特許 7145340 トレース支援装置およびトレース支援方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-21

(45)【発行日】2022-09-30

(54)【発明の名称】トレース支援装置およびトレース支援方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/00 20060101AFI20220922BHJP

   H05K 13/02 20060101ALI20220922BHJP

【ＦＩ】

H05K13/00 Z

H05K13/02 Z

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2021545016

(86)(22)【出願日】2019-09-11

(86)【国際出願番号】 JP2019035605

(87)【国際公開番号】W WO2021048933

(87)【国際公開日】2021-03-18

【審査請求日】2021-12-08

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中井 健二

【審査官】中田 誠二郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－３１０５８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２８９１５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３２７９０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１６５１２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１８８３０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機を備える基板生産ラインに対するオペレータの複数の操作履歴を記録した操作ログ、および、前記オペレータの操作に起因して作動する前記基板生産ラインの複数の動作履歴を記録した動作ログを関連付けて記憶装置に記憶させる記憶部と、
前記対基板作業において所定のトリガー事象が発生したときに、前記トリガー事象に関連する少なくとも一つの前記操作履歴である対象操作履歴、前記対象操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である対象動作履歴、前記対象操作履歴と同一または類似の少なくとも一つの前記操作履歴である比較操作履歴、および、前記比較操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である比較動作履歴を、前記記憶装置に記憶されている前記操作ログおよび前記動作ログから取得する取得部と、
前記取得部によって取得された前記対象動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作、および、前記比較動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作を対比可能に出力する出力部と、
を備えるトレース支援装置。

【請求項2】

前記取得部は、前記オペレータに複数の前記対象操作履歴を提示して、前記オペレータによって選択された少なくとも一つの前記対象操作履歴を取得する請求項１に記載のトレース支援装置。

【請求項3】

前記取得部は、前記トリガー事象が発生した時刻の直前に前記オペレータが前記基板生産ラインに対して行った操作が記録されている前記操作履歴を前記対象操作履歴として取得する請求項１に記載のトレース支援装置。

【請求項4】

前記取得部は、前記トリガー事象が発生した時刻の直前に前記オペレータが前記基板生産ラインに対して行った操作が記録されている前記操作履歴から順に遡って複数の前記対象操作履歴を取得する請求項１に記載のトレース支援装置。

【請求項5】

前記取得部は、前記オペレータに複数の前記比較操作履歴を提示して、前記オペレータによって選択された少なくとも一つの前記比較操作履歴を取得する請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のトレース支援装置。

【請求項6】

前記取得部は、前記対象操作履歴に記録されている前記オペレータの操作の順序、間隔および種類について、一致度が高い前記操作履歴ほど前記比較操作履歴として取得する請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のトレース支援装置。

【請求項7】

前記比較操作履歴は、前記対象操作履歴に記録されている前記オペレータの操作を全て含む前記操作履歴である請求項１～請求項６のいずれか一項に記載のトレース支援装置。

【請求項8】

前記対象動作履歴および前記比較動作履歴には、前記対基板作業機に着脱可能に設けられる機器の装着状態、取り外し状態または動作状態を検出する検出器の検出信号が記録されており、
前記出力部は、前記対象動作履歴および前記比較動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作として、前記検出信号の経時変化を対比可能に表示する請求項１～請求項７のいずれか一項に記載のトレース支援装置。

【請求項9】

前記トリガー事象は、前記対基板作業機による前記対基板作業の実行中に検出された作業エラーであり、
前記対象動作履歴および前記比較動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作の差異に基づいて、前記作業エラーの要因解析を行う解析部をさらに備える請求項１～請求項８のいずれか一項に記載のトレース支援装置。

【請求項10】

前記作業エラーが検出されたときの前記動作履歴および前記作業エラーの要因を関連付けて収集する収集部をさらに備え、
前記解析部は、今回、前記要因解析を行う前記対象動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作と、前記収集部によって収集された過去の前記動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作とが同一または類似するときに、前記収集部によって収集された当該動作履歴に関連付けられている前記作業エラーの要因を出力する請求項９に記載のトレース支援装置。

【請求項11】

前記基板生産ラインは、
前記対基板作業機による基板製品の生産に必要な物品を保管する保管装置と、
前記保管装置に保管されている前記物品を前記対基板作業機に供給し、前記対基板作業機で不要になった前記物品を前記保管装置に回収する物品移動装置と、
をさらに備え、
前記動作ログには、前記対基板作業機、前記保管装置および前記物品移動装置の前記動作履歴が記録されている請求項１～請求項１０のいずれか一項に記載のトレース支援装置。

【請求項12】

前記対基板作業機は、
前記基板製品の生産に必要な前記物品を交換可能に保持する第一スロットと、
前記物品を予備的に保持可能、または、回収する前記物品を一時的に保持可能な第二スロットと、
を備え、
前記物品移動装置は、前記第一スロットと前記第二スロットとの間で前記物品の交換作業を行い、
前記動作ログには、前記物品移動装置による前記物品の前記交換作業の前記動作履歴が記録されている請求項１１に記載のトレース支援装置。

【請求項13】

基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機を備える基板生産ラインに対するオペレータの複数の操作履歴を記録した操作ログ、および、前記オペレータの操作に起因して作動する前記基板生産ラインの複数の動作履歴を記録した動作ログを関連付けて記憶装置に記憶させる記憶工程と、
前記対基板作業において所定のトリガー事象が発生したときに、前記トリガー事象に関連する少なくとも一つの前記操作履歴である対象操作履歴、前記対象操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である対象動作履歴、前記対象操作履歴と同一または類似の少なくとも一つの前記操作履歴である比較操作履歴、および、前記比較操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である比較動作履歴を、前記記憶装置に記憶されている前記操作ログおよび前記動作ログから取得する取得工程と、
前記取得工程によって取得された前記対象動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作、および、前記比較動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作を対比可能に出力する出力工程と、
を備えるトレース支援方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、トレース支援装置およびトレース支援方法に関する技術を開示する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載の部品実装情報の収集方法は、部品実装情報収集ステップと、記憶ステップとを備えている。部品実装情報収集ステップは、部品実装装置による部品の実装工程において生じる部品実装情報（ロギング情報）を収集する。記憶ステップは、収集された部品実装情報（ロギング情報）をメモリに記憶する。これにより、特許文献１に記載の部品実装情報の収集方法は、部品の実装工程において生じた問題を容易に解析しようとしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００６－１６５１２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載のロギング情報には、基板の番号、部品の実装位置、部品の部品名、部品の実装条件、部品実装時の所定の実測値、取得画像などの種々の情報が含まれる。また、部品の実装条件には、部品の実装時に使用されるボンディングヘッドのヘッド位置の設定値、ヘッド圧力の設定値、ヘッド温度の設定値などの種々の条件が含まれる。このように、ロギング情報の種類は多く、メモリが記憶しているロギング情報の情報量は増加し易い。そのため、例えば、作業エラーなどのトリガー事象が発生したときに、取集した種々のロギング情報から、トリガー事象に関連するロギング情報を取得して比較することは、困難である。

【0005】

このような事情に鑑みて、本明細書は、基板生産ラインの複数の動作履歴が記録されている動作ログから、トリガー事象に関連する基板生産ラインの動作と、比較すべき基板生産ラインの動作とを対比可能に出力するトレース支援装置およびトレース支援方法を開示する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書は、記憶部と、取得部と、出力部とを備えるトレース支援装置を開示する。前記記憶部は、基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機を備える基板生産ラインに対するオペレータの複数の操作履歴を記録した操作ログ、および、前記オペレータの操作に起因して作動する前記基板生産ラインの複数の動作履歴を記録した動作ログを関連付けて記憶装置に記憶させる。前記取得部は、前記対基板作業において所定のトリガー事象が発生したときに、対象操作履歴、対象動作履歴、比較操作履歴および比較動作履歴を、前記記憶装置に記憶されている前記操作ログおよび前記動作ログから取得する。前記対象操作履歴は、前記トリガー事象に関連する少なくとも一つの前記操作履歴である。前記対象動作履歴は、前記対象操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である。前記比較操作履歴は、前記対象操作履歴と同一または類似の少なくとも一つの前記操作履歴である。前記比較動作履歴は、前記比較操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である。前記出力部は、前記取得部によって取得された前記対象動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作、および、前記比較動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作を対比可能に出力する。

