(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-17
(45)【発行日】2022-10-25
(54)【発明の名称】吸着パッド
(51)【国際特許分類】
B25J 15/06 20060101AFI20221018BHJP
B66C 1/02 20060101ALN20221018BHJP
【ＦＩ】
B25J15/06 A
B66C1/02 B
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2018149076
(22)【出願日】2018-08-08
(65)【公開番号】P2020023022
(43)【公開日】2020-02-13
【審査請求日】2021-06-15
(73)【特許権者】
【識別番号】000102511
【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100077665
【弁理士】
【氏名又は名称】千葉 剛宏
(74)【代理人】
【識別番号】100116676
【弁理士】
【氏名又は名称】宮寺 利幸
(74)【代理人】
【識別番号】100191134
【弁理士】
【氏名又は名称】千馬 隆之
(74)【代理人】
【識別番号】100136548
【弁理士】
【氏名又は名称】仲宗根 康晴
(74)【代理人】
【識別番号】100136641
【弁理士】
【氏名又は名称】坂井 志郎
(74)【代理人】
【識別番号】100180448
【弁理士】
【氏名又は名称】関口 亨祐
(72)【発明者】
【氏名】中山 徹
(72)【発明者】
【氏名】杉山 亨
(72)【発明者】
【氏名】宮崎 則行
(72)【発明者】
【氏名】齋藤 優
(72)【発明者】
【氏名】後藤 幸也
【審査官】木原 裕二
(56)【参考文献】
【文献】特開２００２－０４６０９０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０７－１７８６９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０８－０７３１７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０８－２２９８６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０６５１９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－０３４５７９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１８８４６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第０６１９３２９１（ＵＳ，Ｂ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２５Ｊ １５／０６
Ｂ６６Ｃ １／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
負圧流体の供給される通路を内部に有したボディの端部に固定され、ワークを吸着する吸着部の吸着面にリブを有した吸着パッドであって、前記リブは前記ワーク側に向かって突出し、前記通路の外周側に形成され、径方向外側に向かって延在する複数の第１リブ部と、
前記第１リブ部の外周側に形成され該第１リブ部に対して周方向にオフセットして配置され、且つ、前記第１リブ部の径方向外側に重なるように配置され前記第１リブ部と径方向に対向する複数の第２リブ部と、
から構成され、
隣接する前記第１リブ部の間には前記負圧流体の流通する供給路が形成され、前記第２リブ部の少なくとも一部が前記供給路の延在方向に臨むように配置されると共に、
前記ワークの形状に追従するように前記吸着パッドが変形したとき、前記第１リブ部と前記第２リブ部とが当接し、前記第１リブ部と前記第２リブ部とによって前記供給路を囲む、吸着パッド。
【請求項2】
請求項１記載の吸着パッドにおいて、前記第１及び第２リブ部は、前記吸着部の周方向に沿って互いに等間隔離間するように設けられる、吸着パッド。
