特許7148825ロードポート及びロードポートを備える基板搬送システム

発明の名称　ロードポート及びロードポートを備える基板搬送システム

出願人　シンフォニアテクノロジー株式会社　（識別番号 2059）

　　　　特許公開件数ランキング 448 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 409 位（19件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7148825

公報発行日　2022年10月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7148825

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