【0007】

また、本明細書は、記憶工程と、取得工程と、出力工程とを備えるトレース支援方法を開示する。前記記憶工程は、基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機を備える基板生産ラインに対するオペレータの複数の操作履歴を記録した操作ログ、および、前記オペレータの操作に起因して作動する前記基板生産ラインの複数の動作履歴を記録した動作ログを関連付けて記憶装置に記憶させる。前記取得工程は、前記対基板作業において所定のトリガー事象が発生したときに、対象操作履歴、対象動作履歴、比較操作履歴および比較動作履歴を、前記記憶装置に記憶されている前記操作ログおよび前記動作ログから取得する。前記対象操作履歴は、前記トリガー事象に関連する少なくとも一つの前記操作履歴である。前記対象動作履歴は、前記対象操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である。前記比較操作履歴は、前記対象操作履歴と同一または類似の少なくとも一つの前記操作履歴である。前記比較動作履歴は、前記比較操作履歴に関連付けられている少なくとも一つの前記動作履歴である。前記出力工程は、前記取得工程によって取得された前記対象動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作、および、前記比較動作履歴に記録されている前記基板生産ラインの動作を対比可能に出力する。

【発明の効果】

【0008】

トレース支援装置は、記憶部、取得部および出力部を備える。よって、トレース支援装置は、トリガー事象に関連する対象操作履歴に関連付けられている対象動作履歴に記録されている基板生産ラインの動作と、対象操作履歴と同一または類似の比較操作履歴に関連付けられている比較動作履歴に記録されている基板生産ラインの動作とを対比可能に出力することができる。トレース支援装置について上述したことは、トレース支援方法についても同様に言える。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】基板生産ラインの構成例を示す平面図である。

【図2】図１の交換システムおよび部品装着機の概略構成を示す斜視図である。

【図3】図２のフィーダの外観を示す斜視図である。

【図4】物品移動装置と部品装着機の部品供給装置との間におけるフィーダの交換作業の一例を示す平面図である。

【図5】トレース支援装置の制御ブロックの一例を示すブロック図である。

【図6】トレース支援装置による制御手順の一例を示すフローチャートである。

【図7A】操作ログおよび動作ログの一例を示す模式図である。

【図7B】対象操作履歴の取得方法の一例を示す模式図である。

【図7C】対象動作履歴の一例を示す模式図である。

【図7D】比較操作履歴の取得方法の一例を示す模式図である。

【図7E】比較動作履歴の一例を示す模式図である。

【図8A】機器（装着ヘッド）の動作状態を検出する検出器の検出信号の経時変化の一例を示す模式図である。

【図8B】機器（フィーダ）の装着状態または取り外し状態を検出する検出器の検出信号の経時変化の一例を示す模式図である。

【図8C】ライン制御コンピュータと部品装着機との間の通信状態の経時変化の一例を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

１．実施形態
１－１．基板生産ライン１の構成例
図１に示すように、基板生産ライン１は、少なくとも一つ（同図では、４つ）の部品装着機１０と、交換システム３０と、物品移動装置４０と、保管装置５と、ライン制御コンピュータ６とを備えている。４つの部品装着機１０は、図２に示す基板９０の搬送方向に沿って設置されている。部品装着機１０は、基板９０に所定の対基板作業を行う対基板作業機ＷＭに含まれる。部品装着機１０による対基板作業には、基板９０の搬入作業および搬出作業、部品の採取作業および装着作業などが含まれる。部品装着機１０には、例えば、カセット式のフィーダ２０が着脱可能に設けられる。

【0011】

基板生産ライン１の基板搬入側（図１の紙面左側）には、例えば、フィーダ２０の保管に用いられる保管装置５が設置されている。また、基板生産ライン１には、交換システム３０および物品移動装置４０が設けられており、フィーダ２０の補給作業、交換作業および回収作業を行う。なお、基板生産ライン１は、例えば、生産する基板製品の種別などに応じて、その構成を適宜追加、変更され得る。具体的には、基板生産ライン１には、例えば、はんだ印刷機、検査機、リフロー炉などの対基板作業機ＷＭが適宜設置され得る。

【0012】

基板生産ライン１を構成する各装置は、ネットワークを介してライン制御コンピュータ６と種々のデータを入出力可能に構成されている。例えば、保管装置５は、複数のスロットを備えている。保管装置５は、複数のスロットに装備されたフィーダ２０をストックする。保管装置５のスロットに装備されたフィーダ２０は、ライン制御コンピュータ６との間で通信可能な状態になる。これにより、保管装置５のスロットと当該スロットに装備されたフィーダ２０の識別符号が関連付けられて、ライン制御コンピュータ６に記録される。

【0013】

また、ライン制御コンピュータ６は、基板生産ライン１の動作状況を監視し、部品装着機１０などの対基板作業機ＷＭ、交換システム３０、物品移動装置４０および保管装置５を統括制御する。ライン制御コンピュータ６には、対基板作業機ＷＭ、交換システム３０、物品移動装置４０および保管装置５を制御するための各種データが記憶されている。ライン制御コンピュータ６は、例えば、部品装着機１０による部品の装着処理の実行に際して、制御プログラムなどの各種データを送出する。

【0014】

１－２．部品装着機１０の構成例
図２に示すように、４つの部品装着機１０の各々は、基板搬送装置１１と、部品供給装置１２と、ヘッド駆動装置１３とを備えている。以下の説明において、部品装着機１０の水平幅方向であり基板９０の搬送方向をＸ方向とし、部品装着機１０の水平奥行き方向をＹ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な鉛直方向（図２の紙面上下方向）をＺ方向とする。

【0015】

基板搬送装置１１は、例えば、ベルトコンベアおよび位置決め装置などによって構成されている。基板搬送装置１１は、基板９０を搬送方向へ順次搬送するとともに、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１０の機外に搬出する。

【0016】

部品供給装置１２は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、複数のフィーダ２０を装備可能な第一スロット１２１および第二スロット１２２を備えている。本実施形態では、第一スロット１２１は、部品装着機１０の前部側の上部に配置され、装備されたフィーダ２０を動作可能に保持する。第一スロット１２１に装備されたフィーダ２０は、部品装着機１０による装着処理において動作を制御され、当該フィーダ２０の上部の規定位置に設けられた取り出し部において部品を供給する。

【0017】

本実施形態では、第二スロット１２２は、第一スロット１２１の下方に配置され、装備されたフィーダ２０をストックする。つまり、第二スロット１２２は、生産に用いられるフィーダ２０を予備的に保持し、または、生産に用いられた使用済みのフィーダ２０を一時的に保持する。なお、第一スロット１２１と第二スロット１２２との間におけるフィーダ２０の交換作業は、物品移動装置４０によって行われる。

【0018】

また、フィーダ２０は、部品供給装置１２の第一スロット１２１または第二スロット１２２に装備されると、コネクタを介して部品装着機１０から電力が供給される。そして、フィーダ２０は、部品装着機１０との間で通信可能な状態となる。第一スロット１２１に装備されたフィーダ２０は、部品装着機１０による制御指令などに基づいて、部品を収容するキャリアテープの送り動作が制御される。これにより、フィーダ２０は、フィーダ２０の上部に設けられた取り出し部において、装着ヘッド１３２の保持部材によって部品を採取可能に供給する。

【0019】

ヘッド駆動装置１３は、直動機構によって移動台１３１を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させる。移動台１３１には、クランプ部材によって装着ヘッド１３２が交換可能（着脱可能）に固定されている。装着ヘッド１３２は、ヘッド駆動装置１３の直動機構によって移動台１３１と一体的にＸＹ方向に移動される。装着ヘッド１３２は、部品供給装置１２によって供給された部品を保持部材によって採取する。保持部材は、例えば、供給される負圧エアによって部品を吸着する吸着ノズル、部品を把持するチャックなどを用いることができる。

【0020】

装着ヘッド１３２は、保持部材をＺ方向に移動可能に、且つ、Ｚ軸に平行なＱ軸周りに回転可能に保持する。装着ヘッド１３２は、採取した部品の姿勢に応じて保持部材の位置および角度を調整する。そして、装着ヘッド１３２は、制御プログラムによって指令される基板９０の装着位置に部品を装着する。上記の部品のピックアンドプレースサイクルの所定サイクル数分の所要時間と、基板９０の搬入および搬出に要する所要時間との合計時間は、基板９０一枚当たりのサイクルタイムである。

