特許 7141363 エアシャワー装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-13

(45)【発行日】2022-09-22

(54)【発明の名称】エアシャワー装置

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20220914BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2019079439

(22)【出願日】2019-04-18

(65)【公開番号】P2020176767

(43)【公開日】2020-10-29

【審査請求日】2021-03-22

(73)【特許権者】

【識別番号】502129933

【氏名又は名称】株式会社日立産機システム

(74)【代理人】

【識別番号】110001689

【氏名又は名称】青稜弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】八木 星弥

(72)【発明者】

【氏名】矢田 洋一

(72)【発明者】

【氏名】吉井 泰生

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 朋行

(72)【発明者】

【氏名】松村 健史

【審査官】岩瀬 昌治

(56)【参考文献】

【文献】特開平０３－０５５４４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２９３８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】登録実用新案第３１２４４２７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平１１－３４４２４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０１－２１２８４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２８１３２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２４０２９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－１０１３３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５１－０７０９７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６１－１１５１８３（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ ７／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

歩行通路の側面および天井に設けたエアー吹出ノズルからのエアーを入室者に吹き付けて塵埃を除去するエアシャワー装置であって、
直線状の歩行通路の両側面から、歩行通路方向に位置をずらして交互に、歩行通路に突き出た複数の筐体突出部を設け、当該筐体突出部に入口と出口を結んだ中心線に対して傾斜したエアー吹出ノズルを配置して、入室者の前面および背面にエアーを吹き付け、
前記歩行通路の側面に設けたエアー吹出ノズルおよび前記傾斜したエアー吹出ノズルの高さ位置を、入口から出口に向かって所定間隔ごとに次第に低くなるように配置したことを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項2】

請求項１に記載のエアシャワー装置において、
エアシャワー装置は、複数のエアシャワーユニットを直線状に配置したものであることを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項3】

請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記傾斜したエアー吹出ノズルの、入口と出口を結んだ中心線に対する傾斜角度θは、３０°＜θ＜６０°の範囲であることを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項4】

請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記天井に設けたエアー吹出ノズルから吹き出すエアーの風速を、入口から出口に向かって次第に弱めたことを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項5】

請求項２に記載のエアシャワー装置において、
クリーンルーム入口に面したユニットにエアカーテン装置を設けて、クリーンルームへの塵埃の流入を防ぐことを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項6】

請求項２に記載のエアシャワー装置において、
クリーンルーム入口に面したユニットにエアカーテン装置を設けることなく、空気吸引口から吸引した空気を別のエアシャワーユニットに送風することで前記クリーンルーム入口に面したユニット内を負圧にし、クリーンルームへの塵埃の流入を防ぐことを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項7】

請求項１に記載のエアシャワー装置において、
歩行通路の側面に誘導灯を設けて入室者を誘導することで、入室者を適切な時間エアシャワー装置内に留まらせることを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項8】

請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記筐体突出部を歩行通路の両側から交互に歩行通路に突き出るように設け、ジグザグ状の歩行通路を形成したことを特徴とするエアシャワー装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体、精密機械等の製造や、食品の加工などを行う作業空間の出入口に設置され、作業者に付着した塵埃や花粉などをエアシャワーで除去するエアシャワー装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、エアシャワーを多数配置して連続した歩行通路を形成した「クリーンルーム前室の空気洗浄方式」が記載されている。この特許文献１には、「歩行通路に折れ曲がり路を設け、そのコーナ部はエアシャワーゾーンとして、歩行者の歩行向きを変える姿勢で全身を万遍なく洗浄できるようにすることも可能である。」と記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平２－１０１３３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

前記特許文献１には、歩行通路に折れ曲がり路を設けたクリーンルーム前室の空気洗浄方式が記載されている。しかし、特許文献１記載の空気洗浄方式は、折れ曲がり路により入室者の歩行向きを変化させたとしても、身体の前背面にエアーが吹き付けられる箇所が少なくエアー吹き付け時間が短いため、塵埃を除去しきれない課題がある。また、折れ曲がり路を設けようとすると設置箇所に大きなスペースが必要となり、万が一スペースが無く折れ曲がり路を設けられない場合には、身体の前背面に付着した塵埃が十分に除去されない。加えて、最後過程のエアシャワーから吹き出されるエアーは入室者に吹き付けられた際に乱れた気流となるため、浮遊塵埃が出口エリアのエアカーテンで抑制しきれず、クリーンルームに流入してしまう恐れがある。

