特許 7154449 電子部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-06

(45)【発行日】2022-10-17

(54)【発明の名称】電子部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/02 20060101AFI20221007BHJP

   B23P 19/00 20060101ALI20221007BHJP

【ＦＩ】

H05K13/02 E

B23P19/00 301G

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2022027018

(22)【出願日】2022-02-24

【審査請求日】2022-02-24

(31)【優先権主張番号】P 2021176681

(32)【優先日】2021-10-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(74)【代理人】

【識別番号】100112564

【弁理士】

【氏名又は名称】大熊 考一

(74)【代理人】

【識別番号】100163500

【弁理士】

【氏名又は名称】片桐 貞典

(74)【代理人】

【識別番号】230115598

【弁護士】

【氏名又は名称】木内 加奈子

(72)【発明者】

【氏名】広瀬 圭剛

【審査官】寺川 ゆりか

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１７６０２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－０５５５９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／０２

Ｂ２３Ｐ １９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品及び前記電子部品を覆う保護シートが載置されたトレイを複数枚積み重ねた状態で保持する供給部と、
前記供給部の下方から前記トレイを一枚ずつ受け取り、前記供給部から前記電子部品をピックアップする位置へと前記トレイを搬送するステージと、
前記電子部品をピックアップする位置において、前記トレイに載置された前記電子部品をピックアップするヘッドと、
前記ヘッドから前記電子部品を受け取り、基板に前記電子部品を圧着する圧着部と、
前記ステージが前記供給部から前記電子部品をピックアップする位置へと前記トレイを搬送する経路上に設けられ、前記搬送される前記トレイから前記保護シートを除去する除去部と、
を備え、
前記トレイには、前記電子部品が格納される溝が設けられ、
前記除去部は、負圧により前記保護シートを吸着保持する吸着部であって、前記吸着部は、前記溝に対向する位置で前記保護シートを吸着保持する
ことを特徴とする電子部品実装装置。

【請求項2】

前記吸着部は、前記保護シートに接近し、所定の高さで停止して負圧を発生させる、
請求項１に記載の電子部品実装装置。

【請求項3】

前記吸着部は、負圧を生じさせながら前記保護シートに接近する、
請求項１に記載の電子部品実装装置。

【請求項4】

前記保護シートが回収される回収箱を更に備え、
前記回収箱は、前記吸着部の真下に設けられる、
請求項１に記載の電子部品実装装置。

【請求項5】

前記経路上において、前記供給部と前記除去部との間に設けられ、前記保護シートを検出するシート検出部を更に備える請求項１に記載の電子部品実装装置。

【請求項6】

前記経路上において、前記除去部と前記電子部品をピックアップする位置との間に設けられ、前記保護シートが除去されたか否かを検出する除去検出部を更に備える請求項１に記載の電子部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品実装装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイなどの表示装置を構成する表示パネルの製造工程において、表示パネルを構成するガラス基板に、駆動用のドライバＩＣ等のチップ状電子部品を実装する工程がある。このような実装は、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）実装と称され、また、ＣＯＧ実装には、ＣＯＧ実装装置と称される電子部品実装装置が用いられる。

【0003】

ＣＯＧ実装装置における電子部品の供給部は、電子部品が格納されるトレイが複数枚積み重ねられて構成される。具体的には、トレイの上面に溝が整列して設けられ、この溝に電子部品が格納されたトレイが、複数枚積み重ねられている。ところで、積み重ねられたトレイには、各トレイの間に電子部品を保護する保護紙などの保護シートが存在する場合がある。この保護シートは、電子部品をピックアップする際には妨げとなるので、積み重ねられたトレイを一段ずつ崩し、人の手により一枚ずつ取り除くという工程を必要としていた。その後、再度トレイを積み重ねることにより、電子部品の供給部としていた。このような保護シートを取り除く工程において、トレイに触れて生じた振動により溝の内部で電子部品が横転し、ピックアップに支障が生じたり、電子部品に傷が付いたり、トレイをひっくり返してしまうなどして、電子部品を損失するおそれがあった。

【0004】

このような課題を解決するために、予め人の手により保護シートを取り除くのではなく、電子部品をピックアップする際に、機械的に保護シートを除去することが検討されている。例えば、特許文献１に示すように、まず、最上段のトレイに載置された保護シートが真空吸着により除去され、続いて、このトレイに格納された電子部品が順次ピックアップされる。また、最上段のトレイが空になると、空になったトレイがピックアップされて除去される。そして、積み重ねられたトレイが上昇し、次段のトレイに載置された保護シートが除去され、このトレイに格納された電子部品が順次ピックアップされる。このようなピックアップ動作は、全てのトレイが空になるまで続けられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開平９－５５５９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、積み上げられたトレイの最上段においては、各トレイの歪みや寸法誤差が累積することにより、その上面の高さ位置にばらつきが生じたり、その上面に傾きが生じたりする場合があった。このような場合、電子部品をピックアップする高さ位置が安定せず、電子部品をピックアップできないことや、ピックアップ出来ても十分に保持できずに搬送途中で落としてしまい、電子部品を損失することがあった。また、保護シートを除去するために下降してきた吸着ノズルなどの除去部がトレイの上面に衝突し、この際生じる振動により、溝の内部で電子部品が横転し、ピックアップに支障が生じるおそれがあった。

【0007】

本発明は、トレイに載置された電子部品を確実にピックアップし、トレイを覆う保護シートを除去することが出来る電子部品実装装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の目的を達成するために、本発明の電子部品実装装置は、電子部品及び前記電子部品を覆う保護シートが載置されたトレイを複数枚積み重ねた状態で保持する供給部と、前記供給部の下方から前記トレイを一枚ずつ受け取り、前記供給部から前記電子部品をピックアップする位置へと前記トレイを搬送するステージと、前記電子部品をピックアップする位置において、前記トレイに載置された前記電子部品をピックアップするヘッドと、前記ヘッドから前記電子部品を受け取り、基板に前記電子部品を圧着する圧着部と、前記ステージが前記供給部から前記電子部品をピックアップする位置へと前記トレイを搬送する経路上に設けられ、前記搬送される前記トレイから前記保護シートを除去する除去部と、を備え、前記トレイには、前記電子部品が格納される溝が設けられ、前記除去部は、負圧により前記保護シートを吸着保持する吸着部であって、前記吸着部は、前記溝に対向する位置で前記保護シートを吸着保持する。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、トレイに載置された電子部品を確実にピックアップし、トレイを覆う保護シートを除去することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態に適用するトレイを示す斜視図である。

【図2】実施形態の電子部品実装装置の全体構成を示す平面図である。

【図3】実施形態のチップ状電子部品の実装工程を示す説明図である。

【図4】実施形態の供給部のトレイ受け取り工程を示す説明図である。

【図5】実施形態のステージ及び除去部を示す側面図である。

【図6】実施形態の制御部を示す機能ブロック図である。

【図7】実施形態のチップ状電子部品の実装手順を示すフローチャートである。

【図8】実施形態の吸着位置を示す説明図である。

【図9】変形例の除去部を示す図である。

【図10】変形例の除去部を示す図である。

【図11】変形例の除去部を示す図である。

【図12】変形例のステージの移動経路を示す図である。

【図13】変形例のステージの移動経路を示す図である。

【図14】変形例の吸着の様子を示す図である。

【図15】変形例のトレイ交換を示す説明図である。

【図16】変形例のトレイ交換を示す説明図である。

【図17】変形例のステージを示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。なお、図面は、各部材、各構成部を模式的に示したものであり、その寸法や間隔等を正確に示したものではない。

