特許 7144140 ガス発生材、ガス発生材の製造方法及びマイクロポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-20

(45)【発行日】2022-09-29

(54)【発明の名称】ガス発生材、ガス発生材の製造方法及びマイクロポンプ

(51)【国際特許分類】

   C06D 5/00 20060101AFI20220921BHJP

   C06B 43/00 20060101ALI20220921BHJP

   C06B 23/00 20060101ALI20220921BHJP

   B81B 1/00 20060101ALI20220921BHJP

   G01N 37/00 20060101ALI20220921BHJP

【ＦＩ】

C06D5/00 Z

C06B43/00

C06B23/00

B81B1/00

G01N37/00 101

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2017240175

(22)【出願日】2017-12-15

(65)【公開番号】P2019108231

(43)【公開日】2019-07-04

【審査請求日】2020-09-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000002174

【氏名又は名称】積水化学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001232

【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】高橋 良輔

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼松 辰典

(72)【発明者】

【氏名】今村 一彦

(72)【発明者】

【氏名】石井 亮馬

【審査官】柴田 啓二

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２０５６０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２１４６２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１９５６２４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－２１８４４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１４／０６１３５５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１４－０８０３１０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０６Ｄ ５／００

Ｃ０６Ｂ ２３／００

Ｂ８１Ｂ １／００

Ｇ０１Ｎ ３７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の官能基を有するアジド化合物（Ａ）と、前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基と反応する第２の官能基及び前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基と反応しない第３の官能基を有する架橋剤（Ｂ）とが反応してなる、ガス発生剤と、
前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基と反応する第４の官能基を有する樹脂（Ｃ）と、を含み、
前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基と前記樹脂（Ｃ）の前記第４の官能基との反応速度が、前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基と前記架橋剤（Ｂ）の前記第２の官能基との反応速度より遅く、
前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基が、アジド基であり、
前記架橋剤（Ｂ）の前記第２の官能基が、ビニル基、（メタ）アクリロイル基、ビニルエーテル基、及びアセチル基からなる群から選択される少なくとも１種であり、
前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基が、エポキシ基、アミノ基、カルボキシル基、イソシアネート基、及びオキセタン基からなる群から選択される少なくとも１種であり、
前記樹脂（Ｃ）の前記第４の官能基が、カルボキシル基、エポキシ基、アミノ基、及び水酸基からなる群から選択される少なくとも１種である、ガス発生材。

【請求項2】

前記架橋剤（Ｂ）の前記第２の官能基が、ビニル基及び（メタ）アクリロイル基のうち少なくとも一方である、請求項１に記載のガス発生材。

【請求項3】

前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基が、エポキシ基である、請求項１又は２に記載のガス発生材。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１項に記載のガス発生材の製造方法であって、
前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基と、前記架橋剤（Ｂ）の前記第２の官能基とを反応させて、前記ガス発生剤を得る工程と、
得られた前記ガス発生剤を構成する前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基と、前記樹脂（Ｃ）の前記第４の官能基とを反応させる工程と、
を備える、ガス発生材の製造方法。

【請求項5】

請求項１～３のいずれか１項に記載のガス発生材と、
流体を送液させるマイクロ流路が形成された基材と、
を備え、
前記ガス発生材は、前記ガス発生材において発生したガスが、前記マイクロ流路に供給されるように配置されている、マイクロポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガス発生材、ガス発生材の製造方法、及び上記ガス発生材を用いたマイクロポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、小型であり、かつ携帯性に優れる分析装置として、マイクロ流体デバイスを用いた分析装置が用いられてきている。このマイクロ流体デバイスを用いた分析装置では、マイクロ流路内でサンプルの送液、希釈、濃縮及び分析等を行うことができる。

【0003】

上記マイクロ流体デバイスでは、マイクロ流路内におけるサンプルの送液等のために、マイクロポンプが設けられている。例えば、下記の特許文献１には、光酸発生剤と、酸刺激ガス発生剤とを含む光応答性ガス発生材料を用いたマイクロポンプが開示されている。また、特許文献１では、メタクリル酸メチル・アクリルアミド共重合体（アクリル系粘着剤）等に、光酸発生剤と酸刺激ガス発生剤とを配合した光応答性ガス発生材料も開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１０－８９２５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１のように、粘着剤とガス発生剤とを含むガス発生材を、基材などの接着対象部材に接着した場合には、ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力が低いことがある。

【0006】

また、ガス発生材を基材などの接着対象部材に接着し、ガス発生剤からガスを発生させると、ガス発生材の接着対象部材に対する接着力及びアンカー力が低くなることがある。特に、従来のガス発生剤を含むガス発生材では、ガス発生剤から発生したガスが、ガス発生剤中から過度に放出されやすいことに起因して、ガス発生材の接着対象部材に対する接着力及びアンカー力の低下が大きな問題となりやすい。ガス発生材の接着対象部材に対する接着力及びアンカー力が低下すると、ガス発生材が接着対象部材から剥離しやすくなる。

【0007】

また、ガス発生材は、例えば、ガス発生剤を含む塗液をフィルム状に加工することにより製造されるが、樹脂などを含む粘着剤がさらに塗液に含まれる場合、塗液が増粘し塗工し難く、ハンドリングが悪くなる場合がある。

【0008】

本発明の目的は、取り扱い性に優れ、さらに接着対象部材に接着した後に、ガス発生材の接着対象部材からの剥離が生じ難い、ガス発生材、該ガス発生材の製造方法、及び上記ガス発生材を用いたマイクロポンプを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明に係るガス発生材は、第１の官能基を有するアジド化合物（Ａ）と、前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基と反応する第２の官能基及び前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基と反応しない第３の官能基を有する架橋剤（Ｂ）とが反応してなる、ガス発生剤と、前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基と反応する第４の官能基を有する樹脂（Ｃ）と、を含む。

【0010】

本発明に係るガス発生材のある特定の局面では、前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基が、アジド基である。

【0011】

本発明に係るガス発生材の他の特定の局面では、前記架橋剤（Ｂ）の前記第２の官能基が、ビニル基及び（メタ）アクリロイル基のうち少なくとも一方である。

【0012】

本発明に係るガス発生材のさらに他の特定の局面では、前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基が、エポキシ基である。

【0013】

本発明に係るガス発生材のさらに他の特定の局面では、前記樹脂（Ｃ）の前記第４の官能基が、カルボキシル基、エポキシ基、アミノ基、及び水酸基からなる群から選択される少なくとも１種である。

【0014】

本発明に係るガス発生材の製造方法は、本発明に従って構成されるガス発生材の製造方法であって、前記アジド化合物（Ａ）の前記第１の官能基と、前記架橋剤（Ｂ）の前記第２の官能基とを反応させて、前記ガス発生剤を得る工程と、得られた前記ガス発生剤を構成する前記架橋剤（Ｂ）の前記第３の官能基と、前記樹脂（Ｃ）の前記第４の官能基とを反応させる工程と、を備える。

【0015】

本発明に係るマイクロポンプは、本発明に従って構成されるガス発生材と、流体を送液させるマイクロ流路が形成された基材と、を備え、前記ガス発生材は、前記ガス発生材において発生したガスが、前記マイクロ流路に供給されるように配置されている。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、取扱い性に優れ、さらに接着対象部材に接着した後に、ガス発生材の接着対象部材からの剥離が生じ難い、ガス発生材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、本発明の第１の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。

【図2】図２は、本発明の第２の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。

【図3】図３は、実施例等における接着力の測定方法を説明するための模式図である。

【図4】図４は、実施例等におけるアンカー力の測定方法を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明を詳細に説明する。

