特許 7141161 流体検知センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-13

(45)【発行日】2022-09-22

(54)【発明の名称】流体検知センサ

(51)【国際特許分類】

   G01P 13/00 20060101AFI20220914BHJP

【ＦＩ】

G01P13/00 C

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022055601

(22)【出願日】2022-03-30

【審査請求日】2022-03-30

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】593049017

【氏名又は名称】セキ工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】弁理士法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】迫田 宏治

(72)【発明者】

【氏名】三浦 誠司

(72)【発明者】

【氏名】小田 直樹

【審査官】岡田 卓弥

(56)【参考文献】

【文献】特開平５－１２６８４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６０－１０２６４９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平６－１６７５０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－９２５０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００９／００２５６２６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｐ１３／００－１３／０４

Ｇ０１Ｆ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体の存在を検知する流体検知センサにおいて、
前記流体が存在し得る流路に連通するシリンダと、
前記シリンダの内部において前記流体からの圧力を受け且つ前記シリンダの内部を往復動可能なピストンと、
前記ピストンにおける前記流路とは反対側である先端側に連結されたロッドと、
前記ピストンを前記流路側である基端側に付勢する弾性部材と、を備え、
前記流路における前記流体の圧力により、前記ピストンが前記先端側に押され且つ前記弾性部材の付勢力に抗して前記先端側に移動することによって、前記ロッドは、前記シリンダにおける前記先端側の開口部から突出する、流体検知センサであって、
前記先端側に臨み且つ前記開口部から突出した前記ロッドが映る鏡面部を備える、流体検知センサ。

【請求項2】

請求項１に記載の流体検知センサであって、
前記鏡面部は、前記シリンダにおける前記先端側の開口縁部に施されている、流体検知センサ。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の流体検知センサであって、
前記鏡面部は、前記基端側に凹んでいる、流体検知センサ。

【請求項4】

流体の存在を検知する流体検知センサにおいて、
前記流体が存在し得る流路に連通するシリンダと、
前記シリンダの内部において前記流体からの圧力を受け且つ前記シリンダの内部を往復動可能なピストンと、
前記ピストンにおける前記流路とは反対側である先端側に連結されたロッドと、
前記ピストンを前記先端側に付勢する弾性部材と、を備え、
前記流路における前記流体の圧力により、前記ピストンが前記流路側である基端側に引かれ且つ前記弾性部材の付勢力に抗して前記基端側に移動することによって、前記ロッドは、前記シリンダにおける前記先端側の開口部から引っ込む、流体検知センサであって、
前記先端側に臨み且つ前記開口部から突出した前記ロッドが映る鏡面部を備える、流体検知センサ。

【請求項5】

請求項４に記載の流体検知センサであって、
前記鏡面部は、前記シリンダにおける前記先端側の開口縁部に施されている、流体検知センサ。

【請求項6】

請求項４又は５に記載の流体検知センサであって、
前記鏡面部は、前記基端側に凹んでいる、流体検知センサ。

【請求項7】

流体の存在を検知する流体検知センサであって、
前記流体が存在し得る流路に連通する収容部と、
前記収容部の内部において前記流体からの圧力を受け且つ液体の溜められた液溜り部と、を備え、
前記流路における前記流体の圧力により、前記液溜り部が前記流路とは反対側である先端側に押されることによって、前記液体が前記液溜り部から噴射される、流体検知センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、流体の存在を検知する流体検知センサに関する。

【背景技術】

【0002】

流路における流体の存在を検知する流体検知センサが知られている。例えば、特許文献１に開示の電磁流量計は、配管の途中に接続されるボディと、ボディの内側に形成されて配管を流れる流体が通過する計測路と、計測路内に磁束を発生させる電磁石と、計測路内に対向配置された一対の検知電極と、を備える。電磁流量計は、計測路内を流体が流れることによって一対の検知電極の間に生じた電位差に基づいて、流体の流量を計測する。電磁流量計は、ボディの内側に取り付けられることで、計測路の断面積を変更可能な計測路変更部材をさらに備える。

【0003】

かかる構成によれば、配管に流れる流量に応じて、電磁流量計のボディに計測路変更部材を適宜着脱することで計測路の断面積が変更され、計測路内の流速を流量計測に適した大きさに近づけることができる。これにより、１台の電磁流量計で、流量が異なる複数種類の配管に対応することが可能になる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００５－３１５６１３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、この種の電磁流量計は、電気系統の設置が不可欠であり、複雑な構成にならざるを得ない。また、流路における流体の流れのＯＮ／ＯＦＦのみを単に検知したい場合や、流路における流体の存在の有無のみを単に検知したい場合には、流量の計測までは必要なく、上記電磁流量計はオーバスペックである。