【0012】

［構成］
（電子部品及びトレイ）
本実施形態における電子部品Ｃは、ドライバＩＣなどのチップ状電子部品である。電子部品Ｃは、図１に示すトレイＴに格納される。具体的には、電子部品Ｃは、電極部分を上に向けた状態で、トレイＴの上面に設けられた溝Ｇに格納される。この溝Ｇは、例えば１０本×２列の計２０本設けられ、２０個の電子部品Ｃを格納可能である。また、トレイＴの上面には、電子部品Ｃを覆う保護シートＰが載置される（図４参照）。保護シートＰは、例えば紙やフィルムで、帯電しにくい性質を有することが好ましい。トレイＴは、溝Ｇに電子部品Ｃが格納され、保護シートＰが載置された状態で複数枚重ねられ、電子部品実装装置の供給部１０に保持される。

【0013】

なお、電子部品Ｃの実装対象は、電子部品Ｃの電極と電気的な接続を行う部品である。本実施形態では、実装対象は、表示装置を構成する表示パネルである基板Ｄである。つまり、表示機能及び電極を備えた部材である。

【0014】

（電子部品実装装置）
本実施形態の電子部品実装装置の構成を、図２乃至図６を参照して説明する。図２及び図３に示すように、電子部品実装装置は、供給部１０と、ステージ２０と、検出部３０と、除去部４０と、検出部５０と、移送部６０と、実装部７０と、制御部８０と、を有する。本実施形態の電子部品実装装置は、チップ状電子部品である電子部品Ｃを実装するＣＯＧ実装装置である。

【0015】

供給部１０は、電子部品Ｃが格納されたトレイＴを供給する。ステージ２０は、トレイＴを供給部１０から移送部６０へと搬送する。移送部６０は、ステージ２０に搬送されたトレイＴから電子部品Ｃを受け取り、実装部７０に渡す。実装部７０は、電子部品Ｃを、実装対象である基板Ｄに圧着する。

【0016】

検出部３０、５０は、ステージ２０に載置されたトレイＴに、保護シートＰが載置されているか否かを検出する。除去部４０は、ステージ２０に載置されたトレイＴから、保護シートＰを除去する。

【0017】

図２において、移送部６０と実装部７０の圧着部７２とが並ぶ方向をＹ方向とし、ステージ２０の盤面に平行な平面において、Ｙ方向に直交する方向をＸ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図中、紙面を貫く方向である。本実施形態においては、Ｚ方向が鉛直方向となるように電子部品実装装置が設置され、これにより、ＸＹ平面は水平面となる。この場合、Ｚ方向は高さ方向であり、設置面側を下方、反対側を上方と呼ぶ。すなわち、下方とは重力の向きである。また、ＸＹ平面に平行な回転方向をθ方向、ＺＸ平面に平行な回転方向をα方向とする。なお、これらの方向は、電子部品実装装置の各構成の位置関係を述べるための表現であり、設置面に設置される際の位置関係や方向を限定するものではない。

【0018】

（供給部）
供給部１０は、図４に示すように、電子部品Ｃが格納されたトレイＴを供給する。トレイＴは、上述のように複数枚積み重ねられた状態で、供給部１０に保持される。各トレイＴの電子部品Ｃの載置部分は保護シートＰにより覆われている。なお、図４では説明の便宜上、最下段のトレイＴを覆う保護シートＰのみを図示している。供給部１０は、フレーム１１、把持部１２を有する。フレーム１１は、平行な一対の長尺の部材である。一対のフレーム１１の間隔は、トレイＴの幅に近似しているが、トレイＴが上下に通過可能となっている。把持部１２は、フレーム１１の対向する側面に設けられ、図示しない駆動機構によって、トレイＴの側面に接離する方向に進退可能に設けられている。これにより、把持部１２は、図４（Ａ）に示すように、複数枚積み重ねられたトレイＴの最下段を把持する。また、把持部１２に把持されるトレイＴの下面は、図４（Ｂ）に示すように、電子部品Ｃを収容した面とは反対側の面であり、ステージ２０がトレイＴを受け取る位置となる。

【0019】

本実施形態の供給部１０は、図２に示すように、平面視で、Ｘ軸に沿って左右に一対設けられている。具体的には、一方の供給部１０ａと他方の供給部１０ｂとは、平面視で移送部６０に対して対称な位置に設けられている。以下、供給部１０ａと１０ｂとを区別しない場合には、単に供給部１０と呼ぶ。

【0020】

（ステージ）
ステージ２０は、図４、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、供給部１０と後述する移送部６０の下方に設けられ、供給部１０が保持する複数枚積み重ねられたトレイＴの最下段からトレイＴを一枚ずつ受け取り、移送部６０がこのトレイＴから電子部品Ｃをピックアップする位置へと搬送する。ステージ２０は、保持部２１と、支柱部２２と、を有する。

【0021】

保持部２１は、上面の外縁がトレイＴの外縁以上のサイズの略直方体形状である。保持部２１の上面には、図示はしないが、空気圧回路に接続された吸着穴が形成されており、トレイＴを負圧により吸着保持する。なお、トレイＴの底面には、静電気防止の観点から、凹凸形状が設けられている場合がある。この場合、凹凸部分では十分な吸着力が得られない可能性があるため、凹凸部分を避けて、平坦面に対応する位置に、吸着穴を形成することが好ましい。例えば、トレイＴの底面の縁部に対応する位置に、吸着穴を設けて、安定した吸着を確保する。支柱部２２は、保持部２１の底部を支持する略直方体形状の部材である。

【0022】

ステージ２０には、移動機構２３が設けられる。移動機構２３は、ブラケット２３１、リニアガイド２３２、スライダ２３３を含み構成され、ＸＹ平面に沿って保持部２１を移動させる。ブラケット２３１は、図５（Ａ）に示すように、ＸＹ平面におけるステージ２０の移動方向に沿って延設される断面視でＬ字形状の長尺部材であり、リニアガイド２３２を支持する。リニアガイド２３２は、図５（Ｂ）に示すように、ＸＹ平面におけるステージ２０の移動方向に沿って延設される略直方体形状のガイド部材であり、スライダ２３３をスライド可能に支持する。スライダ２３３は、例えば図示しない駆動源及びボールねじにより駆動され、リニアガイド２３２に沿って移動可能に設けられる。スライダ２３３は、支柱部２２の下端に設けられ、保持部２１をＸＹ方向に移動させる。さらに、移動機構２３は、図示しない昇降機構を備え、この昇降機構により保持部２１をＺ方向に移動させる。このように、移動機構２３は、ステージ２０をＸＹＺ方向に移動させる。移動機構２３により、ステージ２０は、供給部１０と移送部６０との間で移動可能に設けられる。また、ステージ２０は、この経路上で一時停止することも可能である。

【0023】

本実施形態のステージ２０は、一対の供給部１０に対応して、一対設けられている。以下、一方の供給部１０ａに対応するステージ２０をステージ２０ａ、他方の供給部１０ｂに対応するステージ２０をステージ２０ｂと呼び、両者を区別しない場合には、単にステージ２０と呼ぶ。

【0024】

（検出部及び除去部）
検出部３０、５０及び除去部４０は、図２及び図３に示すように、供給部１０から移送部６０が電子部品Ｃをピックアップする位置までのステージ２０の経路上であって、ステージ２０よりも上方に設けられる。なお、検出部３０をシート検出部、検出部５０を除去検出部ということもある。

【0025】

検出部３０は、供給部１０から除去部４０までのステージ２０の経路上に設けられ、ステージ２０に載置されたトレイＴに載置されている保護シートＰを検出する。検出部３０は、例えば色センサなどのセンサである。なお、本実施形態の色センサは、投光部と受光部が一体となっている反射型のものとして説明する。保護シートＰは主に白に近い色なので、検出部３０は、ステージ２０の上方から光を照射し、その反射光が白色か、そうでないかで、トレイＴに載置された保護シートＰを検出する。