【0019】

本発明に係るガス発生材は、アジド化合物（Ａ）及び架橋剤（Ｂ）が反応してなるガス発生剤と、樹脂（Ｃ）とを含む。

【0020】

アジド化合物（Ａ）は、アジド基を有する。また、アジド化合物（Ａ）は、第１の官能基を有する。第１の官能基は、上記アジド基であってもよく、他の官能基であってもよい。すなわち、アジド化合物（Ａ）は、第１の官能基としてアジド基を有していてもよく、アジド基と、他の官能基である第１の官能基とを有していてもよい。

【0021】

架橋剤（Ｂ）は、第２の官能基及び第３の官能基を有する。第２の官能基は、アジド化合物（Ａ）の第１の官能基と反応する官能基である。第３の官能基は、アジド化合物（Ａ）の第１の官能基と反応しない官能基である。

【0022】

また、樹脂（Ｃ）は、第４の官能基を有する。第４の官能基は、架橋剤（Ｂ）の第３の官能基と反応する官能基である。

【0023】

本発明に係るガス発生材は、上述の構成を備えるため、塗液にした際に増粘が生じ難い。そのため、このような塗液をフィルム状に加工する際の塗工性がよく、取り扱い性を高めることができる。

【0024】

また、本発明に係るガス発生材では、上述の構成を備えるため、ガス発生材を接着対象部材に接着したときに、初期接着力及び初期アンカー力を高めることができる。さらに、本発明に係るガス発生材では、上述した構成が備えられているため、ガス発生材を接着対象部材に接着した後に、ガス発生材においてガスが発生しても、接着力及びアンカー力を低下し難くすることができる。このため、使用前及び使用中に、ガス発生材の接着対象部材からの剥離を生じ難くすることができる。

【0025】

以下、本発明のガス発生材が、取り扱い性に優れる理由について説明する。

【0026】

本発明のガス発生材は、例えば、フィルム状に加工する際に、上記ガス発生剤と、樹脂（Ｃ）と、溶剤とを含む、塗液にして用いられる。この際、ガス発生剤におけるアジド化合物（Ａ）と架橋剤（Ｂ）とは、フィルム加工時の塗工前又は塗工中に反応する。一方、樹脂（Ｃ）は、フィルム加工時の塗工後に架橋剤（Ｂ）と反応する。従って、塗液の状態では、架橋剤（Ｂ）と樹脂（Ｃ）とが反応せず、この状態で分子量が過度に高められることがない。従って、本発明のガス発生剤は、塗液にした際に増粘せず、フィルム状に加工する際の塗工性に優れ、取り扱い性に優れている。

【0027】

このように、樹脂（Ｃ）としては、塗液の状態では架橋剤（Ｂ）と反応せず、塗工後に架橋剤（Ｂ）と反応する樹脂（Ｃ）を用いることが好ましい。このような樹脂（Ｃ）しては、架橋剤（Ｂ）との反応速度が遅いものや、別途反応工程を設けることにより架橋剤（Ｂ）と反応する樹脂が挙げられる。

【0028】

なお、塗液にする際の溶剤としては、酢酸エチル、アセトン、メチルエチルケトン等を用いることができる。

【0029】

以下、マイクロポンプを例にとり、本発明のガス発生材の接着対象部材からの剥離を生じ難くすることができる理由を具体的に説明する。

【0030】

ガス発生材中での従来のガス発生剤の配合量を多くすると（例えば５０質量％）、またガス発生剤が常温で液状であって流動性が高すぎると、ガス発生材の接着力及びアンカー力が不足しやすい。このようなガス発生材に光などの外部刺激を与えると、ガス発生剤から発生したガスによって、接着力及びアンカー力が低くなりやすく、保持力が特に低くなりやすい。

【0031】

また、ガス発生材が基材に貼り付けられたマイクロポンプでは、ガス発生材に光などの外部刺激を与えると、発生したガスが、基材に形成されたマイクロ流路から所定の領域に移動することで、ポンプとして機能する。しかし、マイクロポンプでは、マイクロ流路における逆流を防ぐために、逆止弁が設けられており、更に少量のガスが精度よく流れるように、マイクロ流路は、非常に小さい流路径で形成されている。従って、マイクロ流路とガスが押し出す液体の流路との抵抗は大きい。マイクロポンプでは、このような抵抗を受けても、ガス発生材が基材から剥離せずに、ガスによって液体を押し出すことが可能である必要がある。

【0032】

これに対して、本発明者らは、特に上述した樹脂（Ｃ）を含むことで、ガス発生材の基材からの剥離を抑えることができることを見出した。本発明に係るガス発生材の使用により、マイクロポンプにおいて抵抗を受けても、ガス発生材が基材から剥離せずに、ガスによって液体を良好に押し出すことが可能になる。

【0033】

本発明のガス発生材においては、ガス発生剤と樹脂（Ｃ）とを反応させることにより、高分子量化させることができ、接着力及びアンカー力を高めることができる。この結果、ガスの意図しない領域への漏れを防ぐことができ、基材に形成されたマイクロ流路を通じて、ガスを所定の箇所に移動させることができる。

【0034】

従って、使用時において、ガス発生剤と樹脂（Ｃ）とは、反応していていることが好ましい。具体的には、ガス発生剤を構成する架橋剤（Ｂ）の第３の官能基の少なくとも一部が、樹脂（Ｃ）における第４の官能基の少なくとも一部と反応していることが好ましい。なお、上記ガス発生剤は全体で、ガスを発生させるために、アジド基を有する。

【0035】

このように、本発明のガス発生材は、塗工時の塗液の状態では、ガス発生剤と樹脂（Ｃ）と反応していないことから、増粘せず、取り扱い性に優れ、一方、塗工後にガス発生剤と樹脂（Ｃ）とを反応させることにより、分子量を高め、接着力及びアンカー力を高めることができる。

【0036】

本発明に係るガス発生材を得るために、アジド化合物（Ａ）と、架橋剤（Ｂ）を反応させて、ガス発生剤を得る工程（１）と、得られたガス発生剤と樹脂（Ｃ）とを反応させる工程（２）とが行われてもよい。

【0037】

工程（１）では、アジド化合物（Ａ）の第１の官能基と、架橋剤（Ｂ）の第２の官能基とを反応させることにより、アジド化合物（Ａ）と、架橋剤（Ｂ）を反応させ、ガス発生剤を得る。この際、第１の官能基は、アジド基であることが好ましいが、他の官能基であってもよい。また、アジド化合物（Ａ）と架橋剤（Ｂ）との反応は、塗液にする前、塗液にした後、塗工前及び塗工中のいずれに行われてもよい。

【0038】

工程（２）では、ガス発生剤を構成する架橋剤（Ｂ）の第３の官能基と、樹脂（Ｃ）の第４の官能基とを反応させることにより、ガス発生剤と樹脂（Ｃ）とを反応させる。ガス発生剤と樹脂（Ｃ）との反応は、塗工後に行われることが望ましい。

【0039】

従って、本発明においては、架橋剤（Ｂ）の第３の官能基と樹脂（Ｃ）の第４の官能基との反応速度が、アジド化合物（Ａ）の第１の官能基と架橋剤（Ｂ）の第２の官能基との反応速度より遅いことが好ましい。この場合、塗液の状態で取り扱い性に優れ、かつ使用時に接着力及びアンカー力を高められるという本願発明の効果をより一層確実に得ることができる。なお、反応速度は、第１～第４の官能基を適宜選択することにより、調整することができる。

【0040】

また、アジド化合物（Ａ）の第１の官能基と架橋剤（Ｂ）の第２の官能基とは、常温（２０℃）で容易に反応する組み合わせを用いることが好ましい。一方、架橋剤（Ｂ）の第３の官能基と樹脂（Ｃ）の第４の官能基とは、常温（２０℃）で容易に反応しない組み合わせを用いることが好ましい。架橋剤（Ｂ）の第３の官能基と樹脂（Ｃ）の第４の官能基は、別途反応工程を必要とする組み合わせを用いてもよい。別途の反応工程は、加熱工程や長時間の養生工程などが挙げられる。この場合、塗液の状態で取り扱い性に優れ、かつ使用時に接着力及びアンカー力を高められるという本願発明の効果をより一層確実に得ることができる。なお、上記養生工程における養生温度は、例えば、３０℃～８０℃とすることができる。また、上記養生工程における養生時間は、例えば、１日～７日とすることができる。

