(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-04
(45)【発行日】2022-10-13
(54)【発明の名称】発光装置
(51)【国際特許分類】
G09G 3/20 20060101AFI20221005BHJP
G09F 9/30 20060101ALI20221005BHJP
G09G 3/3233 20160101ALI20221005BHJP
H01L 27/32 20060101ALI20221005BHJP
H03K 17/06 20060101ALI20221005BHJP
H01L 51/50 20060101ALI20221005BHJP
H05B 33/14 20060101ALI20221005BHJP
【FI】
G09G3/20 624B
G09F9/30 338
G09F9/30 365
G09G3/20 611H
G09G3/20 642A
G09G3/20 680G
G09G3/3233
H01L27/32
H03K17/06 063
H05B33/14 A
H05B33/14 Z
(21)【出願番号】P 2022014878
(22)【出願日】2022-02-02
(62)【分割の表示】P 2020212468の分割
【原出願日】2012-10-15
【審査請求日】2022-02-02
(31)【優先権主張番号】P 2011228418
(32)【優先日】2011-10-18
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2011261317
(32)【優先日】2011-11-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【早期審査対象出願】
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】000153878
【氏名又は名称】株式会社半導体エネルギー研究所
(72)【発明者】
【氏名】木村 肇
【審査官】西島 篤宏
(56)【参考文献】
【文献】特開2007-052422(JP,A)
【文献】特表2006-518473(JP,A)
【文献】特開2007-233270(JP,A)
【文献】特開2007-108689(JP,A)
【文献】特開2008-134625(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G09G 3/00 - 3/38
G09F 9/30
H01L 51/50
H05B 33/14
H01L 27/32
H03K 17/06
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1のトランジスタ乃至第4のトランジスタのチャネル形成領域を有する第1の半導体膜と、
第5のトランジスタのチャネル形成領域を有する第2の半導体膜と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第1のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第1の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第2のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第2の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第3のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第3の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第4のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第4の導電層と、
前記第2の半導体膜の上方において前記第5のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第5の導電層と、を画素に有する発光装置であって、
前記第1の導電層は、前記第2の導電層、前記第3の導電層、前記第4の導電層、及び前記第5の導電層と重なりを有さず、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタは、スイッチとしての機能を有し、
前記第5のトランジスタは、発光素子への電流の供給を画像信号に従って制御する機能を有する前記第1のトランジスタのゲートの電位を保持する機能を有し、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタのうち、ソースまたはドレインが前記第1のトランジスタのゲートに直接接続されているのは前記第5のトランジスタだけである発光装置。
【請求項2】
第1のトランジスタ乃至第4のトランジスタのチャネル形成領域を有する第1の半導体膜と、
第5のトランジスタのチャネル形成領域を有する第2の半導体膜と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第1のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第1の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第2のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第2の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第3のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第3の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第4のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第4の導電層と、
前記第2の半導体膜の上方において前記第5のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第5の導電層と、を画素に有する発光装置であって、
前記第1の導電層は、前記第2の導電層、前記第3の導電層、前記第4の導電層、及び前記第5の導電層と重なりを有さず、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタは、スイッチとしての機能を有し、
前記第1の半導体膜において、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域は、前記第3のトランジスタのチャネル形成領域と前記第4のトランジスタのチャネル形成領域との間に配置され、
前記第1の半導体膜において、前記第4のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1の半導体膜の上方に配置された第6の導電層を介して発光素子の画素電極と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタは、前記発光素子への電流の供給を画像信号に従って制御する機能を有する前記第1のトランジスタのゲートの電位を保持する機能を有し、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタのうち、ソースまたはドレインが前記第1のトランジスタのゲートに直接接続されているのは前記第5のトランジスタだけである発光装置。
【請求項3】
第1のトランジスタ乃至第4のトランジスタのチャネル形成領域を有する第1の半導体膜と、
第5のトランジスタのチャネル形成領域を有する第2の半導体膜と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第1のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第1の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第2のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第2の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第3のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第3の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第4のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第4の導電層と、
前記第2の半導体膜の上方において前記第5のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第5の導電層と、を画素に有する発光装置であって、
前記第1の導電層は、前記第2の導電層、前記第3の導電層、前記第4の導電層、及び前記第5の導電層と重なりを有さず、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタは、スイッチとしての機能を有し、
前記第5のトランジスタは、発光素子への電流の供給を画像信号に従って制御する機能を有する前記第1のトランジスタのゲートの電位を保持する機能を有し、
前記第5のトランジスタによって保持される前記第1のトランジスタのゲートの電位は、前記画像信号に応じた電位であり、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタのうち、ソースまたはドレインが前記第1のトランジスタのゲートに直接接続されているのは前記第5のトランジスタだけである発光装置。
【請求項4】
第1のトランジスタ乃至第4のトランジスタのチャネル形成領域を有する第1の半導体膜と、
第5のトランジスタのチャネル形成領域を有する第2の半導体膜と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第1のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第1の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第2のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第2の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第3のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第3の導電層と、
前記第1の半導体膜の上方において前記第4のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第4の導電層と、
前記第2の半導体膜の上方において前記第5のトランジスタのチャネル形成領域と重なりを有する第5の導電層と、を画素に有する発光装置であって、
前記第1の導電層は、前記第2の導電層、前記第3の導電層、前記第4の導電層、及び前記第5の導電層と重なりを有さず、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタは、スイッチとしての機能を有し、
前記第1の半導体膜において、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域は、前記第3のトランジスタのチャネル形成領域と前記第4のトランジスタのチャネル形成領域との間に配置され、
前記第1の半導体膜において、前記第4のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1の半導体膜の上方に配置された第6の導電層を介して発光素子の画素電極と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタは、前記発光素子への電流の供給を画像信号に従って制御する機能を有する前記第1のトランジスタのゲートの電位を保持する機能を有し、
前記第5のトランジスタによって保持される前記第1のトランジスタのゲートの電位は、前記画像信号に応じた電位であり、
前記第2のトランジスタ乃至前記第5のトランジスタのうち、ソースまたはドレインが前記第1のトランジスタのゲートに直接接続されているのは前記第5のトランジスタだけである発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は半導体装置、発光装置、または、表示装置に関する。または、それらの駆動方法
、または、それらの製造方法に関する。半導体装置としては、例えば、トランジスタなど
の能動素子等を有する半導体装置が挙げられる。発光装置としては、例えば、エレクトロ
ルミネッセンス素子(以下、EL素子という)等の発光素子を有する発光装置が挙げられ
る。表示装置としては、例えば、EL素子等の発光素子、または表示素子を有する表示装
置が挙げられる。特に、本発明は、トランジスタの特性のばらつきの影響が低減された半
導体装置、発光装置、表示装置、または、それらの駆動方法に関する。
【背景技術】
【0002】
発光素子を用いた表示装置は視認性が高く、薄型化に最適であると共に、視野角にも制限
が無いため、CRT(cathode ray tube)や液晶表示装置に替わる表示
装置として注目されている。発光素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置は、具
体的に提案されている構成がメーカーによって異なるが、通常、少なくとも発光素子と、
画素へのビデオ信号の入力を制御するトランジスタ(スイッチング用トランジスタ)と、
該発光素子に供給する電流値を制御するトランジスタ(駆動用トランジスタ)とが、各画
素に設けられている。
【0003】
例えば、画素に設ける上記トランジスタをすべて同じ導電型とすることで、トランジスタ
の作製工程において、半導体膜に一導電性を付与する不純物元素の添加などの工程を、一
部省略することができる。下記の特許文献1には、nチャネル型トランジスタのみで画素
が構成される表示装置について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、発光装置や表示装置等の半導体装置では、トランジスタのドレイン電流が発光
素子に供給されるため、画素間においてトランジスタの特性などにばらつきが生じると、
発光素子等の表示素子の輝度にもそのばらつきが反映されてしまう。従って、例えば、閾
値電圧のばらつきを見越してトランジスタのドレイン電流の電流値を補正することができ
る画素構成の提案は、半導体装置の質向上を図る上で、重要な課題である。
【0006】
上述の問題に鑑み、本発明の一態様は、トランジスタの特性のばらつきの影響が抑えられ
る、半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。また
は、本発明の一態様は、トランジスタの特性の劣化の影響が抑えられる、半導体装置、発
光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様
は、トランジスタの閾値電圧のばらつきによる輝度のばらつきが抑えられる、半導体装置
、発光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一
態様は、トランジスタの移動度のばらつきによる輝度のばらつきが抑えられる、半導体装
置、発光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の
一態様は、トランジスタがノーマリオフ型であっても正常に動作する、半導体装置、発光
装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は
、トランジスタがノーマリオフ型であっても、トランジスタのしきい値電圧を取得できる
、半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。または
、本発明の一態様は、質の良い表示を行う半導体装置、発光装置、または、表示装置を提
供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は、ムラの少ない表示を行う半
導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本
発明の一態様は、少ないトランジスタ数で、所望の回路を実現できるような、半導体装置
、発光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一
態様は、少ない配線数で、所望の回路を実現できるような、半導体装置、発光装置、また
は、表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は、発光素子
の劣化の影響が抑えられる半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することを課
題の一つとする。または、本発明の一態様は、少ない工程数で製造される半導体装置、発
光装置、または、表示装置を提供することを課題の一つとする。
【0007】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一
態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題
は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図
面、特許請求の範囲などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の半導体装置の一態様は、トランジスタと、第1の配線と、第2の配線と、第1の
スイッチと、第2のスイッチと、第3のスイッチと、第1の容量素子と、第2の容量素子
と、を少なくとも有する。第1のスイッチは、第1の配線と第1の容量素子の一対の電極
のうちの一方との間の導通または非導通を選択する機能を有する。第1の容量素子の一対
の電極のうちの一方は、第2の容量素子の一対の電極のうちの一方と電気的に接続される
。第1の容量素子の一対の電極のうちの他方は、トランジスタのゲートと電気的に接続さ
れる。第2の容量素子の一対の電極のうちの他方は、トランジスタのソース及びドレイン
の一方と電気的に接続される。第2のスイッチは、第2の配線と、トランジスタのゲート
との間の導通または非導通を選択する機能を有する。第3のスイッチは、第1の容量素子
の一対の電極のうちの一方と、トランジスタのソース及びドレインの一方との間の導通ま
たは非導通を選択する機能を有する。
【0009】
上記構成の半導体装置では、閾値電圧のばらつきを見越してトランジスタ(以下、駆動用
トランジスタという場合がある)のソースとゲート間に印加される電圧を補正することが
できる。こうして、トランジスタのドレイン電流を補正することができる。
【0010】
本発明の半導体装置の一態様は、トランジスタと、負荷と、第1の配線と、第2の配線と
、第1のスイッチと、第2のスイッチと、第3のスイッチと、第1の容量素子と、第2の
容量素子と、を少なくとも有する。第1のスイッチは、第1の配線と第1の容量素子の一
対の電極のうちの一方との間の導通または非導通を選択する機能を有する。第1の容量素
子の一対の電極のうちの一方は、第2の容量素子の一対の電極のうちの一方と電気的に接
続される。第1の容量素子の一対の電極のうちの他方は、トランジスタのゲートと電気的
に接続される。第2の容量素子の一対の電極のうちの他方は、負荷と、トランジスタのソ
ース及びドレインの一方とに、電気的に接続される。第2のスイッチは、第2の配線と、
トランジスタのゲートとの間の導通または非導通を選択する機能を有する。第3のスイッ
チは、第1の容量素子の一対の電極のうちの一方と、トランジスタのソース及びドレイン
の一方との間の導通または非導通を選択する機能を有する。
【0011】
上記構成の半導体装置では、閾値電圧のばらつきを見越してトランジスタ(以下、駆動用
トランジスタという場合がある)のソースとゲート間に印加される電圧を補正することが
できる。こうして、トランジスタのドレイン電流を補正することができる。そして、当該
ドレイン電流を負荷に供給することができる。
【0012】
負荷は、任意の素子や回路を用いることができる。例えば、負荷は、EL素子等の発光素
子とすることができる。EL素子等の発光素子は、発光素子のアノードとカソード間を流
れる電流の電流値に比例した輝度で発光する。
【0013】
負荷として発光素子を用いる場合、一例としては、以下の(タイプA)または(タイプB
)の構成とすることができる。
【0014】
(タイプA)
上記本発明の一態様に係る半導体装置では、トランジスタ(駆動用トランジスタ)のソー
ス及びドレインの一方は、発光素子のアノードと電気的に接続された構成とすることがで
きる。この場合、当該トランジスタはnチャネル型トランジスタとする。そして、本発明
の一態様に係る半導体装置は、第1の配線の電位を制御する機能を有する手段(例えば、
駆動回路)を有し、当該手段(駆動回路)は、第1の配線の電位が発光素子のカソードの
電位以下となるような期間を有するように、第1の配線の電位を制御する。
【0015】
(タイプB)
上記本発明の一態様に係る半導体装置では、トランジスタ(駆動用トランジスタ)のソー
ス及びドレインの一方は、発光素子のカソードと電気的に接続された構成とすることがで
きる。この場合、当該トランジスタはpチャネル型トランジスタとする。そして、本発明
の一態様に係る半導体装置は、第1の配線の電位を制御する機能を有する手段(例えば、
駆動回路)を有し、当該手段(駆動回路)は、第1の配線の電位が発光素子のアノードの
電位以上となるような期間を有するように、第1の配線の電位を制御する。
【0016】
第1のスイッチ乃至第3のスイッチそれぞれは、トランジスタを用いて構成することがで
きる。当該トランジスタは、駆動用トランジスタと同じ導電型のトランジスタとすること
ができる。
【0017】
上記本発明の一態様に係る半導体装置は、チャネル形成領域に酸化物半導体を含むトラン
ジスタを用いて構成することができる。または、チャネル形成領域に単結晶シリコンを含
むトランジスタを用いて構成することができる。または、チャネル形成領域に多結晶シリ
コンを含むトランジスタを用いて構成することができる。または、チャネル形成領域に非
晶質シリコンを含むトランジスタを用いて構成することができる。
【0018】
つまり、トランジスタとして、様々な構造のトランジスタを用いることが出来る。よって
、用いるトランジスタの種類に限定はない。トランジスタの一例としては、単結晶シリコ
ンを有するトランジスタ、または、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶(マイクロ
クリスタル、ナノクリスタル、セミアモルファスとも言う)シリコンなどに代表される非
単結晶半導体膜を有する薄膜トランジスタ(TFT)などを用いることが出来る。
【0019】
なお、トランジスタの一例としては、化合物半導体(例えば、SiGe、GaAsなど)
、又は酸化物半導体(例えば、ZnO、InGaZnO、インジウム亜鉛酸化物、ITO
(インジウム錫酸化物)、SnO、TiO、AlZnSnO(AZTO)、InSnZn
Oなど)などを有するトランジスタ又は、これらの化合物半導体又は酸化物半導体を薄膜
化した薄膜トランジスタなどを用いることが出来る。これらにより、製造温度を低くでき
るので、例えば、室温でトランジスタを製造することが可能となる。その結果、耐熱性の
低い基板、例えばプラスチック基板又はフィルム基板などに直接トランジスタを形成する
ことが出来る。なお、これらの化合物半導体又は酸化物半導体を、トランジスタのチャネ
ル部分に用いるだけでなく、それ以外の用途で用いることも出来る。例えば、これらの化
合物半導体又は酸化物半導体を配線、抵抗素子、画素電極、又は透光性を有する電極など
として用いることができる。それらをトランジスタと同時に成膜又は形成することが可能
なため、コストを低減できる。
【0020】
なお、トランジスタの一例としては、有機半導体やカーボンナノチューブを有するトラン
ジスタ等を用いることができる。
【0021】
なお、トランジスタの一例としては、ゲート電極が2個以上のマルチゲート構造のトラン
ジスタを用いることができる。マルチゲート構造にすると、チャネル形成領域が直列に接
続されるため、複数のトランジスタが直列に接続された構造となる。よって、マルチゲー
ト構造により、オフ電流の低減、トランジスタの耐圧向上(信頼性の向上)を図ることが
できる。または、マルチゲート構造により、飽和領域で動作する時に、ドレインとソース
との間の電圧が変化しても、ドレインとソースとの間の電流があまり変化せず、傾きがフ
ラットである電圧・電流特性を得ることができる。傾きがフラットである電圧・電流特性
を利用すると、理想的な電流源回路、又は非常に高い抵抗値をもつ能動負荷を実現するこ
とが出来る。その結果、特性のよい差動回路又はカレントミラー回路などを実現すること
が出来る。
【0022】
なお、トランジスタの一例としては、チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造
のトランジスタを適用することができる。チャネルの上下にゲート電極が配置される構造
にすることにより、複数のトランジスタが並列に接続されたような回路構成となる。よっ
て、チャネル領域が増えるため、電流値の増加を図ることができる。または、チャネルの
上下にゲート電極が配置されている構造にすることにより、空乏層ができやすくなるため
、S値の改善を図ることができる。
【0023】
なお、トランジスタの一例としては、チャネル形成領域の上にゲート電極が配置されてい
る構造、チャネル形成領域の下にゲート電極が配置されている構造、正スタガ構造、逆ス
タガ構造、チャネル形成領域を複数の領域に分けた構造、チャネル形成領域を並列に接続
した構造、又はチャネル形成領域が直列に接続する構造などのトランジスタを用いること
ができる。
【0024】
なお、トランジスタの一例としては、LDD領域を設けた構造を適用できる。LDD領域
を設けることにより、オフ電流の低減、又はトランジスタの耐圧向上(信頼性の向上)を
図ることができる。または、LDD領域を設けることにより、飽和領域で動作する時に、
ドレインとソースとの間の電圧が変化しても、ドレイン電流があまり変化せず、傾きがフ
ラットな電圧・電流特性を得ることができる。
【0025】
なお、明細書の中の図面や文章において規定されていない内容について、その内容を除く
ことを規定した発明を構成することが出来る。または、ある値について、上限値と下限値
などで示される数値範囲が記載されている場合、その範囲を任意に狭めることで、または
、その範囲の中の一点を除くことで、その範囲を一部除いて発明を規定することができる
。これらにより、例えば、従来技術が本発明の技術的範囲内に入らないことを規定するこ
とができる。
【0026】
具体例としては、ある回路において、第1乃至第5のトランジスタを用いている回路図が
記載されているとする。その場合、その回路が、第6のトランジスタを有していないこと
を発明として規定することが可能である。または、その回路が、容量素子を有していない
ことを規定することが可能である。さらに、その回路が、ある特定の接続構造を有してい
る第6のトランジスタを有していない、と規定して発明を構成することができる。または
、その回路が、ある特定の接続構造を有している容量素子を有していない、と規定して発
明を構成することができる。例えば、ゲートが第3のトランジスタのゲートと接続されて
いる第6のトランジスタを有していない、と発明を規定することが可能である。または、
例えば、第1の電極が第3のトランジスタのゲートと接続されている容量素子を有してい
ない、と発明を規定することが可能である。
【0027】
別の具体例としては、ある値について、例えば、「ある電圧が、3V以上10V以下であ
ることが好適である」と記載されているとする。その場合、例えば、ある電圧が、-2V
以上1V以下である場合を除く、と発明を規定することが可能である。または、例えば、
ある電圧が、13V以上である場合を除く、と発明を規定することが可能である。なお、
例えば、その電圧が、5V以上8V以下であると発明を規定することも可能である。なお
、例えば、その電圧が、概略9Vであると発明を規定することも可能である。なお、例え
ば、その電圧が、3V以上10V以下であるが、9Vである場合を除くと発明を規定する
ことも可能である。
【0028】
別の具体例としては、ある値について、例えば、「ある電圧が、10Vであることが好適
である」と記載されているとする。その場合、例えば、ある電圧が、-2V以上1V以下
である場合を除く、と発明を規定することが可能である。または、例えば、ある電圧が、
13V以上である場合を除く、と発明を規定することが可能である。
【0029】
別の具体例としては、ある物質の性質について、例えば、「ある膜は、絶縁膜である」と
記載されているとする。その場合、例えば、その絶縁膜が、有機絶縁膜である場合を除く
、と発明を規定することが可能である。または、例えば、その絶縁膜が、無機絶縁膜であ
る場合を除く、と発明を規定することが可能である。
【0030】
別の具体例としては、ある積層構造について、例えば、「AとBとの間に、ある膜が設け
られている」と記載されているとする。その場合、例えば、その膜が、4層以上の積層膜
である場合を除く、と発明を規定することが可能である。または、例えば、Aとその膜と
の間に、導電膜が設けられている場合を除く、と発明を規定することが可能である。
【発明の効果】
【0031】
本発明の一態様では、駆動用トランジスタの閾値電圧に応じてソースとゲート間に印加さ
れる電圧を定めることができる。こうして、トランジスタの特性のばらつきの影響が抑え
られる、半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することができる。または、ト
ランジスタの特性の劣化の影響が抑えられる、半導体装置、発光装置、または、表示装置
を提供することができる。または、トランジスタの閾値電圧のばらつきによる輝度のばら
つきが抑えられる、半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することができる。
または、トランジスタの移動度のばらつきによる輝度のばらつきが抑えられる、半導体装
置、発光装置、または、表示装置を提供することができる。または、本発明の一態様は、
トランジスタがノーマリオフ型であっても正常に動作する、半導体装置、発光装置、また
は、表示装置を提供することができる。または、本発明の一態様は、トランジスタがノー
マリオフ型であっても、トランジスタのしきい値電圧を取得できる、半導体装置、発光装
置、または、表示装置を提供することができる。または、質の良い表示を行う半導体装置
、発光装置、または、表示装置を提供することができる。または、ムラの少ない表示を行
う半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することができる。または、少ないト
ランジスタ数で、所望の回路を実現できるような、半導体装置、発光装置、または、表示
装置を提供することができる。または、少ない配線数で、所望の回路を実現できるような
、半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することができる。または、発光素子
の劣化の影響が抑えられる半導体装置、発光装置、または、表示装置を提供することがで
きる。または、少ない工程数で製造される半導体装置、発光装置、または、表示装置を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【
図5】タイミングチャートと半導体装置の動作を示す図。
【
図17】タイミングチャートと半導体装置の動作を示す図。
【
図20】タイミングチャートと半導体装置の動作を示す図。
【
図88】半導体装置の構成を示す図とタイミングチャート。
【発明を実施するための形態】
【0033】
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は
以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び
詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明
は、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に
説明する構成において、同一部分または同様な機能を有する部分については同一の符号を
異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
【0034】
なお、ある一つの実施の形態の中で述べる内容(一部の内容でもよい)は、その実施の形
態で述べる別の内容(一部の内容でもよい)、及び/または、一つ若しくは複数の別の実
施の形態で述べる内容(一部の内容でもよい)に対して、適用、組み合わせ、または置き
換えなどを行うことができる。
【0035】
なお、ある一つの実施の形態において述べる図(一部でもよい)の構成は、その図の別の
部分の構成、その実施の形態において述べる別の図(一部でもよい)の構成、及び/また
は、一つ若しくは複数の別の実施の形態において述べる図(一部でもよい)の構成と組み
合わせることができる。
【0036】
なお、図において、大きさ、厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合が
ある。よって、本発明の実施形態の一態様は、必ずしもそのスケールに限定されない。ま
たは、図は、理想的な例を模式的に示したものである。よって、本発明の実施形態の一態
様は、図に示す形状などに限定されない。例えば、製造技術による形状のばらつき、誤差
による形状のばらつきなどを含むことが可能である。
【0037】
なお、XとYとが接続されている、と明示的に記載する場合は、XとYとが電気的に接続
されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場合と、XとYとが直接接続され
ている場合とを含むものとする。ここで、X、Yは、対象物(例えば、装置、素子、回路
、配線、電極、端子、導電膜、層、表示素子、発光素子、負荷など)であるとする。した
がって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図ま
たは文章に示された接続関係以外のものも含むものとする。
【0038】
XとYとが電気的に接続されている場合の一例としては、XとYとの電気的な接続を可能
とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイ
オード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが
可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイ
ッチは、導通状態(オン状態)、または、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか
流さないかを制御する機能を有している。または、スイッチは、電流を流す経路を選択し
て切り替える機能を有している。
【0039】
XとYとが機能的に接続されている場合の一例としては、XとYとの機能的な接続を可能
とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変
換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電
源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)
、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅または電流量などを大きくできる
回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成
回路、記憶回路、制御回路など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能であ
る。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信号
がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。
【0040】
なお、XとYとが接続されている、と明示的に記載する場合は、XとYとが電気的に接続
されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場合と、XとYとが直接接続され
ている場合とを含むものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載する
場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合と同じであるとする
。
【0041】
なお、回路図上は独立している構成要素同士が電気的に接続しているように図示されてい
る場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もあ
る。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び
電極の機能の両方の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電気的に接続
とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その
範疇に含める。
【0042】
なお、能動素子(トランジスタ、ダイオードなど)、受動素子(容量素子、抵抗素子など
)などが有するすべての端子について、その接続先を特定しなくても、当業者であれば、
発明の一態様を構成することは可能な場合がある。つまり、接続先を特定しなくても、発
明の一態様が明確であり、本明細書等に記載されていると判断することが可能な場合があ
