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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-12
(45)【発行日】2022-10-20
(54)【発明の名称】探傷装置
(51)【国際特許分類】
G01N 25/72 20060101AFI20221013BHJP
【ＦＩ】
G01N25/72 Y
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2017225527
(22)【出願日】2017-11-24
(65)【公開番号】P2019095320
(43)【公開日】2019-06-20
【審査請求日】2020-11-06
(73)【特許権者】
【識別番号】391021385
【氏名又は名称】株式会社ＫＪＴＤ
(74)【代理人】
【識別番号】100086346
【弁理士】
【氏名又は名称】鮫島 武信
(72)【発明者】
【氏名】羽深 嘉郎
(72)【発明者】
【氏名】西谷 豊
(72)【発明者】
【氏名】福井 涼
【審査官】外川 敬之
(56)【参考文献】
【文献】特許第５５７４２６１（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】特開２００６－２６０７９５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－０７８５１１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１４６９６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－１０３４１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－２４３３３９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－０２４９０４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ ２５／７２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
発光することにより被検材の表面を加熱する放電管を備えた加熱装置と、前記加熱によって生じる前記被検材内部の熱の変化を観察可能とする画像取得装置とを備え、前記観察にて前記被検材の欠陥を調べるものであり、前記加熱装置はトリガ電源に接続されたトリガ導電部を備え、前記トリガ導電部が放電管の前記発光の放電を誘発するトリガ電圧を供給する探傷装置において、前記加熱装置は、前記放電管を冷却する冷却部と、アルミニウムで形成された反射部材と、筐体とを備え、
前記冷却部は、前記トリガ電圧による誘電を遮蔽せず且つ前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、
前前記冷却部は、前記筒状部の内周面と前記放電管の外周面との間の空間を冷却液の流路として、冷却液を移動させることにより前記放電管を水冷し、前記冷却液を前記放電管から隔てる、空気層を備えないものであり、
前記冷却液は、絶縁性を備えたものであり、
前記加熱装置は、前記放電管の前記両端を保持する一対の保持部を備え、前記保持部の内部は、前記放電管の端部を挿入する挿入空間を備え、
前記筒状部は、前記放電管よりも短く、前記各保持部の前記挿入空間内にて、左右に伸びる前記放電管の両端は前記筒状部の両端より突出し、
前記保持部は前記筒状部と共に前記筐体へ収容され、
前記反射部材は、湾曲した板状体であり、前記筒状部の外側へ前記筒状部と間隔を開けて配置され、前記筒状部を取り囲ものであり、湾曲する前記反射部材の内面は、前記放電管の光を反射する反射面であり、
前記筐体には、左右に伸びる前記放電管の左側と右側とに、ブラケットが固定されており、
前記ブラケットの夫々には、碍子が設けられ、前記碍子は、放電管の上方の右側と左側とに配置され、
前記トリガ導電部は、金属線材にて形成されたトリガ線であり、
前記トリガ導電部は、前記筒状部の外周面へ巻き付けたものであり前記筒状部の径外側へ配置され、
前記トリガ線の両端に設けられた左右の引出線の夫々は、前記筒状部へ巻き付けられた前記トリガ線の両端を引っ張るように前記トリガ線と前記碍子との間へ張られたものである探傷装置。
【請求項2】
前記各保持部の内部は、前記挿入空間へ連絡する通水連絡部を備え、前記通水連絡部について、一端が前記挿入空間へ連絡し他の一端が前記保持部の外部へ連絡する空間であり、
一方の前記保持部の前記通水連絡部から前記冷却液が前記流路へ導入され、他の一方の保持部の前記通水連絡部を通じて前記冷却液が前記流路から排出されるものであり、
前記冷却部は、前記冷却液を供給するタンクと、前記冷却液を循環させるポンプと、チラーと、コンピュータに接続された温度センサとを備え、
一方の前記保持部の前記通水連絡部へ導入用のホースが接続され、前記導入用のホースは前記タンクへ接続され、
他の一方の前記保持部の前記通水連絡部へ排出用のホースが接続され、前記排出用のホースも前記タンクへ接続され、回収した前記冷却液を再び前記タンクへ収容するものであり、
前記ポンプは、前記放電管の、特性と加熱エネルギーに対応する、前記冷却液の流量と前記冷却液の流速に応じた能力のものであり、
前記ポンプは、前記チラーと別途のものであるか或いは前記チラーの備えるものであり、
前記温度センサは、少なくとも前記タンクと前記導入用のホースと前記排出用のホースの何れかに設けられ、所定以上の温度上昇を前記コンピュータから警報するか、前記チラーの冷却装置を自動的に作動させて冷却液の温度調整を行うものである請求項１記載の探傷装置。
【請求項3】
前記反射部材は、前記筒状部を挟んで前記被検材の反対側に配置される副反射部と、前記副反射部よりも前記被検材寄りに配置される主反射部とを備え、前記副反射部は、前記放電管から受けた光を前記被検材及び前記主反射部へ向けて反射する反射面を備えたものであり、
前記主反射部は、前記放電管から直接受けた光及び前記副反射部の反射した光を前記被検材へ向けて反射する反射面を備えたものであり、
前記主反射部は、第１主反射部と第２主反射部とを備え、
前記第１主反射部と第２主反射部とは、互いの反射面を対向させ、前記第１主反射部と第２主反射部の間にて前記放電管から前記被検材へ向かう光を通すものであり、
前記第１主反射部の反射面と第２主反射部の反射面との間隔を、前記副反射部側から前記被検材側へ向け漸次広げるものである請求項１又は２に記載の探傷装置。
【請求項4】
前記副反射部は、前記主反射部と別体に形成されたものであり、少なくとも第１主反射部と第２主反射部夫々の前記反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面へ投影された輪郭が放物線の一部を呈することを特徴とする請求項３記載の探傷装置。
【請求項5】
前記第１主反射部は前記副反射部の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、前記第２主反射部は前記副反射部の他の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、
第１主反射部及び第２主反射部夫々の前記反射面と副反射部の反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面へ投影された輪郭が連続する放物線を呈することを特徴とする請求項３記載の探傷装置。
【請求項6】
前記画像取得装置は、赤外線カメラにて赤外線サーモグラフィーによる画像を取得するものであり、前記放電管は、キセノンランプであり、
前記筒状部は、石英管であり、
前記冷却部は、前記冷却液を循環させるチラーを備え、
前記加熱装置は、前記筒状部と共に前記放電管の両端を保持する保持部を備え、
前記加熱装置は、前記保持部と前記主反射部とが取り付けられた基盤を備え、
前記筐体は前記主反射部を支持し且つ前記筐体には前記基盤が着脱可能に取り付けられ、
前記筐体は、少なくとも、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを収容するものであり、
前記筐体から前記基盤を取り外すことにより、前記主反射部を前記筐体に残し、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを一体にして前記筐体から取り出すことができる請求項４記載の探傷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本願発明は、探傷装置に関する。
【背景技術】
【0002】
放電管にて被検材即ち検査対象の表面を瞬間的に加熱し、当該加熱によって生じる熱の移動を赤外線カメラなどにて可視化し観察することにより被検材内部の傷や密度むらなどの欠陥を検出し欠陥を計測する赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査が近年利用されつつある。
一般に、サーモグラフィー（thermography）は、物体から放射される赤外線を分析し熱分布を図として表した画像を指す。
赤外線サーモグラフィーを利用した探傷法は、超音波による探傷法のように水や油などの超音波の媒介液が不要なため、媒介液を付着させたくない被検材の探傷を行う場合や、製品の製造工程において、オンラインにて迅速で簡便に探傷を行いたい場合などに利用の用途が広まっている。例えば、赤外線サーモグラフィーを利用した探傷法は、金属材料のほか、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）の欠陥検出の有効な手段として注目されている。
一般に、サーモグラフィー（thermography）は、物体から放射される赤外線を分析し熱分布を図として表した画像を指す。
赤外線サーモグラフィーを利用した探傷法は、超音波による探傷法のように水や油などの超音波の媒介液が不要なため、媒介液を付着させたくない被検材の探傷を行う場合や、製品の製造工程において、オンラインにて迅速で簡便に探傷を行いたい場合などに利用の用途が広まっている。例えば、赤外線サーモグラフィーを利用した探傷法は、金属材料のほか、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）の欠陥検出の有効な手段として注目されている。
【0003】
具体的には、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査は、キセノンランプなどにより、検査対象表面に熱を加え、その熱が内部へ拡散し内部の状況に対応して変化する表面の温度の時間変化を検知して検査対象内部の状況を解析するものである。
検査対象の内部に欠陥が存在する場合には、検査対象内部へと伝播する熱の流れの速さが変化するため、検査対象表面に局所的な温度変化が発生する。この温度変化を検出することで、探傷対象の内部に生じている欠陥を検出することができる。
特許文献１には、赤外線サーモグラフィーによる探傷方法とその装置の例が示されている。
検査対象の内部に欠陥が存在する場合には、検査対象内部へと伝播する熱の流れの速さが変化するため、検査対象表面に局所的な温度変化が発生する。この温度変化を検出することで、探傷対象の内部に生じている欠陥を検出することができる。
特許文献１には、赤外線サーモグラフィーによる探傷方法とその装置の例が示されている。
【0004】
特許文献１に示された装置は、加熱手段０２と共に赤外線カメラ等の温度測定手段０３を用いて、加熱された検査対象物０１の温度を測定し、時間と温度の関係を示すデータを取得する（段落００１４及び図１）。そして、データ解析ソフト０５が導入されたコンピュータと結果画像表示用の表示手段０６を用い取得したデータを適切に解析することによって、欠陥検出を確実に行う（段落００１５～００２９）。
【0005】
上記の赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記キセノンランプの照射によるランプエネルギーが検査対象物に熱エネルギーを加えるものである。当該熱エネルギーは物質内に伝搬する。上記の赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査において、当該伝播の様子を赤外線カメラで測定することで検査対象物内部の検査を行うものであるため、熱エネルギーは、対象物の表面を極力一様に加熱することが要求される。
上記要求を前提とし、上記赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、検査対象の大きさ、材質、検査に要求される時間間隔などによって、光源の大きさ、強度、種類を選定するのである。
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、加熱装置即ち通常加熱用の光源である放電管として１つ又は複数の、上記キセノンランプ（キセノンフラッシュランプ）が用いられる。
上記要求を前提とし、上記赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、検査対象の大きさ、材質、検査に要求される時間間隔などによって、光源の大きさ、強度、種類を選定するのである。