【0041】

上記ガス発生材は、シランカップリング剤を含むことが好ましい。上記ガス発生材は、第三級アミンを含むことが好ましい。上記ガス発生材は、光増感剤を含むことが好ましい。上記ガス発生材は、タッキファイヤーを含むことが好ましい。

【0042】

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。

【0043】

また、実施形態において参照する図面は、模式的に記載されており、図面に描画された物体の寸法の比率等は、現実の物体の寸法の比率等とは異なる場合がある。具体的な物体の寸法の比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。

【0044】

図１は、本発明の第１の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。図１に示すマイクロポンプ１は、板状の基材１０を備える。基材１０を構成する材料としては、樹脂、ガラス及びセラミックス等が挙げられる。基材１０を構成する樹脂としては、有機シロキサン化合物、ポリメタクリレート樹脂及びポリオレフィン樹脂等が挙げられる。上記ポリオレフィン樹脂としては、環状ポリオレフィン樹脂等が挙げられる。上記有機シロキサン化合物の具体例としては、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）及びポリメチル水素シロキサン等が挙げられる。

【0045】

基材１０には、主面１０ａに開口しているマイクロ流路１０ｂが形成されている。

【0046】

なお、本明細書において、マイクロ流路１０ｂとは、流体の搬送に際し、マイクロ効果が生じるような微細な流路をいう。このようなマイクロ流路１０ｂでは、液体は、表面張力の影響を強く受け、通常の大寸法の流路を流れる液体とは異なる挙動を示す。

【0047】

マイクロ流路１０ｂの横断面形状及び大きさは、上記のマイクロ効果が生じる流路であれば特に限定はされない。例えば、マイクロ流路１０ｂに流体を流す際、ポンプや重力を用いる場合には、流路抵抗を低下させる観点から、マイクロ流路１０ｂの横断面形状がおおむね長方形（正方形を含む）の場合には、小さい方の辺の寸法で、２０μｍ以上が好ましく、５０μｍ以上がより好ましく、１００μｍ以上がさらに好ましい。マイクロ流体デバイスのより一層小型化の観点より、小さい方の辺の寸法で、５ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましく、５００μｍ以下がさらに好ましい。

【0048】

また、マイクロ流路１０ｂの横断面形状がおおむね円形の場合には、直径（楕円の場合には、短径）が、２０μｍ以上が好ましく、５０μｍ以上がより好ましく、１００μｍ以上がさらに好ましい。上記マイクロ流体デバイスのより一層小型化の観点より、直径（楕円の場合には、短径）は、５ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましく、５００μｍ以下がさらに好ましい。

【0049】

一方、例えば、マイクロ流路１０ｂに流体を流す際、毛細管現象を有効に活用する場合には、マイクロ流路１０ｂの横断面形状がおおむね長方形（正方形を含む）の場合には、小さい方の辺の寸法で、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、２０μｍ以上であることがさらに好ましい。また、小さい方の辺の寸法で、２００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることがさらに好ましい。

【0050】

主面１０ａの上には、フィルム状のガス発生材１１ａが貼り付けられている。ガス発生材１１ａは、マイクロポンプ用ガス発生材である。マイクロ流路１０ｂの開口は、ガス発生材１１ａにより覆われている。このため、ガス発生材１１ａに光又は熱等の外部刺激が加わることによりガス発生材１１ａから発生したガスは、マイクロ流路１０ｂに導かれる。

【0051】

ガス発生材１１ａの厚みは特に限定されない。ガス発生材１１ａの厚みは好ましくは５μｍ以上、より好ましくは１０μｍ以上、好ましくは５ｍｍ以下、より好ましくは５００μｍ以下である。

【0052】

ガス発生材１１ａは、ガスバリア層１２により覆われている。ガスバリア層１２により、ガス発生材１１ａにおいて発生したガスが、主面１０ａとは反対側に流出することが抑えられ、マイクロ流路１０ｂに効率的に供給される。このため、ガスバリア層１２は、ガス発生材１１ａにおいて発生したガスの透過性が低い層であることが好ましい。

【0053】

ガスバリア層１２を構成する材料としては、ポリアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ナイロン樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及びガラス等が挙げられる。

【0054】

ガスバリア層１２の厚みは、ガスバリア層１２の材質等によって適宜変更でき、特に限定されない。ガスバリア層１２の厚みは、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２５μｍ以上、好ましくは１ｍｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。光を透過させる場合に、ガスバリア層１２は、紫外線領域の光の減衰が起きにくい層であることが好ましい。

【0055】

ガス発生材１１ａは、フィルムであることが好ましい。なお、フィルムにはテープ及びシートが含まれる。ガス発生材１１ａは、上述の構成を備えるので、塗液にした際に増粘せず、フィルム状に加工する際の塗工性に優れ、取り扱い性に優れている。

【0056】

マイクロポンプ１において、光の照射により、ガス発生材１１ａからガスを発生させるためには、例えば、光照射装置２１からガス発生材１１ａに向かって矢印Ｘで示す方向に光を照射する。ガス発生材１１ａは上述した構成を有するので、ガス発生材１１ａと接着対象部材である基材１０との接着界面の領域Ｒに、ガス発生剤から発生したガスが移動又は滞留し難くなり、接着力及びアンカー力の低下を抑制することができる。

【0057】

以下、上記ガス発生材に用いられる各成分の詳細を説明する。

【0058】

（ガス発生剤）
ガス発生材は、アジド化合物（Ａ）及び架橋剤（Ｂ）が反応してなるガス発生剤を含む。上記ガス発生剤は、アジド化合物（Ａ）及び架橋剤（Ｂ）が反応して得られる反応物である。従って、ガス発生剤は、アジド化合物（Ａ）及び架橋剤（Ｂ）を構成単位に含んでいる。また、架橋剤（Ｂ）により、アジド化合物（Ａ）及び樹脂（Ｃ）を架橋させることができる。従って、アジド化合物（Ａ）及び架橋剤（Ｂ）が反応して得ることができる反応物は、樹脂（Ｃ）を架橋させる前の前駆体（中間体）である。

【0059】

上記ガス発生剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。上記ガス発生剤を得るために、上記アジド基を複数有するアジド化合物（Ａ）は１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。上記ガス発生剤を得るために、上記架橋剤（Ｂ）は１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0060】

アジド化合物（Ａ）；
アジド化合物（Ａ）は、アジド基を複数有していることが望ましい。また、アジド化合物（Ａ）は、第１の官能基を有する。第１の官能基は、上記アジド基であることが望ましいが、他の官能基であってもよい。すなわち、アジド化合物（Ａ）は、第１の官能基としてアジド基を有していてもよく、アジド基と、他の官能基である第１の官能基とを有していてもよい。なお、第１の官能基は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0061】

上記他の官能基としては、例えば、水酸基、アミノ基等が挙げられる。他の官能基は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0062】

このようなアジド化合物としては、例えば、グリシジルアジドポリマー、スルフォニルアジド基又はアジドメチル基を有するアジド化合物が挙げられる。上記アジド化合物は、スルフォニルアジド基又はアジドメチル基を有することが好ましい。上記アジド化合物は、スルフォニルアジド基を有することが好ましく、アジドメチル基を有することも好ましい。

【0063】

上記アジド基を複数有する化合物は、下記式（１）で表される化合物、下記式（２）で表される化合物、下記式（３）で表される化合物、又は下記式（４）で表される化合物であることが好ましい。

