特許 7149238 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-28

(45)【発行日】2022-10-06

(54)【発明の名称】樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 43/34 20060101AFI20220929BHJP

   B29C 43/18 20060101ALI20220929BHJP

   H01L 21/56 20060101ALI20220929BHJP

【ＦＩ】

B29C43/34

B29C43/18

H01L21/56 R

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2019147130

(22)【出願日】2019-08-09

(65)【公開番号】P2021028115

(43)【公開日】2021-02-25

【審査請求日】2021-08-26

(73)【特許権者】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100129702

【弁理士】

【氏名又は名称】上村 喜永

(74)【代理人】

【識別番号】100206151

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 惇志

(74)【代理人】

【識別番号】100218187

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 治子

(72)【発明者】

【氏名】中尾 聡

【審査官】田代 吉成

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１７９５０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平９－７６２８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平３－７４９２０（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２９Ｃ ４３／３４

Ｂ２９Ｃ ４３／１８

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに対向する第１の成形型である下型及び第２の成形型である上型と、
前記下型及び前記上型を型締めする型締め機構と、
シート状樹脂を前記下型に供給する樹脂供給機構とを具備し、
前記樹脂供給機構は、一方面に保護フィルムが設けられた前記シート状樹脂における他方面を吸着する吸着孔が形成された吸着部材を備え、
前記吸着部材は、上下反転可能に構成されており、
前記樹脂供給機構は、前記吸着孔が形成された表面が上を向いた状態で前記シート状樹脂における前記他方面を吸着し、前記シート状樹脂から前記保護フィルムが剥がされた状態で前記吸着部材を上下反転して前記シート状樹脂が下となるようにして、前記シート状樹脂を前記下型に供給する樹脂成形装置。

【請求項2】

前記吸着部材の前記吸着孔が形成された表面に、複数の凹凸が形成されている、請求項１記載の樹脂成形装置。

【請求項3】

前記吸着部材に、前記吸着孔が複数形成されている、請求項１又は２記載の樹脂成形装置。

【請求項4】

前記樹脂供給機構は、前記複数の吸着孔に連通する複数の吸引流路を有している、請求項３記載の樹脂成形装置。

【請求項5】

前記吸着部材は、吸着した前記シート状樹脂の前記他方面にガスを噴出可能に構成されている、請求項１乃至４の何れか一項に記載の樹脂成形装置。

【請求項6】

前記吸着部材に、吸着した前記シート状樹脂の前記他方面にガスを噴出するガス噴出孔が形成されている、請求項５記載の樹脂成形装置。

【請求項7】

前記吸着孔は、前記ガス噴出孔として兼用されるものである請求項６記載の樹脂成形装置。

【請求項8】

前記吸着部材は、前記シート状樹脂を位置合わせするための目印部を有する、請求項１乃至７の何れか一項に記載の樹脂成形装置。

【請求項9】

互いに対向する第１の成形型である下型及び第２の成形型である上型を型締めして樹脂成形品を製造する樹脂成形品の製造方法であって、
一方面に保護フィルムが設けられたシート状樹脂における他方面を吸着する吸着孔が形成されて上下反転可能に構成された吸着部材を用いて、前記吸着孔が形成された表面が上を向いた状態の前記吸着部材に前記シート状樹脂における前記他方面を吸着させ、前記シート状樹脂を保持する吸着保持ステップと、
前記吸着部材に吸着保持された前記シート状樹脂から前記保護フィルムを剥がす剥離ステップと、
前記吸着部材を上下反転して前記保護フィルムが剥がされた前記シート状樹脂が下となるようにして、前記下型に供給する樹脂供給ステップと、
前記下型及び前記上型を型締めして、前記シート状樹脂を用いて樹脂成形を行う樹脂成形ステップとを備える、樹脂成形品の製造方法。

【請求項10】

前記吸着部材は、吸着した前記シート状樹脂の前記他方面にガスを噴出可能に構成されており、
前記樹脂供給ステップにおいて、前記吸着保持ステップにおける吸着を解除し、前記他方面にガスを噴出して、前記シート状樹脂を前記下型に供給する、請求項９記載の樹脂成形品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の樹脂成形装置としては、特許文献１に示すように、シート状樹脂を用いて樹脂成形を行うものが考えられている。

【0003】

この樹脂成形装置は、予めパッケージに合わせて最適に計量カットされた複数のシート状樹脂を、下型に設けられた複数のキャビディに一括して搬入するように構成されており、樹脂材料としてシート状樹脂を用いることで、計量精度を高め、各キャビティへの樹脂供給量の均一化を図っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００３－１３３３５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、シート状樹脂には、その片面又は両面に保護フィルムが設けられており、下型等の成形型に供給する前にシート状樹脂から保護フィルムを剥がさなければならない。シート状樹脂は、形状を維持できないほど柔らかくて脆いため、保護フィルムを剥がす際又は剥がした後に、シート状樹脂が折れ曲がりやすく、皺になりやすく、破損しやすい。特に成型対象物である基板やウエハが大型になる程、シート状樹脂が大きくなるため、これらの問題が顕著となる。このようなことから、保護フィルムを剥がしたシート状樹脂を適切な状態で成形型に供給することが難しく、その結果、成形不良の原因となってしまう。

