(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-12
(45)【発行日】2022-10-20
(54)【発明の名称】対象物支持装置
(51)【国際特許分類】
F16F 15/04 20060101AFI20221013BHJP
【ＦＩ】
F16F15/04 F
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2018156046
(22)【出願日】2018-08-23
(65)【公開番号】P2020029916
(43)【公開日】2020-02-27
【審査請求日】2021-05-27
(73)【特許権者】
【識別番号】391039494
【氏名又は名称】株式会社エーエス
(74)【代理人】
【識別番号】100108497
【弁理士】
【氏名又は名称】小塚 敏紀
(72)【発明者】
【氏名】早川 政光
【審査官】鵜飼 博人
(56)【参考文献】
【文献】特開２００８－１５７２８８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－３０８８４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－１９３６７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１９７８０４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０６４４４３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－２８０７２６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－１２９４８６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ１６Ｆ １５／００－ １５／３６
Ｆ１６Ｆ １／００－ ６／００
Ｅ０４Ｈ ９／００－ ９／１６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
対象物を支持する対象物支持装置であって、対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
前記テーブルまたは前記基台のうちの何方か一方に対して設けられ特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
左右一対のリンクを持つリンク機構と、
左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
左右一対の前記リンクは、
前記水平移動案内機構が前記基台に設けられる場合、上方の端部を前記テーブルに回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され下方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定され
前記水平移動案内機構が前記テーブルに設けられる場合、下方の端部を前記基台に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定され、
左右一対の案内ブロックが左右一対の前記案内レールに前記軌道に直交する水平方向の相対移動を拘束され、
前記テーブルが前記基台に対して上下動するときに左右一対の前記案内ブロックが左右一対の前記軌道に沿って左右一対の前記案内レールにより案内される全ストロークにおいて左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向のうちの何方か一方に偏る様に延びる、
ことを特徴とする対象物支持装置。
【請求項2】
前記テーブルが前記基台に対して上下動するときに左右一対の前記案内ブロックが左右一対の前記軌道に沿って左右一対の前記案内レールにより案内される全ストロークにおいて左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向のうちの何方か一方に偏る様に直線状に延びる、ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項3】
前記テーブルが前記基台に対して上下動するときに左右一対の前記案内ブロックが左右一対の前記軌道に沿って左右一対の前記案内レールにより案内される全ストロークにおいて左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向のうちの何方か一方に偏る様に凹んだ曲線に沿って延びる、ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項4】
前記テーブルが前記基台に対して上下動するときに左右一対の前記案内ブロックが左右一対の前記軌道に沿って左右一対の前記案内レールにより案内される全ストロークにおいて左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向のうちの何方か一方に偏る様に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる、ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項5】
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称するとき、前記水平移動案内機構が前記基台に設けられる場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、
前記水平移動案内機構が前記テーブルに設けられる場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する、
ことを特徴とする請求項３または請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【請求項6】
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称するとき、
左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、
左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として右側に位置する、
ことを特徴とする請求項３または請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【請求項7】
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【請求項8】
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【請求項9】
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【請求項10】
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【請求項11】
前記テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、
を有し、
前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【請求項12】
Ｎ個のテーブル支持機構と、を備え、
上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、
前記上下方向ばね部材が、上部を、基台に下部を支持され上方に延びる部材の上部に連結され、下部を、テーブルに連結される引張ばねである、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちの一つに記載の対象物支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、対象物を支持する対象物支持装置に係る。特に、上下方向の振動に対する免震機能に注目した対象物支持装置に関する。
【背景技術】
【0002】
水平方向の対象物支持装置（例えば、免震テーブル）として、従来より、いくつかの構成のものが考案されている。水平方向の免震テーブルは比較的容易に実現できる。免震テーブルに支えられる対象物の重量が、Ｘ－Ｙテーブルやベアリング等により支えられているため水平方向のばね定数を比較的小さく設定して地震時に水平加速度振動に応答できる。例えば、ベアリング等の機構で垂直方向の荷重を支え、水平方向の振動に対する抵抗力を抑制し、免震作用を効果的に発揮できる。
【0003】
一方、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、簡易な構成、かつ、低コストで実現できるものが要請されている。
【0004】
地震の波には様々な周期を持った波が重なっており、その中でも周期が０．５～１．０秒程度の波の成分が卓越している。対象物支持装置の上下方向の固有周期を１秒より大きくすることで、対象物支持装置の地震波に対する共振を避けて、免震効果を大きくすることができる。対象物支持装置の上下方向の固有周期を１秒、２秒、３秒、５秒と大きくするほど免震効果が大きくなる。少なくとも２秒程度にすることが好ましい。
【0005】
対象物支持装置の上下方向の固有周期を２秒程度にするためには、上下方向のばねを柔らかくすることが必要である。ここで、対象物支持装置の上下方向の固有周期を２秒程度にするためには、ばね定数が一定である場合、対象物の質量に関わらず、約１ｍの静的たわみが必要となることが分かっている。これは、無負荷の状態の免震装置に対象物を静かに乗せると約１ｍ程度沈んでつりあい、この静的つりあい位置を中心に上下振動して免震効果を発揮する。対象物支持装置は、高さが１ｍ～数十ｃｍ程度になる。免震装置の上下方向の固有周期を３秒、５秒にすると、さらに静的たわみが大きくなる。
【0006】
特に、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、一定の荷重に対しては静的たわみが極めて小さく、一定の荷重以上になると軟らかいばね定数をもつ非線形ばね特性をもつ免震装置が好ましい。
例えば、対象物をテーブルに置くと、一つの位置まで静的にたわみ、その静的吊りあい位置で静的に吊りあう。地震が発生すると、静的吊りあい位置を中心に上下に振動する。
例えば、対象物をテーブルに置くと、一つの位置まで静的にたわみ、その静的吊りあい位置で静的に吊りあう。地震が発生すると、静的吊りあい位置を中心に上下に振動する。
【0007】
本願出願人、他は、「 対象物が載置され基台に対して上下動するテーブルと、このテーブルと前記基台との間に設置され、前記テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、前記テーブルと前記基台とを連結し、前記テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、この連結部材の前記水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、を備え、前記連結部材は、前記テーブルの上下動に伴って相互間の距離が変化する前記水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備えると共に、当該一対のリンク部材は、それぞれの一端部が前記テーブルに回動自在に係合され、前記水平方向バネ部材は、その両端が前記各水平可動部にそれぞれ連結されている、ことを特徴とする免震装置。」を考案した。
市場は、本願出願人が考案した対象物支持装置の免震機能をさらに向上させることを望んでいる。
市場は、本願出願人が考案した対象物支持装置の免震機能をさらに向上させることを望んでいる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、簡単な構造でさらに免震機能を向上させた対象物を支持する対象物支持装置を提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を支持する対象物支持装置を、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクと、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、を有し、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、ものとした。
