特許7164471制御装置、及び該制御装置を備えた真空ポンプ

発明の名称　制御装置、及び該制御装置を備えた真空ポンプ

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7164471

公報発行日　2022年11月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7164471

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