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特許 7162940出願番号 特願 2021-570250
プラズマＯＥＳ診断用ウィンドウおよびこれを利用したプラズマ装置
出願人 コリア インスティテュート オブ フュージョン エナジー（識別番号 521036654）
2026年 特許公開件数ランキング 1739位 10件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 3093位 4件（※）
公報発行日 2022年10月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7162940 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
プラズマＯＥＳ診断用ウィンドウに関し、より詳しくは、プラズマ診断が正確に行われることができるようにプラズマ光を受光するプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウ
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
したがって、本発明が解決しようとする課題は、プラズマ光を受光する視界窓の汚染を防止し、常にプラズマ光の強度が低下することなくプラズマ光を受光してプラズマの状態診断が正確に行われることができるようにしたプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウおよびプラズマ装置を提供することにある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウは、両側に第１チャンバおよび第２チャンバを含むハウジングと、前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間の前記ハウジングの一面に形成され、プラズマチャンバからのプラズマの光が露出される開口に対向する装着開口と、前記装着開口の反対側の前記ハウジングの他面に形成され、前記装着開口と同軸を成して前記プラズマの光が透過され、ＯＥＳ装置の受光部と連結され・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウを利用すれば、プラズマ状態診断のためにプラズマ光を受光する視界窓の汚染を遮断することができ、常にプラズマ光の強度が低下することなくプラズマ光を受光してプラズマの状態診断が正確に行われることができるようにするという利点がある。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一実施例によるプラズマＯＥＳ診断用ウィンドウの構成を示した断面図である。
代表図 図1本件の代表的な図
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