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、加熱装置即ち通常加熱用の光源である放電管として１つ又は複数の、上記キセノンランプ（キセノンフラッシュランプ）が用いられる。
【0006】
光源となる上記放電管は、瞬間的に発光することにより熱を発生させて瞬時に検査対象を加熱することができるものであるが、発生する熱によって消耗も激しいものであった。
具体的には、上記キセノンランプなどの放電管については、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査で必要とする加熱エネルギーを短時間の発光で確保するものであり、その上発光する時間間隔が短い場合や、更には検査を連続して長時間実施する場合には、発生する熱によるランプの消耗は極めて大きく、ランプの性能維持、保護などのため、ランプを冷却することが必要となる。
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査の加熱装置以外に放電管を使用する場合を含め、放電管の冷却は、ファンにて放電管へ送風したり、ヒートシンクを用いるなどの空冷によるのが一般的である。
しかし、上記赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記の通りキセノンランプを用いて瞬時にまた繰り返し多量の発熱を伴う発光を行うものであるため、より冷却能力の高い冷却手段が望まれた。
非破壊検査以外の分野では、キセノンランプはＹＡＧレーザの励起光源として使用されることが良く知られている。即ち、ＹＡＧレーザ発振では、キセノンランプが、励起源として使用されている。特に眼科の治療や皮膚の治療などに用いるＹＡＧレーザは、発光の繰り返しが早く出力の安定性が要求されるので一般に水冷による冷却方法が採用されている。
ＹＡＧレーザにおいては、光源からの光を拡散して対象物へ照射するという上記非破壊検査とは異なり、閉じた空間でキセノンランプを発光させて外部へ放散させることなく光ファイバ中にて光を導きレーザを発するレーザ材料にエネルギーを加えている。上記ＹＡＧレーザにおいて、貯められた冷却水へランプとレーザのＹＡＧロッドを纏めて水没させて冷却する。そして上記ＹＡＧレーザにおいて、ランプの発光に必要なトリガ電圧は、発信器の筐体を電極として印加され、筐体の外部に対し筐体内全体を絶縁する構造になっている。
キセノンランプに関し、上記レーザ発振に使用される場合と非破壊検査に使用される場合の根本的な違いは、レーザではレーザ発振材料に光エネルギーを照射しエネルギーを集中することが目的であるのに対し、非破壊検査の場合は検査対象物の表面に極力一様にエネルギーを照射することが目的であり、このため非破壊検査の場合は上記の通りランプの光をオープンに外部即ち大気中にて放射するという点がレーザの場合と異なるのである。
照射する距離についても、レーザは至近距離であるが、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査の場合には、検査対象物の大きさなどにより至近距離とは限らない。従って、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記レーザの場合と比較して放電管からの熱の拡散が大きく、より効果的に放電管の水冷を行うことが必要である。
以上を鑑み本発明の発明者は、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査に適した水冷方法として、特許文献２へ示される高圧放電ランプにおける水冷ユニットのように、水冷管を用いて通水により冷却を行う水冷について着目した。
具体的には、上記キセノンランプなどの放電管については、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査で必要とする加熱エネルギーを短時間の発光で確保するものであり、その上発光する時間間隔が短い場合や、更には検査を連続して長時間実施する場合には、発生する熱によるランプの消耗は極めて大きく、ランプの性能維持、保護などのため、ランプを冷却することが必要となる。
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査の加熱装置以外に放電管を使用する場合を含め、放電管の冷却は、ファンにて放電管へ送風したり、ヒートシンクを用いるなどの空冷によるのが一般的である。
しかし、上記赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記の通りキセノンランプを用いて瞬時にまた繰り返し多量の発熱を伴う発光を行うものであるため、より冷却能力の高い冷却手段が望まれた。
非破壊検査以外の分野では、キセノンランプはＹＡＧレーザの励起光源として使用されることが良く知られている。即ち、ＹＡＧレーザ発振では、キセノンランプが、励起源として使用されている。特に眼科の治療や皮膚の治療などに用いるＹＡＧレーザは、発光の繰り返しが早く出力の安定性が要求されるので一般に水冷による冷却方法が採用されている。
ＹＡＧレーザにおいては、光源からの光を拡散して対象物へ照射するという上記非破壊検査とは異なり、閉じた空間でキセノンランプを発光させて外部へ放散させることなく光ファイバ中にて光を導きレーザを発するレーザ材料にエネルギーを加えている。上記ＹＡＧレーザにおいて、貯められた冷却水へランプとレーザのＹＡＧロッドを纏めて水没させて冷却する。そして上記ＹＡＧレーザにおいて、ランプの発光に必要なトリガ電圧は、発信器の筐体を電極として印加され、筐体の外部に対し筐体内全体を絶縁する構造になっている。
キセノンランプに関し、上記レーザ発振に使用される場合と非破壊検査に使用される場合の根本的な違いは、レーザではレーザ発振材料に光エネルギーを照射しエネルギーを集中することが目的であるのに対し、非破壊検査の場合は検査対象物の表面に極力一様にエネルギーを照射することが目的であり、このため非破壊検査の場合は上記の通りランプの光をオープンに外部即ち大気中にて放射するという点がレーザの場合と異なるのである。
照射する距離についても、レーザは至近距離であるが、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査の場合には、検査対象物の大きさなどにより至近距離とは限らない。従って、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記レーザの場合と比較して放電管からの熱の拡散が大きく、より効果的に放電管の水冷を行うことが必要である。
以上を鑑み本発明の発明者は、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査に適した水冷方法として、特許文献２へ示される高圧放電ランプにおける水冷ユニットのように、水冷管を用いて通水により冷却を行う水冷について着目した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【文献】特許第５５７４２６１号公報
【文献】特開２０１６－１０３４１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
上記のキセノンランプといった放電管は、封入されたガスを放電より発光させるものである。当該放電を発生させるためには、当該放電を誘発するトリガ即ちきっかけとなる放電が先ず必要であり、このトリガ放電を行うトリガ線を放電管の近傍へ配置する必要がある。
詳しくは、特許文献２の図１へ示される通り、水冷ユニット２０は、水冷管として円筒状に形成された内管２１と外管２２を備えた二重構造となっており、内管２１の内部空間へ放電管（放電管ランプ１０）が収容され、内管２１と外管２２の間に冷却水が通水される。上記トリガ線（ワイヤ１４）を放電管の近傍へ配置するため、放電管と上記内管２１との間にはトリガ線を通す隙間（空間）が設けられている。
従って、水冷による場合、上記隙間というトリガ線を配置するための専用のスペースが放電管の近傍特に放電管の径（方向）外側に設けられることで、内管２１即ち冷却水の流路から放電管ランプ１０が、トリガ線を収容する空気層に隔てられ、通水による冷却効果が低減してしまう。
本発明は、上記問題を解決して、サーモグラフィーによる非破壊検査において効果的に放電管の水冷を行うことを可能とする。
詳しくは、特許文献２の図１へ示される通り、水冷ユニット２０は、水冷管として円筒状に形成された内管２１と外管２２を備えた二重構造となっており、内管２１の内部空間へ放電管（放電管ランプ１０）が収容され、内管２１と外管２２の間に冷却水が通水される。上記トリガ線（ワイヤ１４）を放電管の近傍へ配置するため、放電管と上記内管２１との間にはトリガ線を通す隙間（空間）が設けられている。
従って、水冷による場合、上記隙間というトリガ線を配置するための専用のスペースが放電管の近傍特に放電管の径（方向）外側に設けられることで、内管２１即ち冷却水の流路から放電管ランプ１０が、トリガ線を収容する空気層に隔てられ、通水による冷却効果が低減してしまう。
本発明は、上記問題を解決して、サーモグラフィーによる非破壊検査において効果的に放電管の水冷を行うことを可能とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明では、発光することにより被検材の表面を加熱する放電管を備えた加熱装置と、前記加熱によって生じる前記被検材内部の熱の変化を観察可能とする画像取得装置とを備え、前記観察にて前記被検材の欠陥を調べるものであり、前記加熱装置はトリガ電源に接続されたトリガ導電部を備え、前記トリガ導電部が放電管の前記発光の放電を誘発するトリガ電圧を供給する探傷装置について、次の構成を採るものを提供できた。
即ち、前記加熱装置は、前記放電管を冷却する冷却部を備え、前記冷却部は、前記放電管の径外側にて冷却液を移動させることにより、前記放電管を水冷するものであり、前記トリガ導電部は、前記放電管に対し前記水冷を邪魔しない位置へ配置されたことを特徴とする。
被検材の欠陥を調べるというのは、被検材が目的とする状態となっているか否か或いは被検材が目的とする状態とどのように異なっているかを調べることであり、例えば、内部欠陥又は表面欠陥について、欠陥の有無、欠陥の大きさ、欠陥の位置、欠陥の形状、又は欠陥の種類を検出することを含むものである。欠陥の種類には、傷やボイド、剥離、密度むらなどを含み、異物の存在やバリを含む。上記検出には、検査対象の温度を調べることにより、単に欠陥を検出する場合はもとより検出した欠陥の位置や大きさなどを計測することも含む。
また本発明では、前記冷却部は、前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、前記冷却部は、前記筒状部の内周面と前記放電管の外周面との間の空間を前記冷却液の流路として、前記中空部分へ前記冷却液を流すものであり、前記冷却液は、前記トリガ電圧に対する絶縁性を備えたものであり、前記トリガ導電部は、前記流路内に配置されたものである探傷装置を提供できた。
更に本発明では、前記冷却部は、前記トリガ電圧による誘電を遮蔽せず且つ前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、前記冷却部は、前記中空部分へ前記冷却液を流す流路を有し、前記トリガ導電部は、前記筒状部の径外側へ配置された探傷装置を提供できた。
更にまた本発明では、前記加熱装置は、反射部材を備え、前記反射部材は、前記筒状部を挟んで前記被検材の反対側に配置される副反射部と、前記副反射部よりも前記被検材寄りに配置される主反射部とを備え、前記副反射部は、前記放電管から受けた光を前記被検材及び前記主反射部へ向けて反射する反射面を備えたものであり、前記主反射部は、前記放電管から直接受けた光及び前記副反射部の反射した光を前記被検材へ向けて反射する反射面を備えたものであり、前記主反射部は、第１主反射部と第２主反射部とを備え、前記第１主反射部と第２主反射部とは、互いの反射面を対向させ、前記第１主反射部と第２主反射部の間にて前記放電管から前記被検材へ向かう光を通すものであり、前記第１主反射部の反射面と第２主反射部の反射面との間隔を、前記副反射部側から前記被検材側へ向け漸次広げるものである探傷装置を提供できた。
また本発明では、前記副反射部は、前記主反射部と別体に形成されたものであり、少なくとも第１主反射部と第２主反射部夫々の前記反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面（仮想面）へ投影された輪郭が放物線の一部を呈する探傷装置を提供できた。
更に本発明では、前記第１主反射部は前記副反射部の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、前記第２主反射部は前記副反射部の他の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、第１主反射部及び第２主反射部夫々の前記反射面と副反射部の反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面（仮想面）へ投影された輪郭が連続する放物線を呈する探傷装置を提供できた。