【0010】
上記本発明の構成により、テーブルが、対象物を乗せられる。基台が、基礎に支持される。テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルを支持する。前記テーブル支持機構の水平移動案内機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ。前記テーブル支持機構の上下方向ばね部材が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる。前記テーブル支持機構の左右一対のリンクが、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。前記テーブル支持機構の水平方向ばね部材が、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。前記テーブル支持機構の上下移動案内機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する。左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
【0011】
以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。
【0012】
また、左右一対の前記軌道が特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると、遷移するに従って前記リンクの上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部のある側に偏る様に延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると、遷移するに従って前記リンクの上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部のある側に偏る様に延びる。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると、遷移するに従って前記リンクの上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部のある側に偏る様に延びる。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
【0013】
また、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる。
その結果、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる。
その結果、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
【0014】
また、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる。
その結果、左右一対の軌道の曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる。
その結果、左右一対の軌道の曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
【0015】
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称するとき、一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する、
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称する。一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置する。一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する。
その結果、前記軌道の曲率半径を長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称する。一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置する。一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する。
その結果、前記軌道の曲率半径を長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
【0016】
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称するとき、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として右側に位置する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称する。左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として右側に位置する。
その結果、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称する。左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として右側に位置する。
その結果、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
【0017】
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
その結果、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
その結果、設計の自由度が増える。
【0018】
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。
【0019】
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
その結果、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
その結果、設計の自由度が増える。
【0020】
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
その結果、設計の自由度が増える。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
その結果、設計の自由度が増える。
【0021】
また、前記テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、を有し、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する。
その結果、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する。
その結果、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
【0022】
上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を支持する対象物支持装置を、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、基台を基礎として前記テーブルを支持するＮ個のテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクと、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有し、上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである、ものとした。
【0023】
上記本発明の構成により、テーブルが、対象物を乗せられる。基台が、基礎に支持される。Ｎ個のテーブル支持機構が、基台を基礎として前記テーブルを支持する。上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。前記テーブル支持機構の水平移動案内機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ。前記テーブル支持機構の上下方向ばね部材が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる。前記テーブル支持機構の左右一対のリンクが、上方の端部または下方の端部のうち一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。前記テーブル支持機構の水平方向ばね部材が、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである。
その結果、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
その結果、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
【0024】
また、前記テーブル支持機構が前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構とを有し、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方に形成された凹凸が前記テーブルと前記基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方に形成された凹凸が前記テーブルと前記基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
その結果、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方に形成された凹凸が前記テーブルと前記基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
その結果、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
【発明の効果】
【0025】
以上説明したように本発明に係る 対象物支持装置は、その手順と構成により、以下の効果を有する。
前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の案内ブロックが左右一対の軌跡に沿って案内され、左右一対のリンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って前記リンクの一方の端部のある側に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる様にしたので、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる様にしての、左右一対の軌道の曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、一方の端部が上方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、または一方の端部が下方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する様にしたので、前記軌道の曲率半径を長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
また、右軌道の右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左軌道の左曲率中心が前記仮想交差点を境として右側に位置する様にしたので、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様にしたので、設計の自由度が増える。
