7156959 光照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-11

(45)【発行日】2022-10-19

(54)【発明の名称】光照射装置

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/1337 20060101AFI20221012BHJP

【ＦＩ】

G02F1/1337

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019008543

(22)【出願日】2019-01-22

(65)【公開番号】P2020118798

(43)【公開日】2020-08-06

【審査請求日】2021-11-01

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000305

【氏名又は名称】弁理士法人青莪

(72)【発明者】

【氏名】大西 郷

【審査官】横井 亜矢子

(56)【参考文献】

【文献】実開昭５３－１５２６２６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開昭５４－１７４３４３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開昭５８－１４４３４５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開昭６３－１８２６４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０３８５２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２２６４５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２６６０９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６３－０５６６４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０５３９２１０１（ＵＳ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０４６５６３１３（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｆ １／１３３７

Ｇ０３Ｆ ７／２０－７／２４，９／００－９／０２

Ｇ０３Ｂ ２７／５４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０，２１／４６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の幅を持つ被照射体に対して紫外光を照射する光照射装置において、
幅方向をＸ軸方向、同一平面内でＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向として、Ｘ軸方向に線状にのびるライン光を形成する光源と、前記光源と前記被照射体との間に配置されて前記被照射体に向けて照射される前記ライン光の局所的な減光を可能にする減光フィルターと、前記減光フィルターをＹ軸方向に被照射体に対して相対移動させる移動手段とを備え、
減光フィルターは、Ｙ軸方向に対して傾斜した２辺を持つ輪郭を有して、移動手段の起点にてライン光の中央領域を減光し、前記起点からＹ軸方向一方への相対移動に伴ってライン光の減光領域がＸ軸方向に拡がるように構成され、
前記減光フィルターの各辺が、Ｙ軸方向に対して３０度以下の傾斜角で傾斜されていることを特徴とする光照射装置。

【請求項2】

前記減光フィルターは、台形の輪郭を有して光源からの光を反射または吸収する減光部がメッシュ状に設けられたものであることを特徴とする請求項１記載の光照射装置。

【請求項3】

被照射体に照射される光の照度を測定する測定手段と、測定手段の測定値に基づいて前記移動手段を制御する制御手段とを更に備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載の光照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、所定の幅を持つ被照射体に対して紫外光を照射する光照射装置に関し、より詳しくは、被照射体の幅方向で照度や光量の均一性よく光を照射できるものに関する。

【背景技術】

【0002】

液晶表示パネルの液晶表示素子が備える液晶配向膜を配向させるために、配向膜や配向層に偏向光を照射することで配向させる光配向と呼ばれる技術が知られている。また、画像表示パネルとタッチパネル部材を貼り合わせるために紫外線硬化型樹脂を主成分とする接着組成物をシート状に成形し、この接着組成物を完全に硬化させる場合と比較して低い照度の紫外光を照射して半硬化状態とし、半硬化状態の接着組成物を介して画像表示パネルとタッチパネル部材を位置合わせしながら貼り合わせ、再度紫外光を照射して接着組成物を完全に硬化させることで、気泡の残存を回避しながら、画像表示パネルとタッチパネル部材を強固に接着することが行われている。

【0003】

上記配向膜などの被照射体に対して紫外光（光）を照射する光照射装置は例えば特許文献１で知られている。このものは、被照射体の幅方向をＸ軸方向、同一平面内でＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向として、被照射体をＹ軸方向に搬送する搬送手段と、この搬送手段により搬送される被照射体に対向配置させる棒状光源とを備える。そして、棒状光源から発せられたＸ軸方向に線状にのびるライン光が被照射体に照射されるようにしている。このとき、光源から発せられる光の波長や光源の強さ（光度）に関係なく、被照射体のＸ軸方向中央領域でのライン光の照度が高く、中央領域からＸ軸方向両端領域に向かうのに従い照度が低下していくこと（即ち、Ｘ軸方向に照度むらが生じること）が一般に知られている。このような光照射装置を用いる場合、Ｘ軸方向の照度むらに起因した上記配向膜の品質への影響を排除するため、上記従来例のものでは、被照射体の中央領域でのライン光の照度を低下させて照度むらを抑制するために、被照射体と棒状光源との間に減光フィルターが固定配置されている。