更にまた本発明では、前記画像取得装置は、赤外線カメラにて赤外線サーモグラフィーによる画像を取得するものであり、前記トリガ導電部は、金属線材にて形成されたトリガ線であり、前記放電管は、キセノンランプであり、前記筒状部は、石英管であり、前記冷却部は、前記冷却液を循環させるチラーを備え、前記加熱装置は、前記筒状部と共に前記放電管の両端を保持する保持部を備え、前記加熱装置は、前記保持部と前記主反射部とが取り付けられた基盤を備え、前記加熱装置は筐体を備え、前記筐体は前記主反射部を支持し且つ前記筐体には前記基盤が着脱可能に取り付けられ、前記筐体は、少なくとも、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを収容するものであり、前記筐体から前記基盤を取り外すことにより、前記主反射部を前記筐体に残し、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを一体にして前記筐体から取り出すことができる探傷装置を提供できた。
即ち、前記加熱装置は、前記放電管を冷却する冷却部を備え、前記冷却部は、前記放電管の径外側にて冷却液を移動させることにより、前記放電管を水冷するものであり、前記トリガ導電部は、前記放電管に対し前記水冷を邪魔しない位置へ配置されたことを特徴とする。
被検材の欠陥を調べるというのは、被検材が目的とする状態となっているか否か或いは被検材が目的とする状態とどのように異なっているかを調べることであり、例えば、内部欠陥又は表面欠陥について、欠陥の有無、欠陥の大きさ、欠陥の位置、欠陥の形状、又は欠陥の種類を検出することを含むものである。欠陥の種類には、傷やボイド、剥離、密度むらなどを含み、異物の存在やバリを含む。上記検出には、検査対象の温度を調べることにより、単に欠陥を検出する場合はもとより検出した欠陥の位置や大きさなどを計測することも含む。
また本発明では、前記冷却部は、前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、前記冷却部は、前記筒状部の内周面と前記放電管の外周面との間の空間を前記冷却液の流路として、前記中空部分へ前記冷却液を流すものであり、前記冷却液は、前記トリガ電圧に対する絶縁性を備えたものであり、前記トリガ導電部は、前記流路内に配置されたものである探傷装置を提供できた。
更に本発明では、前記冷却部は、前記トリガ電圧による誘電を遮蔽せず且つ前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、前記冷却部は、前記中空部分へ前記冷却液を流す流路を有し、前記トリガ導電部は、前記筒状部の径外側へ配置された探傷装置を提供できた。
更にまた本発明では、前記加熱装置は、反射部材を備え、前記反射部材は、前記筒状部を挟んで前記被検材の反対側に配置される副反射部と、前記副反射部よりも前記被検材寄りに配置される主反射部とを備え、前記副反射部は、前記放電管から受けた光を前記被検材及び前記主反射部へ向けて反射する反射面を備えたものであり、前記主反射部は、前記放電管から直接受けた光及び前記副反射部の反射した光を前記被検材へ向けて反射する反射面を備えたものであり、前記主反射部は、第１主反射部と第２主反射部とを備え、前記第１主反射部と第２主反射部とは、互いの反射面を対向させ、前記第１主反射部と第２主反射部の間にて前記放電管から前記被検材へ向かう光を通すものであり、前記第１主反射部の反射面と第２主反射部の反射面との間隔を、前記副反射部側から前記被検材側へ向け漸次広げるものである探傷装置を提供できた。
また本発明では、前記副反射部は、前記主反射部と別体に形成されたものであり、少なくとも第１主反射部と第２主反射部夫々の前記反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面（仮想面）へ投影された輪郭が放物線の一部を呈する探傷装置を提供できた。
更に本発明では、前記第１主反射部は前記副反射部の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、前記第２主反射部は前記副反射部の他の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、第１主反射部及び第２主反射部夫々の前記反射面と副反射部の反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面（仮想面）へ投影された輪郭が連続する放物線を呈する探傷装置を提供できた。
更にまた本発明では、前記画像取得装置は、赤外線カメラにて赤外線サーモグラフィーによる画像を取得するものであり、前記トリガ導電部は、金属線材にて形成されたトリガ線であり、前記放電管は、キセノンランプであり、前記筒状部は、石英管であり、前記冷却部は、前記冷却液を循環させるチラーを備え、前記加熱装置は、前記筒状部と共に前記放電管の両端を保持する保持部を備え、前記加熱装置は、前記保持部と前記主反射部とが取り付けられた基盤を備え、前記加熱装置は筐体を備え、前記筐体は前記主反射部を支持し且つ前記筐体には前記基盤が着脱可能に取り付けられ、前記筐体は、少なくとも、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを収容するものであり、前記筐体から前記基盤を取り外すことにより、前記主反射部を前記筐体に残し、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを一体にして前記筐体から取り出すことができる探傷装置を提供できた。
【発明の効果】
【0010】
本発明では、被検材の表面を加熱する放電管を備えた加熱装置と、被検材内部の熱の移動を観察可能とする画像取得装置とを備え、前記観察にて前記被検材の欠陥を調べる探傷装置であって放電管を水冷するものについて、放電管の放電を誘発するトリガ導電部を前記水冷の邪魔とならないものとし、放電管の水冷による冷却を効果的なものとした。即ち、本発明は、トリガ線（トリガ導電部）の配置専用の空間を加熱装置内へ確保する必要をなくして、水冷によるより効果的な放電管の冷却を実現した。本発明は、特に発光方向である放電管の径の内外方向について、トリガ導電部の配置のために冷却液を放電管から隔てるような空気層を設けない。
また、本発明は、加熱装置から上記配置専用の空間を排除することにて上記加熱装置の構造の複雑化を防いだ。
また、冷却液の流路中にトリガ導電部を配置し直接トリガ導電部を放電管の表面へ沿わせることにて、トリガ導電部専用の上記配置空間を不要とすると共に、放電管の径外において放電管に最も近い位置にトリガ導電部を配置することを可能とし、放電管径外の他の位置へトリガ導電部を配置した場合に比べて放電を行い易いものとした。
更に、本発明では、冷却液の流路の外側即ち筒状部の径外へトリガ導電部を配置することで、放電管に対し簡単にトリガ導電部を設けることができるものとした。
特に上記本願の各発明のように、ａ）冷却液の流路中にトリガ導電部を配置するもの、ｂ）冷却液の流路外側に位置する筒状部の外側へトリガ導電部を配置するものでは、特許文献２に示す、放電管（高圧放電ランプ１０）を内包する内管２１を設け内管２１と放電管との間の空間へトリガ導電部（導電性ワイヤ１４）を配置するもののように（段落００２３，００２４及び図１）、冷却液の流路と間へ内管２１を配置し上記空間にて隔するという構成を採る必要がない。従って、本願の上記各発明では、特許文献２のように冷却液の流路から放電管を隔てて水冷を邪魔するものと異なり、トリガ導電部の配置のための構成によって水冷を邪魔せず、冷却液を直接放電管へ接触させることができ、より効果的な放電管の冷却が行える。
また上記ｂ）の場合トリガ導電部の配置に保持部を関与させる必要がなく、トリガ導電部の取り回しを容易なものとした。
更に、被検材へ効率よく放電管の発する光を向ける反射部材について、主反射部と当該主反射部とは別体に形成された副反射部とで構成することにより、放電管（を内包する筒状部）と、反射部材の反射面の各位置との間隔の設定が容易となり、特にｂ）の冷却液の流路外側に位置する筒状部の外側へトリガ導電部を配置するものであっても反射部材へ放電させない適切な間隔を確保する設計を行い易いものとした。
また、上記筐体から基盤を取り外すことにより、基盤と一体のユニットとして放電管と筒状部とトリガ導電部と保持部と副反射部とを、筐体から取り出すことができるため、加熱装置の主要部のメンテナンスや交換が容易である。
また、本発明は、加熱装置から上記配置専用の空間を排除することにて上記加熱装置の構造の複雑化を防いだ。
また、冷却液の流路中にトリガ導電部を配置し直接トリガ導電部を放電管の表面へ沿わせることにて、トリガ導電部専用の上記配置空間を不要とすると共に、放電管の径外において放電管に最も近い位置にトリガ導電部を配置することを可能とし、放電管径外の他の位置へトリガ導電部を配置した場合に比べて放電を行い易いものとした。
更に、本発明では、冷却液の流路の外側即ち筒状部の径外へトリガ導電部を配置することで、放電管に対し簡単にトリガ導電部を設けることができるものとした。
特に上記本願の各発明のように、ａ）冷却液の流路中にトリガ導電部を配置するもの、ｂ）冷却液の流路外側に位置する筒状部の外側へトリガ導電部を配置するものでは、特許文献２に示す、放電管（高圧放電ランプ１０）を内包する内管２１を設け内管２１と放電管との間の空間へトリガ導電部（導電性ワイヤ１４）を配置するもののように（段落００２３，００２４及び図１）、冷却液の流路と間へ内管２１を配置し上記空間にて隔するという構成を採る必要がない。従って、本願の上記各発明では、特許文献２のように冷却液の流路から放電管を隔てて水冷を邪魔するものと異なり、トリガ導電部の配置のための構成によって水冷を邪魔せず、冷却液を直接放電管へ接触させることができ、より効果的な放電管の冷却が行える。
また上記ｂ）の場合トリガ導電部の配置に保持部を関与させる必要がなく、トリガ導電部の取り回しを容易なものとした。
更に、被検材へ効率よく放電管の発する光を向ける反射部材について、主反射部と当該主反射部とは別体に形成された副反射部とで構成することにより、放電管（を内包する筒状部）と、反射部材の反射面の各位置との間隔の設定が容易となり、特にｂ）の冷却液の流路外側に位置する筒状部の外側へトリガ導電部を配置するものであっても反射部材へ放電させない適切な間隔を確保する設計を行い易いものとした。
また、上記筐体から基盤を取り外すことにより、基盤と一体のユニットとして放電管と筒状部とトリガ導電部と保持部と副反射部とを、筐体から取り出すことができるため、加熱装置の主要部のメンテナンスや交換が容易である。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】（Ａ）は本発明に係る赤外線サーモグラフィーによる探傷装置の概要の説明図、（Ｂ）は本発明の他の実施の形態に係る赤外線サーモグラフィーによる探傷装置の概要の説明図。
【図2】本発明に係る探傷装置の一実施の形態を示す全体説明図。
【図3】（Ａ）は本発明に係る探傷装置が備える加熱装置の一実施の形態を示す略縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）の要部拡大断面図。
【図4】（Ａ）は本発明に係る探傷装置が備える加熱装置の更に他の実施の形態を示す略縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）の要部拡大断面図。
【図9】本発明に係る探傷装置の反射部材の更に他の実施の形態を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【0012】
（探傷装置の概要）
本発明は、金属材料又はプラスチック、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）を含む複合材料、セラミック、その他の材料を検査対象即ち被検材として、光を照射することにより被検材を加熱し、前記加熱によって生じる前記被検材内を伝導する熱の変化を観察することにより、前記被検材の欠陥を調べるものである。ここでは、特に被検材としてＣＦＲＰを例に挙げ、図面に基づき本発明の好ましい実施の形態について説明する。
図１（Ａ）へ示す通り、この例は、被検材ｍへ照射した光による被検材ｍからの輻射熱のサーモグラフィーを解析するものである。
図１（Ａ）及び図２へ示す通り、この探傷装置は、画像取得装置１と、加熱装置３とを備える。
本発明は、金属材料又はプラスチック、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）を含む複合材料、セラミック、その他の材料を検査対象即ち被検材として、光を照射することにより被検材を加熱し、前記加熱によって生じる前記被検材内を伝導する熱の変化を観察することにより、前記被検材の欠陥を調べるものである。ここでは、特に被検材としてＣＦＲＰを例に挙げ、図面に基づき本発明の好ましい実施の形態について説明する。
図１（Ａ）へ示す通り、この例は、被検材ｍへ照射した光による被検材ｍからの輻射熱のサーモグラフィーを解析するものである。
図１（Ａ）及び図２へ示す通り、この探傷装置は、画像取得装置１と、加熱装置３とを備える。
【0013】
（画像取得装置１）
画像取得装置１は、赤外線カメラ１０と、画像処理装置１１とを備える。
赤外線カメラ１０は、上記被検材ｍへ向けられ、被検材ｍのサーモグラフィーを撮影する。図２において、白抜きの矢印が被検材ｍへ向けて照射した光を示し、実線の太い矢印が被検材ｍから赤外線カメラ１０へ向けて放出された赤外線を示す。
