特許 7154835 プローブ組立体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-07

(45)【発行日】2022-10-18

(54)【発明の名称】プローブ組立体

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20221011BHJP

   G01R 1/06 20060101ALI20221011BHJP

【ＦＩ】

G01R1/073 D

G01R1/06 D

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2018118685

(22)【出願日】2018-06-22

(65)【公開番号】P2019219341

(43)【公開日】2019-12-26

【審査請求日】2021-06-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100180275

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 倫太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100161861

【弁理士】

【氏名又は名称】若林 裕介

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 豊和

(72)【発明者】

【氏名】清野 洋二

(72)【発明者】

【氏名】赤平 恵

(72)【発明者】

【氏名】山口 恒

【審査官】田口 孝明

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－２８１３６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２８６６０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－００７９８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１３２８５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６３－２７３３２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７８９２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国登録特許第１０－０７７３７３２（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１０－００８３０８７（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

ＩＰＣ Ｇ０１Ｒ ３１／２６－２７、

１／０６－１／０７３、

３１／２８－３１／３１９３、

Ｈ０１Ｌ ２１／６４－２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持部材と、
第１の接触対象と接触する第１の接触部と、第２の接触対象と接触する第２の接触部とを有する複数のプローブを、上記支持部材の長手方向に沿って配列させたプローブ群と
上記プローブ群の上記各プローブの中央領域を貫通して上記各プローブを支持する複数の位置決め部材と
を備え、
上記プローブ群が、
上記中央領域から上記第１の接触部側に配置される固定孔と、上記中央領域から上記第２の接触部側に配置される位置調整孔とを有する複数の第１のプローブと、
上記中央領域から上記第１の接触部側に配置される位置調整孔と、上記中央領域から上記第２の接触部側に配置される固定孔とを有する複数の第２のプローブとを有し、
上記各第１のプローブと上記各第２のプローブとを交互に配列させ、
上記各第１のプローブ及び上記各第２のプローブの上記位置調整孔は、長穴形状である
ことを特徴とするプローブ組立体。

【請求項2】

上記複数の位置決め部材のうち第１の位置決め部材が、交互配列する、上記各第１のプローブの上記固定孔と、上記各第２のプローブの上記位置調整孔とを貫通し、
上記複数の位置決め部材のうち第２の位置決め部材が、交互配列する、上記各第１のプローブの上記位置調整孔と、上記各第１のプローブの上記固定孔とを貫通する
ことを特徴とする請求項１に記載のプローブ組立体。

【請求項3】

上記各第１のプローブ及び上記各第２のプローブの上記位置調整孔が、上記各位置決め部材の移動を許容する可動領域を有しており、
上記複数の位置決め部材を相対移動させて、上記各第１のプローブの上記第１の接触部及び上記第２の接触部の位置と、上記各第２のプローブの上記第１の接触部及び上記第２の接触部の位置とが可変する
ことを特徴とする請求項２に記載のプローブ組立体。

【請求項4】

上記複数の位置決め部材を相対移動は、上記第１の位置決め部材を固定した状態で、上記第２の位置決め部材を移動させるものであり、上記各第２のプローブの上記第１の接触部及び上記第２の接触部の位置が可変する
ことを特徴とする請求項２又は３に記載のプローブ組立体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プローブ組立体に関し、例えば、液晶パネル、集積回路等の平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体に適用し得る。

【背景技術】

【0002】

例えば、液晶パネルディスプレイ装置の製造工程では、液晶パネルディスプレイ装置に用いられる液晶パネルのガラス基板上のＴＦＴアレイ回路の機能検査及び配線の断線、ショート検出を目的とした検査（以下、「アレイ検査」と呼ぶ）が行なわれる。一般に、アレイ検査は、液晶パネルの縁部に設けられている回路の複数の検査用テストパッド（検査端子）に、検査装置を用いて電気信号を印加して、ガラス基板上の各ＴＦＴが正しく機能するか否かを検査する。

【0003】

検査装置は、プローブユニットを備えており、プローブユニットは、液晶パネルの回路の電極と電気的に接続する複数のプローブを有するプローブ組立体を備えている（特許文献１参照）。

