特許 7162940 プラズマＯＥＳ診断用ウィンドウおよびこれを利用したプラズマ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-21

(45)【発行日】2022-10-31

(54)【発明の名称】プラズマＯＥＳ診断用ウィンドウおよびこれを利用したプラズマ装置

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/00 20060101AFI20221024BHJP

   H05H 1/46 20060101ALI20221024BHJP

   H01L 21/3065 20060101ALI20221024BHJP

   H01L 21/31 20060101ALI20221024BHJP

   H01L 21/205 20060101ALN20221024BHJP

【ＦＩ】

H05H1/00 A

H05H1/46 A

H01L21/302 101G

H01L21/31 C

H01L21/205

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021570250

(86)(22)【出願日】2020-05-28

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-08-08

(86)【国際出願番号】 KR2020006887

(87)【国際公開番号】W WO2020242207

(87)【国際公開日】2020-12-03

【審査請求日】2021-11-26

(31)【優先権主張番号】10-2019-0062548

(32)【優先日】2019-05-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】521036654

【氏名又は名称】コリア インスティテュート オブ フュージョン エナジー

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】イ、カン イル

(72)【発明者】

【氏名】チェ、ヨン ソプ

(72)【発明者】

【氏名】キム、ヨン ウ

(72)【発明者】

【氏名】キム、チョン シク

【審査官】中尾 太郎

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６１－２０１７７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１０４４９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】欧州特許出願公開第２１８２０８７（ＥＰ，Ａ１）

【文献】韓国公開特許第２０００－００１４０５８（ＫＲ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１６－００５８４９０（ＫＲ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１６－０１３４２６７（ＫＲ，Ａ）

【文献】韓国特許第１０－１０－１３４７９２８（ＫＲ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｈ １／００

Ｈ０５Ｈ １／４６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｈ０１Ｌ ２１／３１

Ｈ０１Ｌ ２１／２０５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

両側に第１チャンバおよび第２チャンバを含むハウジングと、
前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間の前記ハウジングの一面に形成され、プラズマチャンバからのプラズマの光が露出される開口に対向する装着開口と、
前記装着開口の反対側の前記ハウジングの他面に形成され、前記装着開口と同軸を成して前記プラズマの光が透過され、ＯＥＳ装置の受光部と連結される視界窓開口と、
前記ハウジング内の視界窓開口の内側に位置する視界窓と、
前記第１チャンバおよび前記第２チャンバのそれぞれに設置されたワインダーおよびリワインダーと、
前記ハウジング内の前記装着開口の内側をカバーしながら前記リワインダーから前記ワインダーにロール・ツー・ロールされるように構成される透明フィルムと、を含む、ことを特徴とするプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項2】

前記装着開口に露出された透明フィルムの汚染度を確認する汚染度確認手段をさらに含む、ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項3】

前記汚染度確認手段で確認された汚染度が所定値以上の場合前記ワインダーと前記リワインダーを駆動して所定の長さだけ透明フィルムをロール・ツー・ロールするロール・ツー・ロール駆動部をさらに含む、ことを特徴とする請求項２に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項4】

前記装着開口から外側で前記装着開口を取り囲みながら延長された装着開口側壁を含み、
前記装着開口側壁に挿入され、貫通孔を含む装着開口ブロックを含む、ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項5】

前記貫通孔は１～５ｍｍの内径を有する、ことを特徴とする請求項４に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項6】

前記透明フィルムが前記装着開口の内側面に密着されながらロール・ツー・ロールされるように、前記装着開口の両側に位置するテンションローラーを含む、ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項7】

前記視界窓開口の外側に設置されたＯＥＳセンサーの光ファイバ連結部を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項8】

前記透明フィルムは耐熱および耐化学性フィルムである、ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ。

【請求項9】

請求項１～８のいずれか一項に記載のプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウが設置されたプラズマ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウに関し、より詳しくは、プラズマ診断が正確に行われることができるようにプラズマ光を受光するプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウに関する。

【背景技術】

【0002】

プラズマを利用した半導体装置から実行することができる工程としては、乾式蝕刻（ｄｒｙ ｅｔｃｈｉｎｇ）工程や化学気相蒸着（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）工程などを挙げることができる。このような工程は、工程を行うためにプラズマを発生することができるプラズマチャンバを利用する。したがって、半導体基板をプラズマチャンバ内の基板支持台に載せ、プラズマチャンバ内部を所定の反応条件に造成した後プラズマを発生させて蝕刻工程および化学気相蒸着工程を行う。