【0006】

本開示は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構成でもって、流路における流体の存在を検知することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の第１態様に係る流体検知センサは、流体の存在を検知する流体検知センサであって、上記流体が存在し得る流路に連通する収容部と、上記収容部の内部において上記流体からの圧力を受ける受圧部と、を備え、上記流路における上記流体の圧力により、上記受圧部が上記流路とは反対側である先端側に押される。

【0008】

かかる構成によれば、流体が流路に存在するとき、受圧部は、流路における流体の圧力によって、流路とは反対側の先端側に押される。ユーザは、受圧部が押される様子を視認することによって、流体が流路に存在することを検知することができる。

【0009】

また、この流体検知センサでは、収容部の内部において受圧部が流体により押されるだけなので、構成が簡単である。

【0010】

以上、簡単な構成でもって、流路における流体の存在を検知することができる。

【0011】

一実施形態に係る流体検知センサは、流体の存在を検知する流体検知センサであって、上記流体が存在し得る流路に連通する上記収容部としてのシリンダと、上記シリンダの内部を往復動可能な上記受圧部としてのピストンと、上記ピストンにおける上記流路とは反対側である先端側に連結されたロッドと、上記ピストンを上記流路側である基端側に付勢する弾性部材と、を備え、上記流路における上記流体の圧力により、上記ピストンが上記弾性部材の付勢力に抗して上記先端側に移動することによって、上記ロッドは、上記シリンダにおける上記先端側の開口部から突出する。

【0012】

かかる構成によれば、流体が流路に存在するとき、ピストンは、流路における流体の圧力によって、弾性部材の付勢力に抗して流路とは反対側の先端側に押されて、シリンダの内部を先端側に移動する。これにより、ピストンの先端側に連結されたロッドは、シリンダにおける先端側の開口部から突出する。ユーザは、シリンダの開口部からロッドが突出する様子を視認することによって、流体が流路に存在することを検知することができる。

【0013】

また、この流体検知センサでは、機械的作用によってピストン及びロッドがシリンダの内部を往復動するので、上記電磁流量計のように電気系統が必要なく、構成が簡単である。

【0014】

以上、簡単な構成でもって、流路における流体の存在を検知することができる。

【0015】

一実施形態では、上記先端側に臨み且つ上記開口部から突出した上記ロッドが映る鏡面部を備える。

【0016】

ロッドの往復動を先端側から見た場合、ロッドが視線方向の手前側と奥行側との間で移動するだけなので、ロッドの往復動を視認し難い場合がある。そこで、シリンダの開口部から突出したロッドを鏡面部に映すことによって、ユーザは、シリンダの開口部からロッドが突出する様子を、先端側からであっても、鮮明に視認することができる。

【0017】

一実施形態では、上記鏡面部は、上記シリンダにおける上記先端側の開口縁部に施されている。

【0018】

かかる構成によれば、鏡面部を構成するための新たな部材を用意する必要がなく、部品点数を低減することができる。

【0019】

一実施形態では、上記鏡面部は、上記基端側に凹んでいる。

【0020】

かかる構成によれば、シリンダの開口部から突出したロッドが、鏡面部に映りやすくなる。

【0021】

一実施形態に係る流体検知センサは、流体の存在を検知する流体検知センサであって、上記流体が存在し得る流路に連通する上記収容部としてのケーシングと、上記ケーシングの内部に設けられた回動軸回りに、上記流路側である基端側と上記流路とは反対側である先端側との間で回動可能な、上記受圧部としての回動部材と、を備え、上記流路における上記流体の圧力によって、上記回動部材が上記基端側から上記先端側に回動する。

【0022】

かかる構成によれば、流体が流路に存在するとき、回動部材は、流路における流体の圧力によって、回動軸回りに、流路側である基端側から、流路とは反対側である先端側に、回動する。ユーザは、回動部材が回動する様子を視認することによって、流体が流路に存在することを検知することができる。

【0023】

また、この流体検知センサでは、機械的作用によって回動部材がケーシングの内部を回動するので、上記電磁流量計のように電気系統が必要なく、構成が簡単である。

【0024】

以上、簡単な構成でもって、流路における流体の存在を検知することができる。

【0025】

一実施形態では、上記流路における上記流体の圧力により、光源を起動又は停止させるための上記受圧部としての押圧スイッチが上記先端側に押される。

【0026】

かかる構成によれば、流体が流路に存在するとき、押圧スイッチが先端側に押されることによって、光源が起動又は停止する。ユーザは、光源のＯＮ・ＯＦＦを視認することによって、流体が流路に存在することを検知することができる。

【0027】

一実施形態では、上記流路における上記流体の圧力により、液体の溜められた上記受圧部としての液溜り部が上記先端側に押されることによって、上記液体が上記液溜り部から噴射される。

【0028】

かかる構成によれば、流体が流路に存在するとき、液溜り部が先端側に押されることによって、液体が液溜り部から噴射される。ユーザは、液溜り部からの液体の噴射を視認することによって、流体が流路に存在することを検知することができる。