【請求項3】
請求項１又は２記載の吸着パッドにおいて、前記第１リブ部は、前記吸着部の外周側に向かって開口した断面凹状に形成され、前記第２リブ部は、前記第１リブ部側となる内周側に向かって開口した断面凹状に形成される、吸着パッド。
【請求項4】
請求項１～３のいずれか１項に記載の吸着パッドにおいて、前記吸着部は、中央に設けられ前記負圧流体の供給されるアタッチメントと、
弾性変形可能であり該アタッチメントの外周側に設けられ前記ワークを吸着可能な吸着面を有したスカートと、
を備え、
前記スカートは、前記アタッチメントを支点として撓曲自在に設けられる、吸着パッド。
【請求項5】
請求項４記載の吸着パッドにおいて、前記スカートは環状に形成され、複数の前記第１リブ部の周方向に沿った長さの合計が、前記スカートの内周に対して４０％～７０％の範囲内となるように設定され、且つ、前記第２リブ部の外周側端部に接する外接面の円周に対して４０％以下となるように設定されると共に、前記ボディ及び前記吸着部の軸方向から見た前記第１及び第２リブ部の面積の合計が、前記スカートの面積に対して５％～４０％の範囲内となるように設定される、吸着パッド。
【請求項6】
請求項４記載の吸着パッドにおいて、前記吸着部は、蛇腹状に形成され軸方向に伸縮自在なベローズ部を備え、前記ベローズ部の端部に前記ワークを吸着するスカートが一体的に形成されると共に、且つ、前記ベローズ部と前記スカートとが別の材質から形成される、吸着パッド。
【請求項7】
請求項６記載の吸着パッドにおいて、前記ベローズ部の硬度が前記スカートの硬度よりも高く設定される、吸着パッド。
【請求項8】
請求項４記載の吸着パッドにおいて、前記アタッチメントには、前記ボディの通路と連通した連通孔が形成され、前記連通孔には、前記スカート側となる外周側に向かって延在して連通したガイド溝が形成される、吸着パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、負圧流体の供給作用下にワークを吸着して搬送することが可能な吸着装置に用いられる吸着パッドに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、供給された負圧流体によってワークを吸着して搬送するための吸着パッドを有した吸着装置が知られており、このような吸着装置では、例えば、フィルムから袋状に形成され流動性の内容物が充填されたワークを搬送する場合、該内容物がワーク内で移動してワークが変形した際、その変形に吸着パッドが追従できずに吸着不良となってしまうことがある。
【0003】
そこで、上述したような課題を解決するために、特許文献１に開示された吸着パッドでは、中央に吸引通路を有した支持体と、該支持体の下部に設けられワークに当接するスカート部とを備え、スカート部は円錐台形状に形成され、その内部空間には、中心から外周側に向かって放射状に延在し、且つ、ワーク側に向かって突出した複数のリブ部を備えている。
【0004】
また、スカート部の内部空間には、その中心に負圧流体の供給される吸引路が開口し、この吸引路に臨み、且つ、各リブ部の内側となる位置に断面扇状の凸面部がワーク側に突出するように形成されている。
【0005】
そして、内部に内容物が充填された袋状のワークを吸着パッドで吸着する際、前記ワークの表面にスカート部の傾斜面を密着させ、吸引路を通じて内部空間へと負圧流体を供給することで、前記スカート部が弾性変形してワークの表面に密着し、前記負圧流体が凸面部の間を通じて各リブ部の間へと供給されることで吸着がなされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１８－６５１９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかしながら、上述した吸着パッドでは、ワークの吸着時において内容物の流動等によって該ワークが変形した際、各凸面部の間を通じてスカート部の外周側へと供給されて各リブ部の間を流れる負圧流体が、外周側に向かって直線的に流れることで、開放されている前記リブ部の外周側から外部へと漏出してしまい吸着力が低下して吸着不良となることが懸念される。