また、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
また、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の案内ブロックが左右一対の軌跡に沿って案内され、左右一対のリンクに互いに接近する向きにばね力を作用させるＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
また、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
従って、簡単な構造でさらに免震機能を適合させた対象物を支持する免震装置を提供できる。
前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の案内ブロックが左右一対の軌跡に沿って案内され、左右一対のリンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って前記リンクの一方の端部のある側に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる様にしたので、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる様にしての、左右一対の軌道の曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、一方の端部が上方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、または一方の端部が下方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する様にしたので、前記軌道の曲率半径を長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
また、右軌道の右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左軌道の左曲率中心が前記仮想交差点を境として右側に位置する様にしたので、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様にしたので、設計の自由度が増える。
また、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
また、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の案内ブロックが左右一対の軌跡に沿って案内され、左右一対のリンクに互いに接近する向きにばね力を作用させるＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
また、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
従って、簡単な構造でさらに免震機能を適合させた対象物を支持する免震装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図2】本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図3】本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図4】本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図5】本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図6】本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図7】本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図8】本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図9】本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図10】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
【図11】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。
【図12】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１である。
【図13】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の側面図である。
【図14】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の平面図である。
【図15】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の側面断面図である。
【図16】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。
【図17】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。
【図18】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。
【図19】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の平面図である。
【図20】従来の対象物支持装置の概念図である。
【発明を実施するための形態】
【0027】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
【0028】
最初に、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0029】
対象物支持装置は、対象物を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持して、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持して、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0030】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００は、対象物１０を乗せるものである。
基台２００は、基礎に支持されるものである。
テーブル支持機構３００は、基台２００を基礎としてテーブル１００を支持する機構である。
以下に、テーブル支持機構３００の構造を説明する。
テーブル１００は、対象物１０を乗せるものである。
基台２００は、基礎に支持されるものである。
テーブル支持機構３００は、基台２００を基礎としてテーブル１００を支持する機構である。
以下に、テーブル支持機構３００の構造を説明する。
【0031】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構３５０とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構３５０とで構成されてもよい。
【0032】
水平移動案内機構３１０は、テーブルまたは基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸ｘに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック３１１と左右一対の案内ブロック３１１を特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道ｇに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール３１２とで構成される。
例えば、水平移動案内機構３１０は、基台２００に設けられ、基台２００に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸ｘに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック３１１と左右一対の案内ブロック３１１を特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道ｇに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール３１２とで構成される。
例えば、水平移動案内機構３１０は、テーブル１００に設けられ、テーブル１００に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸ｘに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック３１１と左右一対の案内ブロック３１１を特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道ｇに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール３１２とで構成される。
軌道ｇの形状については、後述する。
図１は、水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられる様子を示す。
例えば、水平移動案内機構３１０は、基台２００に設けられ、基台２００に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸ｘに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック３１１と左右一対の案内ブロック３１１を特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道ｇに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール３１２とで構成される。
例えば、水平移動案内機構３１０は、テーブル１００に設けられ、テーブル１００に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸ｘに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック３１１と左右一対の案内ブロック３１１を特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道ｇに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール３１２とで構成される。
軌道ｇの形状については、後述する。
図１は、水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられる様子を示す。
【0033】
上下方向ばね部材３２０は、基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させる部材である。
上下方向ばね部材３２０は、設計上選択されたばね定数をもつ。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねでもよい。
例えば、圧縮ばねは、下端を基台２００に連結され、上端をテーブル１００に連結され、上向きの圧縮力をテーブ１００に作用させる。
上下方向ばね部材３２０は、引張ばねでもよい。
例えば、引張ばねは、下端をテーブル１００に連結され、上端を基台に連結され、上向きの引張力をテーブル１００に作用させる。
図１は、圧縮ばねがテーブル１００と基台２００との間に設けられる様子を、模式的に示す。
上下方向ばね部材３２０は、設計上選択されたばね定数をもつ。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねでもよい。
例えば、圧縮ばねは、下端を基台２００に連結され、上端をテーブル１００に連結され、上向きの圧縮力をテーブ１００に作用させる。
上下方向ばね部材３２０は、引張ばねでもよい。
例えば、引張ばねは、下端をテーブル１００に連結され、上端を基台に連結され、上向きの引張力をテーブル１００に作用させる。
図１は、圧縮ばねがテーブル１００と基台２００との間に設けられる様子を、模式的に示す。
