(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-13
(45)【発行日】2022-10-21
(54)【発明の名称】製品搬出装置及び製品搬出方法
(51)【国際特許分類】
B65H 5/08 20060101AFI20221014BHJP
B21D 45/04 20060101ALI20221014BHJP
B23K 26/60 20140101ALI20221014BHJP
B65H 7/02 20060101ALI20221014BHJP
【ＦＩ】
B65H5/08 C
B21D45/04 K
B23K26/60
B65H7/02
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2019054825
(22)【出願日】2019-03-22
(65)【公開番号】P2020152562
(43)【公開日】2020-09-24
【審査請求日】2021-12-21
(73)【特許権者】
【識別番号】390014672
【氏名又は名称】株式会社アマダ
(74)【代理人】
【識別番号】100083806
【弁理士】
【氏名又は名称】三好 秀和
(74)【代理人】
【識別番号】100101247
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 俊一
(74)【代理人】
【識別番号】100095500
【弁理士】
【氏名又は名称】伊藤 正和
(74)【代理人】
【識別番号】100098327
【弁理士】
【氏名又は名称】高松 俊雄
(72)【発明者】
【氏名】山崎 裕之
(72)【発明者】
【氏名】楢原 陽生
【審査官】杉山 豊博
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１４－１８４９９８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－０９７２７２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｈ ５／０８
Ｂ２１Ｄ ４５／０４
Ｂ２３Ｋ ２６／６０
Ｂ６５Ｈ ７／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
板状のワークから切り出された製品を吸着して上昇する複数の吸着パッド部と、前記複数の吸着パッド部のうち、対象とする少なくとも１つの前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出するセンサと、
前記吸着パッド部で吸着され上昇した前記製品に対し、上方に離隔した第１の位置と接触して下方に付勢する第２の位置との間を昇降するタッチプレートと、
前記タッチプレートの昇降を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記センサの検出結果に基づいて、前記対象とする前記吸着パッド部のうち前記製品を吸着していない前記吸着パッド部があると判定したら、上昇した前記製品に対し、前記タッチプレートを前記第１の位置から前記第２の位置に下降させて前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢することを特徴とする製品搬出装置。
【請求項2】
前記対象とする前記吸着パッド部は、前記センサを備えた検出対象吸着パッド部であることを特徴とする請求項１記載の製品搬出装置。
【請求項3】
前記制御装置は、前記タッチプレートを前記第２の位置に下降させた後、再び前記センサの検出結果に基づいて、前記対象とする前記吸着パッド部のうち前記製品を吸着していない前記吸着パッド部があると判定したら、前記タッチプレートを、前記製品から離隔する第３の位置まで上昇させた後、再び前記第２の位置に下降させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の製品搬出装置。
【請求項4】
板状のワークから切り出した製品を、複数の吸着パッド部によって吸着して上昇させ、前記複数の吸着パッド部のうちの少なくとも１つを検出対象吸着パッド部として、前記検出対象吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かをセンサによって検出し、
前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があるか否かを判定し、
前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があると判定された場合、上昇させた前記製品に対して上方に離隔した第１の位置に配置されているタッチプレートを前記製品に接触する第２の位置へと下降させて、前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢する
ことを特徴とする製品搬出方法。
【請求項5】
前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢した後、前記センサによって前記検出対象吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを再び検出し、かつ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があるか否かを再び判定し、
前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があると再び判定された場合、前記タッチプレートを、前記第１の位置に上昇させた後、前記第２の位置へと下降させて前記タッチプレートによって前記製品を下方に再び付勢する
ことを特徴とする請求項４記載の製品搬出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、レーザ加工によってワークから切り出した製品をワーク残材であるスケルトンから分離して取り出し搬出する製品搬出装置及び製品搬出方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、レーザ加工によってワークから切り出した製品を吸着パッドで吸着し、ワーク残材であるスケルトンから分離して取り出すことが記載されている。
