技術分野
細径ビーム生成装置
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】任意の光源から発せられる光に基づき、出射位置からの距離に依存せず所定の大きさ以下の径を有する直線状の細径ビームを生成できる、細径ビーム生成装置を提供する。
【解決手段】光源と、光源からの発散光をコリメートするか、又は所定の立体角範囲内に集光する集光手段と、集光手段から出射する光線の少なくとも一部を、入射光束より狭い領域に集約する第1の光線集約手段と、第1の光線集約手段から出射する光線を直線状の細径ビームとして集約する第2の光線集約手段と、を有し、第1の光線集約手段及び第2の光線集約手段はいずれも奇数次数非球面である光学素子、又は光学系であり、第2の光線集約手段は、第1の光線集約手段による光線の集約位置に配置され、第1の光線集約手段と第2の光線集約手段は異なる形状を有する、細径ビーム生成装置。
【選択図】図1
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
従来の技術においては、焦点位置のみ、若しくは短い焦点位置の前後でしか細径ビーム光を得ることが出来ないため、レーザ描画や切断加工に使用する際は焦点位置に対象物が正確に置かれている必要があり、その搬送機構や焦点を合わせるフォーカス機構が複雑かつ精密でなければならず、装置全体の構造が大きなものになってしまっていた。また、レーザ光の光ファイバー結合においては、従来は結合レンズでビーム光をフォーカスして光ファイバー端面に光を入力していたが、結合点から発散する角度があるために、結合に損失が出るため、例としてシングルモードファイバー(コア径3μm)にレーザーダイオードの光を入れる際には、概ね30%の結合効率しか得られないといった問題点があった。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
(1) 本発明は、光源と、前記光源からの発散光をコリメートするか、又は所定の立体角範囲内に集光する集光手段と、前記集光手段から出射する光線の少なくとも一部を、入射光束より狭い領域に集約する第1の光線集約手段と、前記第1の光線集約手段から出射する光線を直線状の細径ビームとして集約する第2の光線集約手段と、を有し、前記第1の光線集約手段及び前記第2の光線集約手段はいずれも奇数次数非球面である光・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、任意の光源から発せられる光に基づき、出射位置からの距離に依存せず所定の大きさ以下の径を有する直線状の細径ビームを生成できる、細径ビーム生成装置を提供できる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の第1細径ビーム生成装置の構成を示す模式図である。
【図2】
本発明の第2細径ビーム生成装置の構成を示す模式図である。
【図3】
図2におけるA-A線断面図である。
【図4A】
本発明の第2第1の光線集約手段、及び第2の光源集約手段を示す斜視図である。
【図4B】
本発明の第2第1の光線集約手段、及び第2の光源集約手段を示す斜視図である。
【図5】
本発明の第3細径ビーム生成装置の構成を示す模式図である。
【図6】
本発明の第4細径ビーム生成装置の構成を示す模式図である。
【図7】
奇数次数非球面と偶数次数非球面に対する入射光線がそれぞれ偏心した場合の影響を比較する模式図である。
【図8】
第1細径ビーム生成装置の光学シミュレーション結果を示す図である。
【図9】
第2細径ビーム生成装置の光学シミュレーション結果を示す図である。
【図10】
第3細径ビーム生成装置の光学シミュレーション結果を示す図である。
【図11】
第4細径ビーム生成装置の光学シミュレーション結果を示す図である。
1、1a、1b、1c 細径ビーム生成装置
2 光源
3 コリメータレンズ(コリメータ光学系)
41、41a1、41b2、42b1 第1の光線集約手段
42、42a1、42b2 第2の光線集約手段
L1、L2、L3、L4 細径ビーム
X 光軸
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