【0064】

【化1】

【0065】

上記式（１）中、ｎは、１０～５０の整数を表し、ｍ＋ｌは、１～１０の整数を表す。上記式（１）中のｎとｍとｌとは同一であってもよく、異なっていてもよい。

【0066】

【化2】

【0067】

上記式（２）中、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕは、１０～５０の整数を表す。上記式（２）中、ｒとｓとｔとｕとは同一であってもよく、異なっていてもよい。上記式（２）中、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕは、好ましくは１５以上の整数、好ましくは３０以下の整数である。

【0068】

【化3】

【0069】

上記式（３）中、ｎは１～２０の整数を表す。上記式（３）中、ｎは好ましくは２以上の整数、好ましくは８以下の整数である。

【0070】

【化4】

【0071】

上記式（４）中、ｎ１、ｎ２、ｎ３及びｎ４はそれぞれ、１～１０の整数を表す。上記式（４）中、ｎ１とｎ２とｎ３とｎ４とは同一であってもよく、異なっていてもよい。上記式（４）中、ｎ１、ｎ２、ｎ３及びｎ４はそれぞれ、好ましくは３以上の整数、より好ましくは４以上の整数、好ましくは８以下の整数である。

【0072】

上述したアジド化合物は、特定の波長域の光、熱、超音波又は衝撃等の外部刺激を受けることにより分解して、窒素ガスを発生させる。

【0073】

なお、アジド化合物（Ａ）は、ガス発生材１００質量部に対し、好ましくは１０質量部以上、より好ましくは２５質量部以上、好ましくは９０質量部以下、より好ましくは３５質量部以下の割合で配合することができる。

【0074】

架橋剤（Ｂ）；
架橋剤（Ｂ）は、第２の官能基及び第３の官能基を有する。第２の官能基は、アジド化合物（Ａ）の第１の官能基と反応する官能基である。なお、第２の官能基は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。第３の官能基は、アジド化合物（Ａ）の第１の官能基と反応しない官能基である。なお、第３の官能基は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0075】

第２の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アクリロイル基、ビニルエーテル基、アセチル基が挙げられる。なかでも、ビニル基及び（メタ）アクリロイル基のうち少なくとも一方であることが好ましい。もっとも、第２の官能基は、反応する第１の官能基の種類により適宜選択することができる。なお、（メタ）アクリロイル基は、アクリロイル基又はメタクリロイル基である。

【0076】

第３の官能基としては、例えば、エポキシ基、アミノ基、カルボキシル基（カルボキシ基）、イソシアネート基、オキセタン基が挙げられる。なかでも、エポキシ基であることが好ましい。もっとも、第３の官能基は、反応する第４の官能基の種類により適宜選択することができる。

【0077】

第２の官能基及び第３の官能基を有する架橋剤（Ｂ）としては、例えば、以下に示すモノマーなどの化合物を用いることができる。

【0078】

アクリル酸グリシジル；第２の官能基として、アクリロイル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、東京化成工業社製のアクリル酸グリシジルを用いることができる。

【0079】

エポキシアクリレート；第２の官能基として、アクリロイル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、ダイセルオルネクス社製、「ＵＶＡＣＵＲＥ１５６１」を用いることができる。

【0080】

４－ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル；第２の官能基として、アクリロイル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、日本化成社製、「４ＨＢＡＧＥ」を用いることができる。

【0081】

グリシジルメタクリレート；第２の官能基として、メタクリロイル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、日油社製、「ブレンマーＧＨ」を用いることができる。

【0082】

アリルグリシジルエーテル；第２の官能基として、ビニル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、ナガセケムテックス社製、「ＥＸ－１１１」を用いることができる。

【0083】

ポリブタジエン型エポキシ樹脂；第２の官能基として、ビニル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、ナガセケムテックス社製、「Ｒ－１５ＥＰＴ」を用いることができる。

【0084】

１，２－エポキシ－４－ビニルシクロヘキサン；第２の官能基として、ビニル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、ダイセル社製、「セロキサイド２０００」を用いることができる。

【0085】

３，４－エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート；第２の官能基として、メタクリロイル基を有し、第３の官能基として、エポキシ基を有している。例えば、ダイセル社製、「サイクロマーＭ１００」を用いることができる。

【0086】

エチルオキセタンメチルビニルエーテル；第２の官能基として、ビニルエーテル基を有し、第３の官能基として、オキセタン基を有している。例えば、丸善石油化学社製、「ＥＯＸＴＶＥ」を用いることができる。

【0087】

（３－エチルオキセタン－３－イル）メチルアクリレート；第２の官能基として、アクリロイル基を有し、第３の官能基として、オキセタン基を有している。例えば、大阪有機化学社製、「ＯＸＥ－１０」を用いることができる。

【0088】

（３－エチルオキセタン－３－イル）メチルメタクリレート；第２の官能基として、メタクリロイル基を有し、第３の官能基として、オキセタン基を有している。例えば、大阪有機化学社製、「ＯＸＥ－３０」を用いることができる。

【0089】

２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート；第２の官能基として、メタクリロイル基を有し、第３の官能基として、イソシアネート基を有している。例えば、昭和電工社製、「カレンズＭＯＩ」を用いることができる。

【0090】

２－アクリロイルオキシエチルイソシアナート；第２の官能基として、アクリロイル基を有し、第３の官能基として、イソシアネート基を有している。例えば、昭和電工社製、「カレンズＡＯＩ」を用いることができる。

【0091】

メタクリル酸２－（０－［１’－メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミノ）エチル；第２の官能基として、メタクリロイル基を有し、第３の官能基として、イソシアネート（ブロック）基を有している。例えば、昭和電工社製、「カレンズＭＯＩ－ＢＭ」を用いることができる。

【0092】

２－［（３，５－ジメチルピラゾリル）カルボニルアミノ］エチルメタクリレート；第２の官能基として、メタクリロイル基を有し、第３の官能基として、イソシアネート（ブロック）基を有している。例えば、昭和電工社製、「カレンズＭＯＩ－ＢＰ」を用いることができる。

【0093】

１，１－（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート；第２の官能基として、アクリロイル基を有し、第３の官能基として、イソシアネート基を有している。例えば、昭和電工社製、「カレンズＢＥＩ」を用いることができる。

【0094】

（メタ）アクリロイルオキシエチルモノフタレート；第２の官能基として、ビニル基を有し、第３の官能基として、カルボキシ基を有している。例えば、東亜合成社製、「Ｍ５４００」を用いることができる。

【0095】

β－カルボキシエチルアクリレート；第２の官能基として、アクリロイル基を有し、第３の官能基として、カルボキシ基を有している。例えば、ダイセルオルネクス社製、「β－ＣＥＡ」を用いることができる。

【0096】

なお、架橋剤（Ｂ）は、ガス発生材１００質量部に対し、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは０．５質量部以上、好ましくは２質量部以下、より好ましくは１．５質量部以下の割合で配合することができる。

【0097】

（樹脂（Ｃ））
上記ガス発生材は、樹脂（Ｃ）を含む。上記ガス発生材が樹脂（Ｃ）を含むことによって、上記ガス発生材の基材などの接着対象部材に対する接着性を高めることができる。さらに、上記ガス発生材が樹脂（Ｃ）を含むことによって、上記ガス発生材を錠剤状、微粒子状及びフィルム状等の形態とすることがより一層容易になる。上記ガス発生材が錠剤状、微粒子状及びフィルム状等の形態であると、上記ガス発生材を接着対象部材により一層容易に接着させることができる。また、上記ガス発生剤を上記ガス発生材中により一層強固に保持することができる。樹脂（Ｃ）は、上記ガス発生材において、バインダー樹脂として用いることができる。