【0004】

ところで、ライン光の照度を低下させるＸ軸方向の幅（言い換えると、減光領域のＸ軸方向長さ）は、例えば被照射体の種類に応じて変更する必要がある。このような場合、減光領域のＸ軸方向長さが異なる複数枚の減光フィルターを作製し、被照射体の種類に応じてその都度交換するのでは、その交換作業が面倒であるばかりか、交換作業後の調整作業も必要となって生産性の低下を招来する。そこで、減光領域のＸ軸方向長さが自動調整できる光照射装置の開発が望まれている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１７－１５８８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、以上の点に鑑み、減光領域のＸ軸方向長さが自動調整できる光照射装置を提供することをその課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、所定の幅を持つ被照射体に対して紫外光を照射する本発明の光照射装置は、幅方向をＸ軸方向、同一平面内でＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向として、Ｘ軸方向に線状にのびるライン光を形成する光源と、前記光源と前記被照射体との間に配置されて前記被照射体に向けて照射される前記ライン光の局所的な減光を可能にする減光フィルターと、前記減光フィルターをＹ軸方向に被照射体に対して相対移動させる移動手段とを備え、減光フィルターは、Ｙ軸方向に対して傾斜した２辺を持つ輪郭を有して、移動手段の起点にてライン光の中央領域を減光し、前記起点からＹ軸方向一方への相対移動に伴ってライン光の減光領域がＸ軸方向に拡がるように構成されることを特徴とする。尚、本発明には、減光フィルターをＹ軸方向に加えてＸ軸方向にも相対移動させるもの（つまり、Ｘ軸とＹ軸との交点回りのθ方向に回転させるもの）を含むものとする。

【0008】

本発明によれば、移動手段により減光フィルターをＹ軸方向に被照射体に対して相対移動させれば、ライン光の減光領域のＸ軸方向の幅が変化する、これにより、被照射体に照射する光の照度（または光量）ばらつきを調整することができる。このため、従来例のように被照射体の種類に応じてその都度減光フィルターの交換作業や交換作業後の調整作業を行う必要がなく、生産性を向上させることができる。

【0009】

本発明においては、前記減光フィルター各辺は、Ｙ軸方向に対して３０度以下の傾斜角で傾斜することが好ましい。各辺の傾斜角が３０度よりも大きいと、減光フィルターのＹ軸方向への移動量に対する減光領域の変化量が大きくなり、減光領域ひいてはライン光の照度を精度良く制御できないという不具合が生じる。

【0010】

本発明においては、前記減光フィルターは、台形の輪郭を有して光源からの光を反射または吸収する減光部がメッシュ状に設けられたものであることが好ましい。

【0011】

本発明においては、被照射体に照射される光の照度を測定する測定手段と、測定手段の測定値に基づいて前記移動手段を制御する制御手段とを更に備えること好ましい。これによれば、被照射体に照射される光の照度を精度よく制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態の光照射装置を示す模式図。

【図2】図１に示す減光フィルターを示す斜視図。

【図3】（ａ）は起点位置の減光フィルターを説明図であり、（ｂ）は移動後の減光フィルターを示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照して、所定の幅を持つ帯状の基材を被照射体Ｗｂとし、被照射体に対して光を照射する場合を例に、本発明の実施形態の光照射装置について説明する。以下においては、幅方向をＸ軸方向、同一平面内でＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向として説明する。

【0014】

図１を参照して、ＬＭは、本実施形態の光照射装置である。光照射装置ＬＭは、被照射体ＷｂをＹ軸方向に搬送する搬送手段としての搬送ローラ１ａ，１ｂを備える。尚、被照射体Ｗｂとしては、単層あるいは多層のプラスチックフィルムや、プラスチックフィルムに粘着剤を塗布して粘着剤層が形成された粘着フィルムや粘着シート等を用いることができる。プラスチックフィルムとしては、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリウレタンなどの熱可塑性樹脂からなるものを好適に例示することができる。被照射体Ｗｂの幅は、特に限定されないが、１４００ｍｍ以下が好ましく、３００ｍｍ～１０００ｍｍの範囲がより好ましい。