【0003】

一方、プラズマ工程条件に異常が発生したり、プラズマ装備を構成している部品、例えばマスフローコントローラー（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）、ＲＦソース（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｓｏｕｒｃｅ）またはバイアスパワー（Ｂｉａｓ Ｐｏｗｅｒ）などに異常（Ａｎｏｍａｌｙ）が発生する場合、プラズマ状態が変わるようになり、それによって蒸着または蝕刻特性が変わるようになる。このような場合には工程の質（Ｑｕａｌｉｔｙ）と素子の信頼性が低下されるが、これを防止するためには半導体プラズマ状態を厳格に監視する技術が要求される。

【0004】

プラズマ状態を監視する技術としてＯＥＳ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）センサーを利用する技術がある。ＯＥＳセンサーを利用するプラズマ工程診断装置として特許出願第１０－２０１３－００９０６３７号がある。この特許は工程チャンバ内で放出される光を外部に伝達する複数のビューポートおよびビューポートに光ケーブルで接続された複数のＯＥＳセンサーを含む。

【0005】

しかしながら、この特許は複数のビューポートが工程チャンバに直接設置されているため、ビューポートが容易に汚染されるという問題があり、ビューポートの汚染により、正確なプラズマ診断が難しかった。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

したがって、本発明が解決しようとする課題は、プラズマ光を受光する視界窓の汚染を防止し、常にプラズマ光の強度が低下することなくプラズマ光を受光してプラズマの状態診断が正確に行われることができるようにしたプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウおよびプラズマ装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウは、両側に第１チャンバおよび第２チャンバを含むハウジングと、前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間の前記ハウジングの一面に形成され、プラズマチャンバからのプラズマの光が露出される開口に対向する装着開口と、前記装着開口の反対側の前記ハウジングの他面に形成され、前記装着開口と同軸を成して前記プラズマの光が透過され、ＯＥＳ装置の受光部と連結される視界窓開口と、前記ハウジング内の視界窓開口の内側に位置する視界窓と、前記第１チャンバおよび前記第２チャンバのそれぞれに設置されたワインダーおよびリワインダーと、前記ハウジング内の前記装着開口の内側をカバーしながら前記リワインダーから前記ワインダーにロール・ツー・ロールされるように構成される透明フィルムとを含む。

【0008】

一実施例において、前記装着開口に露出された透明フィルムの汚染度を確認する汚染度確認手段をさらに含むことができる。

【0009】

一実施例において、前記汚染度確認手段で確認された汚染度が所定値以上の場合、前記ワインダーと前記リワインダーを駆動して所定の長さだけ透明フィルムをロール・ツー・ロールするロール・ツー・ロール駆動部をさらに含むことができる。

【0010】

一実施例において、前記装着開口から外側で前記装着開口を取り囲みながら延長された装着開口側壁を含み、前記装着開口側壁に挿入され、貫通孔を含む装着開口ブロックを含むことができる。

【0011】

一実施例において、前記貫通孔は１～５ｍｍの内径を有することができる。

【0012】

一実施例において、前記透明フィルムが前記装着開口の内側面に密着されながらロール・ツー・ロールされるように、前記装着開口の両側に位置するテンションローラー（ｔｅｎｓｉｏｎ ｒｏｌｌｅｒ）を含むことができる。

【0013】

一実施例において、前記視界窓開口の外側に設置されたＯＥＳセンサーの光ファイバ連結部を含むことができる。

【0014】

一実施例において、前記透明フィルムは耐熱および耐化学性フィルムであり得る。

【0015】

本発明の一実施例によるプラズマ装置は前記プラズマＯＥＳ診断用ウィンドウが設置されることができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウを利用すれば、プラズマ状態診断のためにプラズマ光を受光する視界窓の汚染を遮断することができ、常にプラズマ光の強度が低下することなくプラズマ光を受光してプラズマの状態診断が正確に行われることができるようにするという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウの構成を示した断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、添付図面を参照して本発明の実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウについて詳しく説明する。本発明は多様な変更を施すことができ、様々な形態を有することができ、特定の実施例を図面に例示して本文で詳細に説明する。しかしながら、これは本発明を特定の開示形態に対して限定しようとするのではなく、本発明の思想および技術範囲に含まれるすべての変更、均等物ないし代替物を含むことと理解すべきである。各図面を説明する際に同様の参照符号を同様の構成要素に対して用いた。添付図面において、構造物の寸法は本発明の明確性を図るために実際より拡大して図示したのである。

【0019】

第１、第２などの用語は多様な構成要素を説明するのに用いられることができるが、前記構成要素は前記用語によって限定されてはならない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで用いられる。例えば、本発明の権利範囲を逸脱しない範囲内で、第１構成要素は第２構成要素に命名されることができ、同様に第２構成要素も第１構成要素に命名されることができる。