【0006】

そこで本発明は、上記の問題点を解決すべくなされたものであり、シート状樹脂の折れ曲がりや皺又は破損を抑制してシート状樹脂を成形型に供給することをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

すなわち本発明に係る樹脂成形装置は、互いに対向する第１の成形型及び第２の成形型と、前記第１の成形型及び前記第２の成形型を型締めする型締め機構と、シート状樹脂を前記第１の成形型又は前記第２の成形型に供給する樹脂供給機構とを具備し、前記樹脂供給機構は、一方面に保護フィルムが設けられた前記シート状樹脂における他方面を吸着する吸着孔が形成された吸着部材を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、シート状樹脂の折れ曲がりや皺又は破損を抑制して、シート状樹脂を成形型に供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本実施形態の樹脂成形装置の構成を模式的に示す平面図である。

【図2】同実施形態の樹脂成形モジュールの構成を模式的に示す断面図である。

【図3】シート状樹脂の（ａ）保護フィルムを剥がす前の状態と（ｂ）保護フィルムを剥がして皺になった状態とを模式的に示す斜視図である。

【図4】同実施形態の吸着機構の構成を模式的に示す斜視図である。

【図5】同実施形態の吸着機構の構成を模式的に示す平面図である。

【図6】同実施形態の吸着機構の構成を模式的に示す断面図である。

【図7】同実施形態の吸着部材の表面の凹凸を模式的に示す部分拡大断面図である。

【図8】同実施形態の樹脂成形の動作を示す模式図である。

【図9】同実施形態の吸着部材を下型に位置決めした状態を模式的に示す断面図である。

【図10】変形実施形態の吸着機構の構成を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に、本発明について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明により限定されない。

【0011】

本発明の樹脂成形装置は、前述のとおり、互いに対向する第１の成形型及び第２の成形型と、前記第１の成形型及び前記第２の成形型を型締めする型締め機構と、シート状樹脂を前記第１の成形型又は前記第２の成形型に供給する樹脂供給機構とを具備し、前記樹脂供給機構は、一方面に保護フィルムが設けられた前記シート状樹脂における他方面を吸着する吸着孔が形成された吸着部材を備えることを特徴とする。

【0012】

このように構成された樹脂成形装置であれば、一方面に保護フィルムが設けられたシート状樹脂の他方面を吸着部材に吸着させた状態でシート状樹脂から保護フィルムを剥がすことができるので、保護フィルムを剥がす際又は剥がした後においてシート状樹脂の形状を維持することができる。これにより、シート状樹脂の折れ曲がりや皺又は破損を抑制して、シート状樹脂を成形型に供給することができる。その結果、シート状樹脂を用いた樹脂成形の成形不良を低減することができる。
なお、樹脂材料としてシート状樹脂を用いているので、液状樹脂や顆粒状樹脂を用いた場合に比べて、成形型内への樹脂材料の供給量を均一化することができ、樹脂成形品を薄くしたい等といった要求に応えることもできる。

【0013】

吸着部材に対してシート状樹脂を確実に吸着させるためには、前記吸着部材の前記吸着孔が形成された表面に、複数の凹凸が形成されていることが望ましい。
この構成であれば、複数の凹凸によって吸着部材とシート状樹脂との間に隙間ができ、当該隙間からも吸着孔によって空気が吸引されることになる。その結果、シート状樹脂は吸着孔からだけでなく、凹部からも吸着されることになり、シート状樹脂の受圧面積が大きくなり、吸着部材に対してシート状樹脂を確実に吸着させることができる。また、シート状樹脂が受ける圧力が分散化されるため、シート状樹脂の変形や破損を低減できるとともに、吸着孔にシート状樹脂が入り込んで剥がれにくくなるという不具合を抑制できる。

【0014】

前記吸着部材に、前記吸着孔が複数形成されていることが望ましい。
このように吸着部材に複数の吸着孔を形成することによって、シート状樹脂が各吸着孔から受ける圧力を小さくすることができる。その結果、シート状樹脂の変形や破損を低減できるとともに、吸着孔にシート状樹脂が入り込んで剥がれにくくなるという不具合を抑制できる。

【0015】

複数の吸着孔に１つの吸引流路が連通している場合、その吸引流路から近い位置にある吸着孔と遠い位置にある吸着孔とでは吸着力にばらつきが生じてしまう。この問題を解決して複数の吸着孔の吸着力のばらつきを抑えるためには、前記樹脂供給機構が、前記複数の吸着孔に連通する複数の吸引流路を有していることが望ましい。

【0016】

吸着したシート状樹脂を成形型に供給する際に吸着を解除するだけでは確実にシート状樹脂を離すことができない場合が想定される。また、シート状樹脂が吸着部材から離れる際にシート状樹脂が部分的に捲れてしまい、成形型に供給されたシート状樹脂が折れ曲がったり皺になったりする恐れがある。
これらの問題を解決するためには、前記吸着部材は、吸着した前記シート状樹脂の前記他方面にガスを噴出可能に構成されていることが望ましい。
この構成であれば、吸着したシート状樹脂の他方面にガスを噴射しているので、吸着部材からシート状樹脂を確実に離すことができるとともに、離れた後のシート状樹脂が部分的に捲れて折れ曲がったり皺になったりすることを抑制することができる。