【0015】

搬送ローラ１ａ，１ｂの間の被照射体Ｗｂの部分に対向させて、被照射体Ｗｂの下方には光源２が配置されている。光源２は、Ｘ軸方向に長手の棒状ランプ２１と、棒状ランプ２１が収納される上面が開口された収納箱２２とを備え、Ｘ軸方向にのびるライン光を形成できるようになっている。棒状ランプ２１としては、ＵＶ（紫外線）ランプを用いることができる。光源２から被照射体Ｗｂまでの距離（以下「照射距離」ともいう）ｄ１は、被照射体Ｗｂに照射する光の照度や光量に応じて適宜設定され、例えば２００～１２００ｍｍの範囲に設定される。光源２のＸ軸方向の長さ（以下「光源幅」という）は、被照射体Ｗｂの幅に応じて設定されるが、通常、被照射体Ｗｂの幅の１～１．５倍の範囲に設定される。例えば、被照射体Ｗｂの幅が１４００ｍｍである場合、光源幅は１４００～２１００ｍｍの範囲、好ましくは１６００～２０００ｍｍの範囲、より好ましくは１８００～１９００ｍｍの範囲に設定される。尚、光源２のＹ軸方向の長さは、２００ｍｍ以下が好ましく、１００ｍｍ～１５０ｍｍの範囲がより好ましい。

【0016】

光源２と被照射体Ｗｂとの間には減光フィルター３が配置され、光源２からのライン光の局所的な減光を可能としている。減光フィルター３は、移動手段としてのモータ４の駆動軸４ａに連結され、Ｙ軸方向に被照射体Ｗｂに対して相対移動できるようになっている。光源２から減光フィルター３までの距離ｄ２は、例えば、１００ｍｍ～３００ｍｍの範囲に設定することが好ましく、１５０ｍｍ～２５０ｍｍの範囲に設定することがより好ましい。

【0017】

図２も参照して、減光フィルター３としては、例えば、光源２からの光の通過を許容する開口３ａが画成されるように金属製の線材３ｂをメッシュ状に組み付けたものや（図３参照）、パンチングメタルを用いることができる。減光フィルター３の減光率（減光フィルター３全体の面積に対する遮光部（線材３ｂ）の面積の割合）は、２０％～８０％の範囲に設定することが好ましく、２５％～７５％の範囲に設定することがより好ましい。２０％より低いと、照度むらを抑制するための十分な減光率が得られなくなり、８０％より高いと、光の遮断量が大きくなり、減光フィルター３の熱変形や電力のロスを招来する虞がある。減光フィルター３の材質は、遮光できると共に光照射に対して耐性を持つものであればよく、例えば、ステンレス等の金属が好ましい。減光フィルター３の厚み（線材３ｂの線径）は、例えば、２ｍｍ以下が好ましく、０．１ｍｍ～１ｍｍの範囲がより好ましい。２ｍｍより大きいと、減光フィルター３に対して垂直に入射した光しか透過できなくなり、その結果として、被照射体Ｗｂに十分な光を照射できなくなり、０．１ｍｍより小さいと、減光フィルター３が変形することがある。減光フィルター３は、Ｙ軸方向に対して傾斜した２辺３１ａ，３１ｂを持つ輪郭を有し、具体的には、台形や三角形の輪郭を有している。各辺３１ａ，３１ｂのＹ軸方向に対する傾斜角θは、３０度以下に設定されることが好ましい。傾斜角θが３０度よりも大きいと、減光フィルター３のＹ軸方向の移動量に対する減光領域の変化量が大きくなり、減光領域ひいてはライン光の照度を精度良く制御できないという不具合がある。減光フィルター３が台形の輪郭を持つ場合、上底の長さは、好ましくは光源幅の０．３倍～０．５倍、より好ましくは光源幅の０．３倍～０．４倍に設定することができ、また、下底の長さは、好ましくは光源幅の０．７倍～０．９倍、より好ましくは光源幅の０．８倍～０．９倍に設定することができる。減光フィルター３のＹ軸方向の両端は、矩形の枠体３２で保持されており、枠体３２のＸ軸方向両端は、Ｙ軸方向に夫々のびる一対のガイド部材３３によりガイドされている。枠体３２のＹ軸方向一方の外側面にはモータ４の駆動軸４ａが連結されている。このような構成を採用することにより、モータ４を駆動することで枠体３２ひいては減光フィルター３をＹ軸方向に被照射体Ｗｂに対して相対移動できるようになっている。例えば、モータ４の起点位置では、図３（ａ）に示すように、減光フィルター３によりライン光の中央領域が減光される。そして、この起点からモータ４を作動させて、図３（ｂ）に示す位置まで、減光フィルター３をＹ軸方向一方へ相対移動させると、これに伴って減光フィルター３によるライン光の減光領域がＸ軸方向に拡がるようになっている。尚、モータ４として、図示省略するエンコーダを備えるものを用いることで、エンコーダの値と減光フィルター３の位置とを予め対応付けて後述する制御手段Ｃｕに記憶しておけば、減光フィルター３を精度良く移動させることができる。