【0026】

除去部４０は、検出部３０から移送部６０が電子部品Ｃをピックアップする位置までのステージ２０の経路上に設けられ、ステージ２０に載置されたトレイＴから保護シートＰを除去する。除去部４０は、保護シートＰを吸着保持する吸着部４１と、吸着部４１を支持するアーム４２と、アーム４２を支持し、吸着部４１をＺ方向に移動させる昇降機構４３と、を有する。

【0027】

吸着部４１は、図示しない空気圧回路に接続され、この空気圧回路が生じせしめる負圧によって保護シートＰを吸着保持する。アーム４２は、図５（Ａ）に示すように、Ｌ字形状の支持部材であり、その一端に吸着部４１を支持する。また、アーム４２の他端には、昇降機構４３が設けられる。昇降機構４３は、ブラケット４３１、リニアガイド４３２、スライダ４３３を含み構成される。ブラケット４３１は、図５（Ａ）に示すように、ＸＹ平面におけるステージ２０の移動方向に沿って延設される断面視でＬ字形状の部材であり、リニアガイド４３２を支持する。また、ブラケット４３１は、ブラケット２３１に支持される。リニアガイド４３２は、図５（Ｂ）に示すように、Ｚ方向に延設される略直方体形状のガイド部材であり、スライダ４３３をスライド可能に支持する。スライダ４３３は、例えば図示しない駆動源及びボールねじにより駆動され、リニアガイド４３２に沿って移動可能に設けられる。また、スライダ４３３は、アーム４２を支持する。これにより、昇降機構４３は、アーム４２を介して、アーム４２に支持される吸着部４１をＺ方向に移動させる。

【0028】

昇降機構４３により、吸着部４１は、検出部３０により保護シートＰが検出された場合に、下方において一時停止したステージ２０に接近し、ステージ２０に載置されたトレイＴから保護シートＰを吸着保持する。吸着部４１は、下降を開始した位置まで戻り、これにより、トレイＴから保護シートＰが除去される。保護シートＰが除去されると、ステージ２０は、吸着部４１の下方から離れ、移送部６０の下方、電子部品Ｃをピックアップする位置へとトレイＴを搬送する。なお、検出部３０により保護シートＰが検出されなかった場合は、吸着部４１は降下や負圧を生じさせるといった動作を行うことなく、トレイＴは移送部６０へと搬送される。

【0029】

吸着部４１の真下には、回収箱Ｂが設けられる。吸着部４１は、ステージ２０が下方を通過した後、負圧を解除する。これにより、保護シートＰは重力により落下し、回収箱Ｂに回収される。なお、回収箱Ｂの開口には、保護シートＰの落下をガイドし、保護シートＰの回収を確実にするためのガイド板を設けても良い。

【0030】

検出部５０は、除去部４０から移送部６０が電子部品Ｃをピックアップする位置までのステージ２０の経路上に設けられ、ステージ２０に載置されたトレイＴから保護シートＰが除去されているか否かを検出する。検出部５０は、例えば色センサなどのセンサである。なお、本実施形態の色センサは、投光部と受光部が一体となっている反射型のものとして説明する。保護シートＰは主に白に近い色なので、検出部５０は、ステージ２０の上方から光を照射し、その反射光が白色でないか、白色であるかで、トレイＴから保護シートＰが除去されているか否かを検出する。

【0031】

検出部５０が保護シートＰを検出した場合、例えば、図示しないスピーカから警告音を発し、オペレータを呼び出すことが出来る。あるいは、リカバリー処理を行うことが出来る。リカバリー処理は、ステージ２０を除去部４０に戻し、除去部４０に保護シートＰを除去させる処理である。なお、オペレータを呼び出す場合、トレイＴの搬送を一時停止しても良い。

【0032】

検出部３０、５０及び除去部４０は、一対の供給部１０及びステージ２０に対応して、一対設けられている。以下、一方の供給部１０ａ及びステージ２０ａに対応する検出部３０、５０及び除去部４０を検出部３０ａ、５０ａ及び除去部４０ａ、他方の供給部１０ｂ及びステージ２０ｂに対応する検出部３０及び除去部４０を検出部３０ｂ、５０ｂ及び除去部４０ｂと呼び、両者を区別しない場合には、単に検出部３０、５０及び除去部４０と呼ぶ。

【0033】

（移送部）
移送部６０は、図２及び図３に示すように、ステージ２０に載置されたトレイＴから電子部品Ｃをピックアップし、実装部７０に渡す装置である。移送部６０は、ＸＹ平面と平行な面上を、モータ等の駆動源によってθ方向に回動可能に設けられた長尺の部材である。すなわち、移送部６０の一端は、図示しない駆動源の回転軸に固定され、θ方向に１８０°ずつ間欠回転を行う。より具体的には、１２時の位置及び６時の位置に停止するように、反時計回り方向または時計回り方向に間欠回転を行う。

【0034】

移送部６０の他端には、回転ヘッドであるヘッド６１が設けられている。ヘッド６１は、移送部６０の長手方向を軸としてα方向に回動可能に設けられている。ヘッド６１には、回転円の半径方向に沿って延びる吸着ノズル６１ａが設けられている。吸着ノズル６１ａは、図示しない空気圧回路に接続され、この空気圧回路が生じせしめる負圧によって電子部品Ｃを吸着保持する。吸着ノズル６１ａの先端の向きは、ヘッド６１によって１８０°変換される。つまり、移送部６０は、吸着保持によりピックアップした電子部品Ｃをα方向に反転させて移送する反転移送装置として構成されている。

【0035】

吸着ノズル６１ａは、ステージ２０に保持されたトレイＴから電子部品Ｃをピックアップするときは、電子部品Ｃの上方から一つずつ吸着保持する。すなわち、吸着ノズル６１ａの向きを反転させずに電子部品Ｃを上方から吸着保持する。この時、電子部品Ｃの電極部分は上向きである。一方で、吸着ノズル６１ａは、吸着保持した電子部品Ｃを後述の圧着部７２に渡すときは、圧着部７２の下方から電子部品Ｃを渡す。すなわち、吸着ノズル６１ａの向きを反転させて電子部品Ｃを下方から渡す。この時、電子部品Ｃの電極部分は下向きである。

【0036】

（実装部）
実装部７０は、図２及び図３に示すように、基板Ｄの電極に対して、電子部品Ｃの電極を、ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ：異方性導電フィルム）を介して加熱圧着する装置である。ＡＣＦは、機材となる樹脂の中に、小さな導電粒子が多数入ったシート状の部材である。なお、本実施形態では、予め基板Ｄ側にＡＣＦが貼着されているものとする。

【0037】

実装部７０は、テーブル７１、圧着部７２を有する。テーブル７１は、基板Ｄが載置される水平な板状体である。テーブル７１の上面には、図示はしないが、空気圧回路に接続された吸着穴が形成され、基板Ｄを負圧により吸着保持する。テーブル７１は、図示しない駆動機構によって、ＸＹ方向及びθ方向に移動可能に設けられている。

【0038】

圧着部７２は、図３に示すように、加圧ヘッド７２１、バックアップ７２２を有する。加圧ヘッド７２１は、図示しない保持部によって、電子部品Ｃを吸着保持する。また、加圧ヘッド７２１は、図示しない駆動機構によって、ＸＹＺ方向及びθ方向に移動可能に設けられている。これにより、加圧ヘッド７２１は、図示しない保持部によって電子部品Ｃを吸着保持し、吸着保持した電子部品Ｃを移動させ、テーブル７１に支持された基板Ｄに電子部品Ｃを重ね合わせる。さらに、加圧ヘッド７２１は、基板Ｄに電子部品Ｃを重ねた状態で、図示しない加熱部及び加圧部によって、電子部品Ｃを加熱及び加圧する。これにより、電子部品Ｃは、基板Ｄに対して加熱圧着される。バックアップ７２２は、加圧ヘッド７２１によってＡＣＦを介して電子部品Ｃを加熱圧着する際、基板Ｄを支持する部材である。