【0017】

吸着部材からガスを噴出可能にする具体的な実施の態様としては、前記吸着部材に、吸着した前記シート状樹脂の前記他方面にガスを噴出するガス噴出孔が形成されていることが考えられる。

【0018】

このとき、吸着部材の構成を簡略化するためには、前記吸着孔は、前記ガス噴出孔として兼用されていることが望ましい。また、シート状樹脂において吸着孔に入り込んだ部分がガスにより直接押されることになるため、吸着部材からシート状樹脂を確実に離すことができる。

【0019】

成形型に対して精度良くシート状樹脂を供給するためには、まずは吸着部材に対してシート状樹脂を位置合わせした状態で吸着させることが望ましい。この位置合わせを容易に行えるようにするためには、前記吸着部材は、前記シート状樹脂を位置合わせするための目印部を有することが望ましい。

【0020】

また、本発明に係る樹脂成型品の製造方法は、互いに対向する第１の成形型及び第２の成形型を型締めして樹脂成形品を製造する樹脂成形品の製造方法であって、一方面に保護フィルムが設けられたシート状樹脂の他方面を吸着部材に吸着させ、前記シート状樹脂を保持する吸着保持ステップと、前記吸着部材に吸着保持された前記シート状樹脂から前記保護フィルムを剥がす剥離ステップと、前記保護フィルムが剥がされた前記シート状樹脂を、前記第１の成形型又は前記第２の成形型に供給する樹脂供給ステップと、前記第１の成形型及び前記第２の成形型を型締めして、前記シート状樹脂を用いて樹脂成形を行う樹脂成形ステップとを備えることを特徴とする。

【0021】

このような樹脂成形品の製造方法であれば、上述した樹脂成形装置と同様、一方面に保護フィルムが設けられたシート状樹脂の他方面を吸着部材に吸着させた状態でシート状樹脂から保護フィルムを剥がすことができるので、保護フィルムを剥がす際又は剥がした後においてシート状樹脂の形状を維持することができる。これにより、シート状樹脂の折れ曲がりや皺又は破損を抑制して、シート状樹脂を成形型に供給することができる。その結果、シート状樹脂を用いた樹脂成形の成形不良を低減することができる。

【0022】

成形型に対して精度良くシート状樹脂を供給するためには、前記樹脂供給ステップにおいて、前記吸着部材を前記第１の成形型又は前記第２の成形型に対して位置決めすることが望ましい。

【0023】

前記吸着部材は、吸着した前記シート状樹脂の前記他方面にガスを噴出可能に構成されており、前記樹脂供給ステップにおいて、前記吸着保持ステップにおける吸着を解除し、前記他方面にガスを噴出して、前記シート状樹脂を前記第１の成形型又は前記第２の成形型に供給することが望ましい。
この構成であれば、吸着したシート状樹脂の他方面にガスを噴射しているので、吸着部材からシート状樹脂を確実に離すことができるとともに、シート状樹脂が部分的に捲れて折れ曲がったり皺になったりすることを抑制することができる。

【0024】

＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

【0025】

＜樹脂成形装置１００の全体構成＞
本実施形態の樹脂成形装置１００は、電子部品が搭載された基板Ｗに対して電子部品が搭載された部品搭載面を樹脂で封止して樹脂成形品Ｐを製造するものである。なお、基板としては、例えば金属基板、樹脂基板、ガラス基板、セラミックス基板、回路基板、半導体基板、リードフレーム等を挙げることができる。

【0026】

この樹脂成形装置１００は、図１に示すように、基板供給・収納モジュールＡと、２つの樹脂成形モジュールＢと、樹脂供給モジュールＣとを、それぞれ構成要素として備える。各構成要素（各モジュールＡ～Ｃ）は、それぞれの構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。

【0027】

以下に示す各モジュールＡ～Ｃを含む樹脂成形装置１００の動作制御は、例えば、基板供給・収納モジュールＡに設けた制御部ＣＴＬが行う。この制御部ＣＴＬは、基板供給・収納モジュールＡ以外の他のモジュールＢ、Ｃに設けてもよい。また、制御部ＣＴＬは、複数に分割して、基板供給・収納モジュールＡ、樹脂成形モジュールＢ及び樹脂供給モジュールＣのうちの少なくとも２つのモジュールに設けてもよい。

【0028】

＜基板供給・収納モジュールＡ＞
基板供給・収納モジュールＡは、図１に示すように、封止前基板Ｗを供給する基板供給部１１と、封止済基板Ｗ（樹脂成形品Ｐ）を収納する基板収納部１２と、封止前基板Ｗ及び樹脂成形品Ｐを受け渡しする基板載置部１３と、封止前基板Ｗ及び樹脂成形品Ｐを搬送する基板搬送機構１４とを有する。基板載置部１３は、基板供給・収納モジュールＡ内において、基板供給部１１に対応する位置と基板収納部１２に対応する位置との間でＹ方向に移動する。基板搬送機構１４は、基板供給・収納モジュールＡ及びそれぞれの樹脂成形モジュールＢ内において、Ｘ方向及びＹ方向に移動する。