【0008】
本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、内容物が流動して変形する袋状のワークに追従させて確実且つ安定的にワークを吸着することが可能な吸着パッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
前記の目的を達成するために、本発明の態様は、負圧流体の供給される通路を内部に有したボディの端部に固定され、ワークを吸着する吸着部の吸着面にリブを有した吸着パッドであって、
リブはワーク側に向かって突出し、通路の外周側に形成され径方向外側に向かって延在する複数の第１リブ部と、
第１リブ部の外周側に形成され第１リブ部に対して周方向にオフセットして配置され、且つ、第１リブ部の径方向外側に重なるように配置され第１リブ部と径方向に対向する複数の第２リブ部と、
から構成され、
隣接する第１リブ部の間には負圧流体の流通する供給路が形成され、第２リブ部の少なくとも一部が供給路の延在方向に臨むように配置されると共に、
ワークの形状に追従するように吸着パッドが変形したとき、第１リブ部と第２リブ部とが当接し、第１リブ部と第２リブ部とによって供給路を囲む。
リブはワーク側に向かって突出し、通路の外周側に形成され径方向外側に向かって延在する複数の第１リブ部と、
第１リブ部の外周側に形成され第１リブ部に対して周方向にオフセットして配置され、且つ、第１リブ部の径方向外側に重なるように配置され第１リブ部と径方向に対向する複数の第２リブ部と、
から構成され、
隣接する第１リブ部の間には負圧流体の流通する供給路が形成され、第２リブ部の少なくとも一部が供給路の延在方向に臨むように配置されると共に、
ワークの形状に追従するように吸着パッドが変形したとき、第１リブ部と第２リブ部とが当接し、第１リブ部と第２リブ部とによって供給路を囲む。
【0010】
本発明によれば、ワークを吸着する吸着パッドの吸着面には、ワーク側に向かって突出したリブを有し、このリブは、ボディに形成される通路の外周側に形成され、径方向外側に向かって延在する複数の第１リブ部と、第１リブ部のさらに外周側に形成され第１リブ部に対して周方向にオフセットし、第１リブ部の径方向外側に重なるように配置され第１リブ部と径方向に対向する複数の第２リブ部とを備え、隣接する第１リブ部の間に負圧流体の流通する供給路が形成されている。
【0011】
そして、例えば、流動性の内容物が収納された袋状のワークを吸着パッドで吸着して搬送する際、内容物の移動や重力の影響等によってワークの形状が変化した場合でも、ワークの形状に追従するように吸着パッドが変形し、且つ、この変形に伴って第１リブ部と第２リブ部とが当接することで、径方向に対向する第１及び第２リブ部によって供給路を囲んで、供給路の内部に負圧流体を好適に保持することができる。また、吸着パッドの径方向において第１及び第２リブ部によって負圧流体の供給路が非直線状に構成されるため、従来技術に係る吸着パッドと比較して負圧流体の外部への漏出を防止することが可能となる。
【0012】
従って、吸着されているワークの形状が変化した場合でも、吸着パッドを追従させるように変形させ、且つ、供給路に保持された負圧流体によって安定した吸着力でワークを確実に吸着することができる。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0014】
すなわち、吸着パッドの吸着面に形成されるリブは、ボディに形成された通路の外周側に形成され、径方向外側に向かって延在する複数の第１リブ部と、第１リブ部のさらに外周側に形成され第１リブ部に対して周方向にオフセットした複数の第２リブ部とを備え、隣接する第１リブ部の間に負圧流体の流通する供給路が形成され、例えば、流動性の内容物が収納された袋状のワークを吸着パッドで吸着して搬送する際、ワークの形状が変化した場合でも吸着パッドが追従するように変形し、それに伴って第１リブ部と第２リブ部とが当接することで、径方向に対向する第１リブ部と第２リブ部とによって供給路が囲まれ負圧流体が内部へ好適に保持される。また、第１及び第２リブ部によって負圧流体の供給路が非直線状となるため、従来技術に係る吸着パッドと比較して負圧流体の外部への漏出が防止される。