【0021】

なお、装着ヘッド１３２に設けられる保持部材は、基板９０に部品を装着する装着処理において部品の種別に応じて適宜変更され得る。部品装着機１０は、例えば、実行する装着処理にて用いる吸着ノズルが装着ヘッド１３２に取り付けられていない場合に、ノズルステーションに収容されている吸着ノズルを、装着ヘッド１３２に取り付ける。ノズルステーションは、部品装着機１０の機内の所定位置に着脱可能に装備される。

【0022】

１－３．フィーダ２０の構成例
図３に示すように、フィーダ２０は、フィーダ本体２１と、駆動装置２２とを備えている。本実施形態のフィーダ本体２１は、扁平な箱形状に形成されている。フィーダ本体２１は、多数の部品を収容するキャリアテープが巻回されたリールを着脱可能（交換可能）に保持する。駆動装置２２は、キャリアテープに設けられた送り穴に係合するスプロケットを備えている。駆動装置２２は、スプロケットを回転させてキャリアテープを送り移動させる。

【0023】

フィーダ２０は、制御装置（図示略）によって駆動装置２２の動作が制御される。フィーダ２０は、部品装着機１０の第一スロット１２１に装備されると、コネクタを介して部品装着機１０から電力の供給を受ける。これにより、フィーダ２０の制御装置は、部品装着機１０との間で通信可能な状態になる。第一スロット１２１について上述したことは、第二スロット１２２についても同様に言える。これにより、部品装着機１０は、第一スロット１２１および第二スロット１２２におけるフィーダ２０の補給および回収を検出することができる。

【0024】

１－４．交換システム３０および物品移動装置４０の構成例
図１および図２に示すように、交換システム３０は、第一レール３１と、第二レール３２とを備えている。第一レール３１および第二レール３２は、物品移動装置４０の走行路を形成する。第一レール３１は、４つの部品装着機１０の配置方向に沿って設けられ、上下方向（Ｚ方向）において、第一スロット１２１と、第二スロット１２２との間に設けられている。第二レール３２は、４つの部品装着機１０の配置方向に沿って設けられ、上下方向（Ｚ方向）において、第二スロット１２２の下方に設けられている。第一レール３１および第二レール３２は、基板生産ライン１において、基板９０の搬送方向の概ね全域に亘って延伸している。

【0025】

物品移動装置４０は、第一レール３１および第二レール３２によって形成される走行路に沿って走行可能に設けられている。物品移動装置４０は、例えば、第一レール３１に設けられる送電部と対向して設けられる受電部を介して、非接触給電によって送電部から電力の供給を受ける。受電部が受け取った電力は、受電回路を介して物品移動装置４０の走行、所定作業などに用いられる。なお、物品移動装置４０は、例えば、位置検出装置によって走行路上の位置（現在位置）を検出する。位置検出装置には、例えば、光学的な検出方式、電磁誘導を用いた検出方式などを適用できる。

【0026】

上記の「所定作業」には、部品装着機１０などの対基板作業機ＷＭに着脱可能に設けられる機器ＤＤ０を、対基板作業機ＷＭとの間で交換する交換作業が含まれる。本実施形態では、物品移動装置４０は、基板９０に装着される部品を供給するフィーダ２０を機器ＤＤ０として、対基板作業機ＷＭである部品装着機１０との間、および、保管装置５との間でフィーダ２０の交換作業を行う。

【0027】

本実施形態では、物品移動装置４０は、保管装置５から部品装着機１０の第一スロット１２１または第二スロット１２２にフィーダ２０を搬送して、フィーダ２０の補給作業を行う。また、物品移動装置４０は、部品装着機１０の第一スロット１２１と第二スロット１２２との間で、フィーダ２０の交換作業を行う。さらに、物品移動装置４０は、不要になったフィーダ２０を部品装着機１０から保管装置５に搬送して、フィーダ２０の回収作業を行う。

【0028】

図４に示すように、物品移動装置４０は、少なくとも一つ（同図では、２つ）の保持部４１と、制御装置４２とを備えている。本実施形態では、２つの保持部４１の各々は、複数（同図では、２つ）のフィーダ２０を同時にクランプ可能であり、複数（２つ）のフィーダ２０を同時に保持することができる。また、２つの保持部４１の各々は、例えば、直動機構などによって、フィーダ２０の着脱方向（本実施形態ではＹ方向）に沿って独立して移動可能であり、複数（２つ）のフィーダ２０を同時にＹ方向に沿って移動させることができる。

【0029】

さらに、２つの保持部４１は、例えば、直動機構などによって、上下方向（Ｚ方向）に一体的に移動可能であり、複数（４つ）のフィーダ２０を同時にＺ方向に移動させることもできる。なお、物品移動装置４０は、例えば、複数（４つ）の保持部４１を備えることもできる。この場合、複数（４つ）の保持部４１の各々が一つのフィーダ２０をクランプして、複数（４つ）のフィーダ２０を独立にＹ方向およびＺ方向に移動させることができる。また、保持部４１の形態は、クランプ機構、直動機構に限定されるものではなく、種々の形態をとり得る。例えば、保持部４１は、フィーダ２０に設けられる穴部と嵌合可能な突出部を備えることもできる。この場合、保持部４１の突出部がフィーダ２０の穴部と嵌合することにより、フィーダ２０が保持される。

【0030】

制御装置４２は、公知の演算装置および記憶装置を備えており、制御回路が構成されている（いずれも図示略）。制御装置４２は、４つの部品装着機１０、交換システム３０、保管装置５およびライン制御コンピュータ６と通信可能に接続されている。制御装置４２は、物品移動装置４０の走行、２つの保持部４１の動作などを制御する。上記の構成により、物品移動装置４０は、第一レール３１および第二レール３２に沿って所定位置まで移動するとともに、停止位置においてフィーダ２０の交換作業を行うことができる。

【0031】

１－５．トレース支援装置５０の構成例
基板生産ライン１は、対基板作業機ＷＭ、物品移動装置４０および保管装置５の各々において、基板製品の生産に関する種々の動作履歴を取得している。取得した基板生産ライン１の動作履歴は、図５に示す記憶装置６ＤＳにおいて記憶される。そして、例えば、作業エラーなどのトリガー事象が発生すると、基板生産ライン１の製造者または使用者のエンジニアは、トリガー事象に関連する基板生産ライン１の動作履歴を記憶装置６ＤＳから取得して、取得した動作履歴に基づいて、トリガー事象の要因解析を行う。

【0032】

しかしながら、基板生産ライン１の動作履歴の種類は多く、記憶装置６ＤＳが記憶している動作履歴の情報量は増加し易い。そのため、トリガー事象が発生したときに、記憶している種々の動作履歴からトリガー事象に関連する動作履歴を取得して比較することは困難である。そこで、本実施形態の基板生産ライン１には、トレース支援装置５０が設けられている。トレース支援装置５０は、基板生産ライン１の複数の動作履歴が記録されている動作ログＭＬ０から、トリガー事象に関連する基板生産ライン１の動作と、比較すべき基板生産ライン１の動作とを対比可能に出力する。

【0033】

図５に示すように、トレース支援装置５０は、制御ブロックとして捉えると、記憶部５１と、取得部５２と、出力部５３とを備えている。トレース支援装置５０は、解析部５４をさらに備えることができ、解析部５４および収集部５５の両方を備えることもできる。本実施形態のトレース支援装置５０は、記憶部５１と、取得部５２と、出力部５３と、解析部５４と、収集部５５とを備えている。

【0034】

トレース支援装置５０は、種々の制御装置、演算装置に設けることができる。本実施形態のトレース支援装置５０は、ライン制御コンピュータ６に設けられており、ライン制御コンピュータ６には、記憶装置６ＤＳが設けられている。トレース支援装置５０は、例えば、複数の基板生産ライン１を管理する管理装置（図示略）に設けることもできる。また、トレース支援装置５０は、クラウド上に形成することもできる。

【0035】

トレース支援装置５０は、図６に示すフローチャートに従って、制御を実行する。記憶部５１は、ステップＳ１１に示す処理を行う。取得部５２は、ステップＳ１２に示す処理を行う。出力部５３は、ステップＳ１３に示す処理を行う。解析部５４は、ステップＳ１４に示す処理を行う。収集部５５は、ステップＳ１５に示す処理を行う。