る。特に、端子の接続先が複数のケース考えられる場合には、その端子の接続先を特定の
箇所に限定する必要はない。したがって、能動素子(トランジスタ、ダイオードなど)、
受動素子(容量素子、抵抗素子など)などが有する一部の端子についてのみ、その接続先
を特定することによって、発明の一態様を構成することが可能な場合がある。
【0043】
なお、ある回路について、少なくとも接続先を特定すれば、当業者であれば、発明を特定
することが可能な場合がある。または、ある回路について、少なくとも機能を特定すれば
、当業者であれば、発明を特定することが可能な場合がある。つまり、機能を特定すれば
、発明の一態様が明確であり、本明細書等に記載されていると判断することが可能な場合
がある。したがって、ある回路について、機能を特定しなくても、接続先を特定すれば、
発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能であ
る。または、ある回路について、接続先を特定しなくても、機能を特定すれば、発明の一
態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。
【0044】
なお、本発明の実施形態の一態様は、さまざまな人が実施することが出来る。しかしなが
ら、その実施は、複数の人にまたがって実施される場合がある。例えば、送受信システム
の場合において、A社が送信機を製造および販売し、B社が受信機を製造および販売する
場合がある。別の例としては、TFTおよび発光素子を有する発光装置の場合において、
TFTが形成された半導体装置は、A社が製造および販売する。そして、B社がその半導
体装置を購入して、その半導体装置に発光素子を成膜して、発光装置として完成させる、
という場合がある。
【0045】
このような場合、A社またはB社のいずれに対しても、特許侵害を主張できるような発明
の一態様を、構成することが出来る。従って、A社またはB社に対して、特許侵害を主張
できるような発明の一態様は、明確であり、本明細書等に記載されていると判断する事が
出来る。例えば、送受信システムの場合において、送信機のみで発明の一態様を構成する
ことができ、受信機のみで発明の一態様を構成することができ、それらの発明の一態様は
、明確であり、本明細書等に記載されていると判断することが出来る。別の例としては、
TFTおよび発光素子を有する発光装置の場合において、TFTが形成された半導体装置
のみで発明の一態様を構成することができ、TFTおよび発光素子を有する発光装置のみ
で発明の一態様を構成することができ、それらの発明の一態様は、明確であり、本明細書
等に記載されていると判断することが出来る。
【0046】
(実施の形態1)
本発明の一態様は、発光素子を有する画素だけでなく、様々な回路として用いることがで
きる。例えば、アナログ回路として用いたり、電流源としての機能を有する回路として用
いることが出来る。そこでまず、本実施の形態では、本発明で開示する回路の基本原理の
一例について述べる。
【0047】
本発明の一態様に係る半導体装置は、例えば、トランジスタと、当該トランジスタにおい
て、ゲートの電位を固定した状態で、ゲートとソース間に保持されている電荷を放電する
機能を有する構成とを、少なくとも有する。本発明の一態様に係る半導体装置は、上記構
成により、トランジスタの閾値電圧や移動度などに起因するドレイン電流のばらつきを補
正することができる。
【0048】
図1(A)に示す回路100は、本発明の一態様に係る半導体装置である。回路100は
、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ13、トランジスタ101、容量素子102、
容量素子103を有する。なお、
図1(A)では、トランジスタ101がnチャネル型で
ある場合を一例として示している。
【0049】
具体的に、
図1(A)では、スイッチ11は、配線21と、容量素子102の一方の電極
(端子)又は容量素子103の一方の電極(端子)との間の導通状態を制御する機能を有
する。スイッチ12は、配線22と、容量素子102の他方の電極(端子)及びトランジ
スタ101のゲートとの間の導通状態を制御する機能を有する。スイッチ13は、トラン
ジスタ101のソースまたはドレインの一方、又は、容量素子103の他方の電極(端子
)と、容量素子102の一方の電極、又は、容量素子103の一方の電極(端子)との間
の導通状態を制御する機能を有する。トランジスタ101のソースまたはドレインの他方
は、配線23に接続されている。トランジスタ101のソースまたはドレインの一方、又
は、容量素子103の他方の電極(端子)は、配線24に接続されている。
【0050】
なお、トランジスタが有するソース(ソース端子、ソース領域またはソース電極)とドレ
イン(ドレイン端子、ドレイン領域またはドレイン電極)は、トランジスタの極性及びソ
ースとドレインに与えられる電位の高低によって、その呼び方が入れ替わる。一般的に、
nチャネル型トランジスタでは、ソースとドレインのうち、低い電位が与えられる方がソ
ースと呼ばれ、高い電位が与えられる方がドレインと呼ばれる。また、pチャネル型トラ
ンジスタでは、ソースとドレインのうち、低い電位が与えられる方がドレインと呼ばれ、
高い電位が与えられる方がソースと呼ばれる。本明細書では、便宜上、ソースとドレイン
とが固定されているものと仮定して、トランジスタの接続関係を説明する場合があるが、
実際には上記電位の関係に従ってソースとドレインの呼び方が入れ替わる。そこで、ソー
スとして機能する部分、及びドレインとして機能する部分を、ソース又はドレインと呼ば
ない場合がある。その場合、一例として、ソースとドレインとの一方を、第1端子、第1
電極、又は第1領域と表記し、ソースとドレインとの他方を、第2端子、第2電極、又は
第2領域と表記する場合がある。
【0051】
なお、スイッチは、端子間の導通状態と非導通状態を切り替えて動作する機能を有してお
り、電流を流すか流さないかを制御する機能を有している素子である。または、スイッチ
は、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有し、例えば、経路1に電流を流すこと
が出来るようにするか、経路2に電流を流すことができるようにするかを選択して切り替
える機能を有している。例えば、電気的スイッチまたは機械的なスイッチなどを用いるこ
とができる。具体的には、トランジスタ、ダイオード、デジタルマイクロミラーデバイス
(DMD)のようにMEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用
いたスイッチ、などで構成すればよい。また、スイッチはトランジスタを組み合わせた論
理回路でもよい。スイッチとしてトランジスタを用いる場合、該トランジスタの極性は特
に限定されない。ただし、オフ電流が小さいトランジスタを用いることが望ましく、入力
電位に応じて、トランジスタの極性を使い分けることが望ましい。
【0052】
なお、オフ電流が小さいトランジスタとしては、LDD領域を有するトランジスタ、マル
チゲート構造を有するトランジスタ、または酸化物半導体をチャネル形成領域に含むトラ
ンジスタ等がある。また、トランジスタを組み合わせてスイッチとして動作させる場合、
nチャネル型とpチャネル型の両方を用いた相補型のスイッチにしてもよい。相補型のス
イッチにすることで、スイッチに入力する電位が、出力電位と比べて相対的に変化しても
、適切に動作させることができる。
【0053】
なお、スイッチとしてトランジスタを用いる場合、スイッチは、入力端子(ソースまたは
ドレインの一方)と、出力端子(ソースまたはドレインの他方)と、導通を制御する端子
(ゲート)とを有している場合がある。一方、スイッチとしてダイオードを用いる場合、
スイッチは、導通を制御する端子を有していない場合がある。したがって、トランジスタ
よりもダイオードをスイッチとして用いた方が、端子を制御するための配線を少なくする
ことができる。
【0054】
なお、トランジスタの一例としては、チャネル形成領域の上下にゲートが配置されている
構造のトランジスタを適用することができる。半導体膜の上下にゲートを配置することに
より、複数のトランジスタが並列に接続されたような回路構成となる。よって、チャネル
形成領域が増えるため、電流値の増加を図ることができる。または、チャネル形成領域の
上下にゲートが配置されている構造にすることにより、空乏層ができやすくなるため、S
値の改善を図ることができる。
【0055】
なお、トランジスタの一例としては、チャネル形成領域(もしくはその一部)にソース電
極やドレイン電極が重なっている構造のトランジスタを用いることができる。チャネル形
成領域(もしくはその一部)にソース電極やドレイン電極が重なる構造にすることによっ
て、チャネル形成領域の一部に電荷が溜まることにより動作が不安定になることを防ぐこ
とができる。
【0056】
なお、容量素子102または容量素子103は、例えば、配線、半導体膜、または電極等
で絶縁膜または有機膜を挟んだ構成とすればよい。
【0057】
なお、
図1(A)で示した回路100は、
図1(B)に示すように負荷104を有してい
ても良い。
図1(B)に示す回路100では、負荷104が、トランジスタ101のソー
スまたはドレインの一方、または、容量素子103の他方の電極と、配線24との間に接
続されている。
【0058】
なお、本明細書中において負荷とは、例えば、整流性を有するものや、容量性を有するも
のや、抵抗性を有するもの、スイッチを有する回路、画素回路、電流源回路などがある。
例えば、整流性を有するものは、印加するバイアス方向により抵抗値が異なる電流電圧特
性を有し、一方向のみにほとんど電流が流れる電気的特性を有するものであるとする。具
体的に、負荷104として、表示素子(液晶素子、EL素子など)、発光素子(EL(エ
レクトロルミネッセンス)素子(有機物及び無機物を含むEL素子、有機EL素子、無機
EL素子)、LED(白色LED、赤色LED、緑色LED、青色LEDなど)、トラン
ジスタ(電流に応じて発光するトランジスタ)、電子放出素子、または、表示素子や発光
素子の一部(例えば、画素電極、アノード、カソード)などが挙げられる。
【0059】
図1(C)に、負荷104として、発光素子104aを用いた場合の、回路100の構成
を示す。
図1(C)では、発光素子104aのアノードが、トランジスタ101のソース
またはドレインの一方、または、容量素子103の他方の電極に接続されており、発光素
子104aのカソードが、配線24に接続されている場合を一例として示している。
【0060】
また、
図1(D)に、負荷104として、発光素子104bを用いた場合の、回路100
の構成を示す。
図1(D)では、発光素子104bのカソードが、トランジスタ101の
ソースまたはドレインの一方、または、容量素子103の他方の電極に接続されており、
発光素子104bのアノードが、配線24に接続されている場合を一例として示している
。なお、
図1(D)では、トランジスタ101がpチャネル型である場合を一例として示
している。
【0061】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、例えば、
図1(A)乃至
図1(D)に示した
回路100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を
、さらに有していても良い。
【0062】
図2(A)乃至
図2(D)に示す半導体装置は、
図1(A)乃至
図1(D)に示す回路1
00に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路201と、配線2
2に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路202と、配線23に一定電圧や信号を
供給する機能を有する回路203と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する
回路204とを、それぞれ有する。
【0063】
具体的に、回路201は、配線21に、電位Vi1または電位Vsigを供給する機能を
有する。回路201の例としては、ソースドライバ(信号線駆動回路)などがある。した
がって、配線21は、電位Vi1、及び/又は、電位Vsigを、伝えることが出来る機
能、または、供給することが出来る機能を有している。または、配線21は、映像信号線
としての機能を有している。または、配線21は、初期化用配線としての機能を有してい
る。
【0064】
電位Vi1は、回路100内の各ノードの電位を初期化するための電位である。または、
電位Vi1は、一例としては、容量素子102に電荷を供給するための電位である。また
は、電位Vi1は、一例としては、トランジスタ101をオン状態にするための電位であ
る。なお、電位Vi1は、一定の電位であることが望ましいが、本発明の実施形態の一態
様は、これに限定されず、パルス信号のように変動してもよい。
【0065】
なお、一例としては、電位Vsigを回路100に供給する前において、電位Vi1が回
路100に供給される。
【0066】
電位Vsigは、トランジスタ101のドレイン電流の大きさを制御するための電位であ
る。
図2(B)に示した半導体装置の場合は、上記ドレイン電流が負荷104に供給され
る。
図2(C)に示した半導体装置の場合は、上記ドレイン電流が発光素子104aに供
給される。
図2(D)に示した半導体装置の場合は、上記ドレイン電流が発光素子104
bに供給される。例えば、トランジスタ101のドレイン電流を一定値に保つ場合は、電
位Vsigの高さを一定とする。また、例えば、トランジスタ101のドレイン電流を一
定値としない場合は、電位Vsigの高さを、時間と共に変化させる。一例としては、電
位Vsigは映像信号、及び/又は、アナログ信号である。ただし、本発明の実施形態の
一態様は、これに限定されず、電位Vsigは、一定の電位でもよい。
【0067】
また、回路202は、配線22に、電位Vi2を供給する機能を有する。回路204の例
としては、電源回路などがある。したがって、配線22は、電位Vi2を、伝えることが
出来る機能、または、供給することが出来る機能を有している。または、配線22は、初
期化用配線としての機能を有している。なお、配線22の電位は、一定の電位であること
が望ましいが、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変
動してもよい。
【0068】
電位Vi2は、回路100内の各ノード(特にトランジスタ101のゲート)の電位を初
期化するための電位である。なお、
図2(C)の場合、電位Vi2は、配線24の電位と
同じ、または、それよりも低いことが好適である。これにより、発光素子104aに電流
が流れることを低減することが出来る。
図2(D)の場合、電位Vi2は、配線24の電
位と同じ、または、それよりも高いことが好適である。これにより、発光素子104bに
電流が流れることを低減することが出来る。ただし、電位Vi2は、これらに限定されな
い。なお、電位Vi2は、一定の電位であることが望ましいが、本発明の実施形態の一態
様は、これに限定されず、パルス信号のように変動してもよい。
【0069】
なお、配線22は、他の配線、または、別の回路100が有する配線と接続させることが
可能である。これにより、配線の数を減らすことが出来る。
【0070】
また、回路203は、配線23に、電源電位(高電源電位または低電源電位)、例えば、
電位VDD、または、電位VSSを供給する機能を有する。または、回路203は、配線
23に、信号を供給する機能を有する。回路203の例としては、電源回路、パルス出力
回路、ゲートドライバ回路などがある。したがって、配線23は、電源電位または信号を
伝えることが出来る機能、または、供給することが出来る機能を有している。または、配
線23は、トランジスタ101に電流を供給することが出来る機能を有している。または
、配線23は、負荷104に電流を供給することが出来る機能を有している。または、配
線23は、電源線としての機能を有している。または、配線23は、電流供給線としての
機能を有している。なお、配線23の電位は、一定の電位であることが望ましいが、本発
明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変動してもよい。例え
ば、配線23の電位は、負荷104に、順バイアス電圧だけでなく、逆バイアス電圧を加
えるような電位であってもよい。
【0071】
また、回路204は、配線24に、電源電位(低電源電位または高電源電位)、例えば、
電位Vcatを供給する機能を有する。回路204の例としては、電源回路などがある。
したがって、配線24は、電源電位を伝えることが出来る機能、または、供給することが
出来る機能を有している。または、配線24は、負荷104に電流を供給することが出来
る機能を有している。または、配線24は、トランジスタ101に電流を供給することが
出来る機能を有している。または、配線24は、共通線としての機能を有している。また
は、配線24は、陰極配線としての機能を有している。または、配線24は、陽極配線と
しての機能を有している。なお、配線24の電位は、一定の電位であることが望ましいが
、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変動してもよい
。例えば、配線24の電位は、負荷104に、順バイアス電圧だけでなく、逆バイアス電
圧を加えるような電位であってもよい。
【0072】
電位VDDと電位Vcatの電位差により、トランジスタ101におけるドレイン電流の
向きが決まる。例えば、電位VDDが電位Vcatより高い場合、配線23から配線24
へ電流が流れる。配線23の電位が電位VSSの場合で、電位Vcatより低い場合、配
線24から配線23へ電流が流れる。
【0073】
なお、
図2(A)乃至
図2(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路201
、回路202、回路203、及び回路204を有する場合を一例として示しているが、本
発明の一態様に係る半導体装置は、必ずしも回路201、回路202、回路203、及び
回路204を全て有する必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していても良
い。
【0074】
なお、トランジスタ101は、一例としては、少なくとも電流源としての機能を有してい
る。したがって、例えば、トランジスタ101は、トランジスタ101の両端(ソースと
ドレインの間)に加わる電圧の大きさが変化しても、概ね一定の電流を供給する機能を有
している。または、例えば、トランジスタ101は、負荷104の電位が変化しても、負
荷104に概ね一定の電流を供給する機能を有している。または、例えば、トランジスタ
101は、配線23の電位が変化しても、概ね一定の電流を供給する機能を有している。
【0075】
ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、トランジスタ101は電流源
としての機能を有さないことも可能である。例えば、トランジスタ101は、スイッチの
機能を有することが可能である。
【0076】
なお、電流源とは別の電源として、電圧源がある。電圧源は、それに接続された回路に流
れる電流が変化しても、一定の電圧を供給する機能を有している。したがって、電圧源も
電流源も、電圧と電流とを供給する機能を有しているが、何が変化しても、一定の何を供
給する機能を有しているのか、という点で、異なった機能を有するものである。電流源は
、両端の電圧が変化しても、一定の電流を供給する機能を有し、電圧源は、電流が変化し
ても、一定の電圧を供給する機能を有している。
【0077】
なお、
図1などは、回路構成の一例であるため、さらに、トランジスタを追加して設ける
ことが可能である。逆に、
図1などの各ノードにおいて、追加してトランジスタ、スイッ
チ、受動素子などを設けないようにすることも可能である。例えば、各スイッチの端子が
接続されたノード、トランジスタの各端子が接続されたノード、または/および、負荷の
各端子が接続されたノードにおいて、直接的に接続されたトランジスタを、これ以上は設
けないようにすることが可能である。従って、例えば、負荷104とトランジスタ101
と容量素子103とスイッチ13とが接続されているノードにおいて、直接的に接続され
ているトランジスタはトランジスタ101のみであり、他のトランジスタはそのノードと
直接的に接続されていない、というような構成にすることが可能である。
【0078】
そのため、トランジスタを追加しない場合には、少ないトランジスタ数で回路を構成する
ことが可能となる。
【0079】
なお、
図1及び
図2に示した回路100は、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ13
にトランジスタを用いることができる。
【0080】
図1(A)乃至
図1(D)に示した回路100において、スイッチ11としてトランジス
タ11t、スイッチ12としてトランジスタ12t、及びスイッチ13としてトランジス
タ13tを用いた場合の回路100の構成を、
図3(A)乃至
図3(D)に示す。なお、
図3(A)乃至
図3(C)では、トランジスタ11t、トランジスタ12t、及びトラン
ジスタ13tが全てnチャネル型である場合を一例として示している。また、
図3(D)
では、トランジスタ11t、トランジスタ12t、及びトランジスタ13tが全てpチャ
ネル型である場合を一例として示している。トランジスタ11t、トランジスタ12t、
及びトランジスタ13tを全て同じ極性のトランジスタとすることで、これらのトランジ
スタを少ない工程数で製造できる。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定さ
れず、異なる極性のトランジスタを用いることも可能である。
【0081】
なお、
図3(A)乃至
図3(D)において、トランジスタ11tは、ゲートが配線31に
接続されている。配線31に供給される電位に従って、トランジスタ11tは導通状態ま
たは非導通状態となる。トランジスタ12tは、ゲートが配線32に接続されている。配
線32に供給される電位に従って、トランジスタ12tは導通状態または非導通状態とな
る。トランジスタ13tは、ゲートが配線33に接続されている。配線33に供給される
電位に従って、トランジスタ13tは導通状態または非導通状態となる。したがって、配
線31乃至配線33の電位は、パルス状であり、一定ではないことが望ましいが、本発明
の実施形態の一態様は、これに限定されない。または、配線31乃至配線33は、ゲート
信号線(ゲート線)、選択信号線、または、スキャン線(走査線)としての機能を有して
いる。
【0082】
なお、配線31乃至配線33において、その中の少なくとも2本の配線は、互いに接続さ
せることが可能である。または、配線31乃至配線33の少なくとも1本は、別の回路1
00の配線31乃至配線33の少なくとも1本と接続させることが可能である。
【0083】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図3(A)乃至
図3(D)に示した回路10
0に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さらに
有していても良い。
【0084】
図4(A)乃至
図4(D)に示す半導体装置は、
図3(A)乃至
図3(D)に示す回路1
00に加えて、配線31に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路205と、配線3
2に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路206と、配線33に一定電圧や信号を
供給する機能を有する回路207とを、それぞれ有する。回路205、回路206、回路
207の例としては、ゲートドライバ(走査線駆動回路)などがある。
【0085】
なお、回路201、回路202、回路203、回路204、回路205、回路206、回
路207は、一つの同じ回路であってもよいし、別々の回路であってもよい。
【0086】
なお、
図4(A)乃至
図4(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路205
、回路206、及び回路207を有する場合を一例として示しているが、本発明の一態様
に係る半導体装置は、必ずしも回路205、回路206、及び回路207を全て有する必
要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していても良い。
【0087】
また、
図3(C)に示す回路100において、トランジスタ101、トランジスタ11t
、及びトランジスタ13tがnチャネル型、トランジスタ12tがpチャネル型である場
合の回路100の構成を
図37(A)に示す。また、
図3(D)に示す回路100におい
て、トランジスタ101、トランジスタ11t、及びトランジスタ13tがpチャネル型
、トランジスタ12tがnチャネル型である場合の回路100の構成を
図37(B)に示
す。このように、様々な極性のトランジスタを用いることが出来る。
【0088】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図37(A)及び
図37(B)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0089】
図37(C)及び
図37(D)に示す半導体装置は、
図37(A)及び
図37(B)に示
す回路100に加えて、配線31に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路205と
、配線32に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路206と、配線33に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路207とを、それぞれ有する。
【0090】
なお、
図37(C)及び
図37(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
05、回路206、及び回路207を有する場合を一例として示しているが、本発明の一
態様に係る半導体装置は、必ずしも回路205、回路206、及び回路207を全て有す
る必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していても良い。
【0091】
なお、トランジスタ101は、電流を流すときには、飽和領域で動作する場合が多い。よ
って、
図3、
図4、及び
図37において、トランジスタ101のチャネル長またはゲート
長を、トランジスタ11t、トランジスタ12t、及び/または、トランジスタ13tよ
りも長くすることが望ましい。チャネル長またはゲート長を長くすることにより、飽和領
域での特性がフラットになり、キンク効果を低減することができる。好ましくは、5倍以
上、より好ましくは10倍以上であることが望ましい。一例としては、トランジスタ10
1のチャネル長またはゲート長は、10μm以上、より好ましくは、20μm以上である
。或いは、トランジスタ101のチャネル幅またはゲート幅を、トランジスタ11t、ト
ランジスタ12t、及び/または、トランジスタ13tよりも長くすることにより、トラ
ンジスタ101は、飽和領域においても、多くの電流を流すことができる。好ましくは、
5倍以上、より好ましくは10倍以上であることが望ましい。トランジスタ101のチャ
ネル幅またはゲート幅は、20μm以上、より好ましくは、30μm以上である。ただし
、本発明の実施形態の一態様は、これらに限定されない。
【0092】
次いで
図1(C)に示す回路100を例に挙げて、本発明の一態様の半導体装置の動作に
ついて説明する。
【0093】
図1(C)に示す回路100の動作は、主に第1の動作、第2の動作、第3の動作、第4
の動作、第5の動作に分けることができる。ただし、これに限定されず、新たな動作の追
加、或いは、一部の動作の削除も可能である。
【0094】
図1(C)に示す回路100における、スイッチ11、スイッチ12、及びスイッチ13
の動作と、配線21の電位と、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101
)とを示すタイミングチャートの一例を、
図5(A)に図示する。
【0095】
まず、期間T11において行われる第1の動作について説明する。期間T11では、
図5
(A)に示すように、スイッチ11、スイッチ12、及びスイッチ13が導通状態である
。また、配線21には電位Vi1が供給される。よって、期間T11では、
図5(B)に
示すように、容量素子102に電圧Vi2-Vi1が供給され、発光素子104aのアノ
ードは電位Vi1となり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は
、電圧Vi2-Vi1となる。つまり、トランジスタ101、及び、容量素子102を、
初期化していることとなる。
【0096】
なお、
図1(C)に示す回路100では、電位Vi2は、電位Vi1にトランジスタ10
1の閾値電圧Vthを加算した電位よりも、高いことが望ましい。つまり、電位Vi2と
電位Vi1は、トランジスタ101がオン状態となるような電位であることが望ましい。
また、電位Vi1に発光素子104aの閾値電圧Vthe(発光素子104aが発光しは
じめる電圧)を加算した電位は、電位Vcatより低いことが望ましい。例えば、電位V
i1は、電位Vcatと同じ電位か、それよりも低い電位であることが望ましい。電位V
i1が、電位Vcatよりも低い場合には、発光素子104aが逆バイアス状態となるた
め、発光素子104aの劣化を低減する、或いはショート箇所をリペアすることが可能で
ある。また、電位Vi2から発光素子104aの閾値電圧Vtheを差し引いた電位は、
電位Vcatより低いことが望ましい。なお、以下、一例として、閾値電圧Vtheが0
であるものと仮定する。
【0097】
期間T12において行われる第2の動作について説明する。期間T12では、
図5(A)
に示すように、スイッチ11が非導通状態、スイッチ12及びスイッチ13が導通状態で
ある。スイッチ11が非導通状態となることで、容量素子102に蓄積されている電荷が
トランジスタ101を介して放出され、トランジスタ101のソースの電位が上昇する。
そして、トランジスタ101がオフ状態となると、容量素子102からの電荷の放出が止
まる。最終的には、トランジスタ101の閾値電圧Vthが容量素子102に保持される
。よって、期間T12では、
図5(C)に示すように、容量素子102に閾値電圧Vth
が保持され、発光素子104aのアノードは電位Vi2-Vthとなり、トランジスタ1
01のゲートソース間電圧(Vgs101)は、閾値電圧Vthとなる。つまり、トラン
ジスタ101のしきい値電圧Vthを取得することができる。
【0098】
なお、Vgs101が、トランジスタ101のしきい値電圧Vthに等しくなるまでには
、非常に長い時間が必要となる場合がある。したがって、Vgs101は、しきい値電圧
Vthまで完全に低下させずに、動作させる場合も多い。つまり、Vgs101は、しき
い値電圧Vthよりも、わずかに大きい値となった状態で、期間T12が終了する場合も
多い。つまり、期間T12が終了した時点では、Vgs101は、しきい値電圧に応じた
大きさの電圧になっている、ということも出来る。
【0099】
なお、第2の動作において、トランジスタ101のしきい値電圧Vthが正か負かという
ことに関係なく、動作させることができる。これは、トランジスタ101がオフ状態とな
るまで、トランジスタ101のソース電位が上昇できるからである。つまり、トランジス
タ101のゲート電位よりも、トランジスタ101のソース電位の方が高くなった状態で
、ようやくトランジスタ101がオフし、Vgs101がVthとなる、ということが可
能であるからである。したがって、トランジスタ101がエンハンスメント型(ノーマリ
オフ型)であっても、デプリーション型(ノーマリオン型)であっても、正常に動作させ
ることができる。
【0100】
なお、発光素子104aのアノードの電位が高くなったときに、発光素子104aに電流
が流れないようにすることが望ましい。そのためには、発光素子104aに電流が流れな
いように、電位Vi2を低い値とすることが好適である。ただし、発明の実施形態の一態
様は、これに限定されない。なお、発光素子104aと直列にスイッチを設けて、それを
オフ状態にすることにより、発光素子104aに電流が流れないようにすることが可能で
あれば、電位Vi2は、高い値でもよい。
【0101】
期間T13において行われる第3の動作について説明する。期間T13では、
図5(A)
に示すように、スイッチ11及びスイッチ13が導通状態、スイッチ12が非導通状態で
ある。また、配線21には、一例として、電位Vi1が供給される。よって、期間T13
では、
図6(A)に示すように、容量素子102に閾値電圧Vth(またはVthに応じ
た大きさの電圧)が保持され、発光素子104aのアノードは電位Vi1となり、トラン
ジスタ101のゲートの電位は電位Vi1+Vth(またはVthに応じた大きさの電圧
)となり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は、閾値電圧Vt
h(またはVthに応じた大きさの電圧)となる。これにより、発光素子104aのアノ
ードの電位、または、トランジスタ101のソースの電位を初期化することができる。
【0102】
なお、上記第3の動作は必ずしも行う必要はなく、第2の動作の後に、以下に示す第4の
動作を行うようにしても良い。
【0103】
なお、期間T13における配線21の電位は、電位Vi1に限定されず、別の大きさの電
位(例えば電位Vi3)とすることも可能である。ただし、期間T13における配線21
の電位を電位Vi1とすることにより、回路201の構成をシンプルにすることができる
。または、配線21に、複数の回路100が接続されている場合において、配線21の電
位を電位Vi1とすることにより、ある回路100では、期間T11として動作させ、別
の回路100では、期間T13として動作させることが出来るため、動作期間を効率的に
使用することが出来る。
【0104】
期間T14において行われる第4の動作について説明する。期間T14では、
図5(A)
に示すように、スイッチ11が導通状態、スイッチ12及びスイッチ13が非導通状態で
ある。また、配線21には電位Vsigが供給される。よって、期間T14では、
図6(
B)に示すように、容量素子102に閾値電圧Vth(またはVthに応じた大きさの電
圧である)が保持され、容量素子103に電圧Vsig-Vi1-Vαが保持され、発光
素子104aのアノードは電位Vi1+Vαとなり、トランジスタ101のゲートの電位
は電位Vsig+Vthとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs10
1)は電圧Vsig+Vth-Vi1-Vαとなる。したがって、電位Vsigを容量素
子103に入力することが出来る。または、容量素子102の電圧と容量素子103の電
圧との和が、トランジスタ101のゲートソース間電圧となるようにすることが出来る。
【0105】
なお、第4の動作で、電位Vαは、発光素子104aのアノードが電気的に浮遊状態(フ
ローティング状態)となることで変動する電位である。電位Vαは、トランジスタ101
がオフであるならば、発光素子104aの静電容量と、容量素子102及び容量素子10
3の静電容量の比に応じて、その値が定まる。しかし、電位Vsigの高さによっては、
トランジスタ101がオンするので、トランジスタ101を介して発光素子104aのア
ノードに電荷が流入してしまう。よって、電位Vαは、上記静電容量の比によってのみ決
まらず、発光素子104aのアノードに流入する電荷によっても、その値が変化する。
【0106】
ここで、ゲートソース間電圧Vgsを理想的な値、すなわち電圧Vsig+Vth-Vi
1に近づけるには、電位Vαが小さくなるように設計することが好ましい。具体的には、
発光素子104aの静電容量が、容量素子102及び容量素子103の静電容量よりも十
分に大きければ、ゲートソース間電圧Vgsを理想的な値に近づけることができる。
【0107】
したがって、容量素子103の容量値は、負荷104(発光素子104a)の寄生容量の
容量値よりも、小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/5
倍以下が好適である。または、容量素子103の電極の面積は、負荷104(発光素子1
04a)の電極の面積よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ま
しくは1/5倍以下が好適である。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これらに限定
されない。
【0108】
また、ゲートソース間電圧(Vgs101)を理想的な値に近づけるには、発光素子10
4aのアノードに流入する電荷量Qを小さくすることが、望ましい。よって、上記電荷量
Qを小さくするために期間T14はなるべく短い方が良い。なお、上述したように、予め
期間T13において配線21に電位Vsigを供給しておくと、期間T14においてスイ
ッチ11を導通状態にしたときに、トランジスタ101のゲートの電位を、電位Vsig
+Vthに素早く近づけることができる。よって、期間T14を短くできるので、電荷量
Qを小さくする上で望ましい。
【0109】
したがって、期間T14の長さは、期間T11、期間T12、及び/又は、期間T13の
長さよりも、小さいことが望ましく、望ましくは2/3倍以下、より望ましくは1/2倍
以下が好適である。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これらに限定されない。
【0110】
なお、電荷量Qは、上述したように小さい方が望ましいが、トランジスタ101の移動度
のばらつきが大きい場合は、電荷量Qによって移動度のばらつきを抑える効果が期待でき
る。以下、この理由について説明する。
【0111】