【0029】

本開示の第２態様に係る流体検知センサは、流体の存在を検知する流体検知センサであって、前記流体が存在し得る流路に連通する収容部と、前記収容部の内部において前記流体からの圧力を受ける受圧部と、を備え、前記流路における前記流体の圧力により、前記受圧部が前記流路側である基端側に引かれる。

【0030】

かかる構成によれば、流路における流体の圧力が負圧の場合に、受圧部は、流路における流体の圧力（負圧）によって、流路側の基端側に引かれる。ユーザは、受圧部が引かれる様子を視認することによって、流路における流体の圧力が負圧であることを検知することができる。

【発明の効果】

【0031】

本開示によれば、簡単な構成でもって、流路における流体の存在を検知することができる。

【図面の簡単な説明】

【0032】

【図1】図１は、本開示の第１実施形態に係る流体検知センサを正面図で示す。

【図2】図２は、エアがパイプに流れていない状態における流体検知センサを正面断面図で示す。

【図3】図３は、シリンダの先端側をＩＩＩ矢視における斜視図で示す。

【図4】図４は、エアがパイプに流れている状態における図２相当図である。

【図5】図５は、第１実施形態の変形例に係る流体検知センサをエアシリンダ機構に適用した場合を示す。

【図6】図６は、第２実施形態の図４相当図であって、流体検知センサを示す。

【図7】図７は、第３実施形態の図４相当図であって、流体検知センサを示す。

【図8】図８は、第４実施形態の図４相当図であって、流体検知センサを示す。

【図9】図９は、第５実施形態の図４相当図であって、流体検知センサを示す。

【発明を実施するための形態】

【0033】

以下、本開示の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物あるいはその用途を制限することを意図するものでは全くない。

【0034】

＜第１実施形態＞
（流体検知センサ）
図１は、本開示の第１実施形態に係る流体検知センサ１を、正面図で示す。流体検知センサ１は、流路２における流体Ｗの存在を検知する。具体的には、流体検知センサ１は、流路２における流体Ｗの流れを検知する。

【0035】

流路２は、パイプ（以下、「パイプ２」という場合がある）である。流体Ｗは、エア（以下、「エアＷ」という場合がある）である。エアＷは、パイプ２に存在し得る。具体的には、エアＷは、パイプ２を流れる。流体検知センサ１は、パイプ２の途中に接続されている。詳細は後述するが、ユーザＵは、ロッド４０がシリンダ２０から突出するか否かを視認することによって、エアＷがパイプ２に流れているか否かを検知することができる。

【0036】

図２は、流体検知センサ１を、正面断面図で示す。流体検知センサ１は、ボディ１０と、収容部としてのシリンダ２０と、受圧部としてのピストン３０と、ロッド４０と、弾性部材としてのコイルばね５０と、カバー６０と、備える。カバー６０は、ガラス製である。その他の部材１０，２０，３０,４０，５０は、金属製である。

【0037】

ボディ１０は、パイプ２の途中に接続されている。ボディ１０の内部１１には、空間が形成されている。ボディ１０の内部１１は、パイプ２に連通している。ボディ１０の内部１１には、パイプ２からのエアＷが流れる。エアＷの流れ方向Ｈ（パイプ２の長手方向）におけるボディ１０の両端部には、２つの継手１２が設けられている。ボディ１０とパイプ２とは、２つの継手１２によって、互いに接続される。

【0038】

シリンダ２０は、ボディ１０に接続されている。シリンダ２０は、円筒状である。シリンダ２０の軸方向Ｘは、エアＷの流れ方向Ｈに直交している。シリンダ２０の内部２１には、空間が形成されている。シリンダ２０の内部２１は、ボディ１０の内部１１に連通している。すなわち、シリンダ２０の内部２１は、ボディ１０の内部１１を介して、パイプ２に連通している。

【0039】

ここで、シリンダ２０の軸方向Ｘにおけるパイプ２側（ボディ１０側）を、基端側Ｘ１という。シリンダ２０の軸方向Ｘにおけるパイプ２（ボディ１０）とは反対側を、先端側Ｘ２という。

【0040】

シリンダ２０における先端側Ｘ２の開口部２２は、外部に臨んでいる。シリンダ２０における先端側Ｘ２の開口縁部(ヘッド)２３には、鏡面磨きによって、鏡面部２４が施されている。

【0041】

鏡面部２４は、光を反射するとともに、物体の像が映る。「鏡面磨き」は、シリンダ２０の開口縁部２３の凹凸（表面粗さ）が極力小さくなるように研磨（鏡面仕上げ）したり、鏡面コーティングしたりする等の、公知の種々の方法によって得られる。

【0042】

図３は、シリンダ２０の先端側Ｘ２を、ＩＩＩ矢視における斜視図で示す。図２，３に示すように、鏡面部２４は、先端側Ｘ２に臨む。鏡面部２４は、基端側Ｘ２に凹んでいる。鏡面部２４は、円弧状（半球状、放物面状、椀状）に形成されている。詳細には、鏡面部２４は、シリンダ２０の外周側から内周側に至るに従って、基端側Ｘ２に凹んでいる。