特許文献２には、レーザ加工において、製品を支持する複数のスキッドの一部がレーザ光の熱で溶けるなどしてスキッドに高低差が生じ、支持する製品に傾きが生じることが記載されている。
特許文献２には、レーザ加工において、製品を支持する複数のスキッドの一部がレーザ光の熱で溶けるなどしてスキッドに高低差が生じ、支持する製品に傾きが生じることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開平５－９７２７２号公報
【文献】特開２０１１－０１８２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
高低差が生じているスキッドによって傾いて支持されている製品を、複数の吸着パッドで吸着して取り出そうとした場合、製品の低くなっている部位に対応した吸着パッドが製品を吸着できなくなることが多く、取り出し作業の効率が低下する。
【0005】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、高低差のあるスキッドによって傾いて支持されている製品の取り出し作業の効率が向上する製品搬出装置及び製品搬出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記の課題を解決するために、本発明は次の構成、手順を有する。
１） 板状のワークから切り出された製品を吸着して上昇する複数の吸着パッド部と、
前記複数の吸着パッド部のうち、対象とする少なくとも１つの前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出するセンサと、
前記吸着パッド部で吸着され上昇した前記製品に対し、上方に離隔した第１の位置と接触して下方に付勢する第２の位置との間を昇降するタッチプレートと、
前記タッチプレートの昇降を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記センサの検出結果に基づいて、前記対象とする前記吸着パッド部のうち前記製品を吸着していない前記吸着パッド部があると判定したら、上昇した前記製品に対し、前記タッチプレートを前記第１の位置から前記第２の位置に下降させて前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢することを特徴とする製品搬出装置である。
２） 前記対象とする前記吸着パッド部は、前記センサを備えた検出対象吸着パッド部であることを特徴とする１）に記載の製品搬出装置である。
３） 前記制御装置は、前記タッチプレートを前記第２の位置に下降させた後、再び前記センサの検出結果に基づいて、前記対象とする前記吸着パッド部のうち前記製品を吸着していない前記吸着パッド部があると判定したら、前記タッチプレートを、前記製品から離隔する第３の位置まで上昇させた後、再び前記第２の位置に下降させることを特徴とする１）又は２）に記載の製品搬出装置である。
４） 板状のワークから切り出した製品を、複数の吸着パッド部によって吸着して上昇させ、
前記複数の吸着パッド部のうちの少なくとも１つを検出対象吸着パッド部として、前記検出対象吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かをセンサによって検出し、
前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があるか否かを判定し、
前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があると判定された場合、上昇させた前記製品に対して上方に離隔した第１の位置に配置されているタッチプレートを前記製品に接触する第２の位置へと下降させて、前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢する
ことを特徴とする製品搬出方法である。
５） 前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢した後、
前記センサによって前記検出対象吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを再び検出し、かつ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があるか否かを再び判定し、
前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があると再び判定された場合、前記タッチプレートを、前記第１の位置に上昇させた後、前記第２の位置へと下降させて前記タッチプレートによって前記製品を下方に再び付勢する
ことを特徴とする４）に記載の製品搬出方法である。
１） 板状のワークから切り出された製品を吸着して上昇する複数の吸着パッド部と、
前記複数の吸着パッド部のうち、対象とする少なくとも１つの前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出するセンサと、
前記吸着パッド部で吸着され上昇した前記製品に対し、上方に離隔した第１の位置と接触して下方に付勢する第２の位置との間を昇降するタッチプレートと、
前記タッチプレートの昇降を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記センサの検出結果に基づいて、前記対象とする前記吸着パッド部のうち前記製品を吸着していない前記吸着パッド部があると判定したら、上昇した前記製品に対し、前記タッチプレートを前記第１の位置から前記第２の位置に下降させて前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢することを特徴とする製品搬出装置である。
２） 前記対象とする前記吸着パッド部は、前記センサを備えた検出対象吸着パッド部であることを特徴とする１）に記載の製品搬出装置である。
３） 前記制御装置は、前記タッチプレートを前記第２の位置に下降させた後、再び前記センサの検出結果に基づいて、前記対象とする前記吸着パッド部のうち前記製品を吸着していない前記吸着パッド部があると判定したら、前記タッチプレートを、前記製品から離隔する第３の位置まで上昇させた後、再び前記第２の位置に下降させることを特徴とする１）又は２）に記載の製品搬出装置である。
