特許 7145304 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-21

(45)【発行日】2022-09-30

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20220922BHJP

   B65C 9/26 20060101ALI20220922BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65C9/26

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2021160462

(22)【出願日】2021-09-30

【審査請求日】2022-01-20

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】上道 厚史

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－８２０５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－５８６７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－５００３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－９１７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１１０２４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１９８９７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２２５８７６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ６５Ｃ ９／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定のエネルギーによって変形可能な接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された前記接着シートを被着体の外縁端面に押圧する押圧手段と、
前記押圧手段と前記被着体とを相対移動させ、前記外縁端面に前記接着シートを貼付する移動手段とを備え、
前記押圧手段は、前記接着シートの供給方向に沿う一方の外縁側および他方の外縁側のうち少なくとも一方が、前記外縁端面からはみ出したはみ出し領域を形成するように当該接着シートを前記外縁端面に押圧するシート貼付装置において、
前記はみ出し領域に前記所定のエネルギーを非接触で付与して変形させ、当該はみ出し領域を前記外縁端面に隣接する他の面方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記はみ出し領域を前記他の面に押圧するはみ出し領域押圧手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

所定のエネルギーによって変形可能な接着シートを供給する供給工程と、
前記供給工程で供給された前記接着シートを被着体の外縁端面に押圧手段で押圧する押圧工程と、
前記押圧手段と前記被着体とを相対移動させ、前記外縁端面に前記接着シートを貼付する移動工程とを実施し、
前記押圧工程では、前記接着シートの供給方向に沿う一方の外縁側および他方の外縁側のうち少なくとも一方が、前記外縁端面からはみ出したはみ出し領域を形成するように当該接着シートを前記外縁端面に押圧するシート貼付方法において、
前記はみ出し領域に前記所定のエネルギーを非接触で付与して変形させ、当該はみ出し領域を前記外縁端面に隣接する他の面方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付工程をさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１２－８４５７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたシート貼付装置１（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）の一方の面の外縁部に両面接着テープＳ（接着シート）を貼付したとしても、当該被着体の外縁端面には接着シートを貼付することができない。従って、例えば、被着体を液体中に浸したり、気体中に晒したりして所定の処理を施すような場合、被着体の外縁端面に液体や気体等の異物が付着するといった不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、被着体の外縁端面および当該外縁端面に隣接する他の面の外縁端面側を接着シートで確実に保護することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、はみ出し領域に所定のエネルギーを付与して当該接着シートを変形させ、当該はみ出し領域を外縁端面に隣接する他の面方向に折り曲げて貼付するので、被着体の外縁端面および当該外縁端面に隣接する他の面の外縁端面側を接着シートで確実に保護することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中下方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｅ）（Ｆ）は、Ｘ－Ｙ平面上で斜め方向から観た図なので、方向を示す矢印を示していない。

【0010】

本発明のシート貼付装置ＥＡは、所定のエネルギーとしての熱によって変形可能な接着シートＡＳを供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳを被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥに押圧する押圧工程を実施する押圧手段２０と、押圧手段２０と被着体ＷＫとを相対移動させ、外縁端面ＷＫＥに接着シートＡＳを貼付する移動工程を実施する移動手段３０と、はみ出し領域ＡＳＨに熱を付与して変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを外縁端面ＷＫＥに隣接する他の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付工程を実施する折り曲げ貼付手段４０と、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の両方に押圧するはみ出し領域押圧工程を実施するはみ出し領域押圧手段５０とを備えている。
なお、本実施形態では、基準位置ＷＫＲを中心とする円形形状の被着体ＷＫが採用されている。

【0011】

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、接着シートＡＳを切断する切断手段としての長さ調整手段１７とを備えている。
長さ調整手段１７は、駆動機器としてのエアシリンダ１７Ａと、その出力軸１７Ｂに支持されたカッター刃１７Ｃとを備えている。

【0012】

押圧手段２０は、図示しないブラケットに回転自在に支持された押圧ローラ２１を備え、接着シートＡＳの供給方向ＳＤに沿う一方の外縁ＡＳ１側および他方の外縁ＡＳ２側の両方が、外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように当該接着シートＡＳを外縁端面ＷＫＥに押圧するようになっている。

【0013】

移動手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１と、そのスライダ３１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ３２と、その出力軸３２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面３３Ａを有する支持テーブル３３と、当該支持テーブル３３に対し被着体ＷＫを上方から押さえつける上押え手段３４とを備えている。なお、支持テーブル３３は、回動モータ３２によってテーブル中心３３Ｒを中心に回転する構成となっている。
上押え手段３４は、駆動機器としての直動モータ３４Ａと、その出力軸３４Ｂに支持され、支持テーブル３３の移動に追従して回転可能な上押え板３４Ｃとを備えている。なお、上押え板３４Ｃは、上押え板中心３４Ｒを中心に回転するようになっている。