【0029】

＜樹脂成形モジュールＢ＞
各樹脂成形モジュールＢは、図１及び図２に示すように、キャビティ１５Ｃが形成された第１の成形型である下型１５と、基板Ｗを保持する第２の成形型である上型１６と、下型１５及び上型１６を型締めする型締め機構１７とを有する。

【0030】

型締め機構１７は、図２に示すように、下型１５が取り付けられる可動盤１７１と、上型１６が取り付けられる上部固定盤１７２と、可動盤１７１を昇降移動させるための駆動機構１７３とを有している。

【0031】

可動盤１７１は、その上面に下型１５が取り付けられるものであり、下部固定盤１７４に立て設けられた複数の支柱部１７５により昇降移動可能に支持されている。

【0032】

上部固定盤１７２は、その下面に上型１６が取り付けられるものであり、複数の支柱部１７５の上端部において可動盤１７１と対向するように固定されている。

【0033】

駆動機構１７３は、可動盤１７１及び下部固定盤１７４の間に設けられており、可動盤１７１を昇降移動させることによって下型１５及び上型１６を型締めするとともに所定の成形圧を加えるものである。本実施形態の駆動機構１７３は、サーボモータ等の回転を直線移動に変換するボールねじ機構を用いて可動盤１７１に伝達する直動方式のものであるが、サーボモータ等の動力源を例えばトグルリンクなどのリンク機構を用いて可動盤１７１に伝達するリンク方式のものであっても良い。

【0034】

そして、下型１５と可動盤１７１との間には、下型保持部１７６が設けられている。この下型保持部１７６は、下型１５を加熱するヒータプレート１７６ａと、当該ヒータプレート１７６ａの下面に設けられた断熱部材１７６ｂと、ヒータプレート１７６ａの上面に設けられて下型１５の周囲を取り囲む側壁部材１７６ｃと、当該側壁部材１７６ｃの上端に設けられたシール部材１７６ｄとを有している。

【0035】

上型１６と上部固定盤１７２との間には、上型保持部１７７が設けられている。この上型保持部１７７は、上型１６を加熱するヒータプレート１７７ａと、当該ヒータプレート１７７ａの上面に設けられた断熱部材１７７ｂと、ヒータプレート１７７ａの下面に設けられて上型１６の周囲を取り囲む側壁部材１７７ｃと、当該側壁部材１７７ｃの下端に設けられたシール部材１７７ｄとを有している。そして、駆動機構１７３による型締め時において側壁部材１７６ｃのシール部材１７６ｄ及び側壁部材１７７ｃのシール部材１７７ｄが密着して、下型１５及び上型１６を収容する空間が外気と遮断される。なお、シール部材１７６ｄ又はシール部材１７７ｄの一方を設けない構成としても良い。

【0036】

上型１６は、基板Ｗの裏面を吸着して保持するものである。上型１６の下面には吸着孔（不図示）が形成されており、上型１６の内部には吸引流路（不図示）が形成されている。この吸引流路は外部の吸引装置（不図示）に接続されている。

【0037】

下型１５には、図２に示すように、基板Ｗに搭載された電子部品及び樹脂材料を収容するキャビティ１５Ｃが形成されている。具体的に下型１５は、キャビティ１５Ｃの底面を形成する単一の部材である底面部材１５１と、当該底面部材１５１を取り囲む側面部材１５２とを有している。この底面部材１５１の上面と側面部材１５２の内周面によってキャビティ１５Ｃが形成される。本実施形態の底面部材１５１は平面視で矩形状をなす平板であり、側面部材１５２は平面視で矩枠状をなすものである。また、側面部材１５２は、底面部材１５１に対して相対的に上下移動可能に設けられている。具体的は、下型１５のベースプレート１５３に対してコイルばね等の複数の弾性部材１５４によって支持されている。

【0038】

＜樹脂供給モジュールＣ＞
樹脂供給モジュールＣは、図１に示すように、樹脂材料としてシート状樹脂Ｊを下型１５に供給する樹脂供給機構２を有する。

【0039】

ここで、シート状樹脂Ｊについて説明しておくと、図３（ａ）に示すように、シート状樹脂Ｊの片面又は両面には、汚れや損傷等からシート状樹脂Ｊを保護するための保護フィルムＰＦが設けられており、下型１５に供給する前にこの保護フィルムＰＦを剥がす必要がある。なお、図３（ａ）では、シート状樹脂Ｊの片面に保護フィルムＰＦが設けられたものを例示している。シート状樹脂Ｊは、自身の形状を維持できない厚みや柔軟性を有するものであり、保護フィルムＰＦが剥がされると、図３（ｂ）に示すように、折れ曲がり、皺になりやすい。

【0040】

具体的に樹脂供給機構２は、図１に示すように、一方面に保護フィルムＰＦが設けられたシート状樹脂Ｊの他方面を吸着する吸着機構３と、当該吸着機構３を移動させる移動機構４とを備えている。