【0005】

本発明の目的は、入室者がエアシャワー内を身体の向きを変えずに歩行したとしても、エアーが身体の前背面に吹き付けられ前背面の塵埃を除去することができるエアシャワー装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するための、代表的な本発明の「エアシャワー装置」の一例を挙げるならば、
歩行通路の側面および天井に設けたエアー吹出ノズルからのエアーを入室者に吹き付けて塵埃を除去するエアシャワー装置であって、直線状の歩行通路の両側面から、歩行通路方向に位置をずらして交互に、歩行通路に突き出た複数の筐体突出部を設け、当該筐体突出部に入口と出口を結んだ中心線に対して傾斜したエアー吹出ノズルを配置して、入室者の前面および背面にエアーを吹き付け、前記歩行通路の側面に設けたエアー吹出ノズルおよび前記傾斜したエアー吹出ノズルの高さ位置を、入口から出口に向かって所定間隔ごとに次第に低くなるように配置したことを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、入室者がエアシャワー内を身体の向きを変えずに歩行したとしても、エアーが身体の前背面に吹き付けられ前背面の塵埃を除去することができるエアシャワー装置を提供することができる。

【0008】

上記した以外の課題、構成及び効果は以下の実施形態の説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施例１のエアシャワー装置を示す断面平面図である。

【図2】図１に示すエアシャワー装置の歩行通路側壁の構成形態を示す説明図である。

【図3】図１に示すエアシャワー装置の断面正面図である。

【図4】図１に示すエアシャワー装置の、手前側ユニットを透過した、歩行通路側壁の斜視図である。

【図5】本発明の実施例２のエアシャワー装置を示す断面平面図である。

【図6】本発明の実施例３のエアシャワー装置の歩行通路側壁の構成を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。なお、実施例を説明するための各図において、同一の構成要素にはなるべく同一の名称、符号を付して、その繰り返しの説明を省略する。

【実施例1】

【0011】

図１は本発明の実施例１のエアシャワー装置の断面平面図であり、図２はその歩行通路側壁の構成形態を示す説明図、図３はエアシャワー装置の断面正面図、図４は手前側の筐体を透過した、歩行通路側壁の斜視図である。

【0012】

図において、エアシャワー装置はエアシャワーユニット２を直線状に多数配置して連続した歩行通路を形成している。エアシャワー装置にはエアーを吹き出すための複数のエアー吹出ノズルが設けられており、歩行通路の天井には上面用ノズル１０が側面には側面用ノズル１１が設けられ、上面用ノズル１０および側面用ノズル１１はエアシャワー装置入口５と出口６を結んだ中心線７に対して垂直方向に向けて設けられている。さらに、歩行通路の側面から歩行通路に向けて突出した筐体突出部２０に、入室者１の前面と背面に対してもエアーが吹き付けられるように、中心線７に対して角θ傾斜した方向にエアーを吹き出す前面用ノズル１２と、背面用ノズル１３が設けられている。筐体突出部２０は、直線状の歩行通路の両側面から、歩行通路方向に位置をずらして交互に、歩行通路に突き出すように複数設けられている。前面用ノズル１２および背面用ノズル１３の中心線に対する傾斜角θは、好ましくは３０°＜θ＜６０°であるが、これに限られるものではない。このとき、図２に示すように、側面用ノズル１１、前面用ノズル１２、背面用ノズル１３は、入口５から出口６に向かって所定間隔ごとに次第にノズルの配置高さが低くなるように配置している。また、図２の矢印で示すように、天井に設けた上面用ノズル１０から吹き出すエアーの風速を、入口５から出口６に向かって次第に弱めている。吹き出すエアーの風速を弱めるには、例えばエアーを送るファンの回転数を低下させればよい。

【0013】

エアシャワーユニット２において、２１はエアシャワー室内の空気を吸い込む空気吸込口、２２は空気中の大きなごみを捕集するプレフィルタ、２３は空気中の塵埃を捕集し空気をろ過するメインフィルタ、２５はモータで回転するファンである。また、エアシャワーユニット２の側面の２６は誘導灯である。クリーンルームに面する最終ユニット３には、エアカーテン装置４が設けられており、天井から底面に向かうエアカーテンが形成されている。なお、エアシャワーユニット２やノズルの個数は、図に限定したものではない。