【0018】

被照射体Ｗｂの上方には測定手段としての複数個（本実施形態では５個）の照度計５がＸ軸方向に並設されており、各照度計５が被照射体Ｗｂの部分を透過した光の照度を測定できるようになっている。各照度計５の測定値は、制御手段Ｃｕに入力される。制御手段Ｃｕは、マイクロコンピュータやシーケンサ等を備えた公知のものであり、制御手段Ｃｕにより、搬送ローラ１ａ，１ｂの作動、光源２の作動やモータ４の作動等を統括制御するほか、各照度計５から入力される測定値から照度ばらつきを求めて照度ばらつきに基づいてモータ４をフィードバック制御するようになっている。以下、上記光照射装置ＬＭを用いて、被照射体Ｗｂに対する光の照射方法について説明する。

【0019】

先ず、照度のばらつきが目的とする範囲内に収まるように、被照射体Ｗｂの材質に応じてライン光の減光領域のＸ軸方向の幅（以下「減光領域幅」ともいう）Ｒｘが決定される。そして、減光領域幅Ｒｘを実現する減光フィルター３のＹ軸方向の目標位置が求められる。例えば、被照射体Ｗｂの種類と、減光領域幅Ｒｘ及び減光フィルター３のＹ軸方向の目標位置とを対応付けて制御手段Ｃｕに記憶しておけば、被照射体Ｗｂの種類に応じた減光領域幅Ｒｘと目標位置とを取得することができる。モータ４を駆動して、減光フィルター３をＹ軸方向に相対移動させる。

【0020】

減光フィルター３が目標位置まで移動すると、図示省略するモータにより搬送ローラ１ａ，１ｂを回転駆動することにより、所定速度で被照射体ＷｂがＹ軸方向に搬送される。このように被照射体Ｗｂを搬送しながら、光源２から被照射体Ｗｂの部分にＵＶ光が照射される。

【0021】

ここで、被照射体Ｗｂが光透過性を有するため、被照射体Ｗｂを透過したＵＶ光の照度が各照度計５により測定される。照度計５により測定された照度と、上記決定された照度との間に差が予め設定した基準値と異なる場合、その差に基づいてモータ４を駆動して減光フィルター３の位置を補正するようにしてもよい。

【0022】

以上によれば、減光フィルター３をＹ軸方向に被照射体Ｗｂに対して相対移動させることで、ライン光の減光領域のＸ軸方向の幅（減光領域幅）Ｒｘを変化させることができ、その結果として、被照射体Ｗｂに照射する光の照度（または光量）を変化させることができる。このため、従来例のように被照射体Ｗｂの種類に応じてその都度減光フィルター３の交換作業や交換作業後の調整作業を行う必要がなく、生産性を向上させることができる。