電荷量Qは、期間T14において、トランジスタ101のドレインからソースに流れ込む
電荷量に相当する。よって、電荷量Qは、トランジスタ101の移動度が大きいほど、大
きくなる。そして、電荷量Qが大きくなると、発光素子104aの発光時における、トラ
ンジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)が、小さくなる。すなわち、電荷
量Qにより、トランジスタ101の移動度が大きいほど、発光素子104aに供給される
電流値が小さくなるように補正がかかり、また、トランジスタ101の移動度が小さいほ
ど、発光素子104aに供給される電流値があまり小さくならないように補正がかかる。
したがって、電荷量Qにより、移動度のばらつきを抑えることができる。
【0112】
なお、容量素子102の容量値は、トランジスタ101のゲートの寄生容量の容量値より
も、大きいことが望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である
。または、容量素子102の電極の面積は、トランジスタ101のチャネルの面積よりも
大きいことが望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である。ま
たは、容量素子102の電極の面積は、トランジスタ101のゲート電極の面積よりも大
きいことが望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である。それ
らにより、電位Vsigが入力されて、容量素子102とトランジスタのゲート容量とで
、電圧が容量分割されたときに、容量素子102の電圧の減少を低減することが出来る。
ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0113】
なお、容量素子102の容量値は、容量素子103の容量値と、同じ程度の大きさである
か、それよりも、大きいことが望ましい。容量素子102の容量値は、容量素子103の
容量値と、±20%以下の違い、より好ましくは±10%以下の違いであることが好適で
ある。または、容量素子102の電極の面積は、容量素子103の電極の面積と、同じ程
度の大きさであるか、それよりも、大きいことが望ましい。これらにより、同じレイアウ
ト面積のなかで、最適な動作を行うことが出来る。ただし、本発明の実施形態の一態様は
、これに限定されない。
【0114】
期間T15において行われる第5の動作について説明する。期間T15では、
図5(A)
に示すように、スイッチ11、スイッチ12及びスイッチ13が非導通状態である。よっ
て、期間T15では、
図6(C)に示すように、容量素子102に閾値電圧Vthが保持
され、容量素子103に電圧Vsig-Vi1-Vαが保持され、発光素子104aのア
ノードは電位Velとなり、トランジスタ101のゲートの電位は電位Vsig+Vth
-Vi1-Vα+Velとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs10
1)は電圧Vsig+Vth-Vi1-Vαとなる。したがって、電位Vsigに応じた
大きさの電流を発光素子104aに流すことができ、電位Vsigに応じた輝度で発光素
子104aを発光させることができる。
【0115】
なお、電位Velは、トランジスタ101を介して、発光素子104aに電流を流す際に
生じる電位である。具体的には、電位VDDと電位Vcatの間の電位になる。
【0116】
上記第5の動作では、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)を、電
圧Vsig+Vth-Vi1-Vαとし、トランジスタ101の閾値電圧Vthを加味し
た値に設定することができる。従って、上記構成により、トランジスタ101の閾値電圧
Vthのばらつきが、発光素子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことが
できる。または、トランジスタ101が劣化して、閾値電圧Vthが変化しても、上記変
化が発光素子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。よって、
表示ムラを低減でき、質の良い表示を行うことができる。
【0117】
同様に、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)を、電圧Vsig+
Vth-Vi1-Vαとし、Velとは無関係な値に設定することができる。上記構成に
より、発光素子104aの電圧電流特性のばらつきが、発光素子104aに供給する電流
値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。または、発光素子104aが劣化して、発光素
子104aの電圧電流特性が変化して、Velが変化しても、上記変化が発光素子104
aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。よって、表示ムラを低減でき
、質の良い表示を行うことができる。
【0118】
なお、第5の動作の一部の期間において、強制的にトランジスタ101がオフ状態になる
ようにして、発光素子104aが発光しないような状況にすることも可能である。つまり
、非発光期間を設けることも可能である。例えば、スイッチ12をオンにすることにより
、トランジスタ101をオフ状態にすることが可能である。
【0119】
なお、本発明の一態様に係る半導体装置では、第2の動作において、トランジスタ101
のゲートを電位Vi2に保つ。上記動作により、トランジスタ101がノーマリオンであ
っても、すなわち閾値電圧Vthがマイナスの値を有していても、トランジスタ101に
おいて、ソースの電位がゲートの電位Vi2よりも高くなるまで容量素子102に蓄積さ
れている電荷を放出することができる。よって、本発明の一態様に係る半導体装置では、
トランジスタ101がノーマリオンであっても、上記第5の動作において、トランジスタ
101の閾値電圧Vthを加味した値になるよう、トランジスタ101のゲートソース間
電圧(Vgs101)を設定することができる。
【0120】
なお、期間T11乃至期間T15における、回路100の概略図を、
図7(A)乃至
図7
(E)に、それぞれ示す。本発明の一態様に係る半導体装置は、回路100が、上記各期
間において
図7(A)乃至
図7(E)に示す構造を取ることができれば良い。よって、本
発明の一態様に係る半導体装置は、
図1乃至
図4に示した構成を有する回路100に限定
されるものではない。本発明の一態様に係る半導体装置は、回路100において、
図7(
A)乃至
図7(E)に示す構造を取りうるように、スイッチの配置や数、各種電位の供給
を行う配線の数などを、適宜変更することが可能である。
【0121】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図1(B)に示した回路100において、負
荷104と接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、本発明の一
態様に係る半導体装置は、
図1(C)に示した回路100において、発光素子104aと
接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、本発明の一態様に係る
半導体装置は、
図1(D)に示した回路100において、発光素子104bと接続された
容量素子105を、さらに有していても良い。
【0122】
図8(A)に示す半導体装置は、
図1(B)に示した回路100において、負荷104と
接続された容量素子105を、さらに有している。具体的には、容量素子105の一方の
電極が、容量素子103の他方の電極、及びトランジスタ101のソースまたはドレイン
の一方に、接続されている。容量素子105の他方の電極は、配線26に接続されている
。なお、
図8(A)では、回路100が負荷104を有する場合を一例として示している
が、
図8(A)において、負荷104の代わりに発光素子104aまたは発光素子104
bが用いられていても良い。
【0123】
なお、配線26は、様々な配線と接続させることが可能である。例えば、配線22、配線
23、配線24、または、別の回路100の配線、走査線、ゲート線、トランジスタのゲ
ートと接続された配線などに接続させることが出来る。これにより、配線の数を減らすこ
とが出来る。
【0124】
図8(B)に示す半導体装置は、
図8(A)に示した回路100において、配線26を配
線24に接続させた場合の例を示す。なお、
図8(B)では、回路100が負荷104を
有する場合を一例として示しているが、
図8(B)において、負荷104の代わりに発光
素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。このように接続すること
により、配線26を減らすことが出来る。
【0125】
図8(C)に示す半導体装置は、
図8(A)に示した回路100において、配線26を配
線23に接続させた場合の例を示す。なお、
図8(C)では、回路100が負荷104を
有する場合を一例として示しているが、
図8(C)において、負荷104の代わりに発光
素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。このように接続すること
により、配線26を減らすことが出来る。
【0126】
図8(D)に示す半導体装置は、
図8(A)に示した回路100において、配線26を配
線22に接続させた場合の例を示す。なお、
図8(D)では、回路100が負荷104を
有する場合を一例として示しているが、
図8(D)において、負荷104の代わりに発光
素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。このように接続すること
により、配線26を減らすことが出来る。
【0127】
負荷104、発光素子104aまたは発光素子104bに、接続された容量素子105を
、回路100に追加することで、本実施の形態で説明した第3の動作及び第4の動作にお
いて、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方における電荷の変動を抑えるこ
とができるため、電圧Vαを小さくすることができる。よって、ゲートソース間電圧Vg
sを理想的な値、すなわち電圧Vsig+Vth-Vi1に近づけることができ、負荷1
04、発光素子104aまたは発光素子104bに供給する電流を、電圧Vsigを正確
に反映した値により近づけることができる。
【0128】
または、容量素子105の容量値を適宜調整することにより、期間T14における電荷量
Qによる電位の変化量を調整することができる。これにより、移動度のばらつきの低減を
、より適切に行うことが出来る。
【0129】
なお、容量素子105の電極の面積は、負荷104(発光素子104a)の電極の面積よ
りも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/3倍以下が好
適である。または、容量素子105の容量値は、負荷104(発光素子104a)の容量
値よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/3倍以下
が好適である。それらにより、同じレイアウト面積のなかで、最適な動作を行うことが出
来る。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0130】
なお、容量素子105の電極の面積と、負荷104(発光素子104a)の電極の面積の
合計は、容量素子103の電極の面積よりも大きいことが望ましく、望ましくは2倍以上
、より望ましくは5倍以上が好適である。または、容量素子105の容量値と、負荷10
4(発光素子104a)の容量値の合計は、容量素子103の容量値よりも大きいことが
望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である。それらにより、
容量素子103と、容量素子105及び負荷104(発光素子104a)とで、電圧が容
量分割されたときに、容量素子103により多くの電圧が加わるようにすることが出来る
。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0131】
なお、容量素子105の電極の面積は、容量素子102または容量素子103の電極の面
積よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/3倍以下
が好適である。または、容量素子105の容量値は、容量素子102または容量素子10
3の容量値よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/
3倍以下が好適である。それらにより、同じレイアウト面積のなかで、最適な動作を行う
ことが出来る。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0132】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図8(A)乃至
図8(D)に示した回路10
0に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さらに
有していても良い。
【0133】
図9(A)乃至
図9(D)に示す半導体装置は、
図8(A)乃至
図8(D)に示す回路1
00に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路201と、配線2
2に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路202と、配線23に一定電圧や信号を
供給する機能を有する回路203と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する
回路204とを、それぞれ有する。さらに、
図9(A)に示す回路100は、配線26に
一定電圧や信号を供給する機能を有する回路208を有する。回路208の例としては、
電源回路などがある。したがって、配線26は、所定の電位を、伝えることが出来る機能
、または、供給することが出来る機能を有している。または、配線26は、容量用配線と
しての機能を有している。なお、配線26の電位は、一定の電位であることが望ましいが
、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変動してもよい
。
【0134】
また、
図1(B)乃至
図1(D)、
図8(B)乃至
図8(D)のいずれかの回路100を
、表示装置の画素として用いても良い。そして、複数の色相にそれぞれ対応した画素が表
示装置に設けられている場合、対応する色相によって、画素が有するトランジスタ101
の、チャネル幅とチャネル長の比が、異なっていても良い。同様に、画素が有する容量素
子105の容量値も、対応する色相によって、異なっていても良い。
【0135】
図10(A)に、
図1(B)に示した回路100を、表示装置の画素として用いた場合を
一例として示している。
図10(A)では、回路100(R)が赤(R)に対応した画素
に相当し、回路100(G)が緑(G)に対応した画素に相当し、回路100(B)が青
(B)に対応した画素に相当する。本発明の一態様では、回路100(R)が有するトラ
ンジスタ101(R)と、回路100(G)が有するトランジスタ101(G)と、回路
100(B)が有するトランジスタ101(B)との少なくとも一つにおいて、そのチャ
ネル幅とチャネル長の比が他と異なっていても良い。上記構成により、回路100(R)
が有する負荷104(R)、回路100(G)が有する負荷104(G)、回路100(
B)が有する負荷104(B)のそれぞれに供給される電流を異なる値に設定することが
できる。一例としては、第2の色に対応するトランジスタ101のチャネル幅とチャネル
長の比は、第1の色に対応するトランジスタ101よりも、好ましくは1.2倍以上、よ
り好ましくは、1.5倍以上であることが好適である。そして、第3の色に対応するトラ
ンジスタ101のチャネル幅とチャネル長の比は、第1の色に対応するトランジスタ10
1よりも、好ましくは1.5倍以上、より好ましくは、2倍以上であることが好適である
。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0136】
また、
図10(B)に、
図8(A)に示した回路100を、表示装置の画素として用いた
場合を一例として示している。
図10(B)の場合も
図10(A)と同様に、回路100
(R)が有するトランジスタ101(R)と、回路100(G)が有するトランジスタ1
01(G)と、回路100(B)が有するトランジスタ101(B)との少なくとも一つ
が、そのチャネル幅とチャネル長の比が他と異なっていても良い。上記構成により、回路
100(R)が有する負荷104(R)、回路100(G)が有する負荷104(G)、
回路100(B)が有する負荷104(B)のそれぞれに供給される電流を異なる値に設
定することができる。
【0137】
また、
図10(B)の場合、回路100(R)が有する容量素子105(R)と、回路1
00(G)が有する容量素子105(G)と、回路100(B)が有する容量素子105
(B)との少なくとも一つにおいて、その容量値が他と異なっていても良い。一例として
は、第2の色に対応する容量素子105の容量値は、第1の色に対応する容量素子105
よりも、好ましくは1.2倍以上、より好ましくは、1.5倍以上であることが好適であ
る。そして、第3の色に対応する容量素子105の容量値は、第1の色に対応する容量素
子105よりも、好ましくは1.5倍以上、より好ましくは、2倍以上であることが好適
である。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0138】
なお、
図10(A)及び
図10(B)では、回路100(R)が負荷104(R)を有し
、回路100(G)が負荷104(G)を有し、回路100(B)が負荷104(B)を
有する場合を一例として示しているが、
図10(A)または
図10(B)において、負荷
104(R)、負荷104(G)、または負荷104(B)の代わりに、各色相に対応し
た発光素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。
【0139】
また、
図10(B)では、
図8(A)に示した回路100を、表示装置の画素として用い
た場合を一例として示しているが、
図8(B)乃至
図8(D)に示した回路100を、表
示装置の画素として用いても良い。
【0140】
次いで、
図11(A)に示す回路100は、本発明の一態様に係る半導体装置である。回
路100は、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ13、スイッチ14、トランジスタ
101、容量素子102、容量素子103を有する。なお、
図11(A)では、トランジ
スタ101がnチャネル型である場合を一例として示している。
図11(A)は、
図1(
A)にスイッチ14を追加した構成に相当する。したがって、
図1(A)などで述べた内
容は、
図11(A)などにも適用することが可能である。
【0141】
具体的に、
図11(A)では、スイッチ11は、配線21と、容量素子102の一方の電
極または容量素子103の一方の電極との間の導通状態を制御する機能を有する。スイッ
チ12は、配線22と、容量素子102の他方の電極、又は、トランジスタ101のゲー
トとの間の導通状態を制御する機能を有する。スイッチ13が、トランジスタ101のソ
ースまたはドレインの一方、又は、容量素子103の他方の電極と、容量素子102の一
方の電極、又は、容量素子103の一方の電極との間の導通状態を制御する機能を有する
。スイッチ14が、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方、又は、容量素子
103の他方の電極と、配線25との間の導通状態を制御する機能を有する。トランジス
タ101のソースまたはドレインの他方は、配線23に接続されている。トランジスタ1
01のソースまたはドレインの一方及び容量素子103の他方の電極は、配線24に接続
されている。
【0142】
なお、
図11(A)で示した回路100は、
図11(B)に示すように負荷104を有し
ていても良い。
図11(B)に示す回路100では、負荷104が、トランジスタ101
のソースまたはドレインの一方、又は、容量素子103の他方の電極と、配線24との間
に接続されている。
【0143】
図11(C)に、負荷104として、発光素子104aを用いた場合の、回路100の構
成を示す。
図11(C)では、発光素子104aのアノードが、トランジスタ101のソ
ースまたはドレインの一方及び容量素子103の他方の電極に接続されており、発光素子
104aのカソードが、配線24に接続されている場合を一例として示している。
【0144】
また、
図11(D)に、負荷104として、発光素子104bを用いた場合の、回路10
0の構成を示す。
図11(D)では、発光素子104bのカソードが、トランジスタ10
1のソースまたはドレインの一方、又は、容量素子103の他方の電極に接続されており
、発光素子104bのアノードが、配線24に接続されている場合を一例として示してい
る。なお、
図11(D)では、トランジスタ101がpチャネル型である場合を一例とし
て示している。
【0145】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図11(A)乃至
図11(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0146】
図12(A)乃至
図12(D)に示す半導体装置は、
図11(A)乃至
図11(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路220と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路221と、配線23に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路222と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路223と、配線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224と
を、それぞれ有する。
【0147】
具体的に、回路220は、配線21に、電位Vsigを供給する機能を有する。回路22
0の例としては、ソースドライバ(信号線駆動回路)などがある。したがって、配線21
は、電位Vsigを、伝えることが出来る機能、または、供給することが出来る機能を有
している。または、配線21は、映像信号線としての機能を有している。
【0148】
また、回路221は、配線22に、電位Vi2を供給する機能を有する。回路221の例
としては、電源回路などがある。したがって、配線22は、電位Vi2を、伝えることが
出来る機能、または、供給することが出来る機能を有している。または、配線22は、初
期化用配線としての機能を有している。なお、配線22の電位は、一定の電位であること
が望ましいが、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変
動してもよい。
【0149】
また、回路222は、配線23に、電源電位(高電源電位または低電源電位)、例えば、
電位VDD、または、電位VSSを供給する機能を有する。回路222の例としては、電
源回路などがある。したがって、配線23は、電源電位を伝えることが出来る機能、また
は、供給することが出来る機能を有している。または、配線23は、トランジスタ101
に電流を供給することが出来る機能を有している。または、配線23は、負荷104に電
流を供給することが出来る機能を有している。または、配線23は、電源線としての機能
を有している。または、配線23は、電流供給線としての機能を有している。なお、配線
23の電位は、一定の電位であることが望ましいが、本発明の実施形態の一態様は、これ
に限定されず、パルス信号のように変動してもよい。例えば、配線23の電位は、負荷1
04に、順バイアス電圧だけでなく、逆バイアス電圧を加えるような電位であってもよい
。
【0150】
また、回路223は、配線24に、電源電位(低電源電位または高電源電位)、例えば、
電位Vcatを供給する機能を有する。回路223の例としては、電源回路などがある。
したがって、配線24は、電源電位を伝えることが出来る機能、または、供給することが
出来る機能を有している。または、配線24は、負荷104に電流を供給することが出来
る機能を有している。または、配線24は、トランジスタ101に電流を供給することが
出来る機能を有している。または、配線24は、共通線としての機能を有している。また
は、配線24は、陰極配線としての機能を有している。または、配線24は、陽極配線と
しての機能を有している。なお、配線24の電位は、一定の電位であることが望ましいが
、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変動してもよい
。例えば、配線24の電位は、負荷104に、順バイアス電圧だけでなく、逆バイアス電
圧を加えるような電位であってもよい。
【0151】
また、回路224は、配線25に、電位Vi1を供給する機能を有する。回路224の例
としては、電源回路などがある。したがって、配線25は、電位Vi1を、伝えることが
出来る機能、または、供給することが出来る機能を有している。または、配線25は、初
期化用配線としての機能を有している。なお、配線25の電位は、一定の電位であること
が望ましいが、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変
動してもよい。
【0152】
なお、
図12(A)乃至
図12(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
20、回路221、回路222、回路223、及び回路224を有する場合を一例として
示しているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、必ずしも回路220、回路221、
回路222、回路223、及び回路224を全て有する必要はなく、そのいずれか一つま
たは複数だけを有していても良い。
【0153】
なお、
図11及び
図12に示した回路100は、一例として、スイッチ11、スイッチ1
2、スイッチ13、スイッチ14にトランジスタを用いることができる。
【0154】
図11(A)乃至
図11(D)に示した回路100において、スイッチ11としてトラン
ジスタ11t、スイッチ12としてトランジスタ12t、スイッチ13としてトランジス
タ13t、及びスイッチ14としてトランジスタ14tを用いた場合の回路100の構成
を、
図13(A)乃至
図13(D)に示す。なお、
図13(A)乃至
図13(D)では、
トランジスタ11t、トランジスタ12t、トランジスタ13t、及びトランジスタ14
tが全てnチャネル型である場合を一例として示している。トランジスタ11t、トラン
ジスタ12t、トランジスタ13t、及びトランジスタ14tを全て同じ極性のトランジ
スタとすることで、これらのトランジスタを少ない工程数で製造できる。ただし、本発明
の実施形態の一態様は、これに限定されず、異なる極性のトランジスタを用いることも可
能である。
【0155】
なお、
図13(A)乃至
図13(D)において、トランジスタ11tは、ゲートが配線3
1に接続されている。配線31に供給される電位に従って、トランジスタ11tは導通状
態または非導通状態となる。トランジスタ12tは、ゲートが配線32に接続されている
。配線32に供給される電位に従って、トランジスタ12tは導通状態または非導通状態
となる。トランジスタ13tは、ゲートが配線33に接続されている。配線33に供給さ
れる電位に従って、トランジスタ13tは導通状態または非導通状態となる。トランジス
タ14tは、ゲートが配線34に接続されている。配線34に供給される電位に従って、
トランジスタ14tは導通状態または非導通状態となる。したがって、配線31乃至配線
34の電位は、パルス状であり、一定ではないことが望ましいが、本発明の実施形態の一
態様は、これに限定されない。または、配線31乃至配線34は、ゲート信号線、選択信
号線、または、スキャン線としての機能を有している。
【0156】
なお、配線31乃至配線34において、その中の少なくとも2本の配線は、互いに接続さ
せることが可能である。または、配線31乃至配線34の少なくとも1本は、別の回路1
00の配線31乃至配線34の少なくとも1本と接続させることが可能である。
【0157】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図13(A)乃至
図13(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0158】
図14(A)乃至
図14(D)に示す半導体装置は、
図13(A)乃至
図13(D)に示
す回路100に加えて、配線31に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路230と
、配線32に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路231と、配線33に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路232と、配線34に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路233とを、それぞれ有する。回路230、回路231、回路232、回路
233の例としては、ゲートドライバ(走査線駆動回路)などがある。
【0159】
なお、
図14(A)乃至
図14(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
30、回路231、回路232、及び回路233を有する場合を一例として示しているが
、本発明の一態様に係る半導体装置は、必ずしも回路230、回路231、回路232、
及び回路233を全て有する必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していて
も良い。
【0160】
なお、回路220、回路221、回路222、回路223、回路224、回路230、回
路231、回路232、回路233は、一つの同じ回路であってもよいし、別々の回路で
あってもよい。
【0161】
また、
図13(C)に示す回路100において、トランジスタ101、及びトランジスタ
14tがnチャネル型、トランジスタ11t、トランジスタ12t、及びトランジスタ1
3tがpチャネル型である場合の回路100の構成を
図38(A)に示す。また、
図13
(D)に示す回路100において、トランジスタ101、及びトランジスタ14tがpチ
ャネル型、トランジスタ11t、トランジスタ12t、及びトランジスタ13tがnチャ
ネル型である場合の回路100の構成を
図38(B)に示す。
【0162】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図38(A)及び
図38(B)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0163】
図38(C)及び
図38(D)に示す半導体装置は、
図38(A)及び
図38(B)に示
す回路100に加えて、配線31に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路230と
、配線32に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路231と、配線33に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路232と、配線34に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路233とを、それぞれ有する。
【0164】
なお、
図38(C)及び
図38(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
30、回路231、回路232、及び回路233を有する場合を一例として示しているが
、本発明の一態様に係る半導体装置は、必ずしも回路230、回路231、回路232、
及び回路233を全て有する必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していて
も良い。
【0165】
なお、トランジスタ101は、電流を流すときには、飽和領域で動作する場合が多い。よ
って、
図13、
図14、及び
図38において、トランジスタ101のチャネル長またはゲ
ート長を、トランジスタ11t、トランジスタ12t、トランジスタ13t、及び/また
は、トランジスタ14tよりも長くすることが望ましい。好ましくは、5倍以上、より好
ましくは10倍以上であることが望ましい。一例としては、トランジスタ101のチャネ
ル長またはゲート長は、10μm以上、より好ましくは、20μm以上である。チャネル
長またはゲート長を長くすることにより、飽和領域での特性がフラットになり、キンク効
果を低減することができる。或いは、トランジスタ101のチャネル幅またはゲート幅を
、トランジスタ11t、トランジスタ12t、トランジスタ13t、及び/または、トラ
ンジスタ14tよりも長くすることにより、トランジスタ101は、飽和領域においても
、多くの電流を流すことができる。好ましくは、5倍以上、より好ましくは10倍以上で
あることが望ましい。トランジスタ101のチャネル幅またはゲート幅は、20μm以上
、より好ましくは、30μm以上である。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに
限定されない。
【0166】
なお、
図13(A)乃至
図13(D)と、
図38(A)及び
図38(B)に示す半導体装
置において、トランジスタ12t及びトランジスタ13tは、共にそのゲートが一の配線
に接続されていても良い。
図15(A)乃至
図15(D)に、
図13(A)乃至
図13(
D)に示す半導体装置において、トランジスタ12t及びトランジスタ13tのゲートが
、配線32に接続されている場合を一例として示する。配線32に供給される電位に従っ
て、トランジスタ12t及びトランジスタ13tは導通状態または非導通状態となる。
【0167】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図15(A)乃至
図15(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0168】
図16(A)乃至
図16(D)に示す半導体装置は、
図15(A)乃至
図15(D)に示
す回路100に加えて、配線31に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路230と
、配線32に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路231と、配線34に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路233とを、それぞれ有する。
【0169】
なお、
図16(A)乃至
図16(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
30、回路231、及び回路233を有する場合を一例として示しているが、本発明の一
態様に係る半導体装置は、必ずしも回路230、回路231、及び回路233を全て有す
る必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していても良い。
【0170】
また、
図16(C)に示す回路100において、トランジスタ101、トランジスタ11
t、及びトランジスタ14tがnチャネル型、トランジスタ12t、及びトランジスタ1
3tがpチャネル型である場合の回路100の構成を
図42(A)に示す。また、
図16
(D)に示す回路100において、トランジスタ101、トランジスタ11t、及びトラ
ンジスタ14tがpチャネル型、トランジスタ12t、及びトランジスタ13tがnチャ
ネル型である場合の回路100の構成を
図42(B)に示す。
【0171】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図42(A)及び
図42(B)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0172】
図42(C)及び
図42(D)に示す半導体装置は、
図42(A)及び
図42(B)に示
す回路100に加えて、配線31に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路230と
、配線32に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路231と、配線34に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路233とを、それぞれ有する。回路230、回路23
1、回路233の例としては、ゲートドライバ(走査線駆動回路)などがある。
【0173】
なお、
図42(C)及び
図42(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
30、回路231、及び回路233を有する場合を一例として示しているが、本発明の一
態様に係る半導体装置は、必ずしも回路230、回路231、及び回路233を全て有す
る必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していても良い。
【0174】
また、
図13(A)乃至
図13(D)に示す半導体装置において、隣接する回路100間
で、あるトランジスタのゲートと別のトランジスタのゲートが接続されていてもよい。例
