画像におけるすそ野部６ｂ及びシルク８に係る領域（図１４における明部分）のうち、中央部特定部３３７ａにより特定された中央部領域Ａｊｓａと接する、又は、該中央部領域Ａｊｓａの周囲に位置する領域を、すそ野部領域Ａｊｓｂとして特定（抽出）するものであってもよい。この場合においても、すそ野部領域Ａｊｓｂをより正確にかつより容易に特定することができる。

【0113】

（ｆ）上記実施形態及び上記（ａ）では、色相Ｈ又は赤色の輝度を利用して中央部領域Ａｊｓａを特定するように構成されている。これに対し、明度Ｖ（例えば図２８のような明度画像）を利用して中央部領域Ａｊｓａを特定するように構成してもよい。中央部６ａについては、すそ野部６ｂ及びレジスト領域７に対し、明度Ｖ、色相Ｈ及び赤色の輝度（ＲＧＢに係る各パラメータ値のうちＲのパラメータ値）の点で比較的大きな差が生じやすいためである。

【0114】

また、上記実施形態では、彩度Ｓを利用してすそ野部領域Ａｊｓｂを特定するように構成されているが、色相Ｈ（例えば図９のような色相画像）を利用してすそ野部領域Ａｊｓｂを特定するように構成してもよい。すそ野部６ｂについては、中央部６ａ及びレジスト領域７に対し、彩度Ｓ及び色相Ｈの点で比較的大きな差が生じやすいためである。

【0115】

尚、色相Ｈを利用して中央部領域Ａｊｓａ及びすそ野部領域Ａｊｓｂをそれぞれ特定する場合には、特定対象ごとに異なる色相閾値を用いて、中央部６ａ（中央部領域Ａｊｓａ）又はすそ野部６ｂ（すそ野部領域Ａｊｓｂ）を特定してもよい。従って、中央部領域Ａｊｓａの特定手法とすそ野部領域Ａｊｓｂの特定手法とが異なるというのは、中央部領域Ａｊｓａ又はすそ野部領域Ａｊｓｂを特定するときに用いられる要素（色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｖ及び赤色輝度）がそれぞれ異なっていたり、中央部領域Ａｊｓａ又はすそ野部領域Ａｊｓｂを特定するための閾値が異なっていたりするなど、中央部領域Ａｊｓａ及びすそ野部領域Ａｊｓｂの各光学的特性の差異を踏まえた両領域をそれぞれ特定するための条件が異なることをいう。

【0116】

（ｇ）上記実施形態において、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃは、白色光を照射するように構成されているが、赤色光、青色光又は緑色光（つまり、それぞれ異なる色）を照射するものであってもよい。また、この場合には、カメラ３２２をモノクロカメラにより構成し、各リングライト３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃからの照射が順次行われる都度、該カメラ３２２によるプリント基板１の撮像を行い、計３種類の画像を得るように構成してもよい。そして、この３種類の画像に基づき、色相画像や彩度画像などを取得するようにしてもよい。尚、三種類の画像は、各画素に対応して、Ｒ（赤色）に係るパラメータ値、Ｇ（緑色）に係るパラメータ値、又は、Ｂ（青色）に係るパラメータ値がそれぞれ設定されているものである。従って、これら三種類の画像が「ＲＧＢ輝度画像」に相当するということができる。

【符号の説明】

【0117】

１…プリント基板（基板）、６…接着剤、７…レジスト領域、８…シルク、１３…基板検査装置、３２２…カメラ（撮像手段）、３３７ａ…中央部特定部（中央部特定手段）、３３７ｂ…すそ野部特定部（すそ野部特定手段）、３３７ｃ…全体特定部（全体特定手段）、３３７ｄ…判定部（判定手段）、Ａｊｓ…全体領域、Ａｊｓａ…中央部領域、Ａｊｓｂ…すそ野部領域。

【要約】

【課題】接着剤の占める領域をより正確に特定することができる基板検査装置などを提供する。
【解決手段】基板における少なくとも接着剤が塗布された領域を撮像することで、撮像画像が得られる。そして、撮像画像における接着剤の中央部領域を特定するとともに、中央部領域の特定手法とは異なる特定手法により、撮像画像における、中央部領域の周囲に位置する接着剤のすそ野部領域を特定する。その上で、それぞれ特定された中央部領域とすそ野部領域とに基づき、接着剤の全体領域Ａｊｓを特定する。光学的特性の異なる中央部領域及びすそ野部領域を異なる特定手法によって別々に特定するため、両者が精度よく特定され、ひいては接着剤の占める領域（全体領域Ａｊｓ）がより正確に特定される。その結果、接着剤の良否判定に係る精度がより良好なものとなる。
【選択図】 図１７

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】