【0023】

次に、本発明の実施形態をより具体化した実施例と実施例に対する参考例について説明する。実施例１では、被照射体Ｗｂとして１４００ｍｍの幅を持つポリエチレンテレフタレート製フィルム（東レ株式会社製、商品名「ＰＥＴ２５ Ｔ６０」）を用い、この被照射体Ｗｂに対向させて光源２を配置した。光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１は、１０００ｍｍに設定した。光源２の棒状ランプ２１としては、幅が１８５０ｍｍである紫外線硬化用ランプ（アイグラフィックス株式会社製、商品名「Ｈ２９６－Ｌ４１Ｘ」）を用いた。被処理体Ｗｂと光源２との間には、減光フィルター３を配置し、光源２から減光フィルター３までの距離ｄ２は、１６０ｍｍに設定した。減光フィルター３としてはエキスパンドメンタル（奥谷金網株式会社製）を台形の輪郭にカットして用いた。この減光フィルター３は光を反射する減光部（金属）を有し、その減光率は５０％であり、台形の２辺３１ａ，３１ｂのＹ軸に対する傾斜角θは３０度とした。モータ４を駆動し、ライン光の減光領域幅（光源２を覆う減光フィルター３のＸ軸方向の幅）Ｒｘが１２００ｍｍとなる位置まで減光フィルター３をＹ軸方向に移動した。この状態で、光源２からのライン光を被照射体Ｗｂに照射した。被照射体Ｗｂの上方に配置された５つの照度計５により、被照射体Ｗｂを透過したライン光（被照射体Ｗｂに照射されたライン光に相当する）の照度をＸ軸方向５点（－７００ｍｍ、－３５０ｍｍ、０ｍｍ（中央）、＋３５０ｍｍ、＋７００ｍｍ）で測定し、これらの測定値から下式（１）により照度ばらつき（±％）を求めたところ、±２．９％であった。下式（１）中、Ｉ_ｍａｘは測定した５点の照度の中の最大値、Ｉ_ｍｉｎは測定した５点の照度の中の最小値を示す。
照度ばらつき［±％］＝（Ｉ_ｍａｘ－Ｉ_ｍｉｎ）／（Ｉ_ｍａｘ＋Ｉ_ｍｉｎ）×１００・・・（１）
上式（１）から得られる照度ばらつきは、測定された照度の中央値（Ｉ_ｍａｘとＩ_ｍｉｎの中間の値）からのＩ_ｍａｘとＩ_ｍｉｎのばらつきを表す指標である。

【0024】

ここで、本実施例１においてだけでなく、後述する実施例２～２９及び参考例１～５においても、照度ばらつきの評価を行った。評価については、求めた照度ばらつきが±３％未満の場合を「○」、±３％以上±５％未満の場合を「△」、±５％以上の場合を「×」とした。このような照度ばらつきの評価結果及び上述した光照射装置の各種条件を、表１に示す。

【0025】

【表1】

【0026】

次に、実施例２では、ライン光の減光領域幅Ｒｘが９００ｍｍとなる位置まで減光フィルター３をＹ軸方向に移動した後、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±３．２％であった。

【0027】

これら実施例１，２に対する参考例１，２では、ライン光の減光領域幅Ｒｘが５００ｍｍ，１５００ｍｍとなる位置まで減光フィルター３をＹ軸方向に移動した後、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、いずれも±５．６％と悪化した。

【0028】

実施例３では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１５００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．４％であった。また、実施例４では、減光領域幅Ｒｘを１４００ｍｍとした点を除き、実施例３と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±３．９％であった。

【0029】

これら実施例３，４に対する参考例３では、減光領域幅Ｒｘを１６００ｍｍとした点を除き、実施例３と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±５．８％と悪化した。

【0030】

実施例５では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１４００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．５％であった。また、実施例６では、減光領域幅Ｒｘを１５００ｍｍとした点を除き、実施例５と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．５％であった。

【0031】

これら実施例５，６に対する参考例４では、減光領域幅Ｒｘを１３００ｍｍとした点を除き、実施例５と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２５．２％と悪化した。

【0032】

実施例７では、光源２から減光フィルター３までの距離ｄ２を１５０ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１１００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．９％であった。また、実施例８では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１５００ｍｍとした点を除き、実施例７と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．３％であった。また、実施例９では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとした点を除き、実施例８と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．５％であった。

