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特許7149582対象物支持装置

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-29

(45)【発行日】2022-10-07

(54)【発明の名称】対象物支持装置

(51)【国際特許分類】

F16F 15/06 20060101AFI20220930BHJP

F16F 15/067 20060101ALI20220930BHJP

【ＦＩ】

F16F15/06 D

F16F15/067

【請求項の数】 28

(21)【出願番号】P 2018219377

(22)【出願日】2018-11-22

(65)【公開番号】P2020085107

(43)【公開日】2020-06-04

【審査請求日】2021-08-31

(73)【特許権者】

【識別番号】391039494

【氏名又は名称】株式会社エーエス

(74)【代理人】

【識別番号】100108497

【弁理士】

【氏名又は名称】小塚敏紀

(72)【発明者】

【氏名】早川政光

【審査官】大谷謙仁

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－０６９３９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１５７２８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０５３９５８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｆ１５／０６

Ｆ１６Ｆ１５／０６７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造であり、
前記水平方向ばね部材は左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記特定箇所に作用させる弾性部材を持ち、
左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所を含み、
前記水平方向ばね部材は左右一対の前記第一特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第一特定箇所に作用させる第一弾性部材と左右一対の前記第二特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第二特定箇所に作用させる第二弾性部材とを持ち、
左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って並び、
ここで、左右一対の前記主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【請求項2】

左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所とを結ぶ仮想線である左右一対の特定箇所仮想線の上に各々に位置し、
前記水平方向ばね部材は左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記特定箇所に作用させる弾性部材と該弾性部材が前記ばね力を作用させる左右一対の特定箇所を左右一対の前記特定箇所仮想線の上で移動自在に固定する特定箇所固定機構とを持ち、
左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って各々に並び、
ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右
一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。

【請求項3】

左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある、
ことを特徴とする請求項２に記載の対象物支持装置。

【請求項4】

左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある、
ことを特徴とする請求項３に記載の対象物支持装置。

【請求項5】

左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心より他方構造の側に位置する箇所で交差する、
ことを特徴とする請求項４に記載の対象物支持装置。

【請求項6】

左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心より他方構造の側に位置する箇所で交差し、
左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される、
ことを特徴とする請求項５に記載の対象物支持装置。

【請求項7】

前記テーブル支持機構が、
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右
一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
左右一対の前記主リンクが一方の端部を左右一対の前記一方案内ブロックに回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に連結される、
ことを特徴とする請求項６に記載の対象物支持装置。

【請求項8】

前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ、
ことを特徴とする請求項７に記載の対象物支持装置。

【請求項9】

前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持ち、
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする請求項８に記載の対象物支持装置。

【請求項10】

前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと左右一対のガイドリンクと左右一対の連動リンクとを持ち、
前記ガイドリンクが一方構造の側に位置する一方ガイドリンクと他方構造の側に位置する他方ガイドリンクとを含み、
左右一対の前記一方ガイドリンクが一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、
左右一対の前記他方ガイドリンクが、一方の端部を左右一対の前記一方ガイドリンクの他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、
左右一対の前記連動リンクが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を左右一対の前記主リンクまたは左右一対の前記サポートリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である一端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、左右一対の端部のうちの他端を左右一対の前記一方ガイドリンクまたは左右一対の前記他方ガイドリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である他端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結される、
ことを特徴とする請求項９に記載の対象物支持装置。

【請求項11】

左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心と前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心との離間距離Ｉ１と左右一対の前記一方ガイドリンクの各々の前記一方ガイド回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心との離間距離Ｊ１とが一致し、
左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心との離間距離Ｉ２と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｊ２とが一致し、
左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心と左右一対の前記一方ガイドリンクの各々の前記一方ガイド回転中心との離間距離Ｋ１と左右一対の前記連動リンクの各々の前記一端連動回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記他端連動回転中心との離間距離Ｋ３と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｋ２とが一致する、
ことを特徴とする請求項１０に記載の対象物支持装置。

【請求項12】

左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記一端連動回転中心とが各々に一致し、
左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記他端連動回転中心とが各々に一致する、
ことを特徴とする請求項１１に記載の対象物支持装置。

【請求項13】

少なくとも２個のテーブル支持機構と、
少なくとも１個の組連動リンクと
を備え、
Ｎ個のテーブル支持機構が特定水平軸に沿って並び、
１個の前記組連動リンクが、長手方向を前記特定水平軸に沿って伸ばし、一方の端部を２個の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である一方組連動回転中心の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である他方組連動回転中心の回りに回転自在に連結する、
ことを特徴とする請求項１２に記載の対象物支持装置。

【請求項14】

Ｎ個のテーブル支持機構と、
を備え、
上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する、
ことを特徴とする請求項１３に記載の対象物支持装置。

【請求項15】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造であり、
左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所を含み、
前記水平方向ばね部材は左右一対の前記第一特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第一特定箇所に作用させる第一弾性部材と左右一対の前記第二特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第二特定箇所に作用させる第二弾性部材とを持ち、
左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って並び、
ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【請求項16】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造であり、
左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所とを結ぶ仮想線である左右一対の特定箇所仮想線の上に各々に位置し、
前記水平方向ばね部材は左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記特定箇所に作用させる弾性部材と該弾性部材が前記ばね力を作用させる左右一対の特定箇所を左右一対の前記特定箇所仮想線の上で移動自在に固定する特定箇所固定機構とを持ち、
左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って各々に並び、
ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【請求項17】

【請求項18】

【請求項19】

【請求項20】

【請求項21】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造であり、
前記テーブル支持機構が、
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右
一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
左右一対の前記主リンクが一方の端部を左右一対の前記一方案内ブロックに回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に連結される、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【請求項22】

【請求項23】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造であり、
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持ち、
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【請求項24】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造であり、
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと左右一対のガイドリンクと左右一対の連動リンクとを持ち、
前記ガイドリンクが一方構造の側に位置する一方ガイドリンクと他方構造の側に位置する他方ガイドリンクとを含み、
左右一対の前記一方ガイドリンクが一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、
左右一対の前記他方ガイドリンクが、一方の端部を左右一対の前記一方ガイドリンクの他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、他方の端部を基台に対して回転中心である他方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、
左右一対の前記連動リンクが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を左右一対の前記主リンクまたは左右一対の前記サポートリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である一端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、左右一対の端部のうちの他端を左右一対の前記一方ガイドリンクまたは左右一対の前記他方ガイドリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である他端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結される、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【請求項25】

【請求項26】

左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記一端連動回転中心とが各々に一致し、
左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記他端連動回転中心とが各々に一致する、
ことを特徴とする請求項２４に記載の対象物支持装置。

【請求項27】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持する少なくとも２個のテーブル支持機構と、
少なくとも１個の組連動リンクと
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造であり、
Ｎ個のテーブル支持機構が特定水平軸に沿って並び、
１個の前記組連動リンクが、長手方向を前記特定水平軸に沿って伸ばし、一方の端部を２個の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である一方組連動回転中心の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である他方組連動回転中心の回りに回転自在に連結する、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【請求項28】

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するＮ個のテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が請求項３乃至２６のうちの一つに記載のテーブル支持機構であって、
上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する、
ことを特徴とする対象物支持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、対象物を支持する対象物支持装置に係る。特に、上下方向の振動に対する免震機能に注目した対象物支持装置に関する。

【背景技術】

【0002】

水平方向の対象物支持装置（例えば、免震テーブル）として、従来より、いくつかの構成のものが考案されている。水平方向の免震テーブルは比較的容易に実現できる。免震テーブルに支えられる対象物の重量が、Ｘ－Ｙテーブルやベアリング等により支えられているため水平方向のばね定数を比較的小さく設定して地震時に水平加速度振動に応答できる。例えば、ベアリング等の機構で垂直方向の荷重を支え、水平方向の振動に対する抵抗力を抑制し、免震作用を効果的に発揮できる。

【0003】

一方、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、簡易な構成、かつ、低コストで実現できるものが要請されている。

【0004】

地震の波には様々な周期を持った波が重なっており、その中でも周期が０．５～１．０秒程度の波の成分が卓越している。対象物支持装置の上下方向の固有周期を１秒より大きくすることで、対象物支持装置の地震波に対する共振を避けて、免震効果を大きくすることができる。対象物支持装置の上下方向の固有周期を１秒、２秒、３秒、５秒と大きくするほど免震効果が大きくなる。少なくとも２秒程度にすることが好ましい。

【0005】

対象物支持装置の上下方向の固有周期を２秒程度にするためには、上下方向のばねを柔らかくすることが必要である。ここで、対象物支持装置の上下方向の固有周期を２秒程度にするためには、ばね定数が一定である場合、対象物の質量に関わらず、約１ｍの静的たわみが必要となることが分かっている。これは、無負荷の状態の免震装置に対象物を静かに乗せると約１ｍ程度沈んでつりあい、この静的つりあい位置を中心に上下振動して免震効果を発揮する。対象物支持装置は、高さが１ｍ～数十ｃｍ程度になる。免震装置の上下方向の固有周期を３秒、５秒にすると、さらに静的たわみが大きくなる。