【0036】

１－５－１．記憶部５１
記憶部５１は、基板生産ライン１に対するオペレータの複数の操作履歴を記録した操作ログＨＬ０、および、オペレータの操作に起因して作動する基板生産ライン１の複数の動作履歴を記録した動作ログＭＬ０を関連付けて記憶装置６ＤＳに記憶させる（図６に示すステップＳ１１）。

【0037】

操作ログＨＬ０は、基板生産ライン１に対するオペレータの操作履歴を記録したものであれば良く、オペレータの操作は、限定されない。例えば、オペレータは、図５に示す基板生産ライン１に設けられる表示装置６ＤＰを用いて、基板生産ライン１に種々の指示を行うことができる。例えば、オペレータは、基板製品の生産の開始および停止を基板生産ライン１に指示することができる。

【0038】

また、オペレータは、対基板作業機ＷＭに着脱可能に設けられる機器ＤＤ０の装着作業または取り外し作業の開始または終了を基板生産ライン１に指示することもできる。対基板作業機ＷＭが部品装着機１０の場合、例えば、フィーダ２０、複数の部品を収容するリールまたは部品トレイ、装着ヘッド１３２、保持部材（吸着ノズル、チャックなど）、ノズルステーションなどは、機器ＤＤ０に含まれる。対基板作業機ＷＭが、はんだ印刷機の場合、例えば、マスク、スキージ、ディスペンスヘッドなどは、機器ＤＤ０に含まれる。対基板作業機ＷＭが検査機の場合、例えば、検査ヘッドなどは、機器ＤＤ０に含まれる。

【0039】

さらに、オペレータは、基板生産ライン１を駆動させる制御プログラムの変更などの基板生産ライン１の動作条件の変更を基板生産ライン１に指示することもできる。このように、オペレータの操作には、基板生産ライン１の構成を変更する指示、基板生産ライン１の動作条件を変更する指示などが含まれる。オペレータによって行われた操作（操作内容）は、操作された日時と共に操作履歴として操作ログＨＬ０に記録される。

【0040】

動作ログＭＬ０は、オペレータの操作に起因して作動する基板生産ライン１の動作履歴を記録したものであれば良く、基板生産ライン１の動作は、限定されない。上述した例では、オペレータの基板製品の生産開始の指示に起因して、基板生産ライン１における基板製品の生産が開始される。また、オペレータの基板製品の生産停止の指示に起因して、基板生産ライン１における基板製品の生産が停止される。

【0041】

さらに、オペレータによる基板生産ライン１の構成を変更する指示に起因して、基板生産ライン１の構成が変更されて、構成が変更された基板生産ライン１が作動する。また、オペレータによる基板生産ライン１の動作条件を変更する指示に起因して、基板生産ライン１の動作条件が変更されて、動作条件が変更された基板生産ライン１が作動する。

【0042】

例えば、対基板作業機ＷＭが部品装着機１０の場合、対基板作業として部品の装着作業が行われるときに、各装置の動作履歴が実行された日時と共に動作ログＭＬ０に記録される。例えば、図２に示す基板搬送装置１１、部品供給装置１２およびヘッド駆動装置１３の各々の動作履歴が動作ログＭＬ０に記録される。なお、動作ログＭＬ０には、各装置の使用機器を特定する識別情報が併せて記録される。

【0043】

記憶装置６ＤＳは、例えば、ハードディスク装置などの磁気記憶装置、フラッシュメモリなどの半導体素子を使用した記憶装置などを用いることができる。記憶装置６ＤＳには、操作ログＨＬ０および動作ログＭＬ０が関連付けられて記憶される。記憶部５１は、例えば、事象が生じた日時に基づいて、操作ログＨＬ０および動作ログＭＬ０を関連付けて記憶装置６ＤＳに記憶させることができる。具体的には、記憶部５１は、オペレータによる操作が行われた日時と、基板生産ライン１の動作が生じた日時に基づいて、操作ログＨＬ０および動作ログＭＬ０を関連付けることができる。

【0044】

図７Ａは、操作ログＨＬ０および動作ログＭＬ０の一例を示している。例えば、日時Ｔ１１において、オペレータによる所定の操作が行われて、操作履歴Ｈ１１が記録される。日時Ｔ１２において、オペレータによる当該操作に起因して基板生産ライン１が作動して、動作履歴Ｍ１１が記録される。動作履歴Ｍ１１は、例えば、部品装着機１０の各装置の動作履歴の集合を示している。以下、同様にして、操作履歴Ｈ１２～操作履歴Ｈ１５が記録される。また、同様にして、動作履歴Ｍ１２～動作履歴Ｍ１５、動作履歴Ｍ２１～動作履歴Ｍ２４および動作履歴Ｍ３１～動作履歴Ｍ３３が記録される。

【0045】

なお、操作ログＨＬ０および動作ログＭＬ０は、図７Ａに示すように一つのファイルで記憶しても良く、複数のファイルに分けて記憶しても良い。例えば、基板生産ライン１ごとに記憶装置６ＤＳを設けて、基板生産ライン１ごとにファイルを用意しても良い。また、記憶装置６ＤＳは、操作ログＨＬ０を記録するファイルと、動作ログＭＬ０を記録するファイルを個別に用意しても良い。いずれの場合も、操作ログＨＬ０および動作ログＭＬ０は、事象が生じた日時に基づいて関連付けられる。

【0046】

１－５－２．取得部５２
取得部５２は、対基板作業において所定のトリガー事象が発生したときに、対象操作履歴ＴＨ０、対象動作履歴ＴＭ０、比較操作履歴ＣＨ０および比較動作履歴ＣＭ０を、記憶装置６ＤＳに記憶されている操作ログＨＬ０および動作ログＭＬ０から取得する（図６に示すステップＳ１２）。対象操作履歴ＴＨ０および比較操作履歴ＣＨ０は、操作ログＨＬ０から取得され、対象動作履歴ＴＭ０および比較動作履歴ＣＭ０は、動作ログＭＬ０から取得される。

【0047】

対象操作履歴ＴＨ０は、トリガー事象に関連する少なくとも一つの操作履歴である。トリガー事象は、対基板作業において発生する事象であれば良く、限定されない。例えば、対基板作業機ＷＭによる対基板作業の実行中に検出された作業エラーは、トリガー事象に含まれる。例えば、対基板作業機ＷＭが部品装着機１０であり、作業エラーが部品の装着エラーの場合を想定する。

【0048】

この場合、部品の装着作業に用いられるフィーダ２０、リール、部品トレイ、装着ヘッド１３２、保持部材、ノズルステーションなどの着脱に関する操作履歴は、対象操作履歴ＴＨ０に含まれる。また、部品装着機１０を駆動させる制御プログラムの変更などの部品装着機１０の動作条件を変更する指示に関する操作履歴は、対象操作履歴ＴＨ０に含まれる。上述したことは、既述した機器ＤＤ０の他の部材、はんだ印刷機などの他の対基板作業機ＷＭについても同様に言える。つまり、既述した機器ＤＤ０の着脱に関する操作履歴は、対象操作履歴ＴＨ０に含まれる。対基板作業機ＷＭの動作条件を変更する指示に関する操作履歴は、対象操作履歴ＴＨ０に含まれる。

【0049】

なお、トリガー事象は、作業エラーが検出される場合に限定されない。例えば、対基板作業機ＷＭの動作状態が許容範囲に含まれなくなったことは、トリガー事象に含まれる。例えば、対基板作業機ＷＭの動作状態を示す物理量（例えば、電圧、電流、電力、温度、圧力など）が許容範囲に含まれなくなった場合が想定される。この場合も、作業エラーが検出される場合と同様の操作履歴が対象操作履歴ＴＨ０に含まれる。

【0050】

取得部５２は、オペレータに複数の対象操作履歴ＴＨ０を提示して、オペレータによって選択された少なくとも一つの対象操作履歴ＴＨ０を取得することができる。図７Ｂは、対象操作履歴ＴＨ０の取得方法の一例を示している。同図は、基板生産ライン１に設けられる表示装置６ＤＰに表示される情報の一例を示している。なお、説明の便宜上、同図では操作履歴が図示されているが、実際は、操作履歴に記録されているオペレータの操作内容が表示される。また、同図に示す日時および操作履歴（対象操作履歴ＴＨ０）は、図７Ａに示す日時および操作履歴に対応している。

