特許 7142695出願番号特願 2020-523459
半導体デバイスおよびその製造方法

出願人ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド（識別番号 500239188）

2026年特許公開件数ランキング 27040位 0件（※）

2026年特許取得件数ランキング 22243位 0件（※）

公報発行日　2022年9月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7142695　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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本半導体基板に関し、より詳しくは、ダイナミックランダムアクセスデバイスの製法

【図1】本開示の実施形態による、デバイス構造を示す。

【図2】図２Ａ～図２Ｄは、本開示の実施形態による、デバイス構造を形成する１つのプロセスの概要を示す。

【図3-1】図３Ａ～図３Ｆは、本開示の実施形態による方法に含まれる例示的な処理を示す。

【図3-2】図３Ｇ～図３Ｌは、本開示の実施形態による方法に含まれる例示的な処理を示す。

【図3-3】図３Ｍ～図３Ｒは、本開示の実施形態による方法に含まれる例示的な処理を示す。

【図3-4】図３Ｓ～図３Ｗは、本開示の実施形態による方法に含まれる例示的な処理を示す。

【図4】図４Ａ、図４Ｂおよび図４Ｃは、本開示の実施形態による製造装置の側面図および上面図をそれぞれ示す。

【図5】本開示の実施形態による例示的なプロセスフローを提示する。

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