【0006】

特に、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、一定の荷重に対しては静的たわみが極めて小さく、一定の荷重以上になると軟らかいばね定数をもつ非線形ばね特性をもつ免震装置が好ましい。
例えば、対象物をテーブルに置くと、一つの位置まで静的にたわみ、その静的吊りあい位置で静的に吊りあう。地震が発生すると、静的吊りあい位置を中心に上下に振動する。

【0007】

本願出願人、他は、対象物が載置され基台に対して上下動するテーブルと、このテーブルと前記基台との間に設置され、前記テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、前記テーブルと前記基台とを連結し、前記テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、この連結部材の前記水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、を備え、前記連結部材は、前記テーブルの上下動に伴って相互間の離間距離が変化する前記水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備えると共に、当該一対のリンク部材は、それぞれの一端部が前記テーブルに回動自在に係合され、前記水平方向バネ部材は、その両端が前記各水平可動部にそれぞれ連結されている、ことを特徴とする免震装置、を考案した。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

市場は、本願出願人が考案した対象物支持装置を、免震機能を維持したままより構造を簡易にすることを望んでいる。

【0009】

本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、免震機能を維持したままより構造を簡易にした対象物を支持できる対象物支持装置を提供しようとする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を支持する対象物支持装置を、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである左右一対の主リンクと、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである左右一対のサポートリンクと、を持つリンク機構と、左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有し、ここで、前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である、ものとした。

【0011】

上記本発明の構成により、前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸である。前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造である。前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である。テーブルが、対象物を乗せられる。基台が、基礎に支持される。テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルを支持する。前記テーブル支持機構が上下方向ばね部材とリンク機構と水平方向ばね部材とを有する。
上下方向ばね部材が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる。リンク機構が左右一対の主リンクと左右一対のサポートリンクとを有する。左右一対の主リンクが、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を他方構造の側に向けるリンクである。左右一対のサポートリンクが、一方の端部を左右一対の該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである。水平方向ばね部材が、左右一対の前記主リンクの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所に互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる。
その結果、テーブルの上下運動に伴って左右一対の主リンクとサポートリンクとが一方サポート回転中心の回りに揺動し、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。

【0012】

以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。

【0013】

また、前記水平方向ばね部材は左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を作用させる弾性部材を持つ。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記水平方向ばね部材は左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を作用させる弾性部材を持つ。
その結果、テーブルの上下運動に伴って特定箇所の離間距離が変動し、弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。

【0014】

また、左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所を含み、前記水平方向ばね部材は左右一対の前記第一特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第一特定箇所に作用させる第一弾性部材と左右一対の前記第二特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第二特定箇所に作用させる第二弾性部材とを持ち、左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って並び、ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所を含む。前記水平方向ばね部材は左右一対の前記第一特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第一特定箇所に作用させる第一弾性部材と左右一対の前記第二特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第二特定箇所に作用させる第二弾性部材とを持つ。左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って並ぶ。ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である。
その結果、テーブルの上下運動に伴って第一特定箇所と第二特定箇所の離間距離が変動し、複数の弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。

【0015】

また、左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所とを結ぶ仮想線である左右一対の特定箇所仮想線の上に各々に位置し、前記水平方向ばね部材は左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記特定箇所に作用させる弾性部材と該弾性部材が前記ばね力を作用させる左右一対の特定箇所を左右一対の前記特定箇所仮想線の上で移動自在に固定する特定箇所固定機構とを持ち、左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って各々に並び、ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の特定箇所が左右一対の第一特定箇所と左右一対の第二特定箇所とを結ぶ仮想線である左右一対の特定箇所仮想線の上に各々に位置する。前記水平方向ばね部材は左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記特定箇所に作用させる弾性部材と該弾性部材が前記ばね力を作用させる左右一対の特定箇所を左右一対の前記特定箇所仮想線の上で移動自在に固定する特定箇所固定機構とを持つ。左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とが左右一対の主リンク仮想線に沿って各々に並ぶ。ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である。
その結果、テーブルの上下運動に伴って特定箇所仮想線の上で移動できる特定箇所の離間距離が変動し、弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。

【0016】

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
その結果、設計の自由度が増える。

【0017】

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。

【0018】

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方回転中心が一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。

【0019】

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致し、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方回転中心が一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致し、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。

【0020】

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心の離間距離Ｈ１と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心の離間距離Ｈ２とが一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心の離間距離Ｈ１と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心の離間距離Ｈ２とが一致する。
その結果、テーブルを安定して支持できる。

【0021】

また、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心の離間距離Ｈ３が左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心の離間距離Ｈ１より長い。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心の離間距離Ｈ３が左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心の離間距離Ｈ１より長い。
その結果、設計の自由度が増える。

【0022】

また、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心の離間距離Ｈ３が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心の離間距離Ｈ２より長い。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心の離間距離Ｈ３が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心の離間距離Ｈ２より長い。
その結果、設計の自由度が増える。

【0023】

また、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある。
その結果、設計の自由度が増える。

【0024】

また、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある。
その結果、設計の自由度が増える。

【0025】

また、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記特定箇所が左右一対の主リンク仮想線に挟まれた内側の空間に位置する。ここで、左右一対の主リンク仮想線は左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である、
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記特定箇所が左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である左右一対の主リンク仮想線に挟まれた内側の空間に位置する、
その結果、設計の自由度が増える。

【0026】

また、左右一対の前記主リンクを正面に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心より他方構造の側に位置する箇所で交差する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを正面に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心より他方構造の側に位置する箇所でで交差する。
その結果、設計の自由度が増える。

【0027】

また、左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心より他方構造の側に位置する箇所で交差し、左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを正面に水平に見て左右一対の前記主リンクを正面に見て、左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心より他方構造の側に位置する箇所で交差する。左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
その結果、設計の自由度が増える。

【0028】

また、前記テーブル支持機構が、一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、を有し、左右一対の前記主リンクが一方の端部を左右一対の前記一方案内ブロックに回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に連結される。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、前記テーブル支持機構が、一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、を有する。左右一対の前記主リンクが一方の端部を左右一対の前記一方案内ブロックに回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に連結される。
その結果、サポートリンクと主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。

【0029】

また、前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、前記リンク機構の一方サポートリンクが他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
その結果、サポートリンクと一方サポートリンクとが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。

【0030】

また、前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持ち、前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ。前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
その結果、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の一方のサポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。

【0031】

また、前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクとガイドリンクと連動リンクとを持ち、前記ガイドリンクが一方構造の側に位置する一方ガイドリンクと他方構造の側に位置する他方ガイドリンクとを含み、前記一方ガイドリンクが一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心の回りに回転自在に連結され、前記他方ガイドリンクが、一方の端部を前記一方ガイドリンクの他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心の回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心の回りに回転自在に連結され、前記連動リンクが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である一端連動回転中心の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を前記一方ガイドリンクまたは前記他方ガイドリンクのうちの一方のリンクに回転中心である他端連動回転中心の回りに回転自在に連結される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記一方ガイドリンクが一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心の回りに回転自在に連結される。前記他方ガイドリンクが、一方の端部を前記一方ガイドリンクの他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心の回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心の回りに回転自在に連結される。前記連動リンクが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である一端連動回転中心の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を前記一方ガイドリンクまたは前記他方ガイドリンクのうちの一方のリンクに回転中心である他端連動回転中心の回りに回転自在に連結される。
その結果、テーブルの上下運動に伴う水平移動を抑制できる。

【0032】

また、前記主リンクの前記一方回転中心と前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心との離間距離Ｉ１と前記一方ガイドリンクの前記一方ガイド回転中心と前記他方ガイドリンクの前記中間ガイド回転中心との離間距離Ｊ１とが一致し、前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心と前記サポートリンクの前記他方サポート回転中心との離間距離Ｉ２と前記他方ガイドリンクの前記中間ガイド回転中心と前記他方ガイドリンクの前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｊ２とが一致し、前記主リンクの前記一方回転中心と前記一方ガイドリンクの前記一方ガイド回転中心との離間距離Ｋ１と前記連動リンクの前記一端連動回転中心と前記連動リンクの前記他端連動回転中心との離間距離Ｋ３と前記サポートリンクの前記他方サポート回転中心と前記他方ガイドリンクの前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｋ２とが一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記主リンクの前記一方回転中心と前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心との離間距離Ｉ１と前記一方ガイドリンクの前記一方ガイド回転中心と前記他方ガイドリンクの前記中間ガイド回転中心との離間距離Ｊ１とが一致する。前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心と前記サポートリンクの前記他方サポート回転中心との離間距離Ｉ２と前記他方ガイドリンクの前記中間ガイド回転中心と前記他方ガイドリンクの前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｊ２とが一致する。前記主リンクの前記一方回転中心と前記一方ガイドリンクの前記一方ガイド回転中心との離間距離Ｋ１と前記連動リンクの前記一端連動回転中心と前記連動リンクの前記他端連動回転中心との離間距離Ｋ３と前記サポートリンクの前記他方サポート回転中心と前記他方ガイドリンクの前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｋ２とが一致する。
その結果、テーブルを安定して上下運動できる。