【0034】
リンク機構３３０は、左右一対のリンク３３１で構成される。
リンク機構３３０は、左右一対のリンク３３１と一方連結軸３３２ｕと他方連結軸３３２ｄとで構成されてもよい。
例えば、左右一対のリンク３３１は、右リンク３３１ｒと左リンク３３１ｌとで構成される。
左右一対のリンク３３１は、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部をテーブルまたは基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を案内ブロック３１１に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
例えば、水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられるとき、左右一対のリンク３３１は、上方の端部である一方の端部をテーブル１００に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、下方の端部である他方の端部を案内ブロック３１１に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３２ｕが、リンクの一方の端部を回転自在にテーブル１００に連結し、他方連結軸３３２ｄがリンクの他方の端部を案内ブロック３１１に回転自在に連結する。
例えば、水平移動案内機構３１０がテーブル１００に設けられるとき、左右一対のリンク３３１は、下方の端部である一方の端部を基台２００に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、上方の端部である他方の端部を案内ブロック３１１に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３２ｕが、リンクの一方の端部を回転自在に基台２００に連結し、他方連結軸３３２ｄがリンクの他方の端部を案内ブロック３１１に回転自在に連結する。
図１は、左右一対のリンク３３１が、一方の端部をテーブル１００に一方連結軸３３２ｕにより回転自在に連結され、他方の端部を他方連結軸３２２ｄにより基台２００に設けられた水平移動案内機構３１０の案内ブロック３１１に他方連結軸３３２ｄにより回転自在に各々に連結される様子を示す。
リンク機構３３０は、左右一対のリンク３３１と一方連結軸３３２ｕと他方連結軸３３２ｄとで構成されてもよい。
例えば、左右一対のリンク３３１は、右リンク３３１ｒと左リンク３３１ｌとで構成される。
左右一対のリンク３３１は、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部をテーブルまたは基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を案内ブロック３１１に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
例えば、水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられるとき、左右一対のリンク３３１は、上方の端部である一方の端部をテーブル１００に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、下方の端部である他方の端部を案内ブロック３１１に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３２ｕが、リンクの一方の端部を回転自在にテーブル１００に連結し、他方連結軸３３２ｄがリンクの他方の端部を案内ブロック３１１に回転自在に連結する。
例えば、水平移動案内機構３１０がテーブル１００に設けられるとき、左右一対のリンク３３１は、下方の端部である一方の端部を基台２００に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、上方の端部である他方の端部を案内ブロック３１１に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３２ｕが、リンクの一方の端部を回転自在に基台２００に連結し、他方連結軸３３２ｄがリンクの他方の端部を案内ブロック３１１に回転自在に連結する。
図１は、左右一対のリンク３３１が、一方の端部をテーブル１００に一方連結軸３３２ｕにより回転自在に連結され、他方の端部を他方連結軸３２２ｄにより基台２００に設けられた水平移動案内機構３１０の案内ブロック３１１に他方連結軸３３２ｄにより回転自在に各々に連結される様子を示す。
【0035】
左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が一致してもよい。
図１は、左右一対のリンク３３１が、一方の端部をテーブル１００に一方連結軸３３２ｕにより回転自在に連結され、他方の端部を左右一対の他方連結軸３２２ｄにより基台２００に設けられた水平移動案内機構３１０の案内ブロック３１１に他方連結軸３３２ｄにより回転自在に各々に連結される様子を示す。
図１は、左右一対のリンク３３１が、一方の端部をテーブル１００に一方連結軸３３２ｕにより回転自在に連結され、他方の端部を左右一対の他方連結軸３２２ｄにより基台２００に設けられた水平移動案内機構３１０の案内ブロック３１１に他方連結軸３３２ｄにより回転自在に各々に連結される様子を示す。
【0036】
水平方向ばね部材３４０は、左右一対のリンク３３１に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材である。
水平方向ばね部材３４０は、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材であってもよい。
水平方向ばね部材３４０は、設計上選択されたばね定数をもつ。
水平方向ばね部材３４０は、圧縮ばねであってもよい。
例えば、一対の圧縮ばねが、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
水平方向ばね部材３４０は、引張ばねであってもよい。
例えば、引張ばねが、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、一対の引張ばねが、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、引張ばねが、一方の端部を右リンク３３１ｒの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク３３１ｌの他方の端部に連結され、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。
水平方向ばね部材３４０は左右一対のリンク３３１に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に直接に作用させてもよい。
水平方向ばね部材３４０は左右一対のリンク３３１に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に案内ブロック３１１を介して作用させてもよい。
図１に、引張ばねが、一方の端部を右リンク３３１ｒの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク３３１ｌの他方の端部に連結され、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる様子を示す。
水平方向ばね部材３４０は、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材であってもよい。
水平方向ばね部材３４０は、設計上選択されたばね定数をもつ。
水平方向ばね部材３４０は、圧縮ばねであってもよい。
例えば、一対の圧縮ばねが、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
水平方向ばね部材３４０は、引張ばねであってもよい。
例えば、引張ばねが、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、一対の引張ばねが、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、引張ばねが、一方の端部を右リンク３３１ｒの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク３３１ｌの他方の端部に連結され、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。
水平方向ばね部材３４０は左右一対のリンク３３１に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に直接に作用させてもよい。
水平方向ばね部材３４０は左右一対のリンク３３１に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に案内ブロック３１１を介して作用させてもよい。
図１に、引張ばねが、一方の端部を右リンク３３１ｒの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク３３１ｌの他方の端部に連結され、左右一対のリンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる様子を示す。
【0037】
上下移動案内機構（図示せず）は、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構である。
上下移動案内機構（図示せず）は、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動と揺動運動とを抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構であってもよい。
上下移動案内機構（図示せず）は、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動とピッチングとローリングとを抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構であってもよい。
上下移動案内機構（図示せず）は、ロッキングを防止する機能を加えられたものをロッキング防止機構とも呼称される。
上下移動案内機構（図示せず）は、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動と揺動運動とを抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構であってもよい。
上下移動案内機構（図示せず）は、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動とピッチングとローリングとを抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構であってもよい。
上下移動案内機構（図示せず）は、ロッキングを防止する機能を加えられたものをロッキング防止機構とも呼称される。
【0038】
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図１は、軌道ｇが、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図１は、軌道ｇが、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
【0039】
次に、本発明の第二の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図２は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図２は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0040】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0041】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
【0042】
