１０ ターボ分子ポンプ（真空ポンプ） １１ ポンプ本体 １２ 吸気部 １３ 排気部 １４ ケーシング本体（ケーシング） １４ａ 吸気側ケーシング（所定のケーシング部材） １４ｂ 排気側ケーシング（所定のケーシング部材） １７ ターボ分子ポンプ機構部（ポンプ機構部） １８ ネジ溝ポンプ機構部（ネジ溝排気機構部） １９ ステータ翼（静翼） ２０ ロータ翼（回転翼） ２４ ネジステータ（隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部） ２８ ロータ（真空ポンプ構成部品） ２９ 隔壁（隔壁部） ２９ａ 隔壁の上面（上流側ガス誘導面） ２９ｂ 隔壁の下面（下流側ガス誘導面） ４１、８１ 冷却トラップ部 ５２ トラップ流入口（第１流入出口のうちの第１流入口） ５３ トラップ流出口（第１流入出口のうちの第１流出口） ５５ 洗浄液流入管（堆積物の除去機能を発揮する部分の一部、第２流入出口のうちの第２入口を構成する部材） ５６ 洗浄液流出管（堆積物の除去機能を発揮する部分の一部、第２流入出口のうちの第２出口を構成する部材） ８７ 吸気側ケーシングのフランジ部（冷却トラップ部の取付部） ９２ トラップ流入口（第１入出口のうちの第１入口） ９３ トラップ流出口（第１入出口のうちの第１出口） ９４ ネジステータ（隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部） １０９ 隔壁（隔壁部、円板状部材、真空ポンプ構成部品） １１１ 第１ネジステータ（隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部） １３１ 第２ネジステータ（隔壁部の上流に備えられたネジ溝排気機構部） １４１ 断熱環（冷却トラップ部の取付部を断熱構造とする部材） ８０、１００、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０ ターボ分子ポンプ（真空ポンプ）