【0033】

また、前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心と前記連動リンクの前記一端連動回転中心とが一致し、前記他方ガイドリンクの前記中間ガイド回転中心と前記連動リンクの前記他端連動回転中心とが一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心と前記連動リンクの前記一端連動回転中心とが一致する。
前記他方ガイドリンクの前記中間ガイド回転中心と前記連動リンクの前記他端連動回転中心とが一致する。
その結果、前記連動リンクの両端の連結構造が簡略される。

【0034】

また、前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと左右一対の前記サポートリンクと左右一対のガイドリンクと左右一対の連動リンクとを持ち、前記ガイドリンクが一方構造の側に位置する一方ガイドリンクと他方構造の側に位置するの他方ガイドリンクとを含み、左右一対の前記一方ガイドリンクが一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、左右一対の前記他方ガイドリンクが、一方の端部を左右一対の前記一方ガイドリンクの他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、左右一対の前記連動リンクが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を左右一対の前記主リンクまたは左右一対の前記サポートリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である一端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、左右一対の端部のうちの他端を左右一対の前記一方ガイドリンクまたは左右一対の前記他方ガイドリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である他端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記一方ガイドリンクが一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結される。左右一対の前記他方ガイドリンクが、一方の端部を左右一対の前記一方ガイドリンクの他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心の回りに回転自在に各々に連結される。左右一対の前記連動リンクが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を左右一対の前記主リンクまたは左右一対の前記サポートリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である一端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結され、左右一対の端部のうちの他端を左右一対の前記一方ガイドリンクまたは左右一対の前記他方ガイドリンクのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である他端連動回転中心の回りに回転自在に各々に連結される。
その結果、テーブルの上下運動に伴う水平移動を抑制できる。

【0035】

また、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心と前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心との離間距離Ｉ１と左右一対の前記一方ガイドリンクの各々の前記一方ガイド回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心との離間距離Ｊ１とが一致し、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心との離間距離Ｉ２と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｊ２とが一致し、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心と左右一対の前記一方ガイドリンクの各々の前記一方ガイド回転中心との離間距離Ｋ１と左右一対の前記連動リンクの各々の前記一端連動回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記他端連動回転中心との離間距離Ｋ３と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｋ２とが一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心と前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心との離間距離Ｉ１と左右一対の前記一方ガイドリンクの各々の前記一方ガイド回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心との離間距離Ｊ１とが一致する。左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心との離間距離Ｉ２と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｊ２とが一致する。左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心と左右一対の前記一方ガイドリンクの各々の前記一方ガイド回転中心との離間距離Ｋ１と左右一対の前記連動リンクの各々の前記一端連動回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記他端連動回転中心との離間距離Ｋ３と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心と左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｋ２とが一致する。
その結果、テーブルを安定して上下運動できる。

【0036】

また、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記一端連動回転中心とが各々に一致し、左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記他端連動回転中心とが各々に一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記一端連動回転中心とが各々に一致する。左右一対の前記他方ガイドリンクの各々の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記連動リンクの各々の前記他端連動回転中心とが各々に一致する。
その結果、前記連動リンクの両端の連結構造が簡略される。

【0037】

また、少なくとも２個のテーブル支持機構と、少なくとも１個の組連動リンクとを備え、Ｎ個のテーブル支持機構が特定水平軸に沿って並び、１個の前記組連動リンクが、長手方向を前記特定水平軸に沿って伸ばし、一方の端部を２個の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である一方組連動回転中心の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である他方組連動回転中心の回りに回転自在に連結する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、Ｎ個のテーブル支持機構が特定水平軸に沿って並ぶ。１個の前記組連動リンクが、長手方向を前記特定水平軸に沿って伸ばし、一方の端部を２個の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である一方組連動回転中心の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である他方組連動回転中心の回りに回転自在に連結する。
その結果、規模の大きい対象物を支持するテーブルを安定して上下移動できる。

【0038】

また、Ｎ個のテーブル支持機構と、を備え、上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。
その結果、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。

【発明の効果】

【0039】

以上説明したように本発明に係る対象物支持装置は、その手順と構成により、以下の効果を有する。
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対の前記主リンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、サポートリンクの一方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定され、他方の端部を前記テーブルまたは前記基台の他方に回転自在に固定し、左右一対の前記主リンクの特定箇所に互いに接近する向きにばね力を作用させる様にしたので、テーブルの上下運動に伴って左右一対の前記主リンクとサポートリンクとが一方サポート回転中心の回りに揺動し、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、弾性部材が左右一対の前記特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を作用させる様にしたので、テーブルの上下運動に伴って特定箇所の離間距離が変動し、弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。
また、複数の弾性部材が左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所に作用させる様にしたので、テーブルの上下運動に伴って第一特定箇所と第二特定箇所の離間距離が変動し、複数の弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。
また、弾性部材が左右一対の前記第一特定箇所と左右一対の前記第二特定箇所とを結ぶ左右一対の特定箇所仮想線の上で移動できる左右一対に特定箇所の離間距離の変化に応じて該離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化する前記ばね力を左右一対の特定箇所に作用させる様にしたので、テーブルの上下運動に伴って特定箇所仮想線の上で移動できる特定箇所の離間距離が変動し、弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離Ｈ１だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致し、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心の離間距離Ｈ１と左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心の離間距離Ｈ２とが一致する様にしたので、テーブルを安定して支持できる。
また、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心の離間距離Ｈ３が左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心の離間距離Ｈ１より長い様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心の離間距離Ｈ３が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心の離間距離Ｈ２より長い様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記一方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクの各々の前記特定箇所が左右一対の前記サポートリンクの各々の前記他方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある様にしたので、設計の自由度が増える
また、左右一対の前記特定箇所が左右一対の前記主リンクの前記一方回転中心と左右一対の前記サポートリンクの前記一方サポート回転中心を結ぶ仮想線である左右一対の主リンク仮想線に挟まれた内側の空間に位置する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、交差点で連結する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の一方案内機構が特定水平軸に添って離れた左右一対の一方案内ブロックを一方構造に対して第三軌道に沿って移動自在に案内し、左右一対の前記主リンクの一方の端部が左右一対の一方案内に回転自在に固定され、左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対の前記サポートリンクの一方の端部を左右一対の前記主リンクに回転自在に固定され、他方の端部を他方構造に回転自在に固定される様にしたので、サポートリンクと一方サポートリンクとが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、一方サポートリンクの一方の端部を前記一方構造に回転自在に固定され、他方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定される様にしたので、サポートリンクと一方サポートリンクとが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される様にしたので、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の前記一方サポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。

【0040】

また、一方構造にたいして回転自在に連結される前記一方ガイドリンクの他方の端部と他方構造に対して回転自在に連結される他方ガイドリンクの一方の端部とが回転自在に連結され、連動リンクが一端を前記主リンクまたは前記サポートリンクに回転自在に連結し他端を一方ガイドリンク又は他方ガイドリンクに回転自在に連結する様にしたので、テーブルの上下運動に伴う水平移動を抑制できる。
また、前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との離間距離Ｉ１と前記一方ガイド回転中心と前記中間ガイド回転中心との離間距離Ｊ１とが一致し、
前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との離間距離Ｉ２と前記中間ガイド回転中心と前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｊ２とが一致し、
前記一方回転中心と前記一方ガイド回転中心との離間距離Ｋ１と前記一端連動回転中心と前記他端連動回転中心との離間距離Ｋ３と前記他方サポート回転中心と前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｋ２とが一致する様にしたので、テーブルを安定して上下運動できる。
また、前記一方サポート回転中心と前記一端連動回転中心とが一致し、前記中間ガイド回転中心と前記他端連動回転中心とが一致する様にしたので、前記連動リンクの両端の連結構造が簡略される。
また、一方構造にたいして回転自在に連結される左右一対の前記一方ガイドリンクの他方の端部と他方構造に対して回転自在に連結される左右一対の他方ガイドリンクの一方の端部とが回転自在に連結され、左右一対の連動リンクが一端を左右一対の前記主リンクまたは左右一対の前記サポートリンクに回転自在に連結し他端を左右一対の一方ガイドリンク又は左右一対の他方ガイドリンクに回転自在に連結する様にしたので、テーブルの上下運動に伴う水平移動を抑制できる。
また、左右一対の前記一方回転中心と左右一対の前記一方サポート回転中心との離間距離Ｉ１と左右一対の前記一方ガイド回転中心と左右一対の前記中間ガイド回転中心との離間距離Ｊ１とが一致し、左右一対の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記他方サポート回転中心との離間距離Ｉ２と左右一対の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｊ２とが一致し、左右一対の前記一方回転中心と左右一対の前記一方ガイド回転中心との離間距離Ｋ１と左右一対の前記一端連動回転中心と左右一対の前記他端連動回転中心との離間距離Ｋ３と左右一対の前記他方サポート回転中心と左右一対の前記他方ガイド回転中心との離間距離Ｋ２とが一致する様にしたので、テーブルを安定して上下運動できる。
また、左右一対の前記一方サポート回転中心と左右一対の前記一端連動回転中心とが一致し、左右一対の前記中間ガイド回転中心と左右一対の前記他端連動回転中心とが一致する様にしたので、前記連動リンクの両端の連結構造が簡略される。
また、１個の前記組連動リンクが、長手方向を前記特定水平軸に沿って伸ばし、一方の端部を２個の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である一方組連動回転中心の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他の前記テーブル支持機構の前記主リンクまたは前記サポートリンクのうちの一方のリンクに回転中心である他方組連動回転中心の回りに回転自在に連結する様にしたので、規模の大きい対象物を支持するテーブルを安定して上下移動できる。
また、上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
従って、免震機能を維持したまま水平可動部を省略することで構造を簡易にした対象物を支持できる対象物支持装置をを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図2】本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図3】本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図4】本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図5】本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図6】本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図7】本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図8】本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図9】本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図10】本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図11】本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図12】本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図13】本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図14】本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図15】本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図16】本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図17】本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図18】本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図19】本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図20】本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図21】本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図22】本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図23】本発明の第十二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図24】本発明の第十二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図25】本発明の第十三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図26】本発明の第十三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図27】本発明の第十四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図28】本発明の第十四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図29】本発明の第十五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