【0098】

樹脂（Ｃ）は、第４の官能基を含む。第４の官能基としては、例えば、カルボキシル基、エポキシ基、アミノ基、水酸基などが挙げられる。

【0099】

このような第４の官能基を含む樹脂（Ｃ）としては、例えば、カルボキシル基含有（メタ）アクリル樹脂、エポキシ基含有（メタ）アクリル樹脂、水酸基含有（メタ）アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ブチラール樹脂、ポリエチレンイミン、グリセリンなどが挙げられる。なかでも、第４の官能基を含む樹脂（Ｃ）としては、カルボキシル基含有（メタ）アクリル樹脂であることが好ましい。なお、本明細書において、（メタ）アクリルとは、アクリル又はメタクリルのことをいう。従って、（メタ）アクリル樹脂は、アクリル樹脂又はメタクリル樹脂である。

【0100】

樹脂（Ｃ）の重量平均分子量は、好ましくは５０００以上、より好ましくは１００００以上、好ましくは２００００００以下、より好ましくは１００００００以下である。樹脂（Ｃ）の重量平均分子量が上記下限以上であると、接着対象部材に対する接着性をより一層高めることができる。樹脂（Ｃ）の重量平均分子量が上記上限以下であると、上記ガス発生材を各種の形態に加工することがより一層容易になる。上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。

【0101】

樹脂（Ｃ）は、粘着性を有するので、上記マイクロポンプに上記ガス発生材をより一層容易に配置することができる。例えば、粘着性を有するフィルム状のガス発生材は、上記マイクロポンプの基板面又は基板内部の壁面により一層容易に貼り付けることができる。

【0102】

上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記樹脂（Ｃ）の含有量は、好ましくは２０質量部以上、より好ましくは２５質量部以上、更に好ましくは３５質量部以上、好ましくは７０質量部以下、より好ましくは６０質量部以下、更に好ましくは５０質量部以下である。

【0103】

なお、第３の官能基と第４の官能基との組み合わせは、これらが互いに反応して結合が起こるものであれば特に限定はされないが、密着性をより一層高める観点より、第３の官能基がエポキシ基であり、第４の官能基がカルボキシル基であることが好ましい。

【0104】

（タッキファイヤー）
上記ガス発生材は、上記タッキファイヤーを含むことが好ましい。上記タッキファイヤーの使用により、ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力がより一層高くなる。また、ガス発生材の透明性をより一層高める観点からは、上記タッキファイヤーのハーゼン色数は２００以下であることが好ましい。上記タッキファイヤーと他の成分との相溶性をより一層高めて、ガス発生材の透明性をより一層高める観点からは、上記タッキファイヤーのＳＰ値は８．５以上であることが好ましい。

【0105】

透明性により一層優れたガス発生材を得る観点からは、上記タッキファイヤーの上記ハーゼン色数は低いほどよい。上記タッキファイヤーの上記ハーゼン色数はより好ましくは１００以下、更に好ましくは５０以下である。

【0106】

上記ハーゼン色数は、ＪＩＳ Ｋ００７１－１に準拠して測定される。上記ハーゼン色数は、例えば、コニカミノルタ社製の色彩色素計ＣＴ－５等を用いて測定可能である。

【0107】

透明性により一層優れたガス発生材を得る観点からは、上記タッキファイヤーの上記ＳＰ値は高いほどよい。上記タッキファイヤーの上記ＳＰ値はより好ましくは８．８以上である。上記タッキファイヤーの上限は特に限定されない。

【0108】

上記タッキファイヤーにおけるＳＰ値は、下記式（Ａ）におけるＨｏｙの定数より求められる。

【0109】

δ＝Ｄ・ΣＧ／Ｍ ・・・式（Ａ）

【0110】

δ：溶解度パラメーター
Ｄ：密度
Ｇ：各官能基の分子引力定数
Ｍ：分子量

【0111】

上記タッキファイヤーとしては、ロジン樹脂、テルペン樹脂、スチレン樹脂及び石油樹脂等が挙げられる。

【0112】

ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力をより一層高くし、ガス発生材におけるガスの発生に伴う接着力及びアンカー力の低下をより一層抑制する観点からは、上記タッキファイヤーは、ロジン樹脂であることが好ましく、ロジンエステル樹脂であることがより好ましい。上記タッキファイヤーは、（メタ）アクリロイル基を有していなくてもよい。

【0113】

上記ロジン樹脂は、ロジン又はロジン誘導体をベースとする樹脂である。上記ロジン樹脂の好ましい例としては、ロジン、酸変性ロジン、ロジン含有ジオール、ロジンエステル、水添ロジンエステル及びマレイン酸変性ロジンエステル等が挙げられる。上記酸変性ロジンとして、例えば、アクリル酸変性ロジンが挙げられる。

【0114】

上記テルペン樹脂は、テルペン化合物又はテルペン化合物の誘導体をベースとする樹脂である。上記テルペン樹脂としては、変性テルペン樹脂及びテルペンフェノール樹脂等が挙げられる。

【0115】

上記スチレン樹脂は、スチレン化合物又はスチレン化合物の誘導体をベースとする樹脂である。上記スチレン樹脂としては、変性スチレン樹脂及びフェノール性アルファメチルスチレン等が挙げられる。

【0116】

ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力をより一層効果的に高める観点からは、上記タッキファイヤーの水酸基価が２０以上であることが好ましく、上記タッキファイヤーがロジンエステル樹脂であり、かつ上記ロジンエステル樹脂の水酸基価が２０以上であることがより好ましい。

【0117】

上記タッキファイヤーを用いる場合には、上記ガス発生材において、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記タッキファイヤーの含有量は、好ましくは１質量部以上、より好ましくは３質量部以上、更に好ましくは１０質量部以上、好ましくは５０質量部以下、より好ましくは３５質量部以下、更に好ましくは２５質量部以下、特に好ましくは２０質量部以下、最も好ましくは１５質量部以下である。特に、ロジン樹脂又はロジンエステル樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であることが好ましい。上記タッキファイヤーの含有量が上記下限以上であると、ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力がより一層高くなる。さらに、上記タッキファイヤーの含有量が上記上限以下であると、ガス発生材の透明性がより一層高くなり、更に余剰の上記タッキファイヤーによるガス発生量の低下がより一層抑えられる。

【0118】

（シランカップリング剤）
上記ガス発生材は、シランカップリング剤を含むことが好ましい。上記シランカップリング剤の使用により、ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力がより一層高くなる。特に、上記タッキファイヤーと上記シランカップリング剤との併用は、ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力の向上に大きく寄与する。さらに、上記タッキファイヤーと上記シランカップリング剤との併用は、ガス発生材におけるガスの発生に伴う接着力及びアンカー力の低下の抑制に大きく寄与する。上記シランカップリング剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0119】

上記シランカップリング剤は、アミノ基を有するシランカップリング剤であることが好ましい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤の使用により、上記ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力が高くなるだけでなく、シランカップリング剤を用いたことに伴う上記ガス発生材から発生するガスの発生量の低下を抑えることもできる。但し、上記シランカップリング剤は、アミノ基を有さないシランカップリング剤であってもよい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤は、第三級アミンではないことが好ましい。

【0120】

上記アミノ基を有するシランカップリング剤の具体例としては、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ，Ｎ’－ビス［（３－トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミン、３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリエトキシシラン及びＮ－フェニル－３－アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。これら以外のアミノ基を有するシランカップリング剤を用いてもよい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0121】

上記アミノ基を有さないシランカップリング剤としては、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシ基を有するシランカップリング剤、３－イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネート基を有するシランカップリング剤、及び３－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等の（メタ）アクリロイル基を有するシランカップリング剤等が挙げられる。

【0122】

上記シランカップリング剤を用いる場合には、上記ガス発生材において、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記シランカップリング剤の含有量は、好ましくは０．０００１質量部以上、より好ましくは０．０００３質量部以上、好ましくは１質量部以下、より好ましくは０．３質量部以下である。特に、アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であることが好ましい。上記シランカップリング剤の含有量が上記下限以上であると、ガス発生材の接着対象部材に対する初期接着力及び初期アンカー力がより一層高くなる。上記シランカップリング剤の含有量が上記上限以下であると、余剰の上記シランカップリング剤によるガス発生量の低下がより一層抑えられる。