【0014】

折り曲げ貼付手段４０は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した気体を吹き付ける熱風送風機４１を備えている。

【0015】

はみ出し領域押圧手段５０は、図示しないブラケットに回転自在に支持された第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３を備えている。本実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３は、図１（Ｅ）～（Ｇ）に示すように、それぞれ上下一対配置され、被着体ＷＫを間に挟んだ際、当該被着体ＷＫの外縁に沿って配置されるようになっており、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３は、例えば、Ｚ軸に対してそれぞれ３０度、６０度、９０度基準位置ＷＫＲ方向に傾斜した図示しない回転軸を中心に回転するようになっている。

【0016】

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中実線で示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部が剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａの駆動を停止する。

【0017】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、基準位置ＷＫＲがテーブル中心３３Ｒと重なるように、被着体ＷＫを支持面３３Ａ上に載置すると、移動手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面３３Ａでの吸着保持を開始する。また、供給手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部を押圧ローラ２１の前方所定位置に位置させる。この際、接着シートＡＳの供給方向先端部は、図示しないエアノズルやイオナイザ等の付勢手段による付勢によって押圧ローラ２１の前方に接触状態とされる。

【0018】

その後、移動手段３０がリニアモータ３１を駆動し、被着体ＷＫを左方へ移動させて図１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、テーブル中心３３Ｒ（基準位置ＷＫＲ）が上押え板中心３４Ｒと一致すると、リニアモータ３１の駆動を停止する。この際、接着シートＡＳの供給方向先端部は、図１（Ｂ）に示すように、押圧ローラ２１と被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥとで挟み込まれた状態になるとともに、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３は、被着体ＷＫの外縁部に接着シートＡＳを押圧可能な状態となる。

【0019】

次に、移動手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、図１（Ｃ）に示すように、上押え板３４Ｃと支持テーブル３３とで被着体ＷＫを挟み込んだ後、回動モータ３２を駆動し、被着体ＷＫを反時計方向に回転させ、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥに接着シートＡＳを貼付する。この際、折り曲げ貼付手段４０が熱風送風機４１を駆動し、熱風をはみ出し領域ＡＳＨに吹き付けて当該はみ出し領域ＡＳＨを加熱する。これにより、はみ出し領域ＡＳＨが収縮を伴って変形を起こし、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、一方の外縁ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１側に折れ曲がって当該一方の面ＷＫ１に貼付するとともに、他方の外縁ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨが他方の面ＷＫ２側に折れ曲がって当該多方の面ＷＫ２に貼付する。

【0020】

なお、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件によっては、各はみ出し領域ＡＳＨが図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように被着体ＷＫに接触するまで折れ曲がらない場合や、各はみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫに接触するまで折れ曲がったとしても、押圧力不足で所定の接着力が得られない場合や、念のために各はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に押圧しておきたい場合等があれば、はみ出し領域押圧手段５０によって、各はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に押圧するはみ出し領域押圧工程を行ってもよい。このはみ出し領域押圧工程は、図１（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、被着体ＷＫの反時計方向への回転が続行される中、第１、第２押圧ローラ５１、５２が各はみ出し領域ＡＳＨを段階的に折り曲げ、最終的に、図１（Ｇ）に示すように、第３押圧ローラ５３が各はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に押圧して貼付する（以上が「はみ出し領域押圧工程」）。

【0021】

そして、支持テーブル３１の回転と接着シートＡＳの貼付とが続行される中、供給手段１０がエアシリンダ１７Ａを駆動し、カッター刃１７Ｃを進退させて、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥに１周に亘って接着シートＡＳを貼付できる長さとなるように、当該接着シートＡＳを切断する。次いで、切断によって形成された接着シートＡＳの新たな供給方向先端部が剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａの駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止する。その後、切断によって形成された接着シートＡＳの供給方向後端部が被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されて一体物ＵＰが形成されると、移動手段３０が回動モータ３２の駆動を停止する。この際、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付された接着シートＡＳの先端部と後端部は、相互に重なり合っていてもよいし、離間していてもよいし、突き合わせられるように接触していてもよい。

【0022】

次に、移動手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、上押え板３４Ｃを初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面３３Ａでの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0023】

以上のような実施形態によれば、はみ出し領域ＡＳＨに熱を付与して当該接着シートＡＳを変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを外縁端面ＷＫＥに隣接する一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付するので、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥおよび当該外縁端面ＷＫＥに隣接する一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の外縁端面ＷＫＥ側を接着シートで確実に保護することができる。

【0024】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、所定のエネルギーによって変形可能な接着シートを供給可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0025】