【0043】

ピストン３０は、シリンダ２０の内部２１に、配置されている。ピストン３０は、円盤状である。ピストン３０の外径は、シリンダ２０の内径と略同じである。ピストン３０は、シリンダ２０の内部２１を摺動する。ピストン３０は、シリンダ２０の内部２１を軸方向Ｘに往復動可能である。ピストン３０の受圧面３１は、基端側Ｘ１を向いており、ボディ１０の内部１１に臨んでいる。

【0044】

詳細は後述するが、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）とき、ピストン３０の受圧面３１は、シリンダ２０の内部２１において、パイプ２を流れるエアＷからの圧力Ｐを、受ける（図４参照）。

【0045】

ロッド４０は、ピストン３０における先端側Ｘ２の取付面３２に、連結されている。ロッド４０は、円柱状であって、軸方向Ｘに延びている。ロッド４０の外径は、ピストン３０の外径よりも小さい。ピストン３０の受圧面３１に圧力Ｐが加わらない無負荷状態のとき、ロッド４０の先端部４１は、シリンダ２０の開口部２２よりも基端側Ｘ１に位置する。ピストン３０の取付面３２は、通常、大気圧を受ける。

【0046】

ロッド４０の色とシリンダ２０（特に開口縁部２３）の色とは、補色の関係にあることが好ましい。「補色」とは、互いに混合することで無彩色を生成し得る２色の有彩色の組合せを、意味する。

【0047】

コイルばね５０は、シリンダ２０の内部２１におけるピストン３０よりも先端側Ｘ２に配置されており、ロッド４０の外周部に巻き付けられている。コイルばね５０の基端側Ｘ１の基端部は、ピストン３０の取付面３２に、接着剤等で固定されている。コイルばね５０の先端側Ｘ２の先端部は、シリンダ２０の内壁に、接着剤等で固定されている。コイルばね５０は、その弾性力（付勢力）Ｆによって、ピストン３０を基端側Ｘ１に付勢する（押し付ける）。

【0048】

ガラス製のカバー６０は、半シェル状（ドーム状）である。カバー６０は、シリンダ２０の先端側Ｘ２に取り付けられており、シリンダ２０の開口部２２を先端側Ｘ２から覆っている。カバー６０の開口部６１は、シリンダ２０の開口部２２に臨んでいる。

【0049】

カバー６０の頂点６２は、先端側Ｘ２から、ロッド４０の先端部４１に臨んでいる。カバー６０は、透明又は半透明である。「透明又は半透明」とは、カバー６０を介して一方側から他方側を視認可能な程度の透過率であることを、意味する。

【0050】

流体検知センサ１の動作について、図２，４を参照しながら説明する。図２は、エアＷがパイプ２に流れていない（存在しない）状態を示す。図４は、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）状態を示す。

【0051】

図２に示すように、エアＷがパイプ２に流れていない（存在しない）とき、ピストン３０の受圧面３１に圧力Ｐが加わらないので、ピストン３０は、コイルばね５０の弾性力（付勢力）Ｆによって、基端側Ｘ１に位置付けられる（押し付けられる）。このとき、ロッド４０の先端部４１は、シリンダ２０の開口部２２よりも基端側Ｘ１に位置する。

【0052】

一方、図４に示すように、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）とき、ピストン３０は、パイプ２（詳細にはボディ１０の内部１１）を流れるエアＷの圧力Ｐによって、コイルばね５０の弾性力（付勢力）Ｆに抗して先端側Ｘ２に押されて、シリンダ２０の内部２１を先端側Ｘ２に移動する。これにより、ロッド４０の先端部４１は、シリンダ２０における先端側Ｘ２の開口部２２から先端側Ｘ２に突出する。

【0053】

このとき、ロッド４０の先端部４１は、シリンダ２０の開口縁部２３に施された鏡面部２４よりも、先端側Ｘ２に位置する。これにより、シリンダ２０の開口部２２から先端側Ｘ２に突出したロッド４０の先端部４１は、鏡面部２４に映る。

【0054】

また、シリンダ２０の開口部２２から先端側Ｘ２に突出したロッド４０は、カバー６０によって、先端側及び外周側から覆われる。

【0055】

（作用効果）
以上の通り、本実施形態によれば、ユーザＵは、ピストン３０が押される様子を視認することによって、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）ことを検知することができる。具体的には、ユーザＵは、シリンダ２０の開口部２２からロッド４０の先端部４１が突出する様子を視認することによって、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）ことを検知することができる。

【0056】

また、流体検知センサ１では、シリンダ２０の内部２１においてピストン３０がエアＷにより押されるだけなので、構成が簡単である。具体的には、流体検知センサ１では、機械的作用によってピストン３０及びロッド４０がシリンダ２０の内部２１を往復動するので、電磁流量計のように電気系統が必要なく、構成が簡単である。