４） 板状のワークから切り出した製品を、複数の吸着パッド部によって吸着して上昇させ、
前記複数の吸着パッド部のうちの少なくとも１つを検出対象吸着パッド部として、前記検出対象吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かをセンサによって検出し、
前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があるか否かを判定し、
前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があると判定された場合、上昇させた前記製品に対して上方に離隔した第１の位置に配置されているタッチプレートを前記製品に接触する第２の位置へと下降させて、前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢する
ことを特徴とする製品搬出方法である。
５） 前記タッチプレートによって前記製品を下方に付勢した後、
前記センサによって前記検出対象吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを再び検出し、かつ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があるか否かを再び判定し、
前記製品を吸着していない前記検出対象吸着パッド部があると再び判定された場合、前記タッチプレートを、前記第１の位置に上昇させた後、前記第２の位置へと下降させて前記タッチプレートによって前記製品を下方に再び付勢する
ことを特徴とする４）に記載の製品搬出方法である。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、高低差のあるスキッドによって傾いて支持されている製品の取り出し作業の効率が向上する、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
本発明の実施の形態に係る製品搬出装置を、その実施例である製品搬出装置５２により説明する。図１に示されるように、製品搬出装置５２はテイクアウトローダユニット５１を有し、製品搬出装置５２とレーザ加工機５３とを含んでレーザ加工システムＳＴが構成される。以下、テイクアウトローダユニット５１をＴＫユニット５１と称する。
【0010】
（実施例）
レーザ加工システムＳＴの全体構成を、外観斜視図の図１及びブロック図の図２を参照して説明する。説明の便宜上、上下左右前後の各方向を図１の矢印の方向で規定する。上下方向は鉛直方向であり、前方は作業者の立ち位置側である。
レーザ加工システムＳＴの全体構成を、外観斜視図の図１及びブロック図の図２を参照して説明する。説明の便宜上、上下左右前後の各方向を図１の矢印の方向で規定する。上下方向は鉛直方向であり、前方は作業者の立ち位置側である。
【0011】
レーザ加工システムＳＴは、レーザ加工機５３と、レーザ加工機５３の左右いずれか（図１では右側）に隣接して配置された製品搬出装置５２と、システム全体の動作を制御する制御装置５４と、を含んで構成されている。
【0012】
レーザ加工機５３は、レーザ発振器５３ａと、レーザ発振器５３ａで生成されたレーザ光を射出する不図示のレーザ加工ヘッドとを有する。
レーザ発振器５３ａは、例えばファイバレーザであり、レーザ発振器５３ａで生成されたレーザ光は、プロセスファイバ５３ｂを介してレーザ加工ヘッドに供給される。
レーザ発振器５３ａは、例えばファイバレーザであり、レーザ発振器５３ａで生成されたレーザ光は、プロセスファイバ５３ｂを介してレーザ加工ヘッドに供給される。
【0013】
レーザ加工機５３は、ワークＷを載置したワークパレット３１を内部で左右方向に移動可能、かつレーザ加工ヘッドを前後方向及び上下方向に移動可能としている。
レーザ加工機５３は、図１における右側面に、ワークパレット３１を出入りさせるパレット出入口５３ｃを有し、レーザ加工機５３の内外にパレット出入口５３ｃを通してワークパレット３１を出し入れできるようになっている。
図１では、レーザ加工機５３から製品搬出装置５２側に排出されたワークパレット３１が、二点鎖線で記載されたワークＷを載置した状態で示されている。
レーザ加工機５３は、ワークパレット３１に載置されたワークＷの任意の位置に対し、レーザ加工ヘッドからレーザ光を照射してレーザ加工を行う。
レーザ加工機５３は、図１における右側面に、ワークパレット３１を出入りさせるパレット出入口５３ｃを有し、レーザ加工機５３の内外にパレット出入口５３ｃを通してワークパレット３１を出し入れできるようになっている。
図１では、レーザ加工機５３から製品搬出装置５２側に排出されたワークパレット３１が、二点鎖線で記載されたワークＷを載置した状態で示されている。
レーザ加工機５３は、ワークパレット３１に載置されたワークＷの任意の位置に対し、レーザ加工ヘッドからレーザ光を照射してレーザ加工を行う。
【0014】
製品搬出装置５２は、レーザ加工機５３のパレット出入口５３ｃに対応した位置に備えられたパレットテーブル５２ａと、パレットテーブル５２ａの前方に並設された移し替えテーブル５２ｂと、を有する。図１において、ワークパレット３１は、パレットテーブル５２ａに移送された状態で示されている。
【0015】
製品搬出装置５２は、複数の支柱５２ｅ及び壁部５２ｆによって支持され、左右方向に平行に離隔し前後方向に延在する一対のトップフレーム５２ｃ，５２ｄを備えている。
【0016】
一対のトップフレーム５２ｃ，５２ｄは、パレットテーブル５２ａの幅に対応した位置に配設されており、少なくともパレットテーブル５２ａ及び移し替えテーブル５２ｂの前後方向長さに対応した範囲それぞれに、レール５２ｇ，５２ｈが設けられている。
レール５２ｇ，５２ｈには、左右方向に延びる可動フレーム５２ｊが、矢印ＤＲａで示される前後方向に移動可能に支持されている。
可動フレーム５２ｊには、ＴＫユニット５１が、矢印ＤＲｂで示される左右方向に移動可能に支持されている。
レール５２ｇ，５２ｈには、左右方向に延びる可動フレーム５２ｊが、矢印ＤＲａで示される前後方向に移動可能に支持されている。
可動フレーム５２ｊには、ＴＫユニット５１が、矢印ＤＲｂで示される左右方向に移動可能に支持されている。
【0017】
図２に示されるように、製品搬出装置５２は、ＴＫユニット駆動部５２ｍ及びパレット駆動部５２ｎを備えている。