【0041】

なお、シート状樹脂Ｊの他方面は、保護フィルムＰＦが設けられていない露出面であり、以下の説明においては、シート状樹脂Ｊの他方面のことを露出面という。

【0042】

吸着機構３は、図４～図６に示すように、吸着孔３１１が形成された吸着部材３１を備えている。この吸着部材３１は、シート状樹脂Ｊの露出面を吸着する複数の吸着孔３１１が形成されたものである。具体的に吸着部材３１は、シート状樹脂Ｊを吸着して保持する平面状の吸着保持面３１Ｘを有するものであり、当該吸着保持面３１Ｘに複数の吸着孔３１１が開口している。複数の吸着孔３１１は、例えば互いに同一の開口形状（例えば円形状）をなすものである。本実施形態の吸着部材３１は、平板状（プレート状）をなすものであり、その一方の面（上面）が吸着保持面３１Ｘとなる。この吸着保持面３１Ｘにおいて、複数の吸着孔３１１は、例えば、平面視において規則的に配置されており、互いに直交する方向（縦横）それぞれに沿って等間隔に配置されている（図５参照）。

【0043】

そして、この吸着部材３１における吸着保持面３１Ｘとは反対側の面（下面）には、複数の吸着孔３１１に連通する内部空間３Ｓを形成する空間形成部材３２が設けられている。この空間形成部材３２には、内部空間３Ｓを介して吸着孔３１１からシート状樹脂Ｊの露出面に吸着力を作用させる真空エジェクタを含む真空発生器３３が接続されている。また、この空間形成部材３２は、後述する回転軸部材３７及び支持部材３８に連結されている。さらに、真空発生器３３は、吸着部材３１とともに移動可能に設けられている。

【0044】

また、真空発生器３３と内部空間３Ｓとは、吸引流路３４により接続されている。本実施形態では、複数の吸着孔３１１に連通する複数の吸引流路３４が設けられている。各吸引流路３４は、空間形成部材３２に接続されることにより内部空間３Ｓに連通している。また、各吸引流路３４は、吸着保持面３１Ｘに設定した複数の吸着領域に対応して接続されている。例えば、吸着保持面３１Ｘには中央に設定された中央領域と、その中央領域の周りに設定された複数の周囲領域とが設定されており、これらそれぞれの領域に対応して吸引流路３４を接続することが考えられる。これにより、１つの吸引流路３４により吸引する場合に比べて、吸着保持面３１Ｘ全体の吸着力を均一化することができる。なお、複数の吸引流路３４は、配管により構成されており、その一部が共通の配管とされて真空発生器３３に接続された構成であっても良い。また、空間形成部材３２により形成される内部空間３Ｓを複数の吸着領域に対応させた複数の空間に仕切っても良い。

【0045】

さらに、吸着部材３１の吸着孔３１１が形成された表面（吸着保持面３１Ｘ）には、図７に示すように、複数の凹凸３５が形成されている。この複数の凹凸３５は、例えばブラスト加工により形成されたものである。このような凹凸３５を形成することで、凹部とシート状樹脂Ｊの露出面との間には、吸着孔３１１と連通する隙間Ｓが生じる。これにより、吸着孔３１１からの吸着力が、この隙間Ｓを介して、露出面において吸着孔３１１に対向しない部分にも作用する。その結果、シート状樹脂Ｊは吸着孔３１１からだけでなく、凹部からも吸着されることになり、シート状樹脂Ｊの受圧面積が大きくなり、吸着部材３１に対してシート状樹脂Ｊを確実に吸着させることができる。なお、複数の凹凸３５は、ブラスト加工により形成されたものに限らず、その他の表面加工により形成されたものであってもよいし、表面粗さの大きい素材を用いることで吸着保持面３１Ｘに複数の凹凸が形成されたものであっても良い。

【0046】

また、吸着部材３１は、吸着したシート状樹脂Ｊの露出面にガス（例えば空気）を噴出可能に構成されている。具体的には吸着部材３１に、吸着したシート状樹脂Ｊの露出面にガスを噴出するガス噴出孔が形成されている。本実施形態では、複数の吸着孔３１１がガス噴出孔として兼用されている。そして、吸引流路３４に設けられた切換弁（不図示）を切り替えることにより、真空発生器３３を用いて複数の吸着孔３１１からガスが噴出するように構成されている。例えば、吸引流路３４及び吸引流路３４に設けた切換弁からなる配管構成により、真空発生器３３内の真空エジェクタの吸込ポートが内部空間３Ｓに接続される吸着用流体回路と、真空発生器３３内の真空エジェクタの排気ポートが内部空間３Ｓに接続される噴出用流体回路とが切り替えられるように構成されている。このように吸着したシート状樹脂Ｊの露出面にガスを噴射することにより、吸着部材３１からシート状樹脂Ｊを確実に離すことができるとともに、離れた後のシート状樹脂Ｊが部分的に捲れて折れ曲がったり皺になったりすることを抑制することができる。なお、真空エジェクタとは別にガスを噴出するための圧縮空気供給部を真空発生器３３に接続してもよい。圧縮空気供給部としては、コンプレッサ、工場内に配管されている圧縮空気などを用いることが考えられる。

【0047】

また、吸着部材３１には、図４及び図５に示すように、シート状樹脂Ｊを位置合わせするための目印部３６が設けられている。本実施形態の目印部３６は、上述した吸着保持面３１Ｘに設けられた複数の目盛りであり、吸着保持面３１Ｘにおいて互いに直交する方向に沿って設けられている。なお、目印部３６としては、シート状樹脂Ｊを位置合わせするための目印になるものであれば必ずしも目盛りである必要はなく、例えば一定距離毎に離間して設けられた印など、種々のものを用いて構わない。