【0004】

図１２は、従来のプローブ組立体の概要を示す図である。図１２（Ａ）は、プローブ組立体３００を上から見た図であり、図１２（Ｂ）は、プローブ組立体３００を側面から見た図である。図１２で示すように、プローブ組立体３００は、プローブ組立体３００の本体部であって複数のプローブ３０４及び３０５を支持する支持部３０１と、支持部３０１に並列的に配置された帯状の複数のプローブ３０４（３０４－１～３０４－ｎ）及びプローブ３０５（３０５－１～３０５－ｎ）と、各プローブ３０４及び３０５を貫通し、各プローブ３０４及び３０５の位置を定める２個の位置決め部材３０３（３０３－１、３０３－２）と、位置決め部材３０３を保持し、支持部３０１に固定される一対のサイドカバー３０２（３０２－１、３０２－２）とを含んで構成されている。

【0005】

また、図１２では、検査用テストパッド８０（８０－１～８０－ｎ）が、２列千鳥配列で配置されている。この例では、プローブ組立体３００には、２列千鳥配列に対応するために、大きさの異なる（接触子の位置が異なる）２種類のプローブ３０４及びプローブ３０５が使用される。即ち、１列目に配置される検査用テストパッド８０（８０－１、８０－３、…）には、プローブ３０４（プローブ３０５より大形）が接触され、２列目に配置される検査用テストパッド８０（８０－２、８０－４、…）には、プローブ３０５（プローブ３０４より小形）が接触されることにより、アレイ検査が実行される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開平１０－１３２８５３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、２列千鳥配列の場合、検査用テストパッド８０の端子長方向の端子ピッチ（図１２では、端子ピッチＰ）に応じた、適当な大きさのプローブが必要となる。即ち、端子ピッチＰに合致する適当なプローブが存在しない場合には、端子ピッチＰに応じたプローブを一から設計しなければならない。

【0008】

つまり、どの大きさのプローブが使用できるか否かは端子ピッチＰに依存するため、プローブを事前に用意するためには検査用テストパッドの仕様が固まっている必要があった。また、事前に大量のプローブを用意し、プローブを在庫することが出来ない為、顧客要求納期に対して納期遅れを発生させるリスクが存在していた。

【0009】

そのため、検査端子の配列状態に合致したプロープの位置決めを柔軟に行なうことができるプローブ組立体が望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明は、（１）支持部材と、（２）第１の接触対象と接触する第１の接触部と、第２の接触対象と接触する第２の接触部とを有する複数のプローブを、上記支持部材の長手方向に沿って配列されたプローブ群と（３）上記プローブ群の上記各プローブの中央領域を貫通して上記各プローブを支持する複数の位置決め部材とを備え、（４）上記プローブ群が、上記中央領域から上記第１の接触部側に配置される固定孔と、上記中央領域から上記第２の接触部側に配置される位置調整孔とを有する複数の第１のプローブと、上記中央領域から上記第１の接触部側に配置される位置調整孔と、上記中央領域から上記第２の接触部側に配置される固定孔とを有する複数の第２のプローブとを有し、上記各第１のプローブと上記各第２のプローブとを交互に配列させ、（５）上記各第１のプローブ及び上記各第２のプローブの上記位置調整孔は、長穴形状であることを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、検査端子の配列状態に合致したプロープの位置決めを柔軟に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】実施形態に係るプローブ組立体に適用されるプローブの構成を示す図である。

【図2】実施形態に係るプローブ（基準タイプ、可動タイプ）の使用方法を説明する図である。

【図3】実施形態に係るプローブ組立体を上から見た図である。

【図4】実施形態に係るプローブ組立体の分解図である。

【図5】実施形態に係る検査用テストパッドの２列千鳥配列の一例を示す図である

【図6】実施形態に係るサイドカバー（表）の構成を示す構成図である。

【図7】実施形態に係るサイドカバー（裏）の構成を示す構成図である。

【図8】実施形態に係るサイドカバー（表）の図６とは別の構成を示す構成図である。

【図9】実施形態に係る検査装置の測定部におけるプローブユニットの構成を示す斜視図である。

【図10】実施形態に係るプローブユニットの主な構成を示す構成図である。

【図11】実施形態に係るプローブユニットのプローブ機構を示す側面断面図である。

【図12】従来のプローブ組立体の概要を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

（Ａ）主たる実施形態
以下では、本発明に係るプローブ組立体の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