【0015】
その結果、吸着中において袋状のワークが変形した場合でも、ワークに追従するように吸着パッドを変形させ、供給路内に保持された負圧流体によってワークに対する吸着力が安定的に維持されるため、ワークを確実に吸着することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【発明を実施するための形態】
【0017】
本発明に係る吸着パッドについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。図１において、参照符号１０は、本発明の第１の実施の形態に係る吸着装置を示す。
【0018】
この吸着装置１０は、図１～図４に示されるように、図示しない負圧供給装置に配管を介して接続されるアダプタ（ボディ）１２と、該アダプタ１２の下端部に連結されるベローズ（べローズ部）１４と、該ベローズ１４の先端（下端部）に形成されたパッド部（吸着部）１６とを含む。
【0019】
アダプタ１２は、例えば、金属製材料から円筒状に形成され、その下端部にはベローズ１４の連結される連結部１８が形成され、上端部には継手２０の接続されるねじ部２２が形成されると共に、前記連結部１８と前記ねじ部２２との間には、軸方向と直交方向に突出したフランジ部２４が形成されている。そして、フランジ部２４には、ねじ部２２側となる端面に環状溝を介してシールリング２６が装着されている。そして、アダプタ１２に対して継手２０を接続する際、前記継手２０がシールリング２６へと当接することで、両者の間を通じた負圧流体の漏出が防止される。
【0020】
また、アダプタ１２の内部には、連結部１８、フランジ部２４及びねじ部２２を貫通するように軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って供給通路（通路）２８が形成され、この供給通路２８には、前記ねじ部２２に接続された継手２０及び配管を通じて負圧供給装置（図示せず）から負圧流体が供給される。
【0021】
ベローズ１４は、例えば、弾性を有したゴム等から円筒状に形成され、伸縮及び屈曲自在な蛇腹構造を有している。ベローズ１４の上端には、一定径で円筒状に形成された筒部３０を有し、該筒部３０がアダプタ１２の連結部１８を覆うように装着されることで、該アダプタ１２の下端部に対して同軸上に連結される。
【0022】
また、ベローズ１４には、その軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って交互となるように拡径した環状山部３２と縮径した環状谷部３４とが形成され、その下端部にはワークＷ（図５Ａ参照）に対して接触して吸着するパッド部１６が一体的に形成されている。
【0023】
なお、中空状に形成されたベローズ１４の内部は、負圧流体が供給され流通する流路として機能する。
【0024】
パッド部１６はベローズ１４の下端部に設けられ、略中央部に設けられるアタッチメント３６と、該アタッチメント３６の外周側に設けられるスカート３８とから構成される。
【0025】
アタッチメント３６は、その上端部が上方（矢印Ａ方向）に向かって徐々に拡径した円錐状に形成され、ベローズ１４における最も下方の環状山部３２に係合されることで該ベローズ１４の下端部中央に一体的に保持される。
【0026】
また、アタッチメント３６の下端部中央は、ワークＷから離間する方向（矢印Ａ方向）に向かって凸状となる断面円弧状に形成され、第１連通孔４０と複数の第２連通孔４２とが軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に貫通するように形成されている。
【0027】
図３及び図４に示されるように、第１連通孔４０はアタッチメント３６の軸中心に設けられ、第２連通孔４２は、第１連通孔４０を中心とした所定直径の円周上に互いに等間隔離間して６個設けられている。すなわち、アダプタ１２には合計で７個の連通孔が設けられている。なお、第２連通孔４２の数量は上述した６個に限定されるものではない。