【0048】

上述した吸着部材３１は、吸着保持面３１Ｘを上下反転可能に構成されている。具体的に吸着部材３１は、図４～図６に示すように、吸着保持面３１Ｘと平行な回転軸部材３７によって支持部材３８に回転可能に支持されており、当該回転軸部材３７周りに上下反転可能とされている。ここで、回転軸部材３７は、吸着保持面３１Ｘの平面視において、吸着保持面３１Ｘの中心を通るように設けられている。本実施形態の回転軸部材３７は、空間形成部材３２に接続されることにより吸着部材３１を支持する構成であるが、吸着部材３１に接続される構成としても良い。また、吸着部材３１の上下反転動作は、回転軸部材３７に設けられた取っ手３７Ｈにより手動で行うように構成しているが、モータ等を用いて自動で反転させる構成としても良い。

【0049】

吸着機構３の移動機構４は、図１に示すように、吸着機構３を、吸着部材３１がシート状樹脂Ｊを受け取る受け取り位置と、吸着部材３１からシート状樹脂Ｊを下型１５に受け渡す受け渡し位置との間で移動させるものであり、樹脂供給モジュールＣ及びそれぞれの樹脂成形モジュールＢ内において、少なくともＸ方向及びＹ方向に移動するように構成されている。本実施形態の移動機構４は、シート状樹脂Ｊを吸着保持した吸着部材３１を、下型１５の上方に設定された受け渡し位置に移動させるように構成されている。この受け渡し位置は、型開きされている下型１５の上方に設定されており、吸着されたシート状樹脂Ｊが下型１５のキャビティ１５Ｃの直上となる位置である。なお、図１では、説明の便宜上、移動機構４の移動経路と基板搬送機構１４の移動経路とが一部共通とされているが、これに限られない。

【0050】

＜樹脂成形装置１００の動作＞
この樹脂成形装置１００における樹脂成形（樹脂封止）の動作について図８を参照して説明する。

【0051】

まず基板供給・収納モジュールＡにおいて、基板供給部１１から基板載置部１３に封止前基板Ｗを送り出す。次に、所定の待機位置にある基板搬送機構１４を移動させて、基板載置部１３から封止前基板Ｗを受け取る。そして、基板搬送機構１４を樹脂成形モジュールＢに移動させて、封止前基板Ｗを型開きされた上型１６に保持する。その後、基板搬送機構１４を、所定の待機位置に戻す。

【0052】

樹脂供給モジュールＣにおいては、吸着機構３を所定の受け取り位置に待機させておく。そして、一方面に保護フィルムＰＦが設けられたシート状樹脂Ｊを、その露出面が吸着部材３１の吸着保持面３１Ｘに接触するように載置する（図８の＜載置ステップ＞）。この際、吸着保持面３１Ｘに設けられた目盛り等の目印部３６を見ながら、吸着保持面３１Ｘにおける所望の位置にシート状樹脂Ｊを位置決めする。ここで、シート状樹脂Ｊの一方面には保護フィルムＰＦが設けられていることから、シート状樹脂Ｊは変形しにくくその取り扱いが容易である。なお、シート状樹脂Ｊの両面に保護フィルムＰＦが設けられている場合には、片面の保護フィルムＰＦを剥がした後に、その露出面が吸着保持面３１Ｘに接触するように載置する。

【0053】

次に、真空発生器３３による吸引動作を開始させて、シート状樹脂Ｊの露出面を吸着部材３１に吸着させ、シート状樹脂Ｊを吸着保持する（図８の＜吸着保持ステップ＞）。このとき、複数の吸着孔３１１からの吸着力がシート状樹脂Ｊの露出面に作用するとともに、吸着保持面３１Ｘに凹凸３５を設けていることから、その吸着力が凹部とシート状樹脂Ｊとの間の隙間Ｓを介してシート状樹脂Ｊの露出面に伝わり、露出面の全体が吸着保持面３１Ｘに吸着されることになる。

【0054】

このようにシート状樹脂Ｊを吸着部材３１に吸着保持した状態において、シート状樹脂Ｊの一方面（上面）に設けられている保護フィルムＰＦを手動又は自動で剥がす（図８の＜剥離ステップ＞）。これにより、シート状樹脂Ｊから保護フィルムＰＦが取り除かれた状態となる。

【0055】

続いて、シート状樹脂Ｊを吸着した吸着部材３１を回転軸部材３７周りに１８０度回転させて上下反転して、シート状樹脂Ｊが下となるようにする。この状態にした後に、移動機構４により吸着機構３を、樹脂供給モジュールＣから樹脂成形モジュールＢに移動させる（図８の＜移動ステップ＞）。