【0014】

この実施形態では、本発明を利用して、液晶（ＬＣＤ）パネルの検査を行なう検査装置に適用する場合を例示する。なお、被検査体は、液晶パネルに限定されるものではなく、有機ＥＬ等の平板状パネルにも適用できる。

【0015】

（Ａ－１）実施形態の構成
［検査装置及びプローブユニット］
まず、図９～図１１を参照して、実施形態に係る検査装置及びプローブユニットの構成を説明する。

【0016】

液晶パネルのアレイ検査を行なう検査装置は、主として、パネルセット部（図示しない）と、測定部１００とを有する。

【0017】

パネルセット部は、外部からのＬＣＤパネル５を測定部１００に搬送し、測定部１００における検査終了後に、ＬＣＤパネル５を外部へ搬送する装置である。

【0018】

測定部１００は、パネルセット部から搬送されてきたＬＣＤパネル５を支持して、ＬＣＤパネル５の検査を行なう装置である。

【0019】

測定部１００は、図９に示すように、プローブユニット２と、ＬＣＤパネル５を支持するワークテーブル５０とを有する。また、プローブユニット２は、プローブベース３、複数のプローブ組立体１、複数の支持部４、複数の接続ケーブル部６を有して構成される。

【0020】

プローブベース３は、プローブ組立体１を支持している複数の支持部４を支持する部材である。プローブベース３は板状の部材である。プローブベース３の一端部に複数の支持部４を配列させるようにして支持しており、複数の支持部４を、ワークテーブル５０上のＬＣＤパネル５と対向する状態とする。

【0021】

各支持部４は、プローブベース３に支持された状態で、プローブ組立体１を支持する部材である。各支持部４の基端側はプローブベース３に支持された部分であり、各支持部４の先端側はプローブ組立体１を支持する部分である。図１０に示すように、支持部４は、プローブベース３に直接取り付けられて全体を支持するサスペンションブロック７と、このサスペンションブロック７の先端部に支持されるスライドブロック８と、このスライドブロック８の内側面（図１０中の下側面）に一体的に取り付けられたプローブプレート９とを備えて構成されている。

【0022】

プローブ組立体１は、ＬＣＤパネル５の回路の電極と接続している検査用テストパッド８０の電極に接触して、検査用テストパッド８０を介してＬＣＤパネル５の回路に検査信号を伝えるための部材である。プローブ組立体１は、プローブプレート９の下面に取り付けられている。

【0023】

プローブ組立体１の詳細な説明については後述するが、プローブ組立体１は、少なくとも、支持部材１０と、複数のプローブ１１及び２１を有して構成されている。支持部材１０は、プローブプレート９の下面に位置しており、複数のプローブ１１及び２１は、支持部材１０の下側に位置している。各プローブ１１及び２１は、板状の部材であり、図１１に示すように、ＬＣＤパネル５の回路の電極に接続している検査用テストパッド８０の各電極（以下、「第１の接触対象」とも呼ぶ。）と電気的に接触する第１の先端部（以下、「第１の先端部」とも呼ぶ。）１１３と、接続ケーブル部６の各端子（以下、「第２の接触対象」とも呼ぶ。）と電気的に接触する第２の先端部（以下、「第２の先端部」とも呼ぶ。）１１４とを有している。

【0024】

接続ケーブル部６は、プローブ１１及び２１と外部装置（図示しない）とを電気的に接続するための部材である。具体的に、接続ケーブル部６は、プローブ１１及び２１の第２の先端部１１４とプローブベース３側の回路とに直接的に接続されており、このプローブベース３側の回路を介して外部装置と電気的に接続されている。すなわち、接続ケーブル部６は、プローブ組立体１のプローブ１１及び２１と外部装置とを、プローブベース３のプリント基板を介して電気的に接続している。