【0014】

入室者１がエアシャワー装置内を入口５から出口６に向かって進行すると、側面用ノズル１１から吹き出されたエアーが入室者１に浴びせられ、入室者１の身体に付着している塵埃が吹き飛ばされ除去される。側面用ノズル１１と同様に、上面用ノズル１０、前面用ノズル１２、背面用ノズル１３から吹き出されたエアーが側面用ノズル１１で除去しきれなかった塵埃類を吹き飛ばし除去する。除去された塵埃はエアシャワー装置内を浮遊するが、エアシャワーユニット２下部の空気吸引口２１に吸い込まれる。吸い込まれた塵埃はモータによって回転させられるファン２５により、プレフィルタ２２、メインフィルタ２３を通して再びノズルより吹き出し、入室者１に浴びせられる。

【0015】

前面用ノズル１２と背面用ノズル１３は、図１に示すように、エアシャワーユニット２の筐体面より歩行通路に突き出た筐体突出部２０に配置されている。これらのノズルは中心線７に対して角θ傾斜して筐体突出部２０に配置されているので、エアシャワー装置内を歩行する入室者１の前面と背面にエアーを吹き付けることができる。これにより、折れ曲がり路を設けたりエアシャワー装置内で入室者１が回転動作を行ったりせずとも、入室者１の前面と背面に付着した塵埃を除去することができる。

【0016】

図２に示すように、側面用ノズル１１、前面用ノズル１２、背面用ノズル１３は入口５から出口６に向かって所定間隔ごとに次第に高さが低くなるように配置している。ノズル位置を変化させても一定時間エアーを吹き付ければ身体に付着した塵埃は除去され、さらに、上面用ノズル１０からのエアーの吹き出しと、エアシャワーユニット２下部の空気吸引口２１での空気の吸い込みにより、除去された塵埃が身体の上部に再び付着する恐れはない。そのため、除塵効率は低下しない。これにより、出口６付近ではエアシャワーユニット２のノズルの位置を低くすることできる。また、天井に設けた上面用ノズル１０から吹き出すエアーの風速を、入口５から出口６に向かって次第に弱めている。このため、入室者１から吹き飛ばされた塵埃の舞い上がる高さを抑えることができる。結果として、最終ユニット３内のエアカーテン装置４からのエアカーテン気流の効果を高めることにつながるので、塵埃のクリーンルームへの流入を防ぐことができる。

【0017】

エアシャワーユニット２内部の側面に誘導灯２６を設け、エアシャワー装置内の歩行距離、清浄度に応じて入口５から出口６に向かって順次点滅させることで、入室者を適切に誘導する。これにより、入室者を適切な時間エアシャワー装置内に留まらせることができ、除塵効果の低下を防ぐことができる。

【実施例2】

【0018】

図５に、本発明の実施例２のエアシャワー装置の断面平面図を示す。
実施例２のエアシャワー装置は、エアシャワーユニット２の筐体面に設けた筐体突出部２０の歩行通路側への突出量を増加させるとともに、筐体突出部２０の数を増やして、ジグザグ状の歩行通路を形成したものである。筐体突出部２０の個数、形状を変化させることで、直進方向にエアシャワーユニット２が多数配置されたエアシャワー装置でも、入室者１がエアシャワー装置内を蛇行しながら歩行できる。これにより、エアシャワー装置内の歩行距離、歩行時間が延長され、突出部が無い場合と比べて長時間エアーを入室者１の前後左右に均等に吹き付けることができるので、除塵効率を向上させることができる。

【実施例3】

【0019】

図６に、本発明の実施例３のエアシャワー装置の歩行通路側壁の構成を示す。
実施例３のエアシャワー装置は、最終ユニット３内にエアカーテン装置を設けないで、空気吸引口２１から吸い込まれた空気を入口方向のエアシャワーユニット２の筐体内を通して送風しノズルから吹き出させる。図の矢印で示すように、最終ユニット３内を負圧にして、クリーンルーム側から空気吸引口２１への気流ができるので、エアカーテン装置を設けなくてもクリーンルームへの塵埃の流入を防ぐことができる。

【符号の説明】

【0020】

１ 入室者
２ エアシャワーユニット
３ 最終ユニット
４ エアカーテン装置
５ 入口
６ 出口
７ 中心線
１０ 上面用ノズル
１１ 側面用ノズル
１２ 前面用ノズル
１３ 背面用ノズル
２０ 筐体突出部
２１ 空気吸引口
２２ プレフィルタ
２３ メインフィルタ
２５ ファン
２６ 誘導灯

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】