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図２は、軌道ｇが、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図２は、軌道ｇが、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
【0043】
次に、本発明の第三の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図３は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図３は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0044】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0045】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
【0046】
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道が凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道が下方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道が下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図３に、左右一対の軌道が下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道が凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道が下方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道が下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図３に、左右一対の軌道が下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
【0047】
ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Ｃと呼称する。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として上方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として下方に位置してもよい。
図３に、左右一対の軌道のうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境にして上方に位置する様子を示される。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として上方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として下方に位置してもよい。
図３に、左右一対の軌道のうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境にして上方に位置する様子を示される。
【0048】
次に、本発明の第四の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図４は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図４は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0049】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0050】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
【0051】
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図４に、左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図４に、左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
【0052】
ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Ｃと呼称する。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として上方に位置してもよい。
図４に、一方の端部が上方の端部であり、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置する様子が示される。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として上方に位置してもよい。
図４に、一方の端部が上方の端部であり、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置する様子が示される。
【0053】
次に、本発明の第五の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図５は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図５は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0054】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0055】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
【0056】
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが下方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図５に、左右一対の軌道ｇが下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが下方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図５に、左右一対の軌道ｇが下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
【0057】
ここで、説明の便宜上、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Ｃと呼称する、
左右一対の軌道ｇのうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する。
図５に、左右一対の軌道ｇのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として上方に位置し、左右一対の軌道ｇのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する様子が示される。
左右一対の軌道ｇのうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する。
図５に、左右一対の軌道ｇのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として上方に位置し、左右一対の軌道ｇのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する様子が示される。
【0058】
次に、本発明の第六の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図６は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図６は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0059】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0060】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
【0061】
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図６に、左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
左右一対の軌道ｇが、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図６に、左右一対の軌道ｇが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Ｒがリンクの長さより長い様子が示される。
【0062】
ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Ｃと呼称する。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として上方に位置してもよい。
図６に、一方の端部が上方の端部であり、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置し、左右一対の軌道ｇのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する様子が示される。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として上方に位置してもよい。
図６に、一方の端部が上方の端部であり、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃとが軌道ｇを上下の境として下方に位置し、左右一対の軌道ｇのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する様子が示される。
【0063】
次に、本発明の第七の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図７は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図７は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0064】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0065】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡ｇは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡ｇのうちのどの軌跡ｇであってもよい。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡ｇは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡ｇのうちのどの軌跡ｇであってもよい。
【0066】
左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
図７に、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈだけ離れる様子を示す。
図７に、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈだけ離れる様子を示す。
【0067】
