(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-24
(45)【発行日】2022-11-01
(54)【発明の名称】基板処理装置およびフィルタの気泡抜き方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/027 20060101AFI20221025BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20221025BHJP
【ＦＩ】
H01L21/30 564C
H01L21/304 648F
H01L21/304 648K
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2018241250
(22)【出願日】2018-12-25
(65)【公開番号】P2020102585
(43)【公開日】2020-07-02
【審査請求日】2021-06-18
(73)【特許権者】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100093056
【弁理士】
【氏名又は名称】杉谷 勉
(74)【代理人】
【識別番号】100142930
【弁理士】
【氏名又は名称】戸高 弘幸
(74)【代理人】
【識別番号】100175020
【弁理士】
【氏名又は名称】杉谷 知彦
(74)【代理人】
【識別番号】100180596
【弁理士】
【氏名又は名称】栗原 要
(74)【代理人】
【識別番号】100195349
【弁理士】
【氏名又は名称】青野 信喜
(72)【発明者】
【氏名】和食 雄大
(72)【発明者】
【氏名】柏山 真人
【審査官】今井 彰
(56)【参考文献】
【文献】特開２００３－３４７２０５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２８２９０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－０７７０１５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－２２９５０１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－１９０８６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１３５５３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０７７６４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２２０３１８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／０２７、２１／３０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
前記フィルタと前記トラップタンクとを接続し、前記フィルタから前記トラップタンクに処理液を戻すように構成された戻り配管と、
前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、
予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記トラップタンクに向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
請求項１に記載の基板処理装置において、前記トラップタンクの上部に接続し、処理液を排出できるベント配管と、
前記ベント配管に設けられたベント開閉弁と、を更に備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開き、かつ前記ベント開閉弁を閉じながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、
前記制御部は、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することを特徴とする基板処理装置。
【請求項3】
請求項２に記載の基板処理装置において、前記トラップタンク内または前記ベント配管内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する気泡検出センサを更に備え、
前記制御部は、前記気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出したとき、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することを特徴とする基板処理装置。
【請求項4】
請求項３に記載の基板処理装置において、前記気泡検出センサは、前記トラップタンク内に予め設定された量の気泡が存在することを検出するトラップタンクセンサと、前記処理液容器と前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、設置位置における前記送り配管内の処理液の有無を検出する処理液容器センサとを備え、
前記制御部は、前記トラップタンクセンサが予め設定された量の気泡の存在を検出し、かつ、前記処理液容器センサが処理液有りと検出したとき、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することを特徴とする基板処理装置。
【請求項5】
基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
前記トラップタンクと前記ポンプの間でかつ前記トラップタンクと前記フィルタの間における前記送り配管に設けられた合流管と、
前記フィルタと前記合流管とを接続し、前記フィルタから前記合流管に処理液を戻すように構成された戻り配管と、
前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、
予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記合流管に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことを特徴とする基板処理装置。
【請求項6】
請求項５に記載の基板処理装置において、前記送り配管は、共通管と、前記共通管から分岐した第１枝配管および第２枝配管とを備え、
前記共通管は、前記処理液容器と接続し、
前記共通管には、前記トラップタンクが設けられ、
前記第１枝配管は、前記ノズルと接続し、
前記第１枝配管には、前記合流管、前記ポンプおよび前記フィルタが設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項7】
基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
前記フィルタと前記処理液容器とを接続し、前記フィルタから前記処理液容器に処理液を戻すように構成された戻り配管と、
前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、
予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記処理液容器に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項8】
請求項１から７のいずれかに記載の基板処理装置において、前記戻り配管から分岐するように設けられ、処理液を排出できる戻り側ベント配管と、
前記戻り開閉弁を含む切換弁であって、少なくとも排出動作および戻し動作のいずれかを選択する前記切換弁と、を備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出し、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記戻し動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通さずに前記戻り配管を通じて前記フィルタからの処理液を戻すことを特徴とする基板処理装置。
【請求項9】
請求項８に記載の基板処理装置において、前記戻り開閉弁と前記フィルタの間の前記戻り配管、または前記戻り側ベント配管に設けられ、前記戻り配管内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する戻り側気泡検出センサを更に備え、
前記制御部は、前記戻り側気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出したときは、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出することを特徴とする基板処理装置。
【請求項10】
請求項８または９に記載の基板処理装置において、前記制御部は、前記定期戻し動作の際の予め設定された初期期間において、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出し、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際の前記初期期間以外の残りの期間において、前記切換弁で前記戻し動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通さずに前記戻り配管を通じて前記フィルタからの処理液を戻すことを特徴とする基板処理装置。
【請求項11】
基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、
予め設定された時間間隔で、前記フィルタと前記トラップタンクとを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記トラップタンクに向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、
前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、
を備え、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするフィルタの気泡抜き方法。
【請求項12】
基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、
予め設定された時間間隔で、前記トラップタンクと前記ポンプの間でかつ前記トラップタンクと前記フィルタの間における前記送り配管に設けられた合流管と前記フィルタとを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記合流管に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、
前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、
を備えていることを特徴とするフィルタの気泡抜き方法。
【請求項13】
基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、
予め設定された時間間隔で、前記フィルタと前記処理液容器とを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記処理液容器に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、
前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、