えば、トランジスタ11tとトランジスタ14tのゲートが接続されていても良い。
図3
9に、i列j行目の回路100(i、j)が有するトランジスタ11tのゲートと、i列
j+1行目の回路100(i、j+1)が有するトランジスタ14tのゲートとが、j行
目の配線31(j)に接続されている場合を一例として示している。
【0175】
また、
図15(A)乃至
図15(D)に示す半導体装置において、隣接する回路100間
で、あるトランジスタのゲートと別のトランジスタのゲートが接続されていてもよい。例
えば、トランジスタ11tとトランジスタ14tのゲートが接続されていても良い。
図4
0に、i列j行目の回路100(i、j)が有するトランジスタ11tのゲートと、i列
j+1行目の回路100(i、j+1)が有するトランジスタ14tのゲートとが、j行
目の配線31(j)に接続されている場合を一例として示している。
【0176】
なお、
図39及び
図40では、j行目の回路100が有するトランジスタ11tのゲート
と、j+1行目の回路100が有するトランジスタ14tのゲートとが、j行目の配線3
1(j)に接続されている場合を一例として示している。しかし、本発明の一態様はこの
構成に限定されず、例えば、
図14(A)乃至
図14(D)、
図38(C)及び
図38(
D)に示す半導体装置において、回路230が、j行目の配線31(j)と、j+1行目
の配線34(j+1)とに、電位の供給を行うようにしても良い。
【0177】
図41に、回路230から、配線31及び配線34に電位の供給を行っている様子を示す
。具体的に、
図41では、回路230が有するj番目の出力端子out(j)から出力さ
れる電位が、j行目の配線31(j)と、j+1行目の配線34(j+1)とに与えられ
る。つまり、これは、例えば、走査線駆動回路と、画素領域との間で、異なる行の配線を
接続させることに相当する。
【0178】
次いで
図11(C)に示す回路100を例に挙げて、本発明の半導体装置の一態様の動作
について説明する。
【0179】
図11(C)に示す回路100の動作は、主に第1の動作、第2の動作、第3の動作、第
4の動作に分けることができる。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定され
ず、新たな動作の追加、或いは、一部の動作の削除も可能である。
【0180】
なお、
図11(C)では、
図1(C)の回路に対して、スイッチ14が追加されているた
め、
図6(A)に示す第3の動作(期間T13)を削除することが可能である。
【0181】
図11(C)に示す回路100における、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ13、
及びスイッチ14の動作と、配線21の電位と、トランジスタ101のゲートソース間電
圧(Vgs101)とを示すタイミングチャートの一例を、
図17(A)に図示する。
【0182】
まず、期間T11において行われる第1の動作について説明する。期間T11では、
図1
7(A)に示すように、スイッチ11が非導通状態、スイッチ12、スイッチ13、及び
スイッチ14が導通状態である。よって、期間T11では、
図17(B)に示すように、
容量素子102に電圧Vi2-Vi1が供給され、発光素子104aのアノードは電位V
i1となり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は、電圧Vi2
-Vi1となる。つまり、トランジスタ101、及び、容量素子102を、初期化してい
ることとなる。
【0183】
なお、スイッチ11は、配線21の電位が悪影響を及ぼさない場合には、導通状態であっ
てもよい。その場合、スイッチ14は、非導通状態でもよい。
【0184】
なお、スイッチ13は、非導通状態であってもよい。
【0185】
期間T12において行われる第2の動作について説明する。期間T12では、
図17(A
)に示すように、スイッチ11及びスイッチ14が非導通状態、スイッチ12及びスイッ
チ13が導通状態である。スイッチ11及びスイッチ14が非導通状態となることで、容
量素子102に蓄積されている電荷がトランジスタ101を介して放出され、トランジス
タ101のソースの電位が上昇する。そして、トランジスタ101がオフ状態となると、
容量素子102からの電荷の放出が止まる。最終的には、トランジスタ101の閾値電圧
Vthが容量素子102に保持される。よって、期間T12では、
図17(C)に示すよ
うに、容量素子102に閾値電圧Vthが保持され、発光素子104aのアノードは電位
Vi2-Vthとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は、
閾値電圧Vthとなる。つまり、トランジスタ101のしきい値電圧Vthを取得するこ
とができる。
【0186】
なお、Vgs101が、トランジスタ101のしきい値電圧Vthに等しくなるまでには
、非常に長い時間が必要となる場合がある。したがって、Vgs101は、しきい値電圧
Vthまで完全に低下させずに、動作させる場合も多い。つまり、Vgs101は、しき
い値電圧Vthよりも、わずかに大きい値となった状態で、期間T12が終了する場合も
多い。つまり、期間T12が終了した時点では、Vgs101は、しきい値電圧に応じた
大きさの電圧になっている、ということも出来る。
【0187】
なお、第2の動作において、トランジスタ101のしきい値電圧Vthが正か負かという
ことに関係なく、動作させることができる。これは、トランジスタ101がオフ状態とな
るまで、トランジスタ101のソース電位が上昇できるからである。つまり、トランジス
タ101のゲート電位よりも、トランジスタ101のソース電位の方が高くなった状態で
、ようやくトランジスタ101がオフし、Vgs101がVthとなる、ということが可
能であるからである。したがって、トランジスタ101がエンハンスメント型(ノーマリ
オフ型)であっても、デプリーション型(ノーマリオン型)であっても、正常に動作させ
ることができる。
【0188】
なお、発光素子104aのアノードの電位が高くなったときに、発光素子104aに電流
が流れないようにすることが望ましい。そのためには、発光素子104aに電流が流れな
いように、電位Vi2を低い値とすることが好適である。ただし、本発明の実施形態の一
態様は、これに限定されない。なお、発光素子104aと直列にスイッチを設けて、それ
をオフ状態にすることにより、発光素子104aに電流が流れないようにすることが可能
であれば、電位Vi2は、高い値でもよい。
【0189】
期間T13において行われる第3の動作について説明する。期間T13では、
図17(A
)に示すように、スイッチ11及びスイッチ14が導通状態、スイッチ12及びスイッチ
13が非導通状態である。また、配線21には電位Vsigが供給される。よって、期間
T13では、
図18(A)に示すように、容量素子102に閾値電圧Vth(またはVt
hに応じた大きさの電圧である)が保持され、容量素子103に電圧Vsig-Vi1が
保持され、発光素子104aのアノードは電位Vi1となり、トランジスタ101のゲー
トの電位は電位Vsig+Vthとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(V
gs101)は電圧Vsig+Vth-Vi1となる。したがって、電位Vsigを容量
素子103に入力することが出来る。または、容量素子102の電圧と容量素子103の
電圧との和が、トランジスタ101のゲートソース間電圧となるようにすることが出来る
。
【0190】
なお、このとき、スイッチ14を非導通状態とすることも可能である。
【0191】
期間T14において行われる第4の動作について説明する。期間T14では、
図17(A
)に示すように、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ13、及びスイッチ14が非導
通状態である。よって、期間T14では、
図18(B)に示すように、容量素子102に
閾値電圧Vthが保持され、容量素子103に電圧Vsig-Vi1が保持され、発光素
子104aのアノードは電位Velとなり、トランジスタ101のゲートの電位は電位V
sig+Vth+Velとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs10
1)は電圧Vsig+Vth-Vi1となる。したがって、電位Vsigに応じた大きさ
の電流を発光素子104aに流すことができ、電位Vsigに応じた輝度で発光素子10
4aを発光させることができる。
【0192】
上記第4の動作では、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)を、V
sig+Vth-Vi1とし、トランジスタ101の閾値電圧Vthを加味した値に設定
することができる。従って、上記構成により、トランジスタ101の閾値電圧Vthのば
らつきが、発光素子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。ま
たは、トランジスタ101が劣化して、閾値電圧Vthが変化しても、上記変化が発光素
子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。よって、表示ムラを
低減でき、質の良い表示を行うことができる。
【0193】
同様に、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)を、電圧Vsig+
Vth-Vi1とし、Velとは無関係な値に設定することができる。上記構成により、
発光素子104aの電圧電流特性のばらつきが、発光素子104aに供給する電流値に影
響を及ぼすのを防ぐことができる。または、発光素子104aが劣化して、発光素子10
4aの電圧電流特性が変化して、Velが変化しても、上記変化が発光素子104aに供
給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。よって、表示ムラを低減でき、質の
良い表示を行うことができる。
【0194】
なお、第4の動作の一部の期間において、強制的にトランジスタ101がオフ状態になる
ことや、発光素子104aに電流が流れないようにして、発光素子104aが発光しない
ような状況にすることも可能である。つまり、非発光期間を設けることも可能である。例
えば、スイッチ12をオンにすることにより、トランジスタ101をオフ状態にすること
が可能である。または、スイッチ14をオンにすることにより、発光素子104aに電流
が流れないようにすることが可能である。
【0195】
なお、本発明の一態様に係る半導体装置では、第2の動作において、トランジスタ101
のゲートを電位Vi2に保つ。上記動作により、トランジスタ101がノーマリオンであ
っても、すなわち閾値電圧Vthがマイナスの値を有していても、トランジスタ101に
おいて、ソースの電位がゲートの電位Vi2よりも高くなるまで容量素子102に蓄積さ
れている電荷を放出することができる。よって、本発明の一態様に係る半導体装置では、
トランジスタ101がノーマリオンであっても、上記第4の動作において、トランジスタ
101の閾値電圧Vthを加味した値になるよう、トランジスタ101のゲートソース間
電圧(Vgs101)を設定することができる。
【0196】
なお、容量素子103の容量値は、負荷104(発光素子104a)の寄生容量の容量値
よりも、小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/5倍以下
が好適である。または、容量素子103の電極の面積は、負荷104(発光素子104a
)の電極の面積よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは
1/5倍以下が好適である。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これらに限定されな
い。
【0197】
なお、容量素子102の容量値は、トランジスタ101のゲートの寄生容量の容量値より
も、大きいことが望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である
。または、容量素子102の電極の面積は、トランジスタ101のチャネルの面積よりも
大きいことが望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である。ま
たは、容量素子102の電極の面積は、トランジスタ101のゲート電極の面積よりも大
きいことが望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である。それ
らにより、電位Vsigが入力されて、容量素子102とトランジスタのゲート容量とで
、電圧が容量分割されたときに、容量素子102の電圧の減少を低減することが出来る。
ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0198】
なお、容量素子102の容量値は、容量素子103の容量値と、同じ程度の大きさである
か、それよりも、大きいことが望ましい。容量素子102の容量値は、容量素子103の
容量値と、±20%以下の違い、より好ましくは±10%以下の違いであることが好適で
ある。または、容量素子102の電極の面積は、容量素子103の電極の面積と、同じ程
度の大きさであるか、それよりも、大きいことが望ましい。これらにより、同じレイアウ
ト面積のなかで、最適な動作を行うことが出来る。ただし、本発明の実施形態の一態様は
、これに限定されない。
【0199】
なお、期間T11乃至期間T14における、回路100の概略図を、
図19(A)乃至図
19(D)に、それぞれ示す。本発明の一態様に係る半導体装置は、回路100が、上記
各期間において
図19(A)乃至
図19(D)に示す構造を取ることができれば良い。よ
って、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図11乃至
図16に示した構成を有する回路
100に限定されるものではない。本発明の一態様に係る半導体装置は、回路100にお
いて、
図19(A)乃至
図19(D)に示す構造を取りうるように、スイッチの配置や数
、各種電位の供給を行う配線の数などを、適宜変更することが可能である。
【0200】
なお、上記第3の動作が行われる期間T13の後、上記第4の動作が行われる期間T14
の前に、第6の動作が行われる期間T16を設けても良い。
【0201】
図11(C)に示す回路100において、期間T16を設けた場合の、スイッチ11、ス
イッチ12、スイッチ13、及びスイッチ14の動作と、配線21の電位と、トランジス
タ101のゲートソース間電圧(Vgs101)とを示すタイミングチャートの一例を、
図20(A)に図示する。
【0202】
図20(A)に示すタイミングチャートは、期間T13と期間T14の間に、期間T16
が設けられている点において、
図17(A)に示したタイミングチャートと異なる。
【0203】
期間T16において行われる第6の動作について説明する。期間T16では、
図20(A
)に示すように、スイッチ12が導通状態、スイッチ11、スイッチ13、及びスイッチ
14が非導通状態である。よって、期間T16では、
図20(B)に示すように、トラン
ジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は、電圧Vsig+Vth-Vi1
-Vαとなる。
【0204】
第6の動作で、電位Vαは、発光素子104aのアノードが電気的に浮遊状態(フローテ
ィング状態)となることで変動する電位である。電位Vαは、トランジスタ101がオフ
であるならば、発光素子104aの容量値と、容量素子102及び容量素子103の容量
値の比に応じて、その値が定まる。しかし、電位Vsigの高さによっては、トランジス
タ101がオンするので、トランジスタ101を介して発光素子104aのアノードに電
荷が流入してしまう。よって、電位Vαは、上記静電容量の比によってのみ決まらず、発
光素子104aのアノードに流入する電荷によっても、その値が変化する。
【0205】
上記電荷量Qによって移動度のばらつきを抑える効果が期待できる。以下、この理由につ
いて説明する。
【0206】
電荷量Qは、期間T16において、トランジスタ101のドレインからソースに流れ込む
電荷量に相当する。よって、電荷量Qは、トランジスタ101の移動度が大きいほど、大
きくなる。そして、電荷量Qが大きくなると、発光素子104aの発光時における、トラ
ンジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)が、小さくなる。すなわち、電荷
量Qにより、トランジスタ101の移動度が大きいほど、発光素子104aに供給される
電流値が小さくなるように補正がかかり、また、トランジスタ101の移動度が小さいほ
ど、発光素子104aに供給される電流値があまり小さくならないように補正がかかる。
したがって、電荷量Qにより、移動度のばらつきを抑えることができる。
【0207】
期間T16の後、期間T14では、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs1
01)は電圧Vsig+Vth-Vi1-Vαとなる。よって、トランジスタ101の閾
値電圧Vthと移動度を加味した値に、ゲートソース間電圧を設定することができる。
【0208】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図8と同様に、
図11(B)に示した回路1
00において、負荷104と接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同
様に、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図11(C)に示した回路100において、
発光素子104aと接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、本
発明の一態様に係る半導体装置は、
図11(D)に示した回路100において、発光素子
104bと接続された容量素子105を、さらに有していても良い。
【0209】
図21(A)に示す半導体装置は、
図11(B)に示した回路100において、負荷10
4と接続された容量素子105を、さらに有している。具体的には、容量素子105の一
方の電極が、容量素子103の他方の電極、及びトランジスタ101のソースまたはドレ
インの一方に、接続されている。容量素子105の他方の電極は、配線26に接続されて
いる。なお、
図21(A)では、回路100が負荷104を有する場合を一例として示し
ているが、
図21(A)において、負荷104の代わりに発光素子104aまたは発光素
子104bが用いられていても良い。
【0210】
なお、配線26は、様々な配線と接続させることが可能である。例えば、配線22、配線
23、配線24、配線25、または、別の回路100の配線、走査線、ゲート線、トラン
ジスタのゲートと接続された配線などに接続させることが出来る。これにより、配線の数
を減らすことが出来る。
【0211】
図21(B)に示す半導体装置は、
図21(A)に示した回路100において、配線26
を配線24に接続させた場合の例を示す。なお、
図21(B)では、回路100が負荷1
04を有する場合を一例として示しているが、
図21(B)において、負荷104の代わ
りに発光素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。このように接続
することにより、配線26を減らすことが出来る。
【0212】
図21(C)に示す半導体装置は、
図21(A)に示した回路100において、配線26
を配線23に接続させた場合の例を示す。なお、
図21(C)では、回路100が負荷1
04を有する場合を一例として示しているが、
図21(C)において、負荷104の代わ
りに発光素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。このように接続
することにより、配線26を減らすことが出来る。
【0213】
図21(D)に示す半導体装置は、
図21(A)に示した回路100において、配線26
を配線22に接続させた場合の例を示す。なお、
図21(D)では、回路100が負荷1
04を有する場合を一例として示しているが、
図21(D)において、負荷104の代わ
りに発光素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。このように接続
することにより、配線26を減らすことが出来る。
【0214】
図21(E)に示す半導体装置は、
図21(A)に示した回路100において、配線26
を配線25に接続させた場合の例を示す。なお、
図21(E)では、回路100が負荷1
04を有する場合を一例として示しているが、
図21(E)において、負荷104の代わ
りに発光素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。このように接続
することにより、配線26を減らすことが出来る。
【0215】
負荷104、発光素子104aまたは発光素子104bに、並列に接続された容量素子1
05を、回路100に追加することで、上記実施の形態で説明した第6の動作及び第4の
動作において、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方における電荷の変動を
抑えることができるため、電圧Vαを小さくすることができる。よって、ゲートソース間
電圧Vgsを理想的な値、すなわち電圧Vsig+Vth-Vi1に近づけることができ
、負荷104、発光素子104aまたは発光素子104bに供給する電流を、電圧Vsi
gを正確に反映した値により近づけることができる。
【0216】
または、容量素子105の容量値を適宜調整することにより、期間T16における電荷量
Qによる電位の変化量を調整することができる。これにより、移動度のばらつきの低減を
、より適切に行うことが出来る。
【0217】
なお、容量素子105の電極の面積は、負荷104(発光素子104a)の電極の面積よ
りも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/3倍以下が好
適である。または、容量素子105の容量値は、負荷104(発光素子104a)の容量
値よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/3倍以下
が好適である。それらにより、同じレイアウト面積のなかで、最適な動作を行うことが出
来る。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0218】
なお、容量素子105の電極の面積と、負荷104(発光素子104a)の電極の面積の
合計は、容量素子103の電極の面積よりも大きいことが望ましく、望ましくは2倍以上
、より望ましくは5倍以上が好適である。または、容量素子105の容量値と、負荷10
4(発光素子104a)の容量値の合計は、容量素子103の容量値よりも大きいことが
望ましく、望ましくは2倍以上、より望ましくは5倍以上が好適である。それらにより、
容量素子103と、容量素子105及び負荷104(発光素子104a)とで、電圧が容
量分割されたときに、容量素子103により多くの電圧が加わるようにすることが出来る
。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0219】
なお、容量素子105の電極の面積は、容量素子102または容量素子103の電極の面
積よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/3倍以下
が好適である。または、容量素子105の容量値は、容量素子102または容量素子10
3の容量値よりも小さいことが望ましく、望ましくは1/2倍以下、より望ましくは1/
3倍以下が好適である。それらにより、同じレイアウト面積のなかで、最適な動作を行う
ことが出来る。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0220】
なお、配線25は、様々な配線と接続させることが可能である。例えば、配線22、配線
24、配線26、または、別の回路100の配線、走査線、ゲート線、トランジスタのゲ
ートと接続された配線などに接続させることが出来る。これにより、配線の数を減らすこ
とが出来る。
【0221】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図21(A)乃至
図21(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0222】
図22(A)乃至
図22(D)に示す半導体装置は、
図21(A)乃至
図21(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路220と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路221と、配線23に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路222と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路223と、配線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224と
を、それぞれ有する。さらに、
図22(A)に示す回路100は、配線26に一定電圧や
信号を供給する機能を有する回路225を有する。
【0223】
また、
図11(B)乃至
図11(D)、
図21(B)乃至
図21(D)のいずれかの回路
100を、表示装置の画素として用いても良い。そして、複数の色相にそれぞれ対応した
画素が表示装置に設けられている場合、対応する色相によって、画素が有するトランジス
タ101の、チャネル幅とチャネル長の比が、異なっていても良い。同様に、画素が有す
る容量素子105の容量値も、対応する色相によって、異なっていても良い。
【0224】
図23(A)に、
図11(B)に示した回路100を、表示装置の画素として用いた場合
を一例として示している。
図23(A)では、回路100(R)が赤(R)に対応した画
素に相当し、回路100(G)が緑(G)に対応した画素に相当し、回路100(B)が
青(B)に対応した画素に相当する。本発明の一態様では、回路100(R)が有するト
ランジスタ101(R)と、回路100(G)が有するトランジスタ101(G)と、回
路100(B)が有するトランジスタ101(B)との少なくとも一つにおいて、そのチ
ャネル幅とチャネル長の比が他と異なっていても良い。上記構成により、回路100(R
)が有する負荷104(R)、回路100(G)が有する負荷104(G)、回路100
(B)が有する負荷104(B)のそれぞれに供給される電流を異なる値に設定すること
ができる。
【0225】
また、
図23(B)に、
図21(A)に示した回路100を、表示装置の画素として用い
た場合を一例として示している。
図23(B)の場合も
図23(A)と同様に、回路10
0(R)が有するトランジスタ101(R)と、回路100(G)が有するトランジスタ
101(G)と、回路100(B)が有するトランジスタ101(B)との少なくとも一
つが、そのチャネル幅とチャネル長の比が他と異なっていても良い。上記構成により、回
路100(R)が有する負荷104(R)、回路100(G)が有する負荷104(G)
、回路100(B)が有する負荷104(B)のそれぞれに供給される電流を異なる値に
設定することができる。
【0226】
また、
図23(B)の場合、回路100(R)が有する容量素子105(R)と、回路1
00(G)が有する容量素子105(G)と、回路100(B)が有する容量素子105
(B)との少なくとも一つにおいて、その容量値が他と異なっていても良い。
【0227】
なお、
図23(A)及び
図23(B)では、回路100(R)が負荷104(R)を有し
、回路100(G)が負荷104(G)を有し、回路100(B)が負荷104(B)を
有する場合を一例として示しているが、
図23(A)または
図23(B)において、負荷
104(R)、負荷104(G)、または負荷104(B)の代わりに、各色相に対応し
た発光素子104aまたは発光素子104bが用いられていても良い。
【0228】
また、
図23(B)では、
図21(A)に示した回路100を、表示装置の画素として用
いた場合を一例として示しているが、
図21(B)乃至
図21(E)に示した回路100
を、表示装置の画素として用いても良い。
【0229】
なお、本実施の形態において、トランジスタ101のしきい値電圧などのばらつきを補正
するような動作を行ったが、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。例えば
、しきい値電圧のばらつきを補正するような動作を行わずに、負荷104に電流を供給さ
せて動作させることも可能である。
【0230】
本実施の形態は、基本原理の一例について述べたものである。したがって、本実施の形態
の一部または全部について、他の実施の形態の一部また全部と、自由に組み合わせたり、
適用することや、置き換えて実施することができる。
【0231】
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置である、回路100の構成例につい
て説明する。本実施の形態では、実施の形態1で示した回路に対して、スイッチを追加し
た構成や、駆動方法の一部を変更した場合などについて述べる。したがって、実施の形態
1で述べた内容は、本実施の形態にも適用することが可能である。
【0232】
図24(A)乃至
図24(D)に、回路100の構成例をそれぞれ示す。
図24(A)乃
至
図24(D)に示す回路100は、
図1(A)乃至
図1(D)に示した回路100にス
イッチ914を追加した構成に、それぞれ相当する。そして、上記スイッチ914は、ト
ランジスタ101のソースまたはドレインの他方と、配線23との間の導通状態を制御す
る機能を有する。または、配線23から配線24までの間の導通状態を制御する機能を有
する。または、スイッチ914は、容量素子103に電流が流れることを防ぐ機能を有す
る。または、スイッチ914は、容量素子102に電流が流れることを防ぐ機能を有する
。または、スイッチ914は、負荷104に電流が流れることを防ぐ機能を有する。
【0233】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図24(A)乃至
図24(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0234】
図25(A)乃至
図25(D)に示す半導体装置は、
図24(A)乃至
図24(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路201と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路202と、配線23に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路203と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路204とを、それぞれ有する。
【0235】
なお、
図24及び
図25に示す回路100は、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ1
3、スイッチ914に、トランジスタを用いることができる。
【0236】
なお、一例として
図86に示すように、スイッチ914がトランジスタ914tである場
合、そのトランジスタ914tのゲートは、配線932と接続されており、その配線93
2は、一定電圧や信号を供給する機能を有する回路9206と接続されていることが可能
である。その回路9206の例としては、ゲートドライバ(走査線駆動回路)などがある
。
【0237】
なお、配線31乃至配線33、配線932において、その中の少なくとも2本の配線は、
互いに接続させることが可能である。または、配線31乃至配線33、配線932の少な
くとも1本は、別の回路100の配線31乃至配線33、配線932の少なくとも1本と
接続させることが可能である。
【0238】
図24及び
図25に示す回路100は、
図1及び
図2に示す回路100と同様の動作を行
うことができる。ただし、一例としては、
図24及び
図25に示す回路100では、
図5
、
図6に示す期間T11乃至期間T13、及び期間T15において、スイッチ914は導
通状態であり、期間T14においてスイッチ914は非導通状態であることが好適である
。これらにより、期間T14において、トランジスタ101を介して、発光素子104a
などに、電荷が漏れることを防ぐことが出来る。ただし、本発明の実施形態の一態様は、
これに限定されない。
【0239】
または、期間T13において、スイッチ914を非導通状態とすることも可能である。こ
れにより、トランジスタ101に電流が流れないので、トランジスタ101のゲートやソ
ースなどの、回路100内の各ノードにおける電位の制御がしやすくなる。
【0240】
または、期間T11において、スイッチ914を非導通状態とすることも可能である。こ
れにより、トランジスタ101に電流が流れないので、トランジスタ101のゲートやソ
ースなどの、回路100内の各ノードにおける電位の制御がしやすくなる。
【0241】
または、期間T15の一部の期間においても、スイッチ914を非導通状態とする。これ
により、発光素子104aなどに電流が流れないようにして、非発光期間を設けることが
出来る。
【0242】
なお、
図24(B)及び
図25(B)に示す回路100は、
図8、
図9、
図10(B)と
同様に、負荷104と接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、
図24(C)及び
図25(C)に示す回路100は、発光素子104aと接続された容量
素子105を、さらに有していても良い。同様に、
図24(D)及び
図25(D)に示す
回路100は、発光素子104bと接続された容量素子105を、さらに有していても良
い。具体的に、容量素子105の一方の電極は、容量素子103の他方の電極、及びトラ
ンジスタ101のソースまたはドレインの一方に、接続される。容量素子105の他方の
電極は、別途設けられた配線26、配線24、配線23、或いは配線22に接続される。
【0243】
また、
図24(B)乃至
図24(D)に示す回路100、及び、
図25(B)乃至
図25
(D)に示す回路100に上記容量素子105を追加した回路の、いずれかを、表示装置
の画素として用いても良い。そして、複数の色相にそれぞれ対応した画素が表示装置に設
けられている場合、対応する色相によって、画素が有するトランジスタ101の、チャネ
ル幅とチャネル長の比が、異なっていても良い。
【0244】
なお、
図24及び
図25とは別の場所に、スイッチ914を設けることも可能である。具
体的には、一例としては、配線23から配線24までの間の導通状態を制御することが可
能である場所に設けることが出来る。例えば、
図26(A)乃至
図26(D)に、回路1
00の構成例をそれぞれ示す。
図26(A)乃至
図26(D)に示す回路100は、
図1
(A)乃至
図1(D)に示した回路100にスイッチ914を追加した構成に、それぞれ
相当する。そして、上記スイッチ914は、トランジスタ101のソースまたはドレイン
の一方と、容量素子103の他方の電極との間の導通状態を制御する機能を有する。さら
に、スイッチ13が導通状態であるならば、上記スイッチ914は、トランジスタ101
のソースまたはドレインの一方と、容量素子102の一方の電極及び容量素子103の一
方の電極との間の導通状態を制御する機能を有する。
【0245】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図26(A)乃至
図26(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さら
に有していても良い。
【0246】
図27(A)乃至
図27(D)に示す半導体装置は、
図26(A)乃至
図26(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路201と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路202と、配線23に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路203と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路204とを、それぞれ有する。
【0247】
なお、
図26及び
図27に示す回路100は、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ1
3、スイッチ914に、トランジスタを用いることができる。
【0248】
【0249】
なお、
図26(B)及び
図27(B)に示す回路100は、
図8、
図9、
図10(B)と
同様に、負荷104と接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、
図26(C)及び
図27(C)に示す回路100は、発光素子104aと接続された容量
素子105を、さらに有していても良い。同様に、
図26(D)及び
図27(D)に示す
回路100は、発光素子104bと接続された容量素子105を、さらに有していても良
い。具体的に、容量素子105の一方の電極は、容量素子103の他方の電極に接続され
る。なおかつ、スイッチ914は、容量素子105の一方の電極と、トランジスタ101
のソースまたはドレインの一方との間の導通状態を制御する。容量素子105の他方の電
極は、別途設けられた配線26、配線24、配線23、或いは配線22に接続される。
【0250】
また、
図26(B)乃至
図26(D)に示す回路100、及び、