【0039】

圧着部７２は、最終的な圧着を行う前の仮圧着を行うための装置である。圧着部７２による仮圧着後に、図示はしないが、後流の工程に配置された本圧着部による本圧着が行われる。

【0040】

（制御部）
制御部８０は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成される。制御部８０は、図６に示すように、機構制御部８１、記憶部８２、判定部８３、入出力制御部８４を有する。機構制御部８１は、供給部１０、ステージ２０、検出部３０、除去部４０、検出部５０、移送部６０及び実装部７０の動作を制御する。記憶部８２は、これらの動作を実現するためのプログラム、データ等、本実施形態の制御に必要な情報を記憶する。判定部８３は、検出部３０、５０の検出結果に基づいて、保護シートＰの有無を判定する。入出力制御部８４は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。

【0041】

さらに、制御部８０には、入力装置９１、出力装置９２が接続されている。入力装置９１は、オペレータが、制御部８０を介して電子部品実装装置を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力手段である。出力装置９２は、電子部品実装装置の状態を確認するための情報を、オペレータが視認可能な状態とする表示装置等の出力手段である。

【0042】

［作用］
以上のような電子部品実装装置の作用を、図１乃至図６に加え、図７のフローチャート及び図８の説明図を参照しつつ説明する。

【0043】

ステージ２０は、移動機構２３により、図４（Ａ）に示すように、供給部１０の下方に移動する（ステップＳ０１）。供給部１０においては、図４（Ｂ）に示すように、ステージ２０の保持部２１が、最下段のトレイＴの底面を吸着保持する。そして、以下のような手順によって、ステージ２０の保持部２１が、トレイＴを一枚ずつ受け取る（ステップＳ０２）。

【0044】

図４（Ｃ）に示すように、供給部１０は、把持部１２による把持を解除する。そして、図４（Ｄ）に示すように、ステージ２０がトレイＴの一枚分だけ下降する。把持部１２は、図４（Ｅ）に示すように、最下段から一つ上のトレイＴを把持部１２によって把持する。図４（Ｆ）に示すように、ステージ２０が下降して、保持部２１にトレイＴが渡される。

【0045】

トレイＴを受け取ったステージ２０は、検出部３０の下方に移動する（ステップＳ０３）。ステージ２０は、検出部３０の下方で一時停止しても良いし、一時停止せずに除去部４０の下方に移動しても良い。除去部４０の下方に移動する過程で、検出部３０の下方を通過すれば良い。ステージ２０が検出部３０の下方を通過する際、検出部３０がステージ２０に載置されたトレイＴに光を照射し、保護シートＰが載置されているか否かを検出する（ステップＳ０４）。具体的には、検出部３０の検出結果を受信した判定部８３が、保護シートＰの有無を判定する。保護シートＰがトレイＴに載置されている場合（ステップＳ０４のＹＥＳ）、ステップＳ０６に進む。保護シートＰがトレイＴに載置されていない場合（ステップＳ０４のＮＯ）、ステップＳ０９に進む。なお、保護シートＰがトレイＴに載置されていない場合としては、ステージ２０が検出部３０の下方を通過するまでに振動などにより保護シートＰがトレイＴから落下していた、供給部１０において保護シートＰが上段のトレイＴの底面に貼り付いていた、積み重ねられたトレイＴが納入される段階で誤って保護シートＰが抜けていた、などの場合が考えられる。また、オペレータがトレイＴに保護シートＰが載置されているか否かを確認する場合においては、検出部３０及び判定部８３の構成を省略可能である。

【0046】

検出部３０の下方を通過したステージ２０は、除去部４０の下方に移動する（ステップＳ０５）。本実施形態のステージ２０は、除去部４０の下方において一時停止する。除去部４０の吸着部４１は、昇降機構４３により降下して保護シートＰに接近し、負圧により保護シートＰを吸着可能な所定の高さで停止する。この高さは、例えばステージ２０に載置されたトレイＴの上面から０．５ｍｍの高さである。この高さにおいて、吸着部４１は、負圧を生じさせることにより、保護シートＰを吸着保持する。吸着部４１は、下降を開始した高さまで戻り、これにより、トレイＴから保護シートＰが除去される（ステップＳ０６）。

【0047】

トレイＴ上において、保護シートＰを吸着保持する位置は、電子部品Ｃが格納された溝Ｇに対向する位置が好ましい。より好ましくは、図８（Ａ）に示すように、電子部品Ｃが格納された溝Ｇの中央部分に対向する位置がよい。

【0048】

トレイＴ上の保護シートＰに作用する吸引気流は、保護シートＰを透過してトレイＴにも作用する。すなわち、トレイＴに対しても吸引力が働く。これにより、トレイＴを吸着保持してしまう。しかし、吸着部４１が溝Ｇの上を吸引するのであれば、溝Ｇが空気の通り道となり、トレイＴに対してリークすることになるので、保護シートＰには吸引力が働くが、トレイＴには吸引力が働かず、トレイＴを吸着保持してしまうことがない。このように、トレイＴに対してリークが生じ、トレイＴが吸着されないのであれば、トレイＴ上のどの溝Ｇに対向する位置でも、その溝Ｇのどの部分に対向する位置でもよい。

【0049】

ただし、トレイＴには、溝Ｇのない部分が設けられていることがある。図８では、トレイＴの中央に溝ＧのないトレイＴを示している。このようなトレイＴの場合、溝Ｇに吸着部４１がかかる面積が少ないような場所では、トレイＴに対するリークが減少することによりトレイＴにも吸引力が働いてしまい、トレイＴを吸着してしまう虞が高まる。例えば、図８（Ｂ）に示すように、トレイＴ中央の溝Ｇのない部分を吸着部４１で吸引することを試みると、溝Ｇの一端からしか空気が流れず、溝Ｇにかかる面積も少ないので、溝Ｇが空気の通り道となりにくい。この場合、溝Ｇから保護シートＰ越しに吸着部４１へと十分な空気が流れないので、リークが少なく、保護シートＰ越しにトレイＴを吸着保持してしまうおそれがある。

【0050】

これに対して、図８（Ａ）に示すように、溝Ｇの中央部分を吸着部４１で吸引する場合には、溝Ｇの両端から保護シートＰ越しに吸着部４１へと空気が流れるので、リークが多く、保護シートＰ越しにトレイＴを吸着保持してしまうおそれが少ない。すなわち、保護シートＰをトレイＴごと吸着保持してしまうおそれが少ない。

【0051】

トレイＴから保護シートＰが除去されると、ステージ２０は移送部６０へ移動する。吸着部４１は、その下方からステージ２０が移動した後、負圧を解除して吸着保持した保護シートＰを離す。保護シートＰは、重力により落下し、吸着部４１の真下に設けられた回収箱Ｂに回収される（図５（Ｂ）参照）。