を備え、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするフィルタの気泡抜き方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板を処理する基板処理装置およびフィルタの気泡抜き方法に関する。なお、基板は、例えば、半導体基板、液晶表示装置や有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用の基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板が挙げられる。
【背景技術】
【0002】
基板処理装置（例えばコータデベロッパ）は、基板を保持し、保持された基板を回転する保持回転部と、ノズルを含むレジスト配管系統とを備えている（例えば、特許文献１参照）。基板処理装置は、処理液であるレジスト液をノズルから基板上に吐出し、基板を回転させる。これにより、基板上のレジスト液が広げられて、基板上にレジスト液が塗布される。
【0003】
レジスト液は、空気または窒素（Ｎ２）ガスなどの溶存成分を含んでいる。その空気または窒素ガスなどの溶存成分は、例えば液圧によって気泡となる。気泡を含むレジスト液がフィルタを通過すると、フィルタによってレジスト液中の気泡がトラップされる。トラップされた気泡は、フィルタから取り除くためにレジスト液と一緒に供給経路から排出される。この排出動作は、フィルタの気泡抜き動作（またはエア抜き動作）と呼ばれている。気泡抜き動作は、多くのレジスト液を消費する。レジスト液は、非常に高価な液である。
【0004】
特許文献１には、次のような基板処理装置が開示されている。処理液ボトルとノズルの間を接続する配管には、処理液ボトル側から順番に、トラップタンク、第２トラップタンク、ポンプ、フィルタが設けられている。フィルタは、フィルタ本体、流入部、および２つの流出部を備えている。第１流出部は、フィルタ本体を通過した処理液をノズル側に流出させる。第２流出部は、フィルタ本体を通過していない処理液を流出させる。フィルタの第２流出部と第２トラップタンクとは戻り配管により接続される。また、第２トラップタンクには、上限、下限の液面を検出する２つの液面センサ、および排出配管が設けられている。
【0005】
基板処理装置は、戻り配管を通じて、フィルタの第２流出部から第２トラップタンクに気泡を含む処理液を戻す。第２トラップタンクに気泡を含む処理液が戻されることにより、第２トラップタンク内の処理液の液面が下がる。処理液の液面を下限液面センサが検出すると、上限液面センサが液面を検出するまで、第２トラップタンクに設けられた排出配管から気体を排出しながら、処理液ボトルに窒素ガスを供給してトラップタンク側から第２トラップタンクに処理液を供給する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１３－０７７６４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかしながら、従来の基板処理装置は次のような問題がある。レジスト液中の気泡は、パーティクル源となったり、通液時に圧力を不安定にしたり、また、吐出量を不安定にしたりする。そのため、フィルタの気泡抜き動作は、定期的に行う必要がある。気泡が排出されると、同時に、気泡の何倍ものレジスト液も排出される。そのため、レジスト液（処理液）の排出量を削減することが望まれている。
【0008】
また、特許文献１の装置は、追加のトラップタンクを備えている。追加のトラップタンクは、気泡を検知し、レジスト液（処理液）の排出量を削減することができる。しかしながら、近年は、レジスト液の消費量と共に、パーティクルの削減が重要な課題であるが、追加のトラップタンクは、パーティクル源となるリスクがある。
【0009】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、処理液の消費量を削減することができると共に、パーティクルの発生を抑えることができる基板処理装置およびフィルタの気泡抜き方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、本発明に係る基板処理装置は、基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、前記フィルタと前記トラップタンクとを接続し、前記フィルタから前記トラップタンクに処理液を戻すように構成された戻り配管と、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記トラップタンクに向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするものである。
【0011】
本発明に係る基板処理装置によれば、フィルタからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、処理液容器の残量を検出するための既存のトラップタンクに戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本発明は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液をトラップタンクに戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
【0012】
また、上述の基板処理装置は、前記トラップタンクの上部に接続し、処理液を排出できるベント配管と、前記ベント配管に設けられたベント開閉弁と、を更に備え、前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開き、かつ前記ベント開閉弁を閉じながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、前記制御部は、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することが好ましい。
【0013】
予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作は、フィルタからトラップタンクに気泡を含む処理液を戻す。戻された気泡は、トラップタンクの上部に接続されたベント配管から排出することができる。
【0014】
また、上述の基板処理装置は、前記トラップタンク内または前記ベント配管内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する気泡検出センサを更に備え、前記制御部は、前記気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出したとき、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することが好ましい。
【0015】
気泡検出センサが予め設定された量の気泡を検出すると、処理液送り出しユニットによる処理液の送り出しにより、気泡を含む処理液を排出する。予め設定された量の気泡が検出されたときだけ処理液を排出するので、処理液の消費量を低減することができる。
【0016】
また、上述の基板処理装置の一例は、前記気泡検出センサは、前記トラップタンク内に予め設定された量の気泡が存在することを検出するトラップタンクセンサと、前記処理液ボトルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、設置位置における前記送り配管内の処理液の有無を検出する容器センサとを備え、前記制御部は、前記トラップタンクセンサが予め設定された量の気泡の存在を検出し、かつ、前記ボトルセンサが処理液有りと検出したとき、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することである。
【0017】
トラップタンクセンサは、トラップタンク内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する。処理液容器センサは、処理液容器とトラップタンクの間における送り配管内の処理液の有無を検出する。トラップタンクセンサが予め設定された量の気泡の存在を検出し、かつ処理液容器センサが処理液有りと検出したときに、気泡排出動作を行う。処理液容器センサが処理液なしと検出したときは、処理液が送れず気体を送っていることを示す。すなわち、処理液なしは、処理液容器が空であることを示す。この状態で気泡排出動作を行うと、ベント配管に主に気体が排出されることになる。この場合、気泡排出動作を有効に行うことができない。本発明により、処理液容器に処理液があることを確認しつつ気泡排出動作を行うことができる。
【0018】
また、本発明に係る基板処理装置は、基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、前記トラップタンクと前記ポンプの間でかつ前記トラップタンクと前記フィルタの間における前記送り配管に設けられた合流管と、前記フィルタと前記合流管とを接続し、前記フィルタから前記合流管に処理液を戻すように構成された戻り配管と、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記合流管に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことを特徴とするものである。
【0019】
本発明に係る基板処理装置によれば、フィルタからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、送り配管に設けられた合流管、すなわち送り配管に戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本発明は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのためパーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液を送り配管に戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
【0020】
また、上述の基板処理装置は、前記送り配管は、共通管と、前記共通管から分岐した第１枝配管および第２枝配管とを備え、前記共通管は、前記処理液容器と接続し、前記共通管には、前記トラップタンクが設けられ、前記第１枝配管は、前記ノズルと接続し、前記第１枝配管には、前記合流管、前記ポンプおよび前記フィルタが設けられていることが好ましい。
【0021】
合流管は共通管から分岐した第１枝配管に設けられているので、上流ポンプの近くに戻すことができる。
【0022】
また、本発明に係る基板処理装置は、基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、前記フィルタと前記処理液容器とを接続し、前記フィルタから前記処理液容器に処理液を戻すように構成された戻り配管と、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記処理液容器に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするものである。
【0023】
本発明に係る基板処理装置によれば、フィルタからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、処理液ボトルに戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本発明は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液を処理液ボトルに戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