【0028】
さらに、アタッチメント３６の下端部には、各第２連通孔４２からそれぞれ径方向外側に延在したガイド溝４４が形成され、このガイド溝４４は、ワークＷ側（矢印Ｂ方向）に向かって開口した断面Ｕ字状に形成され、各第２連通孔４２とアタッチメント３６の外周側に設けられるスカート３８とを連通するように設けられている。換言すれば、ガイド溝４４は、アタッチメント３６の下面よりも上方（矢印Ａ方向）へと窪んで形成されている。
【0029】
スカート３８は、例えば、ベローズ１４と同様の弾性を有したゴム等から薄膜状で環状に形成され、下方に向かって斜め方向に拡開するように形成されると共に撓曲自在に形成される。なお、スカート３８は、ベローズ１４とは別の材質で２色成形等によって形成してもよい。
【0030】
また、スカート３８は、その先端がワークＷに対して接触する部位となり、該ワークＷ側（矢印Ｂ方向）となる内面（吸着面）３８ａには、アタッチメント３６の外縁部に臨むように形成された複数の第１リブ（第１リブ部）４６と、該第１リブ４６に対して外周側に設けられる複数の第２リブ（第２リブ部）４８とが設けられる。この第１及び第２リブ４６、４８は、スカート３８の内面３８ａに対してワークＷ側へとそれぞれ所定高さだけ突出して形成される。なお、ここでは、１５個の第１及び第２リブ４６、４８がスカート３８にそれぞれ設けられる場合について説明する。
【0031】
第１リブ４６は、図３に示されるように吸着装置１０の軸方向から見て、スカート３８の内周側に底部を有し外周側に開口した断面Ｖ字状（凹状）に形成され、外周側の二股状となった外周側端部には、中央の凹部４６ａ側に向かって傾斜した傾斜部５０が形成されている。すなわち、第１リブ４６は、凹部４６ａを挟んで一方の傾斜部５０と他方の傾斜部５０とが対称形状で対となるように形成されている。
【0032】
そして、複数の第１リブ４６は、スカート３８の周方向（矢印Ｄ方向）に沿って互いに等間隔離間するように配置され、隣接する２つの第１リブ４６の間に負圧流体の供給される供給路５２がそれぞれ形成される。この第１リブ４６及び供給路５２は、スカート３８の径方向に沿って放射状となるように延在している。
【0033】
また、第１リブ４６及び供給路５２の内側に臨むようにアタッチメント３６のガイド溝４４が配置されている。
【0034】
第２リブ４８は、図３に示されるように吸着装置１０の軸方向から見て、スカート３８の外周側に向かって突出して折曲された断面Ｖ字状（凹状）に形成され、隣接して配置される２つの第１リブ４６のうち、一方の第１リブ４６の外周側端部と他方の第１リブ４６の外周側端部とに跨るように配置されている。すなわち、第２リブ４８は、隣接する第１リブ４６の間に形成された供給路５２に臨んだ中央部が最もスカート３８の外周側へと突出した頂部４８ａとなり、この頂部４８ａから両端に向かって徐々に第１リブ４６の外周側端部へと接近するようにそれぞれ径方向内側へ傾斜して形成される。
【0035】
なお、第２リブ４８の頂部４８ａを中心とした傾斜角度は、第１リブ４６における傾斜部５０の傾斜角度と略同一角度となるように形成されている。
【0036】
また、図３に示されるように、第１リブ４６における内周側端部（底部）の周方向に沿った長さＬの合計長さが、スカート３８の内周（長さ）Ｃ１に対して４０％～７０％の範囲内となるように設定されると共に、前記第２リブ４８において最も外周となる頂部４８ａを通る外接円の円周（長さ）Ｃ２に対して４０％以下となるように設定される。
【0037】
さらに、吸着装置１０の軸方向から見た第１及び第２リブ４６、４８の面積の合計が、スカート３８の表面積に対して５％～４０％の範囲内となるように設定される。
【0038】
本発明の第１の実施の形態に係る吸着装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、ここでは、図５Ａ及び図５Ｂに示されるように、薄膜のフィルムを袋状として内部に流動性の内容物を収納したワークＷを吸着して搬送する場合について説明する。
【0039】