被検材ｍを建造物の壁面などの所定の場所へ定着されたものとする場合や被検材ｍの重量が大きく移動が難しい場合は、上記画像取得装置１と加熱装置３とを被検材ｍのある場所へ配置し、被検材ｍに対し必要な間隔や向きを採るように、画像取得装置１と加熱装置３との位置を調整する。
一方、被検材ｍが可搬性を有する場合、所定の場所にセットされた画像取得装置１と加熱装置３に対し被検材ｍの位置を調整するものとしてもよく（図２）、勿論画像取得装置１と加熱装置３と被検材ｍの夫々の位置を調整するものとしてもよい。
被検材ｍが軽量なものである場合、赤外線カメラ１０や加熱装置３（放電管４）に対して位置が変わらないように、被検材ｍを適切な固定手段にて位置を固定する。例えば、台に固定されたホルダにて被検材ｍを傷つけないように保持させることで、被検材ｍを当該台に固定すればよい（図示しない）。但し、被検材ｍを定位置に設置して探傷を行うものに限定するものではない。例えば、本発明は、製造ライン上の被検材ｍに対し探傷を行うものも含む。製造ライン上の被検材ｍに対し探傷を行う場合、加熱装置３の放電管４の発光は、製造ライン上を移動中の被検材ｍに対し行い、被検材ｍが赤外線カメラ１０の前に到達した際、ラインを停止して赤外線カメラ１０の前で撮影する間被検材ｍを静止させればよい。また、赤外線カメラ１０をラインの移動に同期して移動させるものとし、製造ラインを停止させずに探傷を行うものとしてもよい。更に、赤外線カメラ１０を固定したまま、ラインを停止させずに通過時のみ撮影するものとしても実施可能である。
画像取得装置１は、赤外線カメラ１０と、画像処理装置１１とを備える。
赤外線カメラ１０は、上記被検材ｍへ向けられ、被検材ｍのサーモグラフィーを撮影する。図２において、白抜きの矢印が被検材ｍへ向けて照射した光を示し、実線の太い矢印が被検材ｍから赤外線カメラ１０へ向けて放出された赤外線を示す。
被検材ｍを建造物の壁面などの所定の場所へ定着されたものとする場合や被検材ｍの重量が大きく移動が難しい場合は、上記画像取得装置１と加熱装置３とを被検材ｍのある場所へ配置し、被検材ｍに対し必要な間隔や向きを採るように、画像取得装置１と加熱装置３との位置を調整する。
一方、被検材ｍが可搬性を有する場合、所定の場所にセットされた画像取得装置１と加熱装置３に対し被検材ｍの位置を調整するものとしてもよく（図２）、勿論画像取得装置１と加熱装置３と被検材ｍの夫々の位置を調整するものとしてもよい。
被検材ｍが軽量なものである場合、赤外線カメラ１０や加熱装置３（放電管４）に対して位置が変わらないように、被検材ｍを適切な固定手段にて位置を固定する。例えば、台に固定されたホルダにて被検材ｍを傷つけないように保持させることで、被検材ｍを当該台に固定すればよい（図示しない）。但し、被検材ｍを定位置に設置して探傷を行うものに限定するものではない。例えば、本発明は、製造ライン上の被検材ｍに対し探傷を行うものも含む。製造ライン上の被検材ｍに対し探傷を行う場合、加熱装置３の放電管４の発光は、製造ライン上を移動中の被検材ｍに対し行い、被検材ｍが赤外線カメラ１０の前に到達した際、ラインを停止して赤外線カメラ１０の前で撮影する間被検材ｍを静止させればよい。また、赤外線カメラ１０をラインの移動に同期して移動させるものとし、製造ラインを停止させずに探傷を行うものとしてもよい。更に、赤外線カメラ１０を固定したまま、ラインを停止させずに通過時のみ撮影するものとしても実施可能である。
【0014】
画像処理装置１１は、赤外線カメラ１０で撮影した映像を可視化してオペレータにおいて解析できるようにモニタへ表示する。モニタへの表示は、赤外線カメラ１０が捉えた熱画像をそのまま表示するものとしても、或いは赤外線カメラ１０が捉えた熱画像をデータとして記録し、記録されたデータを再生して表示するものとしてもよい。
この例では、上記探傷装置は、解析ソフトウエアを導入したコンピュータ（以下ＰＣ）にて構築された解析装置２を備え、画像処理装置１１の取得した画像データからＰＣが熱の移動を解析し被検材の欠陥の有無や欠陥の大きさの判定を行い、またはＰＣがオペレータによる上記判定を補助する。
この例では、上記探傷装置は、解析ソフトウエアを導入したコンピュータ（以下ＰＣ）にて構築された解析装置２を備え、画像処理装置１１の取得した画像データからＰＣが熱の移動を解析し被検材の欠陥の有無や欠陥の大きさの判定を行い、またはＰＣがオペレータによる上記判定を補助する。
【0015】
また、上記画像処理装置１１も上記ＰＣにて構築することができる。具体的には、この例では、画像のキャプチャーボード或いは周知の他のインターフェースを介して赤外線カメラ１０をＰＣへ接続し、ＰＣのモニタ１２へサーモグラフィーを表示可能とする。また上記画像処理装置１１は、ＰＣの備える記憶装置へキャプチャーした画像データを保存し、保存した当該画像データをモニタ１２へ表示可能とし、更に上記解析結果をモニタ１２へ表示可能とする。上記解析ソフトウエアには、上記画像データの取り込みもサポートするものを用いればよい。
【0016】
簡単に欠陥の有無を判定する原理について触れると、被検材ｍに傷や、剥離、ボイド（空隙）などの欠陥Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３がある場合、加熱装置１にて被検材ｍへ与えられた熱（図１（Ａ）のａ１，ａ２，ａ３）については欠陥Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３中の空気に阻害されて移動が遅くなる。従って、欠陥Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３のある位置（光を照射した被検材ｍの面）における温度変化及び温度変化の時間と欠陥のない位置（光を照射した被検材ｍの面）における温度変化及び温度変化の時間を比較すると温度変化や温度変化の時間は異なるのである。当該温度変化及び温度変化の時間を分析することにより、被検材ｍにおける欠陥や当該欠陥の大きさや位置などを検出することができる。尚図１（Ａ）のＰＣのモニタにおいて、ｇ１は最も浅い位置にある欠陥Ｆ１の熱画像を、ｇ２は欠陥Ｆ１よりも深い位置にある欠陥Ｆ２の熱画像を、ｇ３は欠陥Ｆ２よりも深い位置にある欠陥Ｆ３の熱画像を示している。
【0017】
（加熱装置３）
加熱装置３について、第１の実施の形態について説明する。
図２へ示す通り、加熱装置３は、放電管４と、保持部３０と、電源（以下発光用電源５）、トリガ導電部６と、トリガ電源７と、冷却部８と、反射部材９と、筐体１３とを備える。
加熱装置３について、第１の実施の形態について説明する。
図２へ示す通り、加熱装置３は、放電管４と、保持部３０と、電源（以下発光用電源５）、トリガ導電部６と、トリガ電源７と、冷却部８と、反射部材９と、筐体１３とを備える。
【0018】
放電管４は、放電により発光する発光気体を封入した封入管である。放電管４の両端即ち放電管４の正負両電極４０の夫々が当該放電の上記発光用電源５の電極の夫々と接続される。前記封入管は、透明の石英管である。この例では、放電管４は、キセノンガスが充填されたキセノンランプである。放電管４には、特に発光時間が短く、短い時間間隔を開けて発光を繰り返すことができるキセノンフラッシュランプが好適である。
上記の放電管４の正負の電極４０は、放電管４（石英管）から露出する露出部分４０ａと、放電管４内へ内包される内包部分４０ｂとを備える。
上記の放電管４の正負の電極４０は、放電管４（石英管）から露出する露出部分４０ａと、放電管４内へ内包される内包部分４０ｂとを備える。
【0019】
保持部３０は、円筒状の放電管４の両端に一対配置され、放電管４の両端を保持する。保持部３０は、絶縁性と耐熱性を備えた素材にて形成する。具体的には、放電管４の放電・発光時に流れる電流を絶縁し、当該放電・発光時に瞬間的に生じる高熱に耐える耐熱性を備えた素材にて、保持部３０を形成するのが望ましい。
保持部３０全体は、テフロン（登録商標）、アクリル、その他の熱可塑性エンジニアリングプラスチックといった絶縁材にて形成することができる。
例えば、保持部３０の上記熱影響を受ける部分は、耐熱性を備えたセラミックにて形成するのが望ましい。また保持部３０の全体について耐熱性を備えたセラミックにて形成してもよい。保持部３０に用いる上記セラミックについては、アルミナセラミックが好ましい。但し放電管４の放熱に対し適切な耐熱性を備えたものであれば、アルミナセラミック以外の他のセラミックや、セラミック以外の素材を採用して実施することも可能である。
保持部３０として使用可能な材料には、例えば、耐熱材料ファインセラミックでは、アルミナ以外に、ジルコニア、炭化珪素、石英を挙げることができる。
図３（Ａ）へ示す通り、保持部３０の内部は、放電管４の端部を挿入する挿入空間３０ａと、通水連絡部３０ｂとを備える。上記挿入空間３０ａへ放電管４の端部が嵌め込まれているのである。
この例では、放電管４の挿入空間３０ａへ挿入される部位へ、シリコン系素材、具体的にはシリコンなどの耐熱素材で形成された冷却液ｂの液漏れ防止用のパッキン３４を装着し、挿入空間３０ａへ放電管４を嵌めている。
尚、図３（Ａ）では図面の煩雑を避けるため加熱装置３の反射部材９や筐体１３は省略して描いている。
両保持部３０の挿入空間３０ａの夫々には、放電管４の電極４０の露出部分４０ａが通される。挿入空間３０ａから突き出て各保持部３０の外部へ露出する電極４０の露出部分４０ａの夫々へ、発光用電源５と接続された電線５１，５２即ち発光のための放電用の入力ケーブル（入力線）が接続されているのである。
詳しくは放電管４左右の電極４０の露出部分４０ａには、ソケット５１ａ，５２ａが着脱自在に装着される（図３（Ａ））。一方のソケット５１ａは上記一方の電線５１の端部に設けられている。当該電線５１の他の一端が上記発光用電源５の正負一方の極へ接続されている。
他の一方のソケット５２ａは上記他の一方の電線５２の端部に設けられている。当該電線５２の他の一端が上記発光用電源５の正負他の一方の極に接続されている。
放電管４は両ソケット５１ａ，５２ａへ上記の通り装着されることにより、電気的に発光用電源５へ接続可能となる。
上記発光用電源５は、コンデンサを備える。発光用電源５は、商用電源に接続されて放電管４の発光に必要な蓄電を行う。
保持部３０全体は、テフロン（登録商標）、アクリル、その他の熱可塑性エンジニアリングプラスチックといった絶縁材にて形成することができる。
例えば、保持部３０の上記熱影響を受ける部分は、耐熱性を備えたセラミックにて形成するのが望ましい。また保持部３０の全体について耐熱性を備えたセラミックにて形成してもよい。保持部３０に用いる上記セラミックについては、アルミナセラミックが好ましい。但し放電管４の放熱に対し適切な耐熱性を備えたものであれば、アルミナセラミック以外の他のセラミックや、セラミック以外の素材を採用して実施することも可能である。
保持部３０として使用可能な材料には、例えば、耐熱材料ファインセラミックでは、アルミナ以外に、ジルコニア、炭化珪素、石英を挙げることができる。
図３（Ａ）へ示す通り、保持部３０の内部は、放電管４の端部を挿入する挿入空間３０ａと、通水連絡部３０ｂとを備える。上記挿入空間３０ａへ放電管４の端部が嵌め込まれているのである。
この例では、放電管４の挿入空間３０ａへ挿入される部位へ、シリコン系素材、具体的にはシリコンなどの耐熱素材で形成された冷却液ｂの液漏れ防止用のパッキン３４を装着し、挿入空間３０ａへ放電管４を嵌めている。
尚、図３（Ａ）では図面の煩雑を避けるため加熱装置３の反射部材９や筐体１３は省略して描いている。
両保持部３０の挿入空間３０ａの夫々には、放電管４の電極４０の露出部分４０ａが通される。挿入空間３０ａから突き出て各保持部３０の外部へ露出する電極４０の露出部分４０ａの夫々へ、発光用電源５と接続された電線５１，５２即ち発光のための放電用の入力ケーブル（入力線）が接続されているのである。
詳しくは放電管４左右の電極４０の露出部分４０ａには、ソケット５１ａ，５２ａが着脱自在に装着される（図３（Ａ））。一方のソケット５１ａは上記一方の電線５１の端部に設けられている。当該電線５１の他の一端が上記発光用電源５の正負一方の極へ接続されている。
他の一方のソケット５２ａは上記他の一方の電線５２の端部に設けられている。当該電線５２の他の一端が上記発光用電源５の正負他の一方の極に接続されている。
放電管４は両ソケット５１ａ，５２ａへ上記の通り装着されることにより、電気的に発光用電源５へ接続可能となる。
上記発光用電源５は、コンデンサを備える。発光用電源５は、商用電源に接続されて放電管４の発光に必要な蓄電を行う。
【0020】
また、通水連絡部３０ｂは、一端が挿入空間３０ａへ連絡し他の一端が保持部３０の外部へ連絡する空間である。
この例では、更に保持部３０内に、一端が通水連絡部３０ｂと連絡し他の一端側が保持部３０の外部へ連絡する引出線挿入部３０ｃが設けられている。
図２へ示す放電管４の左右に配された一対の上記保持部３０は、冶具３２を介して基盤３１へ固定されている。図２の３３は左右の保持部３０を締結し放電管４に対する保持部３０の位置を定める位置決め部材を示している。左右の保持部３０の外側へ配された一対の上記位置決め部材３３は、夫々板状の部材であり、電極４０の露出部分４０ａを通す穴ｈを備える（図３）。穴ｈの径は、放電管４の電極４０の上記露出部分４０以外の部分よりも小さい。