【0123】

（第三級アミン）
上記ガス発生材は、第三級アミンを含むことが好ましい。上記第三級アミンは特に限定されない。上記第三級アミンとしては、環状アミン、トリアルキルアミン及び芳香族アミン等が挙げられる。上記環状アミン及び上記芳香族アミンはそれぞれ、第三級アミンの構造を有する。上記第三級アミンは、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0124】

上記ガス発生材は、環状アミン、トリアルキルアミン、及び芳香族アミンからなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。上記第三級アミンは、環状アミンであることが好ましく、トリアルキルアミンであることが好ましく、芳香族アミンであることも好ましい。上記環状アミンは、芳香族骨格を除く環状骨格を有し、芳香族骨格を有さない。上記トリアルキルアミンは、環状骨格及び芳香族骨格を有さない。上記芳香族アミンは、芳香族骨格を有し、芳香族骨格を除く環状骨格を有さない。

【0125】

上記環状アミンの炭素数は、好ましくは６以上、好ましくは２０以下である。上記環状アミンの具体例としては、１，４－ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン（ＤＡＢＣＯ）、ジアザビシクロウンデセン（ＤＢＵ）、及びジアザビシクロノネン（ＤＢＮ）等が挙げられる。

【0126】

上記トリアルキルアミンの３つのアルキル基は同一であってもよく、異なっていてもよい。上記トリアルキルアミンの３つのアルキル基の炭素数はそれぞれ１以上、好ましくは２以上、好ましくは２０以下、より好ましくは６以下である。上記トリアルキルアミンの具体例としては、トリメチルアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルメチルアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルプロピルアミン、トリプロピルアミン及びトリブチルアミン等が挙げられる。

【0127】

上記芳香族アミンの具体例としては、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノトルイジン、Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノトルイジン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノベンゼン、Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノベンゼン、及びＮ，Ｎ、Ｎ’Ｎ’－テトラメチル－ｐ－フェニレンジアミン等が挙げられる。

【0128】

上記第三級アミンを用いる場合には、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記第三級アミンの含有量は、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは０．５質量部以上、更に好ましくは１質量部以上、好ましくは５０質量部以下、より好ましくは４０質量部以下、更に好ましくは３０質量部以下である。上記第三級アミンの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、上記ガス発生材における単位時間あたりのガス発生量が効果的に多くなり、保存安定性が効果的に高くなる。

【0129】

（光増感剤）
上記ガス発生材は、光増感剤を含むことが好ましい。上記光増感剤は、ガス発生剤への光による刺激を増幅する効果を有する。よって、上記ガス発生材が光増感剤を含むことにより、少ない光照射量によって、ガスを発生させ、放出させることができる。また、より広い波長領域の光によって、ガスを発生させ、放出させることができる。上記光増感剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0130】

上記光増感剤は特に限定されない。上記光増感剤として、公知の光増感剤を使用することができる。上記光増感剤としては、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物及びアクリドン化合物等が挙げられる。

【0131】

上記チオキサントン化合物の具体例としては、チオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジクロロチオキサントン、１－クロロ－４－プロポキシチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントン、４－イソプロピルチオキサントン、及び２，４－ジエチルチオキサントン等が挙げられる。

【0132】

上記フェノチアジン化合物の具体例としては、フェノチアジン、２－クロロフェノチアジン、２－メチルチオフェノチアジン、２－メトキシフェノチアジン、及び２－（トリフルオロメチル）フェノチアジン等が挙げられる。

【0133】

上記アントラセン化合物の具体例としては、アントラセン、９，１０－ジエトキシアントラセン、９，１０－ジプロポキシアントラセン、９，１０－ジブトキシアントラセン、９－カルボキシアントラセン、２－アントラセンカルボン酸、１－アントラセンカルボン酸、１，８－アントラセンジカルボン酸ジメチル、（１Ｒ，２Ｒ）－２－（アントラセン－２，３－ジカルボキシイミド）シクロヘキサンカルボン酸、１－アミノアントラセン、２－アントラセンボロン酸、９－クロロメチルアントラセン、９，１０－ジメトキシアントラセン－２－スルホン酸ナトリウム、ベンゾアントレン、ベンゾ［ａ］アントラセン－７，１２－ジオン、ジベンゾ［ａ，ｃ］アントラセン、１，２，３，４－ジベンゾアントラセン、９－ブロモアントラセン、９，１０－ビス（クロロメチル）アントラセン、７－ブロモベンゾ［ａ］アントラセン、１，８－ビス（ヒドロキシメチル）アントラセン、９，１０－ビス（３，５－ジヒドロキシフェニル）アントラセン、１－ブロモアントラセン、２－ブロモアントラセン、９，１０－ビス（ジエチルホスホノメチル）アントラセン、２－ブロモ－９，１０－ジフェニルアントラセン、２－ｔ－ブチルアントラセン、９－クロロメチルアントラセン、９－シアノアントラセン、１－クロロ－９，１０－ビス（フェニルエチニル）アントラセン、２－クロロアントラセン、ジベンゾ［ａ，ｈ］アントラセン、９，１０－ジブロモアントラセン、９，１０－ジメチルアントラセン、９，１０－ジヒドロアントラセン、７，１２－ジメチルベンゾ［ａ］アントラセン、９，１０－ジシアノアントラセン、９，１０－ジフェニルアントラセン、２，３－ジメチルアントラセン、２，６－ジブロモアントラセン、１，５－ジブロモアントラセン、（１１Ｒ，１２Ｒ）－９，１０－ジヒドロ－９，１０－エタノアントラセン－１１，１２－ジアミン、９，１０－ジヒドロ－９，１０－ビス（２－カルボキシエチル）－Ｎ－（４－ニトロフェニル）－１０，９－（エポキシイミノ）アントラセン－１２－カルボキサミド、９，１０－ジ（１－ナフチル）アントラセン、９，１０－ジ（２－ナフチル）アントラセン、１，８－ジヨードアントラセン、９－（ヒドロキシメチル）アントラセン、２－（ヒドロキシメチル）アントラセン、９－（２－ヒドロキシエチル）アントラセン、９－メチルアントラセン、７－メチルベンゾ［ａ］アントラセン、２，３－ベンゾアントラセン、ジベンゾ［ｄｅ，ｋｌ］アントラセン、９－フェニルアントラセン、９，１０－ビス（フェニルエチニル）アントラセン、１－アニリノアントラセン、２－アニリノアントラセン、１，４，９，１０－テトラヒドロキシアントラセン、１，８，９－トリヒドロキシアントラセン、（Ｒ）－（－）－α－（トリフルオロメチル）－９－アントラセンメタノール、（Ｓ）－（＋）－α－（トリフルオロメチル）－９－アントラセンメタノール、及び９，１０－ジヒドロ－９，１０－［１，２］ベンゼノアントラセン等が挙げられる。

【0134】

上記アクリドン化合物の具体例としては、１０－メチル－９（１０Ｈ）アクリドン、９（１０Ｈ）－アクリドン、及び１０－ブチル－２－クロロ－９（１０Ｈ）－アクリドン等が挙げられる。

【0135】

単位時間あたりのガス発生量を多くするために、上記光増感剤は、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。上記光増感剤は、チオキサントン化合物であることが好ましく、フェノチアジン化合物であることが好ましく、アントラセン化合物であることが好ましく、アクリドン化合物であることも好ましい。

【0136】

上記光増感剤としては、アルコキシ基を有する多環芳香族化合物も挙げられる。上記多環芳香族化合物は、アルコキシ基を２つ以上有していてもよい。なかでも、グリシジル基又は水酸基を含むアルコキシ基を有する多環芳香族化合物が好ましい。この多環芳香族化合物は、アルコキシ基の一部がグリシジル基又は水酸基で置換されているアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物であることが好ましい。このような光増感剤は、高い耐昇華性を有し、高温下で使用することができる。また、アルコキシ基の一部がグリシジル基又は水酸基で置換されることにより、上記ガス発生材中における溶解性が高まり、ブリードアウトが抑えられる。