【0033】

実施例１０では、光源２から減光フィルター３までの距離ｄ２を２００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．１％であった。また、実施例１１では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１４５０ｍｍとした点を除き、実施例１０と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．６％であった。また、実施例１２では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１６００ｍｍとした点を除き、実施例８と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．５％であった。

【0034】

実施例１３では、光源幅を２０００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．２％であった。また、実施例１４では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１６００ｍｍとした点を除き、実施例１３と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．１％であった。また、実施例１５では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとした点を除き、実施例１４と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．１％であった。

【0035】

実施例１６では、光源幅を１６００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを９００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±３．７％であった。また、実施例１７では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１２００ｍｍとした点を除き、実施例１６と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．１％であった。また、実施例１８では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１３００ｍｍとした点を除き、実施例１７と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．２％であった。

【0036】

実施例１９では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光フィルター３の減光率を３０％とした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±１．１％であった。また、実施例２０では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１４００ｍｍとした点を除き、実施例１９と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±１．８％であった。

【0037】

これら実施例１９，２０に対する参考例５では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を１０００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを８００ｍｍとした点を除き、実施例１９と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±７．１％と悪化した。

【0038】

実施例２１では、減光フィルター３の減光率を４０％とし、減光領域幅Ｒｘを９５０ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±４．８％であった。また、実施例２２では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１４００ｍｍとした点を除き、実施例２１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±１．３％であった。また、実施例２３では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとした点を除き、実施例２２と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±１．８％であった。

【0039】

実施例２４では、減光フィルター３の減光率を６０％とし、減光領域幅Ｒｘを１３００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±１．３％であった。また、実施例２５では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとし、減光領域幅Ｒｘを１５００ｍｍとした点を除き、実施例２４と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±４．２％であった。また、実施例２６では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとした点を除き、実施例２５と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．５％であった。

【0040】

実施例２７では、減光フィルター３の減光率を７０％とし、減光領域幅Ｒｘを１６００ｍｍとした点を除き、実施例１と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．０％であった。また、実施例２８では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を５００ｍｍとした点を除き、実施例２７と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±４．５％であった。また、実施例２９では、光源２から被照射体Ｗｂまでの距離ｄ１を２００ｍｍとした点を除き、実施例２８と同様の条件でライン光を照射して照度ばらつきを求めたところ、±２．５％であった。

【0041】

以上の実施例及び参考例によれば、減光フィルター３をＹ軸方向に移動させることで、減光領域幅Ｒｘを調整できることが判った。さらに、実施例で示されるようにＸ軸方向の照度ばらつき（照度むら）を低減できることが判った。

【0042】

尚、本発明は上記実施形態及び実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、減光フィルター３をＹ軸方向に相対移動させる場合を例に説明したが、減光フィルター３をＹ軸方向に加えてＸ軸方向にも相対移動させるように構成してもよい。この場合、減光フィルター３がＸ軸とＹ軸との交点回りのθ方向に回転することで、ライン光のＸ軸方向の幅を変化させるものを含むものとする。

【0043】

また、上記実施形態では、被照射体Ｗｂとして光透過性を有するものを用い、この被照射体Ｗｂを透過したライン光の照度を照度計５で測定する場合を例に説明したが、被照射体Ｗｂが光透過性を有しない場合には、被照射体Ｗｂで反射した反射光の照度を測定すればよい。

【0044】

また、上記実施形態では、搬送ローラ１ａ，１ｂにより被照射体Ｗｂを搬送する場合を例に説明したが、被照射体Ｗｂを搬送する手段としては公知のものを用いることができる。

【0045】

また、上記実施形態では、減光フィルター３を構成する金属製の線材３ｂが光を反射する場合を例に説明したが、光を吸収する線材をメッシュ状に設けて所定の減光率を持つように構成したものを用いることもできる。

【符号の説明】

【0046】

ＬＭ…光照射装置、Ｗｂ…被照射体、２…光源、３…減光フィルター、３ｂ…線材（減光部）、３１ａ，３１ｂ…Ｙ軸方向に対して傾斜した２辺、θ…Ｙ軸方向に対する傾斜角、４…モータ（移動手段）、５…照度計（測定手段）、Ｃｕ…制御手段。

【図1】

【図2】

【図3】