【0052】

除去部４０の下方を通過したステージ２０は、検出部５０の下方に移動する（ステップＳ０７）。ステージ２０は、検出部５０の下方で一時停止しても良いし、一時停止せずに移送部６０の吸着ノズル６１ａの下方に移動しても良い。移送部６０の吸着ノズル６１ａの下方に移動する過程で、検出部５０の下方を通過すれば良い。ステージ２０が検出部５０の下方を通過する際、検出部５０がステージ２０に載置されたトレイＴに光を照射し、保護シートＰが除去されているか否かを検出する（ステップＳ０８）。具体的には、検出部５０の検出結果を受信した判定部８３が、保護シートＰの有無を判定する。保護シートＰがトレイＴから除去されている場合（ステップＳ０８のＹＥＳ）、ステップＳ０９に進む。保護シートＰがトレイＴに残っている場合（ステップＳ０８のＮＯ）、ステップＳ０６に戻る。具体的には、上述のリカバリー処理が行われ、ステージ２０が除去部４０の下方に戻り、保護シートＰが除去される。なお、オペレータがトレイＴから保護シートＰが除去されているか否かを確認する場合においては、検出部５０及び判定部８３の構成を省略可能である。

【0053】

検出部５０の下方を通過したステージ２０は、移送部６０の吸着ノズル６１ａの下方に移動する。すなわち、ステージ２０は、上述の１２時の位置に位置付けられた移送部６０の吸着ノズル６１ａの下方に、トレイＴに載置された電子部品Ｃが位置するように移動する。より詳細には、トレイＴの溝Ｇに格納された各電子部品Ｃを、移送部６０の吸着ノズル６１ａに対向する位置に順次位置決めする。この位置決めは、図示しない走査部がトレイＴを走査することにより行われる。そして、トレイＴ上の一つの電子部品Ｃが位置決めされると、吸着ノズル６１ａによるピックアップを開始する。これにより、電子部品Ｃは、移送部６０に渡される（ステップＳ０９）。

【0054】

移送部６０は、ＸＹ平面を１８０°回動して、電子部品Ｃを実装部７０の圧着部７２に移動させる。この移動の途中で、ヘッド６１がα方向に回転して、電子部品Ｃを下方から吸着保持するように反転する。移送部６０の吸着ノズル６１ａによる吸着を解除するとともに、圧着部７２の加圧ヘッド７２１による吸着を行うことにより、電子部品Ｃを加圧ヘッド７２１に渡す（ステップＳ１０）。そして、加圧ヘッド７２１の降下により、電子部品Ｃの電極部分が、ＡＣＦを介して、基板Ｄの電極に加熱圧着される（ステップＳ１１）。この後、加圧ヘッド７２１による吸着が解除されて、電子部品Ｃが仮圧着された基板Ｄは、本圧着部に搬送されて本圧着が行われる。また、一枚のトレイＴからすべての電子部品Ｃを取り終えるまで（ステップＳ１２のＮＯ）、ステップＳ０９～Ｓ１１が繰り返される。

【0055】

なお、一枚のトレイＴからすべての電子部品Ｃを取り終えると（ステップＳ１２のＹＥＳ）、空のトレイＴが載置されたステージ２０は、図示しない空のトレイＴの収容部まで移動して、この収容部にトレイＴを渡す。そして、ステージ２０は供給部１０まで戻り、上述のように、ステージ２０は、供給部１０から電子部品Ｃが格納されたトレイＴを受け取り、電子部品Ｃの受け渡しを行う。なお、空のトレイＴの収容部は、例えば、供給部１０の隣接位置に、供給部１０と同様の構成にて設けることができる。このように構成することで、供給部１０と逆の手順、つまり、図４における（Ｆ）、（Ｅ）、（Ｄ）、（Ｃ）、（Ｂ）、（Ａ）の手順で空のトレイＴを積層して収容することができる。

【0056】

このようなトレイＴの供給は、まず、一方の供給部１０ａ及びステージ２０ａによって行われる。そして、供給部１０ａから、電子部品Ｃを格納したトレイＴが無くなると、他方の供給部１０ｂ及びステージ２０ｂに切り替えて、継続してトレイＴの供給が行われる。その間に、供給部１０ａのトレイＴが交換され、他方の供給部１０ｂのトレイＴが無くなると、再び供給部１０ａ及びステージ２０ａによるトレイＴの供給に切り替わる。これにより、電子部品実装装置を停止させることなく、実装を継続して行うことができる。

【0057】

［効果］
（１）本実施形態の電子部品実装装置は、電子部品Ｃ及び電子部品Ｃを覆う保護シートＰが載置されたトレイＴを複数枚積み重ねた状態で保持する供給部１０と、供給部１０の下方からトレイＴを一枚ずつ受け取り、供給部１０から電子部品Ｃをピックアップする位置へとトレイＴを搬送するステージ２０と、電子部品Ｃをピックアップする位置において、トレイＴに載置された電子部品Ｃをピックアップするヘッド６１と、ヘッド６１から電子部品Ｃを受け取り、基板Ｄに電子部品Ｃを圧着する圧着部７２と、ステージ２０が供給部１０から電子部品Ｃをピックアップする位置へとトレイＴを搬送する経路上に設けられ、搬送されるトレイＴから保護シートＰを除去する除去部４０と、を備える。

【0058】

これにより、トレイＴから保護シートＰを機械的に除去することが出来るので、人手で除去する場合に比してトレイＴに載置された電子部品Ｃを傷つけたり、トレイをひっくり返したり、トレイＴ上で横転させたりするおそれが少ない。また、トレイＴは一枚ずつ搬送されるので、トレイＴが複数枚積み重ねられている場合に比して上面の高さ位置のばらつきが少ない。また、上面の傾きが少ない。従って、除去部４０が保護シートＰを除去する際にトレイＴに誤って衝突し、その際の衝撃で電子部品ＣがトレイＴ上で横転するおそれを少なくすることが出来る。

【0059】

（２）本実施形態の除去部４０は、負圧により保護シートＰを吸着保持する吸着部４１である。これにより、除去部４０がトレイＴから保護シートＰを除去する際に、保護シートＰを介してトレイＴに衝撃を伝えるおそれがないため、電子部品ＣがトレイＴ上で横転するおそれを少なくすることが出来る。

【0060】

（３）本実施形態のトレイＴには、電子部品Ｃが格納される溝Ｇが設けられ、吸着部４１は、溝Ｇに対向する位置で、トレイＴから保護シートＰを吸着保持する。これにより、溝Ｇが空気の通り道となるので、吸着部４１がトレイＴごと吸着保持してしまうおそれが少ない。

【0061】

（４）本実施形態の保護シートＰが回収される回収箱Ｂを更に備え、回収箱Ｂは、吸着部４１の真下に設けられる。これにより、吸着部４１は、負圧を解除するだけで、吸着保持した保護シートＰを回収箱Ｂに回収させることが出来る。

【0062】

（５）本実施形態の経路上において、供給部１０と除去部４０との間に設けられ、保護シートＰを検出する検出部３０を更に備える。これにより、保護シートＰが載置されていない状態でトレイＴの上面に負圧を生じさせ、電子部品Ｃを誤って吸着保持してしまうといったおそれが無い。

【0063】

（６）本実施形態の経路上において、除去部４０と移送部６０との間に設けられ、保護シートＰを検出する検出部５０を更に備える。これにより、トレイＴ上から保護シートＰが除去されずに残っていたとしても、その状態で移送部６０へトレイＴを搬送することを防止できる。また、検出部５０が保護シートＰを検出した場合、オペレータの呼び出しあるいはリカバリー処理により、トレイＴから保護シートＰを確実に除去することが出来る。これにより、移送部６０において電子部品Ｃを確実にピックアップすることが出来る。

【0064】

［変形例］
（１）上記実施形態の除去部４０は、負圧により保護シートＰを除去する吸着部４１を備えたが、これに限られない。例えば、図９に示すように、ステージ２０の保持力よりも強い粘着力を有する粘着部４４であっても良い。粘着部４４は、図示しない供給リール及び回収リールに巻回された粘着シートＡを備える。粘着シートＡは、経路ローラ４４１により移動方向をガイドされ、圧着ツール４４２に向かう方向に、供給リールから送り出される。圧着ツール４４２は、粘着シートＡを保持して昇降可能に設けられ、その下降により粘着シートＡをトレイＴ上の保護シートＰに接触させ、粘着シートＡに保護シートＰを粘着保持させる。その後、粘着シートＡは、圧着ツール４４２の上昇によりトレイＴから離間し、これにより保護シートＰが除去される。さらに、回収リールが回動することにより、粘着シートＡとともに保護シートＰは回収され、また、トレイＴに対して新しい粘着シートＡの面が供給される。