【0025】

図１１に示すように、接続ケーブル部６は、ＦＰＣプレート５１と、ＦＰＣケーブル５３とを有して構成されている。

【0026】

ＦＰＣプレート５１は、接続ケーブル部６をプローブ組立体１側に固定するための部材であり、プローブプレート９の下側に取り付けられている。

【0027】

ＦＰＣケーブル５３は、外部装置からの電気信号をプローブ組立体のプローブ１１及び２１に伝えるケーブルである。ＦＰＣケーブル５３の一方は、ＦＰＣプレート５１に固定されてプローブ１１及び２１に電気的に接続され、ＦＰＣケーブル５３の他方は、プローブベース３の下側に設けられたプリント基板(図示せず)に接続されている。これにより、ＦＰＣケーブル５３は、このプリント基板を介して外部装置と電気的に接続されている。

【0028】

［プローブ組立体］
次に、図１～図８を参照して、実施形態に係るプローブ組立体１の構成を、詳細に説明する。

【0029】

プローブ組立体１は、主に、支持部材１０、複数のプローブ１１、複数のプローブ２１、サイドカバー１２及び１３、２個の位置決め部材１４（１４－１、１４－２）を有する。

【0030】

［支持部材］
支持部材１０は、複数のプローブ１１及び２１を支持する部材である。図４に示すように、支持部材１０の下面の長手方向に伸びる端部には、複数のスリットを有するプローブ支持部１０１及び１０２が設けられている。プローブ支持部１０１及び１０２に設けられている各スリットは、プローブ支持部１０１とプローブ支持部１０２との間で対応する位置関係にあり、各プローブ１１及び２１の両端部が各スリットに嵌め込まれることで、各プローブ１１及び２１を支持することができる。

【0031】

プローブ支持部１０１及び１０２の各スリットに各プローブ１１及び２１の両端部が嵌られた状態で、各プローブ１１及び２１の固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２（位置調整用ガイド穴２１１及び固定用ガイド穴２１２）に、位置決め部材１４が挿通される。これにより、各プローブ１１及び２１の位置を固定することができる。

【0032】

支持部材１０は、非導電性を有する部材であり、例えば、絶縁部材により形成されたものとしてもよいし、支持部材１０の全部若しくはプローブ１１及び２１と接触する一部分の表面に絶縁層を被膜したりしてもよい。

【0033】

［プローブ］
各プローブ１１及び２１は、検査用テストパッド８０の各電極と、接続ケーブル部６側の各端子との間で電気信号を伝える部材である。検査用テストパッド８０は、液晶パネルの回路の各電極と接続しているので、各プローブ１１及び２１は、検査用テストパッド８０の各電極を介して液晶パネルの各電極と電気的に接続する。以下、検査用テストパッド８０の各電極と電気的に接触する複数のプローブをプローブ群とも呼ぶ。

【0034】

図１に示すように、プローブ組立体１では、中央領域のガイド穴の形状が異なる２種類のプローブが用いられる。

【0035】

図１（Ａ）に示すプローブ１１は、第１の先端部１１３と、第２の先端部１１４と、固定用ガイド穴１１１と、位置調整用ガイド穴１１２とを有する。

【0036】

第１の先端部１１３は、プローブ１１の中央領域から前方（検査用テストパッド８０側）に向けて伸びた部分の先端部であり、検査用テストパッド８０の各電極と電気的に接触するものである。一方、第２の先端部１１４は、プローブ１１の中央領域から後方（検査装置側）に向けて伸びた部分の先端部であり、検査装置と電気的に接続する各配線と電気的に接触するものである。

【0037】

第１の先端部１１３が検査用テストパッド８０の電極に電気的に接触し、また第２の先端部１１４が接続ケーブル部６の端子と電気的に接触して、液晶パネルのアレイ検査に必要な電気信号が導通される。なお、各プローブ１１は、導電性を有する金属板にエッチング加工を施して形成することができる。

【0038】

プローブ１１は、板状の導電性を有する帯状（帯状とは、板状、ブレード状の概念も含む。）の部材である。帯状の各プローブ１１の中央領域には、２個の位置決め部材１４のそれぞれが貫通する固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２が設けられている。

