(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-17
(45)【発行日】2022-10-25
(54)【発明の名称】電子負荷装置
(51)【国際特許分類】
G05F 1/00 20060101AFI20221018BHJP
【ＦＩ】
G05F1/00 M
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2021111475
(22)【出願日】2021-07-05
(65)【公開番号】P2022104509
(43)【公開日】2022-07-08
【審査請求日】2021-07-06
(31)【優先権主張番号】109146445
(32)【優先日】2020-12-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(73)【特許権者】
【識別番号】505441638
【氏名又は名称】致茂電子股▲分▼有限公司
【氏名又は名称原語表記】Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ．
(74)【代理人】
【識別番号】100082418
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 朔生
(74)【代理人】
【識別番号】100167601
【弁理士】
【氏名又は名称】大島 信之
(74)【代理人】
【識別番号】100201329
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 真二郎
(74)【代理人】
【識別番号】100220917
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 忠大
(72)【発明者】
【氏名】陳文鍾
(72)【発明者】
【氏名】鄒明穎
(72)【発明者】
【氏名】黄建興
(72)【発明者】
【氏名】洪鈞晟
(72)【発明者】
【氏名】李冠宏
【審査官】柳下 勝幸
(56)【参考文献】
【文献】特開平０５－０９９９６８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０５Ｆ １／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
測定抵抗、リファレンス回路、トランジスタ及びフィードバック回路を備えた、電子負荷装置であって、前記測定抵抗は、第１の接点、第２の接点、第３の接点及び第４の接点を有し、前記第１の接点及び前記第２の接点は、前記測定抵抗の第１の端部に対応し、前記第３の接点及び前記第４の接点は、前記測定抵抗の第２の端部に対応し、
前記リファレンス回路は、リファレンス電源と、前記測定抵抗の前記第１の接点とそれぞれ電気的に接続され、
前記トランジスタは、ドレイン、ゲート及びソースを有し、前記ゲートは、前記リファレンス回路と電気的に接続され、前記ソース及び前記ドレインは、何れか一方が前記測定抵抗の前記第２の接点と電気的に接続され、他方が被測定物の出力端と電気的に接続され、
前記フィードバック回路は、前記第４の接点及び前記リファレンス回路とそれぞれ電気的に接続され、
前記測定抵抗の前記第３の接点は、前記被測定物の入力端と電気的に接続され、
前記測定抵抗の前記第１の接点は、前記フィードバック回路と電気的に接続されることを特徴とする、
電子負荷装置。
【請求項2】
前記測定抵抗を横切る電圧差及び抵抗値に基づき、前記測定抵抗の前記第２の接点を通過する負荷電流値を判定することを特徴とする請求項１に記載の電子負荷装置。
【請求項3】
前記測定抵抗の前記第１の接点を通過する第１の電流値は、負荷電流値より小さいことを特徴とする請求項２に記載の電子負荷装置。
【請求項4】
前記測定抵抗の前記第１の接点は、第１のはんだボールを介して前記リファレンス回路と電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第２の接点は、第２のはんだボールを介して前記トランジスタと電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第３の接点は、第３のはんだボールを介して前記フィードバック回路と電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第４の接点は、第４のはんだボールを介して前記フィードバック回路と電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の電子負荷装置。
【請求項5】
前記リファレンス回路は、第１の反転閉ループ増幅器及び第２の反転閉ループ増幅器を含み、前記第１の反転閉ループ増幅器と前記第２の反転閉ループ増幅器とはカスケード接続され、前記リファレンス電源は、前記第１の反転閉ループ増幅器の入力端と電気的に接続され、前記フィードバック回路は、前記第２の反転閉ループ増幅器の入力端と電気的に接続され、前記リファレンス電源は、前記リファレンス回路を介して前記測定抵抗の前記第１の接点と電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の電子負荷装置。
【請求項6】
前記フィードバック回路は、第１のオペアンプを含み、前記測定抵抗の前記第１の接点は、前記第１のオペアンプの第１の入力端と電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第４の接点は、前記第１のオペアンプの第２の入力端と電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の電子負荷装置。
【請求項7】
前記フィードバック回路は、第１のアナログ―デジタル変換器を含み、前記第１のアナログ―デジタル変換器の第１の入力端及び第２の入力端は、前記測定抵抗の前記第１の接点及び前記第４の接点と電気的に接続され、前記第１のアナログ―デジタル変換器の第１の出力端は、デジタル制御回路を介して前記リファレンス回路と電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の電子負荷装置。
【請求項8】
前記リファレンス回路は、前記フィードバック回路に基づき、前記トランジスタの前記ゲートに印加される電圧を制御することを特徴とする請求項１に記載の電子負荷装置。
【請求項9】
前記測定抵抗の前記第１の接点及び前記第２の接点は同質（ｈｏｍｏｇｅｎｅｏｕｓ）であり、前記測定抵抗の前記第３の接点及び前記第４の接点は同質であることを特徴とする請求項１に記載の電子負荷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電子負荷装置に関し、特に、４つの接点を有する抵抗を含む電子負荷装置に関する。
【背景技術】
【0002】
回路で使用する材料の抵抗値は、温度に応じて変化する。温度と抵抗値との関係は、抵抗温度係数（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｏｆ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ：ＴＣＲ）で表される。材料の抵抗値が温度の上昇に伴って上がる場合、その抵抗温度係数は正であり、材料の抵抗値が温度の上昇に伴って下がる場合、その抵抗温度係数は負である。
電子装置では、抵抗器の抵抗値が温度の変化に伴って変化するだけでなく、半田の抵抗値も温度の変化に伴って変化することがある。そのため抵抗器の抵抗値と半田の抵抗値が近い場合、半田の抵抗値の変化により電子装置に誤差が発生することがあった。
電子装置では、抵抗器の抵抗値が温度の変化に伴って変化するだけでなく、半田の抵抗値も温度の変化に伴って変化することがある。そのため抵抗器の抵抗値と半田の抵抗値が近い場合、半田の抵抗値の変化により電子装置に誤差が発生することがあった。
【0003】
業界では電子負荷装置を利用して電源供給装置に出荷前テストを行うことが一般的であった。電子負荷装置は、電子装置のエネルギー消費をシミュレートし、これにより電源供給装置が電子装置に対して正常に給電することが可能か否かを確認する。そのため、電源装置の開発及び製造において、電子負荷装置は必要不可欠なテスト装置であった。電子負荷装置は、内部負荷素子によりパワーが消費されて電気エネルギーが消費されるとともに、内部負荷素子を制御することにより、様々な操作モードにおけるエネルギー消費をシミュレートすることができる。例えば、全速運転における電気消費又はスタンバイ状態における電気消費である。或いは、電子負荷装置は、テストする電源供給装置と一緒に環境テストを行い、様々な環境下でテストする電源供給装置の動作状況を確認してもよい。例えば、供給する電圧又は電流が定格範囲内にあるか否か、安定しているか否かなどである。
しかし、環境温度をテストするとき、電子負荷装置で使用する負荷素子の抵抗値が、温度変化に伴って変化すると、変化した抵抗値により、測定した電圧値又は電流値に誤差が生じるため、テストする電源供給装置の出力する電圧又は電流を正確に判断することはできなかった。
しかし、環境温度をテストするとき、電子負荷装置で使用する負荷素子の抵抗値が、温度変化に伴って変化すると、変化した抵抗値により、測定した電圧値又は電流値に誤差が生じるため、テストする電源供給装置の出力する電圧又は電流を正確に判断することはできなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の課題は、半田材料の抵抗値により生じる誤差を効果的に下げることができる電子負荷装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態によれば、測定抵抗、リファレンス回路、トランジスタ及びフィードバック回路を備えた、電子負荷装置であって、前記測定抵抗は、第１の接点、第２の接点、第３の接点及び第４の接点を有し、前記第１の接点及び前記第２の接点は、前記測定抵抗の第１の端部に対応し、前記第３の接点及び前記第４の接点は、前記測定抵抗の第２の端部に対応し、前記リファレンス回路は、リファレンス電源と、前記測定抵抗の前記第１の接点とそれぞれ電気的に接続され、前記トランジスタは、ドレイン、ゲート及びソースを有し、前記ゲートは、前記リファレンス回路と電気的に接続され、前記ソース及び前記ドレインは、何れか一方が前記測定抵抗の前記第２の接点と電気的に接続され、他方が被測定物の出力端と電気的に接続され、前記フィードバック回路は、前記第４の接点及び前記リファレンス回路とそれぞれ電気的に接続されることを特徴とする、電子負荷装置が提供される。