位置決め部材３３の夫々には、当該穴ｈ以外の位置にて締結部材３３ａが突き通される（図２）。締結部材３３ａは座面を提供する頭部を備えたボルトであり、締結部材３３ａの軸外周面に雄螺子が形成されている。
図２において、左右の締結部材３３ａの前記頭部のみ現れている。前記位置決め部３３には、締結部材３３ａを通す穴が設けられ当該穴を通り抜けた締結部材３３ａの先端側は保持部３０に設けられた螺子穴にねじ込まれる。当該螺子穴には雌螺子が形成されており締結部材３３ａの前記雄螺子がねじ込まれるのである。
締結部材３３ａの頭部座面は、保持部３０との間に位置決め部材３３を挟み保持部３０と位置決め部材３３とを締結する。保持部３０へ固定された位置決め部３３にて、保持部３０に対し放電管４の位置決めがなされる。
また基盤３１は、ネジ止め・ボルト止めなどの周知の取付手段により、直接又は間接的に上記筐体１３へ着脱自在に固定される板材である。基盤３１は、筐体１３へ取り付けることによって、筐体１３の一部を構成する。例えば図２へ示す例では、筐体１３は下方に開口を備え、基盤３１の上記取り付けによって当該開口を塞いでいる。
基盤３１の上面即ち筐体１３を臨む面に放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０とが設けられ、筐体１３へ基盤３１を取り付けることにより、放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０と基盤３１とをまとめて筐体１３内へ収容することができる。
放電管４の交換時には、基盤３１を筐体１３から取り外すことにより、放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０とを基盤３１と共に取り外すことができる。即ち、筐体１３に対して、放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０と冶具３２と位置決め部材３３と基盤３１とを１つのユニットとして一体に着脱できる。
図２へ示す例では、上記ユニットとは別にトリガ電源７が筐体１３内に収容されている。但しトリガ電源７は筐体１３の外部へ配置するものとしてもよい。
この例では、更に保持部３０内に、一端が通水連絡部３０ｂと連絡し他の一端側が保持部３０の外部へ連絡する引出線挿入部３０ｃが設けられている。
図２へ示す放電管４の左右に配された一対の上記保持部３０は、冶具３２を介して基盤３１へ固定されている。図２の３３は左右の保持部３０を締結し放電管４に対する保持部３０の位置を定める位置決め部材を示している。左右の保持部３０の外側へ配された一対の上記位置決め部材３３は、夫々板状の部材であり、電極４０の露出部分４０ａを通す穴ｈを備える（図３）。穴ｈの径は、放電管４の電極４０の上記露出部分４０以外の部分よりも小さい。
位置決め部材３３の夫々には、当該穴ｈ以外の位置にて締結部材３３ａが突き通される（図２）。締結部材３３ａは座面を提供する頭部を備えたボルトであり、締結部材３３ａの軸外周面に雄螺子が形成されている。
図２において、左右の締結部材３３ａの前記頭部のみ現れている。前記位置決め部３３には、締結部材３３ａを通す穴が設けられ当該穴を通り抜けた締結部材３３ａの先端側は保持部３０に設けられた螺子穴にねじ込まれる。当該螺子穴には雌螺子が形成されており締結部材３３ａの前記雄螺子がねじ込まれるのである。
締結部材３３ａの頭部座面は、保持部３０との間に位置決め部材３３を挟み保持部３０と位置決め部材３３とを締結する。保持部３０へ固定された位置決め部３３にて、保持部３０に対し放電管４の位置決めがなされる。
また基盤３１は、ネジ止め・ボルト止めなどの周知の取付手段により、直接又は間接的に上記筐体１３へ着脱自在に固定される板材である。基盤３１は、筐体１３へ取り付けることによって、筐体１３の一部を構成する。例えば図２へ示す例では、筐体１３は下方に開口を備え、基盤３１の上記取り付けによって当該開口を塞いでいる。
基盤３１の上面即ち筐体１３を臨む面に放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０とが設けられ、筐体１３へ基盤３１を取り付けることにより、放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０と基盤３１とをまとめて筐体１３内へ収容することができる。
放電管４の交換時には、基盤３１を筐体１３から取り外すことにより、放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０とを基盤３１と共に取り外すことができる。即ち、筐体１３に対して、放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０と冶具３２と位置決め部材３３と基盤３１とを１つのユニットとして一体に着脱できる。
図２へ示す例では、上記ユニットとは別にトリガ電源７が筐体１３内に収容されている。但しトリガ電源７は筐体１３の外部へ配置するものとしてもよい。
【0021】
トリガ導電部６は、この例では、トリガ電圧を与える導線である（以下必要に応じてトリガ線６と呼ぶ）。
トリガ線６の基端は上記トリガ電源７の出力電極へ接続される。トリガ線６がトリガ電源７から電圧を受けて放電管４発光の際の放電を誘発する。
トリガ線６は、絶縁材で被覆されていないむき出しの金属線であり、トリガ線６基端は、絶縁材で被覆された電線６１（以下導電線６１と呼ぶ。）を介してトリガ電源７に接続されている。詳しくは、トリガ線６（トリガ導電部６）は引出線６０を介して導電線６１に接続されている。トリガ線６と引出線６０は一体に形成された金属線である。即ち、トリガ線６と引出線６０は１本の線材であり、ここでは、当該線材において、放電管４へ配置され放電に関与する区間をトリガ線６と呼び、放電管４から離れて放電に関与しない区間を引出線６０と呼ぶ。
図２へ示す例では、引出線６０は上記引出線挿入部３０ｃ内に通される。
トリガ電源７には、必要なトリガ電圧を供給できるものを採用する。具体的には、トリガ電源７は、２０～３０ＫＶのトリガ電圧を供給する能力を備えたものを採用する。
トリガ電源７は、トランス（トリガトランス）であり、当該トランスの一次側が上記発光用電源５に接続されている。
この例では、トリガ線６は、ニッケルの線材である。但し、トリガ線６は、トリガ放電を行うことが可能な導線であれば、ニッケル以外の金属線を採用して実施することも可能である。
トリガ線６は、放電管４へ向け安定して放電を誘発する位置にあればよい。トリガ線６は、放電管４の電極４０の露出部分４０ａを避け、放電管４の長手方向について放電管４の正極と負極の露出部分４０ａ同士の間にのみ配置される。言い換えるとトリガ線６は、放電管４の長手方向について正負両電極４０の露出部分４０ａに挟まれた区間のみに配置されておれば、放電管４の正負両電極４０の内包部分４０ｂと前記長手方向の位置について幾分重なるものであってもよい。トリガ線６を提供する上記線材において、上記引出線６０は、放電しないように露出部分４０ａ外周面から露出部分４０ａの径外側へ離されている。
上記発光用電源５は、信号線にて上記ＰＣに接続されている。発光用電源５は、上記画像取得装置１による画像取得時にＰＣからの指令を受けて、蓄電した電荷を放電管４へ放出する。発光用電源５に接続されているトリガ電源７は、発光用電源５の上記電荷の放出動作に伴いトリガ線６へ必要な電圧を供給する。
トリガ線６の基端は上記トリガ電源７の出力電極へ接続される。トリガ線６がトリガ電源７から電圧を受けて放電管４発光の際の放電を誘発する。
トリガ線６は、絶縁材で被覆されていないむき出しの金属線であり、トリガ線６基端は、絶縁材で被覆された電線６１（以下導電線６１と呼ぶ。）を介してトリガ電源７に接続されている。詳しくは、トリガ線６（トリガ導電部６）は引出線６０を介して導電線６１に接続されている。トリガ線６と引出線６０は一体に形成された金属線である。即ち、トリガ線６と引出線６０は１本の線材であり、ここでは、当該線材において、放電管４へ配置され放電に関与する区間をトリガ線６と呼び、放電管４から離れて放電に関与しない区間を引出線６０と呼ぶ。
図２へ示す例では、引出線６０は上記引出線挿入部３０ｃ内に通される。
トリガ電源７には、必要なトリガ電圧を供給できるものを採用する。具体的には、トリガ電源７は、２０～３０ＫＶのトリガ電圧を供給する能力を備えたものを採用する。
トリガ電源７は、トランス（トリガトランス）であり、当該トランスの一次側が上記発光用電源５に接続されている。
この例では、トリガ線６は、ニッケルの線材である。但し、トリガ線６は、トリガ放電を行うことが可能な導線であれば、ニッケル以外の金属線を採用して実施することも可能である。
トリガ線６は、放電管４へ向け安定して放電を誘発する位置にあればよい。トリガ線６は、放電管４の電極４０の露出部分４０ａを避け、放電管４の長手方向について放電管４の正極と負極の露出部分４０ａ同士の間にのみ配置される。言い換えるとトリガ線６は、放電管４の長手方向について正負両電極４０の露出部分４０ａに挟まれた区間のみに配置されておれば、放電管４の正負両電極４０の内包部分４０ｂと前記長手方向の位置について幾分重なるものであってもよい。トリガ線６を提供する上記線材において、上記引出線６０は、放電しないように露出部分４０ａ外周面から露出部分４０ａの径外側へ離されている。
上記発光用電源５は、信号線にて上記ＰＣに接続されている。発光用電源５は、上記画像取得装置１による画像取得時にＰＣからの指令を受けて、蓄電した電荷を放電管４へ放出する。発光用電源５に接続されているトリガ電源７は、発光用電源５の上記電荷の放出動作に伴いトリガ線６へ必要な電圧を供給する。
【0022】
トリガ線６は、この例では、図３（Ａ）（Ｂ）へ示す通り、放電管４の外周面へ直接巻き付けられている。即ち、トリガ線６は放電管４へ螺旋状に巻きつけられている。
トリガ線６は、放電管４の光の放出を阻害しないように放電管４の外周へ疎に巻回されており、光を遮るような密に巻かれるものではない。トリガ線６の長さは、放電管４の径や長さ、種類、発熱量等その他の事項により適宜変更可能である。
上記の通りトリガ線６を放電管４へ巻き付けるものに限定するものではなく、巻き付けずに単に放電管４の外周面へ沿わせるのを排除するものではない。例えば、放電管４の長手方向に沿って真っすぐ伸びるものであってもよい。また、トリガ線６は放電管４と接触するものに限らず、トリガ線６は後述する冷却液ｂの流路ｒ内に配置されるのみで放電管４とは接触しないものとしてもよい。
上記のトリガ線６の全区間が放電管４と接触するものや、トリガ線６の全区間が放電管４と接触しないものの他、トリガ線６の一部が放電管４表面と接触しトリガ線６の他の部分は放電管４と接触しないものとしても実施できる。例えば、放電管４の表面に巻き付けたトリガ線６が部分的に放電管４表面から浮き上がって放電管４から離れたものとなっていてもよいのである。
この例では、トリガ線６の先端は、輪６ａにされて放電管４の外周へ留められている。
トリガ線６は、放電管４の光の放出を阻害しないように放電管４の外周へ疎に巻回されており、光を遮るような密に巻かれるものではない。トリガ線６の長さは、放電管４の径や長さ、種類、発熱量等その他の事項により適宜変更可能である。
上記の通りトリガ線６を放電管４へ巻き付けるものに限定するものではなく、巻き付けずに単に放電管４の外周面へ沿わせるのを排除するものではない。例えば、放電管４の長手方向に沿って真っすぐ伸びるものであってもよい。また、トリガ線６は放電管４と接触するものに限らず、トリガ線６は後述する冷却液ｂの流路ｒ内に配置されるのみで放電管４とは接触しないものとしてもよい。
上記のトリガ線６の全区間が放電管４と接触するものや、トリガ線６の全区間が放電管４と接触しないものの他、トリガ線６の一部が放電管４表面と接触しトリガ線６の他の部分は放電管４と接触しないものとしても実施できる。例えば、放電管４の表面に巻き付けたトリガ線６が部分的に放電管４表面から浮き上がって放電管４から離れたものとなっていてもよいのである。
この例では、トリガ線６の先端は、輪６ａにされて放電管４の外周へ留められている。
【0023】
上記赤外線サーモグラフィーで被検材ｍの広い面積を検査する場合には、放電管４には光の放射により広い面を加熱する能力を備えたものを採用する。特に消費電力について限定はないが、被検材ｍや探傷の条件に応じて、放電管４には、１回の発光につき５００Ｊから２００００Ｊの電力を消費するものを採用することが考えられ、特に放電管４には１回の発光につき１０００Ｊ～１２０００Ｊの電力を消費するものを採用することが考えられる。
ＣＦＲＰの表層における剥離を検出する場合において２０００Ｊ～４０００Ｊの電力消費のもので実施可能であることを確認している。
但し、被検材ｍによって放電管４は上記数値範囲以外の能力のものを採用して実施するのを排除するものではない。即ち、１回の発光につき、５００Ｊ未満の消費電力である放電管４や２００００Ｊを超える消費電力の放電管４の採用を排除するものではない。
上記冷却部８は、上記発光にて加熱する放電管４の冷却の能力を備えたものを用いる。
冷却部８について具体的に説明する。