【0024】
また、上述の基板処理装置は、前記戻り配管から分岐するように設けられ、処理液を排出できる戻り側ベント配管と、前記戻り開閉弁を含む切換弁であって、少なくとも排出動作および戻し動作のいずれかを選択する前記切換弁と、を備え、前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出し、前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記戻し動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通さずに前記戻り配管を通じて前記フィルタからの処理液を戻すことが好ましい。
【0025】
予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作において、切換弁は、少なくとも戻し動作および排出動作のいずれかを選択することができる。
【0026】
また、上述の基板処理装置は、前記戻り開閉弁と前記フィルタの間の前記戻り配管、または前記戻り側ベント配管に設けられ、前記戻り配管内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する戻り側気泡検出センサを更に備え、前記制御部は、前記戻り側気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出したときは、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出することが好ましい。
【0027】
予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作において、切換弁は、気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出していないときは、処理液を戻すことができる。また、切換弁は、気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出したときは、処理液を排出することができる。必要なときだけ気泡を含む処理液を排出するので、パーティクル源である気泡を排出すると共に、処理液の消費量を削減することができる。
【0028】
また、上述の基板処理装置において、前記制御部は、前記定期戻し動作の際の予め設定された初期期間において、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出し、前記制御部は、前記定期戻し動作の際の前記初期期間以外の残りの期間において、前記切換弁で前記戻し動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通さずに前記戻り配管を通じて前記フィルタからの処理液を戻すことが好ましい。
【0029】
予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作において、切換弁は、初期期間に処理液を排出し、初期期間以外の残りの期間に処理液を戻すことができる。フィルタは、気泡と共に異物を取り除く。初期期間に、戻り側ベント配管を通じて主に異物を排出する（捨てる）ことができる。
【0031】
また、本発明に係るフィルタの気泡抜き方法は、基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、予め設定された時間間隔で、前記フィルタと前記トラップタンクとを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記トラップタンクに向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、を備え、前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするものである。
【0032】
本発明に係る基板処理装置によれば、フィルタからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、処理液容器の残量を検出するための既存のトラップタンクに戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本発明は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液をトラップタンクに戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
【0033】
また、本発明に係るフィルタの気泡抜き方法は、基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、予め設定された時間間隔で、前記トラップタンクと前記ポンプの間でかつ前記トラップタンクと前記フィルタの間における前記送り配管に設けられた合流管と前記フィルタとを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記合流管に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、を備えていることを特徴とするものである。
【0034】
本発明に係る基板処理装置によれば、フィルタからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、送り配管に設けられた合流管、すなわち送り配管に戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本発明は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液を送り配管に戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
【0035】
また、本発明に係るフィルタの気泡抜き方法は、基板に対して処理液を吐出するノズルと、処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、予め設定された時間間隔で、前記フィルタと前記処理液容器とを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記処理液容器に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、を備え、前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするものである。
【0036】
本発明に係る基板処理装置によれば、フィルタからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、処理液容器に戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本発明は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液を処理液容器に戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
【発明の効果】
【0037】
本発明に係る基板処理装置およびフィルタの気泡抜き方法によれば、処理液の消費量を削減することができると共に、パーティクルの発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図2】フィルタの概略構成図である。
【図3】基板処理装置の制御に係る構成を示す図である。
【図4】（ａ）、（ｂ）は、トラップタンク内を処理液で満たす動作を説明するための図である。
【図5】実施例１にかかる、フィルタの気泡抜き動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図6】（ａ）は、フィルタの定期戻し動作を説明するための図であり、（ｂ）は、気泡排出動作を説明するための図である。
【図7】（ａ）、（ｂ）は、上側液面センサの検出動作を説明するための図である。
【図8】実施例２に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図9】実施例２にかかる、フィルタの気泡抜き動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図10】実施例３にかかる、フィルタの気泡抜き動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図11】実施例４に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図12】実施例５に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図13】実施例５の変形例に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図14】（ａ）、（ｂ）は、気泡センサの検出動作を説明するための図である。
【図15】変形例に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図16】変形例に係る液面センサを示す図である。
【図17】変形例に係るフィルタの定期戻し動作を説明するための図である。
【図18】変形例に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図19】変形例に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【実施例1】
【0039】
以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【0040】
図１を参照する。基板処理装置１は、２つの保持回転部２Ａ，２Ｂ、２つのノズル３Ａ，３Ｂ、送り配管４、処理液ボトル５、トラップタンク７、２つの上流ポンプ８Ａ，８Ｂ、２つのフィルタ９Ａ，９Ｂ、および２つの下流ポンプ１０Ａ，１０Ｂを備えている。
【0041】
保持回転部２Ａは、略水平姿勢で基板Ｗを保持して、保持した基板Ｗを回転させるものである。保持回転部２Ａは、例えば真空吸着により基板Ｗの裏面を保持するスピンチャック１３と、鉛直方向の回転軸ＡＸ周りにスピンチャック１３を回転させる回転駆動部１４とを備えている。回転駆動部１４は、電動モータを備えている。
【0042】
ノズル３Ａは、保持回転部２Ａで保持された基板Ｗに対して処理液を吐出する。処理液は、例えば、フォトレジスト液などのレジスト液、反射防止膜形成用の塗布液、レジストカバー膜形成用の塗布液、溶剤（例えばシンナー）、リンス液（例えばＤＩＷ）、現像液、またはエッチング液が用いられる。
【0043】
ノズル３Ａには、送り配管４の一端が接続されており、送り配管４の他端は、処理液ボトル５内に挿入されている。処理液ボトル５には、処理液が貯留されている。処理液ボトル５からの処理液は、送り配管４を通じてノズル３Ａに送られる。
【0044】
気体供給部１６は、気体（例えば窒素などの不活性ガス）を供給することができるように構成されている。これにより、処理液ボトル５に貯留される処理液を送り配管４を通じてトラップタンク７の方向に押し出すことができる。なお、気体供給部１６および処理液ボトル５は、本発明の処理液送り出しユニットに相当する。処理液ボトル５は、本発明の処理液容器に相当する。
【0045】
気体供給部１６は、気体供給源１８、３つの気体配管２０，２１，２２、三方弁Ｖ１を備えている。気体供給源１８は、例えば、装置１の外部に設けられた工場供給配管や耐圧容器（ボンベ）である。三方弁Ｖ１は、２つの気体配管２０，２１の間に設けられている。気体配管２２は、三方弁Ｖ１を介して気体配管２０に接続する。気体配管２０の一端は、処理液容器５に接続する。気体配管２１の一端は、気体供給源１８に接続する。また、気体配管２２の一端は、大気に開放されている。