【0057】

以上、簡単な構成でもって、パイプ２におけるエアＷの流れ（存在）を検知することができる。流体検知センサ１は、パイプ２におけるエアＷの流れのＯＮ／ＯＦＦのみを単に検知したい場合に、特に有効である。

【0058】

シリンダ２０の開口部２２から突出したロッド４０の先端部４１をカバー６０で覆うことによって、往復動するロッド４０からユーザＵを保護することができる。また、ユーザＵは、ロッド４０の先端部４１を、カバー６０越しに、視認し得る。

【0059】

ここで、ロッド４０の往復動を先端側Ｘ２から見た場合、ロッド４０が視線方向Ｌの手前側と奥行側との間で移動するだけなので、ロッド４０の往復動を視認し難い場合がある。 そこで、シリンダ２０の開口部２２から突出したロッド４０の先端部４１を鏡面部２４に映すことによって、ユーザＵは、シリンダ２０の開口部２２からロッド４０の先端部４１が突出する様子を、先端側Ｘ２からであっても、鮮明に視認することができる。

【0060】

シリンダ２０の開口縁部２３を鏡面磨きすることによって鏡面部２４を形成しているので、鏡面部２４を構成するための新たな部材を用意する必要がなく、部品点数を低減することができる。

【0061】

鏡面部２４が基端側Ｘ１に凹んでいるので、シリンダ２０の開口部２２から突出したロッド４０の先端部４１が、鏡面部２４に映りやすくなる。

【0062】

ロッド４０の色とシリンダ２０の色とが補色の関係にあることによって、ロッド４０の往復動が視認しやすくなる。

【0063】

（第１実施形態の変形例）
鏡面部２４は、シリンダ２０の開口縁部２３を鏡面磨きすることによって形成されるのではなく、別部材（例えば反射ミラーやレンズ）として新たに設けられてもよい。また、鏡面部２４は、必ずしも基端側Ｘ１に凹む必要はなく、例えばフラット面状に形成されてもよい。さらに、流体検知センサ１は、鏡面部２４を備えなくてもよい。

【0064】

弾性部材５０は、コイルばねに限定されず、例えばゴムでもよい。ボディ１０、シリンダ２０、ピストン３０及びロッド４０の材質は、金属に限定されず、例えば樹脂でもよい。特に、可動部材であるピストン３０及びロッド４０を樹脂で形成することによって、これらの重量が小さくなり、シリンダ２０の内部２１を往復動しやすくなる。

【0065】

カバー６０の形状は、半シェル状（ドーム状）に限定されず、例えばフラット状でもよい。カバー６０は、反射面が多数設けられたレンズで構成されてもよい。カバー６０の材質は、ガラスに限定されず、例えば樹脂でもよい。さらに、流体検知センサ１は、カバー６０を備えなくてもよい。

【0066】

エアＷがパイプ２に流れている（存在する）とき、ロッド４０の先端部４１は、元の状態に比較して相対的に、先端側Ｘ２に突出しさえすればよい。

【0067】

流体検知センサ１は、必ずしも、パイプ２の途中に接続されなくてもよい。図５は、第１実施形態の変形例に係る流体検知センサ１をエアシリンダ機構７０に適用した場合を示す。図５に示すように、流体検知センサ１におけるボディ１０の一方の継手１２は、エアシリンダ機構７０の第１エア供給口（第１エア排出口）７１に、接続されている。なお、一方の継手１２の位置は、上記実施形態と異なる。他方の継手１２は、パイプ２に接続されている。

【0068】

流体検知センサ１におけるシリンダ２０の内部２１は、ボディ１０の内部１１及び第１エア供給口（第１エア排出口）７１を介して、エアシリンダ機構７０におけるシリンダ７２の内部７２ａに、連通している。なお、シリンダ７２の内部７２ａには、ピストン７３が配置されている。ピストン７３には、ロッド７４が連結されている。ロッド７４は、シリンダ７２から突出している。

【0069】

シリンダ７２の内部７２ａは、ピストン７３を境に、第１室７５と第２室７６とに、区画されている。第１室７５は、第１エア供給口（第１エア排出口）７１に連通している。第２室７６は、第２エア供給口（第２エア排出口）７７に連通している。ロッド７４は、第２室７６に配置されている。第１室７５にエアＷが供給されると、ロッド７４が進む（図５参照）。第２室７６にエアＷが供給されると、ロッド７４が退く（図示せず）。エアＷは、第１エア供給口（第１エア排出口）７１及び第２エア供給口（第２エア排出口）７７を介して、シリンダ２０に対して供給又は排出される。