ＴＫユニット駆動部５２ｍは、レール５２ｇ，５２ｈに対する可動フレーム５２ｊの前後移動、及び可動フレーム５２ｊに対するＴＫユニット５１の左右移動を、制御装置５４の制御の下で実行する。
ＴＫユニット駆動部５２ｍの動作により、ＴＫユニット５１は、パレットテーブル５２ａ及び移し替えテーブル５２ｂにおける任意の水平位置の上方に移動可能となっている。
ＴＫユニット駆動部５２ｍは、レール５２ｇ，５２ｈに対する可動フレーム５２ｊの前後移動、及び可動フレーム５２ｊに対するＴＫユニット５１の左右移動を、制御装置５４の制御の下で実行する。
ＴＫユニット駆動部５２ｍの動作により、ＴＫユニット５１は、パレットテーブル５２ａ及び移し替えテーブル５２ｂにおける任意の水平位置の上方に移動可能となっている。
【0018】
図３は、ＴＫユニット５１を前方右斜め上方から見た斜視図である。図３に示されるように、ＴＫユニット５１は、本体部１と基部２とを有する。基部２は、下部に、製品などの板状部材を吸着可能な吸着ユニット５を複数有する吸着部５１ａを備える。ＴＫユニット５１は、可動フレーム５２ｊに対し吸着部５１ａを昇降させる昇降駆動部５１ｂを有している。昇降駆動部５１ｂの動作は、制御装置５４によって制御される。
【0019】
図２に示されるように、制御装置５４は、中央処理装置（ＣＰＵ）５４ａ，記憶部５４ｄ，及び入出力部５４ｅを含んで構成されている。ＣＰＵ５４ａは、吸着判定部５４ｂ及び振動制御部５４ｃを有する。
【0020】
以上の構成により、製品搬出装置５２は、レーザ加工機５３から搬送されたワークパレット３１上の製品ＷＰ及び図７に示される残材のスケルトンＷＳから、製品ＷＰを取り出して移し替えテーブル５２ｂに移送する。
具体的には、ＴＫユニット５１を移動して基部２を製品ＷＰの上方に位置させて、吸着部５１ａを下降させる。そして、吸着ユニット５によって製品ＷＰを吸着し吸着部５１ａを有する基部２を上昇させる。次いでＴＫユニット５１を水平移動により移し替えテーブル５２ｂの上方に移動し、基部２を下降させて吸着ユニット５による製品ＷＰの吸着を解除する。
これにより、製品ＷＰは、ワークパレット３１上から移し替えテーブル５２ｂ上に移送される。
ここで、製品ＷＰは加工の最終形態のものに限定されず、レーザ光による切断で切り出された中間部材であって、次工程に搬送されて加工に供される部材を含む。
具体的には、ＴＫユニット５１を移動して基部２を製品ＷＰの上方に位置させて、吸着部５１ａを下降させる。そして、吸着ユニット５によって製品ＷＰを吸着し吸着部５１ａを有する基部２を上昇させる。次いでＴＫユニット５１を水平移動により移し替えテーブル５２ｂの上方に移動し、基部２を下降させて吸着ユニット５による製品ＷＰの吸着を解除する。
これにより、製品ＷＰは、ワークパレット３１上から移し替えテーブル５２ｂ上に移送される。
ここで、製品ＷＰは加工の最終形態のものに限定されず、レーザ光による切断で切り出された中間部材であって、次工程に搬送されて加工に供される部材を含む。
【0021】
図１に示されるように、ワークパレット３１は、複数枚のスキッド３１ａが並設された矩形のパレットである。スキッド３１ａは、上方に尖った複数の尖突部３１ｂを有する金属板である。
【0022】
【0023】
ＴＫユニット５１は、昇降駆動部５１ｂ，本体部１，及び基部２を有する。
昇降駆動部５１ｂは、不図示のサーボモータを有し可動フレーム５２ｊに支持されている。
本体部１は、昇降駆動部５１ｂのサーボモータを動力源として昇降駆動部５１ｂに対し昇降するように支持されている。
基部２は、下部に吸着部５１ａを有し本体部１の下部に取り付けられている。
吸着部５１ａには、吸着ユニット５が上下方向を軸として複数配置されている。
昇降駆動部５１ｂは、不図示のサーボモータを有し可動フレーム５２ｊに支持されている。
本体部１は、昇降駆動部５１ｂのサーボモータを動力源として昇降駆動部５１ｂに対し昇降するように支持されている。
基部２は、下部に吸着部５１ａを有し本体部１の下部に取り付けられている。
吸着部５１ａには、吸着ユニット５が上下方向を軸として複数配置されている。
【0024】
図４は、吸着ユニット５の単体を示す側面図である。
吸着ユニット５は、エアシリンダ５ａと、エアシリンダ５ａの動作によりその下部から出入りするロッド５ｂと、ロッド５ｂの先端に取り付けられた吸着パッド部５ｃと、を有する。
吸着パッド部５ｃには、負圧を発生するポンプ５２ｐ（図２も参照）が気路５２ｓａを介して接続されており、先端のゴム製の吸盤部５ｃｋの内部を負圧にして製品ＷＰなどの平板部材を吸着できるようになっている。ポンプ５２ｐの動作は制御装置５４により制御される。
吸着ユニット５は、エアシリンダ５ａと、エアシリンダ５ａの動作によりその下部から出入りするロッド５ｂと、ロッド５ｂの先端に取り付けられた吸着パッド部５ｃと、を有する。
吸着パッド部５ｃには、負圧を発生するポンプ５２ｐ（図２も参照）が気路５２ｓａを介して接続されており、先端のゴム製の吸盤部５ｃｋの内部を負圧にして製品ＷＰなどの平板部材を吸着できるようになっている。ポンプ５２ｐの動作は制御装置５４により制御される。
【0025】
吸着パッド部５ｃとポンプ５２ｐとを繋ぐ気路５２ｓａには、気路５２ｓａ内の圧力の高／低に応じてＯＦＦ／ＯＮとなる吸着スイッチ５２ｓが設けられている。吸着スイッチ５２ｓは、吸着パッド部５ｃによって製品ＷＰの吸着が行われている場合にＯＮとなり、吸着有無を検出するセンサとして機能する。
【0026】
図２に示されるように、吸着スイッチ５２ｓからは、そのＯＮ／ＯＦＦの状態を示す吸着情報Ｊ１が制御装置５４の吸着判定部５４ｂに向けて出力される。吸着判定部５４ｂは、吸着有無の検出結果である吸着情報Ｊ１に基づいて、吸着パッド部５ｃが製品ＷＰを吸着しているか否かを判定する。
【0027】
吸着スイッチ５２ｓは、複数の吸着ユニット５のうちの少なくとも１つを対象として設けられている。吸着スイッチ５２ｓによって吸着有無を検出する吸着ユニット５を、検出対象吸着パッド部５２ｔと称する。
図２は、吸着パッド部５ｃの数をｍ（ｍ：正の整数）個としたときに、吸着スイッチ５２ｓとして、１≦ｎ≦ｍを満たすｎ個の吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２…５２ｓｎがある場合を示している。