【0046】
三方弁Ｖ１は、気体配管２０を気体配管２１または気体配管２２に選択的に接続させる。具体的には、三方弁Ｖ１は、通常、気体配管２０と気体配管２２とが接続するように構成されている。これにより、処理液ボトル５は、気体配管２０，２２を通じて大気に開放される。そして、ソレノイドなどによって三方弁Ｖ１を操作することにより、三方弁Ｖ１は、気体配管２０と気体配管２１とが接続される。これにより、気体供給源１８から処理液容器５に気体が送られる。
【0047】
送り配管４は、共通管２４と、分岐管２６と、共通管２４から分岐した２つの枝配管２７Ａ，２７Ｂとを備えている。共通管２４は、処理液ボトル５と分岐管２６とを接続する。共通管２４には、トラップタンク７が設けられている。第１枝配管２７Ａは、分岐管２６とノズル３Ａとを接続する。第１枝配管２７Ａには、トラップタンク７側から順番に、上流ポンプ８Ａ、フィルタ９Ａ、下流ポンプ１０Ａが設けられている。第２枝配管２７Ｂは、分岐管２６とノズル３Ｂとを接続する。第２枝配管２７Ｂには、トラップタンク７側から順番に、上流ポンプ８Ｂ、フィルタ９Ｂ、下流ポンプ１０Ｂが設けられている。
【0048】
トラップタンク７は、処理液を溜めることが可能でかつ処理液ボトル５の残量を検出するように構成されている。トラップタンク７は、処理液を溜める貯留部３０と、貯留部３０の下側（底側）に設けられた下側液面センサ３２と、貯留部３０の上側に設けられた上側液面センサ３４とを備えている。２つの液面センサ３２，３４は各々、トラップタンク７内の所定の高さの液面を検出する。上側液面センサ３４は、後述する戻り配管５１（共通戻り配管５７）から戻された処理液に含まれる気泡を検出するために用いられる。また、共通管２４には、ボトルセンサ３５が設けられている。ボトルセンサ３５は、共通管２４内の処理液の有無を検出する。３つの液面センサ３２，３４，３５は各々、例えば光学式センサが用いられるが、例えば静電容量式や超音波式の非接触センサであってもよい。
【0049】
ボトルセンサ３５が共通管２４内に気体領域（処理液なし）を検出し、上側液面センサ３４が気体領域（液面が下がったこと）を検出したときは、後述する制御部５９は、処理液ボトル５が空になったと判定する。この場合、制御部５９は、ボトル交換を操作者に報知する。また、ボトルセンサ３５が気体領域を検出せず（処理液有り）、上側液面センサ３４が気体領域（液面が下がったこと）を検出したときは、制御部５９は、トラップタンク７内に戻された処理液に含まれる気泡によって液面が下がったものと判定する。この場合、制御部５９は、気泡排出動作を行う。
【0050】
例えばノズル３Ａからの処理液の吐出動作により、処理液ボトル５中の処理液が徐々に減る。その後、処理液ボトル５に処理液が無くなると、処理液ボトル５内の気体がトラップタンク７に送られる。処理液ボトル５内の気体は、気体配管２０，２２を通じて処理液ボトル５内に送られた気体である。このとき、ボトルセンサ３５は、気体領域を検出する。トラップタンク７内に気体が送られると、トラップタンク７内の処理液の液面が下がる。トラップタンク７内の液面が下がって上側液面センサ３４が液面を検出すると、制御部５９は、ボトルセンサ３５が気体領域を検出している検出結果も考慮し、処理液ボトル５の交換のタイミングであることを操作者に報知するように制御する。また、トラップタンク７内の液面が更に下がって下側液面センサ３２が液面を検出すると、制御部５９は、ノズル３からの処理液の吐出を停止するように制御する。
【0051】
なお、上側液面センサ３４は、本発明のトラップタンクセンサに相当する。ボトルセンサ３５は、本発明の処理液容器センサに相当する。上側液面センサ３４およびボトルセンサ３５は、本発明の気泡検出センサに相当する。
【0052】
トラップタンク７は、２つの流入部（流入口）３６Ａ，３６Ｂと、２つの流出部（流出口）３６Ｃ，３６Ｄとを備えている。第１流入部３６Ａには、送り配管４（共通管２４）が接続され、処理液ボトル５からの処理液が流入する。第２流入部３６Ｂは、後述する戻り配管５１が接続され、フィルタ９Ａ，９Ｂからの処理液が流入する。
【0053】
第１流出部３６Ｃは、トラップタンク７の下部、具体的には、貯留部３０の底部に設けられている。第１流出部３６Ｃには、送り配管４が接続されている。第１流出部３６Ｃは、ノズル３Ａ，３Ｂの方向に処理液を流出させるものである。第２流出部３６Ｄは、トラップタンク７の上部、具体的には、貯留部３０の天井部に設けられている。第２流出部３６Ｄには、ベント配管３８が接続されている。第２流出部３６Ｄは、ベント配管３８を通じて処理液を排出するものである。
【0054】
ベント配管３８は、トラップタンク７の上部の第２流出部３６Ｄに接続し、基板処理装置１の外部（例えば処理液回収用タンク）に処理液を排出できるように構成されている。ベント配管３８には、ベント開閉弁Ｖ２が設けられている。また、ベント配管３８は、第２流出部３６Ｄから上方に延びており、第２流出部３６Ｄからの気泡がベント配管３８の管内でベント開閉弁Ｖ２側（上方）に行きやすいようになっている。
【0055】
なお、流入部３６Ｂは、流入部３６Ａよりも高い位置に設けられる。この点、流入部３６Ｂは、流入部３６Ａと同じ高さに設けられてもよく、流入部３６Ｂは、流入部３６Ａよりも低い位置に設けられてもよい。
【0056】
上流ポンプ８Ａは、フィルタ９Ａの上流に設けられている。具体的には、上流ポンプ８Ａは、トラップタンク７とフィルタ９Ａの間の第１枝配管２７Ａに設けられている。また、下流ポンプ１０Ａは、フィルタ９Ａの下流に設けられている。具体的には、下流ポンプ１０Ａは、フィルタ９Ａとノズル３Ａの間の第１枝配管２７Ａに設けられている。上流ポンプ８Ａおよび下流ポンプ１０Ａは、例えば電動モータで駆動される。
【0057】
上流ポンプ８Ａと下流ポンプ１０Ａの間には、ポンプ側戻り配管４１Ａが接続されている。ポンプ側戻り配管４１Ａは、下流ポンプ１０Ａ内の処理液を上流ポンプ８Ａに戻すため配管である。
【0058】
図２は、フィルタ９Ａ（９Ｂ）の概略構成図である。フィルタ９Ａは、フィルタ本体４３、１つの流入部４５Ａ、２つの流出部４５Ｂ，４５Ｃ、ろ過前流路４７、およびろ過後流路４９を備えている。フィルタ本体４３は、処理液を通過させて処理液をろ過するものである。フィルタ本体４３は、例えば中空円筒状に形成されている。ろ過前流路４７は、フィルタ本体４３の周囲および下部に設けられている。ろ過後流路４９は、フィルタ本体４３の内側に設けられている。流入部４５Ａから流入した処理液は、ろ過前流路４７、フィルタ本体４３、ろ過後流路４９の順番に流れて、流出部４５Ｂからノズル３Ａ側に送り出される。処理液がフィルタ本体４３を通過すると、処理液中に含まれる例えば気泡や異物（ゴミ）が取り除かれる。取り除かれた気泡や異物は、ろ過前流路４７に残される。
【0059】
ろ過前流路４７には、図１、図２に示すように、戻り配管５１が接続されている。戻り配管５１は、フィルタ９Ａとトラップタンク７を接続し、フィルタ本体４３を通過する前の処理液をトラップタンク７に戻すように構成されている。戻り配管５１は、２つの戻り枝配管５３Ａ，５３Ｂ、合流管５５、および共通戻り配管５７を備えている。
【0060】
第１戻り枝配管５３Ａは、フィルタ９Ａと合流管５５とを接続する。第２戻り枝配管５３Ｂは、フィルタ９Ｂと合流管５５とを接続する。共通戻り配管５７は、合流管５５とトラップタンク７の第２流入部３６Ｂとを接続する。
【0061】
基板処理装置１は、６つの開閉弁Ｖ１１Ａ～開閉弁Ｖ１６Ａと、６つの開閉弁Ｖ１１Ｂ～Ｖ１６Ｂとを備えている。開閉弁Ｖ１１Ａは、分岐管２６と上流ポンプ８Ａの間の第１枝配管２７Ａに設けられている。また、開閉弁Ｖ１１Ａは、上流ポンプ８Ａの近くに設けられている。開閉弁Ｖ１２Ａは、上流ポンプ８Ａとフィルタ９Ａの間の第１枝配管２７Ａに設けられている。開閉弁Ｖ１３Ａは、フィルタ９Ａと下流ポンプ１０Ａの間の第１枝配管２７Ａに設けられている。開閉弁Ｖ１４Ａは、下流ポンプ１０Ａとノズル３Ａの間の第１枝配管２７Ａに設けられている。
【0062】
開閉弁Ｖ１５Ａは、下流ポンプ１０Ａと上流ポンプ８Ａの間のポンプ側戻り配管４１Ａに設けられている。開閉弁Ｖ１６Ａは、フィルタ９Ａの第２流出部４５Ｃと、合流管５５との間の第１戻り枝配管５３Ａに設けられている。開閉弁Ｖ１６Ａは、合流管５５よりもフィルタ９Ａの近くに設けられている。なお、開閉弁Ｖ１６Ａ（Ｖ１６Ｂ）は、本発明の戻り開閉弁に相当する。
【0063】
図３は、基板処理装置１の制御に係る構成を示す図である。基板処理装置１は、１つまたは複数の制御部５９と、操作部６０とを備えている。制御部５９は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）を備えている。制御部５９は、基板処理装置１の各構成を制御する。操作部６０は、表示部（例えば液晶モニタ）、記憶部および入力部を備えている。記憶部は、例えば、ＲＯＭ（Read-Only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、およびハードディスクの少なくとも１つを備えている。入力部は、キーボード、マウス、タッチパネルおよび各種ボタンの少なくとも１つを備えている。記憶部には、基板処理の各種条件および基板処理装置１の制御に必要な動作プログラム等が記憶されている。
【0064】
なお、第１吐出ユニット６２は、ノズル３Ａ、第１枝配管２７Ａ、上流ポンプ８Ａ、フィルタ９Ａ、下流ポンプ１０Ａ、ポンプ側戻り配管４１Ａ、第１戻り枝配管５３Ａ、および開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１６Ａを備えている。第２吐出ユニット６３は、ノズル３Ｂ、第２枝配管２７Ｂ、上流ポンプ８Ｂ、フィルタ９Ｂ、下流ポンプ１０Ｂ、ポンプ側戻り配管４１Ｂ、第２戻り枝配管５３Ｂ、および開閉弁Ｖ１１Ｂ～Ｖ１６Ｂを備えている。なお、第２吐出ユニット６３は、第１吐出ユニット６２と同様に構成され、第１吐出ユニット６２と同様に動作される。
【0065】
＜基板処理装置１の動作＞
次に基板処理装置１の動作について説明する。まず、基板処理装置１による処理液の吐出動作について説明する。
次に基板処理装置１の動作について説明する。まず、基板処理装置１による処理液の吐出動作について説明する。
【0066】
〔基板処理装置１による処理液の吐出動作〕
図１の左側に示す三方弁Ｖ１は、気体配管２０と気体配管２２を接続させている。そのため、処理液ボトル５には、気体供給源１８からの気体（例えば窒素）は供給されていない。
図１の左側に示す三方弁Ｖ１は、気体配管２０と気体配管２２を接続させている。そのため、処理液ボトル５には、気体供給源１８からの気体（例えば窒素）は供給されていない。
【0067】
図４（ａ）を参照する。トラップタンク７は、ベント開閉弁Ｖ２まで処理液で満たされるように気泡を含む気体が抜かれた状態にする。トラップタンク７内に気体が溜まると、気体と処理液とが接触した部分が乾燥してゲル化や固化し、それが異物となる。また、気体部分において薄膜を有する気泡が存在すると、気泡の薄膜（処理液の薄膜）は、速く乾燥し、更に異物化しやすくなる。
【0068】
そのため、図４（ｂ）のように、トラップタンク７内の液面が下がっている場合は、まず、ベント開閉弁Ｖ２を開く。そして、三方弁Ｖ１の操作により、処理液ボトル５に気体を供給して処理液ボトル５からトラップタンク７に向けて処理液を送り出す。これにより、トラップタンク７内の液面が上昇し、更に、ベント配管３８内においても液面が上昇し、ベント開閉弁Ｖ２まで処理液が満たされると、ベント開閉弁Ｖ２を閉じると共に、処理液ボトル５への気体供給を停止して、処理液ボトル５からの処理液の送り出しを停止する。これにより、図４（ａ）に示す状態になる。
