発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第１の観点の表面処理された窒化ジルコニウム粉末は、黒色顔料として黒色パターニング膜を形成するときにパターニング膜が十分な遮光性を有する必要があることから、処理後の粉末Ｌ値が１５以下にすることが求められる。そのために、表面処理される前の窒化ジルコニウム粉末の粉末Ｌ値が１５未満の窒化ジルコニウムを用いることが必要である。またＸ線回折プロファイルにおいて、窒化ジルコニウムのピークを有する一方、二酸化ジルコニウムのピーク、低次酸化ジルコニウムのピーク及び低次酸窒化ジルコニウムのピークを有しないため、粉末濃度５０ｐｐｍの分散液透過スペクトルにおいて、３７０ｎｍの光透過率Ｘが少なくとも１８％であり、５５０ｎｍの光透過率Ｙが１２％以下である特徴を有する。またエポキシ樹脂とアミノ基を含むシラン化合物で表面処理されるため、表面処理された窒化ジルコニウム粉末を温度６０℃、湿度９０％の条件で１００時間高温耐湿試験を行ったときに、試験前と試験後の４．９×１０⁶Ｐａの圧力をかけたときの粉末体積抵抗率がそれぞれ１×１０^８Ω／ｃｍ²以上であり、かつ５４０Ｊ／ｃｍ^２のＵＶ光を照射した後の４．９×１０⁶Ｐａの圧力をかけたときの粉末体積抵抗率が１×１０^８Ω／ｃｍ²以上である特徴を有し、耐候性に優れる。特に耐水性の強いエポキシ樹脂成分で表面処理することにより、窒化ジルコニウム粉末の耐湿性が向上し、かつ二酸化ケイ素（シリカ）等、金属酸化物のみで形成された処理膜は、光照射により価電子帯が励起され、導電性が生じやすくなるが、エポキシ樹脂成分との組み合わせにより、導電性が生じにくくなり、ＵＶ光を照射した後の電気的絶縁性を安定に維持することができる。

本発明の第２の観点の表面処理法では、エポキシ樹脂(a)と、所定の構造式のアミノ基を含むシラン化合物(b)と、シリコンアルコキシド又はその縮合物(c)と、有機溶媒とを所定の質量比で混合し、この混合液に所定の窒化ジルコニウム粉末(d)を所定の質量比で分散させ、この分散液から有機溶媒を除去した後、加熱粉砕して窒化ジルコニウム粉末を表面処理するため、この表面処理された窒化ジルコニウム粉末は、耐光性と耐湿性を兼備した耐候性に優れ、黒色顔料として黒色パターニング膜を形成するときにパターニング膜が高い遮光性能を有する。

本発明の第３の観点の表面処理法では、前記シラン化合物(b)が所定のシラン化合物であるため、このシラン化合物がエポキシと反応することで、化学的結合の効果が得られ、この結果、絶縁性が得られる。

本発明の第４の観点の表面処理法では、前記エポキシ樹脂(a)が所定のエポキシ樹脂であるため、このエポキシ樹脂は窒化ジルコニウム粉末とシラン化合物とが均一に混ざり合う効果があり、表面処理された窒化ジルコニウム粉末のＬ値を１５以下であることを保つことができる。

本発明の第５の観点の黒色感光性組成物によれば、黒色顔料として表面処理された窒化ジルコニウム粉末を用いるため、この組成物を用いて黒色パターニング膜を形成すれば、高解像度のパターニング膜を形成することができ、しかも形成したパターニング膜は高い遮光性能を有するようになる。

本発明の第６の観点の黒色パターニング膜の形成方法によれば、高解像度のパターニング膜を形成することができ、しかも形成したパターニング膜は高い遮光性能を有するようになる。