【0039】

プローブ１１の固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２の形状は異なる。固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２の形状は、各位置決め部材１４の断面形状に応じた形状とすることができる。この実施形態では、位置決め部材１４の断面形状が円形である場合を例示するため、固定用ガイド穴１１１は円形としている。ただし、位置調整用ガイド穴１１２は長穴形状（スロット）としており、位置決め部材１４が所定量移動可能な構造となっている。位置決め部材１４は、位置調整用ガイド穴１１２の円弧１４１Ｌ及び１４１Ｒで係止めされる。

【0040】

また、各固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２の径は、位置決め部材１４の貫通を許容するため、位置決め部材１４の断面形状の径よりもわずかに大きくすることができる。

【0041】

図１（Ｂ）に示すプローブ２１は、第１の先端部１１３と、第２の先端部１１４と、位置調整用ガイド穴２１１と、固定用ガイド穴２１２とを有する。プローブ２１の第１の先端部１１３及び第２の先端部１１４の形状は、プローブ１１の先端部１１３及び第２の先端部１１４の形状と同様である。また、位置調整用ガイド穴２１１の形状はプローブ１１の位置調整用ガイド穴１１２と同様であり、固定用ガイド穴２１２の形状はプローブ１１の固定用ガイド穴１１１と同様である。

【0042】

図１に示すように、プローブ１１及び２１は、丸穴形状の固定用ガイド穴１１１及び固定用ガイド穴２１２と、長穴形状の位置調整用ガイド穴１１２及び位置調整用ガイド穴２１１の配置が異なっている（丸穴と長穴が左右逆となっている）。また、プローブ１１及び２１は、図４に示すように交互に複数個配置される。

【0043】

［位置決め部材］
位置決め部材１４（１４－１、１４－２）は、支持部材１０のプローブ支持部１０１及び１０２の各スリットに各プローブ１１及び２１が嵌合された状態で、各プローブ１１及び２１の各固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２（位置調整用ガイド穴２１１及び固定用ガイド穴２１２）を貫通させて、複数のプローブ１１及び２１の位置決めをするものである。各位置決め部材１４－１及び１４－２は、絶縁部材で形成したり、又は絶縁層を被膜することにより形成したりすることができる。

【0044】

また、各位置決め部材１４－１及び１４－２は、長手方向に沿って長い丸棒状の部材を用いることができる。各位置決め部材１４－１及び１４－２の断面形状の径は、特に限定されるものではないが数ｍｍ程度とすることができ、各位置決め部材１４－１及び１４－２が挿通される各プローブ１１及び２１の固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２（位置調整用ガイド穴２１１及び固定用ガイド穴２１２）の径も、各位置決め部材１４－１及び１４－２の断面形状の径よりもわずかに大きくすることができる。

【0045】

各プローブ１１及び２１に、２本の位置決め部材１４（１４－１、１４－２）が貫通されることにより、検査用テストパッド８０に接触する各プローブ１１及び２１の第１の先端部１１３の位置が安定（電気的接続が安定）されることになる。

【0046】

［プローブ位置調整方法］
以下、図２、図３を例に挙げて、検査用テストパッド８０の配列の状態に合わせて、検査用テストパッド８０に接触する各プローブ１１及び２１の第１の先端部１１３の位置調整の説明を行なう。図２では、プローブ１１の固定用ガイド穴１１１及びプローブ２１の位置調整用ガイド穴２１１に位置決め部材１４－２が差し込まれ、プローブ１１の位置調整用ガイド穴１１２及びプローブ２１の固定用ガイド穴２１２に位置決め部材１４－１が差し込まれている例が示されている。なお、図２では、説明を簡易にするために、１組のプローブ（１個のプローブ１１と１個のプローブ２１）しか示していないが、実際には図４に示すように複数（例えば、数１００）のプローブ１１及び２１が存在する。また、この実施形態では、図３に示すように位置決め部材１４－１が移動し、位置決め部材１４－２が固定される例を示すが、変形例として、位置決め部材１４－２が移動し、位置決め部材１４－１が固定される構成としてもよい。