【0006】
前記測定抵抗を横切る電圧差及び抵抗値に基づき、前記測定抵抗の前記第２の接点を通過する負荷電流値を判定することが好ましい。
【0007】
前記測定抵抗の前記第１の接点を通過する第１の電流値は、負荷電流値より小さいことが好ましい。
【0008】
前記測定抵抗の前記第１の接点は、第１のはんだボールを介して前記リファレンス回路と電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第２の接点は、第２のはんだボールを介して前記トランジスタと電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第３の接点は、第３のはんだボールを介して前記フィードバック回路と電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第４の接点は、第４のはんだボールを介して前記フィードバック回路と電気的に接続されることが好ましい。
【0009】
前記測定抵抗の抵抗温度係数（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｏｆ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）は、前記第１のはんだボール、前記第２のはんだボール、前記第３のはんだボール及び前記第４のはんだボールの抵抗温度係数より小さいことが好ましい。
【0010】
前記リファレンス回路は、第１の反転閉ループ増幅器及び第２の反転閉ループ増幅器を含み、前記第１の反転閉ループ増幅器と前記第２の反転閉ループ増幅器とはカスケード接続され、前記リファレンス電源は、前記第１の反転閉ループ増幅器の入力端と電気的に接続され、前記フィードバック回路は、前記第２の反転閉ループ増幅器の入力端と電気的に接続され、前記リファレンス電源は、前記リファレンス回路を介して前記測定抵抗の前記第１の接点と電気的に接続されることが好ましい。
【0011】
前記測定抵抗の前記第３の接点は、前記被測定物の入力端と電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第１の接点は、前記フィードバック回路と電気的に接続されることが好ましい。
【0012】
前記フィードバック回路は、第１のオペアンプを含み、前記測定抵抗の前記第１の接点は、前記第１のオペアンプの第１の入力端と電気的に接続され、前記測定抵抗の前記第４の接点は、前記第１のオペアンプの第２の入力端と電気的に接続されることが好ましい。
【0013】
前記フィードバック回路は、第１のアナログ―デジタル変換器を含み、前記第１のアナログ―デジタル変換器の第１の入力端及び第２の入力端は、前記測定抵抗の前記第１の接点及び前記第４の接点と電気的に接続され、前記第１のアナログ―デジタル変換器の第１の出力端は、デジタル制御回路を介して前記リファレンス回路と電気的に接続されることが好ましい。
【0014】
前記デジタル制御回路の第１の出力端及び前記リファレンス電源は、オペアンプを介して前記リファレンス回路と電気的に接続されることが好ましい。
【0015】
前記リファレンス回路は、前記フィードバック回路に基づき、前記トランジスタの前記ゲートに印加される電圧を制御することが好ましい。
【0016】
前記測定抵抗の前記第１の接点及び前記第２の接点は同質（ｈｏｍｏｇｅｎｅｏｕｓ）であり、前記測定抵抗の前記第３の接点及び前記第４の接点は同質であることが好ましい。
【発明の効果】
【0017】
本発明の電子負荷装置は、半田材料の抵抗値により生じる誤差を効果的に下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図5】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図6】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図7A】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗を示す回路図である。
【図7B】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗を示す回路図である。
【図8】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図9】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置を示す回路図である。
【図10A】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗を示す回路図である。
【図10B】本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
本発明の他の技術内容、特徴及び効果については、以下、図面を参照しながら好適な実施形態の詳細な説明で明らかにする。
【0020】
図１を参照する。
図１は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置１００を示す回路図である。本実施形態において、電子負荷装置１００は、リファレンス回路１０２、フィードバック回路１０４、トランジスタ１１０、リファレンス電流ＩＲＥＦ、測定抵抗１０８及び接地点１１２を含んでもよい。図１の矢印は、電流Ｉ１又は負荷電流ＩＬＯＡＤの方向を示す。
図１は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置１００を示す回路図である。本実施形態において、電子負荷装置１００は、リファレンス回路１０２、フィードバック回路１０４、トランジスタ１１０、リファレンス電流ＩＲＥＦ、測定抵抗１０８及び接地点１１２を含んでもよい。図１の矢印は、電流Ｉ１又は負荷電流ＩＬＯＡＤの方向を示す。
【0021】
電子負荷装置１００は、被測定物１０６と電気的に接続される。本実施形態において、被測定物１０６の電流は、被測定物１０６の出力端から出力され、電子負荷装置１００に通電された後、被測定物１０６の入力端から被測定物１０６に入力される。被測定物１０６の出力端から出力された電流は、リファレンス回路１０２、フィードバック回路１０４、トランジスタ１１０及び測定抵抗１０８のうちの少なくとも何れか１つを通過する。
【0022】
測定抵抗１０８は、抵抗値ＲＭを有してもよい。測定抵抗１０８は、接点Ｃ１、接点Ｃ２、接点Ｃ３及び接点Ｃ４を有してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１及び接点Ｃ２は、測定抵抗１０８の一端に位置してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３及び接点Ｃ４は、測定抵抗１０８の他端に位置してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、トランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。例えば、測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、トランジスタ１１０のドレイン又はソースと電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ４は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
【0023】
測定抵抗１０８の接点Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、半田材料を介して様々な素子と電気的に接続されてもよい。図１の実施形態では、測定抵抗１０８の接点Ｃ１は、第１のはんだボールを介してリファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、第２のはんだボールを介してトランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３は、第３のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ４は、第４のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
【0024】
他の実施形態において、測定抵抗１０８は、単一金属又は合金からなるコイルでもよい。接点Ｃ１及び接点Ｃ２は、コイルの一端がカットされて形成されてもよい。接点Ｃ３及び接点Ｃ４は、コイルの他端がカットされて形成されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１及び接点Ｃ２は、同じ材料からなり、他の半田材料を含まなくてもよい。そのため、測定抵抗１０８の接点Ｃ１及び接点Ｃ２は同質（ｈｏｍｏｇｅｎｅｏｕｓ）でもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３及び接点Ｃ４は、同じ材料からなり、他の半田材料を含まなくてもよい。そのため、測定抵抗１０８の接点Ｃ３及び接点Ｃ４は同質でもよい。
【0025】
電流Ｉ１は、接点Ｃ１を介して測定抵抗１０８に流入されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ２から測定抵抗１０８に流入されてもよい。電流Ｉ１は、接点Ｃ４を介して測定抵抗１０８から流出されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ３を介して測定抵抗１０８から流出されてもよい。電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより小さくてもよい。他の実施形態において、電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより遥かに小さくてもよい。
