特許7141167光照射装置、露光装置、および露光方法

発明の名称　光照射装置、露光装置、および露光方法

出願人　フェニックス電機株式会社　（識別番号 510138741）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7141167

公報発行日　2022年9月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7141167

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7141167「光照射装置、露光装置、および露光方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録