【0070】

この構成によれば、エアシリンダ機構７０におけるシリンダ７２の内部７２ａへのエアＷのＯＮ／ＯＦＦを、検知することができる。さらに、エアシリンダ機構７０よりも上流側においてソレノイドバルブや流体操作機器などを同時にチェックすることができるので、エアシーケンス回路を目視することができる。なお、流体検知センサ１を、第２エア供給口（第２エア排出口）７７に接続してもよい。

【0071】

＜第２実施形態＞
第２実施形態に係る流体検知センサ１について、図６を参照しながら説明する。なお、上記実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。

【0072】

流体検知センサ１は、収容部としてのケーシング８０と、受圧部としての回動部材８１と、を備える。ケーシング８０の内部８０ａは、ボディ１０の内部１１を介して、パイプ２に連通している。

【0073】

回動部材８１は、板状である。回動部材８１の厚み方向は、パイプ２側（ボディ１０側）に臨んでいる。回動部材８１は、ケーシング８０の内部８０ａにおいて、パイプ２を流れるエアＷからの圧力Ｐを受ける。回動部材８１におけるエアＷからの受圧方向において、パイプ２側（ボディ１０側）を基端側Ｘ１といい、パイプ２（ボディ１０）とは反対側を先端側Ｘ２という。ケーシング８０は、例えば、円筒状（シリンダ状）である。ケーシング８０の先端側Ｘ２には、カバー６０が取り付けられている。カバー６０は、例えば、ガラス製であって、半シェル状である。

【0074】

ケーシング８０の内部８０ａ、具体的にはケーシング８０の内壁部８０ｂには、回動軸８２が、設けられている。回動軸８２は、例えばヒンジで構成されている。回動軸８２は、上記受圧方向に直交して延びている。回動部材８１の一端部８１ａは、回動軸８２に回動可能に連結されている。回動部材８１の他端部８１ｂは、回動軸８２回りに、基端側Ｘ１と先端側Ｘ２との間で回動可能である。回動部材８１の他端部８１ｂは、重力によって、基端側Ｘ１に付勢されている。

【0075】

エアＷがパイプ２に流れている（存在する）とき、回動部材８１の他端部８１ｂは、パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｐによって、回動軸８２回りに、基端側Ｘ１から先端側Ｘ２に回動する。

【0076】

本実施形態によれば、ユーザＵは、回動部材８１が回動する様子を視認することによって、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）ことを検知することができる。

【0077】

また、この流体検知センサ１では、機械的作用によって回動部材８１がケーシング８０の内部８０ａを回動するので、電磁流量計のように電気系統が必要なく、構成が簡単である。

【0078】

以上、簡単な構成でもって、パイプ２におけるエアＷの流れ（存在）を検知することができる。

【0079】

なお、回動部材８１は、板状に限定されず、例えば棒状でもよい。また、回動部材８１は、一端部８１ａを中心として他端部８１ｂにおいて広がった扇形状（扇柱状）でもよい。ケーシング８０は、円筒状に限定されず、例えば、球状、ドーム状又は多角形状（多角柱状）等でもよい。ケーシング８０は、カバー６０と一体的に形成されてもよい。回動部材８１の他端部８１ｂは、スプリング等の付勢手段によって、基端側Ｘ１に付勢されてもよい。回動部材８１は、中間部材を介して、エアＷからの圧力Ｐを受けてもよい。

【0080】

＜第３実施形態＞
第３実施形態に係る流体検知センサ１について、図７を参照しながら説明する。なお、上記実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。本実施形態では、ケーシング８０の内部８０ａには、ランプ８３が配置されている。詳細には、ランプ８３は、ケーシング８０の内壁部８０ｂに固定されている。ランプ８３は、例えば、公知の電池式ＬＥＤランプである。ランプ８３は、光を発する光源８３ａと、受圧部としての押圧スイッチ８３ｂと、を有する。光源８３ａは、パイプ２（ボディ１０）とは反対側（先端側Ｘ２）に臨んでいる。押圧スイッチ８３ｂは、パイプ２側（ボディ１０側：基端側Ｘ１）に臨んでいる。

【0081】

押圧スイッチ８３ｂは、内部のスプリング（図示せず）の弾性力によって、基端側Ｘ１に付勢されている。押圧スイッチ８３ｂをスプリングの弾性力に抗して先端側Ｘ２に押すと、光源８３ａが起動（ＯＮ）して発光する。一方、押圧スイッチ８３ｂを先端側Ｘ２に押さなければ、光源８３ａが停止（ＯＦＦ）して発光しない。すなわち、押圧スイッチ８３ｂは、光源８３ａを起動させるためにある。

【0082】

エアＷがパイプ２に流れている（存在する）とき、ランプ８３の押圧スイッチ８３ｂは、パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｐによって、先端側Ｘ２に押される。これにより、ランプ８３の光源８３ａは、起動（ＯＮ）する。その他の構成は、第２実施形態と同様である。

