ホーム > 特許ランキング > セントラル硝子株式会社 > 特許7140983
特許 7140983出願番号 特願 2019-560815
六フッ化タングステンの製造方法
出願人 セントラル硝子株式会社（識別番号 2200）
2026年 特許公開件数ランキング 1869位 10件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 803位 20件（※）
公報発行日 2022年9月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7140983 ログイン済みの方はこのURLへ
［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。
※ 共同出願を含む
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。 ログインはこちら ログイン・ユーザー登録
技術分野
フッ素含有ガスとタングステンを反応させて六フッ化タングステンを製造する方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、固定層反応容器では不活性固体や不活性ガスで原料を希釈したとしても、局所的に反応するため反応温度４００℃以下で制御する場合、原料のフッ素含有ガスの流量に制限がある。流動層、移動層などのタングステンを物理的に動かしながら反応させる反応形態においても、反応温度４００℃以下で制御する場合、原料のフッ素含有ガスの流量に制限がある。すなわち、４００℃を超える反応温度での製造が難しいため、反応容器あたりの六フッ化タングステンの製造量が小さいという問題点があった。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者らは、鋭意検討した結果、タングステンとフッ素含有ガスを反応温度８００℃以上で反応させることによって、反応容器当たりの六フッ化タングステンの製造量を増加させることを見出し、本発明に至った。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の六フッ化タングステンの製造方法によれば、反応容器内の金属タングステンとフッ素含有ガスを効率良く反応させることが可能となり、反応容器あたりの製造量を増加させることができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の反応装置を示した説明図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１００： 反応装置
０１： 反応容器
０２： 冷媒ジャケット
０３： 光学窓
０４： 非接触式温度計
１１： フッ素含有ガス供給器
１２： タングステン供給器
１３： 希釈ガス供給器
１４： 出口ガス
１５： 冷媒入口
１６： 冷媒出口
２１： タングステン充填層
３１、３２、３３： バルブ
全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録
［広告欄］
ログインすれば広告は減ります
ログインすれば広告は減ります