次に、本発明の第八の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図８は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図８は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0068】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0069】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡ｇは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡ｇのうちのどの軌跡ｇであってもよい。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡ｇは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡ｇのうちのどの軌跡ｇであってもよい。
【0070】
ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの各々の一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Ｃと呼称する。
左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する。
図８に、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する様子が示される。
左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する。
図８に、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する様子が示される。
【0071】
次に、本発明の第九の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図９は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
図９は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【0072】
対象物支持装置は、対象物１０を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
対象物支持装置は、対象物１０を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【0073】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡ｇは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡ｇのうちのどの軌跡ｇであってもよい。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡ｇは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡ｇのうちのどの軌跡ｇであってもよい。
【0074】
ここで、説明の便宜上、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Ｃと呼称する。
左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンクが一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結する。
リンク３３１の一方の端部がテーブル１００または基台の一方に設けられる一方水平移動案内機構３６０の一方案内ブロック３６１に回転自在に連結される。
一方水平移動案内機構３６０は、テーブルまたは基台の一方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸ｘに沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロック３６１と左右一対の一方案内ブロック３６１を特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内レール３６２とで構成される。
図９に、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結され、リンク３３１の一方の端部がテーブル１００に設けられる一方水平移動案内機構３６０の一方案内ブロック３６１に回転自在に連結される様子が示される。
リンク連結軸３３３が、一対のリンク３３１を交差する箇所で回転自在に連結する。
案内レール３１２の軌跡ｇを選択するのと同様に、一方案内レール３６２の軌跡ｇを選択することにより、免震性能を選択できる。
左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンクが一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結する。
リンク３３１の一方の端部がテーブル１００または基台の一方に設けられる一方水平移動案内機構３６０の一方案内ブロック３６１に回転自在に連結される。
一方水平移動案内機構３６０は、テーブルまたは基台の一方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸ｘに沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロック３６１と左右一対の一方案内ブロック３６１を特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内レール３６２とで構成される。
図９に、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結され、リンク３３１の一方の端部がテーブル１００に設けられる一方水平移動案内機構３６０の一方案内ブロック３６１に回転自在に連結される様子が示される。
リンク連結軸３３３が、一対のリンク３３１を交差する箇所で回転自在に連結する。
案内レール３１２の軌跡ｇを選択するのと同様に、一方案内レール３６２の軌跡ｇを選択することにより、免震性能を選択できる。
【0075】
以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持機構の合成ばね反力を、図を基に、説明する。
図１０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
図１０中の実線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と水平方向ばね部材３４０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図１０中の実破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と上下方向ばね部材３２０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図１０中の細破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と合成ばね反力の関係を示すカーブである。
軌跡ｇとリンクの一方の端部の位置を選択することにより合成ばね反力の特性を選択できる。
図１０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
図１０中の実線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と水平方向ばね部材３４０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図１０中の実破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と上下方向ばね部材３２０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図１０中の細破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と合成ばね反力の関係を示すカーブである。
軌跡ｇとリンクの一方の端部の位置を選択することにより合成ばね反力の特性を選択できる。
【0076】
図１１は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。
図１１の（Ａ）～（Ｄ）は、案内レールの軌跡の形状を除くの形状、諸元を一致させ、案内レールの軌跡を以下の様にして、合成ばね反力の特性を比較したものである。
（Ａ）軌跡が下に凹の曲線である第三の実施形態のもの。
（Ｂ）軌跡が上に凹の曲線である第四の実施形態のもの。
（Ｃ）軌跡が外側に遷移するに従って上がる直線である第一の実施形態ものの。
（Ｄ）軌跡が外側に遷移するに従って下がる直線である第二の実施形態ものの。
図中で、破線で表す合成ばね反力は、軌跡が水平直線である軌跡をもつ図２０に示すテーブル支持構造のものであり、比較のために示した。
図１１の（Ａ）～（Ｄ）を比較すると以下のことが分かる。
図１１の（Ａ）～（Ｄ）は、案内レールの軌跡の形状を除くの形状、諸元を一致させ、案内レールの軌跡を以下の様にして、合成ばね反力の特性を比較したものである。
（Ａ）軌跡が下に凹の曲線である第三の実施形態のもの。
（Ｂ）軌跡が上に凹の曲線である第四の実施形態のもの。
（Ｃ）軌跡が外側に遷移するに従って上がる直線である第一の実施形態ものの。
（Ｄ）軌跡が外側に遷移するに従って下がる直線である第二の実施形態ものの。
図中で、破線で表す合成ばね反力は、軌跡が水平直線である軌跡をもつ図２０に示すテーブル支持構造のものであり、比較のために示した。
図１１の（Ａ）～（Ｄ）を比較すると以下のことが分かる。
【0077】
リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心Ｒｃ、Ｌｃを仮想交差点Ｃより上方に位置する様に設定する、または軌跡の傾斜が左右に遷移するにしたがって上向きになる様に設定すると、水平の軌跡ｇを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を大きくしてばねがいわゆる剛になりマイナス傾斜が傾きを鋭くなり、上下ばねと合成した全体のばね特性を平坦にし、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を長周期にすることができる。
【0078】
リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心が軌跡より下方に位置する様に設定し、または軌跡の傾斜が左右に遷移するにしたがって下向きになる様に設定すると、水平の軌跡ｇを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を小さくしてばねがいわゆる軟らかくなりマイナス傾斜の傾きが鈍くなり、、上下ばねと合成した全体のばね特性が傾き、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を短周期にすることができる。
【0079】
以下に、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例のその１乃至その２を、図を基に、説明する。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１は、小型の対象物を支持する台に採用する。
図１２は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１である。図１３は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の側面図である。図１４は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の平面図である。
例えば、小型の対象物は、美術品である。
例えば、美術品を支持する台は、上下免震台２０と水平免震台３０とガラスケース４０とで構成される。
上下免震台２０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台３０は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
ガラスケース４０は、美術品を覆う透明体である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１は、小型の対象物を支持する台に採用する。