【0083】

ユーザＵは、ランプ８３の光源８３ａのＯＮ・ＯＦＦを視認することによって、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）ことを検知することができる。また、電池式のランプ８３を用いることによって、構成が簡単になる。

【0084】

なお、押圧スイッチ８３ｂを先端側Ｘ２に押すときに、光源８３ａが停止（ＯＦＦ）して発光しない一方、押圧スイッチ８３ｂを先端側Ｘ２に押さないときに、光源８３ａが起動（ＯＮ）して発光してもよい。すなわち、押圧スイッチ８３ｂは、光源８３ａを停止させるためにあってもよい。この場合、パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｐによりランプ８３の押圧スイッチ８３ｂが先端側Ｘ２に押されることによって、ランプ８３の光源８３ａが停止（ＯＦＦ）する。

【0085】

押圧スイッチ８３ｂは、重力によって、基端側Ｘ１に付勢されてもよい。押圧スイッチ８３ｂは、中間部材を介して、エアＷからの圧力Ｐを受けてもよい。また、ランプ８３を外部電源に接続して、外部電源からの電気信号を読み取ることによって、パイプ２におけるエアＷの流れを検知してもよい。

【0086】

＜第４実施形態＞
第４実施形態に係る流体検知センサ１について、図８を参照しながら説明する。なお、上記実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。本実施形態では、ケーシング８０の内部８０ａには、受圧部としての液溜り部８４が配置されている。液溜り部８４は、容器（以下、「容器８４」という）で構成されている。容器８４は、略直方体状である。容器８４は、ケーシング８０の内壁部８０ｂに固定されている。容器８４は、例えばビニル製である。容器８４の内部には、液体Ｃが溜められている。

【0087】

容器８４の底壁部８４ａは、パイプ２側（ボディ１０側：基端側Ｘ１）に臨んでいる。容器８４には、内外を連通する開口部８４ｂが設けられている。容器８４の開口部８４ｂは、底壁部８４ａに対向しており、パイプ２（ボディ１０）とは反対側（先端側Ｘ２）に臨んでいる。

【0088】

容器８４の底壁部８４ａを先端側Ｘ２に押すと、容器８４の内部に溜められた液体Ｃは、開口部８４ｂを介して、容器８４の内部から外部へと、先端側Ｘ２に向かって噴射される。

【0089】

エアＷがパイプ２に流れている（存在する）とき、容器８４の底壁部８４ａは、パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｐによって、先端側Ｘ２に押される。これにより、容器８４の内部に溜められた液体Ｃは、開口部８４ｂを介して、容器８４の内部から外部へと、先端側Ｘ２に向かって噴射される。その他の構成は、第２実施形態と同様である。

【0090】

ユーザＵは、容器８４からの液体Ｃの噴射を視認することによって、エアＷがパイプ２に流れている（存在する）ことを検知することができる。また、機械的作用により液体Ｃが容器８４から噴射されるので、構成が簡単になる。

【0091】

容器８４の底壁部８４ａは、中間部材を介して、エアＷからの圧力Ｐを受けてもよい。開口部８４ｂが容器８４の側壁部に設けられて、液体Ｃが横方向（先端側Ｘ２に直交する方向）に噴射されてもよい。容器８４は、例えば、球形状でもよい。

【0092】

＜第５実施形態＞
第５実施形態に係る流体検知センサ１について、図９を参照しながら説明する。なお、上記実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。

【0093】

本実施形態では、流体検知センサ１は、エアＷの存在を検知する。流体検知センサ１は、エアＷが存在し得るパイプ２に連通する収容部としてのシリンダ２０と、シリンダ２０の内部２１においてエアＷからの圧力Ｑ１を受け且つシリンダ２０の内部２１を往復動可能な受圧部としてのピストン３０と、ピストン３０におけるパイプ２とは反対側である先端側Ｘ２に連結されたロッド４０と、ピストン３０をパイプ２とは反対側である先端側Ｘ２に付勢する弾性部材としてのコイルばね９０と、を備える。

【0094】

ここで、ピストン３０におけるパイプ２とは反対側である先端側Ｘ２の取付面３２は、大気圧Ｑ０を受ける。パイプ２にはバキュームポンプ（真空ポンプ）が接続されており、パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｑ１は、負圧（Ｑ１＜Ｑ０）である。そして、パイプ２を流れるエアＷの圧力（負圧）Ｑ１とコイルばね９０の弾性力（付勢力）Ｊとの合計が、ピストン３０の取付面３２が受ける大気圧Ｑ０よりも小さいとする（Ｑ１＋Ｊ＜Ｑ０）。

【0095】

ピストン３０は、パイプ２を流れるエアＷの圧力（負圧）Ｑ１、コイルばね９０の弾性力（付勢力）Ｊ及びピストン３０の取付面３２が受ける大気圧Ｑ０によって、パイプ２側である基端側Ｘ１に引かれる。そして、ピストン３０がコイルばね９０の弾性力Ｊに抗して基端側Ｘ１に移動することによって、ロッド４０の先端部４１は、シリンダ２０における先端側Ｘ２の開口部２２から基端側Ｘ１へ引っ込む。その他の構成は、第１実施形態と同様である。