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、図示しない付勢手段が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよいし、供給手段１０と押圧ローラ２１との間ＣＬに跨っている接着シートＡＳを切断したり、被着体ＷＫ上で接着シートＡＳを切断したりする長さ調整手段１７を採用してもよいし、予め所定長さとされた接着シートＡＳが採用された場合や、帯状接着シート原反を繰り出す途中で所定形状の接着シートＡＳを形成する場合等において、長さ調整手段１７は、あってもよいし、なくてもよい。

【0026】

押圧手段２０は、接着シートＡＳの供給方向ＳＤに沿う一方の外縁ＡＳ１側のみが、外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように当該接着シートＡＳを外縁端面ＷＫＥに押圧してもよいし、接着シートＡＳの供給方向ＳＤに沿う他方の外縁ＡＳ２側のみが、外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように当該接着シートＡＳを外縁端面ＷＫＥに押圧してもよい。

【0027】

移動手段３０は、支持テーブル３３を移動させることなくまたは移動させつつ、供給手段１０や押圧手段２０を移動させ、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、保持面３３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル３３が採用されてもよいし、上押え手段３４を備えていてもよいし、備えていなくてもよい。

【0028】

折り曲げ貼付手段４０は、はみ出し領域ＡＳＨに熱を付与して変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを外縁端面ＷＫＥに隣接する一方の面ＷＫ１方向のみに折り曲げて貼付してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを外縁端面ＷＫＥに隣接する他方の面ＷＫ２方向のみに折り曲げて貼付してもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する熱風の温度を使用者が任意に決定することができる。
折り曲げ貼付手段４０が接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーは、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができる。

【0029】

はみ出し領域押圧手段５０は、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３の３体でなく、例えば、１体または２体の押圧ローラで構成したり、４体以上の押圧ローラで構成したりしてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３に代えてまたは併用して、気体の噴き付けによるもの、ブラシ状部材によるもの、ブレード状部材によるもの等が採用されてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３等の押圧するものの材質が、ゴム、樹脂、スポンジ、金属等であってもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３が一対でなくてもよく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側または他方の面ＷＫ２側のみに設けられ、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１のみに押圧してもよいし、他方の面ＷＫ２のみに押圧してもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ５１、５２、５３のＺ軸に対する傾斜角度が、それぞれ３０度、６０度、９０度以外の傾斜角度でもよく、例えば、それぞれの傾斜角度が、それぞれ１５度、４５度、９１度等どのような傾斜角度でもよいし、はみ出し領域押圧工程を行わなくても、当該はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付する場合、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0030】

シート貼付装置ＥＡは、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥと当該外縁端面ＷＫＥに隣接する他の面とに１枚の接着シートＡＳまたは複数枚の接着シートＡＳを貼付してもよいし、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥと当該外縁端面ＷＫＥに隣接する他の面とに１枚の接着シートＡＳまたは複数の接着シートＡＳを貼付する場合、接着シートＡＳの供給方向先端部と供給方向後端部とが相互に重なり合っていてもよいし、離間していてもよいし、突き合わせられるように接触していてもよい。
シート貼付装置ＥＡは、支持テーブル３３と被着体ＷＫとの間に金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置し、接着シートＡＳで被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよい。
接着シートＡＳは、所定のエネルギーとして紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等によって変形可能なものでもよいし、所定のエネルギーによって収縮を伴って変形するものでもよいし、膨張を伴って変形するものでもよいし、収縮も膨張も伴うことなく変形するものでもよい。

【0031】

本発明における接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、支持部材および被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0032】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0033】

ＥＡ…シート貼付装置
１０…供給手段
２０…押圧手段
３０…移動手段
４０…折り曲げ貼付手段
５０…はみ出し領域押圧手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…一方の外縁
ＡＳ２…他方の外縁
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（他の面）
ＷＫ２…他方の面（他の面）
ＷＫＥ…外縁端面

【要約】      （修正有）

【課題】被着体の外縁端面及び当該外縁端面に隣接する他の面の外縁端面側を接着シートで確実に保護するシート貼付装置及びシート貼付方法を提供する。
【解決手段】シート貼付装置ＥＡは、所定のエネルギーによって変形可能な接着シートＡＳを供給する供給手段１０と、接着シートＡＳを被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥに押圧する押圧手段２０と、外縁端面ＷＫＥに接着シートＡＳを貼付する移動手段３０と、折り曲げ貼付手段４０と、を備える。押圧手段２０は、接着シートＡＳの供給方向に沿う一方の外縁ＡＳ１側及び他方の外縁ＡＳ２側のうち少なくとも一方が、外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように接着シートＡＳを外縁端面ＷＫＥに押圧する。折り曲げ貼付手段４０は、はみ出し領域ＡＳＨに熱を付与して変形させ、はみ出し領域ＡＳＨを外縁端面ＷＫＥに隣接する他の面ＷＫ１、ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する。
【選択図】図１

【図1】