図１２は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１である。図１３は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の側面図である。図１４は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の平面図である。
例えば、小型の対象物は、美術品である。
例えば、美術品を支持する台は、上下免震台２０と水平免震台３０とガラスケース４０とで構成される。
上下免震台２０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台３０は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
ガラスケース４０は、美術品を覆う透明体である。
【0080】
上下免震台２０に採用される対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とＮ個のテーブル支持機構３００とで構成される。
図１３に、テーブル１００と基台２００と４個のテーブル支持機構３００とで構成される対象物支持装置が示される。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構３５０とで構成される。
先に説明した水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と同じ構成の説明を省略し、上下免震台２０に採用される対象物支持装置に特徴のある構成を説明する。
図１３に、テーブル１００と基台２００と４個のテーブル支持機構３００とで構成される対象物支持装置が示される。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構３５０とで構成される。
先に説明した水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と同じ構成の説明を省略し、上下免震台２０に採用される対象物支持装置に特徴のある構成を説明する。
【0081】
上から見て、Ｎ個のテーブル支持機構がテーブル１００を囲う様に配されてテーブル１００を各々に支持する。
【0082】
水平移動案内機構３１０が、基台２００に設けられる。
案内レール３１２が、基台２００の側面を形成する板材に設けられ、軌跡ｇに沿って形成されるスリットである。
案内ブロック３１１が、案内レール３１２のスリットに案内される車輪を持つ。
車輪が軌跡ｇに沿って転動する。
図中の（Ａ）は、直線水平の軌跡をもる案内ガイドを設けられるものを示す。
図中の（Ｂ）は、直線傾斜した軌跡ｇをもつ案内ガイドが設けられるものを示す。
図中の（Ｃ）は、下に凹んだ曲線の軌跡ｇをもつ案内ガイドが設けられるものを示す。
案内レール３１２が、基台２００の側面を形成する板材に設けられ、軌跡ｇに沿って形成されるスリットである。
案内ブロック３１１が、案内レール３１２のスリットに案内される車輪を持つ。
車輪が軌跡ｇに沿って転動する。
図中の（Ａ）は、直線水平の軌跡をもる案内ガイドを設けられるものを示す。
図中の（Ｂ）は、直線傾斜した軌跡ｇをもつ案内ガイドが設けられるものを示す。
図中の（Ｃ）は、下に凹んだ曲線の軌跡ｇをもつ案内ガイドが設けられるものを示す。
【0083】
上下方向ばね部材３２０が、上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである。
【0084】
上下移動案内機構３５０が、テーブル１００と基台２００との一方に形成された凹凸がテーブルと基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、テーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
【0085】
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２は、大型の対象物１０を支持する大規模な台に採用する。
図１５は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の側面断面図である。図１９は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の平面図である。
図１５は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の側面断面図である。図１９は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の平面図である。
【0086】
例えば、大型の対象物１０は、リアクターである。
例えば、リアクターを支持する台は、複数の上下免震台２０と複数の上下免震台２０ｘと複数の水平免震台３０とで構成される。
上下免震台２０と上下免震台２０ｘの一方は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵し、上下免震台２０と上下免震台２０ｘの他方は、他の形式の対象物支持装置を内蔵してもよい。
例えば、上下免震台２０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵し、上下免震台２０ｘは、他の形式の対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台３０は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
例えば、水平免震台３０は、金属板とゴム板とを積層した免震台である。
例えば、リアクターを支持する台は、複数の上下免震台２０と複数の上下免震台２０ｘと複数の水平免震台３０とで構成される。
上下免震台２０と上下免震台２０ｘの一方は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵し、上下免震台２０と上下免震台２０ｘの他方は、他の形式の対象物支持装置を内蔵してもよい。
例えば、上下免震台２０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵し、上下免震台２０ｘは、他の形式の対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台３０は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
例えば、水平免震台３０は、金属板とゴム板とを積層した免震台である。
【0087】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
上下免震台２０ｘが、対象物１０の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機能を有する。
上下免震台２０ｘが、対象物１０の相対的な左右移動、ローリング、ピッチングを抑制し上下方向に移動自在に案内する機能を有する。
上下免震台２０ｘが、対象物１０の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機能を有する。
上下免震台２０ｘが、対象物１０の相対的な左右移動、ローリング、ピッチングを抑制し上下方向に移動自在に案内する機能を有する。
【0088】
以下に、上下免震台２０と上下免震台２０Ｘとの実例を、図を基に、説明する。
図１６は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。図１７は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。図１８は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。
図１６は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。図１７は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。図１８は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その２の部分詳細図である。
【0089】
図１６は、上下免震台２０の構造の一例を示す。
図１６に示す上下免震台２０は、本願発明のテーブル支持機構３００の構造のうち、テーブル１００と基台２００と上下方向ばね部材３２０と上下移動案内機構３５０とロッキング防止機構４００とで構成され、水平移動案内機構３１０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０省いたものである。
上下移動案内機構３５０とロッキング防止機構４００とは、一対のパンタグラフ機構とと一対のパンタグラフを連結するリンク機構とで構成される。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねで構成されてもよい。
図１６に示す上下免震台２０は、本願発明のテーブル支持機構３００の構造のうち、テーブル１００と基台２００と上下方向ばね部材３２０と上下移動案内機構３５０とロッキング防止機構４００とで構成され、水平移動案内機構３１０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０省いたものである。
上下移動案内機構３５０とロッキング防止機構４００とは、一対のパンタグラフ機構とと一対のパンタグラフを連結するリンク機構とで構成される。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねで構成されてもよい。
【0090】
図１７、図１８は、上下免震台２０ｘの構造の一例を示す。
図１７に示す上下免震台２０ｘは、本願発明のテーブル支持機構３００の構造のうち、テーブル１００と基台２００と水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成されたものである。
図１８に示す上下免震台２０ｘは、本願発明のテーブル支持機構３００の構造のうち、テーブル１００と基台２００と水平移動案内機構３１０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成され、上下方向ばね部材３２０を省いたものである。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねで構成されてもよい。
図１７に示す上下免震台２０ｘは、本願発明のテーブル支持機構３００の構造のうち、テーブル１００と基台２００と水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成されたものである。
図１８に示す上下免震台２０ｘは、本願発明のテーブル支持機構３００の構造のうち、テーブル１００と基台２００と水平移動案内機構３１０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成され、上下方向ばね部材３２０を省いたものである。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねで構成されてもよい。
【0091】
図１７に示す様に、上から見て、本願発明の構造をもつ上下免震台２０ｘを中心部に配置し、上下方向ばね部材３２０で構成される上下免震台２０をその回りに配置してもよい。
上下免震台２０ｘの合成ばね反力のばね定数は上下免震台２０の合成ばね反力のばね定数より小さい。
この様に配置すると、対象物の上下移動を効率よく支え、対象物のロッキングを効率よく支えることができる。
上下免震台２０ｘの合成ばね反力のばね定数は上下免震台２０の合成ばね反力のばね定数より小さい。
この様に配置すると、対象物の上下移動を効率よく支え、対象物のロッキングを効率よく支えることができる。
【0092】
上述の実施形態に係る対象物支持装置を用いれば、以下の効果を発揮する。