図２は、吸着パッド部５ｃの数をｍ（ｍ：正の整数）個としたときに、吸着スイッチ５２ｓとして、１≦ｎ≦ｍを満たすｎ個の吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２…５２ｓｎがある場合を示している。
【0028】
図５は、基部２の下面図である。図５において、吸着ユニット５は、十字を付した円形形状で示されている。図５に示されるように、基部２では、複数の吸着パッド部５ｃのうち、上下方向の中央位置において左右方向に離隔して配置された７つの吸着パッド部５ｃａ～５ｃｇが検出対象吸着パッド部５２ｔとされている。ＴＫユニット５１は、検出対象吸着パッド部５２ｔとされた吸着パッド部５ｃａ～５ｃｇそれぞれに対応して吸着スイッチ５２ｓを有する。
【0029】
吸着判定部５４ｂは、検出対象吸着パッド部５２ｔとした吸着スイッチ５２ｓが複数ある場合、吸着情報Ｊ１において、全ての検出対象吸着パッド部５２ｔがＯＮとなっているときにＯＮと判定し、ＯＦＦとなっている検出対象吸着パッド部５２ｔが１つでもあればＯＦＦと判定する。
【0030】
【0031】
図５及び図６に示されるように、基部２には振動ユニット６が備えられている。
振動ユニット６は、１枚の平板状のタッチプレート７，４つの昇降シリンダ９，及び２つのバイブレータ８（８ａ，８ｂ）を有する。
タッチプレート７は、矩形の樹脂板であり、四隅の角部はＲ付けされている。
昇降シリンダ９は、基部２の下部に取り付けられており、動作によって下面からロッド９ａが出入りするようになっている。４つの昇降シリンダ９それぞれのロッド９ａは、先端がタッチプレート７の四隅に連結されている。
２つのバイブレータ８ａ，８ｂは、タッチプレート７の対向する二辺の縁部近傍において、左右方向にずれて取り付けられている。
振動ユニット６は、１枚の平板状のタッチプレート７，４つの昇降シリンダ９，及び２つのバイブレータ８（８ａ，８ｂ）を有する。
タッチプレート７は、矩形の樹脂板であり、四隅の角部はＲ付けされている。
昇降シリンダ９は、基部２の下部に取り付けられており、動作によって下面からロッド９ａが出入りするようになっている。４つの昇降シリンダ９それぞれのロッド９ａは、先端がタッチプレート７の四隅に連結されている。
２つのバイブレータ８ａ，８ｂは、タッチプレート７の対向する二辺の縁部近傍において、左右方向にずれて取り付けられている。
【0032】
タッチプレート７には、タッチプレート７と重なる位置にある吸着パッド部５ｃそれぞれを挿通させる開口部７ａが設けられている。
複数の昇降シリンダ９は、ロッド９ａの出入り動作を同調して行う。すなわち、タッチプレート７は、昇降シリンダ９の動作により水平姿勢のまま昇降する。昇降シリンダ９によるタッチプレート７の昇降動作は、制御装置５４によって制御される。
複数の昇降シリンダ９は、ロッド９ａの出入り動作を同調して行う。すなわち、タッチプレート７は、昇降シリンダ９の動作により水平姿勢のまま昇降する。昇降シリンダ９によるタッチプレート７の昇降動作は、制御装置５４によって制御される。
【0033】
バイブレータ８は、圧縮空気で振動を発生するエアバイブレータである。詳しくは、偏心錘の付いた羽根車を圧縮空気で回転させることにより振動を発生するタービンバイブレータとも称される汎用品であり、不図示のボルトによってタッチプレート７の上面７ｃに取り付けられている。
供給する圧縮空気の圧力（例えば０．２～０．６ＭＰａ）に応じ、振幅及び振動周波数が可変とされ、振動周波数の可変範囲は約１００～数百Ｈｚである。
供給する圧縮空気の圧力（例えば０．２～０．６ＭＰａ）に応じ、振幅及び振動周波数が可変とされ、振動周波数の可変範囲は約１００～数百Ｈｚである。
【0034】
次に、上述のレーザ加工システムＳＴにおいて、複数のスキッド３１ａのうちの一部のスキッドの高さが、ワークＷなどとの摩耗或いはレーザ光の照射による溶融などで低くなっている場合の、製品ＷＰの製品搬出方法における取り出し動作について、図７～図９の動作図及び図１０のフロー図を参照して説明する。
図７～図９は、４枚のスキッド３１ａ（３１ａ１～３１ａ４），スキッド３１ａに支持された製品ＷＰ及びスケルトンＷＳ，及びＴＫユニット５１の一部などを模式的に示した側面視の動作図である。
図７～図９は、４枚のスキッド３１ａ（３１ａ１～３１ａ４），スキッド３１ａに支持された製品ＷＰ及びスケルトンＷＳ，及びＴＫユニット５１の一部などを模式的に示した側面視の動作図である。
【0035】
図７に示されているように、スキッド３１ａ１～３１ａ４は、スキッド３１ａ２の高さが摩耗や溶融などによって他のスキッド３１ａ１，３１ａ３，３１ａ４よりも低く、先端位置に高低差が生じているものとする。
そのため、スキッド３１ａ２及びスキッド３１ａ３で支持する製品ＷＰは、低いスキッド３１ａ２で支持される部分が下がり、全体に左下がりに傾いた状態になっている。
そのため、スキッド３１ａ２及びスキッド３１ａ３で支持する製品ＷＰは、低いスキッド３１ａ２で支持される部分が下がり、全体に左下がりに傾いた状態になっている。
【0036】
また、基部２に備えられている吸着パッド部５ｃは吸着パッド部５ｃ１～５ｃ４の４つとし、それぞれに対応して吸着スイッチ５２ｓ１～５２ｓ４が備えられているものとする。
【0037】
まず、図７及び図１０に示されるように、ＣＰＵ５４ａは、基部２又はエアシリンダ５ａを動作させて、吸着パッド部５ｃを、その先端が所定の基準吸着位置ＬＮａに位置するまで、矢印ＤＲｃのように下降させる（Ｓｔｅｐ１）。
基準吸着位置ＬＮａは、正規の高さのスキッド３１ａに支持されたワークＷ及び製品ＷＰの上面ＷＰｂの高さ位置である。より詳しくは、吸着パッド部５ｃの吸盤部５ｃｋの下端面が、正規高さのスキッド３１ａに支持されたワークＷ及び製品ＷＰの上面ＷＰｂに接触する位置である。
基準吸着位置ＬＮａは、正規の高さのスキッド３１ａに支持されたワークＷ及び製品ＷＰの上面ＷＰｂの高さ位置である。より詳しくは、吸着パッド部５ｃの吸盤部５ｃｋの下端面が、正規高さのスキッド３１ａに支持されたワークＷ及び製品ＷＰの上面ＷＰｂに接触する位置である。
【0038】
ＣＰＵ５４ａは、ポンプ５２ｐを動作させ、吸着パッド部５ｃ（５ｃ１～５ｃ４）によって製品ＷＰを吸着させる（Ｓｔｅｐ２）。
次いで、図８に示されるように、ＣＰＵ５４ａは、基部２を上昇させて吸着パッド部５ｃを基準吸着位置ＬＮａから所定の距離Ｈｂだけ矢印ＤＲｄのように上昇させる（Ｓｔｅｐ３）。所定の距離Ｈｂは、例えば３０ｍｍである。