【図30】本発明の第十五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。

【図31】本発明の実施形態にかかる上下移動案内機構の一例を示す概念図である。

【図32】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。

【図33】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１である。

【図34】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の側面図である。

【図35】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0042】

以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
最初に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する

【0043】

対象物支持装置は、対象物を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持して、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

【0044】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００は、対象物１０を乗せるものである。
基台２００は、基礎に支持されるものである。
テーブル支持機構３００は、基台２００を基礎としてテーブル１００を支持する機構である。
以下に、テーブル支持機構３００の構造を説明する。
ここで、説明の便宜上、特定の水平方向に延びる水平軸を特定水平軸ｘと、テーブル１００または基台２００の一方の構造を一方構造と、テーブル１００または基台２００の他方の構造を他方構造と、呼称する。

【0045】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構３６０とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構３６０とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と一方垂直移動案内機構３５２とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と一方垂直移動案内機構３５２と上下移動案内機構３６０とで構成されてもよい。

【0046】

一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとで構成される。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、一方構造に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する。

【0047】

例えば、テーブル１００が一方構造である場合、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられる。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌはテーブル１００に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する。
図１９乃至２２は、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられる様子を示す。

【0048】

図示しないが、例えば、基台２００が一方構造である場合、一方水平移動案内機構３１２が基台２００に設けられる。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、基台２００に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する。

【0049】

左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを第三軌道ｇ３にそって案内するレール構造であってもよい。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、レール構造に案内される車輪を持っていてもよい。

【0050】

左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って延びてもよい。

【0051】

左右一対の第三軌道ｇ３が、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
図１９乃至図２０は、左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる様子を示す。

【0052】

左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びてもよい。
左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図２１乃至２２は、第三軌道ｇ３が、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びてもよい。
例えば、左右一対の第三軌道ｇ３が、上に凸の曲線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びてもよい。

【0053】

上下方向ばね部材３２０は、基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させる部材である。
上下方向ばね部材３２０は、設計上選択されたばね定数をもつ。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねでもよい。
例えば、圧縮ばねは、下端を基台２００に連結され、上端をテーブル１００に連結され、上向きの圧縮力をテーブ１００に作用させる。
上下方向ばね部材３２０は、引張ばねでもよい。
例えば、引張ばねは、下端をテーブル１００に連結され、上端を基台に連結され、上向きの引張力をテーブル１００に作用させる。
図１乃至３１は、圧縮ばねがテーブル１００と基台２００との間に設けられる様子を、模式的に示す。

【0054】

リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１と左右一対のサポートリンク３３２とで構成される。
図１乃至２０には、リンク機構３３０が左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌとで構成される様子を示される。
左右一対の主リンク３３１は、右側主リンク３３１ｒと左側主リンク３３１ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２は、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される左右一対のリンクである。
右側の一方連結軸３３１ｕが、右側主リンク３３１ｒの一方の端部を一方構造に一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に連結する。
左側の一方連結軸３３１ｕが、左側主リンク３３１ｌの一方の端部を一方構造に一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に連結する。

【0055】

リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１と左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌと一方サポートリンク３３３とで構成されてもよい。
図２１乃至２２には、リンク機構３３０が左右一対の主リンク３３１と左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌと一方サポートリンク３３３とで構成される様子を示される。
リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１と左右一対のサポートリンク３３２と左右一対の一方サポートリンク３３３とで構成されてもよい。
一方サポートリンク３３３は、一方の端部を回転中心である一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に一方構造に支持され、他方の端部を回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に主リンク３３１に支持されるリンクである。
一方サポートリンク３３３は、一方の端部を一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造に支持され、他方の端部を回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に主リンク３３１に支持されてもよい。

【0056】

リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌとガイドリンク３３５、３３６と連動リンク３３７とで構成されてもよい。
ガイドリンク３３５、３３６は、一方構造の側に位置する一方ガイドリンク３３５と他方構造の側に位置する他方ガイドリンク３３６とで構成される。
一方ガイドリンク３３５は、一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に連結されるリンクである。
他方ガイドリンク３３６は、一方の端部を一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に連結されるリンクである。
連動リンク３３７は、長手方向を特定水平軸ｘに沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を主リンク３３１またはサポートリンク３３２のうちの一方のリンクに回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を一方ガイドリンク３３５または他方ガイドリンク３３６のうちの一方のリンクに回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に連結されるリンクである。

【0057】

リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌと左右一対のガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌ、３３６ｒ、３３６ｌと左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌとで構成されてもよい。
左右一対のガイドリンク３３５、３３６が、一方構造の側に位置する左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌと他方構造の側に位置する左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌとで構成される。
左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌが一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に各々に連結されるリンクである。
左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌが、一方の端部を左右一対の一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に各々に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に各々に連結されるリンクである。
左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌが、長手方向を特定水平軸ｘに沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌまたは左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に各々に連結され、左右一対の端部のうちの他端を左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌまたは左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌのうちの一方の左右一対のリンクに回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に各々に連結されるリンクである。

【0058】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差してもよい。
図１７乃至１８に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差する様子が示される。

【0059】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンクが各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結されてもよい。
図１９乃至２２に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様子が示される。
。

【0060】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに各々に回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に各々に支持される左右一対のリンクである。
図１乃至３０には、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに各々に回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に相当する基台２００に回転中心である他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される様子が示される。
右側の一方サポート連結軸３３２ｕが、右側サポートリンク３３２ｒの一方の端部を右側主リンク３３１ｒに回転自在に連結する。
左側の一方サポート連結軸３３２ｕが、左側サポートリンク３３２ｌの一方の端部を左側主リンク３３１ｌに回転自在に連結する。
右側の他方サポート連結軸３３２ｄが、右側サポートリンク３３２ｒの他方の端部を他方構造に回転自在に連結する。
左側の他方サポート連結軸３３２ｄが、左側サポートリンク３３２ｌの他方の端部を他方構造に回転自在に連結する。

【0061】

一方水平移動案内機構３１２が一方構造に設けられ、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが交差する場合、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、一方の端部を一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク３３１ｒは、一方の端部を左側一方案内ブロック３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク３３１ｌは、一方の端部を右側一方案内ブロック３１２Ｂｒに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。

【0062】

例えば、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられ、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが交差する場合、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、一方の端部である上方の端部を一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク３３１ｒは、一方の端部である上方の端部を左側一方案内ブロック３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク３３１ｌは、一方の端部である上方の端部を右側一方案内ブロック３１２Ｂｒに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
図１９乃至２２に、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられ、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが交差し、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、一方の端部である上方の端部を一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される様子が示される。

【0063】

例えば、一方水平移動案内機構３１２が基台２００に設けられ、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが交差する場合、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、一方の端部である下方の端部を一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク３３１ｒは、一方の端部である下方の端部を左側一方案内ブロック３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク３３１ｌは、一方の端部である下方の端部を右側一方案内ブロック３１２Ｂｒに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。

【0064】

【0065】

一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方サポート案内ブロック３５２Ｂに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
例えば、一方サポート案内機構３５２Ｒは、一方サポート案内ブロック３５２Ｂを第四軌道ｇ４に沿って案内するレール構造である。

【0066】

一方垂直移動案内機構３５２の第四軌道ｇ４が、直線状である特定水平軸に直交する向きに延びていてもよい。
一方垂直移動案内機構３５２の第四軌道ｇ４が、主リンク３３１とサポートリンク３３２と一方サポートリンク３３３のジオメトリに対応して、テーブル１００が真直ぐ上下運動する様になっていてもよい。

【0067】

一方垂直移動案内機構３５２は、図示しないが、左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌと左右一対の一方サポート案内機構３５２Ｒｒ、３５２Ｒｌとで構成されてもよい。
左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌは、左右に離れて一方構造に対して配される。
左右一対の一方サポート案内機構３５２Ｒｒ、３５２Ｒｌは、左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌを一方構造に対して特定水平軸ｘに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在に案内する。
左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌは、右側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒと左側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｌとで構成される。
左右一対の一方サポート案内機構３５２Ｒｒ、３５２Ｒｌは、右側一方サポート案内機構３５２Ｒｒと左側一方サポート案内機構３５２Ｒｌとで構成される。
右側一方サポートリンク３３３ｒが、一方の端部を右側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左側一方サポートリンク３３３ｌが、一方の端部を左側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｌに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
例えば、右側一方サポート案内機構３５２Ｒｒは、右側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒを第四軌道ｇ４に沿って案内するレール構造である。左側一方サポート案内機構３５２Ｒｌは、左側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｌを第四軌道ｇ４に沿って案内するレール構造である。