【0051】

例えば、図７Ａに示す操作履歴Ｈ１１～操作履歴Ｈ１５のうち、操作履歴Ｈ１１、操作履歴Ｈ１２および操作履歴Ｈ１３が対象操作履歴ＴＨ０の候補である場合を想定する。この場合、取得部５２は、記憶装置６ＤＳから図７Ｂに示す７つの対象操作履歴ＴＨ０を取得する。そして、取得部５２は、オペレータによる選択が可能なチェックボックスと、対象操作履歴ＴＨ０に記録されているオペレータの操作が行われた日時と、対象操作履歴ＴＨ０に記録されているオペレータの操作内容とを時系列に表示する。

【0052】

オペレータは、取得部５２によって提示された複数（７つ）の対象操作履歴ＴＨ０から、少なくとも一つの対象操作履歴ＴＨ０を任意に選択することができる。図７Ｂは、日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１２がオペレータによって選択され、取得部５２が２つの操作履歴を対象操作履歴ＴＨ０として取得することを示している。

【0053】

また、トリガー事象が発生した時刻に近いオペレータの操作ほど、トリガー事象の発生に関与している可能性が高い。そこで、取得部５２は、トリガー事象が発生した時刻の直前にオペレータが基板生産ライン１に対して行った操作が記録されている操作履歴を対象操作履歴ＴＨ０として取得することができる。この場合、オペレータによる選択は不要である。例えば、図７Ａに示す日時Ｔ３６において、トリガー事象が発生したとする。この場合、取得部５２は、日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１２を対象操作履歴ＴＨ０として取得する。

【0054】

また、取得部５２は、トリガー事象が発生した時刻の直前にオペレータが基板生産ライン１に対して行った操作が記録されている操作履歴から順に遡って複数の対象操作履歴ＴＨ０を取得することもできる。取得部５２は、例えば、日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１２と、日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１とを、対象操作履歴ＴＨ０として取得することができる。なお、取得部５２が取得する対象操作履歴ＴＨ０の数は、限定されない。

【0055】

対象動作履歴ＴＭ０は、対象操作履歴ＴＨ０に関連付けられている少なくとも一つの動作履歴である。例えば、取得部５２が、日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１２を対象操作履歴ＴＨ０として取得した場合を想定する。図７Ａに示すように、動作履歴Ｍ３１は、日時Ｔ３１のオペレータの操作に起因して、日時Ｔ３２において基板生産ライン１が作動して記録された動作履歴である。

【0056】

また、動作履歴Ｍ３２は、日時Ｔ３１のオペレータの操作に起因して、日時Ｔ３３において基板生産ライン１が作動して記録された動作履歴である。このように、動作履歴Ｍ３１および動作履歴Ｍ３２は、日時Ｔ３１のオペレータの操作に起因して作動した動作履歴であり、日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１（対象操作履歴ＴＨ０）に関連付けられる。

【0057】

同様に、図７Ａに示す動作履歴Ｍ３３は、日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１２（対象操作履歴ＴＨ０）に関連付けられる。図７Ｃは、対象動作履歴ＴＭ０の一例を示している。同図では、日時Ｔ３２に作動した動作履歴Ｍ３１と、日時Ｔ３３に作動した動作履歴Ｍ３２と、日時Ｔ３５に作動した動作履歴Ｍ３３とが、対象動作履歴ＴＭ０として図示されている。

【0058】

このように、一つの対象操作履歴ＴＨ０に複数の対象動作履歴ＴＭ０が関連付けられる場合があり、一つの対象操作履歴ＴＨ０に一つの対象動作履歴ＴＭ０が関連付けられる場合もある。また、オペレータによる複数の操作が行われた後に、当該複数の操作に起因して基板生産ライン１が作動する場合もある。よって、複数の対象操作履歴ＴＨ０に一つの対象動作履歴ＴＭ０が関連付けられる場合もあり、複数の対象操作履歴ＴＨ０に複数の対象動作履歴ＴＭ０が関連付けられる場合もある。なお、既述したように、対象操作履歴ＴＨ０および対象動作履歴ＴＭ０の関連付けは、記憶部５１によって行われる。

【0059】

比較操作履歴ＣＨ０は、対象操作履歴ＴＨ０と同一または類似の少なくとも一つの操作履歴である。比較操作履歴ＣＨ０に記録されているオペレータの操作（例えば、操作の順序、間隔および種類）と、対象操作履歴ＴＨ０に記録されているオペレータの操作（例えば、操作の順序、間隔および種類）とが一致する場合、比較操作履歴ＣＨ０は、対象操作履歴ＴＨ０と同一の操作履歴である。対象操作履歴ＴＨ０に記録されているオペレータの操作を全て含み、他の操作を含む比較操作履歴ＣＨ０は、対象操作履歴ＴＨ０と類似する操作履歴に含まれる。

【0060】

いずれの場合も、比較操作履歴ＣＨ０は、対象操作履歴ＴＨ０に記録されているオペレータの操作を全て含む操作履歴である。このように、対象操作履歴ＴＨ０に記録されているオペレータの操作を全て含む操作履歴は、関連付けられる動作履歴に記録されている基板生産ライン１の動作が一致または類似し易い。そこで、取得部５２は、記憶装置６ＤＳに記憶されている操作ログＨＬ０から比較操作履歴ＣＨ０を取得する。

【0061】

取得部５２は、オペレータに複数の比較操作履歴ＣＨ０を提示して、オペレータによって選択された少なくとも一つの比較操作履歴ＣＨ０を取得することができる。図７Ｄは、比較操作履歴ＣＨ０の取得方法の一例を示している。同図は、基板生産ライン１に設けられる表示装置６ＤＰに表示される情報の一例を示している。なお、説明の便宜上、同図では操作履歴が図示されているが、実際は、オペレータによる選択が可能なチェックボックスと、日時のみが表示される。また、同図に示す日時および操作履歴（比較操作履歴ＣＨ０）は、図７Ａに示す日時および操作履歴に対応している。

【0062】

例えば、取得部５２が、図７Ａに示す日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１を対象操作履歴ＴＨ０として取得する場合を想定する。日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１（対象操作履歴ＴＨ０）は、記録されているオペレータの操作（操作の種類）が、日時Ｔ１１に操作された操作履歴Ｈ１１、および、日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１と同一であるとする。

【0063】

この場合、取得部５２は、日時Ｔ１１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１を比較操作履歴ＣＨ０の候補とすることができる。取得部５２は、記憶装置６ＤＳから図７Ｄに示す２つの比較操作履歴ＣＨ０を取得する。そして、取得部５２は、オペレータによる選択が可能なチェックボックスと、比較操作履歴ＣＨ０に記録されているオペレータの操作が行われた日時とを時系列に表示する。

【0064】

オペレータは、取得部５２によって提示された複数（２つ）の比較操作履歴ＣＨ０から、少なくとも一つの比較操作履歴ＣＨ０を任意に選択することができる。図７Ｄは、日時Ｔ２１（日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１）がオペレータによって選択され、取得部５２が一つの操作履歴Ｈ１１を比較操作履歴ＣＨ０として取得することを示している。

【0065】

なお、取得部５２が複数の対象操作履歴ＴＨ０を取得する場合、取得部５２は、取得した複数の対象操作履歴ＴＨ０のうち、オペレータによって操作された日時が最も早い対象操作履歴ＴＨ０に対する比較操作履歴ＣＨ０をオペレータに提示することができる。例えば、取得部５２が、図７Ａに示す日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１２を対象操作履歴ＴＨ０として取得する場合を想定する。日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１（対象操作履歴ＴＨ０）は、記録されているオペレータの操作（操作の種類）が、日時Ｔ１１に操作された操作履歴Ｈ１１、および、日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１と同一であるとする。また、日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１２（対象操作履歴ＴＨ０）は、記録されているオペレータの操作（操作の種類）が、日時Ｔ１３に操作された操作履歴Ｈ１２、および、日時Ｔ２４に操作された操作履歴Ｈ１２と同一であるとする。

【0066】

この場合、取得部５２は、複数（２つ）の対象操作履歴ＴＨ０のうち、オペレータによって操作された日時が最も早い日時Ｔ３１に操作された操作履歴Ｈ１１に対する比較操作履歴ＣＨ０の候補をオペレータに提示することができる。例えば、図７Ｄに示すように、オペレータが日時Ｔ２１（日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１）を選択した場合、取得部５２は、日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ２４に操作された操作履歴Ｈ１２を比較操作履歴ＣＨ０として取得する。仮に、オペレータが日時Ｔ１１（日時Ｔ１１に操作された操作履歴Ｈ１１）を選択した場合、取得部５２は、日時Ｔ１１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ１３に操作された操作履歴Ｈ１２を比較操作履歴ＣＨ０として取得する。