冷却部８は、上述の冷却液ｂの流路ｒを形成する筒状部８１と、冷却液ｂを供給するタンクＴと、冷却液ｂを循環させるポンプＰとを備える。具体的には、筒状部８１は中空で透明な石英管であり、筒状部８１の内径は、放電管４の外径よりも大きい。筒状部８１は、放電管４の外部へ配置される。即ち、筒状部８１の中空部分へ放電管４が配置される。放電管４の外周面と筒状部８１の内周面との間の隙間が冷却液ｂの上記流路ｒを構成する。流路ｒである上記隙間へ冷却液ｂが流され、冷却液ｂは、移動中放電管４の表面と直接接触する。上記の通り筒状部８１は、放電管４の径外へ上記冷却液ｂの流路を形成する水冷管である。
筒状部８１は放電管４と共に保持部３０の挿入空間３０ａへ嵌められる。筒状部８１は、図３（Ａ）へ示す通り、放電管４よりも短く、保持部３０の挿入空間３０ａ内にて、放電管４の両端（電極４０の露出部分４０ａ，４０ｂ）は筒状部８１の両端より突出している。挿入空間３０ａの径について、筒状部８１の挿入される区間は上記露出部分４０ａ，４０ｂを収容する小径区間よりも大きい大径区間である。上記小径区間と大径区間は同心とされ、上記大径区間へ筒状部８１を嵌め、上記小径区間へ放電管４を嵌めることにより、放電管４と筒状部８１の周方向の各位置において均等に流路ｒとなる隙間を設けることができる。
また、放電管４において上記小径区間に嵌められた露出部分４０ａ，４０ｂへ上記水漏れ防止用のパッキン３４が装着されているのである。筒状部８１の挿入空間３０ａへ嵌められる部位にも、放電管４の上記水漏れ防止用のパッキン３４と同様素材のパッキン３５が装着されている。
冷却液ｂに関し、上記のパッキン３４，３５により保持部３０から外部へ漏れることが防がれており、冷却液ｂにより確実に放電管４からの熱を排除することができる。
この例では、引出線挿入部３０ｃ内の上記引出線６０の周囲の隙間を放電管４の放熱性に耐える耐熱性を備えた周知の接着剤やパテにて塞いでいる。
上記の筒状部８１即ち水冷管が、放電管４の発する光を通すことにより当該光を外部へ放出し、被検材ｍを加熱する。
ＣＦＲＰの表層における剥離を検出する場合において２０００Ｊ～４０００Ｊの電力消費のもので実施可能であることを確認している。
但し、被検材ｍによって放電管４は上記数値範囲以外の能力のものを採用して実施するのを排除するものではない。即ち、１回の発光につき、５００Ｊ未満の消費電力である放電管４や２００００Ｊを超える消費電力の放電管４の採用を排除するものではない。
上記冷却部８は、上記発光にて加熱する放電管４の冷却の能力を備えたものを用いる。
冷却部８について具体的に説明する。
冷却部８は、上述の冷却液ｂの流路ｒを形成する筒状部８１と、冷却液ｂを供給するタンクＴと、冷却液ｂを循環させるポンプＰとを備える。具体的には、筒状部８１は中空で透明な石英管であり、筒状部８１の内径は、放電管４の外径よりも大きい。筒状部８１は、放電管４の外部へ配置される。即ち、筒状部８１の中空部分へ放電管４が配置される。放電管４の外周面と筒状部８１の内周面との間の隙間が冷却液ｂの上記流路ｒを構成する。流路ｒである上記隙間へ冷却液ｂが流され、冷却液ｂは、移動中放電管４の表面と直接接触する。上記の通り筒状部８１は、放電管４の径外へ上記冷却液ｂの流路を形成する水冷管である。
筒状部８１は放電管４と共に保持部３０の挿入空間３０ａへ嵌められる。筒状部８１は、図３（Ａ）へ示す通り、放電管４よりも短く、保持部３０の挿入空間３０ａ内にて、放電管４の両端（電極４０の露出部分４０ａ，４０ｂ）は筒状部８１の両端より突出している。挿入空間３０ａの径について、筒状部８１の挿入される区間は上記露出部分４０ａ，４０ｂを収容する小径区間よりも大きい大径区間である。上記小径区間と大径区間は同心とされ、上記大径区間へ筒状部８１を嵌め、上記小径区間へ放電管４を嵌めることにより、放電管４と筒状部８１の周方向の各位置において均等に流路ｒとなる隙間を設けることができる。
また、放電管４において上記小径区間に嵌められた露出部分４０ａ，４０ｂへ上記水漏れ防止用のパッキン３４が装着されているのである。筒状部８１の挿入空間３０ａへ嵌められる部位にも、放電管４の上記水漏れ防止用のパッキン３４と同様素材のパッキン３５が装着されている。
冷却液ｂに関し、上記のパッキン３４，３５により保持部３０から外部へ漏れることが防がれており、冷却液ｂにより確実に放電管４からの熱を排除することができる。
この例では、引出線挿入部３０ｃ内の上記引出線６０の周囲の隙間を放電管４の放熱性に耐える耐熱性を備えた周知の接着剤やパテにて塞いでいる。
上記の筒状部８１即ち水冷管が、放電管４の発する光を通すことにより当該光を外部へ放出し、被検材ｍを加熱する。
【0024】
一方（図２及び図３（Ａ）中左側）の保持部３０の上記通水連絡部３０ｂへ導入用のホース８３が接続され、導入用のホース８３は上記ポンプＰを介して上記タンクＴへ接続されている。他の一方（図２及び図３（Ａ）中右側）の保持部３０の上記通水連絡部３０ｂへ排出用のホース８４が接続され、回収した冷却液ｂを再びタンクＴへ収容する。
一方の保持部３０の通水連絡部３０ｂから水冷管内に導入された冷却液ｂは、放電管４及び上記水冷管の長手方向沿って流れ（図３（Ｂ）の白抜き矢印）他方の保持部３０の通水連絡部３０ｂから排出され、タンクＴを経て再び上記一方の保持部３０の通水連絡部３０ｂから水冷管内に導入されるのである。
また、冷却液ｂは、絶縁性を備えた液体である必要がある。絶縁性を備えた液体として、冷却液ｂに純水を採用すればよい。
図示は省略するが、タンクＴ又はホース８３，８４に温度センサと導電率計とを備える。上記温度センサと導電率計はＰＣに接続され、所定以上の温度の上昇や所定以上の冷却液ｂの純度の変化が生じれば、ＰＣから警報が出される。オペレータは冷却液ｂが冷却に必要な温度であるか否か更に絶縁性を備える純度を保っているかモニタ１２を見て確認できる。
冷却液ｂの絶縁性が低下すれば、タンクＴの冷却液ｂを絶縁性の高いものに入れ替えればよい。冷却液ｂの温度が高くなった場合も、冷却液ｂの入れ替えで対応することができるが、ここでは、冷却部８はチラーを備え（図示しない。）、上記温度センサの温度の検出によって自動的に冷却装置を作動させて冷却液ｂの温度を調整するものとする。従って、冷却液ｂの純度変化のみ上記警報を行えばよく、導電率計のみＰＣへ接続して実施することも可能である。
具体的には、タンクＴには収容した冷却液を冷却する熱交換器などの上記冷却装置が設けられている。尚、冷却装置は、タンクＴと別にホース８３，８４へ設けることにて、冷却液ｂの循環経路中に配置するものとしてもよい。
上記にて、冷却液ｂは、一定の水温に保たれ水質について純水であることを維持できる。
冷却液ｂの流量とその流速は、ランプの特性、加熱エネルギーに対応した値が選択される。即ち当該値の選択に応じた能力のものを上記ポンプｐに採用する。但し、別途の上記ポンプｐを設けるのではなく、上記チラーの備えるポンプにて冷却液ｂを循環させるものとしてもよい。
また、冷却液ｂの循環経路の途中にイオン交換器を設けて、冷却液ｂの絶縁性の低下に対し、自動的に冷却液ｂの絶縁性を回復するものとしてもよい。
上記において前記温度センサと前記導電率計はＰＣへ接続するものとしたが、前記温度センサと前記導電率計はＰＬＣ（programmable logic controller）へ接続してシーケンス制御するものとしてもよい。
一方の保持部３０の通水連絡部３０ｂから水冷管内に導入された冷却液ｂは、放電管４及び上記水冷管の長手方向沿って流れ（図３（Ｂ）の白抜き矢印）他方の保持部３０の通水連絡部３０ｂから排出され、タンクＴを経て再び上記一方の保持部３０の通水連絡部３０ｂから水冷管内に導入されるのである。
また、冷却液ｂは、絶縁性を備えた液体である必要がある。絶縁性を備えた液体として、冷却液ｂに純水を採用すればよい。
図示は省略するが、タンクＴ又はホース８３，８４に温度センサと導電率計とを備える。上記温度センサと導電率計はＰＣに接続され、所定以上の温度の上昇や所定以上の冷却液ｂの純度の変化が生じれば、ＰＣから警報が出される。オペレータは冷却液ｂが冷却に必要な温度であるか否か更に絶縁性を備える純度を保っているかモニタ１２を見て確認できる。
冷却液ｂの絶縁性が低下すれば、タンクＴの冷却液ｂを絶縁性の高いものに入れ替えればよい。冷却液ｂの温度が高くなった場合も、冷却液ｂの入れ替えで対応することができるが、ここでは、冷却部８はチラーを備え（図示しない。）、上記温度センサの温度の検出によって自動的に冷却装置を作動させて冷却液ｂの温度を調整するものとする。従って、冷却液ｂの純度変化のみ上記警報を行えばよく、導電率計のみＰＣへ接続して実施することも可能である。
具体的には、タンクＴには収容した冷却液を冷却する熱交換器などの上記冷却装置が設けられている。尚、冷却装置は、タンクＴと別にホース８３，８４へ設けることにて、冷却液ｂの循環経路中に配置するものとしてもよい。
上記にて、冷却液ｂは、一定の水温に保たれ水質について純水であることを維持できる。
冷却液ｂの流量とその流速は、ランプの特性、加熱エネルギーに対応した値が選択される。即ち当該値の選択に応じた能力のものを上記ポンプｐに採用する。但し、別途の上記ポンプｐを設けるのではなく、上記チラーの備えるポンプにて冷却液ｂを循環させるものとしてもよい。
また、冷却液ｂの循環経路の途中にイオン交換器を設けて、冷却液ｂの絶縁性の低下に対し、自動的に冷却液ｂの絶縁性を回復するものとしてもよい。
上記において前記温度センサと前記導電率計はＰＣへ接続するものとしたが、前記温度センサと前記導電率計はＰＬＣ（programmable logic controller）へ接続してシーケンス制御するものとしてもよい。
【0025】
反射部材９の例を図５乃至図７へ示す。
反射部材９は、放電管４が発した光を効率よく被検材ｍへ向けるものである。
反射部材９は、湾曲した板状体である。反射部材９は、筒状部８１の外側へ筒状部８１と間隔を開けて配置され、筒状部８１を取り囲む。湾曲する反射部材９の内面は、放電管４の光を反射する反射面９０である。
詳しくは、反射部材９は、主反射部９２と、副反射部９１とを備える（図６）。
副反射部９１は筒状部８１を挟んで被検材ｍの反対側に配置され、主反射部９２は、副反射部９１よりも被検材ｍ寄りに配置される。
主反射部９２と副反射部９１夫々の内面が、上記反射面９０をなすものである。
副反射部９１の反射面９０は放電管から受けた光を被検材ｍ及び主反射部９２へ向けて反射し、主反射部９２の反射面９０は放電管４から直接受けた光及び副反射部９１の反射した光を被検材ｍへ向けて反射する。
また、主反射部９２は、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとを備える。第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとは、互いの反射面９０を対向させる。第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとは夫々放電管４（筒状部８１）側から被検材ｍ側へ伸び、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂの間にて放電管４から被検材ｍへ向かう光を通す。反射部材９の側面視において、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂは、互いの反射面９０間の間隔を、副反射部９１側から被検材ｍ側へ向け漸次広げる。
反射部材９は、放電管４が発した光を効率よく被検材ｍへ向けるものである。
反射部材９は、湾曲した板状体である。反射部材９は、筒状部８１の外側へ筒状部８１と間隔を開けて配置され、筒状部８１を取り囲む。湾曲する反射部材９の内面は、放電管４の光を反射する反射面９０である。
詳しくは、反射部材９は、主反射部９２と、副反射部９１とを備える（図６）。
副反射部９１は筒状部８１を挟んで被検材ｍの反対側に配置され、主反射部９２は、副反射部９１よりも被検材ｍ寄りに配置される。
主反射部９２と副反射部９１夫々の内面が、上記反射面９０をなすものである。
副反射部９１の反射面９０は放電管から受けた光を被検材ｍ及び主反射部９２へ向けて反射し、主反射部９２の反射面９０は放電管４から直接受けた光及び副反射部９１の反射した光を被検材ｍへ向けて反射する。
また、主反射部９２は、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとを備える。第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとは、互いの反射面９０を対向させる。第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとは夫々放電管４（筒状部８１）側から被検材ｍ側へ伸び、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂの間にて放電管４から被検材ｍへ向かう光を通す。反射部材９の側面視において、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂは、互いの反射面９０間の間隔を、副反射部９１側から被検材ｍ側へ向け漸次広げる。
【0026】
図５（Ａ）及び図６へ示す通り副反射部９１は樋状に形成されている。
主反射部９２の側面側は、側板９５で覆われている。側板９５の内側面は、この例では主反射部９２の反射面９０よりも反射率の低い面である。但し、側板９５の内側面は、主反射部９２の反射面９０よりも反射率の低い面に限定するものではなく、側板９５の内側面の反射率は、主反射部９２の反射面９０の反射率と同じ若しくは主反射部９２の反射面９０の反射率よりも大きなものであってもよい。