【0065】

これにより、吸着部４１を設ける場合に比して、負圧を生じさせる空気圧回路が不要となり、構成を簡略化することが出来る。また、吸着部４１を水平に移動させてステージ２０の経路上から退避させるような場合、移動する吸着部４１に対する配管等の配置には、設計上も設置上も労力を要するが、そのようなことを回避できる。また、負圧による吸着に比して広い面で保護シートＰを保持することが出来るので保護シートＰの保持をより確実とすることができ、保持ミスを減らすことができる。また、トレイや電子部品までも保持してしまうことが無い。

【0066】

なお、粘着シートＡに粘着させた保護シートＰは、より粘着力の強い別の粘着シートに転着させることで、粘着シートＡを循環できるベルトのようにして、繰り返し使用するようにすることで、供給・回収リールが不要とでき、より構成を簡素なものとできる。また、回収リールの代わりに、粘着シートＡの送り出し先に設けた回収箱Ｂに粘着シートＡ諸共保護シートＰを回収させるなどにより廃棄することが出来る。これによっても、回収リールを無くすことができ、より簡易な構成とできる。

【0067】

（２）上記実施形態の除去部４０は、負圧により保護シートＰを除去する吸着部４１を備えたが、これに限られない。例えば、図１０（Ａ）に示すように、気流によりトレイＴから保護シートＰを吹き飛ばす気流発生部４５であっても良い。気流発生部４５は、例えば円筒形状または矩形形状のブローノズル４５１であり、気流を発生させることにより、回収箱Ｂに向けて保護シートＰを吹き飛ばし、トレイＴから保護シートＰを除去する。また、図１０（Ｂ）に示すように、気流発生部４５の機能を回収箱Ｂに持たせても良い。すなわち、回収箱Ｂの開口に、保護シートＰよりも幅広の矩形の吸引ノズル４５２を設けても良い。この場合、回収箱Ｂ内部に負圧を生じさせることにより気流を発生させ、吸引ノズル４５２から保護シートＰを除去する。さらに、図１０（Ｃ）に示すように、ブローノズル４５１と吸引ノズル４５２を併用し、吹き飛ばしと吸引の併用により保護シートＰを除去しても良い。併用することにより、保護シートＰの除去をより確実なものとできる。図１０（Ａ）乃至（Ｃ）いずれの場合であっても、ブローや吸引のノズルだけの機構で済み、より簡素な構成とできる。

【0068】

（３）上記実施形態の除去部４０は、負圧により保護シートＰを除去する吸着部４１を備えたが、これに限られない。例えば、図１１に示すように、トレイＴから保護シートＰを摘み取るチャック部４６であっても良い。チャック部４６は、空圧駆動により互いに接近する一対のチャック爪４６１を備え、この一対のチャック爪４６１により保護シートＰを摘み取る。チャック爪４６１の先端には、ゴムなどの弾性キャップ４６２が被せられている。弾性キャップ４６２により、チャック爪４６１がトレイＴに接触した際に生じる衝撃が緩和され、また、保護シートＰを容易に摘むことが出来る。これにより、チャック部４６は、吸着部４１と同様に、トレイＴから保護シートＰを除去する。機械的に保護シートＰを摘み取るので、より確実に保護シートＰを除去することができる。

【0069】

（４）上記実施形態のトレイＴは、その上面に設けられる溝Ｇに電子部品Ｃを格納するものとしたが、これに限られない。例えば、トレイＴの上面に形成された薄い粘着層に電子部品Ｃが粘着されていても良い。この場合、粘着層の粘着力を除去部４０の吸着部４１の吸着力または粘着部の粘着力よりも小さくすることにより、トレイＴから電子部品Ｃをピックアップすることが出来る。

【0070】

（５）上記実施形態の回収箱Ｂは、除去部４０の真下に設けられたが、これに限られない。例えば除去部４０にＸＹ移動機構を設け、ＸＹ平面を移動可能とするのであれば、回収箱Ｂをどこに設けても良い。これにより、回収箱Ｂを設ける場所を自由に設定することが出来る。また、回収箱Ｂを設けない態様も可能である。この場合、除去部４０は、トレイＴから除去した保護シートＰを保持したまま、ＸＹ平面を移動し、電子部品Ｃをピックアップし終えて空になったトレイＴに載せても良い。これにより、保護シートＰは、空になったトレイＴとともに、上述の空のトレイＴを収容する収容部に回収される。

【0071】

（６）上記実施形態においては、除去部４０と移送部６０の間に検出部５０を設けたが、これに限られない。除去部４０において保護シートＰがほぼ確実に除去されるのであれば、検出部５０を省略しても良い。これにより、電子部品実装装置の構成を簡素化し、また小型化することが出来る。

【0072】

（７）上記実施形態の除去部４０は、検出部３０と移送部６０の間に設けられたが、これに限られない。例えば、除去部４０にＸＹ移動機構を設け、供給部１０とステージ２０の間に進退させても良い。すなわち、ステージ２０がトレイＴを受け取り、供給部１０からＺ方向に離間した後、除去部４０が両者の間に進出し、保護シートＰを除去しても良い。この場合、供給部１０から移送部６０までの距離を短くすることが出来るので、装置全体を小型化することが出来る。なお、この場合、検出部３０は、除去部４０が進出する前にステージ２０に載置されたトレイＴに向けて光を照射し、トレイＴに載置された保護シートＰを検出しても良い。

【0073】

（８）上記実施形態のステージ２０の移動経路は、供給部１０から除去部４０を経由して移送部６０まで、略直線状であるが、これに限られない。例えば、図１２（Ａ）（Ｂ）に示すように、除去部４０の直下で略直角に方向転換しても良い。換言すれば、供給部１０、除去部４０、移送部６０のレイアウトは、略直線状に限らない。なお、図１２（Ａ）（Ｂ）においては、説明を容易にするため、検出部３０、５０の構成を省略している。

【0074】

ステージ２０が略直角に方向転換する場合、移動機構２３は、ＸＹ方向に移動可能に設けられるスライダ及びガイド、搬送ベルト、ステージ２０を自走させる搬送レールなどとすれば良い。また、ステージ２０は、供給部１０から移送部６０まで、単一経路を往復するものとしたが、ループ状の経路を周回するようにしても良い。このような経路とすることで、経路設定の自由度が増し、装置全体を小さくすることができる。

【0075】

また、回収箱Ｂは、図１２（Ａ）に示すように、除去部４０に隣接して設けられ、保護シートＰを廃棄する場合には、除去部４０が回収箱Ｂの上方に移動するようにすると良い。また、図１２（Ｂ）に示すように、回収箱Ｂが除去部４０の下方に移動するようにしても良い。

【0076】

さらに、図１２に示すレイアウトにおいて１つのステージ２０が２つのトレイＴを保持する態様について、図１３を参照して説明する。この場合、２つのトレイＴの並び方向は、除去部４０から移送部６０へのステージ２０の移動方向に一致している。これにより、除去部４０が一方のトレイＴから保護シートＰを除去した後、ステージ２０をトレイＴ１つ分移動させるだけで、除去部４０を他方のトレイＴの保護シートＰに対向させることが出来る。また、移送部６０におけるトレイＴの入れ替えも、ステージ２０をトレイ１つ分移動させることにより実現される。