【0137】

上記光増感剤として用いられる上記多環芳香族化合物の好ましい例としては、アントラセン骨格を有する多環芳香族化合物等が挙げられる。上記アントラセン骨格を有する多環芳香族化合物は、アルコキシ基を有するアントラセン化合物であり、アントラセン誘導体等である。また、アルコキシ基を有する多環芳香族化合物のアルコキシ基の炭素数は１以上、好ましくは１８以下、より好ましくは８以下である。

【0138】

上記アルコキシ基を有する多環芳香族化合物の具体例としては、９，１０－ジメトキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジメトキシアントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジメトキシアントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジメトキシアントラセン、９－メトキシ－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジエトキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジエトキシアントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジエトキシアントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジエトキシアントラセン、９－エトキシ－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジプロポキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジプロポキシアントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジプロポキシアントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジプロポキシアントラセン、９－イソプロポキシ－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジブトキシアントラセン、９，１０－ジベンジルオキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジベンジルオキシアントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジベンジルオキシアントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジベンジルオキシアントラセン、９－ベンジルオキシ－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジ－α－メチルベンジルオキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジ－α－メチルベンジルオキシアントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジ－α－メチルベンジルオキシアントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジ－α－メチルベンジルオキシアントラセン、９－（α－メチルベンジルオキシ）－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシエトキシ）アントラセン、及び２－エチル－９，１０－ジ（２－カルボキシエトキシ）アントラセン等が挙げられる。

【0139】

上記グリシジル基又は水酸基を含むアルコキシ基を有する多環芳香族化合物の具体例としては、９，１０－ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２－エチル－９，１０－ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、９－（グリシジルオキシ）－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジ（２－ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２－エチル－９，１０－ジ（２－ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジ（２－ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジ（２－ビニルオキシエトキシ）アントラセン、９－（２－ビニルオキシエトキシ）－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジ（３－メチル－３－オキセタニルメトキシ）アントラセン、２－エチル－９，１０－ジ（３－メチル－３－オキセタニルメトキシ）アントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジ（３－メチル－３－オキセタニルメトキシ）アントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジ（３－メチル－３－オキセタニルメトキシ）アントラセン、９－（３－メチル－３－オキセタニルメトキシ）－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジ（ｐ－エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２－エチル－９，１０－ジ（ｐ－エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１０－ジ（ｐ－エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジ（ｐ－エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、９－（ｐ－エポキシフェニルメトキシ）－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジ（ｐ－ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２－エチル－９，１０－ジ（ｐ－ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２－ｔ－ブチル－９，１－ジ（ｐ－ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２，３－ジメチル－９，１０－ジ（ｐ－ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、９－（ｐ－ビニルフェニルメトキシ）－１０－メチルアントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシエトキシ）アントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシブトキシ）アントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシ－３－ブトキシプロポキシ）アントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシ－３－（２－エチルヘキシルオキシ）プロポキシ）アントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシ－３－アリロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０－ジ（２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロポキシ）アントラセン、及び９，１０－ジ（２，３－ジヒドロキシプロポキシ）アントラセン等が挙げられる。

【0140】

上記光増感剤は、光重合開始剤として一般に知られている材料であってもよい。このような光増感剤としては、例えば、２５０ｎｍ～８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化される化合物が挙げられる。このような光増感剤の具体例としては、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン化合物；ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール化合物；フォスフィンオキシド化合物；ビス（η５－シクロペンタジエニル）チタノセン等のチタノセン化合物；ベンゾフェノン；ミヒラーケトン；クロロチオキサントン；ドデシルチオキサントン；ジメチルチオキサントン；ジエチルチオキサントン；α－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン；２－ヒドロキシメチルフェニルプロパン等が挙げられる。上記光増感剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

【0141】

上記光増感剤を用いる場合に、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記光増感剤の含有量は、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは０．５質量部以上、好ましくは５０質量部以下、より好ましくは３０質量部以下である。また、上記光増感剤の含有量は、上記樹脂（Ｃ）１００質量部に対して、好ましくは０．５質量部以上、より好ましくは１質量部以上、好ましくは３０質量部以下、より好ましくは１５質量部以下である。上記光増感剤の含有量が上記下限以上であると、より一層充分な光増感効果が得られる。上記光増感剤の含有量が上記上限以下であると、光増感剤に由来する残存物が少なくなり、充分にガスが発生されやすくなる。

【0142】

上記第三級アミンと上記光増感剤とを併用する場合には、上記光増感剤に対して上記第三級アミンが当モルとなるように配合することが好ましい。また、ガス発生に際して、上記第三級アミンは消費されないと考えられるため、上記第三級アミンは、上記ガス発生剤のモル当量よりも少ない量で配合することができる。上記ガス発生剤において、上記第三級アミンのモル当量は、上記ガス発生剤のモル当量以下であることが好ましい。

【0143】

なお、ここでいう当量とは、アミン中の窒素原子１個を１当量とし、光増感剤１分子を１当量とする。

【0144】

（他の成分）
上記ガス発生材は、架橋剤及び無機充填材等を含んでもいてもよい。上記ガス発生材は、上記架橋剤を含むことがより好ましい。但し、上記ガス発生材は、上記架橋剤を含んでいなくてもよい。上記架橋剤の使用により、上記ガス発生材の初期接着力がより一層高くなる。

【0145】

（他の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。

【0146】

図２に示すマイクロポンプ２は、ガス発生材１１ｂの形状及び基材１０の形状において、上記の実施形態に係るマイクロポンプ１と異なる。

【0147】

第２の実施形態では、マイクロ流路１０ｂは、基材１０内に形成されたポンプ室１０ｃに接続されている。ガス発生材１１ｂは、ブロック状に形成されており、ポンプ室１０ｃ内に配されている。

【0148】

第２の実施形態に係るマイクロポンプ２においても、マイクロポンプ１と同様に、高出力かつ長駆動時間を実現することができる。

【0149】

以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に何ら限定されず、要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。

【0150】

以下の材料を用意した。

【0151】

（アジド化合物（Ａ））
グリシジルアクリルポリマー；日油社製、「ＧＡＰ５００６」
グリシジルアジドポリマー；日油社製、「ＧＡＰ４００６」

【0152】

（架橋剤（Ｂ））
アクリル酸グリシジル；東京化成工業社製
エポキシアクリレート；ダイセルオルネクス社製、「ＵＶＡＣＵＲＥ１５６１」
４－ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル；日本化成社製、「４ＨＢＡＧＥ」
グリシジルメタクリレート；日油社製、「ブレンマーＧＨ」
アリルグリシジルエーテル；ナガセケムテックス社製、「ＥＸ－１１１」
ポリブタジエン型エポキシ樹脂；ナガセケムテックス製、「Ｒ－１５ＥＰＴ」
１，２－エポキシ－４－ビニルシクロヘキサン；ダイセル社製、「セロキサイド２０００」
３，４－エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート；ダイセル社製、「サイクロマーＭ１００」
エチルオキセタンメチルビニルエーテル；丸善石油化学社製、「ＥＯＸＴＶＥ」
（３－エチルオキセタン－３－イル）メチルアクリレート；大阪有機化学社製、「ＯＸＥ－１０」
（３－エチルオキセタン－３－イル）メチルメタクリレート；大阪有機化学社製、「ＯＸＥ－３０」
２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート；昭和電工社製、「カレンズＭＯＩ」
２－アクリロイルオキシエチルイソシアナート；昭和電工社製、「カレンズＡＯＩ」
メタクリル酸２－（０－［１’－メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミノ）エチル；昭和電工社製、「カレンズＭＯＩ－ＢＭ」
２－［（３，５－ジメチルピラゾリル）カルボニルアミノ］エチルメタクリレート；昭和電工社製、「カレンズＭＯＩ－ＢＰ」
１，１－（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート；昭和電工社製、「カレンズＢＥＩ」
（メタ）アクリロイルオキシエチルモノフタレート；東亜合成社製、「Ｍ５４００」
β－カルボキシエチルアクリレート；ダイセルオルネクス社製、「β－ＣＥＡ」