【0068】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕが所定の離間距離Ｈ１だけ離れてもよい。
図１乃至１４及び図１７乃至３０は、左右一対の主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈ１だけ離れる様子が示される。

【0069】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕが一致してもよい。
図１５乃至１６は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕが一致する様子が示される。

【0070】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕが一致し、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致してもよい。
図１５乃至１６は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕが一致し、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致し、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕが所定距離Ｈ３だけ離れる様子が示される。

【0071】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心の離間距離Ｈ１と左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄの離間距離Ｈ２とが一致してもよい。
図１乃至１４、図１７乃至３０に、左右一対の主リンクを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンクの各々の一方回転中心の離間距離Ｈ１と左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄの離間距離Ｈ２とが一致している様子が示される。

【0072】

左右一対のサポートリンク３３２の各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致してもよい。
図１５乃至２２に、左右一対のサポートリンク３３２の各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致している様子が示される。

【0073】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕの離間距離Ｈ３が左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心の離間距離Ｈ１より長くてもよい。
図１乃至１４、図１７乃至３０に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕの離間距離Ｈ３が左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心の離間距離Ｈ１より長い様子が示される。

【0074】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕの離間距離Ｈ３が左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄの離間距離Ｈ２より長くてもよい。
図１乃至１４、図１７乃至３０に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕの離間距離Ｈ３が左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄの離間距離Ｈ２より長い様子が示される。

【0075】

水平方向ばね部材３４０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の特定の箇所である左右一対の特定箇所Ｙに互いに接近する向きに特定水平軸ｘに沿ってばね力を各々に作用させる部材である。
水平方向ばね部材３４０は、左右一対の特定箇所Ｙの離間距離の変化に応じて、離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の特定箇所に作用させる弾性部材３４１を持ってもよい。
水平方向ばね部材３４０は、左右一対の特定箇所Ｙの離間距離の変化に応じて、離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に、離間距離が大きくさくなるとばね力が大きくさくなる様に、変化するばね力を左右一対の特定箇所に作用させる弾性部材３４１を持ってもよい。
弾性部材３４１は、設計上選択されたばね定数をもつ。
弾性部材３４１は、圧縮ばねであってもよい。
例えば、一対の弾性部材３４１が、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの特定箇所Ｙｒ、Ｙｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
弾性部材３４１は、引張ばねであってもよい。
例えば、引張ばねである弾性部材３４１が、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの特定箇所Ｙｒ、Ｙｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、一対の引張ばねであるい弾性部材３４１が、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの特定箇所Ｙｒ、Ｙｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、引張ばねである弾性部材３４１が、一方の端部を右側主リンク３３１ｒの特定箇所Ｙｒに連結され、他方の端部を左側主リンク３３１ｌの特定箇所Ｙｌに連結され、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの特定箇所Ｙｒ、Ｙｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。
水平方向ばね部材３４０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの特定箇所Ｙｒ、Ｙｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に直接に作用させてもよい。
図１乃至３０に、引張ばねである弾性部材３４１が、一方の端部を右側主リンク３３１１ｒの特定箇所Ｙｒに連結され、他方の端部を左側主リンク３３１ｌの特定箇所Ｙｌに連結され、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの特定箇所Ｙに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる様子を示す。

【0076】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の特定箇所Ｙが左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕより他方構造の側に寄った位置にあってもよい。
図３乃至１０に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の特定箇所Ｙが左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕより他方構造の側に寄った位置にある様子が示される。

【0077】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の特定箇所Ｙが左右一対のサポートリンク３３２の各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄより他方構造の側に寄った位置にあってもよい。
図７乃至１０に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の特定箇所Ｙが左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心より他方構造の側に寄った位置にある様子が示される。

【0078】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の特定箇所Ｙが左右一対の主リンク仮想線ｚに挟まれた内側の空間に位置してもよい。
ここで、左右一対の主リンク仮想線ｚは左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕとを結ぶ仮想線である。
図９乃至１０に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の特定箇所Ｙが左右一対の主リンク仮想線ｚに挟まれた内側の空間に位置する様子が示される。
この様にすると、好ましい免震機能を発揮できるテーブル１００の稼働範囲が大きくなる。

【0079】

左右一対の特定箇所Ｙが左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２を含んでもよい。
水平方向ばね部材３４０は第一弾性部材３４１ａと第二弾性部材３４１ｂとで構成されてもよい。
第一弾性部材３４１ａ^は、左右一対の第一特定箇所Ｙ１の離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の第一特定箇所に作用させる。
第二弾性部材３４１ｂは、左右一対の第二特定箇所Ｙ２の離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の第二特定箇所に作用させる。
左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とが左右一対の主リンク仮想線ｚに沿って並んでもよい。
ここで、左右一対の主リンク仮想線ｚは左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２の一方サポート回転中心３３２Ｃｕとを結ぶ仮想線である。
図１１、１２に、第一弾性部材３４１ａが左右一対の第一特定箇所Ｙ１の離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の第一特定箇所に作用させ、第二弾性部材３４１ｂが左右一対の第二特定箇所Ｙ２の離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の第二特定箇所に作用させる様子が示される。

【0080】

左右一対の特定箇所Ｙが、左右一対の特定箇所仮想線ｙの上に各々に位置してもよい。
左右一対の特定箇所Ｙが、左右一対の特定箇所仮想線ｙの上に移動自在に各々に位置してもよい。
ここで、左右一対の特定箇所仮想線ｙが、左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とを結ぶ仮想線である、
水平方向ばね部材３４０は弾性部材３４１と特定箇所固定機構３４２とで構成されてもよい。
弾性部材３４１は、左右一対の特定箇所の離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の特定箇所に作用させる。
特定箇所固定機構３４２は、弾性部材３４１がばね力を作用させる左右一対の特定箇所Ｙを左右一対の特定箇所仮想線ｙの上で移動自在に固定する機構である。
左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とが左右一対の主リンク仮想線ｚに沿って各々に並んでもよい。
ここで、左右一対の主リンク仮想線ｚは左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕを結ぶ仮想線である。
図１３、１４に、弾性部材３４１が左右一対の特定箇所の離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の特定箇所Ｙに作用させ、特定箇所固定機構３４２が弾性部材３４１がばね力を作用させる左右一対の特定箇所Ｙを左右一対の特定箇所仮想線ｙの上で移動自在に固定する様子が示される。

【0081】

上下移動案内機構３６０は、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な揺動運動を抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構である。
上下移動案内機構３６０は、上下方向ばね部材の剪断剛性で実現しても良い。
上下移動案内機構３６０は、基台２００を基礎としてテーブル１００の揺動運動を押さえる復元力を発生させる機構であってもよい。
図３１は、上下移動案内機構３６０の一例を図示する。

【0082】

左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って延びてもよい。

【0083】

左右一対の第三軌道ｇ３が、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
図１９、図２０は、左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる様子を示す。

【0084】

左右一対の前記第三軌道ｇ３が特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びてもよい。
図２１乃至２２に、左右一対の前記第三軌道ｇ３が特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏る様に延びている様子が示される。

【0085】

以下に、本発明の第一乃至十四の実施形態に係る対象物支持装置を、図を基に、説明する。
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図３は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図４は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図５は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図６は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図７は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図８は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図９は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１０は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１１は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１２は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１３は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１４は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１５は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１６は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１７は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１８は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１９は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２０は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図２１は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２２は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図２３は、本発明の第十二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２４は、本発明の第十二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図２５は、本発明の第十三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２６は、本発明の第十三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図２７は、本発明の第十四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２８は、本発明の第十四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図２９は、本発明の第十五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図３０は、本発明の第十五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
図中の、太字の上下方向の矢印付き直線、太字の水平方向の矢印付き直線、太字の水平方向の矢印付き曲線は、図示する構造による基台２００に対するテーブル１００の図示する向きの動きの自由度を示す。
直線、曲線に印がないのは、矢印で示す向きの動きが拘束されないことを意味する。
直線、曲線に×印があるのは、矢印で示す方向の動きが拘束されることを意味する。
直線、曲線に△印があるのは、矢印で示す方向の動きが一定限度の範囲内で拘束されることを意味する。例えば、矢印で示す方向の動きに対応して復元力が発生して、矢印で示す方向の動きが一定限度の範囲内で拘束される。

【0086】

次に、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図１、図２は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図と作用図である。

【0087】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0088】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0089】

右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。

【0090】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が、離間距離Ｈ１と離間距離Ｈ２とより大きい。
離間距離Ｈ１と離間距離Ｈ２とが等しい。

【0091】

水平方向ばね部材３４０の弾性部材３４１が、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕに一致する特定箇所Ｙｒ、Ｙｌにばね力を作用させる。

【0092】

次に、本発明の第二の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図３、図４は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0093】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0094】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0095】

【0096】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３２ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部が基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0097】

水平方向ばね部材３４０の弾性部材３４１が、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕより他方構造の側に寄った箇所と、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄより一方構造の側に寄った箇所とに位置する特定箇所Ｙｒ、Ｙｌにばね力を作用させる。