【0056】

この移動ステップにおいて、移動機構４により吸着機構３を、シート状樹脂Ｊを型開きされた下型１５に受け渡す受け渡し位置まで移動させる。ここで、本実施形態では、吸着部材３１を下型１５に対して位置決めするべく、吸着部材３１に位置決め部３９が設けられている（図４等参照）。位置決め部３９としては、例えば凸部であり、図９に示すように、下型１５又は下型１５と一体的な部材に設けられた凹部１５Ｍに係合するように構成されている。このため、移動機構４は、型開きされた下型１５の上方において吸着機構３をＺ方向に下降させて、凹部１５Ｍに位置決め部３９を係合させて、吸着部材３１を下型１５に対して位置決めする。この位置決めされた状態が、吸着部材３１がシート状樹脂Ｊを受け渡す受け渡し位置である。なお、下型１５をＺ方向に上昇させて、凹部１５Ｍに位置決め部３９を係合させても良い。また、支持部材３８にガイド部を設けて、下型１５の一部の面に対してガイド部が接触してスライドするように位置決めする構成としても良い。

【0057】

その後、真空発生器３３による吸引動作を停止させて、シート状樹脂Ｊの吸着を解除する。また、この吸着の解除後、真空発生器３３の排気ポートを内部空間３Ｓに連通して真空発生器３３による吐出動作を開始させて、吸着孔３１１からシート状樹脂Ｊの露出面にガス（空気）を噴出する。これにより、シート状樹脂Ｊが吸着保持面３１Ｘから剥がれて落下し、シート状樹脂Ｊが下型１５のキャビティ１５Ｃに供給される（図８の＜樹脂供給ステップ＞）。なお、シート状樹脂Ｊを下型１５のキャビティ１５Ｃに供給する前に、下型１５に離型フィルムを設けておいても良い。

【0058】

シート状樹脂Ｊの供給後、吸着機構３は移動機構４により樹脂供給モジュールＣに移動して、上述した受け取り位置に戻る。受け取り位置に戻った吸着機構３の吸着部材３１は、吸着保持面３１Ｘが上を向くように再度上下反転される。

【0059】

上記の工程の後、樹脂成形モジュールＢにおいて、駆動機構１７３によって可動盤１７１を上昇させて、上型保持部４７のシール部材４７４と下型保持部１７６のシール部材４６４とを密着させることで密閉空間を形成する。この状態で、図示しない排気機構によって密閉空間を真空状態とする。

【0060】

そして、駆動機構１７３によって可動盤１７１を更に上昇させて、側面部材２２が上型１６に押されて弾性部材２４が圧縮変形するとともに、基板Ｗの電子部品が樹脂材料であるシート状樹脂Ｊに浸漬するとともに基板Ｗの部品搭載面がシート状樹脂Ｊにより被覆される。この状態で下型１５と上型１６とは所定の成形圧により型締めされる（図８の＜樹脂成形ステップ＞）。所定時間が経過した後、型締め機構１７により下型１５を下降させて下型１５と上型１６とを型開きする。なお、型締めの途中で、密閉空間を大気圧に戻しても良い。

【0061】

次に、基板供給・収納モジュールＡの基板搬送機構１４を移動させて、型開きされた上型１６から封止済基板Ｗを受け取る。基板搬送機構１４を基板載置部１３に移動させて、基板載置部１３に封止済基板Ｗを受け渡す。基板載置部１３から基板収納部１２に封止済基板Ｗを収納する。このようにして、シート状樹脂Ｊを用いた樹脂封止が完了する。

【0062】

＜本実施形態の効果＞
本実施形態の樹脂成形装置１００によれば、一方面に保護フィルムＰＦが設けられたシート状樹脂Ｊの露出面を吸着部材３１に吸着させた状態でシート状樹脂Ｊから保護フィルムＰＦを剥がすことができるので、保護フィルムＰＦを剥がす際又は剥がした後においてシート状樹脂Ｊの形状を維持することができる。これにより、シート状樹脂Ｊの折れ曲がりや皺又は破損を抑制して、シート状樹脂Ｊを下型１５に供給することができる。その結果、シート状樹脂Ｊを用いた樹脂成形の成形不良を低減することができる。
なお、樹脂材料としてシート状樹脂Ｊを用いているので、液状樹脂や顆粒状樹脂を用いた場合に比べて、下型１５のキャビティ１５Ｃ内への樹脂材料の供給量を均一化することができ、樹脂成形品を薄くしたい等といった要求に応えることもできる。

【0063】

＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0064】

例えば、前記実施形態の吸着部材３１は、シート状樹脂Ｊを吸着する吸着孔３１１を有する平板状のものであったが、その他の形状をなすものであっても良い。また、吸着部材３１として、多孔質材（ポーラス材）からなるものを用いても良く、この場合は多孔質材の有する多数の孔が吸着孔３１１となる。

【0065】

また、前記実施形態では、吸着機構３を移動機構４により自動で樹脂成形モジュールＢに移動させる構成であったが、吸着機構３を手動で樹脂成形モジュールＢに移動させる構成の場合には、吸着機構３を移動させる移動機構４を有さない構成であっても良い。

【0066】

さらに、吸着したシート状樹脂Ｊを自然落下により下型１５に供給する構成の場合には、吸着部材３１はガス（空気）を噴出可能に構成しなくても良い。また、吸着機構３は、吸着したシート状樹脂Ｊを押圧部材（不図示）により機械的に押すことによって、シート状樹脂Ｊを吸着部材３１から離す構成を備えていても良い。