図27(B)乃至
図27
(D)に示す回路100に上記容量素子105を追加した回路の、いずれかを、表示装置
の画素として用いても良い。そして、複数の色相にそれぞれ対応した画素が表示装置に設
けられている場合、対応する色相によって、画素が有するトランジスタ101の、チャネ
ル幅とチャネル長の比が、異なっていても良い。
【0251】
なお、
図24、
図25、
図26、
図27とは別の場所に、スイッチ914を設けることも
可能である。例えば、
図28(A)乃至
図28(D)に、回路100の構成例をそれぞれ
示す。
図28(A)乃至
図28(D)に示す回路100は、
図1(A)乃至
図1(D)に
示した回路100にスイッチ914を追加した構成に、それぞれ相当する。そして、上記
スイッチ914は、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方と、容量素子10
3の他方の電極との間の導通状態を制御する機能を有する。さらに、スイッチ13が導通
状態であるならば、上記スイッチ914は、容量素子102の一方の電極及び容量素子1
03の一方の電極と、容量素子103の他方の電極との間の導通状態を制御する機能を有
する。
【0252】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図28(A)乃至
図28(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0253】
図29(A)乃至
図29(D)に示す半導体装置は、
図28(A)乃至
図28(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路201と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路202と、配線23に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路203と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路204とを、それぞれ有する。
【0254】
なお、
図28及び
図29に示す回路100は、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ1
3、スイッチ914に、トランジスタを用いることができる。
【0255】
図28及び
図29に示す回路100は、
図1、
図2、
図24、
図25、
図26、
図27に
示す回路100と同様の動作を行うことができる。ただし、一例としては、
図28及び図
29に示す回路100では、
図5、
図6に示す期間T11乃至期間T13、及び期間T1
5において、スイッチ914は導通状態であり、期間T14においてスイッチ914は非
導通状態であることが好適である。これらにより、期間T14において、トランジスタ1
01を介して、発光素子104aなどに、電荷が漏れることを防ぐことが出来る。ただし
、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0256】
または、期間T11において、スイッチ914を非導通状態とすることも可能である。こ
れにより、トランジスタ101に電流が流れないので、電位の制御がしやすくなる。
【0257】
または、期間T15の一部の期間においても、スイッチ914を非導通状態とする。これ
により、発光素子104aなどに電流が流れないようにして、非発光期間を設けることが
出来る。
【0258】
なお、期間T12において、スイッチ914を非導通状態とすることも可能である。期間
T12において、スイッチ914を非導通状態とすることで、期間T12において発光素
子104aのアノードを電位Vi1に保つことができる。よって、期間T13を設けずに
、すなわち第3の動作を行わずに、期間T12における第2の動作が終了した後、期間T
14における第4の動作を行うことができる。
【0259】
なお、
図28(B)及び
図29(B)に示す回路100は、
図8、
図9、
図10(B)な
どと同様に、負荷104と接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様
に、
図28(C)及び
図29(C)に示す回路100は、発光素子104aと接続された
容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、
図28(D)及び
図29(D)に
示す回路100は、発光素子104bと接続された容量素子105を、さらに有していて
も良い。具体的に、容量素子105の一方の電極は、容量素子103の他方の電極に接続
される。なおかつ、スイッチ914は、容量素子105の一方の電極と、トランジスタ1
01のソースまたはドレインの一方との間の導通状態を制御する。容量素子105の他方
の電極は、別途設けられた配線26、配線24、配線23、或いは配線22に接続される
。
【0260】
また、
図28(B)乃至
図28(D)に示す回路100、及び、
図29(B)乃至
図29
(D)に示す回路100に上記容量素子105を追加した回路の、いずれかを、表示装置
の画素として用いても良い。そして、複数の色相にそれぞれ対応した画素が表示装置に設
けられている場合、対応する色相によって、画素が有するトランジスタ101の、チャネ
ル幅とチャネル長の比が、異なっていても良い。
【0261】
なお、
図24乃至
図29とは別の場所に、スイッチ914を設けることも可能である。例
えば、
図30(A)乃至
図30(D)に、回路100の構成例をそれぞれ示す。
図30(
A)乃至
図30(D)に示す回路100は、
図1(A)乃至
図1(D)に示した回路10
0にスイッチ914を追加した構成に、それぞれ相当する。そして、
図30(A)におい
て上記スイッチ914は、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方及び容量素
子103の他方の電極と、配線24との間の導通状態を制御する機能を有する。
図30(
B)において上記スイッチ914は、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方
及び容量素子103の他方の電極と、負荷104との間の導通状態を制御する機能を有す
る。
図30(C)において上記スイッチ914は、トランジスタ101のソースまたはド
レインの一方及び容量素子103の他方の電極と、発光素子104aのアノードとの間の
導通状態を制御する機能を有する。
図30(D)において上記スイッチ914は、トラン
ジスタ101のソースまたはドレインの一方及び容量素子103の他方の電極と、発光素
子104bのカソードとの間の導通状態を制御する機能を有する。
【0262】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図30(A)乃至
図30(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0263】
図31(A)乃至
図31(D)に示す半導体装置は、
図30(A)乃至
図30(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路201と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路202と、配線23に一定電圧
や信号を供給する機能を有する回路203と、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路204とを、それぞれ有する。
【0264】
なお、
図30及び
図31に示す回路100は、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ1
3、スイッチ914に、トランジスタを用いることができる。
【0265】
図30及び
図31に示す回路100は、
図1、
図2、
図24、
図25、
図26、
図27、
図28、
図29に示す回路100と同様の動作を行うことができる。ただし、一例として
は、
図30及び
図31に示す回路100では、
図5、
図6に示す期間T11、及び期間T
13乃至期間T15において、スイッチ914は導通状態であり、期間T12においてス
イッチ914は非導通状態であることが好適である。ただし、本発明の実施形態の一態様
は、これに限定されない。これにより、期間T12において、スイッチ914を非導通状
態とすることで、期間T12において発光素子104aのアノードを電位Vi1に保つこ
とができる。よって、期間T13を設けずに、すなわち第3の動作を行わずに、期間T1
2における第2の動作が終了した後、期間T14における第4の動作を行うことができる
。ただし、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されない。
【0266】
または、期間T11において、スイッチ914を非導通状態とすることも可能である。こ
れにより、発光素子104aなどに電流が流れないため、配線22の電位Vi2は、高い
値でもよい。
【0267】
または、期間T12において、スイッチ914を非導通状態とすることも可能である。こ
れにより、発光素子104aなどに電流が流れないため、配線22の電位Vi2は、高い
値でもよい。
【0268】
または、期間T15の一部の期間においても、スイッチ914を非導通状態とする。これ
により、発光素子104aなどに電流が流れないようにして、非発光期間を設けることが
出来る。
【0269】
なお、
図30(B)及び
図31(B)に示す回路100は、
図8、
図9、
図10(B)、
図21、
図22などと同様に、負荷104と接続された容量素子105を、さらに有して
いても良い。同様に、
図30(C)及び
図31(C)に示す回路100は、発光素子10
4aと接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、
図30(D)及
び
図31(D)に示す回路100は、発光素子104bと接続された容量素子105を、
さらに有していても良い。具体的に、容量素子105の一方の電極は、容量素子103の
他方の電極、及びトランジスタ101のソースまたはドレインの一方に、接続される。容
量素子105の他方の電極は、別途設けられた配線26、配線24、配線23、或いは配
線22に接続される。
【0270】
また、
図30(B)乃至
図30(D)に示す回路100、及び、
図31(B)乃至
図31
(D)に示す回路100に上記容量素子105を追加した回路の、いずれかを、表示装置
の画素として用いても良い。そして、複数の色相にそれぞれ対応した画素が表示装置に設
けられている場合、対応する色相によって、画素が有するトランジスタ101の、チャネ
ル幅とチャネル長の比が、異なっていても良い。
【0271】
なお、
図24乃至
図31において、
図1などに示す回路において、スイッチ914を追加
した構成について述べたが、スイッチ914を追加するような回路は、
図1などに限定さ
れない。
図1以外の他の図面に示す回路においても、
図24乃至
図31と同様に、スイッ
チ914を追加する構成を用いることが出来る。例えば、
図11の回路のように、スイッ
チ14が追加された構成において、
図24乃至
図31と同様に、スイッチ914を追加す
る回路を構成することが出来る。その場合の一例を、
図87に示す。
【0272】
次に、
図1および
図11などの回路において、
図5および
図17などに示す駆動方法とは
異なる駆動方法を用いる場合の一例を示す。なお、このような駆動方法を用いる場合には
、配線23を列方向の画素間で接続するよりも、行方向の画素間で接続することが望まし
いため、
図34(A)乃至
図34(D)に、
図1(A)乃至
図1(D)に示した回路10
0の配置例をそれぞれ示す。
図34(A)乃至
図34(D)では、互いに異なる配線21
に接続された複数の回路100が、共通の配線23に接続されている場合を一例として示
している。つまり、配線23は、配線21と交差して設けられている。
【0273】
図34(C)に示す回路100を例に挙げて、本発明の半導体装置の一態様の動作の一例
について説明する。この動作では、
図5(B)や
図17(B)における第1の動作におい
て、容量素子102に電圧Vi2-Vi1が供給され、トランジスタ101のゲートソー
ス間電圧(Vgs101)が電圧Vi2-Vi1になるときに、配線21やスイッチ14
を介して電位Vi1が供給されるのではなく、配線23を介して供給される。したがって
、
図5や
図17などで述べた内容を、本発明の半導体装置の一態様に適用することが可能
である。
【0274】
図34(C)に示す回路100の動作は、主に第1の動作、第2の動作、第3の動作、第
4の動作、第5の動作に分けることができる。ただし、これに限定されず、新たな動作の
追加、或いは、一部の動作の削除も可能である。
【0275】
まず、期間T11において行われる第1の動作について説明する。期間T11では、
図3
5(A)に示すように、スイッチ11が非導通状態、スイッチ12及びスイッチ13が導
通状態である。また、配線23には電位Vi1が供給される。よって、期間T11では、
発光素子104aのアノードは電位Vi1となり、トランジスタ101のゲートソース間
電圧(Vgs101)は、電圧Vi2-Vi1となる。つまり、トランジスタ101、及
び、容量素子102を、初期化していることとなる。
【0276】
期間T12において行われる第2の動作について説明する。期間T12では、
図35(B
)に示すように、スイッチ11が非導通状態、スイッチ12及びスイッチ13が導通状態
である。また、配線23には電位VDDが供給される。配線23に電位VDDが供給され
ることで、容量素子102に蓄積されている電荷がトランジスタ101を介して放出され
、トランジスタ101のソースの電位が上昇する。そして、トランジスタ101がオフ状
態となると、容量素子102からの電荷の放出が止まる。最終的には、トランジスタ10
1の閾値電圧Vthが容量素子102に保持される。よって、期間T12では、容量素子
102に閾値電圧Vthが保持され、発光素子104aのアノードは電位Vi2-Vth
となり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は、閾値電圧Vth
となる。つまり、トランジスタ101のしきい値電圧Vthを取得することができる。
【0277】
このように、配線21を用いずに、第1および第2の動作を行うことが出来るため、第1
および第2の動作の期間を長く確保することが出来る。したがって、より正確に、トラン
ジスタ101のしきい値電圧を取得することができるため、表示ムラの少ない、綺麗な表
示を行うことが出来る。
【0278】
期間T13において行われる第3の動作について説明する。期間T13では、
図35(C
)に示すように、スイッチ11及びスイッチ13が導通状態、スイッチ12が非導通状態
である。配線23には、任意の電位が供給されていればよく、例えば、電位VDDまたは
電位Vi1が供給される。また、配線21には電位Vi3が供給される。電位Vi3は、
電位Vcatと同じ高さでも良いし、電位Vi2と同じ高さでも良いし、電位Vi1と同
じ高さでも良い。よって、期間T13では、容量素子102に閾値電圧Vthが保持され
、発光素子104aのアノードは電位Vi3となり、トランジスタ101のゲートの電位
は電位Vi3+Vthとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101
)は、閾値電圧Vthとなる。
【0279】
期間T14において行われる第4の動作について説明する。期間T14では、
図35(D
)に示すように、スイッチ11が導通状態、スイッチ12及びスイッチ13が非導通状態
となる。また、配線21には電位Vsigが供給される。よって、期間T14では、容量
素子102に閾値電圧Vthが保持され、容量素子103に電圧Vsig-Vi3-Vα
が保持され、発光素子104aのアノードは電位Vi3+Vαとなり、トランジスタ10
1のゲートの電位は電位Vsig+Vthとなり、トランジスタ101のゲートソース間
電圧(Vgs101)は電圧Vsig+Vth-Vi3-Vαとなる。
【0280】
期間T15において行われる第5の動作について説明する。期間T15では、
図36に示
すように、スイッチ11、スイッチ12及びスイッチ13が非導通状態である。よって、
期間T15では、容量素子102に閾値電圧Vthが保持され、容量素子103に電圧V
sig-Vi3-Vαが保持され、発光素子104aのアノードは電位Velとなり、ト
ランジスタ101のゲートの電位は電位Vsig+Vth-Vi3-Vα+Velとなり
、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は電圧Vsig+Vth-
Vi3-Vαとなる。したがって、電位Vsigに応じた大きさの電流を発光素子104
aに流すことができ、電位Vsigに応じた輝度で発光素子104aを発光させることが
できる。
【0281】
なお、電位Velは、トランジスタ101を介して、発光素子104aに電流を流す際に
生じる電位である。具体的には、電位VDDと電位Vcatの間の電位になる。
【0282】
上記第5の動作では、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)を、電
圧Vsig+Vth-Vi3-Vαとし、トランジスタ101の閾値電圧Vthを加味し
た値に設定することができる。従って、上記構成により、トランジスタ101の閾値電圧
Vthのばらつきが、発光素子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことが
できる。または、トランジスタ101が劣化して、閾値電圧Vthが変化しても、上記変
化が発光素子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。よって、
表示ムラを低減でき、質の良い表示を行うことができる。
【0283】
なお、期間T15の一部の期間においても、配線23の電位を制御することにより、発光
素子104aなどに電流が流れないようにして、非発光期間を設けることが出来る。例え
ば、配線23の電位が配線24の電位と等しい場合には、電流が流れないようにすること
が出来る。
【0284】
なお、
図34、
図35には、スイッチ14が設けられていないが、これに限定されず、図
11乃至
図23と同様に、スイッチ14を設けることが可能である。
【0285】
なお、
図34、
図35には、スイッチ914が設けられていないが、これに限定されず、
図24乃至
図87と同様に、スイッチ914を設けることが可能である。
【0286】
なお、
図34、
図35では、配線23の電位を変化させて動作したが、複数の配線を用い
て、電位を制御することも可能である。その場合の一例を示す。したがって、
図34、図
35、
図5、
図17などで述べた内容を、本発明の半導体装置の一態様に適用することが
可能である。
図32(A)乃至
図32(D)に、回路100の構成例をそれぞれ示す。図
32(A)乃至
図32(D)に示す回路100は、
図1(A)乃至
図1(D)、または、
図34乃至
図36に示した回路100にスイッチ814及びスイッチ15を追加し、配線
23の代わりに配線23a及び配線23bを設けた構成に、それぞれ相当する。そして、
図32(A)乃至
図32(D)において上記スイッチ814は、トランジスタ101のソ
ースまたはドレインの他方と、配線23aとの間の導通状態を制御する機能を有する。ま
た、上記スイッチ15は、トランジスタ101のソースまたはドレインの他方と、配線2
3bとの間の導通状態を制御する機能を有する。
【0287】
なお、配線23a、及び/または、配線23bは、配線21と交差して設けることが可能
であるが、配線21と交差せずに、平行に設けることも可能である。
【0288】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図32(A)乃至
図32(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0289】
図33(A)乃至
図33(D)に示す半導体装置は、
図32(A)乃至
図32(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路201と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路202と、配線23aに一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路203aと、配線23bに一定電圧や信号を供給す
る機能を有する回路203bと、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路
204とを、それぞれ有する。具体的に、回路203aは、配線23aに電位Vi1を供
給する機能を有する。また、回路203bは、配線23bに電源電位(高電源電位または
低電源電位)、例えば、電位VDD、または、電位VSSを供給する機能を有する。回路
203aおよび回路203bの例としては、電源回路などがある。
【0290】
したがって、配線23aは、電位Vi1を、伝えることが出来る機能、または、供給する
ことが出来る機能を有している。または、配線23aは、初期化用配線としての機能を有
している。なお、配線23aの電位は、一定の電位であることが望ましいが、本発明の実
施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信号のように変動してもよい。
【0291】
したがって、配線23bは、電源電位を伝えることが出来る機能、または、供給すること
が出来る機能を有している。または、配線23bは、トランジスタ101に電流を供給す
ることが出来る機能を有している。または、配線23bは、負荷104に電流を供給する
ことが出来る機能を有している。または、配線23bは、電源線としての機能を有してい
る。または、配線23bは、電流供給線としての機能を有している。なお、配線23bの
電位は、一定の電位であることが望ましいが、本発明の実施形態の一態様は、これに限定
されず、パルス信号のように変動してもよい。例えば、配線23bの電位は、負荷104
に、順バイアス電圧だけでなく、逆バイアス電圧を加えるような電位であってもよい。
【0292】
なお、
図33(A)乃至
図33(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
01、回路202、回路203a、回路203b、及び回路204を有する場合を一例と
して示しているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、必ずしも回路201、回路20
2、回路203a、回路203b、及び回路204を全て有する必要はなく、そのいずれ
か一つまたは複数だけを有していても良い。
【0293】
なお、
図32及び
図33に示す回路100は、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ1
3、スイッチ814、スイッチ15に、トランジスタを用いることができる。
【0294】
図32及び
図33に示す回路100は、
図34乃至
図36に示す回路100と同様の動作
を行うことができる。ただし、
図32及び
図33に示す回路100では、期間T11にお
いてスイッチ814を導通状態、スイッチ15を非導通状態とする。また、期間T12乃
至期間T15においてスイッチ814を非導通状態、スイッチ15を導通状態とする。
【0295】
なお、
図32(B)及び
図33(B)に示す回路100は、
図8、
図9、
図21、
図22
などと同様、負荷104と接続された容量素子105を、さらに有していても良い。同様
に、
図32(C)及び
図33(C)に示す回路100は、発光素子104aと接続された
容量素子105を、さらに有していても良い。同様に、
図32(D)及び
図33(D)に
示す回路100は、発光素子104bと接続された容量素子105を、さらに有していて
も良い。具体的に、容量素子105の一方の電極は、容量素子103の他方の電極、及び
トランジスタ101のソースまたはドレインの一方に、接続される。容量素子105の他
方の電極は、別途設けられた配線26、配線24、配線23、或いは配線22に接続され
る。
【0296】
また、
図32(B)乃至
図32(D)に示す回路100、及び、
図33(B)乃至
図33
(D)に示す回路100に上記容量素子105を追加した回路の、いずれかを、表示装置
の画素として用いても良い。そして、複数の色相にそれぞれ対応した画素が表示装置に設
けられている場合、対応する色相によって、画素が有するトランジスタ101の、チャネ
ル幅とチャネル長の比が、異なっていても良い。
【0297】
なお、
図32、
図33には、スイッチ14が設けられていないが、これに限定されず、図
11乃至
図23と同様に、スイッチ14を設けることが可能である。
【0298】
なお、
図32、
図33には、スイッチ914が設けられていないが、これに限定されず、
図24乃至
図87と同様に、スイッチ914を設けることが可能である。
【0299】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【0300】
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置である、回路100の構成例につい
て説明する。本実施の形態では、実施の形態1及び2で示した回路に対して、スイッチや
配線などを追加する、接続の一部を変更する、ある配線を別の配線に接続して、配線をま
とめる構成などや、駆動方法の一部を変更した場合などについて述べる。したがって、実
施の形態1及び2で述べた内容は、本実施の形態にも適用することが可能である。
【0301】
図43(A)に示す回路100は、
図11(C)に示した回路100と、スイッチ14の
位置が異なる構成、または、
図1(C)に示した回路100にスイッチ14を追加した構
成に相当する。
図43(A)に示す回路100では、スイッチ14が、容量素子102の
一方の電極、または、容量素子103の一方の電極と、配線25との間の導通状態を制御
する機能を有する。
【0302】
なお、動作は、
図17乃至
図20と同様である。ただし、
図18(A)では、第4の動作
において、スイッチ14が導通状態であったが、
図43(A)の場合には、第4の動作に
おいて、スイッチ14は非導通状態であることが好適である。ただし、本発明の実施形態
の一態様は、これに限定されない。
【0303】
なお、
図43(A)において、
図24乃至
図31などのように、スイッチ914を設ける
ことも可能である。なお、
図43(A)において、
図32、
図33などのように、スイッ
チ814、スイッチ15を設けることも可能である。なお、
図43(A)において、
図3
4などのように、配線23の電位を制御することも可能である。一例として、
図43(A
)において、
図30のようにスイッチ914を設けた場合を、
図43(F)に示す。
【0304】
また、
図8、
図9、
図21、
図22などと同様に、
図43(A)に示した回路100に、
容量素子105を追加することが可能である。一例として、
図43(B)に示す回路10
0は、
図43(A)に示した回路100に、容量素子105を追加した構成に相当する。
そして、上記容量素子105の一方の電極は、容量素子103の他方の電極に接続され、
上記容量素子105の他方の電極は、配線26に接続されている。
【0305】
なお、配線26は、
図8、
図21などと同様、さまざまな配線と接続されることが可能で
ある。例えば、
図43(C)に示す回路100は、
図43(B)に示した回路100にお
いて、配線26が配線25に接続されている例を一例として示している。配線26は、配
線25の他にも、配線24、配線22、配線23、ゲート信号線、他の回路100の配線
など、さまざまな配線と接続させることが可能である。
【0306】
なお、配線25は、さまざまな配線と接続されることが可能である。例えば、
図43(D
)に示す回路100は、
図43(A)に示した回路100において、配線25が配線24
に接続されている例を示す。
【0307】
また、
図43(E)に示す回路100は、
図43(D)に示した回路100に、容量素子
105を追加した構成に相当する。そして、上記容量素子105の一方の電極は、容量素
子103の他方の電極に接続され、上記容量素子105の他方の電極は、配線26に接続
されている。
【0308】
また、
図44に示す半導体装置は、
図43に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線22に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路221、配線23に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路222、配
線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配線25に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号を供給する機能を有する
回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0309】
なお、
図43及び
図44では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図43及び
図44に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0310】
なお、
図43(D)と同様、
図11などにおいても、配線25は、さまざまな配線と接続
されることが可能である。例えば、
図45(A)に示す回路100は、
図11(C)に示
した回路100において、配線25が配線24に接続されている。
【0311】
また、
図45(A)に示した回路100に対しても、
図8、
図9、
図21、
図22などと
同様に、容量素子105を追加する、或いは配線を接続することが可能である。例えば、
図45(B)に示す回路100は、
図45(A)に示した回路100に、容量素子105
を追加した構成に相当する。そして、上記容量素子105の一方の電極は、容量素子10
3の他方の電極に接続され、上記容量素子105の他方の電極は、配線26に接続されて
いる。なお、配線25は、配線24ではなく、配線26と接続させることも可能である。
なお、配線26も配線25も、配線24と接続させることも可能である。
【0312】
また、
図45(C)及び
図45(D)に示す半導体装置は、
図45(A)及び
図45(B
)に示す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路2
20、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路221、配線23に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路223、配線26に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路225のう
ち複数の回路を、それぞれ有する。
【0313】
なお、
図45では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示しているが、
本発明の一態様に係る半導体装置は、
図45に示した回路100において、発光素子10
4aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104または発光素子104
bを有する構成を有していても良い。
【0314】
なお、
図1などに示す回路において、スイッチ14とスイッチ914の一方または両方を
追加して、スイッチ14とスイッチ914の両方のスイッチを設けることが可能である。
つまり、
図11、
図32、
図34、
図43、
図45などにスイッチ914を追加する、或
いは、
図24、
図26、
図28、
図30、
図32、
図34などにスイッチ14を追加する
ことが可能である。例えば、
図46(A)に示す回路100は、
図11(C)に示した回
路100に、スイッチ914を追加した構成、または、
図28(C)に示した回路100
にスイッチ14を追加した構成に相当する。
図46(A)に示す回路100では、スイッ
チ914が、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方と、容量素子103の他
方の電極または発光素子104aの陽極との間の導通状態を制御する機能を有する。
【0315】
なお、
図46(A)において、
図44(D)、
図45などと同様に、配線25を他の配線
に接続することが可能である。例えば、
図46(A)に示した回路100において、配線
25を配線24に接続させた場合の例を、
図46(B)に示す。
【0316】
また、スイッチ14を設ける場所は、
図46(A)に限定されず、
図43と同様、他の場
所に設けることも可能である。
図46(C)に示す回路100は、
図46(A)に対して
、
図43(A)と同様にスイッチ14を設けた場合の例であり、スイッチ14が、容量素
子102の一方の電極及び容量素子103の一方の電極と、配線25との間の導通状態を
制御する機能を有している。
【0317】
また、スイッチ14に相当するスイッチは、1つだけでなく、複数設けることも可能であ
る。例えば、
図46(D)に示す回路100は、スイッチ14の代わりに、容量素子10
3の他方の電極及び発光素子104aの陽極と、配線24との間の導通状態を制御する機
能を有するスイッチ14aと、容量素子102の一方の電極及び容量素子103の一方の
電極と、配線25との間の導通状態を制御する機能を有するスイッチ14bとを有する点
において、
図46(A)に示した回路100と構成が異なる。つまり、
図46(D)は、
スイッチ14が2カ所に追加されたものであると言える。
【0318】
また、
図47に示す半導体装置は、
図46に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線22に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路221、配線23に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路222、配
線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配線25に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路224のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0319】
なお、
図46及び
図47では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図46及び
図47に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0320】
なお、スイッチ14およびスイッチ914を設ける構成は、
図46、
図87だけでなく、
様々な構成を取ることが出来る。この場合の駆動方法は、
図5、
図6、
図17、
図18、
図20、
図35、
図36と同様に行うことが出来る。
図48(A)に示す回路100は、
図46(A)に示した回路100と、スイッチ14の位置が異なる構成に相当する。
図4
8(A)に示す回路100では、スイッチ14が、トランジスタ101のソースまたはド
レインの一方と、配線25との間の導通状態を制御する機能を有する。
【0321】
また、
図48(A)でも、
図44(D)や
図45と同様、配線25を別の配線と接続する
ことが可能であり、例えば、
図48(B)に示す回路100は、
図46(A)に示した回
路100において、配線25を配線24に接続させた場合の例を示す。
【0322】
また、
図48(C)及び
図48(D)に示す半導体装置は、
図48(A)及び
図48(B
)に示す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路2
20、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路221、配線23に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路223、配線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224のう
ち複数の回路を、それぞれ有する。
【0323】
なお、
図48では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示しているが、
本発明の一態様に係る半導体装置は、
図48に示した回路100において、発光素子10
4aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104または発光素子104
bを有する構成を有していても良い。
【0324】
図49(A)に示す回路100は、スイッチ14およびスイッチ914を設ける場合の別
の例であり、
図11(C)に示した回路100に、スイッチ914を追加した構成、また
は、
図30(C)に示した回路100にスイッチ14を追加した構成に相当する。
図49
(A)に示す回路100では、スイッチ914が、トランジスタ101のソースまたはド
レインの一方及び容量素子103の他方の電極と、発光素子104aの陽極との間の導通
状態を制御する機能を有する。
【0325】
【0326】
まず、期間T11において行われる第1の動作について説明する。期間T11では、スイ
ッチ11、スイッチ914が非導通状態、スイッチ12、スイッチ13、及びスイッチ1
4が導通状態である。よって、期間T11では、容量素子102に電圧Vi2-Vi1が
供給され、発光素子104aのアノードは電位Vi1となり、トランジスタ101のゲー