【0077】

（９）上記実施形態の吸着部４１は、図１４（Ａ）に示すように、所定の高さまで降下してから停止し、負圧を生じさせたが、これに限られない。例えば、図１４（Ｂ）に示すように、負圧を生じさせつつトレイＴに向けて降下させても良い。つまり、除去部４０の吸着部４１が、図示しない昇降機構により、負圧により保護シートＰを吸着可能な所定の高さまで降下する際に、負圧を生じさせる。そうすることで、保護シートＰを吸着可能な所定の高さまで降下してから、負圧を生じさせる様態に比べて、吸着可能な負圧になるまでの時間を省くことが出来るので、タクトタイムを短縮することができる。

【0078】

更に、この場合、降下すべき所定の高さを設定するのではなく、保護シートＰが吸着されたことを検出して降下を停止させる制御をしても良い。これにより、保護シートＰを除去するまでの時間を短縮できるだけでなく、例えばトレイＴの寸法誤差が大きく、高さにばらつきがある場合であっても、吸着部４１が保護シートＰを吸着する際にトレイＴに衝突するおそれを最小限にすることが出来る。

【0079】

また、吸着部４１による保護シートＰの吸着様態を吸着部４１の下降と同時に負圧を生じさせるか、吸着部４１が所定の高さまで下降してから負圧を生じさせるかについては、適宜決定すれば良く、これらの様態のパターンを選択可能にする機能を有しても良い。

【0080】

（１０）上記実施形態の吸着部４１は、下方に一時停止させたステージ２０のトレイＴから保護シートＰを除去したが、これに限られない。ステージ２０を一時停止させずにトレイＴから保護シートＰを除去しても良い。例えば、ステージ２０に載置されたトレイＴの上面より高い位置、例えば、３ｍｍ程度高い位置に吸着部４１を待機させ、吸着部４１の下方をステージ２０が通過するタイミングで負圧を発生させるようにしても良い。これにより、ステージ２０を一時停止させることなく、ステージ２０が吸着部４１の下方を通過する際にトレイＴから保護シートＰが除去されるので、ステージ２０を一時停止させるタイムラグが無くなり、タクトが向上する。

【0081】

（１１）上記実施形態の検出部３０は、保護シートＰの色を検出する色センサとしたが、これに限られない。例えば、保護シートＰに照射した光の反射率を検出することにより、保護シートＰを検出可能なセンサであっても良い。

【0082】

（１２）上記実施形態の電子部品実装装置は、ステージ２０の一つの保持部２１が、供給部１０からトレイＴを一枚ずつ受け取り、電子部品Ｃを実装する様態だが、一つの保持部２１がトレイＴを複数枚ずつ受け取る、または保持部２１を複数設けることにより、複数のトレイＴを保持しても良い。つまり、一つのトレイＴに格納された電子部品Ｃが全て実装され、一つのトレイＴが空になったら、別のトレイＴから電子部品Ｃをピックアップするように切り替える。基板Ｄが実装部７０から本圧着部に搬送されるタイミングなど電子部品Ｃのピックアップが行われない時間で、空のトレイＴを電子部品Ｃが格納された次のトレイＴと交換する。これによって、電子部品Ｃの実装中に保持部２１にある電子部品Ｃが無くなることがないので、遅滞することなく、電子部品Ｃを実装することが出来る。

【0083】

ステージ２０が複数のトレイＴを保持する場合の実施例について、図１５を参照して説明する。図１５においては、図１３に示すレイアウトと同様に、ステージ２０の移動経路が略直角に方向転換するものとし、また、１つのステージ２０が２つのトレイＴを保持するものとする。さらに、この実施例においては、ステージ２０が２つ設けられるものとする。すなわち、２つのステージ２０ａ、２０ｂがそれぞれ２つのトレイＴを保持するものとする。以下では、２つのトレイＴのうち左側のトレイＴをトレイＴＬ、右側のトレイＴをトレイＴＲともいう。また、図中のトレイＴに斜線がかかっている場合、保護シートＰが載置されているものとし、トレイＴに斜線がかかっていない場合、保護シートＰが除去されているものとする。

【0084】

まず、図１５（Ａ）に示すように、供給部１０ａからトレイＴが切り出され、ステージ２０ａに保持される。ステージ２０ａは、供給部１０ａからトレイＴＬ、トレイＴＲをこの順に受け取る。同時に、供給部１０ｂからトレイＴが切り出され、ステージ２０ｂに保持される。ステージ２０ｂは、供給部１０ｂからトレイＴＲ、トレイＴＬをこの順に受け取る。すなわち、供給部１０ｂは、トレイＴを受け取る順序が、供給部１０ａと異なる。

【0085】

次に、図１５（Ｂ）に示すように、ステージ２０ａは除去部４０ａの下方に移動し、トレイＴから保護シートＰが除去される。ステージ２０ａは、まずトレイＴＲを除去部４０ａの下方に位置させ、トレイＴＲの保護シートＰが除去された後、図１５（Ｃ）に示すように、トレイＴＬを除去部４０ａの下方に位置させ、トレイＴＬの保護シートＰを除去させる。同様に、ステージ２０ｂは、図１５（Ｂ）に示すように、まずトレイＴＬを除去部４０ｂの下方に位置させ、トレイＴＬの保護シートＰが除去された後、図１５（Ｃ）に示すように、トレイＴＲを除去部４０ｂの下方に位置させ、トレイＴＲの保護シートＰを除去させる。すなわち、除去部４０ｂは、トレイＴから保護シートＰを除去する順序が、除去部４０ａと異なる。

【0086】

さらに、図１５（Ｄ）に示すように、ステージ２０ａは移送部６０の下方に移動し、移送部６０はトレイＴから電子部品Ｃをピックアップし、実装部７０は基板Ｄに電子部品Ｃを実装する。ステージ２０ａは、まずトレイＴＬを移送部６０の下方に位置させ、移送部６０のピックアップによりトレイＴＬが空になった後、図１５（Ｅ）に示すように、トレイＴＲを移送部６０の下方に位置させる。これにより、トレイＴＬが空になっても、移送部６０はトレイＴＲから電子部品Ｃをピックアップすることが出来るので、電子部品Ｃのピックアップが間断なく行われる。

【0087】

また、移送部６０のピックアップによりトレイＴＬが空になった後は、図１５（Ｆ）に示すように、任意のタイミングでステージ２０ａを供給部１０ａに移動させ、トレイＴＬを新しいものと交換することが出来る。任意のタイミングは、例えば、電子部品Ｃを実装するための基板Ｄを交換するタイミングである。この時、トレイＴＲには半分ほどの電子部品Ｃが残っているものとする。ステージ２０ａがトレイＴＬを新しいものと交換するための移動と同時に、ステージ２０ｂが移送部６０の下方に移動する。具体的には、ステージ２０ｂのトレイＴＲが移送部６０の下方に位置づけられる。これにより、基板Ｄの交換を終えてすぐに、電子部品Ｃのピックアップ及び実装を再開することが出来る。ステージ２０ｂのトレイＴＲから電子部品Ｃのピックアップ及び実装が行われている間に、ステージ２０ａのトレイＴＬは新しいものと交換され、ステージ２０ａの移動により新しく交換されたトレイＴＬは除去部４０ａの下方に位置づけられ、除去部４０ａにより保護シートＰが除去される。

【0088】

ステージ２０ｂのピックアップに戻ると、ステージ２０ｂのトレイＴＲが空になると、ステージ２０ｂは、移送部６０の下方にトレイＴＬを位置づけ、電子部品Ｃのピックアップを間断なく行う。ステージ２０ｂのトレイＴＲが空になった後は、上述の説明と同様に、例えば基板Ｄの交換タイミングに合わせて、ステージ２０ｂを供給部１０ｂまで移動させ、空になったトレイＴＲを交換する。このステージ２０ｂの移動と同時に、ステージ２０ａは、電子部品Ｃが半分ほど残っているトレイＴＲを移送部６０の下方に位置づけ、電子部品Ｃのピックアップ及び実装を再開する。