【0026】
リファレンス回路１０２は、トランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。例えば、リファレンス回路１０２は、トランジスタ１１０のゲートと電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、フィードバック回路１０４に基づき、トランジスタ１１０のゲートに印加される電圧又は電流Ｉ１を制御してもよい。リファレンス回路１０２は、測定抵抗１０８の接点Ｃ１と電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、リファレンス電源ＶＲＥＦと電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、リファレンス電源ＶＲＥＦは、対応したリファレンス電流ＩＲＥＦを生成してもよい。例えば、リファレンス電源ＶＲＥＦは、電圧値を出力するように設定され、リファレンス電流ＩＲＥＦを対応して生成するようにしてもよい。リファレンス電流ＩＲＥＦは、数ミリアンペアでもよい。
【0027】
他の実施形態において、リファレンス電源ＶＲＥＦは、供給された電圧を調整することにより、負荷電流ＩＬＯＡＤを制御してもよい。例えば、リファレンス電源ＶＲＥＦは、電圧値を出力するように設定し、リファレンス電源ＶＲＥＦが出力する電圧は、二次アンプによりトランジスタ１１０のゲート電圧を制御することにより、負荷電流ＩＬＯＡＤを制御するようにしてもよい。
【0028】
トランジスタ１１０のゲートは、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレイン又はソースは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のソース又はドレインは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。図１に示すように、トランジスタ１１０のソースは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレインは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、トランジスタ１１０のドレインは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のソースは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の出力端は、被測定物１０６から出力される電流の端子でもよい。
【0029】
フィードバック回路１０４は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。フィードバック回路１０４は、測定抵抗１０８の接点Ｃ３と電気的に接続されてもよい。フィードバック回路１０４は、測定抵抗１０８の接点Ｃ４と電気的に接続されてもよい。フィードバック回路１０４は、接地点１１２と電気的に接続されてもよい。フィードバック回路１０４は、被測定物１０６と電気的に接続されてもよい。例えば、フィードバック回路１０４は、被測定物１０６の入力端と電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の入力端は、電流が被測定物１０６に入力される端子でもよい。
【0030】
図１の電子負荷装置１００は、被測定物１０６と電気的に接続され、被測定物１０６の複数の物理的特徴（例えば、電気的特徴）を測定してもよい。他の実施形態において、測定抵抗１０８を横切る電圧差ＶＭ及び抵抗値ＲＭに基づき、測定抵抗１０８を通過する負荷電流ＩＬＯＡＤを判定してもよい。オームの法則に基づき、電圧差ＶＭ、抵抗値ＲＭ、電流Ｉ１及び負荷電流ＩＬＯＡＤの関係は、次式（１）で表すことができる。
【0031】
【数1】
【0032】
電流Ｉ１が負荷電流ＩＬＯＡＤより遥かに小さいとき、オームの法則に基づき、電圧差ＶＭ、抵抗値ＲＭ、電流Ｉ１及び負荷電流ＩＬＯＡＤの関係は、次式（２）で表すことができる。
【0033】
【数2】
【0034】
図２を参照する。
図２は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置２００を示す回路図である。電子負荷装置２００は、電子負荷装置１００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図１及び図２で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図１及び図２で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図２は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置２００を示す回路図である。電子負荷装置２００は、電子負荷装置１００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図１及び図２で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図１及び図２で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0035】
図２に示すように、電子負荷装置２００は、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２、抵抗Ｒ３、抵抗Ｒ４、オペアンプＡＭＰ１及びオペアンプＡＭＰ２を含んでもよい。図２の実施形態に示すように、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２、オペアンプＡＭＰ１及びリファレンス電源ＶＲＥＦにより、反転閉ループ増幅器が形成されてもよい。抵抗Ｒ１は、オペアンプＡＭＰ１の入力端（例えば、反転入力端）と電気的に接続されてもよい。抵抗Ｒ２は、オペアンプＡＭＰ１の入力端（例えば、反転入力端）及び出力端と電気的に接続されてもよい。リファレンス電源ＶＲＥＦは、抵抗Ｒ１と電気的に接続されてもよい。接地点１１２は、さらにオペアンプＡＭＰ１の他方の入力端（例えば、非反転入力端）と電気的に接続されてもよい。
【0036】
図２に示すように、抵抗Ｒ３、抵抗Ｒ４及びオペアンプＡＭＰ２は、反転閉ループ増幅器を形成してもよい。抵抗Ｒ３は、オペアンプＡＭＰ２の入力端（例えば、反転入力端）と電気的に接続されてもよい。抵抗Ｒ４は、オペアンプＡＭＰ２の入力端（例えば、反転入力端）と電気的に接続されてもよい。オペアンプＡＭＰ１の出力端は、さらに抵抗Ｒ３と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８は、抵抗Ｒ４と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ１）。トランジスタ１１０は、さらにオペアンプＡＭＰ２の出力端と電気的に接続されてもよい。例えば、トランジスタ１１０のゲートは、さらにオペアンプＡＭＰ２の出力端と電気的に接続されてもよい。抵抗Ｒ５及び抵抗Ｒ６は、さらにオペアンプＡＭＰ２の他方の入力端（例えば、非反転入力端）と電気的に接続されてもよい。
【0037】
オペアンプＡＭＰ１を含む反転閉ループ増幅器と、オペアンプＡＭＰ２を含む反転閉ループ増幅器とはカスケード接続されている。他の実施形態において、２つの反転閉ループ増幅器の組み合わせは、図１に示すリファレンス回路１０２として用いてもよい。図２に示すように、リファレンス電源ＶＲＥＦは、２つの反転閉ループ増幅器を介して測定抵抗１０８の接点Ｃ１と電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、リファレンス電源ＶＲＥＦは、リファレンス回路１０２を介して測定抵抗１０８の接点Ｃ１と電気的に接続されてもよい。リファレンス電源ＶＲＥＦは、リファレンス回路１０２を介してトランジスタ１１０（例えば、ゲート）と電気的に接続されてもよい。
【0038】
他の実施形態において、抵抗Ｒ４は、接点Ｃ１の電圧をオペアンプＡＭＰ２に供給してもよい。例えば、接点Ｃ１の電圧は、抵抗Ｒ４を介してオペアンプＡＭＰ２に供給されて入力され、リファレンス電源ＶＲＥＦは、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２及び抵抗Ｒ３を介してオペアンプＡＭＰ２に入力されてもよい。他の実施形態において、オペアンプＡＭＰ２は、加算器モジュール又は減算器モジュールとして用いてもよい。
【0039】
他の実施形態において、リファレンス電源ＶＲＥＦが変化しない場合、オペアンプＡＭＰ２の対応した入力端（例えば、反転入力端）の電圧は一定値である。リファレンス電源ＶＲＥＦが変化せず、接点Ｃ１の電圧が増える場合、接点Ｃ１の電圧が抵抗Ｒ４を介してオペアンプＡＭＰ２に入力されてもよい。オペアンプＡＭＰ２を減算器モジュールとして用いる場合、オペアンプＡＭＰ２の出力が減る。それによって、トランジスタ１１０のゲート電圧が下がると、対応した電流が減り、接点Ｃ１の電圧が下がって平衡となる。
【0040】
他の実施形態において、リファレンス電源ＶＲＥＦが変化しない場合、オペアンプＡＭＰ２の対応した入力端（例えば、反転入力端）の電圧は一定値でもよい。リファレンス電源ＶＲＥＦが変化せず、接点Ｃ１の電圧が下がると、接点Ｃ１の電圧は、抵抗Ｒ４を介してオペアンプＡＭＰ２に入力されてもよい。オペアンプＡＭＰ２を減算器モジュールとして用いると、オペアンプＡＭＰ２の出力を高めることができる。それによって、トランジスタ１１０のゲート電圧が増え、対応した電流も増えるとともに、接点Ｃ１の電圧も増えて平衡となる。
【0041】