トソース間電圧(Vgs101)は、電圧Vi2-Vi1となる。つまり、トランジスタ
101、及び、容量素子102を、初期化していることとなる。
【0327】
なお、スイッチ11は、配線21の電位がトランジスタ101、及び、容量素子102の
初期化に悪影響を及ぼさない場合には、導通状態であってもよい。その場合、スイッチ1
4は、非導通状態でもよい。
【0328】
なお、スイッチ13は、非導通状態であってもよい。
【0329】
なお、スイッチ914は、導通状態であってもよい。
【0330】
期間T12において行われる第2の動作について説明する。期間T12では、スイッチ1
1、スイッチ14、スイッチ914が非導通状態、スイッチ12及びスイッチ13が導通
状態である。スイッチ11、スイッチ914、スイッチ14が非導通状態となることで、
容量素子102に蓄積されている電荷がトランジスタ101を介して放出され、トランジ
スタ101のソースの電位が上昇する。そして、トランジスタ101がオフ状態となると
、容量素子102からの電荷の放出が止まる。最終的には、トランジスタ101の閾値電
圧Vthが容量素子102に保持される。よって、期間T12では、容量素子102に閾
値電圧Vthが保持され、発光素子104aのアノードは電位Vi2-Vthとなり、ト
ランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は、閾値電圧Vth(またはV
thに応じた大きさの電圧)となる。つまり、トランジスタ101のしきい値電圧Vth
(またはVthに応じた大きさの電圧)を取得することができる。
【0331】
なお、第2の動作において、トランジスタ101のしきい値電圧Vthが正か負かという
ことに関係なく、動作させることができる。これは、トランジスタ101がオフ状態とな
るまで、トランジスタ101のソース電位が上昇できるからである。つまり、トランジス
タ101のゲート電位よりも、トランジスタ101のソース電位の方が高くなった状態で
、ようやくトランジスタ101がオフし、Vgs101がVthとなる、ということが可
能であるからである。したがって、トランジスタ101がエンハンスメント型(ノーマリ
オフ型)であっても、デプリーション型(ノーマリオン型)であっても、正常に動作させ
ることができる。
【0332】
なお、発光素子104aのアノードの電位が高くなったときに、発光素子104aに電流
が流れないようにすることが望ましい。発光素子104aに電流が流れないようにするた
めには、電位Vi2を低い値とすることが好適である。ただし、スイッチ914を非導通
状態にすることにより、発光素子104aに電流が流れないようにすることが可能である
ため、電位Vi2は、高い値でもよい。
【0333】
なお、スイッチ914は、導通状態であってもよい。
【0334】
期間T13において行われる第3の動作について説明する。期間T13では、スイッチ1
1及びスイッチ14が導通状態、スイッチ12、スイッチ13、スイッチ914が非導通
状態である。また、配線21には電位Vsigが供給される。よって、期間T13では、
容量素子102に閾値電圧Vth(またはVthに応じた大きさの電圧)が保持され、容
量素子103に電圧Vsig-Vi1が保持され、発光素子104aのアノードは電位V
i1となり、トランジスタ101のゲートの電位は電位Vsig+Vthとなり、トラン
ジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は電圧Vsig+Vth-Vi1と
なる。したがって、電位Vsigを容量素子103に入力することが出来る。または、容
量素子102の電圧と容量素子103の電圧との和が、トランジスタ101のゲートソー
ス間電圧となるようにすることが出来る。
【0335】
なお、このとき、スイッチ14を、非導通状態とすることも可能である。
【0336】
なお、スイッチ914は、導通状態であってもよい。
【0337】
期間T14において行われる第4の動作について説明する。期間T14では、スイッチ1
1、スイッチ12、スイッチ13、及びスイッチ14が非導通状態であり、スイッチ91
4は導通状態である。よって、期間T14では、容量素子102に閾値電圧Vthが保持
され、容量素子103に電圧Vsig-Vi1が保持され、発光素子104aのアノード
は電位Velとなり、トランジスタ101のゲートの電位は電位Vsig+Vth+Ve
lとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)は電圧Vsig+
Vth-Vi1となる。したがって、電位Vsigに応じた大きさの電流を発光素子10
4aに流すことができ、電位Vsigに応じた輝度で発光素子104aを発光させること
ができる。
【0338】
なお、第4の動作の一部の期間において、強制的にトランジスタ101がオフ状態になる
ことや、発光素子104aに電流が流れないようにして、発光素子104aが発光しない
ような状況にすることも可能である。つまり、非発光期間を設けることも可能である。例
えば、スイッチ12をオンにすることにより、トランジスタ101をオフ状態にすること
が可能である。または、スイッチ14をオンにすることにより、発光素子104aに電流
が流れないようにすることが可能である。または、スイッチ914をオフにすることによ
り、発光素子104aに電流が流れないようにすることが可能である。
【0339】
なお、上記第3の動作が行われる期間T13の後、上記第4の動作が行われる期間T14
の前に、第6の動作が行われる期間T16を設けても良い。
【0340】
期間T16において行われる第6の動作について説明する。期間T16では、スイッチ1
2が導通状態、スイッチ11、スイッチ13、スイッチ914及びスイッチ14が非導通
状態である。よって、期間T16では、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vg
s101)は、電圧Vsig+Vth-Vi1-Vαとなる。
【0341】
第6の動作で、電位Vαは、発光素子104aのアノードが電気的に浮遊状態(フローテ
ィング状態)となることで変動する電位である。電位Vαは、トランジスタ101がオフ
であるならば、発光素子104aの容量値と、容量素子102及び容量素子103の容量
値の比に応じて、その値が定まる。しかし、電位Vsigの高さによっては、トランジス
タ101がオンするので、トランジスタ101を介して発光素子104aのアノードに電
荷が流入してしまう。よって、電位Vαは、上記静電容量の比によってのみ決まらず、発
光素子104aのアノードに流入する電荷によっても、その値が変化する。
【0342】
なお、スイッチ12とスイッチ13とは、同じタイミングで、オンオフを制御されること
が可能である。よって、スイッチ12とスイッチ13とを同じ極性のトランジスタを用い
て構成した場合、
図15と同様に、トランジスタのゲートを互いに接続させることが可能
である。
【0343】
また、配線22や配線25は、他の様々な配線と接続させることが可能である。例えば、
図49(B)に示す回路100は、
図49(A)に示した回路100において、配線25
が配線24に接続されている場合を示す。
【0344】
また、
図8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加して設けること
も可能であり、例えば、
図49(C)に示す回路100は、
図49(A)に示した回路1
00に、容量素子105を追加した構成に相当する。そして、上記容量素子105の一方
の電極は、容量素子103の他方の電極に接続され、上記容量素子105の他方の電極は
、配線26に接続されている。
【0345】
また、
図49(C)とは異なる配置で容量素子105を設けた場合の例として、
図49(
D)に示す回路100は、
図49(A)に示した回路100に、容量素子105を追加し
た構成に相当する。そして、上記容量素子105の一方の電極は、発光素子104aの陽
極に接続され、上記容量素子105の他方の電極は、配線26に接続されている。
【0346】
また、
図50に示す半導体装置は、
図49に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線22に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路221、配線23に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路222、配
線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配線25に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号を供給する機能を有する
回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0347】
なお、
図49及び
図50では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図49及び
図50に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0348】
【0349】
なお、
図49では、容量素子105を1つ追加した場合を示したが、本発明の実施形態の
一態様は、これに限定されない。容量素子105を追加した回路100において、さらに
多くの容量素子を追加することが可能である。例えば、
図51(A)に示す回路100は
、
図49(A)に示した回路100に、容量素子105a及び容量素子105bを追加し
た構成に相当する。そして、上記容量素子105aの一方の電極は、容量素子103の他
方の電極に接続され、上記容量素子105aの他方の電極は、配線26に接続されている
。上記容量素子105bの一方の電極は、発光素子104aの陽極に接続され、上記容量
素子105bの他方の電極は、配線27に接続されている。
【0350】
また、配線25は、他の配線と接続させることが可能であり、例えば、
図51(B)に示
す回路100は、
図50(C)に示した回路100において、配線25を配線24に接続
した構成に相当する。
【0351】
また、
図51(C)に示す回路100は、
図50(D)に示した回路100において、配
線25を配線24に接続した構成に相当する。
【0352】
また、
図51(D)に示す回路100は、
図51(A)に示した回路100において、配
線25を配線24に接続した構成に相当する。
【0353】
また、
図52に示す半導体装置は、
図51に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線22に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路221、配線23に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路222、配
線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配線25に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号を供給する機能を有する
回路225、配線27に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路226のうち複数の
回路を、それぞれ有する。
【0354】
回路226の例としては、電源回路などがある。したがって、配線27は、所定の電位を
、伝えることが出来る機能、または、供給することが出来る機能を有している。または、
配線27は、容量用配線としての機能を有している。なお、配線27の電位は、一定の電
位であることが望ましいが、本発明の実施形態の一態様は、これに限定されず、パルス信
号のように変動してもよい。なお、配線27は、他の配線と接続させることが可能である
。例えば、配線25、配線24、配線22、配線26、配線23、ゲート信号線、他の回
路100の配線など、さまざまな配線と接続させることが可能である。
【0355】
なお、
図51及び
図52では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図51及び
図52に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0356】
なお、これまでに述べた様々な回路において、配線22は、他の配線と接続させることが
可能である。その結果、配線の数を低減することが可能となる。例えば、配線22を、配
線21、配線23、配線23a、配線23b、配線24、配線25、配線26、配線27
などと接続させることが可能である。または、配線22を、走査線、ゲート線、トランジ
スタのゲートと接続された配線などと接続させることが可能である。一例としては、
図5
3(A)に示す回路100は、
図11(C)に示した回路100において、配線22を配
線21に接続した構成を示す。
【0357】
同様に、
図53(B)に示す回路100は、
図1(C)に示した回路100において、配
線22を配線21に接続した構成を示す。
【0358】
また、
図8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加することも可能
である。例えば、
図53(C)に示す回路100は、
図53(A)に示した回路100に
、容量素子105を追加した構成、または、
図21(A)に示した回路100において配
線22を配線21に接続した構成に相当する。
【0359】
また、
図43などにおいても同様に、配線22を配線21と接続させることが可能である
。例えば、
図53(D)に示す回路100は、
図43(B)に示した回路100において
、での配線22を配線21と接続した構成となっている。
【0360】
また、
図54に示す半導体装置は、
図53に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0361】
なお、
図53及び
図54では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図53及び
図54に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0362】
なお、ある配線が第1の配線と接続されている場合、第2の配線も第1の配線と接続され
たり、第3の配線と接続されることが可能である。例えば、配線22が、ある一つの配線
と接続されている場合、配線25も他の一つの配線と接続されることが可能である。例え
ば、
図55(A)に示す回路100は、
図11(C)に示した回路100において、配線
22が配線21に接続され、配線25が配線24に接続されている構成、
図54(A)に
示した回路100において、配線25が配線24に接続されている構成、または、
図45
(A)に示した回路100において、配線22が配線21に接続されている構成を示す。
【0363】
また、
図8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加することも可能
である。例えば、
図55(B)に示す回路100は、
図55(A)に示した回路100に
、容量素子105を追加した構成、または、
図45(B)に示した回路100において配
線22が配線21に接続された構成に相当する。
【0364】
また、スイッチ14の位置を変更した場合にも適用することが可能であり、
図55(C)
に示す回路100は、
図43(E)に示した回路100において、配線22が配線21に
接続された構成を示す。
【0365】
また、
図56に示す半導体装置は、
図55に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線26に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞ
れ有する。
【0366】
なお、
図55及び
図56では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図55及び
図56に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0367】
また、
図57(A)に示す回路100は、
図46(A)に示した回路100において、配
線22が配線21に接続された例を示す。
【0368】
また、
図57(B)に示す回路100は、
図28(C)に示した回路100において、配
線22が配線21に接続された例を示す。
【0369】
また、
図8、
図9、
図21、
図22などと同様に、スイッチ914を追加することも可能
である。例えば、
図57(C)に示す回路100は、
図53(C)に示した回路100に
、スイッチ914を追加した構成に相当する。
【0370】
また、
図57(D)に示す回路100は、
図53(D)に示した回路100に、スイッチ
914を追加した構成、または、
図57(C)におけるスイッチ14の配置を変更した構
成に相当する。
【0371】
また、
図58に示す半導体装置は、
図57に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0372】
なお、
図57及び
図58では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図57及び
図58に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0373】
また、
図59(A)に示す回路100は、
図57(A)に示した回路100において、配
線25を配線24に接続した場合の構成を示す。
【0374】
また、
図59(B)に示す回路100は、
図57(C)に示した回路100において、配
線25を配線24に接続した場合の構成を示す。
【0375】
また、
図59(C)に示す回路100は、
図57(D)に示した回路100において、配
線25を配線24に接続した場合の構成を示す。
【0376】
また、
図60に示す半導体装置は、
図59に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線26に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞ
れ有する。
【0377】
なお、
図59及び
図60では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図59及び
図60に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0378】
なお、配線22は、配線21以外の配線と接続することが可能である。例えば、配線22
は、配線24と接続することも可能である。例えば、
図61(A)に示す回路100は、
図11(C)に示した回路100において、配線22が配線24と接続された構成を示す
。
【0379】
また、
図61(B)に示す回路100は、
図1(C)に示した回路100において、配線
22が配線24と接続された構成を示す。
【0380】
また、
図61(C)に示す回路100は、
図21(A)に示した回路100において、配
線22が配線24と接続された構成を示す。
【0381】
また、
図61(D)に示す回路100は、
図43(A)に示した回路100において、配
線22が配線24と接続された構成を示す。
【0382】
また、
図62に示す半導体装置は、
図61に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0383】
なお、
図61及び
図62では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図61及び
図62に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0384】
また、
図8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加することも可能
である。例えば、
図63(A)に示す回路100は、
図61(B)に示した回路100に
、容量素子105を追加した構成、または、
図8(A)に示した回路100において、配
線22を配線24に接続した構成に相当する。
【0385】
また、
図63(B)に示す回路100は、
図46(A)に示した回路100において、配
線22を配線24に接続した構成に相当する。
【0386】
また、
図63(C)に示す回路100は、
図28(C)に示した回路100において、配
線22を配線24に接続した構成に相当する。
【0387】
また、
図63(D)に示す回路100は、
図63(C)に示した回路100に示した回路
100に、
図8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加した構成に
相当する。
【0388】
また、
図64に示す半導体装置は、
図63に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0389】
なお、
図63及び
図64では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図63及び
図64に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0390】
また、
図65(A)に示す回路100は、
図61(D)に示した回路100に、スイッチ
914を追加した構成に相当する。
図65(A)に示す回路100では、スイッチ914
が、トランジスタ101のソースまたはドレインの一方と、容量素子103の他方の電極
及び発光素子104aの陽極との間の導通状態を制御する機能を有する。
【0391】
また、
図65(B)に示す回路100は、
図61(A)に示した回路100において、配
線25が配線24に接続された例を示す。
【0392】
また、
図65(C)に示す回路100は、
図61(C)に示した回路100において、配
線25が配線24に接続された例を示す。
【0393】
また、
図65(D)に示す回路100は、
図61(D)に示した回路100において、配
線25が配線24に接続された例を示す。
【0394】
また、
図66に示す半導体装置は、
図65に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0395】
なお、
図65及び
図66では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図65及び
図66に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0396】
また、
図67(A)に示す回路100は、
図65(A)に示した回路100において、図
8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加した構成に相当する。
【0397】
また、
図67(B)に示す回路100は、
図65(D)に示した回路100において、図
8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加した構成に相当する。
【0398】
また、
図67(C)に示す回路100は、
図63(C)に示した回路100において、図
8、
図9、
図21、
図22などと同様に、容量素子105を追加した構成に相当する。
【0399】
また、
図68に示す半導体装置は、
図67に示す回路100に加えて、配線21に一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路220、配線23に一定電圧や信号を供給する機能
を有する回路222、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路223、配
線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224、配線26に一定電圧や信号
を供給する機能を有する回路225のうち複数の回路を、それぞれ有する。
【0400】
なお、
図67及び
図68では、発光素子104aを用いた場合の回路100の構成を示し
ているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図67及び
図68に示した回路100に
おいて、発光素子104aがない構成、或いは、発光素子104aの代わりに負荷104
または発光素子104bを有する構成を有していても良い。
【0401】
なお、
図32で示す回路100においても、これまでに述べた図と同様に、スイッチ14
、スイッチ914、容量素子105などを追加する事が可能である。または、
図32で示
す回路100においても、様々な配線を、別の様々な配線に接続させて、配線の数を減ら
すことが可能である。例えば、
図69(A)乃至
図69(D)に示す回路100は、
図1
1と同様に、
図32(A)乃至
図32(D)に示した回路100に、スイッチ14を追加
した構成に、それぞれ相当する。
【0402】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図69(A)乃至
図69(D)に示した回路
100に加えて、回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さ
らに有していても良い。
【0403】
図70(A)乃至
図70(D)に示す半導体装置は、
図69(A)乃至
図69(D)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路220と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路221と、配線23aに一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路222aと、配線23bに一定電圧や信号を供給す
る機能を有する回路222bと、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路
223と、配線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224とを、それぞれ
有する。
【0404】
なお、
図70(A)乃至
図70(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
20、回路221、回路222a、回路222b、回路223、及び回路224を有する
場合を一例として示しているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、必ずしも回路10
0に加えて、回路220、回路221、回路222a、回路222b、回路223、及び
回路224を全て有する必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していても良
い。
【0405】
また、
図73(A)に示す回路100は、
図32(C)に示す回路100に、スイッチ9
14を追加した構成に相当する。そして、スイッチ914は、トランジスタ101のソー
スまたはドレインの一方と、容量素子103の他方の電極及び発光素子104aの陽極と
の間の導通状態を制御する機能を有する。
【0406】
また、
図73(B)に示す回路100は、
図69(C)に示した回路100に、スイッチ
914を追加した構成に相当する。そして、スイッチ914は、トランジスタ101のソ
ースまたはドレインの一方と、容量素子103の他方の電極及び発光素子104aの陽極
との間の導通状態を制御する機能を有する。
【0407】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図73(A)及び
図73(B)に示した回路
100に加えて、回路100に各種一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さら
に有していても良い。
【0408】
図73(C)及び
図73(D)に示す半導体装置は、
図73(A)及び
図73(B)に示
す回路100に加えて、配線21に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路220と
、配線22に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路221と、配線23aに一定電
圧や信号を供給する機能を有する回路222aと、配線23bに一定電圧や信号を供給す
る機能を有する回路222bと、配線24に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路
223と、配線25に一定電圧や信号を供給する機能を有する回路224とを、それぞれ
有する。
【0409】
なお、
図73(C)及び
図73(D)では、半導体装置が、回路100に加えて、回路2
20、回路221、回路222a、回路222b、回路223、及び回路224を有する
場合を一例として示しているが、本発明の一態様に係る半導体装置は、必ずしも回路10
0に加えて、回路220、回路221、回路222a、回路222b、回路223、及び
回路224を全て有する必要はなく、そのいずれか一つまたは複数だけを有していても良
い。
【0410】
なお、
図34で示す回路100においても、これまでに述べた図と同様に、スイッチ14
、スイッチ914、容量素子105などを追加する事が可能である。または、
図34で示
す回路100においても、様々な配線を、別の様々な配線に接続させて、配線の数を減ら
すことが可能である。例えば、
図71(A)乃至
図71(D)に、
図34(A)乃至
図3
4(D)に示した回路100の配置例をそれぞれ示す。
【0411】
図71(C)に示す回路100を例に挙げて、本発明の一態様に係る半導体装置の動作の
一例について説明する。
【0412】
図71(C)に示す回路100の動作は、主に第1の動作、第2の動作、第3の動作、第
4の動作に分けることができる。ただし、これに限定されず、新たな動作の追加、或いは
、一部の動作の削除も可能である。
【0413】
まず、期間T11において行われる第1の動作について説明する。期間T11では、
図7
2(A)に示すように、スイッチ11、スイッチ13、及びスイッチ14が非導通状態、
スイッチ12が導通状態である。また、配線23には電位Vi1が供給される。よって、
期間T11では、発光素子104aのアノードは電位Vi1となり、トランジスタ101
のゲートソース間電圧(Vgs101)は、電圧Vi2-Vi1となる。
【0414】
なお、
図72(A)では、スイッチ11が非導通状態の場合を一例として示しているが、
スイッチ11は導通状態であっても良い。また、
図72(A)では、スイッチ14が非導
通状態の場合を一例として示しているが、スイッチ14は導通状態であっても良い。この
場合、配線25には電位Vi3が供給されるものとする。そして、発光素子104aのア
ノードは電位Vi3となり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)
は、電圧Vi2-Vi3となる。また、スイッチ13が導通状態であってもよい。
【0415】
期間T12において行われる第2の動作について説明する。期間T12では、
図72(B
)に示すように、スイッチ11及びスイッチ14が非導通状態、スイッチ12及びスイッ
チ13が導通状態となる。また、配線23には電位VDD、または、電位Vi1よりは高
い電位が供給される。配線23に電位VDDが供給されることで、容量素子102に蓄積
されている電荷が放出され、最終的には、トランジスタ101の閾値電圧Vthが容量素
子102に保持される。よって、期間T12では、容量素子102に閾値電圧Vthが保
持され、発光素子104aのアノードは電位Vi2-Vthとなり、トランジスタ101
のゲートソース間電圧(Vgs101)は、閾値電圧Vthとなる。
【0416】
期間T13において行われる第3の動作について説明する。期間T13では、
図72(C
)に示すように、スイッチ11及びスイッチ14が導通状態、スイッチ12及びスイッチ
13が非導通状態となる。また、配線21には電位Vsigが供給され、配線23には電
位VDDが供給され、配線25には電位Vi3が供給される。よって、期間T13では、
容量素子102に閾値電圧Vthが保持され、容量素子103に電圧Vsig-Vi3が
保持され、発光素子104aのアノードは電位Vi3となり、トランジスタ101のゲー
トの電位は電位Vsig+Vthとなり、トランジスタ101のゲートソース間電圧(V
gs101)は電圧Vsig+Vth-Vi3となる。また、スイッチ14が非導通状態
であってもよい。
【0417】
期間T14において行われる第4の動作について説明する。期間T14では、
図72(D
)に示すように、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ13、及びスイッチ14が非導
通状態となる。また、配線23には電位VDDが供給される。よって、期間T14では、
容量素子102に閾値電圧Vthが保持され、容量素子103に電圧Vsig-Vi3が
保持され、発光素子104aのアノードは電位Velとなり、トランジスタ101のゲー
トの電位は電位Vsig+Vth-Vi3+Velとなり、トランジスタ101のゲート
ソース間電圧(Vgs101)は電圧Vsig+Vth-Vi3となる。
【0418】
なお、電位Velは、トランジスタ101を介して、発光素子104aに電流を流す際に
設定される電位である。具体的には、電位VDDと電位Vcatの間の電位に設定される
こととなる。
【0419】
上記第4の動作では、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)を、電
圧Vsig+Vth-Vi3とし、トランジスタ101の閾値電圧Vthを加味した値に
設定することができる。従って、上記構成により、トランジスタ101の閾値電圧Vth
のばらつきが、発光素子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる
。または、トランジスタ101が劣化して、閾値電圧Vthが変化しても、上記変化が発
光素子104aに供給する電流値に影響を及ぼすのを防ぐことができる。よって、表示ム
ラを低減でき、質の良い表示を行うことができる。
【0420】
なお、本発明の一態様に係る半導体装置では、第2の動作において、トランジスタ101
のゲートを電位Vi2に保つ。上記動作により、トランジスタ101がノーマリオンであ
っても、すなわち閾値電圧Vthがマイナスの値を有していても、トランジスタ101に
おいて、ソースの電位がゲートの電位Vi2よりも高くなるまで容量素子102に蓄積さ
れている電荷を放出することができる。よって、本発明の一態様に係る半導体装置では、
トランジスタ101がノーマリオンであっても、上記第4の動作において、トランジスタ
101の閾値電圧Vthを加味した値になるよう、トランジスタ101のゲートソース間
電圧(Vgs101)を設定することができる。
【0421】
本実施の形態は、ある配線を、他の様々な配線、例えば、配線21、配線22、配線23
、配線24、配線25、配線26、配線27、または、別の回路100の配線、走査線、
ゲート線、トランジスタのゲートと接続された配線などに接続させた場合について示した
。これにより、配線の数を減らすことが出来る。または、ある回路100に、別のスイッ
チや別の素子、例えば、スイッチ914、スイッチ814、スイッチ14、容量素子10
5などを追加した構成について示した。つまり、本実施の形態は、他の実施の形態の一部
または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化し
たものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形
態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用する、或いは置き換えて実施することが
できる。
【0422】
(実施の形態4)
図74乃至
図76に、本発明の一態様に係る半導体装置における、各種配線の配置例を示
す。
【0423】
図74(A)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21及び一の配線23を共有している。また、i+1列j行
目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)
が、一の配線21及び一の配線23を共有している。
【0424】
図74(B)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)及びi+1列j行目の回路1
00(i+1、j)が、一の配線23を共有している。また、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線
23を共有している。
【0425】
図74(C)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)及びi+1列j行目の回路1
00(i+1、j)が、一の配線23を共有している。また、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線
23を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回
路100(i、j+1)が、一の配線23を共有している。また、i+1列j行目の回路
100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の
配線23を共有している。そして、これらの配線23は、互いに接続されている。
【0426】
図74(D)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i+1、j)、及びi+1列j+1行
目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線23を共有している。そして、配線23
は、配線21と並んで配置されている。
【0427】