【0047】

図２（Ａ）は、例えば、検査用テストパッド８０の各電極が一列に配列される場合のプローブ１１及び２１の配置（位置）について示す図である。即ち、各プローブ１１及び２１の第１の先端部１１３が、横一例に同時に接触するように配置される。図２（Ａ）では、位置決め部材１４－１はプローブ１１の位置調整用ガイド穴１１２の円弧１４１Ｌに係止され、プローブ２１の固定用ガイド穴２１２に嵌合されている例が示されている。また、位置決め部材１４－２はプローブ１１の固定用ガイド穴１１１に嵌合され、プローブ２１の固定用ガイド穴２１２の円弧２４１Ｒに係止されている例が示されている。

【0048】

一方、図２（Ｂ）は、プローブ１１及び２１の接触対象である各電極が千鳥状に配列（例えば、後述する図５）されている場合のプローブ１１及び２１の配置（位置）について示す図である。図２（Ａ）の状態から図２（Ｂ）への状態の変化は、位置決め部材１４－１が移動することにより生じる。即ち、位置決め部材１４－１が移動（図２では右方向に移動量Ｌだけ移動）すると、プローブ２１は位置決め部材１４－１の移動に引きずられる形で、移動量Ｌだけ移動する。プローブ２１が移動することにより、プローブ２１のガイド穴２１１中の位置決め部材１４－２の位置は、円弧２４１Ｒから円弧２４１Ｌへ位置することになる。

【0049】

一方、プローブ１１では、位置調整用ガイド穴１１２中の位置決め部材１４－１が移動量Ｌだけ、円弧１４１Ｌから円弧１４１Ｒへ移動するが、プローブ１１自体は移動しない。また、図２に示すように、移動量Ｌは、位置決め部材１４－１が位置調整用ガイド穴１１２の円弧１４１Ｌの係止めされた位置（中心点）から円弧１４１Ｒへ係止めされた位置（中心点）に移動可能な領域である。

【0050】

この実施形態のプローブ２１は移動量Ｌだけ移動する可動タイプであるに対して、プローブ１１は、常に位置が変化しない基準タイプである。このように、プローブ組立体１が基準タイプのプローブ１１と可動タイプのプローブ２１を用いることにより、２列千鳥配列に対応する各プローブ１１及び２１の位置決め（位置調整）を柔軟に行うことができる。

【0051】

図５は、検査用テストパッドの２列千鳥配列の一例を示す図である。図５に示すように、検査用テストパッド８０が千鳥状に２列で示されている。図５では、同一列（１列目、２列目）のテストパッド８０（８０－１、８０－３、…）の端子幅Ｄ１方向のピッチ間隔は所定長Ａであるの対して、異なる列（１列目と２列目）のピッチ間隔は所定長Ａの半分となる。また、１列目のテストパッド８０（８０－１、８０－３、…）と２列目のテストパッド８０（８０－２、８０－４、…）の端子長Ｄ２方向のピッチ間隔は所定長Ｂである。

【0052】

１列目のテストパッド８０（８０－１、８０－３、…）は各プローブ１１の第１の先端部１１３により接触され、２列目のテストパッド８０（８０－２、８０－４、…）は各プローブ２１の第１の先端部１１３により接触される。

【0053】

上述のように位置決め部材１４－１を移動させることにより、端子長Ｄ２方向のピッチ間隔（所定長Ｂ）に合わせて、プローブ１１の第１の先端部１１３とプローブ２１の第１の先端部１１３の位置（間隔）を調整できる。位置決め部材１４－１の移動は、例えば、予め位置決め部材１４－１をはめ込む支持穴１２３の位置が異なる複数のサイドカバー１２及び１３から適合するサイドカバー１２及び１３を選択して付け替えることにより行われる。

【0054】

［サイドカバー］
サイドカバー１２及び１３は、複数のプローブ１１及び２１の固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２（位置調整用ガイド穴２１１及び固定用ガイド穴２１２）に位置決め部材１４－１及び１４－２が挿通された状態で、位置決め部材１４－１及び１４－２の抜けを防止するため、各位置決め部材１４－１及び１４－２の両端部を固定するものである。

【0055】

図６は、プローブ組立体１の右側に設けられたサイドカバー１３の構成であり、図４及び図６を用いて、右側のサイドカバー１３の構成を説明するが、左側のサイドカバー１２も同様の構成である。