基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンク３３１の一方の端部がテーブル１００または基台２００の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸ｘに添って離れた左右一対の案内ブロック３１１に回転自在に固定され、左右一対の案内ブロック３１１が左右一対の軌跡ｇに沿って案内され、左右一対のリンク３３１の他方の端部に互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対の軌道ｇが特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道ｇの上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道ｇが特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従ってリンク３３１の一方の端部のある側に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道ｇの上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びる様にしたので、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道ｇが凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる様にしたての、左右一対の軌道ｇの曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、一方の端部が上方の端部である場合に、右軌道の右曲率中心Ｒｃと左軌道の左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として上方に位置する様にしたので、軌道の曲率半径Ｒを長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
また、右軌道の右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを境として左側に位置し、左軌道の左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する様にしたので、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様にしたので、設計の自由度が増える。
また、テーブル１００と基台２００との一方がテーブル１００と基台２００との他方に嵌合し、テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造でテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
また、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンク３３１の一方の端部がテーブル１００または基台２００の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸ｘに添って離れた左右一対の案内ブロック３１１に回転自在に固定され、左右一対の案内ブロック３１１が左右一対の軌跡ｇに沿って案内され、左右一対のリンクの他方の端部に互いに接近する向きにばね力を作用させるＮ個のテーブル支持機構３００がテーブル１００を囲う様に配されてテーブル１００を各々に支持し、上下方向ばね部材３２０が上部を基台２００に連結され下部をテーブル１００に連結される引張ばねである様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構３００の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
また、テーブル１００と基台２００との一方がテーブルと基台との他方に嵌合し、テーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造でテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンク３３１の一方の端部がテーブル１００または基台２００の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸ｘに添って離れた左右一対の案内ブロック３１１に回転自在に固定され、左右一対の案内ブロック３１１が左右一対の軌跡ｇに沿って案内され、左右一対のリンク３３１の他方の端部に互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対の軌道ｇが特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道ｇの上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道ｇが特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従ってリンク３３１の一方の端部のある側に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道ｇの上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道ｇが凹んだ曲線に沿って延びる様にしたので、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道ｇが凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる様にしたての、左右一対の軌道ｇの曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、一方の端部が上方の端部である場合に、右軌道の右曲率中心Ｒｃと左軌道の左曲率中心Ｌｃとが仮想交差点Ｃを上下の境として上方に位置する様にしたので、軌道の曲率半径Ｒを長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
また、右軌道の右曲率中心Ｒｃが仮想交差点Ｃを境として左側に位置し、左軌道の左曲率中心Ｌｃが仮想交差点Ｃを左右の境として右側に位置する様にしたので、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１の各々の一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク３３１が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様にしたので、設計の自由度が増える。
また、テーブル１００と基台２００との一方がテーブル１００と基台２００との他方に嵌合し、テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造でテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
また、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンク３３１の一方の端部がテーブル１００または基台２００の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸ｘに添って離れた左右一対の案内ブロック３１１に回転自在に固定され、左右一対の案内ブロック３１１が左右一対の軌跡ｇに沿って案内され、左右一対のリンクの他方の端部に互いに接近する向きにばね力を作用させるＮ個のテーブル支持機構３００がテーブル１００を囲う様に配されてテーブル１００を各々に支持し、上下方向ばね部材３２０が上部を基台２００に連結され下部をテーブル１００に連結される引張ばねである様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構３００の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
また、テーブル１００と基台２００との一方がテーブルと基台との他方に嵌合し、テーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造でテーブル１００の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
【0093】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられ場合を例にして説明したが、これに限定されない。例えば、水平移動案内機構３１０がテーブル１００に設けられてもよい。
左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈだけ離れる構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈだけ離れる構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
左右一対のリンクが交差する構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクが交差する構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
左右一対のリンクが交差する箇所を回転自在に連結する構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクが交差する箇所を回転自在に連結する構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられ場合を例にして説明したが、これに限定されない。例えば、水平移動案内機構３１０がテーブル１００に設けられてもよい。
左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈだけ離れる構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈだけ離れる構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
左右一対のリンクが交差する構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクが交差する構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
左右一対のリンクが交差する箇所を回転自在に連結する構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクが交差する箇所を回転自在に連結する構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
【符号の説明】
【0094】
ｘ 特定水平軸
ｇ 軌跡
Ｃ 仮想交差点
Ｒｃ 右曲率中心
Ｌｃ 左曲率中心
Ｒ 曲率半径
Ｈ 離間距離
１０ 対象物
２０ 上下免震台
２０ｘ 上下免震台
３０ 水平免震台
４０ ガラスケース
１００ テーブル
２００ 基台
３００ テーブル支持機構
３１０ 水平移動案内機構
３１１ 案内ブロック
３１２ 案内レール
３２０ 上下方向ばね部材
３３０ リンク機構
３３１ リンク
３３１ｒ 右リンク
３３１ｌ 左リンク
３３２ｕ 一方連結軸
３３２ｄ 他方連結軸
３３３ リンク連結軸
３４０ 水平方向ばね部材
３５０ 上下移動案内機構
３６０ 一方水平移動案内機構
３６１ 一方案内ブロック
３６２ 一方案内レール
４００ ロッキング防止機構
ｇ 軌跡
Ｃ 仮想交差点
Ｒｃ 右曲率中心
Ｌｃ 左曲率中心
Ｒ 曲率半径
Ｈ 離間距離
１０ 対象物
２０ 上下免震台
２０ｘ 上下免震台
３０ 水平免震台
４０ ガラスケース
１００ テーブル
２００ 基台
３００ テーブル支持機構
３１０ 水平移動案内機構
３１１ 案内ブロック
３１２ 案内レール
３２０ 上下方向ばね部材
３３０ リンク機構
３３１ リンク
３３１ｒ 右リンク
３３１ｌ 左リンク
３３２ｕ 一方連結軸
３３２ｄ 他方連結軸
３３３ リンク連結軸
３４０ 水平方向ばね部材
３５０ 上下移動案内機構
３６０ 一方水平移動案内機構
３６１ 一方案内ブロック
３６２ 一方案内レール
４００ ロッキング防止機構
【先行技術文献】
【特許文献】
【0095】
【文献】特開平１１－３７２１４号
【文献】特開２００９－１６８１５７号
【文献】特開２００８－１５７２８８号
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】