また、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとからなる主反射部９２において、側板９５は第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとを接続する接続面を提供する（図５（Ｂ）及び図６）。
例えば、被検材ｍを放電管４の上方に配置し下方から上方の被検材ｍへ向けて光を発するものとし尚且つ加熱装置３の前後方向について第１主反射部９２ａは第２主反射部９２ｂの前方に配されたものとすると、側板９５は、主反射部９２の左右に配置され、第１主反射部９２ａの左右側辺の夫々と第２主反射部９２ｂの左右側辺の夫々とを接続する。但し、主反射部９２の左右を覆うものであればよく、側板９５は第１主反射部９２ａ及び第２主反射部９２ｂに接続されたものでなくてもよい。側板９５は主反射部９２と一体である必要はないのである。
上記主反射部９２の底を上記副反射部９１が塞ぐ。この例では、副反射部９１は主反射部９２と別体に形成され主反射部９２から分離できる（図６及び図７）。主反射部９２の上端は、光の放射口９３として開放されている。
図示を省略するが、主反射部９２は、螺子、ボルト、ピン或いは溶接といった周知の固着手段により前述の筐体１３へ固着されている。
主反射部９２の側面側は、側板９５で覆われている。側板９５の内側面は、この例では主反射部９２の反射面９０よりも反射率の低い面である。但し、側板９５の内側面は、主反射部９２の反射面９０よりも反射率の低い面に限定するものではなく、側板９５の内側面の反射率は、主反射部９２の反射面９０の反射率と同じ若しくは主反射部９２の反射面９０の反射率よりも大きなものであってもよい。
また、第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとからなる主反射部９２において、側板９５は第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂとを接続する接続面を提供する（図５（Ｂ）及び図６）。
例えば、被検材ｍを放電管４の上方に配置し下方から上方の被検材ｍへ向けて光を発するものとし尚且つ加熱装置３の前後方向について第１主反射部９２ａは第２主反射部９２ｂの前方に配されたものとすると、側板９５は、主反射部９２の左右に配置され、第１主反射部９２ａの左右側辺の夫々と第２主反射部９２ｂの左右側辺の夫々とを接続する。但し、主反射部９２の左右を覆うものであればよく、側板９５は第１主反射部９２ａ及び第２主反射部９２ｂに接続されたものでなくてもよい。側板９５は主反射部９２と一体である必要はないのである。
上記主反射部９２の底を上記副反射部９１が塞ぐ。この例では、副反射部９１は主反射部９２と別体に形成され主反射部９２から分離できる（図６及び図７）。主反射部９２の上端は、光の放射口９３として開放されている。
図示を省略するが、主反射部９２は、螺子、ボルト、ピン或いは溶接といった周知の固着手段により前述の筐体１３へ固着されている。
【0027】
この図５～図７へ示す例では、副反射部９１は、放電管４と筒状部８１とトリガ導電部６と保持部３０と冶具３２と位置決め部材３３と共に上記基盤３１へ設けられ、上記ユニットの一部として筐体１３から取り外すことができる（図２、図５～図７）。上記ユニットを筐体１３から取り外すことにより、副反射部９１を筐体１３へ固着している主反射部９２と分離して筐体１３から取り外すことができる。
図７（Ａ）（Ｂ）へ示す通り、副反射部９１が取り除かれた主反射部９２の底は、開口部９４として開口する。
図７（Ａ）（Ｂ）へ示す通り、副反射部９１が取り除かれた主反射部９２の底は、開口部９４として開口する。
【0028】
図６へ示す通り、この例では、副反射部９１と主反射部９２夫々の反射面９０については、放電管４（筒状部８１）の長手方向と直交する平面（仮想面）へ投影された輪郭が放物線を呈する。
上記放物線の焦点と放電管４の中心軸（仮想線）とが一致するように、反射部材９に対し放電管４及び筒状部８１を配置するのが好ましい。但し上記焦点に対し放電管４の中心軸が若干ずれていたとしても反射に支障のない範囲であればよい。
放電管４であるキセノンランプが反射部材９の反射面の呈する放物面の上記焦点上に配置されることにより、放電管４の発する光を乱反射し、加熱装置３は放射口９３から被検材ｍへ向けて光を放射する。
上記放物線の焦点と放電管４の中心軸（仮想線）とが一致するように、反射部材９に対し放電管４及び筒状部８１を配置するのが好ましい。但し上記焦点に対し放電管４の中心軸が若干ずれていたとしても反射に支障のない範囲であればよい。
放電管４であるキセノンランプが反射部材９の反射面の呈する放物面の上記焦点上に配置されることにより、放電管４の発する光を乱反射し、加熱装置３は放射口９３から被検材ｍへ向けて光を放射する。
【0029】
反射部材９の少なくとも反射面９０には、反射率の高い金属板を採用することができる。この例では、反射部材９としてアルミニウムを採用する。また、反射部材９の反射面に複数の凹凸を分布させることにより、受けた光を乱反射させて均一な光とすることができる。
図６及び図７へ示す例の他、主反射部９２の上記輪郭即ち第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂの上記輪郭が放物線の一部を呈するものとし、副反射部９１は放物線の一部と異なる輪郭を呈するものとしてもよく、副反射部９１を図６及び図７へ示す樋状以外の形状に形成するものとしてもよい。また、副反射部９１の上記輪郭についても、厳密な放物線に限定するものではなく、適切な反射を行うことができれば放物線と若干異なる形状を採るものとしてもよい。
図６及び図７へ示す例の他、主反射部９２の上記輪郭即ち第１主反射部９２ａと第２主反射部９２ｂの上記輪郭が放物線の一部を呈するものとし、副反射部９１は放物線の一部と異なる輪郭を呈するものとしてもよく、副反射部９１を図６及び図７へ示す樋状以外の形状に形成するものとしてもよい。また、副反射部９１の上記輪郭についても、厳密な放物線に限定するものではなく、適切な反射を行うことができれば放物線と若干異なる形状を採るものとしてもよい。
【0030】
次に図４（Ａ）（Ｂ）を用いて、加熱装置３の第２の実施の形態について説明する。
この第２の実施の形態において、トリガ線６は冷却部４を構成する筒状部８１の外周面へ配置されている。
この例は、特にトリガ線６を上記筒状部８１の外周面へ螺旋状に巻き付けたものである。但し、トリガ線６は巻き付けずに単に筒状部８１の外周面へ沿わせたものであってもよい。
図４へ示す第２の実施の形態では、トリガ線６は冷却部４を構成する筒状部８１の外周面へ配置されるので、トリガ線６は放電管４や筒状部８１の構成に影響を与えることなく設置できる。
また第２の実施の形態についても、冷却液ｂは絶縁性を備えたものとするのが好ましい。第２の実施の形態においてトリガ線６は冷却液ｂと直接接触するものではないが、トリガ線６に電圧が掛かった際、冷却液ｂに通電してしまい発光の放電の誘発が適切に行われないという事態を避けるためである。
この第２の実施の形態において、トリガ線６は冷却部４を構成する筒状部８１の外周面へ配置されている。
この例は、特にトリガ線６を上記筒状部８１の外周面へ螺旋状に巻き付けたものである。但し、トリガ線６は巻き付けずに単に筒状部８１の外周面へ沿わせたものであってもよい。
図４へ示す第２の実施の形態では、トリガ線６は冷却部４を構成する筒状部８１の外周面へ配置されるので、トリガ線６は放電管４や筒状部８１の構成に影響を与えることなく設置できる。
また第２の実施の形態についても、冷却液ｂは絶縁性を備えたものとするのが好ましい。第２の実施の形態においてトリガ線６は冷却液ｂと直接接触するものではないが、トリガ線６に電圧が掛かった際、冷却液ｂに通電してしまい発光の放電の誘発が適切に行われないという事態を避けるためである。
【0031】
第２の実施の形態では、アルミニウムで形成された反射部材９へトリガ線６が放電を行う危険があるので、トリガ線６と反射部材９の各部位との間の間隔を上記放電を生じさせない大きさとすることが必要である。当該大きさは、トリガ線６へ１０～３０ｋｖの電圧を印加する場合３ｍｍ以上とするのが適切である。トリガ線６の供給する電圧によって当該大きさを変更すればよい。
【0032】
また、図４（Ａ）へ示す例では、トリガ電源７は、ブラケット１４にて、筐体１３へ取り付けられている。ブラケット１４は棚状に形成された板材である。
ブラケット１４は、左右に伸びる放電管４の右側と左側とに配置され筐体１３へ固定されている。左右のブラケット１４の夫々には、碍子６２が設けられている。上記ブラケット１４上部の棚部分の夫々に設けられることにて碍子６２は、放電管４の上方の右側と左側とに配置される。
一端をトリガ電源７に接続された導電線６１の他の一端は、一方のブラケット１４の碍子６２へネジ止めされている。そして筒状部８１の外周面へ巻き付けられたトリガ線６の一端から伸びる引出線６０の他の一端は、上記導電線６１と共に上記碍子６２へ止められ、当該引出線６０と導電線６１とが電気的に接続される。前記側板９５には貫通部分９６が設けられている（図８）。当該引出線６０は、貫通部分９６を通ってトリガ線６の一端と碍子６２に止められた導電線６１とを結ぶ。
ブラケット１４は、左右に伸びる放電管４の右側と左側とに配置され筐体１３へ固定されている。左右のブラケット１４の夫々には、碍子６２が設けられている。上記ブラケット１４上部の棚部分の夫々に設けられることにて碍子６２は、放電管４の上方の右側と左側とに配置される。
一端をトリガ電源７に接続された導電線６１の他の一端は、一方のブラケット１４の碍子６２へネジ止めされている。そして筒状部８１の外周面へ巻き付けられたトリガ線６の一端から伸びる引出線６０の他の一端は、上記導電線６１と共に上記碍子６２へ止められ、当該引出線６０と導電線６１とが電気的に接続される。前記側板９５には貫通部分９６が設けられている（図８）。当該引出線６０は、貫通部分９６を通ってトリガ線６の一端と碍子６２に止められた導電線６１とを結ぶ。
【0033】
また、図４（Ａ）へ示す通り筒状部８１の外周面へ巻き付けられたトリガ線６の他の一端も、上記トリガ電源７のブラケット１４と放電管４（筒状部８１）を挟んで反対側に位置するブラケット１４の碍子６２へネジ止めされている。主反射部９２の左右両側の側板９５の夫々に上記貫通部分９６が形成されている。上記反対側のブラケット１４の碍子６２にネジ止めされる上記他の一方の引出線６０も、他方の側板９５の貫通部分９６へ通される（図４（Ａ）及び図８）。この例では両貫通部分９６は、側板９５に設けられた切り欠き部分であるが、側板９５に穴を設けて貫通部分９６としてもよい。
左右の引出線６０は、筒状部８１へ巻き付けられたトリガ線６の両端を引っ張るようにトリガ線６と碍子６２との間へ張られる。引出線６０は、弛みのないように張っておくのが望ましい。
貫通部分９６は、引出線６０と反射部材９との絶縁性を確保するため、トリガ線６と碍子６２との間に張られた引出線６０と反射部材９（主反射部材９２）とが接触しない十分な大きさを有するものとする。貫通部分９６は、図８へ示す紡錘形の輪郭を備えたものに限定するものではなく、他の形状を備えたものであってもよい。また、引出線６０や導電線６１、碍子６２、トリガ電源７、ブラケット１４の各配置は、図示したものに限定するものではなく適宜変更可能である。更にブラケット１４の形状についても図示したものに限定するものではなく適宜変更可能である。
左右の引出線６０は、筒状部８１へ巻き付けられたトリガ線６の両端を引っ張るようにトリガ線６と碍子６２との間へ張られる。引出線６０は、弛みのないように張っておくのが望ましい。
貫通部分９６は、引出線６０と反射部材９との絶縁性を確保するため、トリガ線６と碍子６２との間に張られた引出線６０と反射部材９（主反射部材９２）とが接触しない十分な大きさを有するものとする。貫通部分９６は、図８へ示す紡錘形の輪郭を備えたものに限定するものではなく、他の形状を備えたものであってもよい。また、引出線６０や導電線６１、碍子６２、トリガ電源７、ブラケット１４の各配置は、図示したものに限定するものではなく適宜変更可能である。更にブラケット１４の形状についても図示したものに限定するものではなく適宜変更可能である。
【0034】
トリガ線６と反射部材９の各部位との間の間隔に関し、上記放電を生じさせない大きさを確保するのに適した変更例について図９へ示す。
図９へ示す例は、反射部材９について、副反射部９１を主反射部９２と別体に形成する点、図７及び図８へ示す例と同様であるが、主反射部９２の開口部９４の縁と副反射部９１の上端とを一致させるのではなく、主反射部９２の開口部９４から間隔を開けて副反射部９１が配置される。即ち、筐体１３へ基盤３１を取り付けた状態において、図９へ示す通り、放電管４（及び筒状部８１）と共に副反射部９１を、主反射部９２から間隔を開けて配置するものとする。当該配置により、副反射部９１と主反射部９２の上記輪郭は、夫々放物線の一部を呈するものの、放物線全体としては若干途切れたものとなる。しかし、筒状部８１外側のトリガ線６と、主反射部９２との間の間隔を確保する設計が容易である。
第２の実施の形態及び図９へ示す変更例も特に言及しなかった事項については、上記第１の実施の形態と同様である。