【0067】

前記実施形態の樹脂供給機構２は、シート状樹脂Ｊを下型１５に供給するものであったが、上型１６に供給しても良いし、一対の成形型が上下方向とは異なる方向に対向配置されている場合であれば、それらの成形型の少なくとも一方に供給しても良い。

【0068】

加えて、複数の吸着孔３１１の大きさ、配置、形状は前記実施形態に限られるものではない。例えば吸着保持面３１Ｘの異なる領域（例えば中央領域と周囲領域）に応じて、吸着孔３１１の大きさを異ならせても良いし、単位面積当たりの個数（粗密）を異ならせても良い。また、複数の吸着孔３１１は、必ずしも互いに直交する方向に沿って配置されている必要はなく、例えば円周状や渦巻状に配置されていても良いし、不規則に配置されていても良い。さらに、吸着孔３１１は、円形状に限らず、長孔形状、楕円形状、四角形状や多角形状などに適宜変更して構わない。

【0069】

また、前記実施形態では吸着部材３１は複数の吸着孔３１１を有する構成であったが、１つの吸着孔３１１を有するものであっても良い。この場合、例えば、吸着孔３１１を蛇行した長孔や渦巻状の長孔などにすることで、シート状樹脂Ｊを広範囲に亘って吸着することができる。

【0070】

前記実施形態では、吸着部材３１に空間形成部材３２を設けて内部空間３Ｓを形成する構成であったが、空間形成部材３２を設けることなく、吸着部材３１の吸着孔３１１に吸引流路３４を接続する構成としても良い。

【0071】

前記実施形態では、吸着孔３１１をガス噴出孔としても用いていたが、吸着孔３１１とは別にガス噴出孔を設けても良い。

【0072】

また、前記実施形態では、吸着孔３１１から空気を吸引する吸引源として真空エジェクタを含む真空発生器３３を用いていたが、真空ポンプを用いても良い。真空ポンプを用いた場合には、真空ポンプに接続される吸引流路３４をフレキシブルな配管により構成して、ポンプを吸着機構とともに移動させないように構成することが考えられる。

【0073】

また、真空発生器３３を用いてガス噴出孔（吸着孔３１１）にガスを供給する構成の他に、図１０に示すように、ガス噴出孔（吸着孔３１１）にガスを供給するガス供給部５を設けても良い。このガス供給部５は、吸着部材３１の内部空間３Ｓを介して吸着孔３１１にガスを供給するものであり、空気源５１と、当該空気源５１と内部空間３Ｓとを接続する供給流路５２とを有している。空気源５１としては、真空エジェクタ、コンプレッサ、工場内に配管されている圧縮空気などを用いることが考えられる。なお、空気源５１は吸着機構３とともに移動可能に設けられても良いし、吸着機構３とともに移動しように設けられても良い。また、ガス供給部５は、吸引流路３４と同様に、複数のガス噴出孔に連通する複数の供給流路５２を有する構成であっても良い。

【0074】

前記実施形態では、樹脂供給モジュールＣにおいてシート状樹脂Ｊを吸着部材３１に吸着した直後に吸着部材３１を上下反転させているが、吸着部材３１を上下反転させるタイミングは、シート状樹脂Ｊを吸着保持して保護フィルムＰＦを剥がした後、そのシート状樹脂Ｊを成形型に供給する前であれば、適宜変更して構わない。また、例えばシート状樹脂Ｊを上型１６に供給する場合などは、必ずしも吸着部材３１を回転させる必要はない。

【0075】

また、吸着部材３１に吸着保持されたシート状樹脂Ｊを精度良く下型１５に供給するためには、シート状樹脂Ｊの吸着を解除する前に、吸着部材３１又は下型１５の少なくとも一方をＺ方向に昇降移動させてそれらの距離を小さくした後に、シート状樹脂Ｊの吸着を解除することが考えられる。

【0076】

さらに、下型１５に離型フィルムを設ける構成の場合には、当該離型フィルム又は吸着部材３１の少なくとも一方を昇降移動させてそれらの距離を小さくした後に、シート状樹脂Ｊの吸着を解除することが考えられる。離型フィルムにシート状樹脂Ｊを載置した後に離型フィルムを下型１５に下ろすことで、シート状樹脂Ｊを精度良く下型１５に供給することができる。

【0077】

前記実施形態においては、基板供給・収納モジュールＡと樹脂供給モジュールＣとの間に、２個の樹脂成形モジュールＢを接続した構成であるが、基板供給・収納モジュールＡと樹脂供給モジュールＣとを１つのモジュールにして、そのモジュールに樹脂成形モジュールＢを接続した構成としても良い。また、樹脂成形装置は、前記実施形態のように各モジュールにモジュール化されていなくても良い。

【0078】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0079】

１００・・・樹脂成形装置
１５ ・・・第１の成形型（下型）
１６ ・・・第２の成形型（上型）
１７ ・・・型締め機構
２ ・・・樹脂供給機構
Ｊ ・・・シート状樹脂
ＰＦ ・・・保護フィルム
３１ ・・・吸着部材
３１１・・・吸着孔（ガス噴出孔）
３４ ・・・吸引流路
３５ ・・・凹凸
３６ ・・・目印部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】