【0067】

また、上述した取得部５２が複数（２つ）の対象操作履歴ＴＨ０を取得する場合において、図７Ａに示す日時Ｔ３４に操作された操作履歴が、操作履歴Ｈ１２ではなく操作履歴Ｈ１３である場合を仮定する。仮定した日時Ｔ３４に操作された操作履歴Ｈ１３（対象操作履歴ＴＨ０）は、記録されているオペレータの操作（操作の種類）が、日時Ｔ１６に操作された操作履歴Ｈ１３と同一であるとする。

【0068】

この場合、取得部５２は、比較操作履歴ＣＨ０の候補として、日時Ｔ１１（日時Ｔ１１に操作された操作履歴Ｈ１１）をオペレータに提示することができる。取得部５２は、日時Ｔ１１から日時Ｔ１６までの操作履歴（日時Ｔ１１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ１３に操作された操作履歴Ｈ１２と、日時Ｔ１６に操作された操作履歴Ｈ１３）を、比較操作履歴ＣＨ０として取得する。

【0069】

取得部５２は、対象操作履歴ＴＨ０に記録されているオペレータの操作の順序、間隔および種類について、一致度が高い操作履歴ほど比較操作履歴ＣＨ０として取得することもできる。この場合、オペレータによる選択は不要である。例えば、所定の第一日時に操作（種類は第一種類）された操作履歴と、第一日時より遅い第二日時に操作（種類は第二種類）された操作履歴と、第二日時より遅い第三日時に操作（種類は第三種類）された操作履歴を対象操作履歴ＴＨ０として想定する。

【0070】

取得部５２は、例えば、複数（３つ）の操作履歴に記録されているオペレータの操作の順序が、第一種類の操作、第二種類の操作、第三種類の操作の順序に近いほど、比較操作履歴ＣＨ０として取得する。また、取得部５２は、複数（３つ）の操作履歴に記録されているオペレータの操作の間隔が、第一日時と第二日時との間隔、第二日時と第三日時との間隔に近いほど、比較操作履歴ＣＨ０として取得する。さらに、取得部５２は、複数（３つ）の操作履歴に記録されているオペレータの操作の種類が、第一種類、第二種類および第三種類以外の操作を含まないほど、比較操作履歴ＣＨ０として取得する。

【0071】

また、取得部５２は、上述したオペレータの操作の順序、間隔および種類の３つの要素について、一致する要素の数が多いほど、比較操作履歴ＣＨ０として取得することができる。さらに、取得部５２は、上述したオペレータの操作の順序、間隔および種類の各要素に重み付けを行うこともできる。この場合、重み付けが大きい要素について一致度が高い操作履歴ほど比較操作履歴ＣＨ０として取得され易くなる。重み付けは、例えば、基板製品の種類によって変更することもでき、オペレータによって設定および変更することもできる。また、オペレータによって比較操作履歴ＣＨ０が選択される場合に、上記の一致度を表示して、オペレータが比較操作履歴ＣＨ０を選択する際に上記の一致度を考慮することもできる。

【0072】

比較動作履歴ＣＭ０は、比較操作履歴ＣＨ０に関連付けられている少なくとも一つの動作履歴である。例えば、取得部５２が、図７Ａに示す日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１と、日時Ｔ２４に操作された操作履歴Ｈ１２を比較操作履歴ＣＨ０として取得した場合を想定する。動作履歴Ｍ２１は、日時Ｔ２１のオペレータの操作に起因して、日時Ｔ２２において基板生産ライン１が作動して記録された動作履歴である。

【0073】

また、動作履歴Ｍ２２は、日時Ｔ２１のオペレータの操作に起因して、日時Ｔ２３において基板生産ライン１が作動して記録された動作履歴である。このように、動作履歴Ｍ２１および動作履歴Ｍ２２は、日時Ｔ２１のオペレータの操作に起因して作動した動作履歴であり、日時Ｔ２１に操作された操作履歴Ｈ１１（比較操作履歴ＣＨ０）に関連付けられる。

【0074】

同様に、動作履歴Ｍ２３は、日時Ｔ２４に操作された操作履歴Ｈ１２（比較操作履歴ＣＨ０）に関連付けられる。図７Ｅは、比較動作履歴ＣＭ０の一例を示している。同図では、日時Ｔ２２に作動した動作履歴Ｍ２１と、日時Ｔ２３に作動した動作履歴Ｍ２２と、日時Ｔ２５に作動した動作履歴Ｍ２３とが、比較動作履歴ＣＭ０として図示されている。

【0075】

このように、一つの比較操作履歴ＣＨ０に複数の比較動作履歴ＣＭ０が関連付けられる場合があり、一つの比較操作履歴ＣＨ０に一つの比較動作履歴ＣＭ０が関連付けられる場合もある。また、対象動作履歴ＴＭ０の場合と同様に、複数の比較操作履歴ＣＨ０に一つの比較動作履歴ＣＭ０が関連付けられる場合があり、複数の比較操作履歴ＣＨ０に複数の比較動作履歴ＣＭ０が関連付けられる場合もある。なお、既述したように、比較操作履歴ＣＨ０および比較動作履歴ＣＭ０の関連付けは、記憶部５１によって行われる。

【0076】

１－５－３．出力部５３
出力部５３は、取得部５２によって取得された対象動作履歴ＴＭ０に記録されている基板生産ライン１の動作、および、比較動作履歴ＣＭ０に記録されている基板生産ライン１の動作を対比可能に出力する（図６に示すステップＳ１３）。

【0077】

図７Ｃに示す例では、取得部５２は、日時Ｔ３２に作動した動作履歴Ｍ３１と、日時Ｔ３３に作動した動作履歴Ｍ３２と、日時Ｔ３５に作動した動作履歴Ｍ３３を対象動作履歴ＴＭ０として取得する。図７Ａに示す動作履歴Ｍ３１は、日時Ｔ３２から日時Ｔ３３までの基板生産ライン１の動作が記録されている。動作履歴Ｍ３２は、日時Ｔ３３から日時Ｔ３５までの基板生産ライン１の動作が記録されている。動作履歴Ｍ３３は、日時Ｔ３５から日時Ｔ３６までの基板生産ライン１の動作が記録されている。

【0078】

また、図７Ｅに示す例では、取得部５２は、日時Ｔ２２に作動した動作履歴Ｍ２１と、日時Ｔ２３に作動した動作履歴Ｍ２２と、日時Ｔ２５に作動した動作履歴Ｍ２３を比較動作履歴ＣＭ０として取得する。図７Ａに示す動作履歴Ｍ２１は、日時Ｔ２２から日時Ｔ２３までの基板生産ライン１の動作が記録されている。動作履歴Ｍ２２は、日時Ｔ２３から日時Ｔ２５までの基板生産ライン１の動作が記録されている。動作履歴Ｍ２３は、日時Ｔ２５から日時Ｔ２７までの基板生産ライン１の動作が記録されている。

【0079】

出力部５３は、動作履歴Ｍ３１、動作履歴Ｍ３２および動作履歴Ｍ３３に記録されている基板生産ライン１の動作（対象動作）と、動作履歴Ｍ２１、動作履歴Ｍ２２および動作履歴Ｍ２３に記録されている基板生産ライン１の動作（比較動作）とを対比可能に出力する。つまり、出力部５３は、日時Ｔ３２からトリガー事象が発生した日時Ｔ３６までの基板生産ライン１の動作（対象動作）と、日時Ｔ２２から日時Ｔ２７までの基板生産ライン１の動作（比較動作）とを対比可能に出力する。これにより、例えば、基板生産ライン１の製造者または使用者のエンジニアは、対象動作と、比較動作を対比することができ、例えば、トリガー事象の要因解析を行うことができる。

【0080】

出力部５３は、基板生産ライン１の動作を対比可能に出力することができれば良く、出力方法は、限定されない。例えば、対象動作履歴ＴＭ０および比較動作履歴ＣＭ０には、対基板作業機ＷＭに着脱可能に設けられる機器ＤＤ０の装着状態、取り外し状態または動作状態を検出する検出器ＳＳ０の検出信号が記録されている。この場合、出力部５３は、対象動作履歴ＴＭ０および比較動作履歴ＣＭ０に記録されている基板生産ライン１の動作として、検出信号の経時変化を対比可能に表示することができる。