【0069】
図１を参照する。保持回転部２Ａ上には、図示しない搬送ロボットにより基板Ｗが搬送される。スピンチャック１３は、基板Ｗの裏面を真空吸着によって保持する。そして、基板Ｗの上方に配置されたノズル３Ａから処理液を吐出する。処理液を吐出する際または処理液を吐出する前後で、回転駆動部１４は、スピンチャック１３に保持された基板Ｗを回転させる。
【0070】
ここで上流ポンプ８Ａおよび下流ポンプ１０Ａの動作について説明する。なお、ステップＳ０１～Ｓ０５において、気体供給源１８からの処理液ボトル５への気体の供給は、停止した状態である。制御部５９は、開閉弁Ｖ１６Ａおよびベント開閉弁Ｖ２を閉じながら、上流ポンプ８Ａおよび下流ポンプ１０Ａによって処理液を送り出す。これにより、フィルタ本体４３を通過した処理液をノズル３Ａに送る。
【0071】
〔ステップＳ０１〕準備完了（Ready）
現在、上流ポンプ８Ａ内の貯留部（チャンバ）に所定の処理液が存在し、また、下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に所定の処理液が存在している状態であるとする。このとき、開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１６Ａは閉じている。
現在、上流ポンプ８Ａ内の貯留部（チャンバ）に所定の処理液が存在し、また、下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に所定の処理液が存在している状態であるとする。このとき、開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１６Ａは閉じている。
【0072】
〔ステップＳ０２〕吐出
下流ポンプ１０Ａから処理液を送り出し、ノズル３Ａから処理液を吐出する。具体的には、下流ポンプ１０Ａは、ダイアフラムの移動により下流ポンプ１０Ａ内の貯留部の容積を小さくする。この際、開閉弁Ｖ１４Ａは開かれ、その他の開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１３Ａ、Ｖ１５Ａ、Ｖ１６Ａは閉じられる。これにより、下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に存在する処理液がノズル３Ａ方向に送り出され、ノズル３Ａから処理液が吐出される。
下流ポンプ１０Ａから処理液を送り出し、ノズル３Ａから処理液を吐出する。具体的には、下流ポンプ１０Ａは、ダイアフラムの移動により下流ポンプ１０Ａ内の貯留部の容積を小さくする。この際、開閉弁Ｖ１４Ａは開かれ、その他の開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１３Ａ、Ｖ１５Ａ、Ｖ１６Ａは閉じられる。これにより、下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に存在する処理液がノズル３Ａ方向に送り出され、ノズル３Ａから処理液が吐出される。
【0073】
〔ステップＳ０３〕濾過
上流ポンプ８Ａ内の貯留部には、所定の処理液が存在したままである。この処理液を、フィルタ９Ａを通じて下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に送り出す。すなわち、上流ポンプ８Ａは、ダイアフラムの移動により上流ポンプ８Ａ内の貯留部の容積を小さくする。これと同時に、下流ポンプ１０Ａは、ダイアフラムの移動により下流ポンプ１０Ａ内の貯留部の容積を大きくする。この際、開閉弁Ｖ１２Ａ，Ｖ１３Ａは開かれ、その他の開閉弁Ｖ１１Ａ，Ｖ１４Ａ～Ｖ１６Ａは閉じられる。
上流ポンプ８Ａ内の貯留部には、所定の処理液が存在したままである。この処理液を、フィルタ９Ａを通じて下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に送り出す。すなわち、上流ポンプ８Ａは、ダイアフラムの移動により上流ポンプ８Ａ内の貯留部の容積を小さくする。これと同時に、下流ポンプ１０Ａは、ダイアフラムの移動により下流ポンプ１０Ａ内の貯留部の容積を大きくする。この際、開閉弁Ｖ１２Ａ，Ｖ１３Ａは開かれ、その他の開閉弁Ｖ１１Ａ，Ｖ１４Ａ～Ｖ１６Ａは閉じられる。
【0074】
〔ステップＳ０４〕パージ
下流ポンプ１０Ａは、ポンプ側戻り配管４１Ａを通じて下流ポンプ１０Ａ内の処理液を上流ポンプ８Ａに戻す。すなわち、下流ポンプ１０Ａは、ダイアフラムの少しの移動により下流ポンプ１０Ａ内の貯留部の容積を少し小さくする。この際、開閉弁Ｖ１１Ａ，Ｖ１５Ａが開かれ、その他の開閉弁Ｖ１２Ａ～Ｖ１４，Ｖ１６は閉じられる。これにより、例えば下流ポンプ１０Ａ内の気泡を含む処理液を上流ポンプ８Ａに戻すことができる。
下流ポンプ１０Ａは、ポンプ側戻り配管４１Ａを通じて下流ポンプ１０Ａ内の処理液を上流ポンプ８Ａに戻す。すなわち、下流ポンプ１０Ａは、ダイアフラムの少しの移動により下流ポンプ１０Ａ内の貯留部の容積を少し小さくする。この際、開閉弁Ｖ１１Ａ，Ｖ１５Ａが開かれ、その他の開閉弁Ｖ１２Ａ～Ｖ１４，Ｖ１６は閉じられる。これにより、例えば下流ポンプ１０Ａ内の気泡を含む処理液を上流ポンプ８Ａに戻すことができる。
【0075】
〔ステップＳ０５〕吸引
上流ポンプ８Ａ内に処理液を吸引する。すなわち、上流ポンプ８Ａは、ダイアフラムの移動により上流ポンプ８Ａ内の貯留部の容積を大きくする。この際、開閉弁Ｖ１１Ａは開かれ、その他の開閉弁Ｖ１２Ａ～Ｖ１６Ａは閉じられる。これにより、ステップＳ０１の準備完了状態となる。ステップＳ０１～Ｓ０５は、繰り返される。
上流ポンプ８Ａ内に処理液を吸引する。すなわち、上流ポンプ８Ａは、ダイアフラムの移動により上流ポンプ８Ａ内の貯留部の容積を大きくする。この際、開閉弁Ｖ１１Ａは開かれ、その他の開閉弁Ｖ１２Ａ～Ｖ１６Ａは閉じられる。これにより、ステップＳ０１の準備完了状態となる。ステップＳ０１～Ｓ０５は、繰り返される。
【0076】
なお、連続吐出の場合は、吐出工程と吸引工程が同時に行われる。この場合、例えば、吐出および吸引工程（ステップＳ０２＋Ｓ０５）、濾過工程（ステップＳ０３）、パージ（ステップＳ０４）がこの順番で繰り返される。
【0077】
ノズル３Ａから所定量の処理液を吐出して、所定の時間および所定の回転速度で基板Ｗが回転された後（すなわち、所定の処理後）、回転駆動部１４は、基板Ｗの回転を停止させる。その後、スピンチャック１３は、基板Ｗの保持を解除する。そして、図示しない搬送ロボットは、保持回転部２Ａ上から基板Ｗを搬送する。
【0078】
なお、第２吐出ユニット６３（例えば上流ポンプ８Ｂ、下流ポンプ１０Ｂ）は、第１吐出ユニット６２（例えば上流ポンプ８Ａ、下流ポンプ１０Ａ）と独立して動作する。
【0079】
〔基板処理装置１におけるフィルタ９Ａ（９Ｂ）の気泡抜き動作〕
次に、基板処理装置１におけるフィルタ９Ａの気泡抜き動作を説明する。
次に、基板処理装置１におけるフィルタ９Ａの気泡抜き動作を説明する。
【0080】
フィルタ本体４３に処理液が通過する際に、気泡や異物が取り除かれる。フィルタ本体４３で取り除かれた気泡は、フィルタ９Ａ内のろ過前流路４７に残るが、次のような問題がある。気泡は、パーティクル源となる。また、気泡は、通液時の圧力を不安定にし、それにより、処理液の吐出を不安定にする可能性がある。そのため、一定期間に一度（例えば１時間に１回）のペースでフィルタ９Ａの気泡抜き動作を行う必要がある。
【0081】
図５は、フィルタの気泡抜き動作を説明するためのタイミングチャートである。なお、図５には、気泡抜き動作以外の動作、例えば上流ポンプ８Ａにより下流ポンプ１０Ａに処理液を送る動作（すなわち吐出動作）については示されていない。また、図６（ａ）は、フィルタ９Ａの定期戻し動作を説明するための図である。図６（ｂ）は、気泡排出動作を説明するための図である。
【0082】
制御部５９は、予め設定された時間間隔ＩＮＴで、戻り配管５１を通じてフィルタ９からトラップタンク７に向けて処理液を戻す動作（定期戻し動作）を行う（図６（ａ）参照）。図５において、例えば、上流ポンプ８Ａを有する第１吐出ユニット６２（図１参照）の定期戻し動作は、時点ｔ１，ｔ４，ｔ６に行われる。２つの時点ｔ１，ｔ４の間、および２つの時点ｔ４，ｔ６の間の間隔はほぼ一定である。この戻し動作を行う際に、制御部５９は、ベント開閉弁Ｖ２を閉じ（ＯＦＦ）、開閉弁Ｖ１６Ａを開き（ＯＮ）ながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す（ＯＮ）。上流ポンプ８Ａによる処理液の送り出しは、予め設定された期間ＴＬ１で行われる。なお、第２吐出ユニット６３の定期戻し動作は、第１吐出ユニット６２の定期戻し動作と重ならないように行われるが、重ねて行ってもよい。第２吐出ユニット６３の定期戻し動作は、例えば、時点ｔ１１，ｔ１５、ｔ１７に行われる。
【0083】
また、定期戻し動作を行う際、開閉弁Ｖ１３Ａ～Ｖ１５Ａは閉じられ、開閉弁Ｖ１１Ａ，Ｖ１２Ａは、上流ポンプ８Ａの動作に対応して開閉する。具体的には、上流ポンプ８Ａ内の貯留部に処理液を吸引するときは、開閉弁Ｖ１１Ａを開き、かつ開閉弁Ｖ１２Ａを閉じながら、上流ポンプ８Ａは、ダイアフラムの移動により、上流ポンプ８Ａ内の貯留部の容積を大きくする。また、上流ポンプ８Ａ内の貯留部に吸引された処理液を吐出するときは、開閉弁Ｖ１１Ａを閉じ、かつ開閉弁Ｖ１２Ａを開きながら、上流ポンプ８Ａは、ダイアフラムの移動により、上流ポンプ８Ａ内の貯留部の容積を小さくする。上流ポンプ８Ａは吸引と吐出を繰り返す。
【0084】
戻り配管５１を通じてフィルタ９Ａからトラップタンク７の方向に処理液を戻すときに、フィルタ本体４３を通過できなかった気泡および異物がフィルタ９Ａから送り出される。トラップタンク７の構造上、気泡はトラップタンク７に溜まり易く、また、気泡の浮力によって、トラップタンク７の貯留部３０やベント配管３８内に集まり易い。そのため、トラップタンク７内に気泡が溜まると、処理液の液面が下がってくる（図７（ａ）参照）。
【0085】
図７（ａ）において、上側液面センサ３４が例えば基準面ＳＳで液面を検出する仮定する。図７（ｂ）に示すように、気泡が溜まることにより下がった液面が基準面ＳＳに到達したときに、上側液面センサ３４は、液面を検出する（図５の時点ｔ２１）。換言すると、上側液面センサ３４は、ベント配管３８内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する。上側液面センサ３４が液面を検出したことの信号は、制御部５９に送られる。また、ボトルセンサ３５は、設置位置における共通管２４内の処理液の有無を検出する。
【0086】
上側液面センサ３４が予め設定された量の気泡の存在を検出し、かつ、ボトルセンサ３５が処理液有りと検出したとき、制御部５９は、気泡排出動作を行う（図１、図６（ｂ）参照）。すなわち、制御部５９は、２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ１６Ｂを閉じ、かつベント開閉弁Ｖ２を開きながら、気体供給部１６が処理液ボトル５に気体を供給する（ＯＮ）ことによって処理液ボトル５から処理液を送り出す。処理液ボトル５からの処理液の送り出しは、予め設定された期間ＴＬ２（例えば検知してから５秒間）で行われる。これにより、溜まった気泡を、ベント開閉弁Ｖ２を挟んでトラップタンク７の反対側に排出することができる。
【0087】
なお、２つの吐出ユニット６２，６３による期間戻し動作と、上側液面センサ３４、三方弁Ｖ１およびベント開閉弁Ｖ２による気泡排出動作は、同時に行われないように制御されている。例えば、図５に示すように、時点ｔ１７から開始する定期戻し動作を行っている途中（時点ｔ２３）で、上側液面センサ３４が液面を検出した場合、時点ｔ１７から開始する戻し動作が終わった後、時点ｔ２４から排出動作を開始する。なお、気泡排出動作は、期間ＴＬ２の間で行われているが、時点ｔ２２，ｔ２５のように、液面を検出しなくなったことに基づいて気泡排出動作の期間を設定してもよい。