先ず、吸着装置１０を図示しない搬送装置のアーム等に装着して変位自在に設けると共に、図示しない負圧供給装置に対して配管及び継手２０を介してアダプタ１２を接続しておく。
【0040】
このような準備作業を経た後、図５Ａに示されるように図示しない搬送装置のアームの操作に基づいて吸着装置１０を下方（矢印Ｂ方向）へと変位させ、スカート３８を載置されたワークＷの上部に対して密着させると共に、図示しない負圧供給装置から配管及び継手２０を介してアダプタ１２の供給通路２８へと負圧流体を供給する。
【0041】
この際、ワークＷは床面等に載置されているため、吸着装置１０に臨む上面が略平坦状であり、例えば、ワークＷが傾いていたり、該ワークＷの上部が平坦でない場合でも、前記ワークＷに応じてベローズ１４が伸縮動作することで、前記ワークＷに追従してパッド部１６を確実に密着させることが可能となる。
【0042】
これにより、パッド部１６のスカート３８がワークＷの表面に密着し、アダプタ１２の供給通路２８へと供給された負圧流体が、ベローズ１４の内部を通じてアタッチメント３６の第１及び第２連通孔４０、４２からパッド部１６の内部空間へと供給され、前記第２連通孔４２へ供給された負圧流体の一部が、ガイド溝４４を通じて外周側となるスカート３８側へと流れ、各供給路５２に沿って外周側へと流れる。その結果、スカート３８の密着したワークＷの上部が負圧流体によってパッド部１６に対して吸着されると同時に、ベローズ１４が軸方向に収縮する。この際、スカート３８の外縁部が平坦状のワークＷの上部へと密着しているため、各供給路５２に沿って外周側へと供給される負圧流体が外部へと漏出してしまうことがなく、ワークＷに対する吸着力が維持される。
【0043】
そして、図５Ｂに示されるように、吸着装置１０でワークＷを吸着した状態で図示しない搬送装置のアームによって該ワークＷを上方（矢印Ａ方向）へと移動させることで、前記ワークＷは内容物の重量によって重力方向下方（矢印Ｂ方向）へと撓むように変形し、それに伴って、前記スカート３８が、吸着している前記ワークＷの上部形状に追従するように弾性変形して下方に向かって撓曲した湾曲形状となる。
【0044】
このようにワークＷの搬送中に該ワークＷの形状が変化した場合、スカート３８の弾性変形に伴って、図６に示されるように、複数の各第１リブ４６が互いに周方向（矢印Ｄ方向）に接近し、且つ、第２リブ４８が前記第１リブ４６の外周側端部側へと接近して該外周側端部と当接すると共に、前記第１リブ４６と前記第２リブ４８とが互いに径方向へも接近することで、供給路５２の外周側が前記第２リブ４８によって塞がれた状態となる。
【0045】
さらに、スカート３８の弾性変形に伴って、第２リブ４８の両端が互いに接近するように曲がることで、第１リブ４６の傾斜部５０へと当接して供給路５２を塞ぐことも可能である。
【0046】
そのため、スカート３８において各供給路５２を通じて外周側へと供給される負圧流体が、第２リブ４８によって該供給路５２からさらに外周側へと流れることがなく、前記第２リブ４８、第１リブ４６に囲まれた供給路５２内に保持され、各供給路５２内に保持された負圧流体によって変形したワークＷの上部が確実且つ好適に吸着される。
【0047】
換言すれば、ワークＷの形状変更に応じてスカート３８を弾性変形させ、各供給路５２内の負圧流体によってワークＷを吸着することで吸着力の低下を防止して吸着不良を回避することができる。
【0048】
また、吸着したワークＷによってアタッチメント３６の下面が覆われた場合でも、第２連通孔４２と連通して外周側へと延在したガイド溝４４によって負圧流体が確実にスカート３８の各供給路５２へと供給されることで、ワークＷに対する吸着力が維持される。
【0049】
そして、ワークＷの吸着された吸着装置１０を搬送装置のアームによって所定位置へと搬送した後、供給路５２に対する負圧流体の供給を停止することで、吸着装置１０のパッド部１６によるワークＷの吸着状態が解除される。
【0050】