次いで、図８に示されるように、ＣＰＵ５４ａは、基部２を上昇させて吸着パッド部５ｃを基準吸着位置ＬＮａから所定の距離Ｈｂだけ矢印ＤＲｄのように上昇させる（Ｓｔｅｐ３）。所定の距離Ｈｂは、例えば３０ｍｍである。
【0039】
次に、ＣＰＵ５４ａの吸着判定部５４ｂは、吸着スイッチ５２ｓによる吸着有無の検出結果として入来する吸着情報Ｊ１に基づいて、吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮになっているか否かを判定する（Ｓｔｅｐ４）。
【0040】
スキッドに高低差がなく製品ＷＰが水平姿勢の場合及びスキッドに高低差があっても製品ＷＰの傾きがわずかである場合などでは、全ての吸着パッド部５ｃによる製品ＷＰの吸着が成功し吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮとなる（Ｓｔｅｐ４：Ｙｅｓ）。
（Ｓｔｅｐ４）の判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、基部２をより高い搬送位置まで上昇させ（Ｓｔｅｐ５）、製品ＷＰを所定の場所に搬送し（Ｓｔｅｐ６）、製品取り出し動作を終了する。
（Ｓｔｅｐ４）の判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、基部２をより高い搬送位置まで上昇させ（Ｓｔｅｐ５）、製品ＷＰを所定の場所に搬送し（Ｓｔｅｐ６）、製品取り出し動作を終了する。
【0041】
一方、スキッド３１ａに顕著な高低差があり製品ＷＰの傾きが顕著な場合などでは、一部の吸着パッド部５ｃで吸着に失敗する場合がある。
例えば、図７及び図８に示されるように、正規の高さのスキッド３１ａ３で支持された側を吸着する吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４は吸着に成功し、製品ＷＰにおける低いスキッド３１ａ２によって支持された側を吸着する吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２は、製品ＷＰの吸着に失敗する。
すなわち、吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４それぞれに対応して設けられた吸着スイッチ５２ｓ３，５２ｓ４はＯＮとなり、吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２それぞれに対応して設けられた吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２はＯＦＦとなる。
従って、吸着判定部５４ｂは、（Ｓｔｅｐ４）においてＮｏと判定する。
例えば、図７及び図８に示されるように、正規の高さのスキッド３１ａ３で支持された側を吸着する吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４は吸着に成功し、製品ＷＰにおける低いスキッド３１ａ２によって支持された側を吸着する吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２は、製品ＷＰの吸着に失敗する。
すなわち、吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４それぞれに対応して設けられた吸着スイッチ５２ｓ３，５２ｓ４はＯＮとなり、吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２それぞれに対応して設けられた吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２はＯＦＦとなる。
従って、吸着判定部５４ｂは、（Ｓｔｅｐ４）においてＮｏと判定する。
【0042】
（Ｓｔｅｐ４）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは、図９に示されるように、昇降シリンダ９を動作させて、製品ＷＰの上方の離隔した第１の位置にあるタッチプレート７を所定の距離Ｈｃだけ矢印ＤＲｅのように下降させて第２の位置にする（Ｓｔｅｐ７）。
【0043】
第１の位置から第２の位置までの所定の距離Ｈｃは、吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４による製品ＷＰの吸着を解消させずに、タッチプレート７により製品ＷＰの最も高い部位である右端部を下方に押すことができる位置である。
吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４による製品ＷＰの吸着力は比較的強いため、タッチプレート７によって製品ＷＰを矢印ＤＲｅのように下方に付勢しても、吸引で上方につぶれるように変形した吸盤部５ｃｋが下方に延びるだけで吸盤部５ｃｋによる製品ＷＰの吸着保持はしっかりと維持される。
吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４による製品ＷＰの吸着力は比較的強いため、タッチプレート７によって製品ＷＰを矢印ＤＲｅのように下方に付勢しても、吸引で上方につぶれるように変形した吸盤部５ｃｋが下方に延びるだけで吸盤部５ｃｋによる製品ＷＰの吸着保持はしっかりと維持される。
【0044】
タッチプレート７が製品ＷＰを押す位置は、製品ＷＰを吸着している吸着パッド部５ｃ４よりも外側の一縁部である。そのため、製品ＷＰは、タッチプレート７によって一縁部が押されると、自身の剛性によって吸着パッド部５ｃ４の吸着位置Ｐａを中心として図９における時計まわりに回動し、押された側とは反対側である他縁部は、矢印ＤＲｆのように上昇する。
これにより、吸着に失敗していた吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２に対し製品ＷＰが接触して吸着に成功する場合が生じ得る。
図９では、（Ｓｔｅｐ７）を実行することで吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２による製品ＷＰの吸着が成功し、吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２がＯＮになったことが示されている。