【0088】
本実施例によれば、フィルタ９Ａ（９Ｂ）からの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、処理液ボトル５の残量を検出するための既存のトラップタンク７に戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本実施例は、追加のトラップタンクを設けておらず追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液をトラップタンク７に戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
【0089】
また、基板処理装置１は、ベント配管３８、ベント開閉弁Ｖ２、上側液面センサ３４およびボトルセンサ３５を備えている。制御部５９は、定期戻し動作の際に、開閉弁Ｖ１６Ａを開き、かつベント開閉弁Ｖ２を閉じながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。制御部５９は、上側液面センサ３４が予め設定された量の気泡の存在（すなわち液面）を検出し、かつ、ボトルセンサ３５が処理液有りと検出したとき、２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ１６Ｂを閉じ、かつベント開閉弁Ｖ２を開きながら、気体供給部１６および処理液ボトル５によって処理液を送り出すことにより、ベント配管３８から気泡を排出する。
【0090】
予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作は、フィルタ９Ａからトラップタンク７に気泡を含む処理液を戻す。戻された気泡は、トラップタンク７の上部に接続されたベント配管３８から排出することができる。
【0091】
上側液面センサ３４がトラップタンク７内に存在する予め設定された量の気泡を検出すると、気体供給部１６および処理液ボトル５による処理液の送り出しにより、気泡を含む処理液を排出する。予め設定された量の気泡が検出されたときだけ処理液を排出するので、処理液の消費量を低減することができる。
【0092】
また、上側液面センサ３４は、トラップタンク内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する。ボトルセンサ３５は、処理液ボトル５とトラップタンク７の間における共通管２４（送り配管４）内の処理液の有無を検出する。上側液面センサ３４が予め設定された量の気泡の存在を検出し、かつボトルセンサ３５が処理液有りと検出したときに、気泡排出動作を行う。ボトルセンサ３５が処理液なしと検出したときは、処理液が送れず気体を送っていることを示す。すなわち、処理液なしは、処理液ボトル５が空であることを示す。この状態で気泡排出動作を行うと、ベント配管３８に主に気体が排出されることになる。この場合、気泡排出動作を有効に行うことができない。本実施例により、処理液ボトル５に処理液があることを確認しつつ気泡排出動作を行うことができる。
【実施例2】
【0093】
次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と重複する説明は省略する。図８は、実施例２に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【0094】
実施例１では、戻り配管５１を通じて戻される処理液を、トラップタンク７に到達した後にベント配管３８から外部に排出することができた。この点、実施例２では、トラップタンク７に到達する前に処理液を外部に排出することができるように構成されている。
【0095】
図８を参照する。基板処理装置１は、更に、２つの戻り側ベント配管６５Ａ，６５Ｂ、２つの三方弁Ｖ２１Ａ，Ｖ２１Ｂ、２つの液面センサ６７Ａ，６７Ｂを備えている。なお、液面センサ６７Ａ，６７Ｂは各々、本発明の戻り側気泡検出センサに相当する。
【0096】
戻り側ベント配管６５Ａは、第１戻り枝配管５３Ａ（戻り配管５１）から分岐するように設けられている。戻り側ベント配管６５Ａは、装置１の外部に処理液を排出できる。三方弁Ｖ２１Ａは、開閉弁Ｖ１６Ａとトラップタンク７の間の第１戻り枝配管５３Ａ（戻り配管５１）に設けられている。すなわち、三方弁Ｖ２１Ａは、開閉弁Ｖ１６Ａを挟んでフィルタ９Ａの反対側の第１戻り枝配管５３Ａ（分岐部分）に設けられている。三方弁Ｖ２１Ａは、戻り側ベント配管６５Ａと接続する。また、三方弁Ｖ２１Ａは、フィルタ９Ａをトラップタンク７または戻り側ベント配管６５Ａに選択的に接続（連通）する。すなわち、三方弁Ｖ２１Ａは、戻し動作または排出動作のいずれかを選択できる。
【0097】
液面センサ６７Ａは、開閉弁Ｖ１６Ａとフィルタ９Ａの間の第１戻り枝配管５３Ａ（戻り配管５１）に設けられている。液面センサ６７Ａは、図８の円形で囲まれた拡大図のように、戻り枝配管５３Ａの液面の高さを検出する。すなわち、液面センサ６７Ａは、第１戻り枝配管５３Ａ内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する。液面センサ６７Ａは、上側液面センサ３４と同様に、例えば光学式センサが用いられるが、静電容量式、光学式や超音波式の非接触センサであってもよい。図８において、開閉弁Ｖ１６Ａは、フィルタ９Ａの上方に設けられている。また、開閉弁Ｖ１６Ａまでの第１戻り枝配管５３Ａは、フィルタ９Ａの流出部４５Ｃから上方に延びて構成されている。なお、開閉弁Ｖ１６Ａおよび三方弁Ｖ２１Ａは、本発明の切換弁に相当する。
【0098】
図９は、実施例２に係るフィルタ９Ａ（９Ｂ）の気泡抜き動作を説明するためのタイミングチャートである。
【0099】
制御部５９は、予め設定された時間間隔ＩＮＴで、第１戻り枝配管５３Ａを通じてフィルタ９Ａからトラップタンク７に向けて処理液を戻す定期戻し動作を行う。第１吐出ユニット６２は、時点ｔ１，ｔ４，ｔ６において定期戻し動作を行う。この際、三方弁Ｖ２１Ａは、フィルタ９Ａをトラップタンク７に接続する。
【0100】
また、第１吐出ユニット６２は、トラップタンク７に処理液を送らなくても気泡を排出することができる。気泡の排出は、液面センサ６７Ａの検出結果に基づいて行われる。図９の時点ｔ５において、第１吐出ユニット６２の液面センサ６７Ａは、第１戻り枝配管５３Ａ内の液面が予め設定された高さに下がったことを検出している。すなわち、液面センサ６７Ａは、第１戻り枝配管５３Ａ内に予め設定された量の気泡の存在を検出している。
【0101】
時点ｔ１，時点ｔ４において定期戻し動作が行われるが、液面センサ６７Ａは、予め設定された量の気泡の存在を検出していない（ＯＦＦ）。この場合、制御部５９は、開閉弁Ｖ１６Ａを開き、かつ三方弁Ｖ２１Ａでフィルタ９Ａをトラップタンク７に接続しながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、第１戻り枝配管５３Ａを通じてフィルタ９Ａから処理液を戻す。
【0102】
また、時点ｔ６において定期戻し動作が行われるが、液面センサ６７Ａは、時点ｔ５において、予め設定された量の気泡の存在を検出している（ＯＮ）。この場合、制御部５９は、開閉弁Ｖ１６Ａを開き、かつ三方弁Ｖ２１Ａでフィルタ９Ａを戻り側ベント配管６５Ａに接続しながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、戻り側ベント配管６５Ａを通じてフィルタ９Ａから処理液を排出する。
【0103】
なお、第２吐出ユニット６３は、時点ｔ１１，時点ｔ１７において、第２戻り枝配管５３Ｂを通じてフィルタ９Ｂからトラップタンク７に処理液を戻す。また、第２吐出ユニット６３は、時点ｔ１４で液面センサ６７Ｂが予め設定された量の気泡の存在を検出している（ＯＮ）ので、時点ｔ１５において、戻り側ベント配管６５Ｂを通じてフィルタ９Ｂからの処理液を排出する。その他、時点ｔ７は、液面センサ６７Ａが気泡の存在を検出しなくなったことを示し、時点ｔ１６は、液面センサ６７Ｂが気泡の存在を検出しなくなったことを示す。
【0104】
本実施例によれば、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作において、三方弁Ｖ２１Ａは、戻し動作または排出動作のいずれかを選択することができる。また、その定期戻し動作において、三方弁Ｖ２１Ａは、液面センサ６７Ａが予め設定された量の気泡の存在を検出していないときは、処理液を戻すことができる。また、三方弁Ｖ２１Ａは、液面センサ６７Ａが予め設定された量の気泡の存在を検出したときは、処理液を排出することができる。必要なときだけ気泡を含む処理液を排出するので、パーティクル源である気泡を排出すると共に、処理液の消費量を削減することができる。
【実施例3】
【0105】
次に、図面を参照して本発明の実施例３を説明する。なお、実施例１，２と重複する説明は省略する。
【0106】
実施例２では、制御部５９は、図８に示す基板処理装置１において、予め設定された時間間隔ＩＮＴで、第１戻り枝配管５３Ａを通じてフィルタ９Ａからトラップタンク７に向けて処理液を戻す定期戻し動作を行っていた。そして、定期戻し動作の際に、フィルタ９Ａからの全ての処理液をトラップタンク７に向けて戻していた。この点、実施例３では、フィルタ９Ａからの一部の処理液を排出する。
【0107】
図１０は、実施例３に係るフィルタ９Ａ（９Ｂ）の気泡抜き動作を説明するためのタイミングチャートである。
【0108】
図８に示す基板処理装置１において、第１吐出ユニット６２は、時点ｔ１，ｔ４，ｔ６において戻し動作を行う。図１０の例えば時点ｔ１から時点ｔ２までの初期期間ＴＬ３では、三方弁Ｖ２１Ａは、フィルタ９Ａを戻り側ベント配管６５Ａに接続する。
【0109】
具体的には、制御部５９は、定期戻し動作の際の予め設定された初期期間ＴＬ３において、開閉弁Ｖ１６Ａを開き、かつ三方弁Ｖ２１Ａでフィルタ９Ａを戻り側ベント配管６５Ａに接続しながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、戻り側ベント配管６５Ａを通じてフィルタ９Ａからの処理液を排出する。
【0110】
各回の戻し動作は期間ＴＬ１で行われる。そのため、期間ＴＬ１は、初期期間ＴＬ３と、初期期間ＴＬ３以外の残りの期間ＴＬ４とで構成される。図１０の例えば時点ｔ２から時点ｔ３までの期間ＴＬ４では、三方弁Ｖ２１Ａは、フィルタ９Ａをトラップタンク７に接続する。
【0111】
具体的には、制御部５９は、残りの期間ＴＬ４において、開閉弁Ｖ１６Ａを開き、かつ三方弁Ｖ２１Ａでフィルタ９Ａをトラップタンク７に接続しながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、第１戻り枝配管５３Ａを通じてフィルタ９Ａからトラップタンク７に向けて処理液を戻す。
【0112】
また、例えば時点ｔ５において、液面センサ６７Ａが気泡の存在（液面）を検出したときは、その次の定期戻し動作においては、排出動作のみが行われる。なお、第２吐出ユニット６３も、図１０に示すように、第１吐出ユニット６２とほぼ同じように動作する。
【0113】
本実施例によれば、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作において、三方弁Ｖ２１Ａは、初期期間ＴＬ３に処理液を排出し、初期期間ＴＬ３以外の残りの期間ＴＬ４に処理液を戻すことができる。フィルタ９Ａは、気泡と共に異物を取り除く。初期期間ＴＬ３に、戻り側ベント配管６５Ａを通じて主に異物を排出する（捨てる）ことができる。異物が低減された液を戻すことができる。
【実施例4】
【0114】