以上のように、第１の実施の形態では、吸着装置１０を構成するパッド部１６には、負圧流体の供給されるアタッチメント３６と、該アタッチメント３６の外周側に設けられ弾性変形可能な薄膜状のスカート３８とを備え、ワークＷを吸着するスカート３８の内面３８ａには、前記アタッチメント３６の外周側に形成され径方向に延在する複数の第１リブ４６と、該第１リブ４６のさらに外周側に形成され該第１リブ４６に対して周方向（矢印Ｄ方向）にオフセット配置された複数の第２リブ４８とを備えると共に、前記第１及び第２リブ４６、４８が前記ワークＷ側に向かって突出して形成される。
【0051】
これにより、例えば、流動性の内容物が収納された袋状のワークＷを吸着装置１０で吸着して搬送する際、搬送中において該内容物の移動や重力の影響等によって前記ワークＷの形状が変化した場合でも、前記ワークＷに追従するようにスカート３８が弾性変形し、且つ、該弾性変形に伴って第２リブ４８が第１リブ４６の外周側端部を覆うことで、前記第１リブ４６の間に形成された各供給路５２に供給される負圧流体がスカート３８の外周側へと流れて外部へと漏出してしまうことが防止される。
【0052】
その結果、吸着装置１０による搬送途中において、ワークＷの形状が変化した場合でも、この形状変化に対応してスカート３８を変形させることで前記ワークＷに対して確実に密着させ、且つ、第２リブ４８によって外周側を塞いで閉鎖空間とした供給路５２に負圧流体を確実に保持できるため、ワークＷに対する吸着力を維持して前記ワークＷを確実且つ安定的に吸着し続けることが可能となる。
【0053】
また、スカート３８において、第１リブ４６と第２リブ４８とが径方向に重複するように配置されているため、吸着され搬送途中にあるワークＷが変形し、それに伴って前記スカート３８が変形した場合に、前記第１リブ４６の外周側端部と前記第２リブ４８とを好適に当接させて両者の間に設けられた供給路５２を確実に塞いで負圧流体を内部に保持することができる。そのため、吸着されているワークＷが変形した場合でも、その吸着力が低下してしまうことがなく確実に吸着して搬送することができる。
【0054】
さらに、断面Ｖ字状に形成された第１リブ４６の外周側端部に傾斜部５０を設け、該第１リブ４６に臨む第２リブ４８を内周側に向かって開口した断面Ｖ字状とすることにより、吸着されているワークＷが変形し、それに伴ってスカート３８が変形した場合、前記第１リブ４６の傾斜部５０を前記第２リブ４８に対して確実に密着させて供給路５２を塞ぐことができる。
【0055】
そのため、供給路５２の内部の負圧流体の漏出をより確実に防止してワークＷに対する吸着力を高めることができる。
【0056】
またさらに、第１及び第２リブ４６、４８をそれぞれ断面Ｖ字状とすることで、スカート３８が変形する際に曲がりやすく、しかも、第１及び第２リブ４６、４８を周方向（矢印Ｄ方向）に沿って分割させ複数設けることで、単一の第１及び第２リブを設けた場合と比較して、前記スカート３８の変形を容易にすることができ、ワークＷの形状変化に追従するように前記スカート３８を円滑且つ自在に変形させることが可能となる。
【0057】
さらにまた、アタッチメント３６には、各第２連通孔４２と連通して径方向外側へと延在した断面Ｕ字状のガイド溝４４を備えているため、ワークＷの吸着時に薄膜状のワークＷの一部が前記アタッチメント３６を覆うように密着し第２連通孔４２が塞がれた場合でも、前記第２連通孔４２へ供給された負圧流体をガイド溝４４を通じて確実且つ安定的に外周側のスカート３８へと供給できるため、ワークＷの吸着力を維持することができ吸着不良を回避できる。
【0058】
またさらに、スカート３８に対して複数の第１及び第２リブ４６、４８を設けることで、該スカート３８の剛性を高めることができ、それに伴って、第１及び第２連通孔４０、４２に対する該スカート３８自身の吸い込みを防止することができる。
【0059】
また、アダプタ１２とパッド部１６との間にベローズ１４を設ける構成とすることで、ワークＷに対して吸着装置１０を接触させる際の衝撃を好適に緩和することが可能となる。
【0060】
さらに、スカート３８とベローズ１４とを別体としてそれぞれ異なる材質から形成すると共に、前記ベローズ１４の硬度が前記スカート３８の硬度よりも高くなるように設定してもよい。
【0061】
【0062】