図74(E)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i+1、j)、及びi+1列j+1行
目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線23を共有している。そして、配線23
は、配線21と交差するように配置されている。
【0428】
図74(F)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i+1、j)、及びi+1列j+1行
目の回路100(i+1、j+1)が、2つの配線23を共有している。そして、上記2
つの配線23は、交差するように配置されており、互いに接続されている。
【0429】
図75(A)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21、一の配線22、及び一の配線23を共有している。ま
た、i+1列j行目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(
i+1、j+1)が、一の配線21、一の配線22、及び一の配線23を共有している。
【0430】
図75(B)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21及び一の配線22を共有している。また、i+1列j行
目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)
が、一の配線21及び一の配線22を共有している。また、i列j行目の回路100(i
、j)及びi+1列j行目の回路100(i+1、j)が、一の配線23を共有している
。また、i列j+1行目の回路100(i、j+1)及びi+1列j+1行目の回路10
0(i+1、j+1)が、一の配線23を共有している。
【0431】
図75(C)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21及び一の配線23を共有している。また、i+1列j行
目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)
が、一の配線21及び一の配線23を共有している。また、i列j行目の回路100(i
、j)及びi+1列j行目の回路100(i+1、j)が、一の配線22を共有している
。また、i列j+1行目の回路100(i、j+1)及びi+1列j+1行目の回路10
0(i+1、j+1)が、一の配線22を共有している。
【0432】
図75(D)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)及びi+1列j行目の回路1
00(i+1、j)が、一の配線22及び一の配線23を共有している。また、i列j+
1行目の回路100(i、j+1)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+
1)が、一の配線22及び一の配線23を共有している。
【0433】
図75(E)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21及び一の配線23を共有している。また、i+1列j行
目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)
が、一の配線21及び一の配線23を共有している。また、i列j行目の回路100(i
、j)及びi+1列j行目の回路100(i+1、j)が、一の配線22及び一の配線2
3を共有している。また、i列j+1行目の回路100(i、j+1)及びi+1列j+
1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線22及び一の配線23を共有してい
る。そして、これらの配線23は、互いに接続されている。
【0434】
図76(A)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21及び一の配線22を共有している。また、i+1列j行
目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)
が、一の配線21及び一の配線22を共有している。また、i列j行目の回路100(i
、j)、i列j+1行目の回路100(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i
+1、j)、及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線23
を共有している。そして、配線23は、配線21及び配線22と並んで配置されている。
【0435】
図76(B)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21及び一の配線23を共有している。また、i+1列j行
目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)
が、一の配線21及び一の配線23を共有している。また、i列j行目の回路100(i
、j)、i列j+1行目の回路100(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i
+1、j)、及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線22
を共有している。そして、配線22は、配線21及び配線23と並んで配置されている。
【0436】
図76(C)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i+1、j)、及びi+1列j+1行
目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線22及び一の配線23を共有している。
そして、配線22及び配線23は、配線21と並んで配置されている。
【0437】
図76(D)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i+1、j)、及びi+1列j+1行
目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線22及び一の配線23を共有している。
そして、配線22及び配線23は、配線21と交差するように配置されている。
【0438】
図76(E)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100(
i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線21
を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)、i列j+1行目の回路10
0(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i+1、j)、及びi+1列j+1行
目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線22及び一の配線23を共有している。
そして、配線22は、配線21と交差するように配置されている。また、配線23は、配
線21と並んで配置されている。
【0439】
図76(F) では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路10
0(i、j+1)が、一の配線21を共有している。また、i+1列j行目の回路100
(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線2
1を共有している。また、i列j行目の回路100(i、j)、i列j+1行目の回路1
00(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i+1、j)、及びi+1列j+1
行目の回路100(i+1、j+1)が、一の配線22及び一の配線23を共有している
。そして、配線23は、配線21と交差するように配置されている。また、配線22は、
配線21と並んで配置されている。
【0440】
図76(G)では、i列j行目の回路100(i、j)及びi列j+1行目の回路100
(i、j+1)が、一の配線21及び一の配線22を共有している。また、i+1列j行
目の回路100(i+1、j)及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)
が、一の配線21及び一の配線22を共有している。また、i列j行目の回路100(i
、j)、i列j+1行目の回路100(i、j+1)、i+1列j行目の回路100(i
+1、j)、及びi+1列j+1行目の回路100(i+1、j+1)が、2つの配線2
3を共有している。そして、上記2つの配線23は、交差するように配置されており、互
いに接続されている。
【0441】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【0442】
(実施の形態5)
図13(A)に示した回路100の上面図を、一例として
図77に示す。
【0443】
図77において、半導体膜300は、トランジスタ11tの活性層、容量素子102の一
方の電極、容量素子103の一方の電極、トランジスタ13tの活性層、トランジスタ1
4tの活性層、トランジスタ101の活性層として、機能する。半導体膜301は、トラ
ンジスタ12tの活性層として機能する。導電膜302は、容量素子102の他方の電極
として機能する。導電膜303は、容量素子103の他方の電極として機能する。導電膜
304は、トランジスタ13tのゲートとして機能する。
【0444】
導電膜305は、配線22と、トランジスタ12tのソースまたはドレインの一方とに接
続されている。導電膜306は、トランジスタ12tのソースまたはドレインの他方と、
導電膜302とに接続されている。導電膜307は、導電膜304と、配線33とに接続
されている。導電膜308は、導電膜303と、トランジスタ101のソースまたはドレ
インの一方と、トランジスタ13tのソースまたはドレインの一方と、トランジスタ14
tのソースまたはドレインの一方とに接続されている。導電膜309は、トランジスタ1
4tのソースまたはドレインの他方と、配線25とに接続されている。
【0445】
なお、
図13(B)の場合は、導電膜308に接続されるように負荷104を設ければよ
い。また、
図13(C)の場合は、導電膜308に接続されるように発光素子104aの
陽極を設ければよい。また、
図13(D)の場合は、導電膜308に接続されるように発
光素子104bの陰極を設ければよい。
【0446】
次いで、
図13(A)に示した回路100の上面図を、一例として
図78に示す。
【0447】
図78において、半導体膜320は、トランジスタ11tの活性層として機能する。半導
体膜321は、トランジスタ12tの活性層として機能する。半導体膜322は、トラン
ジスタ13tの活性層として機能する。半導体膜323は、トランジスタ14tの活性層
として機能する。半導体膜333は、トランジスタ101の活性層として機能する。
【0448】
導電膜324は、容量素子102の他方の電極、及びトランジスタ101のゲートとして
機能する。導電膜325は、容量素子103の他方の電極として機能する。導電膜326
は、トランジスタ13tのゲートとして機能する。
【0449】
導電膜327は、容量素子102の一方の電極、及び容量素子103の一方の電極として
機能し、トランジスタ11tのソースまたはドレインの一方に接続されている。導電膜3
28は、配線22と、トランジスタ12tのソースまたはドレインの一方とに接続されて
いる。導電膜329は、トランジスタ12tのソースまたはドレインの他方と、導電膜3
24とに接続されている。導電膜330は、導電膜326と、配線33とに接続されてい
る。導電膜331は、導電膜325と、トランジスタ101のソースまたはドレインの一
方と、トランジスタ13tのソースまたはドレインの一方と、トランジスタ14tのソー
スまたはドレインの一方とに接続されている。導電膜332は、トランジスタ14tのソ
ースまたはドレインの他方と、配線25とに接続されている。
【0450】
なお、
図13(B)の場合は、導電膜331に接続されるように負荷104を設ければよ
い。また、
図13(C)の場合は、導電膜331に接続されるように発光素子104aの
陽極を設ければよい。また、
図13(D)の場合は、導電膜331に接続されるように発
光素子104bの陰極を設ければよい。
【0451】
また、
図78の破線A1-A2における断面図の一例を、
図80(A)に示す。
図78の
破線B1-B2における断面図の一例を、
図80(B)に示す。
図80では、基板800
上に絶縁膜801が形成されており、絶縁膜801上に配線31、導電膜324、及び導
電膜325が形成されている。また、配線31、導電膜324、及び導電膜325上には
絶縁膜802が形成されている。
【0452】
絶縁膜802上において導電膜325と重なる位置に、導電膜327が形成されている。
導電膜325と、絶縁膜802と、導電膜327とが重なる部分が、容量素子103とし
て機能する。絶縁膜802上において導電膜324と重なる位置に、導電膜327が形成
されている。導電膜324と、絶縁膜802と、導電膜327とが重なる部分が、容量素
子102として機能する。絶縁膜802上において導電膜324と重なる位置に、半導体
膜333が形成されている。半導体膜333上には配線23及び導電膜331が形成され
ている。
【0453】
そして、絶縁膜802と、その上に位置する導電膜327、半導体膜333、配線23、
及び導電膜331を覆うように、絶縁膜803が形成されている。
【0454】
次いで、
図13(A)に示した回路100の上面図を、一例として
図79に示す。
図79
は、配線23のうち、半導体膜333と重なる部分の形状と、導電膜331のうち、半導
体膜333と重なる部分の形状とが、
図78に示した上面図と異なる。具体的には、
図7
8では、配線23のうち半導体膜333と重なる部分が、U字形状を有している。そして
、導電膜331のうち半導体膜333と重なる部分が、配線23によって部分的に囲われ
るように、配線23のU字形状の曲部内側に位置する。
図79では、導電膜331のうち
半導体膜333と重なる部分が、U字形状を有している。そして、配線23のうち半導体
膜333と重なる部分が、導電膜331によって部分的に囲われるように、導電膜331
のU字形状の曲部内側に位置する。
【0455】
トランジスタ101のソースまたはドレインに接する導電膜や配線がU字形状を有してい
る場合、半導体膜333の面積が小さくても、大きなチャネル幅を確保することができる
。よって、半導体膜333の面積を小さく抑えつつも、オン電流を高めることができる。
【0456】
なお、様々な基板を用いて、トランジスタを形成することが出来る。基板の種類は、特定
のものに限定されることはない。その基板の一例としては、半導体基板(例えば単結晶基
板又はシリコン基板)、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、金属基
板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン
基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合わせフィルム、繊維状の
材料を含む紙、又は基材フィルムなどがある。ガラス基板の一例としては、バリウムホウ
ケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラスなどがある。可撓性
基板の一例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレー
ト(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプラスチック、又はアク
リル等の可撓性を有する合成樹脂などがある。貼り合わせフィルムの一例としては、ポリ
プロピレン、ポリエステル、ビニル、ポリフッ化ビニル、又は塩化ビニルなどがある。基
材フィルムの一例としては、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、無機蒸着フィルム
、又は紙類などがある。特に、半導体基板、単結晶基板、又はSOI基板などを用いてト
ランジスタを製造することによって、特性、サイズ、又は形状などのばらつきが少なく、
電流能力が高く、サイズの小さいトランジスタを製造することができる。このようなトラ
ンジスタによって回路を構成すると、回路の低消費電力化、又は回路の高集積化を図るこ
とができる。
【0457】
なお、ある基板を用いてトランジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを転置
し、別の基板上にトランジスタを配置してもよい。トランジスタが転置される基板の一例
としては、上述したトランジスタを形成することが可能な基板に加え、紙基板、セロファ
ン基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、
ポリウレタン、ポリエステル)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再
生ポリエステル)などを含む)、皮革基板、又はゴム基板などがある。これらの基板を用
いることにより、特性のよいトランジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成
、壊れにくい装置の製造、耐熱性の付与、軽量化、又は薄型化を図ることができる。
【0458】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【0459】
(実施の形態6)
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置において用いられる、トランジスタ
の具体的な構成の一例について説明する。
【0460】
図81(A)に示すトランジスタは、半導体膜501と、半導体膜501上の絶縁膜50
2と、絶縁膜502を間に挟んで半導体膜501と重なる位置に設けられた、ゲートとし
て機能する電極503と、半導体膜501に接する導電膜504及び導電膜505とを有
する。そして、半導体膜501は、チャネル形成領域として機能する第1の領域506と
、ソースまたはドレインとして機能する第2の領域507及び第2の領域508とを有す
る。第2の領域507及び第2の領域508は、第1の領域506を間に挟んでいる。な
お、
図81(A)では、半導体膜501が、第1の領域506と第2の領域507及び第
2の領域508との間に、LDD領域として機能する第3の領域509及び第3の領域5
10を有している場合を一例として示している。
【0461】
なお、
図81(A)では、薄膜の半導体膜501を有するトランジスタを一例として示し
ているが、本発明の一態様では、バルクの半導体基板にチャネル形成領域を有したトラン
ジスタを用いていても良い。薄膜の半導体膜としては、例えば、非晶質半導体、多結晶半
導体、単結晶半導体などを用いることができる。また、半導体膜501は、シリコン、ゲ
ルマニウム、シリコンゲルマニウム、酸化物半導体など、各種の半導体を用いることがで
きる。
【0462】
図81(B)に示すトランジスタは、第1の酸化絶縁膜520a、第2の酸化絶縁膜52
0b、及び第3の酸化絶縁膜520cを有する絶縁膜520上に設けられている。
【0463】
第1の酸化絶縁膜520a及び第3の酸化絶縁膜520cは、加熱により一部の酸素が脱
離する酸化絶縁膜を用いて形成する。加熱により一部の酸素が脱離する酸化絶縁膜として
は、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む絶縁膜を用いることが好ましい
。第1の酸化絶縁膜520a及び第3の酸化絶縁膜520cとして、酸化シリコン、酸化
窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム等
を用いることができる。
【0464】
第2の酸化絶縁膜520bは、酸素の拡散を防ぐ酸化絶縁膜で形成する。第2の酸化絶縁
膜520bの一例としては、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム等がある。なお、
酸化アルミニウムは、化学量論的組成を満たす酸素を含む酸化アルミニウム、または化学
量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化アルミニウム(AlOx、xは3/
2以上)とすることが好ましい。また、酸化窒化アルミニウムは、化学量論的組成を満た
す酸素を含む酸化アルミニウムの一部の酸素が窒素で置換されている。
【0465】
そして、トランジスタは、半導体膜521と、半導体膜521上の絶縁膜522と、絶縁
膜522を間に挟んで半導体膜521と重なる位置に設けられた、ゲートとして機能する
電極523と、半導体膜521に接する導電膜524及び導電膜525とを有する。半導
体膜521は、電極523と重なり、少なくとも一部がチャネル形成領域として機能する
第1の領域526と、ソースまたはドレインとして機能し、第1の領域526を挟む第2
の領域550及び第2の領域551とを有している。
【0466】
半導体膜521には、例えば、非晶質半導体、多結晶半導体、単結晶半導体などを用いる
ことができる。また、半導体膜521には、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニ
ウム、酸化物半導体など、各種の半導体を用いることができる。
【0467】
トランジスタは、電極523の側部に、絶縁膜を有するサイドウォール527が設けられ
ており、電極523の上部に、絶縁膜528が設けられている。そして、導電膜524及
び導電膜525は、その一部がサイドウォール527に接している。導電膜524及び導
電膜525は必ずしもサイドウォール527に接している必要は無いが、サイドウォール
527に接するように導電膜524及び導電膜525を形成することで、導電膜524及
び導電膜525の位置が多少ずれて形成されたとしても、導電膜524及び導電膜525
と半導体膜521との接する面積が、変動するのを防ぐことができる。よって、導電膜5
24及び導電膜525の位置がずれることによる、トランジスタのオン電流の変動を防ぐ
ことができる。
【0468】
なお、電極523の上部に位置する絶縁膜528は必ずしも設ける必要は無いが、絶縁膜
528を設けることで、導電膜524及び導電膜525の位置がずれて形成され、電極5
23の上部にかかっても、導電膜524及び導電膜525と電極523が導通するのを防
ぐことができる。
【0469】
絶縁膜520では、下層に位置する第3の酸化絶縁膜520c上に、第1の酸化絶縁膜5
20aと、第2の酸化絶縁膜520bとが順に積層するように設けられている。そして、
第1の酸化絶縁膜520a及び第2の酸化絶縁膜520bには開口部529が設けられて
おり、上記開口部529には、トランジスタが有する半導体膜521が設けられている。
そして、第1の酸化絶縁膜520aは、半導体膜521の端部に接するように、半導体膜
521の周囲に設けられている。また、第2の酸化絶縁膜520bは、第1の酸化絶縁膜
520aを間に挟んで半導体膜521の周囲に設けられている。第3の酸化絶縁膜520
cは、半導体膜521の下部に設けられている。
【0470】
なお、半導体膜521が酸化物半導体である場合、上記構成の絶縁膜520を用いること
により、加熱により第1の酸化絶縁膜520aから放出された酸素が、第2の酸化絶縁膜
520bを通過するのを抑制することができるので、上記酸素が第1の領域526におけ
る半導体膜521の端部に効率よく供給される。また、第3の酸化絶縁膜520cから放
出された酸素は、半導体膜521の下部に供給される。なお、酸化物半導体をチャネル形
成領域に有するトランジスタは、半導体膜521を所望の形状にエッチングするためのエ
ッチング処理、半導体膜521の端部の減圧雰囲気における暴露等により、半導体膜52
1の端部において酸素の脱離による酸素欠損が形成されやすい。そして、酸素欠損はキャ
リアの移動経路となるため、半導体膜521の端部に酸素欠損が形成されると、寄生チャ
ネルが生じ、それによりトランジスタのオフ電流が高まる。しかし、上記構成により、第
1の領域526における半導体膜521の端部に酸素欠損が形成されるのを防ぎ、オフ電
流を低減させることができる。
【0471】
なお、「加熱により一部の酸素が脱離する」とは、TDS(Thermal Desor
ption Spectroscopy:昇温脱離ガス分光法)分析にて、酸素原子に換
算しての酸素の放出量が1.0×1018atoms/cm3以上、好ましくは3.0×
1020atoms/cm3以上であることをいう。
【0472】
以下、TDS分析にて、酸素原子に換算しての酸素の脱離量の測定方法について説明する
。
【0473】
TDS分析したときの気体の脱離量は、スペクトルの積分値に比例する。このため、絶縁
膜のスペクトルの積分値と、標準試料の基準値に対する比とにより、気体の放出量を計算
することができる。標準試料の基準値とは、所定の原子を含む試料の、スペクトルの積分
値に対する原子の密度の割合である。
【0474】
例えば、標準試料である所定の密度の水素を含むシリコンウェハのTDS分析結果、及び
絶縁膜のTDS分析結果から、絶縁膜の酸素分子の脱離量(NO2)は、下記の式1で求
めることができる。質量数32のものとしてCH3OHがあるが、絶縁膜中に存在する可
能性は低い。よって、TDS分析で得られる質量数32で検出されるスペクトルの全ては
、酸素分子由来であると仮定する。また、酸素原子の同位体である質量数17の酸素原子
及び質量数18の酸素原子を含む酸素分子についても、自然界における存在比率が極微量
であるため、存在しないものと仮定する。
【0475】
NO2=NH2/SH2×SO2×α (式1)
【0476】
NH2は、標準試料から脱離した水素分子を密度で換算した値である。SH2は、標準試
料をTDS分析したときのスペクトルの積分値である。標準試料の基準値は、NH2/S
H2とする。SO2は、絶縁膜をTDS分析したときのスペクトルの積分値である。αは
、TDS分析におけるスペクトル強度に影響する係数である。式1の詳細に関しては、特
開平6-275697公報を参照する。なお、上記絶縁膜の酸素の脱離量は、電子科学株
式会社製の昇温脱離分析装置EMD-WA1000S/Wを用い、標準試料として1×1
016atoms/cm2の水素原子を含むシリコンウェハを用いて測定する。
【0477】
また、TDS分析において、一部の酸素は酸素原子として検出される。酸素分子と酸素原
子の比率は、酸素分子のイオン化率から算出することができる。なお、上述のαは酸素分
子のイオン化率を含むため、酸素分子の放出量を評価することで、酸素原子の脱離量につ
いても見積もることができる。
【0478】
なお、NO2は酸素分子の脱離量である。絶縁膜においては、酸素原子に換算したときの
酸素の放出量は、酸素分子の脱離量の2倍となる。
【0479】
上記構成において、加熱により酸素放出される絶縁膜は、酸素が過剰な酸化シリコン(S
iOX(X>2))であってもよい。酸素が過剰な酸化シリコン(SiOX(X>2))
とは、シリコン原子数の2倍より多い酸素原子を単位体積当たりに含むものである。単位
体積当たりのシリコン原子数及び酸素原子数は、ラザフォード後方散乱法により測定した
値である。
【0480】
図81(C)に示すトランジスタは、第1の酸化絶縁膜530a及び第2の酸化絶縁膜5
30bを有する絶縁膜530上に設けられている。
【0481】
第1の酸化絶縁膜530aは、加熱により一部の酸素が脱離する酸化絶縁膜を用いて形成
する。加熱により一部の酸素が脱離する酸化絶縁膜としては、化学量論的組成を満たす酸
素よりも多くの酸素を含む絶縁膜を用いることが好ましい。第1の酸化絶縁膜530aと
して、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化ガリウム、酸化ハフニ
ウム、酸化イットリウム等を用いることができる。
【0482】
第2の酸化絶縁膜530bは、酸素の拡散を防ぐ酸化絶縁膜で形成する。第2の酸化絶縁
膜530bの一例としては、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム等がある。なお、
酸化アルミニウムは、化学量論的組成を満たす酸素を含む酸化アルミニウム、または化学
量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化アルミニウム(AlOx、xは3/
2以上)とすることが好ましい。また、酸化窒化アルミニウムは、化学量論的組成を満た
す酸素を含む酸化アルミニウムの一部の酸素が窒素で置換されている。
【0483】
トランジスタは、絶縁膜530上に位置する半導体膜531と、半導体膜531上の絶縁
膜532と、絶縁膜532を間に挟んで半導体膜531と重なる位置に設けられた、ゲー
トとして機能する電極533と、半導体膜531に接続された導電膜534及び導電膜5
35とを有する。半導体膜531は、電極533と重なり、少なくとも一部がチャネル形
成領域として機能する第1の領域536と、ソースまたはドレインとして機能し、第1の
領域536を挟む第2の領域537及び第2の領域538とを有している。
【0484】
半導体膜531には、例えば、非晶質半導体、多結晶半導体、単結晶半導体などを用いる
ことができる。また、半導体膜531には、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニ
ウム、酸化物半導体など、各種の半導体を用いることができる。
【0485】
そして、トランジスタは、電極533の側部に、絶縁膜を有するサイドウォール539が
設けられており、電極533の上部に、絶縁膜540が設けられている。そして、導電膜
534及び導電膜535は、その一部がサイドウォール539に接している。導電膜53
4及び導電膜535は必ずしもサイドウォール539に接している必要は無いが、サイド
ウォール539に接するように導電膜534及び導電膜535を形成することで、導電膜
534及び導電膜535の位置が多少ずれて形成されたとしても、導電膜534及び導電
膜535と半導体膜531との接する面積が、変動するのを防ぐことができる。よって、
導電膜534及び導電膜535の位置がずれることによる、トランジスタのオン電流の変
動を防ぐことができる。
【0486】
なお、電極533の上部に位置する絶縁膜540は必ずしも設ける必要は無いが、絶縁膜
540を設けることで、導電膜534及び導電膜535の位置がずれて形成され、電極5
33の上部にかかっても、導電膜534及び導電膜535と電極533が導通するのを防
ぐことができる。
【0487】
そして、絶縁膜530は、第1の酸化絶縁膜530aの周囲に第2の酸化絶縁膜530b
が設けられている。そして、半導体膜531は、第1の領域536において上記第1の酸
化絶縁膜530aに接し、第2の領域537及び第2の領域538において第1の酸化絶
縁膜530a及び第2の酸化絶縁膜530bに接する。
【0488】
なお、半導体膜531が酸化物半導体である場合、上記構成により、加熱により第1の酸
化絶縁膜530aから放出された酸素が、第2の酸化絶縁膜530bを通過するのを抑制
することができるので、上記酸素が第1の領域536における半導体膜531の端部に効
率よく供給される。なお、酸化物半導体をチャネル形成領域に有するトランジスタは、半
導体膜531を所望の形状にエッチングするためのエッチング処理、半導体膜531の端
部の減圧雰囲気における暴露等により、半導体膜531の端部において酸素の脱離による
酸素欠損が形成されやすい。そして、酸素欠損はキャリアの移動経路となるため、半導体
膜531の端部に酸素欠損が形成されると、寄生チャネルが生じ、それによりトランジス
タのオフ電流が高まる。しかし、本発明の一態様では、上記構成により、第1の領域53
6における半導体膜531の端部に酸素欠損が形成されるのを防ぎ、オフ電流を低減させ
ることができる。
【0489】
なお、電子供与体(ドナー)となる水分または水素などの不純物が低減され、なおかつ酸
素欠損が低減されることにより高純度化された酸化物半導体(purified Oxi
de Semiconductor)は、i型(真性半導体)又はi型に限りなく近い。
そのため、上記酸化物半導体を用いたトランジスタは、オフ電流が著しく低いという特性
を有する。また、酸化物半導体のバンドギャップは、2eV以上、好ましくは2.5eV
以上、より好ましくは3eV以上である。水分または水素などの不純物濃度が十分に低減
され、なおかつ酸素欠損が低減されることにより高純度化された酸化物半導体膜を用いる
ことにより、トランジスタのオフ電流を下げることができる。
【0490】
具体的に、高純度化された酸化物半導体膜をチャネル形成領域に用いたトランジスタのオ
フ電流が低いことは、いろいろな実験により証明できる。例えば、チャネル幅が1×10
6μmでチャネル長が10μmの素子であっても、ソース電極とドレイン電極間の電圧(
ドレイン電圧)が1Vから10Vの範囲において、オフ電流が、半導体パラメータアナラ
イザの測定限界以下、すなわち1×10-13A以下という特性を得ることができる。こ
の場合、トランジスタのチャネル幅で規格化したオフ電流は、100zA/μm以下であ
ることが分かる。また、容量素子とトランジスタとを接続して、容量素子に流入または容
量素子から流出する電荷を当該トランジスタで制御する回路を用いて、オフ電流の測定を
行った。当該測定では、高純度化された酸化物半導体膜を上記トランジスタのチャネル形
成領域に用い、容量素子の単位時間あたりの電荷量の推移から当該トランジスタのオフ電
流を測定した。その結果、トランジスタのソース電極とドレイン電極間の電圧が3Vの場
合に、数十yA/μmという、さらに低いオフ電流が得られることが分かった。従って、
高純度化された酸化物半導体膜をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、オフ電流が
、結晶性を有するシリコンを用いたトランジスタに比べて著しく低い。
【0491】
なお、酸化物半導体としては、好ましくはInまたはZnを含有する酸化物を用いるとよ
く、さらに好ましくは、In及びGaを含有する酸化物、またはIn及びZnを含有する
酸化物を用いるとよい。酸化物半導体膜をi型(真性)とするため、後に説明する脱水化
または脱水素化は有効である。また、酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のば
らつきを低減するためのスタビライザーとして、それらに加えてガリウム(Ga)を含む
ことが好ましい。また、スタビライザーとしてスズ(Sn)を含むことが好ましい。また
、スタビライザーとしてハフニウム(Hf)を含むことが好ましい。また、スタビライザ
ーとしてアルミニウム(Al)を含むことが好ましい。また、スタビライザーとしてジル
コニウム(Zr)を含むことが好ましい。
【0492】
また、他のスタビライザーとして、ランタノイドである、ランタン(La)、セリウム(
Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム
(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホル
ミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ル
テチウム(Lu)のいずれか一種または複数種を含んでいてもよい。
【0493】
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属の酸化
物であるIn-Zn系酸化物、Sn-Zn系酸化物、Al-Zn系酸化物、Zn-Mg系
酸化物、Sn-Mg系酸化物、In-Mg系酸化物、In-Ga系酸化物、三元系金属の
酸化物であるIn-Ga-Zn系酸化物(IGZOとも表記する)、In-Al-Zn系
酸化物、In-Sn-Zn系酸化物、Sn-Ga-Zn系酸化物、Al-Ga-Zn系酸
化物、Sn-Al-Zn系酸化物、In-Hf-Zn系酸化物、In-La-Zn系酸化
物、In-Ce-Zn系酸化物、In-Pr-Zn系酸化物、In-Nd-Zn系酸化物
、In-Sm-Zn系酸化物、In-Eu-Zn系酸化物、In-Gd-Zn系酸化物、
In-Tb-Zn系酸化物、In-Dy-Zn系酸化物、In-Ho-Zn系酸化物、I
n-Er-Zn系酸化物、In-Tm-Zn系酸化物、In-Yb-Zn系酸化物、In
-Lu-Zn系酸化物、四元系金属の酸化物であるIn-Sn-Ga-Zn系酸化物、I
n-Hf-Ga-Zn系酸化物、In-Al-Ga-Zn系酸化物、In-Sn-Al-
Zn系酸化物、In-Sn-Hf-Zn系酸化物、In-Hf-Al-Zn系酸化物を用
いることができる。また、上記酸化物半導体は、珪素を含んでいてもよい。
【0494】
なお、例えば、In-Ga-Zn系酸化物とは、InとGaとZnを含む酸化物という意
味であり、InとGaとZnの比率は問わない。また、InとGaとZn以外の金属元素
を含んでいてもよい。In-Ga-Zn系酸化物は、無電界時の抵抗が十分に高くオフ電
流を十分に小さくすることが可能であり、また、移動度も高い。
【0495】
酸化物半導体膜は、単結晶、多結晶(ポリクリスタルともいう)または非晶質などの状態
を採る。酸化物半導体膜は、CAAC-OS(C Axis Aligned Crys
talline Oxide Semiconductor)膜であることが好ましい。
【0496】
CAAC-OS膜は、完全な単結晶ではなく、完全な非晶質でもない。CAAC-OS膜
は、非晶質相に数nmから数十nmの結晶部を有する結晶-非晶質混相構造の酸化物半導
体膜である。なお、透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Elect
ron Microscope)によるCAAC-OS膜に含まれる非晶質部と結晶部と
の境界は明確ではない。また、CAAC-OS膜には粒界(グレインバウンダリーともい
う。)は確認できない。CAAC-OS膜が粒界を有さないため、粒界に起因する電子移
動度の低下が起こりにくい。
【0497】