【0020】

本出願で用いた用語はただ特定の実施例を説明するために用いられたもので、本発明を限定しようとする意図はない。単数の表現は、文脈上明白に異なるように意味しない限り、複数の表現を含む。本出願で、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部分品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするのであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品またはこれらを組み合わせたものなどの存在または付加可能性を予め排除しないことと理解されるべきである。

【0021】

異なるように定義されない限り、技術的／科学的用語を含めてここで用いられる全ての用語は本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者によって共通的に理解されるのと同じ意味を有する。一般的に用いられる辞典に定義されているような用語は関連技術の脈絡で有する意味と一致する意味を有することと解釈されるべきであり、本出願で明示的に定義しない限り、理想的であるかあまりにも形式的な意味に解釈されてはならない。

【0022】

図１は本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウの構成を示す図面である。

【0023】

図１を参照すれば、本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウは、ハウジング１１０、装着開口１１１、視界窓開口１１２、視界窓１２０、ワインダー１３１およびリワインダー１３２、透明フィルム１４０、テンションローラー１６０、汚染度確認手段（図示しない）、ロール・ツー・ロール駆動部１５０を含む。

【0024】

ハウジング１１０は両側に第１チャンバ１１３および第２チャンバ１１４を含む。ハウジング１１０の形状には特に制限がなく、例えば、ハウジング１１０は直方体形状であってもよい。

【0025】

装着開口１１１はハウジング１１０の一面で第１チャンバ１１３と第２チャンバ１１４との間に位置し、プラズマチャンバ１０からのプラズマの光が露出される開口１１に対向されて開口１１を通じて露出されるプラズマの光が流入される。

【0026】

ここで、前記プラズマチャンバ１０はプラズマを利用する半導体基板の薄膜蒸着、蝕刻などの工程のための反応空間を提供する工程チャンバ（ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｈａｍｂｅｒ）である。工程チャンバにはプラズマを生成するためのキャリアガスおよび工程ガスが供給される。

【0027】

視界窓開口１１２は装着開口１１１の反対側のハウジング１１０の他面に形成される。この時、視界窓開口１１２は装着開口１１１と同軸を成し、それによって装着開口１１１に流入されるプラズマ光が透過される。視界窓開口１１２はＯＥＳ装置の受光部と連結される。

【0028】

視界窓１２０はハウジング１１０内の視界窓開口１１２の内側に位置する。視界窓１２０はプラズマ光が透過されることができる材質であればいずれも使用可能であり、例えば、視界窓１２０はクオーツ（Ｑｕａｒｔｚ）材質であり得る。

【0029】

ワインダー１３１およびリワインダー１３２は第１チャンバ１１３および第２チャンバ１１４それぞれの内部に設置される。一例として、リワインダー１３２は第１チャンバ１１３内に設置され、ワインダー１３１は第２チャンバ１１４内に設置されることができる。リワインダー１３２には透明フィルム１４０が巻取されており、ワインダー１３１はリワインダー１３２に巻取されている透明フィルム１４０を繰り上げて巻取することができる。

【0030】

透明フィルム１４０はハウジング１１０内でリワインダー１３２からワインダー１３１にロール・ツー・ロールされるように構成され、この時、ハウジング１１０内で装着開口１１１の内側をカバーしながらロール・ツー・ロールされる。このために、ハウジング１１０内には装着開口１１１の両側に位置するテンションローラー１６０を含み、前記テンションローラー１６０は装着開口１１１に対向する透明フィルム１４０の一面の裏面で透明フィルム１４０を支持して透明フィルム１４０が装着開口１１１の方向に垂直な面形態でしっかりと保持されるようにする。前記透明フィルム１４０は耐熱および耐化学性フィルムである。例えば、ＰＥ、ＰＰ、ＰＩなどの高分子フィルムであり得る。

【0031】

汚染度確認手段（図示しない）は装着開口１１１に露出された透明フィルム１４０の汚染度を確認するための装置である。汚染度確認手段は透明フィルム１４０の汚染度に対して所定値、すなわち透明フィルム１４０の汚染度上限値が予め設定されることができる。一例として、汚染度確認手段はビジョン（Ｖｉｓｉｏｎ）検査装置であり得る。

【0032】

ロール・ツー・ロール駆動部１５０はワインダー１３１およびリワインダー１３２を駆動させる。ロール・ツー・ロール駆動部１５０はリワインダー１３２に機械的に連結されたステッピングモーターであり得る。ロール・ツー・ロール駆動部１５０は汚染度確認手段と電気的に連結され、汚染度確認手段で確認された透明フィルム１４０の汚染度が汚染度上限値の場合、ワインダー１３１およびリワインダー１３２を駆動させて所定の長さだけ透明フィルム１４０をロール・ツー・ロールするように構成される。前記所定の長さは前記テンションローラー１６０に支持される透明フィルム１４０の長さ以上の長さに設定されることができる。