これにより、吸着に失敗していた吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２に対し製品ＷＰが接触して吸着に成功する場合が生じ得る。
図９では、（Ｓｔｅｐ７）を実行することで吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２による製品ＷＰの吸着が成功し、吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２がＯＮになったことが示されている。
【0045】
ＣＰＵ５４ａは、（Ｓｔｅｐ７）においてタッチプレート７を下降させたら、再び、入来する吸着情報Ｊ１に基づいて吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮか否かを判定する（Ｓｔｅｐ８）。
【0046】
（Ｓｔｅｐ８）の判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは（Ｓｔｅｐ５）に移行する。
（Ｓｔｅｐ７）を実行するもなお（Ｓｔｅｐ８）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは、タッチプレート７の下降開始からの時間が所定の時間ｔｓを経過したかを判定する（Ｓｔｅｐ９）。
（Ｓｔｅｐ７）を実行するもなお（Ｓｔｅｐ８）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは、タッチプレート７の下降開始からの時間が所定の時間ｔｓを経過したかを判定する（Ｓｔｅｐ９）。
【0047】
（Ｓｔｅｐ９）の判定がＮｏの場合、（Ｓｔｅｐ８）へ移行する。
所定の時間ｔｓは、タッチプレート７の下降速度及びタッチプレート７の下降開始から製品ＷＰに接触するまでの時間を考慮して、タッチプレート７が製品ＷＰを確実に押す時間を確保できるように設定する。（Ｓｔｅｐ８）及び（Ｓｔｅｐ９）を実行することで、吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２による製品ＷＰの吸着が成功する確度が高められる。
所定の時間ｔｓは、タッチプレート７の下降速度及びタッチプレート７の下降開始から製品ＷＰに接触するまでの時間を考慮して、タッチプレート７が製品ＷＰを確実に押す時間を確保できるように設定する。（Ｓｔｅｐ８）及び（Ｓｔｅｐ９）を実行することで、吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２による製品ＷＰの吸着が成功する確度が高められる。
【0048】
（Ｓｔｅｐ９）の判定がＹｅｓとなった場合、吸着対象の製品ＷＰの吸着は困難として、ＣＰＵ５４ａはポンプ５２ｐを停止して製品ＷＰを吸着から開放する（Ｓｔｅｐ１０）。
【0049】
以上詳述した方法によれば、製品ＷＰが傾いていることによって製品ＷＰの吸着に失敗した吸着パッド部５ｃに対し、吸着が成功する機会が与えられる。
これにより、製品ＷＰが傾いていても、製品ＷＰを吸着して搬送可能となる率が向上し、製品ＷＰの取り出し作業の効率が向上する。
これにより、製品ＷＰが傾いていても、製品ＷＰを吸着して搬送可能となる率が向上し、製品ＷＰの取り出し作業の効率が向上する。
【0050】
本発明の実施例は、上述した手順、構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよい。
【0051】
図１０のフローに示される手順は、図１１に示されるフローのように変形してもよい。
具体的には、タッチプレート７により製品ＷＰを押す回数を１回ではなく複数回行うものである。
図１１に示される変形例のフローは、図１０に示される実施例のフローに対し、（Ｓｔｅｐ１）～（Ｓｔｅｐ１０）は同じであり、（Ｓｔｅｐ１１ａ）～（Ｓｔｅｐ１１ｄ）が付加されたものである。
具体的には、タッチプレート７により製品ＷＰを押す回数を１回ではなく複数回行うものである。
図１１に示される変形例のフローは、図１０に示される実施例のフローに対し、（Ｓｔｅｐ１）～（Ｓｔｅｐ１０）は同じであり、（Ｓｔｅｐ１１ａ）～（Ｓｔｅｐ１１ｄ）が付加されたものである。
【0052】
変形例では、予めタッチプレート７により製品ＷＰを押す回数の上限値ｋｓを設定しておく。ここでｋｓは２以上の整数である。
図１１に示されるように、（Ｓｔｅｐ４）でＮｏとなった場合、ｋ＝１として（Ｓｔｅｐ１１ａ）、（Ｓｔｅｐ７）を実行する。
タッチプレート７による製品ＷＰの押し下げを１回実行して所定の時間ｔｓ内に吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮにならなかった場合、ＣＰＵ５４ａは、ｋ＝ｋ＋１とし（Ｓｔｅｐ１１ｂ）、さらにｋが（ｋｓ＋１）に達したか否かを判定する（Ｓｔｅｐ１１ｃ）。
図１１に示されるように、（Ｓｔｅｐ４）でＮｏとなった場合、ｋ＝１として（Ｓｔｅｐ１１ａ）、（Ｓｔｅｐ７）を実行する。
タッチプレート７による製品ＷＰの押し下げを１回実行して所定の時間ｔｓ内に吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮにならなかった場合、ＣＰＵ５４ａは、ｋ＝ｋ＋１とし（Ｓｔｅｐ１１ｂ）、さらにｋが（ｋｓ＋１）に達したか否かを判定する（Ｓｔｅｐ１１ｃ）。
【0053】
（Ｓｔｅｐ１１ｃ）がＹｅｓの場合、上限値ｋｓの回数だけタッチプレート７による製品ＷＰの押し下げが完了しているので、ＣＰＵ５４ａは、製品ＷＰを開放し吸着搬送は中止とする（Ｓｔｅｐ１０）。
（Ｓｔｅｐ１１ｃ）がＮｏの場合、タッチプレート７による製品ＷＰの押し下げ回数は上限値ｋｓに達していないので、ＣＰＵ５４ａは、タッチプレート７を上昇させ（Ｓｔｅｐ１１ｄ）、再度の押し下げ付勢を実行すべく（Ｓｔｅｐ７）へ移行する。
（Ｓｔｅｐ１１ｃ）がＮｏの場合、タッチプレート７による製品ＷＰの押し下げ回数は上限値ｋｓに達していないので、ＣＰＵ５４ａは、タッチプレート７を上昇させ（Ｓｔｅｐ１１ｄ）、再度の押し下げ付勢を実行すべく（Ｓｔｅｐ７）へ移行する。
【0054】
この変形例によれば、タッチプレート７による製品ＷＰの押し下げが複数回実行されるので、製品ＷＰを吸着して搬送可能となる率が、１回だけ実行する場合よりも向上する。
【0055】
ＣＰＵ５４ａは、タッチプレート７が製品ＷＰを押し下げているときに、バイブレータ８を動作させてタッチプレート７を振動させてもよい。