次に、図面を参照して本発明の実施例４を説明する。なお、実施例１～３と重複する説明は省略する。図１１は、実施例４に係る基板処理装置１の概略構成図である。
【0115】
実施例１～３では、フィルタ９Ａからの処理液をトラップタンク７に戻していた。この点、実施例４では、フィルタ９Ａからの処理液を第１枝配管２７Ａに戻す。
【0116】
図１１を参照する。基板処理装置１は、２つの合流管７１Ａ，７１Ｂ、２つの戻り配管７３Ａ，７３Ｂ、２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ１６Ｂ、２つの三方弁Ｖ２１Ａ，２１Ｂ、２つの戻り側ベント配管６５Ａ，６５Ｂ、および２つの液面センサ６７Ａ，６７Ｂを備えている。
【0117】
合流管７１Ａは、トラップタンク７と上流ポンプ８Ａの間、すなわち分岐管２６と上流ポンプ８Ａの間の第１枝配管２７Ａ（送り配管４）に設けられている。合流管７１Ａは、例えばＴ字状の流路を有するＴ字管で構成されている。合流管７１Ａは、トラップタンク７よりも上流ポンプ８Ａの近く（傍）に配置されている。なお、開閉弁Ｖ１１Ａは、合流管７１Ａと上流ポンプ８Ａの間の第１枝配管２７Ａに設けられている。すなわち、第１枝配管２７Ａには、分岐管２６側から順番に、合流管７１Ａ、開閉弁Ｖ１１Ａ、上流ポンプ８Ａ、フィルタ９Ａ、下流ポンプ１０Ａ、開閉弁Ｖ１４Ａが設けられている。
【0118】
戻り配管７３Ａは、フィルタ９Ａと合流管７１Ａを接続する。また、戻り配管７３Ａは、フィルタ９Ａのフィルタ本体４３を通過する前の処理液を合流管７１Ａに戻すように構成されている。開閉弁Ｖ１６Ａは、戻り配管７３Ａに設けられている。三方弁Ｖ２１Ａは、開閉弁Ｖ１６Ａと合流管７１Ａの間の戻り配管７３Ａに設けられている。三方弁Ｖ２１Ａは、戻り側ベント配管６５Ａと接続する。また、三方弁Ｖ２１Ａは、フィルタ９Ａを合流管７１Ａまたは戻り側ベント配管６５Ａに選択的に接続する。
【0119】
本実施例の基板処理装置１は、実施例２の図９または実施例３の図１０のように動作される。例えば、制御部５９は、実施例２の図９の時点ｔ１，ｔ４，ｔ６のように、予め設定された時間間隔ＩＮＴで、戻り配管７３Ａを通じてフィルタ９Ａから合流管７１Ａに向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する。
【0120】
図９において、制御部５９は、液面センサ６７Ａが予め設定された量の気泡の存在を検出しないとき、定期戻し動作の際に（時点ｔ１，ｔ４）、開閉弁Ｖ１６Ａを開き、かつ三方弁Ｖ２１Ａでフィルタ９Ａを合流管７１Ａに接続しながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、戻り配管７３Ａを通じてフィルタ９Ａから合流管７１Ａに向けて処理液を戻す。また、制御部５９は、液面センサ６７Ａが予め設定された量の気泡の存在を検出したとき、定期戻し動作の際に（時点ｔ６）、開閉弁Ｖ１６Ａを開き、かつ三方弁Ｖ２１Ａでフィルタ９Ａを戻り側ベント配管６５Ａに接続しながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、戻り側ベント配管６５Ａを通じてフィルタ９Ａからの処理液を排出する。
【0121】
なお、第２吐出ユニット６３も、第１吐出ユニット６２のように構成され、かつ、第１吐出ユニット６２のように動作される。
【0122】
本実施例によれば、フィルタ９Ａからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、第１枝配管２７Ａに設けられた合流管７１Ａ、すなわち第１枝配管２７Ａに戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本実施例は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔ＩＮＴで行われる定期戻し動作により、フィルタ９Ａから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液を第１枝配管２７Ａに戻して再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。また、合流管７１Ａは共通管２４から分岐した第１枝配管２７Ａに設けられているので、上流ポンプ８Ａの近くに戻すことができる。
【0123】
なお、図１１において、ボトルセンサ３５は設けられていなくてもよい。この場合、トラップタンク７からの気泡排出動作を行わなくてもよい。
【実施例5】
【0124】
次に、図面を参照して本発明の実施例５を説明する。なお、実施例１～３と重複する説明は省略する。図１２は、実施例５に係る基板処理装置１の概略構成図である。
【0125】
実施例１～３では、フィルタ９Ａからの処理液をトラップタンク７に戻していた。この点、実施例５では、フィルタ９Ａからの処理液を処理液ボトル５に戻す。
【0126】
図１２を参照する。基板処理装置１は、合流管８１と、戻り配管５１（２つの戻り枝配管５３Ａ，５３Ｂ、合流管５５および共通戻り配管５７）とを備えている。
【0127】
合流管８１は、処理液ボトル５とトラップタンク７の間の共通管２４に設けられている。合流管８１は、例えばＴ字状の流路を有するＴ字管で構成されている。合流管８１は、トラップタンク７よりも処理液ボトル５の近くに配置されている。なお、共通管２４は、共通管８３，８４を備えている。
【0128】
本実施例の基板処理装置１は、実施例１の図５に示す２つの吐出ユニット６２，６３の動作のように動作される。例えば、制御部５９は、実施例１の図５の時点ｔ１，ｔ４，ｔ６のように、予め設定された時間間隔ＩＮＴで、第１戻り枝配管５３Ａおよび共通戻り配管５７を通じてフィルタ９Ａから処理液ボトル５に向けて処理液を戻す戻し動作を実行する。気泡を含む処理液が処理液ボトル５に戻されると、気泡が液面に上昇し、処理液中から気泡が抜ける。
【0129】
なお、第２吐出ユニット６３も、第１吐出ユニット６２のように構成され、かつ、第１吐出ユニット６２のように動作される。
【0130】
本実施例によれば、フィルタ９Ａからの処理液を追加のトラップタンクに戻すのではなく、処理液ボトル５に戻している。追加のトラップタンクは、パーティクル発生源となるおそれがある。本実施例は、追加のトラップタンクに処理液を戻さないので、追加のトラップタンクによるパーティクルを気にしなくてもよい。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、予め設定された時間間隔で行われる定期戻し動作により、フィルタ９Ａから気泡を取り除きつつ、処理液が滞留してゲル化または固化することを抑制する。そのため、パーティクルの発生を抑えることができる。また、処理液を処理液ボトル５に戻すので、処理液を再利用することができる。そのため、処理液の消費量を削減することができる。
【0131】
また、フィルタ９Ａからの気泡を含む処理液が処理液ボトル５に戻されると、処理液ボトル５内の液面を通じて気泡が抜ける。すなわち、戻された気泡は、気泡として留まらず処理液ボトル５内の気体層と同化する。そのため、図１に示すボトルセンサ３５を設けず、上側液面センサ３４およびボトルセンサ３５などによる気泡排出動作を行わなくてもよい。
【0132】
なお、本実施例は、次のように構成されていてもよい。図１２に示す基板処理装置１は、２つのフィルタ９Ａ，９Ｂから処理液ボトル５に処理液を戻していた。この際、共通戻り配管５７は、合流管８１を介して共通管８３に接続されていた。この点、図１３に示すように、共通戻り配管５７が直接、処理液ボトル５に処理液を戻せるように、共通戻り配管５７は直接、処理液ボトル５に接続されていてもよい。
【0133】
また、本実施例は、次のように構成されていてもよい。本実施例の基板処理装置１は、実施例２の図８に示す、２つの三方弁Ｖ２１Ａ，２１Ｂと、２つの戻り側ベント配管６５Ａ，６５Ｂとを備えていてもよい。また、この構成に加えて、基板処理装置１は、実施例２の図８に示す、２つの液面センサ６７Ａ，６７Ｂを備えていてもよい。また、基板処理装置１は、実施例３の図１０に示す動作のように、動作させてもよい。すなわち、戻し動作の初期期間ＴＬ３では、三方弁Ｖ２１Ａは、フィルタ９Ａを戻り側ベント配管６５Ａに接続する。初期期間ＴＬ３以外の残りの期間ＴＬ４では、三方弁Ｖ２１Ａは、フィルタ９Ａを処理液ボトル５に接続する。
【0134】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【0135】
（１）上述した各実施例では、気泡検出センサとして液面センサ３４，６７Ａ，６７Ｂが用いられた。この点、気泡検出センサとして気泡センサが用いられてもよい。上側液面センサ３４は、図７（ｂ）に示すように、液上部で気泡が溜まって結合することで形成された空の領域（気体領域）を検出する。これに対し、気泡センサ９１は、図１４（ａ）、図１４（ｂ）に示すように、管内の処理液中の気泡を検出するようにしてもよい。気泡センサ９１は、例えば超音波式センサやマイクロ波式センサが用いられる。
【0136】
気泡センサ９１は、例えば処理液中の気泡の密度が所定閾値を超えた場合に、予め設定された量の気泡が存在することを検出する。気泡センサ９１は、図１４（ａ）に示すように、気泡が少ないまたは小さい場合は気泡を検出しない。一方、気泡センサ９１は、図１４（ｂ）に示すように、気泡が多くまたは大きい場合には気泡を検出する。
【0137】
（２）上述した各実施例および変形例（１）では、例えば図１において、基板処理装置１は、２つの吐出ユニット６２，６３を備えていた。この点、基板処理装置１は、１つの吐出ユニットを備えていてもよい。また、基板処理装置１は、３つ以上（例えば４つ）の吐出ユニットを備えていてもよい。基板処理装置１が１つの吐出ユニットだけを備える場合、図１に示す分岐管２６および合流管５５は設けられない。また、基板処理装置１が例えば４つの吐出ユニットを備える場合は、分岐管２６には、４つの枝配管が接続され、合流管５５には、４つの戻り枝配管が合流する。
【0138】
（３）上述した各実施例および各変形例では、フィルタ９Ａには、第１戻り枝配管５３Ａが接続されていた。この第１戻り枝配管５３Ａは、図１５に示すように、フィルタ側配管９３と他端側配管９５を備えていてもよい。フィルタ側配管９３は、フィルタ９Ａに一端が接続されるものである。他端側配管９５は、フィルタ側配管９３の他端に直列に接続されている。他端側配管９５の内径ＩＤ２は、フィルタ側配管９３よりも内径ＩＤ１が小さい。他端側配管９５の内径ＩＤ２が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
【0139】
また、他端側配管９５の外径ＯＤ２は、フィルタ側配管９３よりも外径ＯＤ１が小さい。この点について説明する。例えば、図１５の基板処理装置１は、４つの吐出ユニットを備えているものとする。この場合、送り配管４は、４本の枝配管を備え、戻り配管５１は、４本の他端側配管９５（戻り枝配管）を備えている。４本の枝配管に４本の他端側配管９５を加えた８本の配管は束ねられ、配管を保護するケーブルキャリア９７に収納されている。ケーブルキャリア９７は、例えばチューブ状で形成されている。他端側配管９５の外径ＯＤ２がフィルタ側配管９３よりも外径ＯＤ１よりも小さいと、複数本（例えば４本）の他端側配管９５を束ねた際に、複数本の他端側配管９５の束の断面積を小さくできる。そのため、ケーブルキャリア９７に収めやすくなる。また、ケーブルキャリアに収めることができる配管本数を増やすことができる。
【0140】
なお、図１５において、フィルタ側配管９３と他端側配管９５の境界は、開閉弁Ｖ１６Ａであった。この点、境界は、例えば三方弁Ｖ２１Ａであってもよく、また、ケーブルキャリア９７に収納されない部分であれば、開閉弁Ｖ１６Ａおよび三方弁Ｖ２１Ａ以外の部分であってもよい。