図２に示すように、本実施形態の電子負荷装置２００は、抵抗Ｒ５及び抵抗Ｒ６を含んでもよい。図２に示すように、抵抗Ｒ５及び抵抗Ｒ６は、オペアンプＡＭＰ２の入力端（例えば、非反転入力端）と電気的に接続されてもよい。抵抗Ｒ５は、接地点１１２と電気的に接続されてもよい。抵抗Ｒ６は、測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ３及び接点Ｃ４を介す）。抵抗Ｒ６は、被測定物１０６の一端（例えば、電流入力端）と電気的に接続されてもよい。抵抗Ｒ６は、接地点１１２と電気的に接続されてもよい。他の実施形態では、抵抗Ｒ５及び抵抗Ｒ６の組み合わせは、図１に示すフィードバック回路１０４として用いられる。
【0042】
図３を参照する。
図３は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置３００を示す回路図である。図１及び図３に示すように、本実施形態をより簡単に説明するために、図１及び図３で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図１及び図３で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図３は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置３００を示す回路図である。図１及び図３に示すように、本実施形態をより簡単に説明するために、図１及び図３で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図１及び図３で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0043】
図３を参照する。
図３に示すように、リファレンス回路１０２は、リファレンス電源ＶＲＥＦと電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）と電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。図１に示すリファレンス回路１０２は、測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ１を介する）。図３に示すリファレンス回路１０２は、フィードバック回路１０４を介して測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ１を介する）。
図３に示すように、リファレンス回路１０２は、リファレンス電源ＶＲＥＦと電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）と電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。図１に示すリファレンス回路１０２は、測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ１を介する）。図３に示すリファレンス回路１０２は、フィードバック回路１０４を介して測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ１を介する）。
【0044】
図３を参照する。
図３に示すように、フィードバック回路１０４は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。フィードバック回路１０４は、測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ１及び接点Ｃ４を介する）。図１のフィードバック回路１０４は、接点Ｃ３及び接点Ｃ４を介して測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい。図３のフィードバック回路１０４は、接点Ｃ１及び接点Ｃ４を介して測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい。
図３に示すように、フィードバック回路１０４は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。フィードバック回路１０４は、測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ１及び接点Ｃ４を介する）。図１のフィードバック回路１０４は、接点Ｃ３及び接点Ｃ４を介して測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい。図３のフィードバック回路１０４は、接点Ｃ１及び接点Ｃ４を介して測定抵抗１０８と電気的に接続されてもよい。
【0045】
図３を参照する。
図３に示すように、測定抵抗１０８は、抵抗値ＲＭを有してもよい。測定抵抗１０８は、接点Ｃ１、接点Ｃ２、接点Ｃ３及び接点Ｃ４を有してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１及び接点Ｃ２は、測定抵抗１０８の一端に位置してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３及び接点Ｃ４は、測定抵抗１０８の他端に位置してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、トランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。例えば、測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、トランジスタ１１０のドレイン又はソースと電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３は、接地点１１２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ４は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
図３に示すように、測定抵抗１０８は、抵抗値ＲＭを有してもよい。測定抵抗１０８は、接点Ｃ１、接点Ｃ２、接点Ｃ３及び接点Ｃ４を有してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１及び接点Ｃ２は、測定抵抗１０８の一端に位置してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３及び接点Ｃ４は、測定抵抗１０８の他端に位置してもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、トランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。例えば、測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、トランジスタ１１０のドレイン又はソースと電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３は、接地点１１２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ４は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
【0046】
測定抵抗１０８の接点Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、半田材料により様々な素子と電気的に接続されてもよい。図３の実施形態によると、測定抵抗１０８の接点Ｃ１は、第１のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、第２のはんだボールを介してトランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３は、第３のはんだボールを介して接地点１１２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ４は、第４のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
【0047】
電流Ｉ１は、接点Ｃ１から測定抵抗１０８に流入されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ２から測定抵抗１０８に流入されてもよい。電流Ｉ１は、接点Ｃ３を介して測定抵抗１０８から流出されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ２を介して測定抵抗１０８から流出されてもよい。電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより小さくてもよい。他の実施形態において、電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより遥かに小さくてもよい。
【0048】
トランジスタ１１０のゲートは、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレイン又はソースは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のソース又はドレインは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。
図１に示すように、トランジスタ１１０のソースは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレインは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、トランジスタ１１０のドレインは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のソースは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の出力端は、被測定物１０６から出力される電流の端子でもよい。