この第２の実施の形態に係る吸着装置７０では、アダプタ１２の下端部に対して吸着パッド７２が直接連結されている点で、第１の実施の形態に係る吸着装置１０と相違している。
【0063】
この吸着装置７０は、アダプタ１２の下端部に設けられた連結部１８に対し、弾性材料からなる吸着パッド７２が連結されている。なお、アダプタ１２に関しては、第１の実施の形態に係る吸着装置１０と同一の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
【0064】
吸着パッド７２は、その上端部に円筒状に形成された筒部７４を有し、該筒部７４がアダプタ１２の連結部１８を覆うように装着されることで、該アダプタ１２の下端部に対して同軸上に連結される。
【0065】
また、吸着パッド７２の下端部にはワークＷを吸着するパッド部７６が形成され、このパッド部７６は、略中央部に設けられるアタッチメント３６と、該アタッチメント３６の外周側に設けられるスカート３８とから構成され、前記スカート３８には、複数の第１及び第２リブ４６、４８が設けられている。このスカート３８に関しては、第１の実施の形態に係る吸着装置１０と同一の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
【0066】
以上のように、第２の実施の形態に係る吸着装置７０では、第１の実施の形態に係る吸着装置１０と比較し、蛇腹状のベローズ１４を有していないため、軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に小型化することができる。
【0067】
また、吸着装置１０、７０のスカート３８に設けられる第１及び第２リブ４６、４８は、上述した形状に限定されるものではなく、例えば、図９Ａ及び図９Ｂに示される吸着装置１００のように、スカート３８の中心となるアタッチメント３６側から径方向外側に向かって直線状に延在する複数の第１リブ１０２と、該第１リブ１０２の外周側に配置され、隣接する第１リブ１０２の間の供給路５２に臨むように配置された複数の第２リブ１０４とから構成するようにしてもよい。
【0068】
この第１リブ１０２と第２リブ１０４とは、スカート３８の径方向において一部が重複するように設けられている。
【0069】
この場合でも、吸着装置１００によってワークＷを吸着した状態において、図９Ｂに示されるように、該ワークＷの形状変化に伴ってスカート３８が変形した場合、隣接する２つの第１リブ１０２の外周側端部に対して第２リブ１０４が当接することで、前記第１リブ１０２の間に設けられ負圧流体の供給された供給路５２の外周側を確実に塞いで負圧流体を好適に内部に維持することができる。
【0070】
その結果、ワークＷを吸着して搬送する際、該ワークＷの形状が変化した場合でも、供給路５２の内部に保持された負圧流体によって吸着力を安定的に維持することができ、吸着不良を発生させることなく確実にワークＷを吸着した状態で搬送することが可能となる。
【0071】
すなわち、第１リブ４６、１０２及び第２リブ４８、１０４は、上述した形状に限定されるものではなく、ワークＷの形状変化に応じてスカート３８が弾性変形した際、前記第１リブ４６、１０２の外周側端部を第２リブ４８、１０４によって塞いで供給路５２内に負圧流体を保持可能な構成であればよい。
【0072】
なお、本発明に係る吸着パッドは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【0073】
１０、７０、１００…吸着装置 １２…アダプタ
１４…ベローズ １６、７６…パッド部
２８…供給通路 ３６…アタッチメント
３８…スカート ４４…ガイド溝
４６、１０２…第１リブ ４８、１０４…第２リブ
５０…傾斜部 ５２…供給路
７２…吸着パッド Ｗ…ワーク
１４…ベローズ １６、７６…パッド部
２８…供給通路 ３６…アタッチメント
３８…スカート ４４…ガイド溝
４６、１０２…第１リブ ４８、１０４…第２リブ
５０…傾斜部 ５２…供給路
７２…吸着パッド Ｗ…ワーク
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】