【0056】

サイドカバー１３は略矩形の板状部材である。サイドカバー１３は、各位置決め部材１４－１及び１４－２の端部を支持するため、各位置決め部材１４－１及び１４－２と対応する位置に２個の支持穴１２３（１２３－１、１２３－２）を有する。２個の支持穴１２３はそれぞれ、図７に示すようにザグリ加工が施されている。すなわち、２個の支持穴１２３の外側面１２３ａの開口部の径は、位置決め部材１４－１及び１４－２の径よりも小さくなっており、位置決め部材１４－１及び１４－２の抜け落ちを防止している。また、サイドカバー１３の両端部付近には、支持部材１０に固定するための固定部１２２（１２２－１、１２２－２）が設けられている。このように、複数のプローブ１１の固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴１１２に位置決め部材１４－１及び１４－２が挿通された状態で、サイドカバー１３を支持部材１０に対して固定することで、固定する位置決め部材１４－１及び１４－２の抜けを防止することができる。

【0057】

この実施形態では、プローブ組立体１に複数のサイドカバー１３から適当なサイドカバー１３を適用することができる。先述の図２で示したように、位置決め部材１４－１を移動量Ｌだけ移動させるためには、移動量Ｌだけ移動させた位置に存在する支持穴１２３－１に位置決め部材１４－１が嵌合されるサイドカバー１３（図８）を適用する。例えば、移動量Ｌが０.３ｍｍの場合には、支持穴１２３が初期位置（図６の状態）から０.３ｍｍ右へ移動された位置に存在するサイドカバー１３をプローブ組立体１に付け代える。

【0058】

（Ａ－３）実施形態の効果
以上のように、上記実施形態によれば以下の効果を奏する。

【0059】

上記実施形態のプローブ組立体は、交互に配列された２種類のプローブ（基準タイプ、可動タイプ）を貫通する２つの位置決め部材の一方の移動に従い、同時に可動タイプのプローブが移動するため、検査体の２列千鳥配列の状態（１列目と２列目の間隔）に合せたプローブの位置決めを柔軟に行うことができる。

【0060】

また、２種類のプローブのみを用いることによって、任意の２列千鳥配列の状態に合わせたプローブ位置の調整が行えるため、その都度プローブを設計する必要が無くなった。つまり、基準タイプ及び可動タイプのプローブを事前に大量生産し在庫することができるため、コストの低減及び顧客に対する早期提供が可能となった。

【0061】

（Ｂ）他の実施形態
上述した実施形態では、プローブ組立体１に位置決め部材１４を２つ使用する例（位置決め部材１４－１、位置決め部材１４－２）を示したが、２以上の位置決め部材１４を使用しても良い。例えば、３つの位置決め部材１４を使用する場合には、図２に示したような位置決め部材１４－２と同様の機能を備える（常に固定される）位置決め部材１４－３を用いる。また、プローブ１１及びプローブ２１には固定用ガイド穴１１１及び位置調整用ガイド穴２１１の左側に同様の形状のガイド穴を設ける。新たに設けたガイド穴に位置決め部材１４－３を差し込むことにより、プローブ１１及び２１の安定性が向上する。

【符号の説明】

【0062】

１…プローブ組立体、２…プローブユニット、３…プローブベース、４…支持部、５…ＬＣＤパネル、６…接続ケーブル部、７…サスペンションブロック、８…スライドブロック、９…プローブプレート、１０…支持部材、１１…プローブ、１２、１３…サイドカバー、１４（１４－１、１４－２）…位置決め部材、２１…プローブ、５０…ワークテーブル、５１…ＦＰＣプレート、５３…ＦＰＣケーブル、８０…検査用テストパッド、１００…測定部、１０１、１０２…プローブ支持部、１１１、２１２…固定用ガイド穴、１１３…第１の先端部、１１４…第２の先端部、１２２…固定部、１２３…支持穴、１２３ａ…外側面、１４１Ｌ、１４１Ｒ…円弧、２１１、１１２…位置調整用ガイド穴、２４１Ｌ、２４１Ｒ…円弧、３００…プローブ組立体、３０１…支持部、３０２…サイドカバー、３０３…位置決め部材、３０４、３０５…プローブ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】