図１に示すように、トランジスタ１１０のソースは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレインは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、トランジスタ１１０のドレインは、測定抵抗１０８の接点Ｃ２と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のソースは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の出力端は、被測定物１０６から出力される電流の端子でもよい。
【0049】
図３の電子負荷装置３００は、被測定物１０６と電気的に接続され、被測定物１０６の複数の物理的特徴（例えば、電気的特徴）を測定してもよい。被測定物１０６の出力端は、トランジスタ１１０のドレイン又はソースと電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の入力端は、接地点１１２及び測定抵抗１０８（例えば、接点Ｃ３を介する）と電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の入力端は、電流が入力される被測定物１０６の端子でもよい。他の実施形態において、測定抵抗１０８を横切る電圧差ＶＭ及び抵抗値ＲＭに基づき、測定抵抗１０８を通過する負荷電流ＩＬＯＡＤを判定してもよい。
【0050】
図４を参照する。
図４は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置４００を示す回路図である。電子負荷装置４００は、電子負荷装置３００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図３及び図４で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図３及び図４で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図４は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置４００を示す回路図である。電子負荷装置４００は、電子負荷装置３００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図３及び図４で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図３及び図４で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0051】
図４に示すように、電子負荷装置４００は、オペアンプＡＭＰ３を含んでもよい。測定抵抗１０８（例えば、接点Ｃ４を介する）は、オペアンプＡＭＰ３の入力端（例えば、反転入力端）と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８（例えば、接点Ｃ１を介する）は、オペアンプＡＭＰ３の他方の入力端（例えば、非反転入力端）と電気的に接続されてもよい。オペアンプＡＭＰ３の出力端は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。リファレンス回路１０２は、オペアンプＡＭＰ３の出力する電圧又は電流及びリファレンス電源ＶＲＥＦ（又はリファレンス電流ＩＲＥＦ）に基づき、トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流を発生させてもよい。トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流は、接点Ｃ１及び接点Ｃ４の電圧又は電流に基づいて決定してもよい。他の実施形態において、オペアンプＡＭＰ３は、図３に示すフィードバック回路１０４として用いてもよい。
【0052】
図５を参照する。
図５は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置５００を示す回路図である。電子負荷装置５００は、電子負荷装置３００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図３及び図５で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図３及び図５で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図５は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置５００を示す回路図である。電子負荷装置５００は、電子負荷装置３００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図３及び図５で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図３及び図５で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0053】
図５に示すように、電子負荷装置５００は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１及びデジタル制御回路１１４を含んでもよい。測定抵抗１０８（例えば、接点Ｃ４を介する）は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の入力端と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８（例えば、接点Ｃ１を介する）は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の他方の入力端と電気的に接続されてもよい。アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の出力端は、デジタル制御回路１１４と電気的に接続されてもよい。デジタル制御回路１１４は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の出力する電圧又は電流に基づき、出力する電圧又は電流を発生させてもよい。デジタル制御回路１１４の出力端は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。
リファレンス回路１０２は、デジタル制御回路１１４が出力する電圧又は電流及びリファレンス電源ＶＲＥＦ（又はリファレンス電流ＩＲＥＦ）に基づき、トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流を発生させてもよい。トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流は、接点Ｃ１及び接点Ｃ４の電圧又は電流に基づいて決定してもよい。他の実施形態において、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１とデジタル制御回路１１４との組み合わせは、図３に示すフィードバック回路１０４として用いてもよい。
リファレンス回路１０２は、デジタル制御回路１１４が出力する電圧又は電流及びリファレンス電源ＶＲＥＦ（又はリファレンス電流ＩＲＥＦ）に基づき、トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流を発生させてもよい。トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流は、接点Ｃ１及び接点Ｃ４の電圧又は電流に基づいて決定してもよい。他の実施形態において、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１とデジタル制御回路１１４との組み合わせは、図３に示すフィードバック回路１０４として用いてもよい。
【0054】
図６を参照する。
図６は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置６００を示す回路図である。電子負荷装置６００は、電子負荷装置３００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図３及び図６で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図３及び図６で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図６は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置６００を示す回路図である。電子負荷装置６００は、電子負荷装置３００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図３及び図６で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図３及び図６で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0055】
図６に示すように、電子負荷装置６００は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１、デジタル制御回路１１４及びオペアンプＡＭＰ４を含んでもよい。測定抵抗１０８（例えば、接点Ｃ４を介する）は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の入力端と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８（例えば、接点Ｃ１を介する）は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の他方の入力端と電気的に接続されてもよい。アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の出力端は、デジタル制御回路１１４と電気的に接続されてもよい。デジタル制御回路１１４は、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１の出力する電圧に基づき、出力する電圧を発生させてもよい。