【0081】

図２に示す装着ヘッド１３２は、ヘッド駆動装置１３の直動機構によって移動台１３１と一体的にＸＹ方向に移動される。直動機構は、例えば、サーボモータなどの電動機を備えており、電動機には、エンコーダなどの位置検出器ＳＳ１１が設けられている。これにより、部品装着機１０を制御する制御装置は、移動台１３１および装着ヘッド１３２の位置を認識することができる。つまり、位置検出器ＳＳ１１は、装着ヘッド１３２の動作状態を検出する検出器ＳＳ０に含まれる。

【0082】

図８Ａは、機器ＤＤ０（装着ヘッド１３２）の動作状態を検出する検出器ＳＳ０（位置検出器ＳＳ１１）の検出信号の経時変化の一例を示している。曲線Ｌ１１は、比較動作履歴ＣＭ０に記録されている位置検出器ＳＳ１１の検出信号の経時変化の一例を示している。曲線Ｌ１１は、動作履歴Ｍ２１、動作履歴Ｍ２２および動作履歴Ｍ２３に記録されている部品装着機１０の各装置の動作履歴の集合のうち、装着ヘッド１３２の動作履歴を、位置検出器ＳＳ１１の検出信号の経時変化で示したものである。

【0083】

曲線Ｌ１２は、対象動作履歴ＴＭ０に記録されている位置検出器ＳＳ１１の検出信号の経時変化の一例を示している。曲線Ｌ１２は、動作履歴Ｍ３１、動作履歴Ｍ３２および動作履歴Ｍ３３に記録されている部品装着機１０の各装置の動作履歴の集合のうち、装着ヘッド１３２の動作履歴を、位置検出器ＳＳ１１の検出信号の経時変化で示したものである。いずれも、横軸は、時刻を示し、縦軸は、装着ヘッド１３２のＸ方向位置を示している。

【0084】

曲線Ｌ１２によって表される装着ヘッド１３２の動作（対象動作）は、曲線Ｌ１１によって表される装着ヘッド１３２の動作（比較動作）と比べて、装着ヘッド１３２のＸ方向位置のゼロクロスのタイミングが異なっている。例えば、基板生産ライン１の製造者または使用者のエンジニアは、図８Ａに示す表示に基づいて、対象動作と、比較動作を対比することができ、例えば、トリガー事象の要因解析を行うことができる。この場合、例えば、装着ヘッド１３２の動作がトリガー事象の一因になった可能性がある。

【0085】

図２に示すフィーダ２０は、対基板作業機ＷＭである部品装着機１０に着脱可能に設けられ、機器ＤＤ０に含まれる。部品装着機１０の第一スロット１２１または第二スロット１２２には、フィーダ２０の装着状態または取り外し状態を検出する着脱検出器ＳＳ１２を設けることができる。これにより、部品装着機１０を制御する制御装置は、フィーダ２０の制御装置との間の通信の可否以外の方法で、フィーダ２０の装着状態または取り外し状態を認識することができる。つまり、着脱検出器ＳＳ１２は、フィーダ２０の装着状態または取り外し状態を検出する検出器ＳＳ０に含まれる。

【0086】

図８Ｂは、機器ＤＤ０（フィーダ２０）の装着状態または取り外し状態を検出する検出器ＳＳ０（着脱検出器ＳＳ１２）の検出信号の経時変化の一例を示している。折れ線Ｌ１３は、比較動作履歴ＣＭ０に記録されている着脱検出器ＳＳ１２の検出信号の経時変化の一例を示している。折れ線Ｌ１３は、動作履歴Ｍ２１、動作履歴Ｍ２２および動作履歴Ｍ２３に記録されている部品装着機１０の各装置の動作履歴の集合のうち、フィーダ２０の着脱動作の動作履歴を、位置検出器ＳＳ１２の検出信号の経時変化で示したものである。

【0087】

折れ線Ｌ１４は、対象動作履歴ＴＭ０に記録されている着脱検出器ＳＳ１２の検出信号の経時変化の一例を示している。折れ線Ｌ１４は、動作履歴Ｍ３１、動作履歴Ｍ３２および動作履歴Ｍ３３に記録されている部品装着機１０の各装置の動作履歴の集合のうち、フィーダ２０の着脱動作の動作履歴を、位置検出器ＳＳ１２の検出信号の経時変化で示したものである。いずれも、横軸は、時刻を示し、縦軸は、フィーダ２０の装着状態（ＯＮ）または取り外し状態（ＯＦＦ）を示している。

【0088】

折れ線Ｌ１４によって表されるフィーダ２０を着脱する動作（対象動作）は、折れ線Ｌ１３によって表されるフィーダ２０を着脱する動作（比較動作）と比べて、装着状態（ＯＮ）から取り外し状態（ＯＦＦ）への遷移が早い箇所が存在する。つまり、対象動作は、比較動作と比べて、フィーダ２０の取り外しが早い箇所がある。基板生産ライン１の製造者または使用者のエンジニアは、図８Ｂに示す表示に基づいて、対象動作と、比較動作を対比することができ、例えば、トリガー事象の要因解析を行うことができる。なお、機器ＤＤ０の動作状態を検出する検出器ＳＳ０には、近接センサ、リミットスイッチなどの検出器が含まれる。これらの検出器は、検出状態（ＯＮ）または非検出状態（ＯＦＦ）が出力され、検出信号は、図８Ｂに示す経時変化と同様に変化する。

【0089】

既述したように、図１に示す基板生産ライン１を構成する各装置は、ネットワークを介してライン制御コンピュータ６との間で通信可能に構成されている。図８Ｃは、ライン制御コンピュータ６と部品装着機１０との間の通信状態の経時変化の一例を示している。同図の紙面左側の通信履歴は、比較動作履歴ＣＭ０に記録されているライン制御コンピュータ６と部品装着機１０との間の通信（比較動作）である。紙面左側の通信履歴は、動作履歴Ｍ２１、動作履歴Ｍ２２および動作履歴Ｍ２３に記録されている部品装着機１０の各装置の動作履歴の集合のうち、ライン制御コンピュータ６との間の通信履歴（動作履歴）を通信内容で示したものである。

【0090】

同図の紙面右側の通信履歴は、対象動作履歴ＴＭ０に記録されているライン制御コンピュータ６と部品装着機１０との間の通信（対象動作）である。紙面右側の通信履歴は、動作履歴Ｍ３１、動作履歴Ｍ３２および動作履歴Ｍ３３に記録されている部品装着機１０の各装置の動作履歴の集合のうち、ライン制御コンピュータ６との間の通信履歴（動作履歴）を通信内容で示したものである。

【0091】

いずれの場合も、通信方向における「ＷＭ→６」は、対基板作業機ＷＭである部品装着機１０からライン制御コンピュータ６への送信を示し、「６→ＷＭ」は、部品装着機１０のライン制御コンピュータ６からの受信を示している。通信内容は、例えば、通信コマンドによって模式的に図示されている。比較動作の通信内容は、コマンドＣＤ１１～コマンドＣＤ１８で示され、対象動作の通信内容は、コマンドＣＤ２１～コマンドＣＤ２８で示されている。この場合も、基板生産ライン１の製造者または使用者のエンジニアは、図８Ｃに示す表示に基づいて、対象動作と、比較動作を対比することができ、例えば、トリガー事象の要因解析を行うことができる。

【0092】

１－５－４．解析部５４
トリガー事象が対基板作業機ＷＭによる対基板作業の実行中に検出された作業エラーのときに、解析部５４は、対象動作履歴ＴＭ０および比較動作履歴ＣＭ０に記録されている基板生産ライン１の動作の差異に基づいて、作業エラーの要因解析を行う（図６に示すステップＳ１４）。

【0093】

例えば、図８Ａに示す曲線Ｌ１２によって表される装着ヘッド１３２の動作（対象動作）は、曲線Ｌ１１によって表される装着ヘッド１３２の動作（比較動作）と比べて、装着ヘッド１３２のＸ方向位置のゼロクロスのタイミングが異なっている。この場合、解析部５４は、対象動作と比較動作の差異（ゼロクロスのタイミングの相違）に基づいて、例えば、装着ヘッド１３２の動作を作業エラー（例えば、部品の保持エラー）の一因として挙げることができる。解析部５４は、図８Ｂおよび図８Ｃに示す例についても同様にして、作業エラーの要因を挙げることができる。