図９へ示す例は、反射部材９について、副反射部９１を主反射部９２と別体に形成する点、図７及び図８へ示す例と同様であるが、主反射部９２の開口部９４の縁と副反射部９１の上端とを一致させるのではなく、主反射部９２の開口部９４から間隔を開けて副反射部９１が配置される。即ち、筐体１３へ基盤３１を取り付けた状態において、図９へ示す通り、放電管４（及び筒状部８１）と共に副反射部９１を、主反射部９２から間隔を開けて配置するものとする。当該配置により、副反射部９１と主反射部９２の上記輪郭は、夫々放物線の一部を呈するものの、放物線全体としては若干途切れたものとなる。しかし、筒状部８１外側のトリガ線６と、主反射部９２との間の間隔を確保する設計が容易である。
第２の実施の形態及び図９へ示す変更例も特に言及しなかった事項については、上記第１の実施の形態と同様である。
【0035】
（装置の他の変更例）
図３及び図４へ示す各実施の形態において、トリガ導電部６は、線材即ちトリガ線６としたが、図３及び図４の夫々の実施の形態において、トリガ導電部６は板状の部材（金属板）であってもよく、更には、放電管４表面、筒状部８１内周面又は筒状部８１外周面へ、メッキにより形成された金属メッキ層であってもよい。
冷却部８は、上述した水冷の構成に加えて冷却用ファンなどの空冷の構成を備えるものとしてもよい。
図３及び図４へ示す各実施の形態において、トリガ導電部６は、線材即ちトリガ線６としたが、図３及び図４の夫々の実施の形態において、トリガ導電部６は板状の部材（金属板）であってもよく、更には、放電管４表面、筒状部８１内周面又は筒状部８１外周面へ、メッキにより形成された金属メッキ層であってもよい。
冷却部８は、上述した水冷の構成に加えて冷却用ファンなどの空冷の構成を備えるものとしてもよい。
【0036】
また、放電管４の交換時など前述のユニットを筐体１３から着脱するものとしたが、この他、上記基盤３１から筒状部８１と共に直接放電管４を取り外すものとしてもよい。具体的には、図２へ示す筐体１３の主反射部９２の放射口９３から放電管４を内包する筒状部８１を取り出すものとしてもよい。筒状部８１の上記放射口９３からの取り出しにおいて、放電管４の両端（電極４０の露出部分４０ａ）付近が反射部材９の側面部９５に邪魔されないように、反射部材９や保持部３０の寸法や形状を定めればよい。
また、筒状部８１の上記放射口９３からの取出しにおいて、筒状部８１のみならず、筒状部８１と共に副反射部９１も上記放射口９３から取り出せるように形成してもよい。
更に、図２へ示す筐体１３から副反射部９１と共に主反射部９２も取り外せるものとしてもよい。副反射部９１と共に主反射部９２を筐体１３から取り外すものとする場合、上記ユニットに主反射部９２を含むものとし、基盤３１の筐体１３からの取外しによってユニットの他の構成部材と共に主反射部９２を取り外せるものとしてもよい。
図２へ示す例では、基盤３１は筐体１３底部の上記開口を塞ぐものとしたが、筐体３１の底部以外に上記ユニットを出し入れする開口を設けて実施するものとしてもよい。筐体３１の底部以外の開口から上記ユニットを出し入れする場合、基盤３１で当該開口を塞ぐものとせず、別途の蓋体にて当該開口を塞ぐものとしてもよい。
また、筒状部８１の上記放射口９３からの取出しにおいて、筒状部８１のみならず、筒状部８１と共に副反射部９１も上記放射口９３から取り出せるように形成してもよい。
更に、図２へ示す筐体１３から副反射部９１と共に主反射部９２も取り外せるものとしてもよい。副反射部９１と共に主反射部９２を筐体１３から取り外すものとする場合、上記ユニットに主反射部９２を含むものとし、基盤３１の筐体１３からの取外しによってユニットの他の構成部材と共に主反射部９２を取り外せるものとしてもよい。
図２へ示す例では、基盤３１は筐体１３底部の上記開口を塞ぐものとしたが、筐体３１の底部以外に上記ユニットを出し入れする開口を設けて実施するものとしてもよい。筐体３１の底部以外の開口から上記ユニットを出し入れする場合、基盤３１で当該開口を塞ぐものとせず、別途の蓋体にて当該開口を塞ぐものとしてもよい。
【0037】
副反射部９１は、主反射部９２と一体に形成されたものとし主反射部９２から分離できな
いものとしてもよい（図示しない）。即ち、第１主反射部９２ａを副反射部９１の一方の上端から延設されて副反射部９１と連続するものとし、第２主反射部９２ｂを副反射部９１の他の一方の上端から延設されて副反射部９１と連続するものとしてもよい。
副反射部９１を主反射部９２と一体とする場合も主反射部９２から分離可能とする場合も、放電管４の長手方向と直交する平面へ投影した輪郭が、上記放物線を描くものとするのが好ましい。但し、上記輪郭を放物線に近似する他の曲線とするのを除外するものではない。
尚、反射部材９の上記各説明において、放電管４の上方へ被検材ｍを配置するものとしたが、各部の相対的な位置関係を説明する便宜上のものであり、放電管４の上方へ被検材ｍを配置するのに限定するものではない。
いものとしてもよい（図示しない）。即ち、第１主反射部９２ａを副反射部９１の一方の上端から延設されて副反射部９１と連続するものとし、第２主反射部９２ｂを副反射部９１の他の一方の上端から延設されて副反射部９１と連続するものとしてもよい。
副反射部９１を主反射部９２と一体とする場合も主反射部９２から分離可能とする場合も、放電管４の長手方向と直交する平面へ投影した輪郭が、上記放物線を描くものとするのが好ましい。但し、上記輪郭を放物線に近似する他の曲線とするのを除外するものではない。
尚、反射部材９の上記各説明において、放電管４の上方へ被検材ｍを配置するものとしたが、各部の相対的な位置関係を説明する便宜上のものであり、放電管４の上方へ被検材ｍを配置するのに限定するものではない。
【0038】
（探傷方法の変更例）
上述してきた各実施の形態では、被検材ｍに対し、加熱装置３（放電管４）と同じ側に赤外線カメラ１０を配置して画像を取得するものであった。
この他図１（Ｂ）へ示す通り、被検材ｍを挟んで加熱装置３（放電管４）と反対側に赤外線カメラを配置して画像を取得するものとしても実施できる。
図１（Ｂ）へ示す例では、図１（Ａ）へ示す例と異なり、加熱装置３（放電管）と赤外線カメラ１０との間へ被検材ｍを配置し、加熱装置３から発されて被検材ｍを伝導してきた熱を被検材ｍを挟んで加熱装置３と反対側から観察するものである。図１（Ｂ）へ示す例では、赤外線カメラ１０の周囲を覆うケーシングｃの天部ｃ１に被検材ｍが載せられる。被検材ｍを載せたケーシングｃの天部ｃ１は、上下に貫通する貫通部ｃ２を備える。被検材ｍは、貫通部ｃ１を塞ぐようにケーシングｃの上記天部へ載せられる。ケーシングｃ内にて上記貫通部ｃへ向けられた赤外線カメラ１０は、貫通部ｃ２を通じて被検材ｍを伝導する熱についてサーモグラフィーを撮影することができる。
図１（Ｂ）へ示す例においても、特に言及しなかった事項については、上述してきた実施の形態と同様である。
また、加熱装置３は、上記探傷装置に用いるものに限定するものではなく、上記探傷装置以外の用途に用いるものとしてもよい。
上述してきた各実施の形態では、被検材ｍに対し、加熱装置３（放電管４）と同じ側に赤外線カメラ１０を配置して画像を取得するものであった。
この他図１（Ｂ）へ示す通り、被検材ｍを挟んで加熱装置３（放電管４）と反対側に赤外線カメラを配置して画像を取得するものとしても実施できる。
図１（Ｂ）へ示す例では、図１（Ａ）へ示す例と異なり、加熱装置３（放電管）と赤外線カメラ１０との間へ被検材ｍを配置し、加熱装置３から発されて被検材ｍを伝導してきた熱を被検材ｍを挟んで加熱装置３と反対側から観察するものである。図１（Ｂ）へ示す例では、赤外線カメラ１０の周囲を覆うケーシングｃの天部ｃ１に被検材ｍが載せられる。被検材ｍを載せたケーシングｃの天部ｃ１は、上下に貫通する貫通部ｃ２を備える。被検材ｍは、貫通部ｃ１を塞ぐようにケーシングｃの上記天部へ載せられる。ケーシングｃ内にて上記貫通部ｃへ向けられた赤外線カメラ１０は、貫通部ｃ２を通じて被検材ｍを伝導する熱についてサーモグラフィーを撮影することができる。
図１（Ｂ）へ示す例においても、特に言及しなかった事項については、上述してきた実施の形態と同様である。
また、加熱装置３は、上記探傷装置に用いるものに限定するものではなく、上記探傷装置以外の用途に用いるものとしてもよい。
【0039】
（総括）
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査において利用されるキセノンランプといった放電管４は、レーザ用のものと異なり、放電管４の光を被検材に向けて照射するために、放電管４の一部が外部にオープンとなっている必要がある。即ち反射部材９に設けられた放射口９３から被検材ｍへ向けて光が投射される。また、上記非破壊検査において、冷却するにも、レーザ用途のように、構造的にランプ（放電管）やレーザロッド、反射面全体を水没させることができない。
そして、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、（１）冷却と（２）光の照射を同時に実行するものである。更に、ランプ（放電管）は放電をするために、（３）１０～３０ｋＶの高電圧のトリガパルスを外部から、要求されるタイミングで発光することが要求される。
本発明では、冷却部８について、放電管４の径外側にて冷却液ｂを移動させるものとして、放電管４を水冷すると共に、トリガ線６について、放電管４に対し冷却部８による水冷を邪魔しない位置へ配置することにて、上記（１）～（３）の要求を充足する赤外線サーモグラフィーによる探傷装置を提供できたものである。
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査において利用されるキセノンランプといった放電管４は、レーザ用のものと異なり、放電管４の光を被検材に向けて照射するために、放電管４の一部が外部にオープンとなっている必要がある。即ち反射部材９に設けられた放射口９３から被検材ｍへ向けて光が投射される。また、上記非破壊検査において、冷却するにも、レーザ用途のように、構造的にランプ（放電管）やレーザロッド、反射面全体を水没させることができない。
そして、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、（１）冷却と（２）光の照射を同時に実行するものである。更に、ランプ（放電管）は放電をするために、（３）１０～３０ｋＶの高電圧のトリガパルスを外部から、要求されるタイミングで発光することが要求される。
本発明では、冷却部８について、放電管４の径外側にて冷却液ｂを移動させるものとして、放電管４を水冷すると共に、トリガ線６について、放電管４に対し冷却部８による水冷を邪魔しない位置へ配置することにて、上記（１）～（３）の要求を充足する赤外線サーモグラフィーによる探傷装置を提供できたものである。
【符号の説明】
【0040】
１ 画像取得装置
２ 解析装置
３ 加熱装置
４ 放電管
５ （発光）電源
６ トリガ線（トリガ導電部）
６ａ（トリガ線６の）輪
７ トリガ電源
８ 冷却部
９ 反射部材
１０ 赤外線カメラ
１１ 画像処理装置
１２ モニタ
１３ 筐体
１４ ブラケット
３０ 保持部
３０ａ 挿入空間
３０ｂ 通水連絡部
３０ｃ 引出線挿入部
３１ 基盤
３２ 冶具
３３ 位置決め部材
３３ａ 締結部材
３４ パッキン
３５ パッキン
４０ （放電管４の）電極
４０ａ（電極４０の）露出部分
４０ｂ（電極４０の）内包部分
５１ 電線
５１ａ（電線５１の）ソケット
５２ 電線
５２ａ（電線５２の）ソケット
６０ 引出線
６１ 導電線
６２ 碍子
８１ 筒状部
８３ 導入用のホース
８４ 排出用のホース
９０ 反射面
９１ 副反射部
９２ 主反射部
９２ａ 第１主反射部
９２ｂ 第２主反射部
９３ 放射口
９４ 開口部
９５ 側板
９６ 貫通部分
ａ１ 熱
ａ２ 熱
ａ３ 熱
ｂ 冷却液
ｃ ケーシング
ｍ 被検材
ｒ 流路
Ｆ１ 欠陥
Ｆ２ 欠陥
Ｆ３ 欠陥
ｇ１ 欠陥Ｆ１の熱画像
ｇ２ 欠陥Ｆ２の熱画像
ｇ３ 欠陥Ｆ３の熱画像
ｈ （位置決め部材３３の）穴
Ｐ ポンプ
Ｔ タンク
２ 解析装置
３ 加熱装置
４ 放電管
５ （発光）電源
６ トリガ線（トリガ導電部）
６ａ（トリガ線６の）輪
７ トリガ電源
８ 冷却部
９ 反射部材
１０ 赤外線カメラ
１１ 画像処理装置
１２ モニタ
１３ 筐体
１４ ブラケット
３０ 保持部
３０ａ 挿入空間
３０ｂ 通水連絡部
３０ｃ 引出線挿入部
３１ 基盤
３２ 冶具
３３ 位置決め部材
３３ａ 締結部材
３４ パッキン
３５ パッキン
４０ （放電管４の）電極
４０ａ（電極４０の）露出部分
４０ｂ（電極４０の）内包部分
５１ 電線
５１ａ（電線５１の）ソケット
５２ 電線
５２ａ（電線５２の）ソケット
６０ 引出線
６１ 導電線
６２ 碍子
８１ 筒状部
８３ 導入用のホース
８４ 排出用のホース
９０ 反射面
９１ 副反射部
９２ 主反射部
９２ａ 第１主反射部
９２ｂ 第２主反射部
９３ 放射口
９４ 開口部
９５ 側板
９６ 貫通部分
ａ１ 熱
ａ２ 熱
ａ３ 熱
ｂ 冷却液
ｃ ケーシング
ｍ 被検材
ｒ 流路
Ｆ１ 欠陥
Ｆ２ 欠陥
Ｆ３ 欠陥
ｇ１ 欠陥Ｆ１の熱画像
ｇ２ 欠陥Ｆ２の熱画像
ｇ３ 欠陥Ｆ３の熱画像
ｈ （位置決め部材３３の）穴
Ｐ ポンプ
Ｔ タンク
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