【0056】
デジタル制御回路１１４の出力端は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。図６の実施形態に示すように、デジタル制御回路１１４の出力端は、オペアンプＡＭＰ４を介してリファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。デジタル制御回路１１４の出力端は、オペアンプＡＭＰ４の入力端（例えば、反転入力端）と電気的に接続されてもよい。リファレンス電源ＶＲＥＦは、オペアンプＡＭＰ４の他方の入力端（例えば、非反転入力端）と電気的に接続されてもよい。オペアンプＡＭＰ４の出力端は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。
【0057】
リファレンス回路１０２は、オペアンプＡＭＰ４の出力する電圧又は電流に基づき、トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流を発生させてもよい。リファレンス回路１０２は、デジタル制御回路１１４の出力する電圧及びリファレンス電源ＶＲＥＦに基づき、トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧を発生させてもよい。トランジスタ１１０（例えば、トランジスタ１１０のゲート）に供給する電圧又は電流は、接点Ｃ１及び接点Ｃ４の電圧又は電流に基づいて決定してもよい。他の実施形態において、アナログ―デジタル変換器ＡＤＣ１、デジタル制御回路１１４及びオペアンプＡＭＰ４の組み合わせは、図３に示すフィードバック回路１０４として用いてもよい。オペアンプＡＭＰ４は、リファレンス回路１０２に入力される電圧又は電流を正確に制御することができる。他の実施形態において、オペアンプＡＭＰ４は、減算回路でもよい。
【0058】
図７Ａ及び図７Ｂを参照する。
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗１０８を示す回路図である。図７Ｂは、図７Ａの等価回路図でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図１、図２、図７Ａ及び図７Ｂで使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図１、図２、図７Ａ及び図７Ｂで使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗１０８を示す回路図である。図７Ｂは、図７Ａの等価回路図でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図１、図２、図７Ａ及び図７Ｂで使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図１、図２、図７Ａ及び図７Ｂで使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0059】
図７Ａ及び図７Ｂを参照する。
図７Ａ及び図７Ｂに示すように、測定抵抗１０８の接点Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、半田材料により様々な素子と電気的に接続されてもよい。図１の実施形態によると、測定抵抗１０８の接点Ｃ１は、第１のはんだボールを介してリファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、第２のはんだボールを介してトランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３は、第３のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ４は、第４のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
図７Ａ及び図７Ｂの抵抗ＲＳ１、抵抗ＲＳ２、抵抗ＲＳ３及び抵抗Ｒ４は、第１のはんだボール、第２のはんだボール、第３のはんだボール及び第４のはんだボールの等価抵抗をそれぞれ表してもよい。はんだ量が多めの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１４．１３９ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が少なめの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１０．８０５ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が適量である場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１２．３７７ｐｐｍ／℃である可能性がある。各はんだボールのＴＣＲは、１５ｐｐｍ／℃～１０ｐｐｍ／℃であるか、１４．１３９ｐｐｍ／℃～１０．８０５ｐｐｍ／℃である可能性がある。
図７Ａ及び図７Ｂに示すように、測定抵抗１０８の接点Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、半田材料により様々な素子と電気的に接続されてもよい。図１の実施形態によると、測定抵抗１０８の接点Ｃ１は、第１のはんだボールを介してリファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ２は、第２のはんだボールを介してトランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３は、第３のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ４は、第４のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
図７Ａ及び図７Ｂの抵抗ＲＳ１、抵抗ＲＳ２、抵抗ＲＳ３及び抵抗Ｒ４は、第１のはんだボール、第２のはんだボール、第３のはんだボール及び第４のはんだボールの等価抵抗をそれぞれ表してもよい。はんだ量が多めの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１４．１３９ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が少なめの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１０．８０５ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が適量である場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１２．３７７ｐｐｍ／℃である可能性がある。各はんだボールのＴＣＲは、１５ｐｐｍ／℃～１０ｐｐｍ／℃であるか、１４．１３９ｐｐｍ／℃～１０．８０５ｐｐｍ／℃である可能性がある。
【0060】
電流Ｉ１は、接点Ｃ１を介して測定抵抗１０８に流入されてもよい。電流Ｉ１は、接点Ｃ４を介して測定抵抗１０８から流出されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ２を介して測定抵抗１０８に流入されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ３を介して測定抵抗１０８から流出されてもよい。本実施形態の電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより小さくてもよい。他の実施形態において、電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより遥かに小さくてもよい。
【0061】
図７Ｂは、図７Ａの等価回路図でもよい。図７Ｂに示すように、測定抵抗１０８は、抵抗値がＲＭである抵抗に等価でもよい。オームの法則に基づき、図７Ａ及び図７Ｂ中のノードＡとノードＢとの間の電圧差は、次式（３）で表すことができる。
【0062】
【数3】
【0063】
電流Ｉ１が負荷電流ＩＬＯＡＤより遥かに小さいとき、抵抗ＲＳ１，ＲＳ４，ＲＭで発生する電流Ｉ１の電圧差は無視してもよい。そのため、前式（３）は次式（４）に修正することができる。
【0064】
【数4】
【0065】
他の実施形態において、測定抵抗１０８は、単一金属又は合金からなるコイルでもよい。接点Ｃ１及び接点Ｃ２は、コイルの一端がカットされて形成されてもよい。接点Ｃ３及び接点Ｃ４は、コイルの他端がカットされて形成されてもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ１及び接点Ｃ２は、同じ材料からなり、他の半田材料を含まなくてもよい。そのため、測定抵抗１０８の接点Ｃ１及び接点Ｃ２は同質（ｈｏｍｏｇｅｎｅｏｕｓ）でもよい。測定抵抗１０８の接点Ｃ３及び接点Ｃ４は、同じ材料からなり、他の半田材料を含まなくてもよい。そのため、測定抵抗１０８の接点Ｃ３及び接点Ｃ４は同質でもよい。一般に、ベンダーから提供されたデータによると、＋２０℃～＋６０℃の範囲内において、測定抵抗１０８のＴＣＲの範囲は、約＋５ｐｐｍ／℃～－５ｐｐｍ／℃である。測定抵抗１０８のＴＣＲは、はんだボールのＴＣＲより小さくてもよい。
【0066】
ベンダーのデータから測定抵抗１０８のＴＣＲを知ることができるが、測定抵抗１０８が電子負荷装置１００（又は２００、３００、４００、５００、６００）に取付けられたとき、測定抵抗１０８のＴＣＲを再び測定し、電子負荷装置１００（又は２００、３００、４００、５００、６００）の規格を制定しなければならなかった。
図２を再び参照する。測定抵抗１０８のＴＣＲを測定するとき、電流プローブ（ｃｕｒｒｅｎｔ ｐｒｏｂｅ）により負荷電流ＩＬＯＡＤを測定してもよい。測定抵抗１０８のＴＣＲを測定するとき、電圧計により接点Ｃ１と接点Ｃ４との電圧差ＶＭを測定してもよい。他の実施形態では、図７Ａ又は図７Ｂに示すように、ノードＡとノードＢとの間の電圧差を測定してもよいし、図２に示すように、接点Ｃ１と接点Ｃ４との間の電圧差ＶＭを測定してもよい。