CAAC-OS膜に含まれる結晶部は、c軸がCAAC-OS膜の被形成面の法線ベクト
ルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃い、かつab面に垂直な方向から見て三角
形状または六角形状の原子配列を有し、c軸に垂直な方向から見て金属原子が層状または
金属原子と酸素原子とが層状に配列している。なお、結晶部どうしは、それぞれa軸およ
びb軸の向きが異なっていてもよい。本明細書において、単に垂直と記載する場合、85
°以上95°以下の範囲も含まれることとする。また、単に平行と記載する場合、-5°
以上5°以下の範囲も含まれることとする。
【0498】
なお、CAAC-OS膜中の、非晶質部および結晶部の占める割合が均一でなくてもよい
。例えば、CAAC-OS膜の表面側から結晶成長させる場合、CAAC-OS膜の表面
の近傍は結晶部の占める割合が高くなり、被形成面の近傍は非晶質部の占める割合が高く
なることがある。また、CAAC-OS膜へ不純物を添加することにより、当該不純物添
加領域において結晶部が非晶質化することもある。
【0499】
CAAC-OS膜に含まれる結晶部のc軸は、CAAC-OS膜の被形成面の法線ベクト
ルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃うため、CAAC-OS膜の形状(被形成
面の断面形状または表面の断面形状)によって、結晶部どうしのc軸の方向が異なること
がある。なお、結晶部のc軸の方向は、CAAC-OS膜が形成されたときの被形成面の
法線ベクトルまたは表面の法線ベクトルに平行な方向となる。結晶部は、成膜時または成
膜後に加熱処理などの結晶化処理を行うことで形成される。
【0500】
CAAC-OS膜を用いることで、可視光や紫外光の照射によるトランジスタの電気的特
性の変動が低減されるため、信頼性の高いトランジスタを得ることができる。
【0501】
CAAC-OS膜は、例えば、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを
用い、スパッタリング法によって成膜する。当該スパッタリング用ターゲットにイオンが
衝突すると、スパッタリング用ターゲットに含まれる結晶領域がa-b面から劈開し、a
-b面に平行な面を有する平板状またはペレット状のスパッタリング粒子として剥離する
ことがある。この場合、当該平板状のスパッタリング粒子が、結晶状態を維持したまま基
板に到達することで、CAAC-OS膜を成膜することができる。
【0502】
また、CAAC-OS膜を成膜するために、以下の条件を適用することが好ましい。
【0503】
成膜時の不純物混入を低減することで、不純物によって結晶状態が崩れることを抑制でき
る。例えば、処理室内に存在する不純物濃度(水素、水、二酸化炭素および窒素など)を
低減すればよい。また、成膜ガス中の不純物濃度を低減すればよい。具体的には、露点が
-80℃以下、好ましくは-100℃以下である成膜ガスを用いる。
【0504】
また、成膜時の基板加熱温度を高めることで、基板到達後にスパッタリング粒子のマイグ
レーションが起こる。具体的には、基板加熱温度を100℃以上740℃以下、好ましく
は200℃以上500℃以下として成膜する。成膜時の基板加熱温度を高めることで、平
板状のスパッタリング粒子が基板に到達した場合、基板上でマイグレーションが起こり、
スパッタリング粒子の平らな面が基板に付着する。
【0505】
また、成膜ガス中の酸素割合を高め、電力を最適化することで成膜時のプラズマダメージ
を軽減すると好ましい。成膜ガス中の酸素割合は、30体積%以上、好ましくは100体
積%とする。
【0506】
スパッタリング用ターゲットの一例として、In-Ga-Zn-O化合物ターゲットにつ
いて以下に示す。
【0507】
InOX粉末、GaOY粉末およびZnOZ粉末を所定のmol数で混合し、加圧処理後
、1000℃以上1500℃以下の温度で加熱処理をすることで多結晶であるIn-Ga
-Zn-O化合物ターゲットとする。なお、X、YおよびZは任意の正数である。ここで
、所定のmol数比は、例えば、InOX粉末、GaOY粉末およびZnOZ粉末が、2
:2:1、8:4:3、3:1:1、1:1:1、4:2:3または3:1:2である。
なお、粉末の種類、およびその混合するmol数比は、作製するスパッタリング用ターゲ
ットによって適宜変更すればよい。
【0508】
なお、例えば、酸化物半導体膜は、In(インジウム)、Ga(ガリウム)、及びZn(
亜鉛)を含むターゲットを用いたスパッタ法により形成することができる。In-Ga-
Zn系酸化物半導体膜をスパッタリング法で成膜する場合、好ましくは、原子数比がIn
:Ga:Zn=1:1:1、4:2:3、3:1:2、1:1:2、2:1:3、または
3:1:4で示されるIn-Ga-Zn系酸化物のターゲットを用いる。前述の原子数比
を有するIn-Ga-Zn系酸化物のターゲットを用いて酸化物半導体膜を成膜すること
で、多結晶またはCAAC-OSが形成されやすくなる。また、In、Ga、及びZnを
含むターゲットの相対密度は90%以上100%以下、好ましくは95%以上100%未
満である。相対密度の高いターゲットを用いることにより、成膜した酸化物半導体膜は緻
密な膜となる。
【0509】
なお、酸化物半導体としてIn-Zn系酸化物の材料を用いる場合、用いるターゲット中
の金属元素の原子数比は、In:Zn=50:1~1:2(モル数比に換算するとIn2
O3:ZnO=25:1~1:4)、好ましくはIn:Zn=20:1~1:1(モル数
比に換算するとIn2O3:ZnO=10:1~1:2)、さらに好ましくはIn:Zn
=15:1~1.5:1(モル数比に換算するとIn2O3:ZnO=15:2~3:4
)とする。例えば、In-Zn系酸化物である酸化物半導体膜の形成に用いるターゲット
は、原子数比がIn:Zn:O=X:Y:Zのとき、Z>1.5X+Yとする。Znの比
率を上記範囲に収めることで、移動度の向上を実現することができる。
【0510】
そして、具体的に酸化物半導体膜は、減圧状態に保持された処理室内に基板を保持し、処
理室内の残留水分を除去しつつ水素及び水分が除去されたスパッタガスを導入し、上記タ
ーゲットを用いて形成すればよい。成膜時に、基板温度を100℃以上600℃以下、好
ましくは200℃以上400℃以下としても良い。基板を加熱しながら成膜することによ
り、成膜した酸化物半導体膜に含まれる不純物濃度を低減することができる。また、スパ
ッタリングによる損傷が軽減される。処理室内の残留水分を除去するためには、吸着型の
真空ポンプを用いることが好ましい。例えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタンサ
ブリメーションポンプを用いることが好ましい。また、排気手段としては、ターボポンプ
にコールドトラップを加えたものであってもよい。クライオポンプを用いて処理室を排気
すると、例えば、水素原子、水(H2O)など水素原子を含む化合物(より好ましくは炭
素原子を含む化合物も)等が排気されるため、当該処理室で成膜した酸化物半導体膜に含
まれる不純物の濃度を低減できる。
【0511】
なお、スパッタ等で成膜された酸化物半導体膜中には、不純物としての水分または水素(
水酸基を含む)が多量に含まれていることがある。水分または水素はドナー準位を形成し
やすいため、酸化物半導体にとっては不純物である。そこで、本発明の一態様では、酸化
物半導体膜中の水分または水素などの不純物を低減(脱水化または脱水素化)するために
、酸化物半導体膜に対して、減圧雰囲気下、窒素や希ガスなどの不活性ガス雰囲気下、酸
素ガス雰囲気下、または超乾燥エア(CRDS(キャビティリングダウンレーザー分光法
)方式の露点計を用いて測定した場合の水分量が20ppm(露点換算で-55℃)以下
、好ましくは1ppm以下、好ましくは10ppb以下の空気)雰囲気下で、加熱処理を
施す。
【0512】
酸化物半導体膜に加熱処理を施すことで、酸化物半導体膜中の水分または水素を脱離させ
ることができる。具体的には、250℃以上750℃以下、好ましくは400℃以上基板
の歪み点未満の温度で加熱処理を行えば良い。例えば、500℃、3分間以上6分間以下
程度で行えばよい。加熱処理にRTA法を用いれば、短時間に脱水化または脱水素化が行
えるため、ガラス基板の歪点を超える温度でも処理することができる。
【0513】
なお、上記加熱処理により、酸化物半導体膜から酸素が脱離し、酸化物半導体膜内に酸素
欠損が形成される場合がある。よって、本発明の一態様では、酸化物半導体膜と接するゲ
ート絶縁膜などの絶縁膜として、酸素を含む絶縁膜を用いる。そして、酸素を含む絶縁膜
を形成した後、加熱処理を施すことで、上記絶縁膜から酸化物半導体膜に酸素が供与され
るようにする。上記構成により、ドナーとなる酸素欠損を低減し、酸化物半導体膜に含ま
れる酸化物半導体の、化学量論的組成を満たすことができる。半導体膜には化学量論的組
成を超える量の酸素が含まれていることが好ましい。その結果、酸化物半導体膜をi型に
近づけることができ、酸素欠損によるトランジスタの電気特性のばらつきを軽減し、電気
特性の向上を実現することができる。
【0514】
なお、酸素を酸化物半導体膜に供与するための加熱処理は、窒素、超乾燥空気、または希
ガス(アルゴン、ヘリウムなど)の雰囲気下において、好ましくは200℃以上400℃
以下、例えば250℃以上350℃以下)で行う。上記ガスは、水の含有量が20ppm
以下、好ましくは1ppm以下、より好ましくは10ppb以下であることが望ましい。
【0515】
図82(A)に示すトランジスタは、チャネルエッチ構造の、ボトムゲート型である。
【0516】
そして、
図82(A)に示すトランジスタは、絶縁表面上に形成されたゲート電極602
と、ゲート電極602上のゲート絶縁膜603と、ゲート絶縁膜603上においてゲート
電極602と重なっている半導体膜604と、半導体膜604上に形成された導電膜60
5、導電膜606とを有する。さらに、トランジスタは、半導体膜604、導電膜605
及び導電膜606上に形成された絶縁膜607を、その構成要素に含めても良い。
【0517】
なお、
図82(A)に示したトランジスタは、半導体膜604と重なる位置において絶縁
膜607上に形成されたバックゲート電極を、更に有していても良い。
【0518】
図82(B)に示すトランジスタは、チャネル保護構造の、ボトムゲート型である。
【0519】
そして、
図82(B)に示すトランジスタは、絶縁表面上に形成されたゲート電極612
と、ゲート電極612上のゲート絶縁膜613と、ゲート絶縁膜613上においてゲート
電極612と重なっている半導体膜614と、半導体膜614上に形成されたチャネル保
護膜618と、半導体膜614上に形成された導電膜615、導電膜616とを有する。
さらに、トランジスタは、チャネル保護膜618、導電膜615及び導電膜616上に形
成された絶縁膜617を、その構成要素に含めても良い。
【0520】
なお、
図82(B)に示したトランジスタは、半導体膜614と重なる位置において絶縁
膜617上に形成されたバックゲート電極を、更に有していても良い。
【0521】
チャネル保護膜618を設けることによって、半導体膜614のチャネル形成領域となる
部分に対する、後の工程における、エッチング時のプラズマやエッチング剤による膜減り
などのダメージを防ぐことができる。従ってトランジスタの信頼性を向上させることがで
きる。
【0522】
図82(C)に示すトランジスタは、ボトムコンタクト構造の、ボトムゲート型である。
【0523】
そして、
図82(C)に示すトランジスタは、絶縁表面上に形成されたゲート電極622
と、ゲート電極622上のゲート絶縁膜623と、ゲート絶縁膜623上の導電膜625
、導電膜626と、ゲート絶縁膜623上においてゲート電極622と重なっており、な
おかつ導電膜625、導電膜626上に形成された半導体膜624とを有する。さらに、
トランジスタは、導電膜625、導電膜626、及び半導体膜624上に形成された絶縁
膜627を、その構成要素に含めても良い。
【0524】
なお、
図82(C)に示したトランジスタは、半導体膜624と重なる位置において絶縁
膜627上に形成されたバックゲート電極を、更に有していても良い。
【0525】
図82(D)に示すトランジスタは、ボトムコンタクト構造の、トップゲート型である。
【0526】
そして、
図82(D)に示すトランジスタは、絶縁表面上に形成された導電膜645、導
電膜646と、導電膜645、導電膜646上に形成された半導体膜644と、半導体膜
644、導電膜645及び導電膜646上に形成されたゲート絶縁膜643と、ゲート絶
縁膜643上において半導体膜644と重なっているゲート電極642とを有する。さら
に、トランジスタは、ゲート電極642上に形成された絶縁膜647を、その構成要素に
含めても良い。
【0527】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【0528】
(実施の形態7)
本実施の形態では、本発明の半導体装置の一態様の一つである発光装置を例に挙げ、その
外観について
図83を用いて説明する。
図83(A)は、第1の基板上に形成されたトラ
ンジスタ及び発光素子を、第1の基板と第2の基板の間にシール材で封止したパネルの上
面図であり、
図83(B)は、
図83(A)のA-A’における断面図に相当する。
【0529】
第1の基板4001上に設けられた画素部4002と、回路4003と、回路4004と
を囲むように、シール材4020が設けられている。また画素部4002、回路4003
及び回路4004の上に、第2の基板4006が設けられている。よって画素部4002
、回路4003及び回路4004は、第1の基板4001と第2の基板4006の間にお
いて、シール材4020により、充填材4007と共に密封されている。
【0530】
また第1の基板4001上に設けられた画素部4002、画素部4002への信号の供給
を行う回路4003及び回路4004は、それぞれトランジスタを複数有している。
図8
3(B)では、回路4003に含まれるトランジスタ4008と、画素部4002に含ま
れるトランジスタ4009及びトランジスタ4010とを一例として示している。
【0531】
また発光素子4011は、トランジスタ4009のソースまたはドレインと接続されてい
る配線4017の一部を、その画素電極として用いている。また発光素子4011は、画
素電極の他に対向電極4012と発光層4013を有している。なお発光素子4011の
構成は、本実施の形態に示した構成に限定されない。発光素子4011から取り出す光の
方向や、トランジスタ4009の極性などに合わせて、発光素子4011の構成は適宜変
えることができる。
【0532】
また回路4003、回路4004または画素部4002に与えられる各種信号及び電圧は
、
図83(B)に示す断面図では図示されていないが、引き出し配線4014及び401
5を介して、接続端子4016から供給されている。
【0533】
本実施の形態では、接続端子4016が、発光素子4011が有する対向電極4012と
同じ導電膜から形成されている。また、引き出し配線4014は、配線4017と同じ導
電膜から形成されている。また引き出し配線4015は、トランジスタ4009、トラン
ジスタ4010、トランジスタ4008がそれぞれ有するゲート電極と、同じ導電膜から
形成されている。
【0534】
接続端子4016は、FPC4018が有する端子と、異方性導電膜4019を介して電
気的に接続されている。
【0535】
なお、第1の基板4001、第2の基板4006として、ガラス、金属(代表的にはステ
ンレス)、セラミックス、プラスチックを用いることができる。但し、発光素子4011
からの光の取り出し方向に位置する第2の基板4006は、透光性を有していなければな
らない。よって第2の基板4006は、ガラス板、プラスチック板、ポリエステルフィル
ムまたはアクリルフィルムのような透光性を有する材料を用いることが望ましい。
【0536】
また、充填材4007としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹
脂または熱硬化樹脂を用いることができる。本実施の形態では充填材4007として窒素
を用いる例を示している。
【0537】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【0538】
(実施の形態8)
本発明の一態様に係る回路100は、表示装置の画素部に用いることができる。或いは、
本発明の一態様に係る回路100は、表示装置の駆動回路に用いることができる。
【0539】
図84(A)は、本発明の一態様に係る半導体装置の一つに相当する、表示装置のブロッ
ク図である。
図84(A)に示す表示装置は、画素部700と、駆動回路701と、駆動
回路702とを有する。画素部700には、画素として機能する回路100が複数設けら
れている。駆動回路701及び駆動回路702は、各回路100に、各種の一定電圧や信
号を供給する機能を有する。
【0540】
図84(B)は、本発明の一態様に係る半導体装置の一つに相当する、表示装置のブロッ
ク図である。
図84(B)に示す表示装置は、画素部711と、駆動回路710とを有す
る。駆動回路710には、電流源として機能する回路100が複数設けられている。回路
100から出力された電流は、画素部711が有する画素(pixel)に供給される。
【0541】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【0542】
(実施の形態9)
本発明の一態様に係る半導体装置は、表示機器、パーソナルコンピュータ、記録媒体を備
えた画像再生装置(代表的にはDVD:Digital Versatile Disc
等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを有する装置)に用いること
ができる。その他に、本発明の一態様に係る半導体装置を用いることができる電子機器と
して、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯情報端末、電子書籍、ビデオカメラ、デジ
タルスチルカメラなどのカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ
)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプレ
イヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンター、プリンター複合機、現金自動預け入れ
払い機(ATM)、自動販売機などが挙げられる。これら電子機器の具体例を
図85、図
91に示す。
【0543】
図85(A)は携帯型ゲーム機であり、筐体5001、筐体5002、表示部5003、
表示部5004、マイクロフォン5005、スピーカー5006、操作キー5007、ス
タイラス5008等を有する。本発明の一態様に係る半導体装置は、携帯型ゲーム機の駆
動を制御するための集積回路、または表示部5003、表示部5004に用いることがで
きる。なお、
図85(A)に示した携帯型ゲーム機は、2つの表示部5003と表示部5
004とを有しているが、携帯型ゲーム機が有する表示部の数は、これに限定されない。
【0544】
図85(B)は表示機器であり、筐体5201、表示部5202、支持台5203等を有
する。本発明の一態様に係る半導体装置は、表示機器の駆動を制御するための集積回路、
または表示部5202に用いることができる。なお、表示機器には、パーソナルコンピュ
ータ用、TV放送受信用、広告表示用などの全ての情報表示用表示機器が含まれる。
【0545】
図85(C)はノート型パーソナルコンピュータであり、筐体5401、表示部5402
、キーボード5403、ポインティングデバイス5404等を有する。本発明の一態様に
係る半導体装置は、ノート型パーソナルコンピュータの駆動を制御するための集積回路、
または表示部5402に用いることができる。
【0546】
図85(D)は携帯情報端末であり、筐体5601、表示部5602、操作キー5603
等を有する。
図85(D)に示す携帯情報端末は、モデムが筐体5601に内蔵されてい
ても良い。本発明の一態様に係る半導体装置は、携帯情報端末の駆動を制御するための集
積回路、または表示部5602に用いることができる。
【0547】
図85(E)は携帯電話であり、筐体5801、表示部5802、音声入力部5803、
音声出力部5804、操作キー5805、受光部5806等を有する。受光部5806に
おいて受信した光を電気信号に変換することで、外部の画像を取り込むことができる。本
発明の一態様に係る半導体装置は、携帯電話の駆動を制御するための集積回路、または表
示部5802に用いることができる。
【0548】
図85(F)は携帯情報端末であり、第1筐体5901、第2筐体5902、第1表示部
5903、第2表示部5904、接続部5905、操作キー5906等を有する。第1表
示部5903は第1筐体5901に設けられており、第2表示部5904は第2筐体59
02に設けられている。そして、第1筐体5901と第2筐体5902とは、接続部59
05により接続されており、第1筐体5901と第2筐体5902の間の角度は、接続部
5905により変更できる。第1表示部5903における映像を、接続部5905におけ
る第1筐体5901と第2筐体5902との間の角度に従って、切り替える構成としても
良い。本発明の一態様に係る半導体装置は、携帯情報端末の駆動を制御するための集積回
路、または第1表示部5903、第2表示部5904に用いることができる。また、第1
表示部5903及び第2表示部5904の少なくとも一方に、位置入力装置としての機能
が付加された表示装置を用いるようにしても良い。なお、位置入力装置としての機能は、
表示装置にタッチパネルを設けることで付加することができる。或いは、位置入力装置と
しての機能は、フォトセンサとも呼ばれる光電変換素子を表示装置の画素部に設けること
でも、付加することができる。
【0549】
次に、
図91を参照して、本発明に係る携帯電話の構成例について説明する。
【0550】
表示パネル900501はハウジング900530に脱着自在に組み込まれる。ハウジン
グ900530は表示パネル900501のサイズに合わせて、形状や寸法を適宜変更す
ることができる。表示パネル900501を固定したハウジング900530はプリント
基板900531に嵌入されモジュールとして組み立てられる。
【0551】
また、表示パネル900501、タッチパネル、FPC、プリント基板、フレーム、放熱
板、光学フィルム、偏光板、位相差板、プリズムシート、拡散板、バックライト、導光板
、LED、CFL、フロントライト、コントローラ、ドライバ回路、または、信号処理回
路、などを設けて、表示モジュールとすることができる。また、表示パネル900501
の対向基板(封止基板)に、タッチパネル機能を持たせるようにすることも可能である。
【0552】
表示パネル900501はFPC900513を介してプリント基板900531に接続
される。プリント基板900531には、スピーカー900532、マイクロフォン90
0533、送受信回路900534、CPU及びコントローラなどを含む信号処理回路9
00535が形成されている。このようなモジュールと、入力手段900536、バッテ
リー900537を組み合わせ、筐体900539に収納する。表示パネル900501
の画素部は筐体900539に形成された開口窓から視認できように配置する。
【0553】
表示パネル900501は、画素部と一部の周辺駆動回路(複数の駆動回路のうち動作周
波数の低い駆動回路)を基板上にTFTを用いて一体形成し、一部の周辺駆動回路(複数
の駆動回路のうち動作周波数の高い駆動回路)をICチップ上に形成し、そのICチップ
をCOG(Chip On Glass)で表示パネル900501に実装しても良い。
あるいは、そのICチップをTAB(Tape Automated Bonding)
やプリント基板を用いてガラス基板と接続してもよい。このような構成とすることで、表
示装置の低消費電力化を図り、携帯電話機の一回の充電による使用時間を長くすることが
できる。また、携帯電話機の低コスト化を図ることができる。
【0554】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【0555】
なお、ある一つの実施の形態において述べる図または文章において、その一部分を取り出
して、発明の一態様を構成することは可能である。したがって、ある部分を述べる図また
は文章が記載されている場合、その一部分の図または文章を取り出した内容も、発明の一
態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能であるものと
する。そのため、例えば、能動素子(トランジスタ、ダイオードなど)、配線、受動素子
(容量素子、抵抗素子など)、導電層、絶縁層、半導体層、有機材料、無機材料、部品、
装置、動作方法、製造方法などが単数又は複数記載された図面または文章において、その
一部分を取り出して、発明の一態様を構成することが可能であるものとする。例えば、N
個(Nは整数)の回路素子(トランジスタ、容量素子等)を有して構成される回路図から
、M個(Mは整数で、M<N)の回路素子(トランジスタ、容量素子等)を抜き出して、
発明の一態様を構成することは可能である。別の例としては、N個(Nは整数)の層を有
して構成される断面図から、M個(Mは整数で、M<N)の層を抜き出して、発明の一態
様を構成することは可能である。さらに別の例としては、N個(Nは整数)の要素を有し
て構成されるフローチャートから、M個(Mは整数で、M<N)の要素を抜き出して、発
明の一態様を構成することは可能である。
【0556】
なお、ある一つの実施の形態において述べる図または文章において、少なくとも一つの具
体例が記載される場合、その具体例の上位概念を導き出すことは、当業者であれば容易に
理解される。したがって、ある一つの実施の形態において述べる図または文章において、
少なくとも一つの具体例が記載される場合、その具体例の上位概念も、発明の一態様とし
て開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。
【0557】
なお、少なくとも図に記載した内容(図の中の一部でもよい)は、発明の一態様として開
示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。したがって、ある
内容について、図に記載されていれば、文章を用いて述べていなくても、その内容は、発
明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である
。同様に、図の一部を取り出した図についても、発明の一態様として開示されているもの
であり、発明の一態様を構成することが可能である。
【0558】
(実施の形態10)
図49(A)において、一例として、スイッチ11、スイッチ12、スイッチ13、スイ
ッチ14、スイッチ914に、トランジスタを用いた場合の、回路100の構成を、
図8
8(A)に示す。
【0559】
図88(A)に示す回路100では、スイッチ11としてトランジスタ11tを用い、ス
イッチ12としてトランジスタ12tを用い、スイッチ13としてトランジスタ13tを
用い、スイッチ14としてトランジスタ14tを用い、スイッチ914としてトランジス
タ914tを用いている。
【0560】
なお、
図88(A)では、トランジスタ11t、トランジスタ12t、トランジスタ13
t、トランジスタ14t、及びトランジスタ914tが全てnチャネル型である場合を一
例として示している。トランジスタ11t、トランジスタ12t、トランジスタ13t、
トランジスタ14t、及びトランジスタ914tを全て同じ極性のトランジスタとするこ
とで、これらのトランジスタを少ない工程数で製造できる。ただし、本発明の実施形態の
一態様は、これに限定されず、異なる極性のトランジスタを用いることも可能である。
【0561】
また、
図88(A)では、トランジスタ11tは、ゲートが配線31に接続されている。
配線31に供給される電位に従って、トランジスタ11tは導通状態または非導通状態と
なる。トランジスタ12tは、ゲートが配線32に接続されている。配線32に供給され
る電位に従って、トランジスタ12tは導通状態または非導通状態となる。トランジスタ
13tは、ゲートが配線32に接続されている。配線32に供給される電位に従って、ト
ランジスタ13tは導通状態または非導通状態となる。トランジスタ14tは、ゲートが
配線34に接続されている。配線34に供給される電位に従って、トランジスタ14tは
導通状態または非導通状態となる。したがって、配線31、配線32、及び配線34の電
位は、パルス状であり、一定ではないことが望ましいが、本発明の実施形態の一態様は、
これに限定されない。または、配線31、配線32、及び配線34は、ゲート信号線、選
択信号線、または、スキャン線としての機能を有している。
【0562】
なお、
図88(A)では、トランジスタ12tのゲートと、トランジスタ13tのゲート
とが、共に配線32に接続されている場合を例示している。本発明の一態様では、トラン
ジスタ12tのゲートが配線32に接続され、トランジスタ13tのゲートが、配線33
に接続されていても良い。
【0563】
また、配線31、配線32、及び配線34において、その中の少なくとも2本の配線は、
互いに接続させることが可能である。または、配線31、配線32、及び配線34の少な
くとも1本は、別の回路100の配線31、配線32、及び配線34の少なくとも1本と
接続させることが可能である。
【0564】
また、本発明の一態様に係る半導体装置は、
図88(A)に示した回路100に加えて、
回路100に各種の一定電圧や信号を供給する機能を有する回路を、さらに有していても
良い。
【0565】
次いで、電位Vsigに応じた輝度で発光素子104aを発光させる期間T14における
、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vgs101)の値を、シミュレーション
により求めた。シミュレーションでは、
図88(A)に示した回路100を用いた。
【0566】
図88(B)は、シミュレーションにおける、
図88(A)に示した回路100が有する
各配線の電位のタイミングチャートである。具体的に、
図88(B)では、配線21の電
位と、配線34の電位と、配線32の電位と、配線31の電位と、配線932の電位の時
間変化を示す。なお、
図88(B)では、配線34、配線32、配線31、配線932に
は、ハイレベルの電位GVDDまたはローレベルの電位GVSSが与えられる。
【0567】
なお、シミュレーションは、配線22における電位Vi2の値が互いに異なる、条件Aま
たは条件Bを用いて行った。具体的に、条件Aと条件Bにおける各配線の電位の値を下記
の表1に示す。なお、表1では、配線24の電位Vcatを0Vとし、電位Vsig、電
位Vi1、電位VDD、電位Vi2、電位GVDD、電位GVSSの値を、電位Vcat
との電位差で示している。
【0568】
【0569】
また、シミュレーションにおける各トランジスタのチャネル長Lとチャネル幅Wの比は、
トランジスタ101ではL/W=10μm/10μm、トランジスタ12t及びトランジ
スタ13tではL/W=6μm/5μm、トランジスタ11t、トランジスタ14t、及
びトランジスタ914tではL/W=6μm/9μmとした。そして、
図88(A)に示
した回路100が有する全てのトランジスタにおいて、半導体膜とソース電極またはドレ
イン電極とが接している領域を領域Aとすると、領域Aとゲート電極とが重なる領域にお
ける、チャネル長方向の長さ(Lov)を、2.0μmとした。
【0570】
図88(B)に示した期間T14では、トランジスタ101のゲートソース間電圧(Vg
s101)は、電圧Vsig+Vth-Vi1となる。よって、
図88(A)に示した回
路100において、Vgs101-Vth=Vsig-Vi1となるため、Vgs101
-Vthは、理想的には、閾値電圧Vthの値に関わらず一定の値を有する。
【0571】
図89に、条件Aを用いた場合における、シミュレーションにより得られたVgs101
-Vthの値を示す。
図89では、横軸が閾値電圧Vth(V)、縦軸がVgs101-
Vth(V)の値を示す。
図89では、閾値電圧Vthの値を変化させても、Vgs10
1-Vthの値がほぼ均一であり、そのばらつきは10%~15%程度に抑えられている
ことが分かる。
【0572】
図90に、条件Bを用いた場合における、シミュレーションにより得られたVgs101
-Vthの値を示す。
図90では、横軸が閾値電圧Vth(V)、縦軸がVgs101-
Vth(V)の値を示す。
図90では、閾値電圧Vthの値が正の値を有する場合だと、
Vgs101-Vthの値はほぼ均一である。しかし、閾値電圧Vthの値が負の値を有
する場合、閾値電圧Vthが負の方向に大きくなるほど、Vgs101-Vthの値が大
きくなっており、Vgs101-Vthの値が閾値電圧Vthの値に依存していることが
分かる。
【0573】
上記シミュレーションの結果から、本発明の一態様に係る半導体装置では、トランジスタ
101がノーマリオンであっても、すなわち閾値電圧Vthがマイナスの値を有していて
も、トランジスタ101の閾値電圧Vthを加味した値になるよう、トランジスタ101
のゲートソース間電圧(Vgs101)を設定することができることが証明された。
【0574】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、
応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の
一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせる、適用
する、或いは置き換えて実施することができる。
【符号の説明】
【0575】
11 スイッチ
11t トランジスタ
12 スイッチ
12t トランジスタ
13 スイッチ
13t トランジスタ
14 スイッチ
14a スイッチ
14b スイッチ
14t トランジスタ
15 スイッチ
21 配線
22 配線
23 配線
23a 配線
23b 配線
24 配線
25 配線
26 配線
27 配線
31 配線
32 配線
33 配線
34 配線
100 回路
101 トランジスタ
102 容量素子
103 容量素子
104 負荷
104a 発光素子
104b 発光素子
105 容量素子
105a 容量素子
105b 容量素子
201 回路
202 回路
203 回路
203a 回路
203b 回路
204 回路
205 回路
206 回路
207 回路
208 回路
220 回路
221 回路
222 回路
222a 回路
222b 回路
223 回路
224 回路
225 回路
226 回路
230 回路
231 回路
232 回路
233 回路
300 半導体膜
301 半導体膜
302 導電膜
303 導電膜
304 導電膜
305 導電膜
306 導電膜
307 導電膜
308 導電膜
309 導電膜
320 半導体膜
321 半導体膜
322 半導体膜
323 半導体膜
324 導電膜
325 導電膜
326 導電膜
327 導電膜
328 導電膜
329 導電膜
330 導電膜
331 導電膜
332 導電膜
333 半導体膜
501 半導体膜
502 絶縁膜
503 電極
504 導電膜
505 導電膜
506 第1の領域
507 第2の領域
508 第2の領域
509 第3の領域
510 第3の領域
520 絶縁膜
520a 第1の酸化絶縁膜
520b 第2の酸化絶縁膜
520c 第3の酸化絶縁膜
521 半導体膜
522 絶縁膜
523 電極
524 導電膜
525 導電膜
526 第1の領域
527 サイドウォール
528 絶縁膜
529 開口部
530 絶縁膜
530a 第1の酸化絶縁膜
530b 第2の酸化絶縁膜
531 半導体膜
532 絶縁膜
533 電極
534 導電膜
535 導電膜
536 第1の領域
537 第2の領域
538 第2の領域
539 サイドウォール
540 絶縁膜
550 第2の領域
551 第2の領域
602 ゲート電極
603 ゲート絶縁膜
604 半導体膜
605 導電膜
606 導電膜
607 絶縁膜
612 ゲート電極
613 ゲート絶縁膜
614 半導体膜
615 導電膜
616 導電膜
617 絶縁膜
618 チャネル保護膜
622 ゲート電極
623 ゲート絶縁膜
624 半導体膜
625 導電膜
626 導電膜
627 絶縁膜
642 ゲート電極
643 ゲート絶縁膜
644 半導体膜
645 導電膜
646 導電膜
647 絶縁膜
700 画素部
701 駆動回路
702 駆動回路
710 駆動回路
711 画素部
800 基板
801 絶縁膜
802 絶縁膜
803 絶縁膜
814 スイッチ
914 スイッチ
914t トランジスタ
932 配線
4001 基板
4002 画素部
4003 回路
4004 回路
4006 基板
4007 充填材
4008 トランジスタ
4009 トランジスタ
4010 トランジスタ
4011 発光素子
4012 対向電極
4013 発光層
4014 配線
4015 配線
4016 接続端子
4017 配線
4018 FPC
4019 異方性導電膜
4020 シール材
5001 筐体
5002 筐体
5003 表示部
5004 表示部
5005 マイクロフォン
5006 スピーカー
5007 操作キー
5008 スタイラス
5201 筐体
5202 表示部
5203 支持台
5401 筐体
5402 表示部
5403 キーボード
5404 ポインティングデバイス
5601 筐体
5602 表示部
5603 操作キー
5801 筐体
5802 表示部
5803 音声入力部
5804 音声出力部
5805 操作キー
5806 受光部
5901 筐体
5902 筐体
5903 表示部
5904 表示部
5905 接続部
5906 操作キー
9206 回路
900501 表示パネル
900513 FPC
900530 ハウジング
900531 プリント基板
900532 スピーカー
900533 マイクロフォン
900534 送受信回路
900535 信号処理回路
900536 入力手段
900537 バッテリー
900539 筐体