【0098】

次に、本発明の第三の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図５、図６は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0099】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0100】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0101】

【0102】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部が右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0103】

水平方向ばね部材３４０の弾性部材３４１が、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕより他方構造の側に寄った箇所と、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄの位置に一致する箇所とに位置する特定箇所Ｙｒ、Ｙｌにばね力を作用させる。

【0104】

次に、本発明の第四の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図７、図８は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0105】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0106】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0107】

【0108】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部が基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0109】

水平方向ばね部材３４０の弾性部材３４１が、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄより他方構造の側に寄った箇所に位置する特定箇所Ｙｒ、Ｙｌにばね力を作用させる。

【0110】

次に、本発明の第五の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図９、１０は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0111】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0112】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0113】

【0114】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部が基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0115】

水平方向ばね部材３４０の弾性部材３４１が、左右一対の主リンク仮想線ｚに挟まれた内側の空間に位置する特定箇所Ｙｒ、Ｙｌにばね力を作用させる。
水平方向ばね部材３４０の弾性部材３４１が、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄより他方構造の側に寄った箇所であって、左右一対の主リンク仮想線ｚに挟まれた内側の空間に位置する特定箇所Ｙｒ、Ｙｌにばね力を作用させてもよい。
ここで、左右一対の主リンク仮想線ｚは、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕとを結ぶ仮想線である。
この様にすると、所望の免震機構を発揮できるテーブルの実質的な上下方向の可動域が広くなる。

【0116】

次に、本発明の第六の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１１、図１２は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0117】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0118】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0119】

【0120】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部が基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0121】

水平方向ばね部材３４０の第一弾性部材３４１ａが第一特定箇所Ｙ１にばね力を作用させ、水平方向ばね部材３４０の第二弾性部材３４１ｂが第二特定箇所Ｙ２にばね力を作用させる。
左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とが左右一対の主リンク仮想線ｚに沿って並んでもよい。
ここで、左右一対の主リンク仮想線ｚは左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕとを結ぶ仮想線である。

【0122】

次に、本発明の第七の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１３、１４は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0123】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0124】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0125】

【0126】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部が基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0127】

左右一対の特定箇所Ｙが左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とを結ぶ仮想線である左右一対の特定箇所仮想線ｙの上で移動自在に各々に位置する。
水平方向ばね部材３４０は、弾性部材３４１と特定箇所固定機構３４２とで構成される。
弾性部材３４１は、左右一対の特定箇所Ｙの離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の特定箇所に作用させる部材である。
特定箇所固定機構３４２は、弾性部材３４１がばね力を作用させる左右一対の特定箇所Ｙを左右一対の特定箇所仮想線ｙの上で移動自在に固定する機構である。
左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とが左右一対の主リンク仮想線ｚに沿って各々に並んでもよい。
ここで、左右一対の主リンク仮想線ｙは左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕを結ぶ仮想線である、

【0128】

次に、本発明の第八の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１５、１６は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0129】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0130】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0131】

右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、一致する。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、一致する。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕが、所定距離Ｈ３だけ離れる。

【0132】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部が基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸に沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致する。

【0133】

水平方向ばね部材３４０の弾性部材３４１が、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄより他方構造の側に寄る箇所に位置する特定箇所Ｙｒ、Ｙｌにばね力を作用させる。

【0134】

次に、本発明の第九の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１７、１８は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0135】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0136】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0137】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕより他方構造の側に位置する箇所で交差する。

【0138】

【0139】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致する。

【0140】

【0141】

次に、本発明の第十の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１９、２０は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0142】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0143】

テーブル支持機構３００は、一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0144】

一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとを持つ。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、一方構造に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する機構である。

【0145】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕより他方構造の側に位置する箇所で交差する。
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと一方サポート回転中心３３２Ｃｕとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸３３４が、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを各々の一方回転中心３３１Ｃｕと一方サポート回転中心３３２Ｃｕとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結する。

【0146】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが、一方の端部を一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に、一方水平移動案内機構３１２を介して一方構造に連結される。
右側主リンク３３１ｒが、一方の端部を一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に左側一方案内ブロック３１２Ｂｌに連結される。
左側主リンク３３１ｌが、一方の端部を一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に右側一方案内ブロック３１２Ｂｒに連結される。
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。

【0147】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致する。

【0148】

【0149】

次に、本発明の第十一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図２１、２２は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0150】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0151】

テーブル支持機構３００は、一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と一方垂直移動案内機構３５２とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0152】

一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとを持つ。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する機構である。

【0153】

一方垂直移動案内機構３５２は、一方構造に設けられる。
一方垂直移動案内機構３５２は、一方サポート案内ブロック３５２Ｂと一方サポート案内機構３５２Ｒとで構成されてもよい。
一方サポート案内ブロック３５２Ｂは、一方構造に対して配される。
一方サポート案内機構３５２Ｒは、一方サポート案内ブロック３５２Ｂを一方構造に対して特定水平軸ｘに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在に案内する機構である。
一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方サポート案内ブロック３５２Ｂに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
例えば、一方サポート案内機構３５２Ｒは、一方サポート案内ブロック３５２Ｂを第四軌道ｇ４に沿って案内するレール構造である。
一方サポートリンク３３３の一方サポート連結軸３３３ｕが、一方サポートリンク３３３の一方の端部を一方サポート案内ブロック３５２Ｂに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結する。
一方サポートリンク３３３の他方サポート連結軸３３３ｄが、一方サポートリンク３３３の他方の端部を主リンク３３１に他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に連結する。

【0154】

【0155】

リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌと一方サポートリンク３３３とで構成される。

【0156】

【0157】

【0158】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致する。

【0159】

一方サポートリンク３３３は、他方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌのうちの少なくともひとつの主リンク３３１に回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に連結され、一方の端部を一方構造に回転中心である一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持されるリンクである。

【0160】

一方サポートリンク３３３が一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持される。
一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方構造に設けられる一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造に支持される。
例えば、一方サポートリンク３３３は、一方の端部をテーブル１００に固定される一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造であるテーブル１００に支持されてもよい。

【0161】

【0162】

次に、本発明の第十二の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図２３、２４は、本発明の第十二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0163】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0164】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十二の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0165】

リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌとガイドリンク３３５、３３６と連動リンク３３７とで構成される。

【0166】

一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、一方の端部を一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に一方構造であるテーブル１００に連結される。
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。

【0167】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0168】

ガイドリンク３３５、３３６は、一方ガイドリンク３３５と他方ガイドリンク３３６とで構成される。
一方ガイドリンク３３５は、一方構造の側に位置する。
他方ガイドリンク３３６は、他方構造の側に位置する。
一方ガイドリンク３３５が、一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
他方ガイドリンク３３６が、一方の端部を一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
図２３に、一方ガイドリンク３３５が一方の端部をテーブル１００に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方ガイドリンク３３６が一方の端部を一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に連結される様子が示される。

【0169】

連動リンク３３７が、長手方向を特定水平軸ｘに沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を主リンク３３１またはサポートリンク３３２のうちの一方のリンクに回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を一方ガイドリンク３３５または他方ガイドリンク３３６のうちの一方のリンクに回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に連結される。
図２３に、連動リンク３３７が、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を主リンク３３１に回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を一方ガイドリンク３３５に回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に連結される様子が示される。

【0170】

主リンク３３１の一方回転中心３３１Ｃｕとサポートリンク３３２の一方サポート回転中心３３２Ｃｕとの離間距離Ｉ１と一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕと他方ガイドリンク３３６の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍとの離間距離Ｊ１とが一致してもよい。
サポートリンク３３２の一方サポート回転中心３３２Ｃｕとサポートリンク３３２の他方サポート回転中心と３３２Ｃｄとの離間距離Ｉ２と他方ガイドリンク３３６の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｊ２とが一致してもよい。
主リンク３３１の一方回転中心３３１Ｃｕと一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕとの離間距離Ｋ１と連動リンク３３７の一端連動回転中心３３７Ｃ１と連動リンク３３７の他端連動回転中心３３７Ｃ２との離間距離Ｋ３とサポートリンク３３２の他方サポート回転中心３３２Ｃｄと他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｋ２とが一致してもよい。

【0171】

【0172】

次に、本発明の第十三の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図２５、２６は、本発明の第十三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0173】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0174】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十三の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0175】

【0176】

【0177】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0178】

ガイドリンク３３５、３３６は、一方ガイドリンク３３５と他方ガイドリンク３３６とで構成される。
一方ガイドリンク３３５は、一方構造の側に位置する。
他方ガイドリンク３３６は、他方構造の側に位置する。
一方ガイドリンク３３５が、一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
他方ガイドリンク３３６が、一方の端部を一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
図２５に、一方ガイドリンク３３５が、一方の端部をテーブル１００に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
他方ガイドリンク３３６が、一方の端部を一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に連結される様子が示される。

【0179】

連動リンク３３７が、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を主リンク３３１またはサポートリンク３３２のうちの一方のリンクに回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を一方ガイドリンク３３５または他方ガイドリンク３３６のうちの一方のリンクに回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に連結される。
図２５に、連動リンク３３７が、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を主リンク３３１に回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を一方ガイドリンク３３５に回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に連結される様子が示される。