図２を再び参照する。測定抵抗１０８のＴＣＲを測定するとき、電流プローブ（ｃｕｒｒｅｎｔ ｐｒｏｂｅ）により負荷電流ＩＬＯＡＤを測定してもよい。測定抵抗１０８のＴＣＲを測定するとき、電圧計により接点Ｃ１と接点Ｃ４との電圧差ＶＭを測定してもよい。他の実施形態では、図７Ａ又は図７Ｂに示すように、ノードＡとノードＢとの間の電圧差を測定してもよいし、図２に示すように、接点Ｃ１と接点Ｃ４との間の電圧差ＶＭを測定してもよい。
【0067】
【0068】
本実施形態の実験結果から分かるように、温度が２３℃上昇すると、負荷電流ＩＬＯＡＤの変化量は－５７ｐｐｍであり、電圧差ＶＭの変化量は－１７ｐｐｍである。次式（５）により計算すると、測定抵抗１０８のＴＣＲは約１．７３ｐｐｍ／℃であった。
【0069】
【数5】
【0070】
本実施形態の他の実験結果から分かるように、温度が２６℃上昇すると、負荷電流ＩＬＯＡＤの変化量は－９７ｐｐｍであり、電圧差ＶＭの変化量は－５０ｐｐｍである。次式（６）により計算すると、測定抵抗１０８のＴＣＲは約１．８ｐｐｍ／℃であった。
【0071】
【数6】
【0072】
本実施形態の実験結果によると、電子負荷装置１００（又は２００、３００、４００、５００、６００）上に取り付けられた測定抵抗１０８が得たＴＣＲは、依然としてベンダーが提供したＴＣＲの範囲（＋５ｐｐｍ／℃～－５ｐｐｍ／℃）内にあった。
【0073】
他の実施形態では、電子負荷装置１００（又は２００、３００、４００、５００、６００）の操作温度は７５℃まで上昇されてもよい。電子負荷装置１００（又は２００、３００、４００、５００、６００）の操作温度が２５℃から７５℃まで上昇すると、測定抵抗１０８の抵抗値ＲＭの変化量は９０ｐｐｍ（１．８×５０＝９０）となる可能性がある（即ち０．００９％）。電子負荷装置１００（又は２００、３００、４００、５００、６００）の規格を制定するとき、測定抵抗１０８の抵抗値ＲＭの９０ｐｐｍの変化量は、許容可能な測量誤差である。
【0074】
図８を参照する。
図８は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置８００を示す回路図である。他の実施形態において、電子負荷装置１００は、リファレンス回路１０２、フィードバック回路１０４、トランジスタ１１０、リファレンス電流ＩＲＥＦ、測定抵抗２０８及び接地点１１２を含んでもよい。電子負荷装置１００は、被測定物１０６と電気的に接続されてもよい。図８の矢印は、電流方向を表す。図８の電子負荷装置８００は、被測定物１０６と電気的に接続されてもよい。
図８は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置８００を示す回路図である。他の実施形態において、電子負荷装置１００は、リファレンス回路１０２、フィードバック回路１０４、トランジスタ１１０、リファレンス電流ＩＲＥＦ、測定抵抗２０８及び接地点１１２を含んでもよい。電子負荷装置１００は、被測定物１０６と電気的に接続されてもよい。図８の矢印は、電流方向を表す。図８の電子負荷装置８００は、被測定物１０６と電気的に接続されてもよい。
【0075】
本実施形態をより簡単に説明するために、図１及び図８で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図１及び図８で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0076】
測定抵抗２０８は、抵抗値ＲＭ１を有してもよい。測定抵抗２０８は、接点Ｃ５及び接点Ｃ６を有してもよい。測定抵抗２０８の接点Ｃ５は、測定抵抗２０８の一端に位置してもよい。測定抵抗２０８の接点Ｃ６は、測定抵抗２０８の他端に位置してもよい。測定抵抗２０８の接点Ｃ５は、リファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗２０８の接点Ｃ５は、トランジスタ１１０と電気的に接続されてもよい。例えば、測定抵抗２０８の接点Ｃ５は、トランジスタ１１０のドレイン又はソースと電気的に接続されてもよい。測定抵抗２０８の接点Ｃ６は、フィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
【0077】
負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ５を介して測定抵抗２０８に流入されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ６を介して測定抵抗２０８から流出されてもよい。電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより小さくてもよい。他の実施形態において、電流Ｉ１は、負荷電流ＩＬＯＡＤより遥かに小さくてもよい。
【0078】
リファレンス回路１０２は、測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレイン又はソースは、測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレイン又はソースは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。
図８に示すように、本実施形態のトランジスタ１１０のソースは、測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレインは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、トランジスタ１１０のドレインは、測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のソースは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の出力端は、被測定物１０６から出力される電流の端子でもよい。
図８に示すように、本実施形態のトランジスタ１１０のソースは、測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のドレインは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、トランジスタ１１０のドレインは、測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。トランジスタ１１０のソースは、被測定物１０６の出力端と電気的に接続されてもよい。被測定物１０６の出力端は、被測定物１０６から出力される電流の端子でもよい。
【0079】
図８の電子負荷装置８００は、被測定物１０６と電気的に接続され、被測定物１０６の複数の物理的特徴（例えば、電気的特徴）を測定してもよい。他の実施形態において、測定抵抗２０８を横切る電圧差ＶＭ１及び抵抗値ＲＭ１に基づき、測定抵抗２０８を通過する負荷電流ＩＬＯＡＤを判定してもよい。オームの法則に基づき、電圧差ＶＭ１、抵抗値ＲＭ１及び負荷電流ＩＬＯＡＤの関係は、次式（７）で表すことができる。
【0080】
【数7】
【0081】
図９を参照する。
図９は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置９００を示す回路図である。電子負荷装置９００は、電子負荷装置８００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図８及び図９で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図８及び図９で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図９は、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置９００を示す回路図である。電子負荷装置９００は、電子負荷装置８００の一実施形態でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図８及び図９で使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図８及び図９で使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0082】
図２と比べ、図９の測定抵抗２０８は、さらに抵抗Ｒ４と電気的に接続されてもよい（例えば、接点Ｃ５を介する）。図２と比べ、図９のリファレンス電源ＶＲＥＦは、２つの反転閉ループ増幅器を介して測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。他の実施形態において、リファレンス電源ＶＲＥＦは、リファレンス回路１０２を介して測定抵抗２０８の接点Ｃ５と電気的に接続されてもよい。図２と比べ、図９の抵抗Ｒ６は、測定抵抗２０８と電気的に接続されてもよい（例えば、Ｃ６を介する）。
【0083】
図１０Ａ及び図１０Ｂを参照する。
図１０Ａ及び図１０Ｂは、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗２０８を示す回路図である。図１０Ｂは、図１０Ａの等価回路図でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図８、図９、図１０Ａ及び図１０Ｂで使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図８、図９、図１０Ａ及び図１０Ｂで使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
図１０Ａ及び図１０Ｂは、本発明の一実施形態に係る電子負荷装置の測定抵抗２０８を示す回路図である。図１０Ｂは、図１０Ａの等価回路図でもよい。本実施形態をより簡単に説明するために、図８、図９、図１０Ａ及び図１０Ｂで使用している同じ符号は、同一又は類似の素子を表すか、同一又は類似の機能を有する素子を表す。また、図８、図９、図１０Ａ及び図１０Ｂで使用している同一の符号の数値は、同一又は類似の数値を表すか、同一又は類似の物理的に意味のある数値を表してもよい。