【0089】

このように、２つのステージ２０ａ、２０ｂのそれぞれに２つのトレイＴＬ、ＴＲを保持させる構成とすることにより、基板Ｄに電子部品Ｃを間断なく実装することが出来る。また、トレイＴの交換で実装が止まるおそれも無い。すなわち、１つのトレイＴが空になってもすぐに隣のトレイＴに切り替えることが可能であり、さらに、基板Ｄを交換するタイミングでステージ２０を切り替えることも可能であるので、他方のステージ２０においてトレイＴを交換する時間や保護シートＰを除去する時間により、実装が止まるおそれも無い。

【0090】

（１３）上記実施形態の供給部１０及びステージ２０は、供給部１０ａ及びステージ２０ａと供給部１０ｂ及びステージ２０ｂとの一対を設けたが、一方だけでも良い。また、一対の供給部１０ａ、１０ｂに対して１つのステージ２０を設け、このステージ２０に一対の供給部１０ａ、１０ｂ間を移動させて、２つの供給部１０で１つのステージ２０を共用するようにしても良い。これにより、電子部品実装装置の全体構成を簡略化することが出来る。

【0091】

１つのステージ２０を共用する場合の実施例について、図１６を参照して説明する。図１６においては、図１３に示すレイアウトと同様に、ステージ２０の移動経路が略直角に方向転換するものとし、また、１つのステージ２０が２つのトレイＴを保持するものとする。以下では、図１５と同様に、２つのトレイＴのうち左側のトレイＴをトレイＴＬ、右側のトレイＴをトレイＴＲともいう。また、図中のトレイＴに斜線がかかっている場合、保護シートＰが載置されているものとし、トレイＴに斜線がかかっていない場合、保護シートＰが除去されているものとする。

【0092】

まず、図１６（Ａ）に示すように、供給部１０ａからトレイＴが切り出され、ステージ２０に保持される。ステージ２０は、供給部１０ａからトレイＴＬ、トレイＴＲをこの順に受け取る。次に、図１６（Ｂ）に示すように、ステージ２０は除去部４０ａの下方に移動し、トレイＴから保護シートＰが除去される。ステージ２０は、まずトレイＴＲを除去部４０ａの下方に位置させ、トレイＴＲの保護シートＰが除去された後、図１６（Ｃ）に示すように、トレイＴＬを除去部４０ａの下方に位置させ、トレイＴＬの保護シートＰを除去させる。

【0093】

さらに、図１６（Ｄ）に示すように、ステージ２０は移送部６０の下方に移動し、移送部６０はトレイＴから電子部品Ｃをピックアップし、実装部７０は基板Ｄに電子部品Ｃを実装する。ステージ２０は、まずトレイＴＬを移送部６０の下方に位置させ、移送部６０のピックアップによりトレイＴＬが空になった後、図１６（Ｅ）に示すように、トレイＴＲを移送部６０の下方に位置させる。これにより、トレイＴＬが空になっても、移送部６０はトレイＴＲから電子部品Ｃをピックアップすることが出来るので、電子部品Ｃのピックアップが間断なく行われる。

【0094】

また、移送部６０のピックアップによりトレイＴＬが空になった後は、図１６（Ｆ）に示すように、任意のタイミングでステージ２０を供給部１０ｂに移動させ、トレイＴＬを新しいものと交換することが出来る。任意のタイミングは、例えば、電子部品Ｃを実装するための基板Ｄを交換するタイミングである。この時、トレイＴＲには半分ほどの電子部品Ｃが残っているものとする。トレイＴＬを交換した後は、除去部４０ｂにより保護シートＰを除去し、移送部６０の下方にトレイＴＲを位置させ、電子部品Ｃのピックアップ及び実装を再開することが出来る。この後、トレイＴＲが空になれば、トレイＴＬからピックアップを行う。さらに、基板Ｄを交換するタイミングが来れば、空のトレイＴＲの交換を行う。なお、図１６において基板Ｄに実装される電子部品Ｃの個数は、１つのトレイＴに格納される電子部品Ｃの個数以下であるものとする。

【0095】

（１４）上記実施形態の供給部１０が保持する最下段のトレイＴに向けて除電を行うイオナイザーを設けても良い。これにより、最下段のトレイＴに載置される保護シートＰが上段のトレイＴの底面に静電気などにより貼り付くことを防止することが出来る。

【0096】

（１５）上記実施形態のステージ２０は、図１７に示すように、間欠回転可能な円卓状のテーブルであっても良い。このテーブルは、図１７に示す９時位置でトレイＴを受け取り、６時位置で除去部４０により保護シートＰを除去し、３時位置で移送部６０の吸着ノズル６１ａにより電子部品Ｃをピックアップさせ、トレイＴ上の電子部品Ｃを全てピックアップした後、１２時位置で空のトレイＴの収容部にトレイＴを収容させる。

【0097】

（１６）上記実施形態の電子部品実装装置は、チップ状電子部品を実装するＣＯＧ実装装置としたが、これに限られない。例えば、有機ＥＬのようなフィルム状の回路基板にチップ状電子部品を実装する電子部品実装装置や、チップ状電子部品と、フィルム状の回路基板の上にドライバＩＣを実装したＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）と称されるフィルム状電子部品とを選択的に供給及び実装する兼用機と称される電子部品実装装置としても良い。要は、段積トレイからチップを供給して実装するものであればよく、基板としてシリコン等のウェーハでも良いし、フィルム状ではない回路基板でも良い。

【0098】

［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

【符号の説明】

【0099】

１０、１０ａ、１０ｂ 供給部
１１ フレーム
１２ 把持部
２０、２０ａ、２０ｂ ステージ
３０、３０ａ、３０ｂ 検出部
４０、４０ａ、４０ｂ 除去部
４１ 吸着部
４４ 粘着部
４５ 気流発生部
４５１ ブローノズル
４５２ 吸引ノズル
４６ チャック部
５０、５０ａ、５０ｂ 検出部
６０ 移送部
６１ ヘッド
６１ａ 吸着ノズル
７０ 実装部
７１ テーブル
７２ 圧着部
７２１ 加圧ヘッド
７２２ バックアップ
８０ 制御部
８１ 機構制御部
８２ 記憶部
８３ 判定部
８４ 入出力制御部
９１ 入力装置
９２ 出力装置
Ａ 粘着シート
Ｂ 回収箱
Ｃ 電子部品
Ｄ 基板
Ｇ 溝
Ｐ 保護シート
Ｔ トレイ

【要約】      （修正有）

【課題】トレイに載置された電子部品を横転させるおそれを低減し、トレイを覆う保護シートを除去することが出来る電子部品実装装置を提供する。
【解決手段】電子部品Ｃ及び電子部品Ｃを覆う保護シートＰが載置されたトレイＴを複数枚積み重ねた状態で保持する供給部１０と、供給部１０の下方からトレイＴを一枚ずつ受け取り、供給部１０から電子部品Ｃをピックアップする位置へとトレイＴを搬送するステージと、電子部品Ｃをピックアップする位置において、トレイＴに載置された電子部品Ｃをピックアップするヘッドと、ヘッドから電子部品Ｃを受け取り、基板Ｄに電子部品Ｃを圧着する圧着部７２と、ステージが供給部１０から電子部品Ｃをピックアップする位置へとトレイＴを搬送する経路上に設けられ、搬送されるトレイＴから保護シートＰを除去する除去部４０と、を備える。
【選択図】図３

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】