【0180】

主リンク３３１の一方回転中心３３１Ｃｕとサポートリンク３３２の一方サポート回転中心３３２Ｃｕとの離間距離Ｉ１と一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕと他方ガイドリンク３３６の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍとの離間距離Ｊ１とが一致してもよい。
サポートリンク３３２の一方サポート回転中心３３２Ｃｕとサポートリンク３３２の他方サポート回転中心と３３２Ｃｄの離間距離Ｉ２と他方ガイドリンク３３６の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｊ２とが一致してもよい。
主リンク３３１の一方回転中心３３１Ｃｕと一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕとの離間距離Ｋ１と連動リンク３３７の一端連動回転中心３３７Ｃ１と連動リンク３３７の他端連動回転中心３３７Ｃ２との離間距離Ｋ３とサポートリンク３３２の他方サポート回転中心３３２Ｃｄと他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｋ２とが一致してもよい。

【0181】

サポートリンク３３２の一方回転中心３３２Ｃｕと連動リンク３３７の一端連動回転中心３３７Ｃ１とが一致し、他方ガイドリンク３３６の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと連動リンク３３７の他端連動回転中心３３７Ｃ２とが一致してもよい。
図２５、図２６に、サポートリンク３３２の一方回転中心３３２Ｃｕと連動リンク３３７の一端連動回転中心３３７Ｃ１とが一致し、他方ガイドリンク３３６の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと連動リンク３３７の他端連動回転中心３３７Ｃ２とが一致する様子が示される。

【0182】

一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕと右側主リンク３３１の一方回転中心３３１Ｃｕとが一致し、他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄと右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが一致してもよい。
図２５、図２６に、一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕと右側主リンク３３１の一方回転中心３３１Ｃｕとが一致し、他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄと右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが一致する様子が示される。

【0183】

【0184】

次に、本発明の第十四の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図２７、２８は、本発明の第十四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0185】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。

【0186】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十四の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0187】

リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌと左右一対のガイドリンク３３５、３３６と左右一対の連動リンク３３７とで構成される。

【0188】

【0189】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒが、一方の端部を右側主リンク３３１ｒに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、一方の端部を左側主リンク３３１ｌに一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ３だけ離れる。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
離間距離Ｈ３が離間距離Ｈ１、離間距離Ｈ２より大きい。
離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。

【0190】

ガイドリンク３３５、３３６は、一方ガイドリンク３３５と他方ガイドリンク３３６とで構成される。
一方ガイドリンク３３５は、一方構造の側に位置する。
他方ガイドリンク３３６は、他方構造の側に位置する。
左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌは、右側一方ガイドリンク３３５ｒと左側一方ガイドリンク３３５ｌとで構成される。
左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌは、右側他方ガイドリンク３３６ｒと左側他方ガイドリンク３３６ｌとで構成される。
左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌが、一方の端部を一方構造に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌが、一方の端部を一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
図２７に、左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌが、一方の端部をテーブル１００に対して回転中心である一方ガイド回転中心３３５Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌが、一方の端部を一方ガイドリンク３３５の他方の端部に対して回転中心である中間ガイド回転中心３３６Ｃｍの回りに回転自在に連結され、他方の端部を基台２００に対して回転中心である他方ガイド回転中心３３６Ｃｄの回りに回転自在に連結される様子が示される。

【0191】

左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌは、右側連動リンク３３７ｒと左側連動リンク３３７ｌとで構成される。
左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌまたは左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌのうちの一方のリンクに回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌまたは左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌのうちの一方のリンクに回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に連結される。
図２７に、左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌが、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、左右一対の端部のうちの一端を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一端連動回転中心３３７Ｃ１の回りに回転自在に連結され、左右一対の端部のうちの他端を左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌに回転中心である他端連動回転中心３３７Ｃ２の回りに回転自在に連結される様子が示される。

【0192】

左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕとの離間距離Ｉ１と左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌの一方ガイド回転中心３３５Ｃｕと左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌの中間ガイド回転中心３３６Ｃｍとの離間距離Ｊ１とが一致してもよい。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２、３３２ｌの他方サポート回転中心と３３２Ｃｄの離間距離Ｉ２と左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌの中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌの他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｊ２とが一致してもよい。
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌの一方ガイド回転中心３３５Ｃｕとの離間距離Ｋ１と左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌの一端連動回転中心３３７Ｃ１と左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌの他端連動回転中心３３７Ｃ２との離間距離Ｋ３と左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌの他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｋ２とが一致してもよい。

【0193】

左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方回転中心３３２Ｃｕと左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌの一端連動回転中心３３７Ｃ１とが一致し、左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌの中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌの他端連動回転中心３３７Ｃ２とが一致してもよい。
図２７に、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方回転中心３３２Ｃｕと左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌの一端連動回転中心３３７Ｃ１とが一致し、左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌの中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌの他端連動回転中心３３７Ｃ２とが一致する様子が示される。

【0194】

左右一対の一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕが一致し、左右一対に他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄが一致してもよい。
図２７に、左右一対の一方ガイドリンク３３５の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕが一致し、左右一対に他方ガイドリンク３３６の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄが一致する様子が示される。

【0195】

【0196】

次に、本発明の第十五の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図２９、図３０は、本発明の第十五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。

【0197】

対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００と複数のテーブル支持機構３００と複数の組連動リンク４００とで構成されてもよい。
例えば、対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とＮ個のテーブル支持機構３００と（Ｎー１）個の組連動リンク４００とで構成されてもよい。
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００と少なくとも２個のテーブル支持機構３００と少なくとも１個の組連動リンク４００とで構成される。

【0198】

テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十五の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。

【0199】

１個の組連動リンク４００が、長手方向を特定水平軸ｘに沿って伸ばし、一方の端部を２個のテーブル支持機構３００のうちの一方のテーブル支持機構３００の主リンク３３１またはサポートリンク３３２のうちの一方のリンクに回転中心である一端組連動回転中心４００Ｃ１の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他方のテーブル支持機構３００の主リンク３３１またはサポートリンク３３２のうちの一方のリンクに回転中心である他端組連動回転中心４００Ｃ２の回りに回転自在に連結する。
図２９に、１個の組連動リンク４００が、長手方向を特定水平軸ｘに沿って伸ばし、一方の端部を２個のテーブル支持機構３００のうちの一方のテーブル支持機構３００の主リンク３３１に回転中心である一端組連動回転中心４００Ｃ１の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他方のテーブル支持機構３００の主リンク３３１に回転中心である他端組連動回転中心３００Ｃ２の回りに回転自在に連結する様子が示される。

【0200】

以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持機構の合成ばね反力を、図を基に、説明する。
図３２は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
図３２中の実線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と水平方向ばね部材３４０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図３２中の実破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と上下方向ばね部材３２０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図３２中の細破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と合成ばね反力の関係を示すカーブである。
リンク機構の諸元を選択することにより合成ばね反力の特性を選択できる。

【0201】

以下に、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例を、図を基に、説明する。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例は、小型の対象物を支持する台に採用する。
図３３は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例である。図３４は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例の側面図である。図３５は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例の平面図である。
例えば、小型の対象物は、美術品である。
例えば、美術品を支持する台は、上下免震台２０と水平免震台３０とガラスケース４０とで構成される。
上下免震台２０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台３０は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
ガラスケース４０は、美術品を覆う透明体である。

【0202】

上下免震台２０に採用される対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とＮ個のテーブル支持機構３００とで構成される。
図３４、図３５に、テーブル１００と基台２００と４個のテーブル支持機構３００とで構成される対象物支持装置が示される。
テーブル支持機構３００は、上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
先に説明した上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と同じ構成の説明を省略し、上下免震台２０に採用される対象物支持装置に特徴のある構成を説明する。