【0084】
図１０Ａ及び図１０Ｂを参照する。
図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、測定抵抗２０８の接点Ｃ５及び接点Ｃ６は、半田材料により様々な素子と電気的に接続されてもよい。図８の実施形態によると、測定抵抗２０８の接点Ｃ５は、第５のはんだボールを介してリファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗２０８の接点Ｃ６は、第６のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
図１０Ａ及び図１０Ｂの抵抗ＲＳ５及び抵抗ＲＳ６は、第５のはんだボール及び第６のはんだボールの等価抵抗をそれぞれ表す。はんだ量が多めの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１４．１３９ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が少なめの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１０．８０５ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が適量である場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１２．３７７ｐｐｍ／℃である可能性がある。各はんだボールのＴＣＲは、１５ｐｐｍ／℃～１０ｐｐｍ／℃であるか、１４．１３９ｐｐｍ／℃～１０．８０５ｐｐｍ／℃である可能性がある。
図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、測定抵抗２０８の接点Ｃ５及び接点Ｃ６は、半田材料により様々な素子と電気的に接続されてもよい。図８の実施形態によると、測定抵抗２０８の接点Ｃ５は、第５のはんだボールを介してリファレンス回路１０２と電気的に接続されてもよい。測定抵抗２０８の接点Ｃ６は、第６のはんだボールを介してフィードバック回路１０４と電気的に接続されてもよい。
図１０Ａ及び図１０Ｂの抵抗ＲＳ５及び抵抗ＲＳ６は、第５のはんだボール及び第６のはんだボールの等価抵抗をそれぞれ表す。はんだ量が多めの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１４．１３９ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が少なめの場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１０．８０５ｐｐｍ／℃であり、はんだ量が適量である場合、各はんだボールのＴＣＲは、約１２．３７７ｐｐｍ／℃である可能性がある。各はんだボールのＴＣＲは、１５ｐｐｍ／℃～１０ｐｐｍ／℃であるか、１４．１３９ｐｐｍ／℃～１０．８０５ｐｐｍ／℃である可能性がある。
【0085】
負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ５を介して測定抵抗２０８に流入されてもよい。負荷電流ＩＬＯＡＤは、接点Ｃ６を介して測定抵抗２０８から流出されてもよい。
【0086】
図１０Ｂは、図１０Ａの等価回路図でもよい。図１０Ｂに示すように、測定抵抗２０８は、抵抗値がＲＭ１である抵抗に等価でもよい。オームの法則に基づき、図１０Ａ及び図１０ＢのノードＣとノードＤとの間の電圧差は、次式（８）で表すことができる。
【0087】
【数8】
【0088】
抵抗ＲＳ５、抵抗ＲＳ６及び抵抗ＲＭ１が互いに近いとき、抵抗ＲＳ５と抵抗ＲＳ６とに発生する電圧差は無視することはできない。
【0089】
一般に、ベンダーから提供されたデータによると、＋２０℃～＋６０℃の範囲内において、測定抵抗２０８のＴＣＲは、約＋５ｐｐｍ／℃～－５ｐｐｍ／℃である。測定抵抗２０８のＴＣＲは、はんだボールのＴＣＲより小さくてもよい。ベンダーのデータから測定抵抗２０８のＴＣＲを知ることができるが、測定抵抗２０８が電子負荷装置８００（又は９００）に取付けられた場合、測定抵抗２０８のＴＣＲを再び測定し、電子負荷装置８００（又は９００）の規格を制定しなければならなかった。
図９を再び参照する。測定抵抗２０８のＴＣＲを測定するとき、電流プローブ（ｃｕｒｒｅｎｔ ｐｒｏｂｅ）により負荷電流ＩＬＯＡＤを測定してもよい。測定抵抗２０８のＴＣＲを測定するとき、電圧計により接点Ｃ５と接点Ｃ６との電圧差ＶＭ１を測定してもよい。他の実施形態では、図１０Ａ又は図１０Ｂに示すようにノードＣとノードＤとの電圧差を測定してもよいし、図９の接点Ｃ５と接点Ｃ６との電圧差ＶＭ１を測定してもよい。
図９を再び参照する。測定抵抗２０８のＴＣＲを測定するとき、電流プローブ（ｃｕｒｒｅｎｔ ｐｒｏｂｅ）により負荷電流ＩＬＯＡＤを測定してもよい。測定抵抗２０８のＴＣＲを測定するとき、電圧計により接点Ｃ５と接点Ｃ６との電圧差ＶＭ１を測定してもよい。他の実施形態では、図１０Ａ又は図１０Ｂに示すようにノードＣとノードＤとの電圧差を測定してもよいし、図９の接点Ｃ５と接点Ｃ６との電圧差ＶＭ１を測定してもよい。
【0090】
本実施形態の他の実験結果から分かるように、温度が１０℃上昇したときの負荷電流ＩＬＯＡＤの変化量は－３２４ｐｐｍであり、電圧差ＶＭ１の変化量は－１３０ｐｐｍであった。次式（９）により計算すると、測定抵抗２０８のＴＣＲは約１９．４ｐｐｍ／℃であった。
【0091】
【数9】
【0092】
本発明の一実施形態に係る実験結果から分かるように、電子負荷装置８００（又は９００）上に取り付けた測定抵抗２０８が得たＴＣＲは、ベンダーが提供したＴＣＲ範囲（＋５ｐｐｍ／℃～－５ｐｐｍ／℃）内にはない。抵抗ＲＳ５及び抵抗ＲＳ６が発生させる電圧差は無視することができず、測定抵抗２０８が得たＴＣＲに誤差が発生する。
【0093】
他の実施形態では、電子負荷装置８００（又は９００）の操作温度は７５℃まで上昇されてもよい。電子負荷装置８００（又は９００）の操作温度が２５℃から７５℃まで上昇すると、測定抵抗２０８の抵抗値ＲＭ１の変化量は９７０ｐｐｍ（１９．４×５０＝９７０）となる可能性がある（即ち０．０９７％）。電子負荷装置８００（又は９００）の規格を制定するとき、測定抵抗２０８の抵抗値ＲＭの９０ｐｐｍの変化量は、許容不能な測量誤差である。
【0094】
図示する方向以外に、装置又は部材は他の方式で配向（９０度又はその他の方向に配向）されてもよいし、本文で使用されている連結に関する用語についても対応して解釈してもよい。ここで、一部材を他の部材と「接続」、「結合」又は「連結」する場合、一部材を他の部材に直接接続するか結合してもよいし、中間部材が設けられてもよい。
【0095】
本明細書における「類似した」、「基本的に」、「略」及び「約」などの用語は、小さな変化を説明したり解釈したりするのに用いられる。イベント又は状況と組み合わせて使用する場合、それらの用語は、イベント又は状況の正確な発生状況と、イベント又は状況の類似した発生状況とを指してもよい。本明細書で使用する既定値又は範囲に関しては、用語「約」とは、一般に既定値又は範囲の±１０％、±５％、±１％又は±０．５％内を指す。範囲とは、本文中で一方の端点から他方の端点の間を指す。別途指定しない限り、本発明が開示する範囲には端点が含まれる。用語「略共面」とは、同じ平面に沿って位置決めされた数マイクロメートル（μｍ）内の２つの表面を指し、例えば、同じ平面に沿って位置決めされた１０μｍ内、５μｍ内、１μｍ内又は０．５μｍ内に位置決めされてもよい。「実質上」同じ数値又は特性を参考にするとき、当該用語は、値の平均値の±１０％、±５％、±１％又は±０．５％内の値を指してもよい。
【0096】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【0097】
１００ 電子負荷装置
１０２ リファレンス回路
１０４ フィードバック回路
１０６ 被測定物
１０８ 測定抵抗
１１０ トランジスタ
１１２ 接地点
１１４ デジタル制御回路
２００ 電子負荷装置
２０８ 測定抵抗
３００ 電子負荷装置
４００ 電子負荷装置
５００ 電子負荷装置
６００ 電子負荷装置
８００ 電子負荷装置
９００ 電子負荷装置
Ａ ノード
ＡＤＣ１ アナログ―デジタル変換器
ＡＭＰ１ オペアンプ
ＡＭＰ２ オペアンプ
ＡＭＰ３ オペアンプ
ＡＭＰ４ オペアンプ
Ｂ ノード
Ｃ ノード
Ｃ１ 接点
Ｃ２ 接点
Ｃ３ 接点
Ｃ４ 接点
Ｃ５ 接点
Ｃ６ 接点
Ｄ ノード
Ｉ１ 電流
ＩＬＯＡＤ 負荷電流
ＩＲＥＦ リファレンス電流
ＶＲＥＦ リファレンス電源
ＶＭ 電圧差
ＶＭ１ 電圧差
Ｒ１ 抵抗
Ｒ２ 抵抗
Ｒ３ 抵抗
Ｒ４ 抵抗
Ｒ５ 抵抗
Ｒ６ 抵抗
ＲＭ 抵抗値／抵抗
ＲＭ１ 抵抗値／抵抗
ＲＳ１ 抵抗
ＲＳ２ 抵抗
ＲＳ３ 抵抗
ＲＳ４ 抵抗
ＲＳ５ 抵抗
ＲＳ６ 抵抗
１０２ リファレンス回路
１０４ フィードバック回路
１０６ 被測定物
１０８ 測定抵抗
１１０ トランジスタ
１１２ 接地点
１１４ デジタル制御回路
２００ 電子負荷装置
２０８ 測定抵抗
３００ 電子負荷装置
４００ 電子負荷装置
５００ 電子負荷装置
６００ 電子負荷装置
８００ 電子負荷装置
９００ 電子負荷装置
Ａ ノード
ＡＤＣ１ アナログ―デジタル変換器
ＡＭＰ１ オペアンプ
ＡＭＰ２ オペアンプ
ＡＭＰ３ オペアンプ
ＡＭＰ４ オペアンプ
Ｂ ノード
Ｃ ノード
Ｃ１ 接点
Ｃ２ 接点
Ｃ３ 接点
Ｃ４ 接点
Ｃ５ 接点
Ｃ６ 接点
Ｄ ノード
Ｉ１ 電流
ＩＬＯＡＤ 負荷電流
ＩＲＥＦ リファレンス電流
ＶＲＥＦ リファレンス電源
ＶＭ 電圧差
ＶＭ１ 電圧差
Ｒ１ 抵抗
Ｒ２ 抵抗
Ｒ３ 抵抗
Ｒ４ 抵抗
Ｒ５ 抵抗
Ｒ６ 抵抗
ＲＭ 抵抗値／抵抗
ＲＭ１ 抵抗値／抵抗
ＲＳ１ 抵抗
ＲＳ２ 抵抗
ＲＳ３ 抵抗
ＲＳ４ 抵抗
ＲＳ５ 抵抗
ＲＳ６ 抵抗
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