【0033】

一方、本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウは装着開口側壁１７０および装着開口ブロック１８０をさらに含む。

【0034】

装着開口側壁１７０は装着開口１１１から外側で装着開口１１１を取り囲みながら延長される。すなわち、装着開口側壁１７０はハウジング１１０の装着開口１１１が位置する面から装着開口１１１を取り囲む管状に延長され、装着開口側壁１７０の末端はプラズマチャンバ１０の開口１１を取り囲むようにプラズマチャンバ１０に連結される。装着開口側壁１７０はプラズマチャンバ１０との連結のために末端の周りにフランジ部１７１が形成されることができ、フランジ部１７１がプラズマチャンバ１０の外面に密着固定されてハウジング１１０がプラズマチャンバ１０と連結されるようにすることができる。

【0035】

装着開口ブロック１８０は装着開口側壁１７０に挿入され、貫通孔１８１を含む。装着開口ブロック１８０の断面形状は装着開口側壁１７０の断面形状に対応する。貫通孔１８１は装着開口側壁１７０の長さ方向に平行にプラズマチャンバ１０の開口１１に疎通される。貫通孔１８１は１～５ｍｍの内径を有する。一例として、貫通孔１８１は４ｍｍの直径を有するように備えることができる。このような装着開口ブロック１８０は不透明物質で形成されることができ、吸水性を有することができる。したがって、水平の直進するプラズマ光を視界窓１２０方向へ容易にガイドすることができる。

【0036】

このような装着開口側壁１７０および装着開口ブロック１８０はプラズマチャンバ１０の開口１１から露出されるプラズマ光が視界窓１２０を向けて容易に進行するようにする。すなわち、装着開口ブロック１８０は光の直進性を向上させるコリメーターのような役割を果たすことができる。したがって、装着開口ブロック１８０の貫通孔１８１はプラズマ光が視界窓１２０を向けて直進する直進性が向上されるようにし、プラズマのコンフィデンス（Ｃｏｎｄｕｃｔａｎｃｅ）を低下する。

【0037】

このような装着開口側壁１７０および装着開口ブロック１８０が備えられる場合、前記テンションローラー１６０は貫通孔１８１の両側に位置して貫通孔１８１に対向する透明フィルム１４０の一面が装着開口ブロック１８０に密着して対応されるようにする。

【0038】

一方、本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウは光ファイバ連結部１９０をさらに含む。

【0039】

光ファイバ連結部１９０はプラズマのＯＥＳ診断のためのＯＥＳ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）センサーの光ファイバと連結されるもので、視界窓開口１１２の外側に設置され、且つ視界窓１２０に密着する構造で設置される。一例として、光ファイバ連結部１９０は環状のハウジング連結部１９１およびハウジング連結部１９１から延長される光ファイバ接続ポート１９２を含むことができる。このような場合、ハウジング連結部１９１は視界窓１２０の辺縁を覆うようにハウジング１１０の外面に固定されることができる。

【0040】

以下ではこのような本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウでプラズマ光が受光されてＯＥＳセンサーに伝達される過程を説明する。

【0041】

プラズマチャンバ１０内で発生されたプラズマのプラズマ光はプラズマチャンバ１０の開口１１から露出されてプラズマチャンバ１０の開口１１に対向する装着開口ブロック１８０方向に進行される。

【0042】

露出されたプラズマ光は装着開口ブロック１８０の貫通孔１８１に進入して貫通孔１８１に沿って透明フィルム１４０の方向に進行される。この時、プラズマ光は狭い貫通孔１８１を通りながら直進性が向上される。

【0043】

貫通孔１８１を通過するプラズマ光は透明フィルム１４０に透過され、透明フィルム１４０を透過したプラズマ光は視界窓開口１１２方向に進行する。

【0044】

視界窓開口１１２へ進行するプラズマ光は視界窓開口１１２に進入した後視界窓１２０に透過され、視界窓１２０を透過したプラズマ光は光ファイバ連結部１９０の内側に進入する。

【0045】

光ファイバ連結部１９０に進入されたプラズマ光は光ファイバ連結部１９０に連結された光ファイバを通じてＯＥＳセンサーに伝達され、ＯＥＳセンサーは伝達されたプラズマ光の分析を通じてプラズマの状態を診断することができる。