【0203】

上から見て、Ｎ個のテーブル支持機構がテーブル１００を囲う様に配されてテーブル１００を各々に支持する。

【0204】

上下方向ばね部材３２０が、上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである。

【0205】

上述の実施形態に係る対象物支持装置を用いれば、以下の効果を発揮する。
基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させ、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方の端部がテーブル１００または基台２００の一方に回転自在に固定され、サポートリンク３３２の一方の端部をすくなくとも一方の主リンク３３１に回転自在に固定され、他方の端部をテーブル１００または基台２００の他方に回転自在に固定し、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの特定箇所Ｙｒ、Ｙｌに互いに接近する向きにばね力を作用させる様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴って左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌとサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌとが一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに揺動し、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、弾性部材が左右一対の特定箇所Ｙｒ、Ｙｌの離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を作用させる様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴って特定箇所の離間距離が変動し、弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。
また、複数の弾性部材が左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２の離間距離の変化に応じて離間距離が小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とに作用させる様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴って第一特定箇所Ｙ１と第二特定箇所Ｙ２の離間距離が変動し、複数の弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。
また、弾性部材が左右一対の第一特定箇所Ｙ１と左右一対の第二特定箇所Ｙ２とを結ぶ左右一対の特定箇所仮想線ｙの上で移動できる左右一対に特定箇所Ｙの離間距離の変化に応じて離間距離Ｙが小さくなるとばね力が小さくなる様に変化するばね力を左右一対の特定箇所に作用させる様にしたので、
テーブル１００の上下運動に伴って特定箇所仮想線ｙの上で移動できる特定箇所Ｙの離間距離が変動し、弾性ばねの発生するばね力がリンクのばねの諸元に対応して変化して対象物を支持できる。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕが所定の離間距離Ｈ１だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕが一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、一致し、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが一致し、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄが一致し、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕが所定距離Ｈ３だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕの離間距離Ｈ１と左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄの離間距離Ｈ２とが一致する様にしたので、テーブルを安定して支持できる。
また、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕの離間距離Ｈ３が左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の一方回転中心３３１Ｃｕの離間距離Ｈ１より長い様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕの離間距離Ｈ３が左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄの離間距離Ｈ２より長い様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の特定箇所Ｙが左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの各々の一方サポート回転中心３３２Ｃｕより他方構造の側に寄った位置にある様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの各々の特定箇所Ｙが左右一対のサポートリンク３３２ｒ，３３２ｌの各々の他方サポート回転中心３３２Ｃｄより他方構造の側に寄った位置にある様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の特定箇所Ｙｒ、Ｙｌが左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方サポート回転中心３３１Ｃｕを結ぶ仮想線である左右一対の主リンク仮想線ｚに挟まれた内側の空間に位置する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンクが各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差し、交差点で連結する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌが特定水平軸ｘに添って離れた左右一対の一方案内ブロックを一方構造に対して第三軌道ｇ３に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方の端部が左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転自在に固定され、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転自在に固定され、他方の端部を他方構造に回転自在に固定される様にしたので、サポートリンク３３２と一方サポートリンク３３３とが主リンク３３１を介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、一方サポートリンク３３３の一方の端部を一方構造に回転自在に固定され、他方の端部をすくなくとも一方の主リンク３３１に回転自在に固定される様にしたので、サポートリンク３３２と一方サポートリンク３３３とが主リンク３３１を介してテーブル１００の左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、一方サポートリンク３３３が一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴って左右の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが上下運動する際の一方サポートリンク３３３の一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。

【0206】

また、一方構造にたいして回転自在に連結される一方ガイドリンク３３５の他方の端部と他方構造に対して回転自在に連結される他方ガイドリンク３３６の一方の端部とが回転自在に連結され、連動リンク３３７が一端を主リンク３３１またはサポートリンク３３２に回転自在に連結し他端を一方ガイドリンク３３５又は他方ガイドリンク３３６に回転自在に連結する様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴う水平移動を抑制できる。
また、一方回転中心３３１Ｃｕと一方サポート回転中心３３２Ｃｕとの離間距離Ｉ１と一方ガイド回転中心３３５Ｃｕと中間ガイド回転中心３３６Ｃｍとの離間距離Ｊ１とが一致し、一方サポート回転中心３３３Ｃｕと他方サポート回転中心３３３Ｃｄとの離間距離Ｉ２と中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｊ２とが一致し、一方回転中心３３１Ｃｕと一方ガイド回転中心３３５Ｃｕとの離間距離Ｋ１と一端連動回転中心３３７Ｃ１と他端連動回転中心３３７Ｃ２との離間距離Ｋ３と他方サポート回転中心３３２Ｃｄと他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｋ２とが一致する様にしたので、テーブル１００を安定して上下運動できる。
また、一方サポート回転中心３３２Ｃｕと一端連動回転中心３３７Ｃ１とが一致し、中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと他端連動回転中心３３７Ｃ２とが一致する様にしたので、連動リンク３３７の両端の連結構造が簡略される。
また、一方構造にたいして回転自在に連結される左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ、３３５ｌの他方の端部と他方構造に対して回転自在に連結される左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌの一方の端部とが回転自在に連結され、左右一対の連動リンク３３７ｒ、３３７ｌが一端を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌまたは左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌに回転自在に連結し他端を左右一対の一方ガイドリンク３３５ｒ，３３５ｌ又は左右一対の他方ガイドリンク３３６ｒ、３３６ｌに回転自在に連結する様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴う水平移動を抑制できる。
また、左右一対の一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対の一方サポート回転中心３３２Ｃｕとの離間距離Ｉ１と左右一対の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕと左右一対の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍとの離間距離Ｊ１とが一致し、
左右一対の一方サポート回転中心３３３Ｃｕと左右一対の他方サポート回転中心３３３Ｃｄとの離間距離Ｉ２と左右一対の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと左右一対の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｊ２とが一致し、
左右一対の一方回転中心３３１Ｃｕと左右一対の一方ガイド回転中心３３５Ｃｕとの離間距離Ｋ１と左右一対の一端連動回転中心３３７Ｃ１と左右一対の他端連動回転中心３３７Ｃ２との離間距離Ｋ３と左右一対の他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左右一対の他方ガイド回転中心３３６Ｃｄとの離間距離Ｋ２とが一致する様にしたので、テーブルを安定して上下運動できる。
また、左右一対の一方サポート回転中心３３３Ｃｕと左右一対の一端連動回転中心３３７Ｃ１とが一致し、
左右一対の中間ガイド回転中心３３６Ｃｍと左右一対の他端連動回転中心３３７Ｃ２とが一致する様にしたので、連動リンク３３７の両端の連結構造が簡略される。
また、１個の組連動リンク４００が、長手方向を特定水平軸に沿って伸ばし、一方の端部を２個のテーブル支持機構の主リンク３３１またはサポートリンク３３２のうちの一方のリンクに回転中心である一端組連動回転中心４００Ｃ１の回りに回転自在に連結し、他方の端部を他のテーブル支持機構の主リンク３３１またはサポートリンク３３２のうちの一方のリンクに回転中心である他端組連動回転中心４００Ｃ２の回りに回転自在に連結する様にしたので、規模の大きい対象物を支持するテーブルを安定して上下移動できる。
また、上から見てＮ個のテーブル支持機構３００がテーブル１００を囲う様に配されてテーブルを各々に支持する様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構３００の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。

【0207】

本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられ場合を例にして説明したが、これに限定されない。例えば、一方水平移動案内機構３１２が基台２００に設けられてもよい。

【符号の説明】

【0208】

ｘ特定水平軸
ｙ特定箇所仮想線
ｚ主リンク仮想線
ｇ３第三軌道
ｇ４第四軌道
Ｈ１離間距離
Ｈ２離間距離
Ｈ３離間距離
Ｉ１離間距離
Ｉ２離間距離
Ｊ１離間距離
Ｊ２離間距離
Ｋ１離間距離
Ｋ２離間距離
Ｋ３離間距離
Ｙ特定箇所
Ｙｒ右側特定箇所
Ｙｌ左側特定箇所
Ｙ１第一特定箇所
Ｙ２第二特定箇所
１０対象物
２０上下免震台
３０水平免震台
４０ガラスケース
１００テーブル
２００基台
３００テーブル支持機構
３１２一方水平移動案内機構
３１２Ｂｒ右側一方案内ブロック
３１２Ｒｒ右側一方案内機構
３１２Ｂｌ左側一方案内ブロック
３１２Ｒｌ左側一方案内機構
３２０上下方向ばね部材
３３０リンク機構
３３１主リンク
３３１ｒ右側主リンク
３３１ｌ左側主リンク
３３１Ｃｕ一方回転中心
３３１ｕ一方連結軸
３３２サポートリンク
３３２ｒ右側サポートリンク
３３２ｌ左側サポートリンク
３３２Ｃｕ一方サポート回転中心
３３２Ｃｄ他方サポート回転中心
３３２ｕ一方サポート連結軸
３３２ｄ他方サポート連結軸
３３３一方サポートリンク
３３３ｒ右側一方サポートリンク
３３３ｌ左側一方サポートリンク
３３３Ｃｕ一方サポート回転中心
３３３Ｃｄ他方サポート回転中心
３３３ｕ一方サポート連結軸
３３３ｄ他方サポート連結軸
３３４主リンク連結軸
３３５一方ガイドリンク
３３５ｒ右側一方ガイドリンク
３３５ｌ左側一方ガイドリンク
３３５Ｃｕ一方ガイド回転中心
３３６他方ガイドリンク
３３６ｒ右側他方ガイドリンク
３３６ｌ左側他方ガイドリンク
３３６Ｃｍ中間ガイド回転中心
３３６Ｃｄ他方ガイド回転中心
３３７連動リンク
３３７ｒ右側連動リンク
３３７ｌ左側連動リンク
３３７Ｃ１一端連動回転中心
３３７Ｃ２他端連動回転中心
３４０水平方向ばね部材
３４１弾性部材
３４１ａ第一弾性部材
３４１ｂ第二弾性部材
３４２特定箇所固定機構
３５２一方垂直移動案内機構
３５２Ｂ一方サポート案内ブロック
３５２Ｒ一方サポート案内機構
３５２Ｂｒ右側一方サポート案内ブロック
３５２Ｒｒ右側一方サポート案内機構
３５２Ｂｌ左側一方サポート案内ブロック
３５２Ｒｌ左側一方サポート案内機構
３６０上下移動案内機構
４００組連動リンク
４００Ｃ１一端組連動回転中心
４００Ｃ２他端組連動回転中心

【先行技術文献】

【特許文献】

【0209】

【文献】特開平１１－３７２１４号

【文献】特開２００９－１６８１５７号

【文献】特開２００８－１５７２８８号

【図1】