【0096】

本実施形態によれば、パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｑ１が負圧（Ｑ１＜Ｑ０）の場合に、ピストン３０は、パイプ２を流れるエアＷの圧力（負圧）Ｑ１によって、パイプ２側の基端側Ｘ１に引かれる。ユーザＵは、ピストン３０が基端側Ｘ１に引かれる様子（ロッド４０が基端側Ｘ１に引っ込む様子）を視認することによって、パイプ２におけるエアＷの圧力Ｑ１が負圧（Ｑ１＜Ｑ０）であることを検知することができる。なお、ロッド４０の先端部４１は、元の状態に比較して相対的に、基端側Ｘ１に引っ込みさえすればよい。

【0097】

＜その他の実施形態＞
以上、本開示を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。

【0098】

第２実施形態に係る回動部材８１の他端部８１ｂを、第５実施形態のように、パイプ２におけるエアＷの圧力（負圧）Ｑ１によって基端側Ｘ１に引いてもよい。図示しないが、この場合、流体検知センサ１は、エアＷが存在し得るパイプ２に連通する収容部としてのケーシング８０と、ケーシング８０の内部８０ａにおいてエアＷからの圧力（負圧）Ｑ１を受け且つ（ケーシング８０の内部８０ａに設けられた回動軸８２回りに、パイプ２側である基端側Ｘ１とパイプ２とは反対側である先端側Ｘ２との間で回動可能な）受圧部としての回動部材８１と、を備える。ここで、回動部材８１におけるパイプ２とは反対側である先端側Ｘ２の面は、大気圧Ｑ０を受ける。その他の構成は、第２実施形態と同様である。

【0099】

パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｑ１が負圧（Ｑ１＜Ｑ０）の場合に、回動部材８１の他端部８１ｂは、パイプ２を流れるエアＷの圧力（負圧）Ｑ１によって、パイプ２側の基端側Ｘ１に引かれる。そして、パイプ２を流れるエアＷの圧力Ｑ１が負圧（Ｑ１＜Ｑ０）の場合に、回動部材８１の他端部８１ｂは、パイプ２を流れるエアＷの圧力（負圧）Ｑ１によって、回動軸８２回りに、先端側Ｘ２から基端側Ｘ１に回動する。ユーザＵは、回動部材８１の他端部８１ｂが基端側Ｘ１に引かれる（回動部材８１の他端部８１ｂが先端側Ｘ２から基端側Ｘ１に回動する）様子を視認することによって、パイプ２におけるエアＷの圧力Ｑ１が負圧（Ｑ１＜Ｑ０）であることを検知することができる。

【0100】

流体検知センサ１は、パイプ２におけるエアＷの流れのＯＮ／ＯＦＦではなく、パイプ２におけるエアＷの存在の有無のみを単に検知したい場合にも、有効である。

【0101】

流体Ｗは、エアに限定されず、例えば液体でもよい。また、流路２は、パイプに限定されず、流体Ｗが存在し得るのであれば、チューブやタンク又は圧力容器等、いかなる構成でもよい。

【産業上の利用可能性】

【0102】

本開示は、流体検知センサに適用できるので、極めて有用であり、産業上の利用可能性が高い。

【符号の説明】

【0103】

Ｗ エア（流体）
Ｘ 軸方向
Ｘ１ 基端側
Ｘ２ 先端側
Ｌ 視線方向
Ｆ 弾性力（付勢力）
Ｐ 圧力
Ｑ０ 大気圧
Ｑ１ 圧力（負圧）
Ｕ ユーザ
Ｃ 液体
１ 流体検知センサ
２ パイプ（流路）
１０ ボディ
２０ シリンダ（収容部）
２１ 内部
２２ 開口部
２３ 開口縁部
２４ 鏡面部
３０ ピストン（受圧部）
４０ ロッド
４１ 先端部
５０ コイルばね（弾性部材）
６０ カバー
８０ ケーシング（収容部）
８０ａ 内部
８１ 回動部材（受圧部）
８２ 回動軸
８３ ランプ
８３ａ 光源
８３ｂ 押圧スイッチ
８４ 容器（液溜り部、受圧部）

【要約】

【課題】簡単な構成でもって、流路における流体の存在を検知する。
【解決手段】流体検知センサ１は、エアＷの存在を検知する。流体検知センサ１は、エアＷが存在し得るパイプ２に連通するシリンダ２０と、シリンダ２０の内部２１においてエアＷからの圧力Ｐを受けるピストン３０と、を備える。パイプ２におけるエアＷの圧力Ｐにより、ピストン３０がパイプ２とは反対側である先端側Ｘ２に押される。
【選択図】図４

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】