【0094】

なお、作業エラーは、例えば、対基板作業が行われた対基板作業機ＷＭにおいて検出される。対基板作業機ＷＭは、種々の撮像装置を備えている。例えば、対基板作業機ＷＭが部品装着機１０の場合、部品装着機１０は、保持部材に保持されている部品を撮像可能な撮像装置を備えている。部品装着機１０は、撮像装置によって撮像された画像を画像処理して、保持部材による部品の保持状態を認識する。部品装着機１０は、部品の保持状態が所定状態に含まれないときに作業エラー（部品の保持エラー）を検出する。なお、作業エラーの種類は、限定されない。

【0095】

１－５－５．収集部５５
収集部５５は、作業エラーが検出されたときの動作履歴および作業エラーの要因を関連付けて収集する（図６に示すステップＳ１５）。

【0096】

収集部５５は、例えば、基板生産ライン１の製造者または使用者のエンジニアによって、作業エラーの要因解析が行われると、作業エラーが検出されたときの動作履歴および作業エラーの要因を関連付けて記憶装置６ＤＳに記憶させる。また、収集部５５は、解析部５４によって、作業エラーの要因解析が行われると、作業エラーが検出されたときの動作履歴および作業エラーの要因を関連付けて記憶装置６ＤＳに記憶させる。

【0097】

このように、作業エラーが検出されたときの動作履歴および作業エラーの要因が蓄積されていくと、動作履歴に記録されている基板生産ライン１の動作と、作業エラーの要因との間の相関関係を把握できる場合がある。相関関係は、例えば、統計的手法によって把握することができ、例えば、ニューラルネットワーク、ディープラーニングなどの人工知能的な手法によって把握することもできる。

【0098】

例えば、装着ヘッド１３２の移動時の加速度が所定値より大きくなると、保持部材によって保持されている部品の保持状態が安定しない場合がある。例えば、部品の保持エラーが検出された学習データにおいて、装着ヘッド１３２の移動時の加速度が所定値より大きい学習データが多く含まれている場合、装着ヘッド１３２の移動時の加速度の超過が、部品の保持エラーの一因になっている可能性がある。

【0099】

解析部５４は、今回、要因解析を行う対象動作履歴ＴＭ０に記録されている基板生産ライン１の動作と、収集部５５によって収集された過去の動作履歴に記録されている基板生産ライン１の動作とが同一または類似するときに、収集部５５によって収集された当該動作履歴に関連付けられている作業エラーの要因を出力する。

【0100】

通常、基板生産ライン１の動作が完全に一致することは少ないので、解析部５４は、基板生産ライン１の動作のうち、主要部分が近似するときに、基板生産ライン１の動作が類似していると判断することができる。図８Ａに示す例では、曲線Ｌ１２に示す装着ヘッド１３２のＸ方向位置の変動パターン（Ｘ方向位置の増減が繰り返されている）、Ｘ方向位置のゼロクロスのタイミングなどは、主要部分に含まれる。曲線Ｌ１２に示す装着ヘッド１３２の動作と同一または類似する動作が、収集部５５によって収集された過去の動作履歴に記録されている場合、解析部５４は、収集部５５によって収集された当該動作履歴に関連付けられている作業エラーの要因を出力する。

【0101】

２．その他
本実施形態の基板生産ライン１は、対基板作業機ＷＭと、保管装置５と、物品移動装置４０とを備えている。保管装置５は、フィーダ２０に限らず、対基板作業機ＷＭによる基板製品の生産に必要な物品ＡＲ０を保管することができる。例えば、既述した機器ＤＤ０は、物品ＡＲ０に含まれる。同様に、物品移動装置４０は、フィーダ２０に限らず、保管装置５に保管されている物品ＡＲ０を対基板作業機ＷＭに供給し、対基板作業機ＷＭで不要になった物品ＡＲ０を保管装置５に回収することができる。

【0102】

操作ログＨＬ０には、対基板作業機ＷＭに対するオペレータの操作履歴だけではなく、保管装置５および物品移動装置４０に対するオペレータの操作履歴を記録することができる。また、動作ログＭＬ０には、対基板作業機ＷＭの動作履歴だけではなく、保管装置５および物品移動装置４０の動作履歴を記録することができる。動作ログＭＬ０に、対基板作業機ＷＭ、保管装置５および物品移動装置４０の動作履歴が記録されていると、対基板作業機ＷＭのみの動作履歴が記録されている場合と比べて、動作履歴の種類は多くなり、記憶装置６ＤＳが記憶している動作履歴の情報量は増加し易い。そのため、本実施形態のトレース支援装置５０を適用すると有益である。

【0103】

また、本実施形態では、対基板作業機ＷＭである部品装着機１０は、第一スロット１２１および第二スロット１２２を備えている。他の対基板作業機ＷＭにおいても第一スロット１２１および第二スロット１２２を備えることができ、保持する物品ＡＲ０もフィーダ２０に限定されない。つまり、対基板作業機ＷＭは、基板製品の生産に必要な物品ＡＲ０を交換可能に保持する第一スロット１２１と、物品ＡＲ０を予備的に保持可能、または、回収する物品ＡＲ０を一時的に保持可能な第二スロット１２２とを備えることができる。また、物品移動装置４０は、第一スロット１２１と第二スロット１２２との間で物品ＡＲ０の交換作業を行うことができる。

【0104】

この場合、動作ログＭＬ０には、物品移動装置４０による物品ＡＲ０の交換作業の動作履歴を記録することができる。動作ログＭＬ０に、物品移動装置４０による物品ＡＲ０の交換作業の動作履歴が記録されていると、物品移動装置４０の動作履歴として保管装置５と対基板作業機ＷＭとの間の移動履歴のみが記録される場合と比べて、動作履歴の種類は多くなり、記憶装置６ＤＳが記憶している動作履歴の情報量は増加し易い。そのため、本実施形態のトレース支援装置５０を適用すると有益である。

【0105】

３．トレース支援方法
トレース支援装置５０について既述したことは、トレース支援方法についても同様に言える。具体的には、トレース支援方法は、記憶工程と、取得工程と、出力工程とを備えている。記憶工程は、記憶部５１が行う制御に相当する。取得工程は、取得部５２が行う制御に相当する。出力工程は、出力部５３が行う制御に相当する。また、トレース支援方法は、解析工程をさらに備えることができる。トレース支援方法は、解析工程および収集工程をさらに備えることもできる。解析工程は、解析部５４が行う制御に相当する。収集工程は、収集部５５が行う制御に相当する。

【0106】

なお、取得工程は、対象操作履歴ＴＨ０、対象動作履歴ＴＭ０、比較操作履歴ＣＨ０および比較動作履歴ＣＭ０を任意の順序で取得することができる。但し、対象動作履歴ＴＭ０は、対象操作履歴ＴＨ０と同時または対象操作履歴ＴＨ０を取得した後に取得され、比較動作履歴ＣＭ０は、比較操作履歴ＣＨ０と同時または比較操作履歴ＣＨ０を取得した後に取得される。

【0107】

４．実施形態の効果の一例
トレース支援装置５０は、記憶部５１、取得部５２および出力部５３を備える。よって、トレース支援装置５０は、トリガー事象に関連する対象操作履歴ＴＨ０に関連付けられている対象動作履歴ＴＭ０に記録されている基板生産ライン１の動作と、対象操作履歴ＴＨ０と同一または類似の比較操作履歴ＣＨ０に関連付けられている比較動作履歴ＣＭ０に記録されている基板生産ライン１の動作とを対比可能に出力することができる。トレース支援装置５０について上述したことは、トレース支援方法についても同様に言える。

【符号の説明】

【0108】

１：基板生産ライン、１２１：第一スロット、１２２：第二スロット、
５：保管装置、４０：物品移動装置、５０：トレース支援装置、
５１：記憶部、５２：取得部、５３：出力部、５４：解析部、
５５：収集部、６ＤＳ：記憶装置、９０：基板、ＡＲ０：物品、
ＨＬ０：操作ログ、ＭＬ０：動作ログ、ＴＨ０：対象操作履歴、
ＴＭ０：対象動作履歴、ＣＨ０：比較操作履歴、ＣＭ０：比較動作履歴、
ＤＤ０：機器、ＳＳ０：検出器、ＷＭ：対基板作業機。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図7D】

【図7E】

【図8A】

【図8B】

【図8C】