【0046】

このような過程を行う途中に汚染度確認手段は透明フィルム１４０の汚染度を確認する。この時、透明フィルム１４０の汚染度が予め設定された汚染度上限値である場合、これに対する信号をロール・ツー・ロール駆動部１５０に伝達する。

【0047】

ロール・ツー・ロール駆動部１５０は汚染度確認手段から信号が入力される場合、ワインダー１３１およびリワインダー１３２を駆動させて現在装着開口ブロック１８０の貫通孔１８１に対応された透明フィルム１４０の一部長さが貫通孔１８１から離隔されるように透明フィルム１４０を所定長さだけ、例えば、テンションローラー１６０に支持される透明フィルム１４０の長さ以上の長さをワインダー１３１方向に巻く。それによって、汚染された透明フィルム１４０の一部長さは貫通孔１８１から離隔された後、汚染されない透明フィルム１４０の所定長さが貫通孔１８１に対応する。

【0048】

このような透明フィルム１４０のロール・ツー・ロール駆動による透明フィルム１４０の区間交替過程でも汚染度確認手段は持続して透明フィルム１４０の汚染度を測定する。

【0049】

このような本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウは、プラズマチャンバ１０上に直接視界窓１２０が設置されず、ハウジング１１０を通じて別途の視界窓１２０の設置空間が提供されるので、プラズマ光を受光する視界窓１２０がプラズマチャンバ１０から遠距離に離隔される。

【0050】

また、ハウジング１１０の内部には第１チャンバ１１３および第２チャンバ１１４を通じて収容され、ワインダー１３１およびリワインダー１３２を通じてロール・ツー・ロールされる透明フィルム１４０が備えられ、その透明フィルム１４０はプラズマチャンバ１０のプラズマ光が露出される開口１１に対応する装着開口１１１の内側をカバーするので、透明フィルム１４０を通じてプラズマチャンバ１０の開口１１からプラズマ光とともに露出されるキャリアガスおよび工程ガスがハウジング１１０内に流入されることが遮断され、それによって視界窓１２０は前記ガスからの汚染が防止される。

【0051】

また、透明フィルム１４０はプラズマチャンバ１０の開口１１から露出されるガスによって汚染されるが、透明フィルム１４０はロール・ツー・ロール構造で備えられるので、プラズマチャンバ１０の開口１１に対応する一部区間が汚染度確認手段によって測定される汚染度上限値まで汚染されると、汚染されない他の区間を新しくプラズマチャンバ１０の開口１１に対向するように位置させることができ、それによってプラズマ光が透過される透明フィルム１４０を常に清潔な状態または汚染度の少ない状態で取り替えおよび保持させることができるので、透明フィルム１４０を透過して視界窓１２０に進行されるプラズマ光の強度が低下されることなく視界窓１２０に受光されることができ、したがってプラズマ光を通じたプラズマの状態を正確に診断することができる。

【0052】

また、ハウジング１１０とプラズマチャンバ１０の開口１１との間には装着開口側壁１７０および装着開口側壁１７０内に備えられ、プラズマチャンバ１０の開口１１に対応する貫通孔１８１を有する装着開口ブロック１８０が備えられるので、プラズマチャンバ１０の開口１１から露出されて視界窓１２０を向けて進行するプラズマ光が直径の小さい貫通孔１８１を通過しながら直進性が向上されることができ、それによってプラズマ光がプラズマチャンバ１０から遠く位置した視界窓１２０まで容易に進行されてプラズマ光が損失されることなく視界窓１２０に受光されることができ、これはプラズマの状態の正確な診断效率を増大させることができる。

【0053】

したがって、本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウを利用すれば、プラズマ状態診断のためにプラズマ光を受光する視界窓１２０の汚染を遮断することができ、常にプラズマ光の強度が低下することなくプラズマ光を受光してプラズマの状態診断が正確に行われることができるようにするという利点がある。

【0054】

一方、このような本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウはプラズマ装置に利用可能であり、したがって、このようなプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウが設置されたプラズマ装置を具現することができ、そのプラズマ装置は本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウによる效果を奏して、半導体基板などのプラズマ処理およびプラズマ状態の正確な診断が可能になる。

【0055】

提示された実施例に対する説明は任意の本発明の技術分野において通常の知識を有する者が本発明を利用したり、実施することができるように提供される。このような実施例に対する多様な変形は本発明の技術分野において通常の知識を有する者にとって明白であり、ここで定義された一般的な原理は本発明の範囲を逸脱することなく他の実施例に適用されることができる。そこで、本発明はここで提示された実施例に限定されるのではなく、ここで提示された原理および新規特徴と一貫する最広義の範囲で解釈されるべきである。

【図1】