【0141】
また、本変形例を実施例４に適用させた場合、図１１に示す合流管７１Ａは、ケーブルキャリア９７（図１５参照）に収納されないように設けられる。すなわち、合流管７１Ａは、ケーブルキャリア９７（図１５参照）を挟んでトラップタンク７の反対側の他端側配管９５（第１戻り枝配管５３Ａ）に設けられる。
【0142】
（４）上述した各実施例および各変形例の例えば図１において、上側液面センサ３４が予め設定された量の気泡の存在を検出していた。図１６に示すように、上側液面センサ３４に加えて、液面センサ９８を追加してもよい。液面センサ９８は、トラップタンク７の流出部３６Ｄとベント開閉弁Ｖ２の間のベント配管３８に設けられる。液面センサ９８が気泡の存在（液面）を検出し、ボトルセンサ３５が処理液有りと検出したとき、気泡排出動作を行う。また、液面センサ９８が予め設定された量の気泡の存在を検出し、ボトルセンサ３５が処理液なしと検出したときは、操作者にボトル交換を報知してもよい。この場合、上側液面センサ３４の検出結果も用いて、ボトル交換を２段階に報知してもよい。また、上側液面センサ３４を省略してもよい。また、ボトルセンサ３５を設けずに、液面センサ９８の検出結果だけに基づき、気泡排出動作を行ってもよい。
【0143】
（５）上述した各実施例および各変形例では、図９，図１０の時点ｔ１，ｔ４，ｔ６に示す定期戻し動作は、液面センサ６７Ａが予め設定された量の気泡の存在を検出したときに、戻り側ベント配管６５Ａを通じてフィルタ９Ａから処理液を排出していた。液面センサ６７Ａを設けずに、制御部５９は、例えば３回の定期戻し動作のうち１回の定期戻し動作を気泡排出動作として制御してもよい。
【0144】
（６）上述した各実施例および各変形例では、実施例１の図６（ａ）において、制御部５９は、定期戻し動作の際に、開閉弁Ｖ１６Ａを開きながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出していた。この点、制御部５９は、定期戻し動作の際に、開閉弁Ｖ１６Ａを開きながら、下流ポンプ１０Ａによって処理液を送り出してもよい。
【0145】
この動作を詳しく説明する。図１７を参照する。定期戻し動作を行う際に下流ポンプ１０Ａ内の貯留部から処理液を送り出すときは、開閉弁Ｖ１３Ａ，Ｖ１６Ａを開いた状態かつ、開閉弁Ｖ２，Ｖ１１Ａ，Ｖ１２Ａ，Ｖ１４Ａ，Ｖ１５Ａを閉じた状態で、下流ポンプ１０Ａによって処理液を送り出す。下流ポンプ１０Ａは、フィルタ９Ａ側に処理液を送り出し、図２に示すフィルタ本体４３に逆方向に処理液を通す。そして、戻り配管５１を通じて、フィルタ９Ａからトラップタンク７に処理液が送られる。
【0146】
また、定期戻し動作を行う際に下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に処理液を吸引するときは、開閉弁Ｖ１２Ａ，Ｖ１３Ａを開いた状態かつ、開閉弁Ｖ１１Ａ，Ｖ１４Ａ～Ｖ１６Ａを閉じた状態で、上流ポンプ８Ａによって処理液を送りながら下流ポンプ１０Ａに処理液を吸引させてもよい。また、下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に処理液を吸引するときは、開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１３Ａを開いた状態かつ、Ｖ１４Ａ～Ｖ１６Ａを閉じた状態で、上流ポンプ８Ａを駆動させないで下流ポンプ１０Ａに処理液を吸引させてもよい。
【0147】
また、定期戻し動作を行う際に下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に処理液を吸引するときは、開閉弁Ｖ１５Ａを開いた状態かつ、開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１４Ａ，Ｖ１６Ａを閉じた状態で、上流ポンプ８Ａによって処理液を送りながら下流ポンプ１０Ａに処理液を吸引させてもよい。この場合、処理液は、ポンプ側戻り配管４１Ａを通じて、上流ポンプ８Ａから下流ポンプ１０Ａに送られる。また、下流ポンプ１０Ａ内の貯留部に処理液を吸引するときは、開閉弁Ｖ１１Ａ，Ｖ１５Ａを開いた状態かつ、開閉弁Ｖ１２Ａ～Ｖ１４Ａ，Ｖ１６Ａを閉じた状態で、上流ポンプ８Ａを駆動させないで下流ポンプ１０Ａに処理液を吸引させてもよい。
【0148】
（７）上述した各実施例および各変形例では、基板処理装置１は、例えば、上流ポンプ８Ａおよび下流ポンプ１０Ａを備えていた。この点、基板処理装置１は、上流ポンプ８Ａを備えずに、下流ポンプ１０Ａを備えるようにしてもよい。また、基板処理装置１は、下流ポンプ１０Ａを備えずに、上流ポンプ８Ａを備えるようにしてもよい。すなわち、１つまたは２以上のポンプは、トラップタンク７の下流側の送り配管４に設けられていてもよい。また、言い換えると、１つまたは２つ以上のポンプは、トラップタンク７とフィルタ９Ａの間、およびフィルタ９Ａとノズル３Ａの間の少なくとも一方における送り配管４に設けられていてもよい。
【0149】
（８）上述した各実施例および各変形例では、例えば図８に示す基板処理装置１は、例えば三方弁Ｖ２１Ａによって、フィルタ９Ａからトラップタンク７に処理液を戻したり、戻り側ベント配管６５Ａを通じてフィルタ９Ａから処理液を排出したりした。この点、図１８に示すように、変形例に係る基板処理装置１は、２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ２３Ａによって、フィルタ９Ａからトラップタンク７に処理液を戻したり、戻り側ベント配管６５Ａを通じてフィルタ９Ａから処理液を排出したりしてもよい。
【0150】
図１８に示す基板処理装置１は、２つの分岐管１０１Ａ，１０１Ｂと、２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ１６Ｂと、２つの開閉弁Ｖ２３Ａ，Ｖ２３Ｂと、２つの液面センサ６７Ａ，６７Ｂを備えている。例えば、分岐管１０１Ｂ、開閉弁Ｖ１６Ｂ、開閉弁Ｖ２３Ｂおよび液面センサ６７Ｂは、それぞれ分岐管１０１Ａ、開閉弁Ｖ１６Ａ、開閉弁Ｖ２３Ａおよび液面センサ６７Ａと同様に構成されている。
【0151】
戻り側ベント配管６５Ａは、戻り配管５１（戻り枝配管５３Ａ）から分岐するように設けられている。分岐管１０１Ａは、戻り側ベント配管６５Ａが戻り配管５１に接続する分岐点に設けられている。具体的には、分岐管１０１Ａは、フィルタ９Ａと合流管５５の間の戻り枝配管５３Ａに設けられている。そして、分岐管１０１Ａには、戻り側ベント配管６５Ａが接続されている。
【0152】
開閉弁Ｖ１６Ａは、分岐管１０１Ａと合流管５５の間の戻り枝配管５３Ａに設けられている。開閉弁Ｖ２３Ａは、戻り側ベント配管６５Ａに設けられている。液面センサ６７Ａは、分岐管１０１Ａと開閉弁Ｖ２３Ａの間の戻り側ベント配管６５Ａに設けられている。この場合、例えば、液面センサ６７Ａは、開閉弁Ｖ２３Ａの近くに配置される。なお、液面センサ６７Ａは、フィルタ９Ａと分岐管１０１Ａの間の戻り枝配管５３Ａに設けられていてもよい。なお、開閉弁Ｖ１６Ａおよび開閉弁Ｖ２３Ａは、本発明の切換弁に相当する。
【0153】
図１８を参照して、本変形例の動作を説明する。２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ２３Ａを制御することにより、戻し動作、第１排出動作および第２排出動作のいずれかを選択することが可能である。まず、戻し動作を説明する。制御部５９は、開閉弁Ｖ２，Ｖ１３Ａ～Ｖ１５Ａ，Ｖ２３を閉じ、開閉弁Ｖ１２Ａ，Ｖ１６Ａを開きながら、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、戻り側ベント配管６５Ａを通さずに戻り配管５１を通じてフィルタ９Ａからの処理液を戻すことができる。
【0154】
次に、第１排出動作を説明する。制御部５９は、開閉弁Ｖ１３Ａ～Ｖ１６Ａを閉じ、開閉弁Ｖ１２Ａ，Ｖ２３Ａを開きながら（開閉弁Ｖ１３Ａ～Ｖ１６Ａを閉じ、開閉弁Ｖ１２Ａ，Ｖ２３Ａを開いた状態で）、上流ポンプ８Ａによって処理液を送り出す。これにより、戻り側ベント配管６５Ａを通じてフィルタ９Ａからの処理液を排出することができる。
【0155】
次に、第２排出動作を説明する。第２排出動作は、例えば、装置搬入直後に行われる配管洗浄において、初期に生じている初期ゴミを、上流ポンプ８Ａを通すことなく戻り側ベント配管６５Ａを通じて排出するために用いられる。制御部５９は、例えば開閉弁Ｖ１１Ａ～Ｖ１３Ａを閉じ、開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ２３Ａを開きながら、気体供給部１６が処理液ボトル５に気体を供給することによって処理液ボトル５から処理液を送り出す。これにより、戻り配管５１および戻り側ベント配管６５Ａを通じてトラップタンク７側からの処理液（液体）を排出することができる。なお、この第２排出動作を行うとき、２つの開閉弁Ｖ１６Ｂ，Ｖ２３Ｂを有する第２吐出ユニット６３も、２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ２３Ａを有する第１吐出ユニット６２と同様に動作される。
【0156】
なお、戻り枝配管５３Ａ（戻り配管５１）および戻り側ベント配管６５Ａに処理液を流さないときは、制御部５９は、開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ２３Ａを閉じておく。
【0157】
また、図１１に示す例えば開閉弁１６Ａおよび三方弁Ｖ２１Ａに代えて、図１９に示す例えば２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ２３Ａを設けるように、基板処理装置１を構成してもよい。この場合も、図１８に示す基板処理装置１と同様に動作されるので、説明を省略する。また、図１２，図１３に示す基板処理装置１に関しても、図１８に示す基板処理装置１のように、例えば２つの開閉弁Ｖ１６Ａ，Ｖ２３Ａが設けられていてもよい。
【符号の説明】
【0158】
１ … 基板処理装置
３Ａ，３Ｂ … ノズル
４ … 送り配管
５ … 処理液ボトル
７ … トラップタンク
８Ａ，８Ｂ … 上流ポンプ
９Ａ，９Ｂ … フィルタ
１６ … 気体供給部
２４ … 共通管
２７Ａ，２８Ｂ … 枝配管
３４ … 上側液面センサ
３５ … ボトルセンサ
３８ … ベント配管
４３ … フィルタ本体
５１，７３Ａ，７３Ｂ … 戻り配管
５９ … 制御部
６５Ａ，６５Ｂ … 戻り側ベント配管
６７Ａ，６７Ｂ，９８ … 液面センサ
７１Ａ，７１Ｂ … 合流管
９１ … 気泡センサ
９３ … フィルタ側配管
９５ … 他端側配管
ＩＤ１，ＩＤ２ … 内径
ＩＮＴ … 時間間隔
ＴＬ３ … 初期期間
ＴＬ４ … 残りの期間
Ｖ１，Ｖ２１Ａ，Ｖ２１Ｂ … 三方弁
Ｖ２ … ベント開閉弁
Ｖ１６Ａ，Ｖ１６Ｂ … 開閉弁
３Ａ，３Ｂ … ノズル
４ … 送り配管
５ … 処理液ボトル
７ … トラップタンク
８Ａ，８Ｂ … 上流ポンプ
９Ａ，９Ｂ … フィルタ
１６ … 気体供給部
２４ … 共通管
２７Ａ，２８Ｂ … 枝配管
３４ … 上側液面センサ
３５ … ボトルセンサ
３８ … ベント配管
４３ … フィルタ本体
５１，７３Ａ，７３Ｂ … 戻り配管
５９ … 制御部
６５Ａ，６５Ｂ … 戻り側ベント配管
６７Ａ，６７Ｂ，９８ … 液面センサ
７１Ａ，７１Ｂ … 合流管
９１ … 気泡センサ
９３ … フィルタ側配管
９５ … 他端側配管
ＩＤ１，ＩＤ２ … 内径
ＩＮＴ … 時間間隔
ＴＬ３ … 初期期間
ＴＬ４ … 残りの期間
Ｖ１，Ｖ２１Ａ，Ｖ２１Ｂ … 三方弁
Ｖ２ … ベント開閉弁
Ｖ１６Ａ，Ｖ１６Ｂ … 開閉弁
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】