【0153】

（架橋剤（Ｂ）以外の化合物）
ジプロピレングリコールジアクリレート；ダイセルオルネクス社製、「ＤＰＧＤＡ」
１．６－ヘキサンジオールジアクリレート；ダイセルオルネクス社製、「ＨＤＤＡ」
ジペンタエリストールヘキサアクリレート；ダイセルオルネクス社製、「ＰＥＴＲＡ」
２エチルヘキシルアクリレート；東亜合成社製、「２ＥＨＡ」
ブチルアクリレート；東亜合成社製、「ＢＡ」
２エチルヘキシルグリシジルエーテル；ナガセケムテックス社製、「ＥＸ－１２１」
フェニルグリシジルエーテル；ナガセケムテックス社製、「ＥＸ－１４１」

【0154】

（樹脂（Ｃ））
アクリル樹脂；東亜合成社製、「ＵＣ－３０００（カルボキシル基）」、「ＵＣ－３９００（カルボキシル基）」、「ＵＣ－３５１０（カルボキシル基）」、「ＵＦ－５０２２（カルボキシル基）」
ポリエチレンイミン；日本触媒社製、「エポミンＳＰ－２００（アミノ基）」
エポキシ基含有アクリル樹脂；日油社製、「マープルーフＧ－２０５０Ｍ（エポキシ基）」
水酸基含有アクリルポリマー；東亜合成社製、「ＵＨ－２０００（水酸基）」

【0155】

（硬化触媒）
トリエチルアミン；ダイセル社製、「ＴＥＡ」
イミダゾール系エポキシ樹脂硬化剤；四国化成社製、「２ＭＺ－ＣＮ」

【0156】

（タッキファイヤー）
ロジン樹脂；荒川化学社製、「ＫＲ－８５」
ロジンエステル樹脂；荒川化学社製、「ＫＥ－３１１」

【0157】

（カップリング剤）
シランカップリング剤；信越シリコーン社製、「ＫＢＭ５１０３」「ＫＢＭ４０３」

【0158】

（溶剤）
酢酸エチル

【0159】

（実施例１）
溶剤である酢酸エチルにアジド化合物（Ａ）を添加し常温（２５℃）にて攪拌し溶解させた。その後、架橋剤（Ｂ）を添加し常温（２５℃）で３時間攪拌し反応させた。その後樹脂（Ｃ）及びその他材料を添加し攪拌し、溶解させ塗液を得た。得られた塗液をフィルム状に加工した。このフィルムを１１０℃で５分間加熱して、溶剤である酢酸エチルを除去した。これを離型ＰＥＴフィルムで保護し、４０℃で一週間保管して、フィルム状のガス発生材（フィルム）を得た。なお、アジド化合物（Ａ）、架橋剤（Ｂ）、樹脂（Ｃ）及びその他材料は、表１に示すものを表１に示す添加量で用いた。

【0160】

得られたフィルム状のガス発生材を用いて、上記第１の実施形態のマイクロポンプ１と実質的に同様の構成を有するマイクロポンプを作製した。

【0161】

なお、マイクロ流路１０ｂの断面形状は、０．５ｍｍ角の矩形状とした。マイクロ流路１０ｂの長さは、８００ｍｍとした。マイクロ流路１０ｂの先端は大気に開放した状態とした。ガス発生材は、直径０．６ｃｍサイズで、厚み５０μｍのフィルム状とした。

【0162】

（実施例２～６１及び比較例１～１７）
配合成分の種類及び配合量（単位は質量部）を下記の表１～表５に示すように変更したこと以外は実施例１と同様にして、ガス発生材を得て、マイクロポンプを作製した。

【0163】

（評価）
（１）塗液安定性
配合直後及び２５℃、２４時間後における塗液の粘度を評価し、粘度上昇率を以下の判定基準で評価した。なお、塗液の粘度測定は、Ｅ型粘度計（ブルックフィールド社製）にて回転速度２．５ｒｐｍ、温度２５℃にて行った。

【0164】

粘度上昇率（％）＝（（２５℃、２４時間後粘度－配合直後の粘度）／配合直後の粘度）×１００

【0165】

［判定基準］
◎…１％以下
○…１％より大きく、３％未満
×…３％以上

【0166】

（２）密着力
図３に示すように、ポリカーボネート板５１に対して、フィルム状のガス発生材５２を貼り付けた。その状態で、接着力を以下の判定基準で評価した。

【0167】

具体的には、引張試験機（島津製作所社製、「ＡＧ－ＩＳ」）を用いて、矢印Ｙ１で示す方向に、１８０度ピール剥離を行うことにより、接着力を評価した。測定条件は、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離幅２５ｍｍ及び測定温度２３℃の条件である。

【0168】

［判定基準］
◎…３Ｎ以上
○…１Ｎ以上、３Ｎ未満
×…１Ｎ未満

【0169】

（３）アンカー力
図４に示すように、セロファンテープ６１（基材６１Ａと粘着剤層６１Ｂとを有する）の粘着剤層６１Ｂ面と、得られたフィルム状のガス発生材６２とを互いに貼り合わせた。その状態で、アンカー力を以下の判定基準で評価した。

【0170】

具体的には、引張試験機（島津製作所社製「ＡＧ－ＩＳ」）を用いて、矢印Ｙ２で示す方向に、９０度剥離を行うことにより、剥離強度（アンカー力）を評価した。測定条件は、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離幅１６ｍｍ及び測定温度２３℃の条件である。

【0171】

［判定基準］
◎…３Ｎ以上
○…１．５Ｎ以上、３Ｎ未満
×…１．５Ｎ未満

【0172】

（４）保持力
密着力の測定と同様に２５ｍｍ幅粘着テープをポリカーボネート板に貼り付け試験片を作製した。試験片の端部に２０ｇの錘をつけて、２３℃及び６０％ＲＨ下に調整された部屋に、試験片を保持した。

【0173】

２４時間後のテープの移動（剥離）距離を測定して、剥がれた距離とした。剥がれた距離を以下の判定基準で評価した。

【0174】

［判定基準］
○…３ｍｍ未満
×…３ｍｍ以上

【0175】

（５）ガス発生量の測定
ガス発生量の測定では、得られたマイクロポンプにおいて、３８０ｎｍの紫外線ＬＥＤ（ナイトレイドセミコンダクター社製「ＮＳ３７５Ｌ－５ＲＦＳ」）を１２０秒間照射したときのガスの発生量を測定した。ガス発生量の測定方法は、マイクロ流路１０ｂとメスピペットとをシリコンチューブでつなぎ、この中を水で充填し、その後、ガス発生材に紫外線を照射し、発生したガスによるメスピペットの体積変化を読み取る方法とし、以下の判定基準で評価した。

【0176】

［判定基準］
◎…２５μＬ以上
○…２０μＬ以上、２５μＬ未満
×…２０μＬ未満

【0177】

結果を下記の表１～表５に示す。

【0178】

【表1】

【0179】

【表2】

【0180】

【表3】

【0181】

【表4】

【0182】

【表5】

【符号の説明】

【0183】

１，２…マイクロポンプ
１０…基材
１０ａ…主面
１０ｂ…マイクロ流路
１０ｃ…ポンプ室
１１ａ，１１ｂ，５２，６２…ガス発生材
１２…ガスバリア層
２１…光照射装置
５１…ポリカーボネート板
６１…セロファンテープ
６１Ａ…基材
６１Ｂ…粘着剤層

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】