タッチプレート７を振動させることで、製品ＷＰがスケルトンＷＳと干渉して持ち上がっていない部分がある場合に、その部分の干渉が解消して持ち上がり、吸着ができていない吸着パッド部５ｃによる吸着が可能になる場合がある。
タッチプレート７を振動させることで、製品ＷＰがスケルトンＷＳと干渉して持ち上がっていない部分がある場合に、その部分の干渉が解消して持ち上がり、吸着ができていない吸着パッド部５ｃによる吸着が可能になる場合がある。
【0056】
吸着判定部５４ｂは、吸着情報Ｊ１に基づいて複数の吸着スイッチ５２ｓのうち、ＯＦＦとなっているものを特定するようにしてもよい。
これにより、吸着スイッチ５２ｓがＯＦＦになるのが偶発的な理由によるものか、或いは定常的に生じるものなのかが判別できる。
定常的に生じる場合は、該当する吸着スイッチ５２ｓの故障や該当する吸着スイッチ５２ｓに対応するスキッド３１ａの高さが低くなっているなどの異常が推測されるので、メンテナンス効率が向上する。
吸着を検出するセンサは、吸着スイッチ５２ｓに限定されない。吸着ユニット５に電気接点を設け、製品ＷＰが導電性を有する場合に導通が確保されているか否かで吸着を検出するセンサであってもよく、他の方式で吸着を検出できるセンサであってもよい。
これにより、吸着スイッチ５２ｓがＯＦＦになるのが偶発的な理由によるものか、或いは定常的に生じるものなのかが判別できる。
定常的に生じる場合は、該当する吸着スイッチ５２ｓの故障や該当する吸着スイッチ５２ｓに対応するスキッド３１ａの高さが低くなっているなどの異常が推測されるので、メンテナンス効率が向上する。
吸着を検出するセンサは、吸着スイッチ５２ｓに限定されない。吸着ユニット５に電気接点を設け、製品ＷＰが導電性を有する場合に導通が確保されているか否かで吸着を検出するセンサであってもよく、他の方式で吸着を検出できるセンサであってもよい。
【0057】
同じワークＷに複数の製品ＷＰが割り付けられている場合、実施例における（Ｓｔｅｐ１０）で製品ＷＰを開放した後、次の動作を実行する変形例２としてもよい。
すなわち、変形例２の搬出動作では、（Ｓｔｅｐ１０）で製品ＷＰを開放した後、同じワークＷに面付けされた他の製品ＷＰそれぞれに対して同様の搬出動作を実行する。すなわち、実施例の搬出動作で搬出可能な製品ＷＰは搬出し、搬出できなかった製品ＷＰは開放した状態で維持しておく。
そして、同じワークＷに面付けされたすべての製品ＷＰに対し、図１０のフローによる搬出動作を実行した後、搬出できずに開放維持された製品ＷＰそれぞれに対し、再度、実施例の搬出動作又は変形例の搬出動作を実行する。
すなわち、変形例２の搬出動作では、（Ｓｔｅｐ１０）で製品ＷＰを開放した後、同じワークＷに面付けされた他の製品ＷＰそれぞれに対して同様の搬出動作を実行する。すなわち、実施例の搬出動作で搬出可能な製品ＷＰは搬出し、搬出できなかった製品ＷＰは開放した状態で維持しておく。
そして、同じワークＷに面付けされたすべての製品ＷＰに対し、図１０のフローによる搬出動作を実行した後、搬出できずに開放維持された製品ＷＰそれぞれに対し、再度、実施例の搬出動作又は変形例の搬出動作を実行する。
【0058】
製品ＷＰが搬出できなかった場合にさらに継続して複数回押す動作を実行する変形例を実行した場合、スケルトンＷＳの位置がずれるなどして、同じワークに面付けされた他の直ちに搬出可能な製品ＷＰが搬出できなくなる可能性があるが、変形例２を実行することでその可能性はほぼ無視できる程度となり、搬出できる製品ＷＰが確実に搬出できて生産効率が維持される。
【0059】
製品ＷＰの吸着有無を検出するセンサとして吸着スイッチ５２ｓを用いる例を説明したが、これに限るものではない。例えば、吸着パッド部５ｃの近傍に設けた光電センサなどによって吸着有無を検出してもよい。
【符号の説明】
【0060】
１ 本体部
２ 基部
５ 吸着ユニット
５ａ エアシリンダ
５ｂ ロッド
５ｃ，５ｃａ～５ｃｇ，５ｃ１～５ｃ４ 吸着パッド部
５ｃｋ 吸盤部
６ 振動ユニット
７ タッチプレート
７ａ 開口部
７ｃ 上面
８，８ａ，８ｂ バイブレータ
９ 昇降シリンダ
９ａ ロッド
３１ ワークパレット
３１ａ，３１ａ１～３１ａ４ スキッド
３１ｂ 尖突部
５１ テイクアウトローダユニット（ＴＫユニット）
５１ａ 吸着部
５１ｂ 昇降駆動部
５２ 製品搬出装置
５２ａ パレットテーブル
５２ｂ 移し替えテーブル
５２ｃ，５２ｄ トップフレーム
５２ｅ 支柱
５２ｆ 壁部
５２ｇ，５２ｈ レール
５２ｊ 可動フレーム
５２ｍ ＴＫユニット駆動部
５２ｎ パレット駆動部
５２ｐ ポンプ
５２ｔ 検出対象吸着パッド部
５２ｓ，５２ｓ１～５２ｓ４ 吸着スイッチ
５２ｓａ 気路
５３ レーザ加工機
５３ａ レーザ発振器
５３ｂ プロセスファイバ
５３ｃ パレット出入口
５４ 制御装置
５４ａ 中央処理装置（ＣＰＵ）
５４ｂ 吸着判定部
５４ｃ 振動制御部
Ｈａ，Ｈｂ，Ｈｃ 所定の距離
Ｊ１ 吸着情報
ＬＮａ 基準吸着位置
ＳＴ レーザ加工システム
Ｗ ワーク
ＷＰ 製品
ＷＰｂ 上面
ＷＳ スケルトン
２ 基部
５ 吸着ユニット
５ａ エアシリンダ
５ｂ ロッド
５ｃ，５ｃａ～５ｃｇ，５ｃ１～５ｃ４ 吸着パッド部
５ｃｋ 吸盤部
６ 振動ユニット
７ タッチプレート
７ａ 開口部
７ｃ 上面
８，８ａ，８ｂ バイブレータ
９ 昇降シリンダ
９ａ ロッド
３１ ワークパレット
３１ａ，３１ａ１～３１ａ４ スキッド
３１ｂ 尖突部
５１ テイクアウトローダユニット（ＴＫユニット）
５１ａ 吸着部
５１ｂ 昇降駆動部
５２ 製品搬出装置
５２ａ パレットテーブル
５２ｂ 移し替えテーブル
５２ｃ，５２ｄ トップフレーム
５２ｅ 支柱
５２ｆ 壁部
５２ｇ，５２ｈ レール
５２ｊ 可動フレーム
５２ｍ ＴＫユニット駆動部
５２ｎ パレット駆動部
５２ｐ ポンプ
５２ｔ 検出対象吸着パッド部
５２ｓ，５２ｓ１～５２ｓ４ 吸着スイッチ
５２ｓａ 気路
５３ レーザ加工機
５３ａ レーザ発振器
５３ｂ プロセスファイバ
５３ｃ パレット出入口
５４ 制御装置
５４ａ 中央処理装置（ＣＰＵ）
５４ｂ 吸着判定部
５４ｃ 振動制御部
Ｈａ，Ｈｂ，Ｈｃ 所定の距離
Ｊ１ 吸着情報
ＬＮａ 基準吸着位置
ＳＴ レーザ加工システム
Ｗ ワーク
ＷＰ 製品
ＷＰｂ 上面
ＷＳ スケルトン
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】