特許7164865リテーナリング、これを有する研磨ヘッド及び研磨加工装置

発明の名称　リテーナリング、これを有する研磨ヘッド及び研磨加工装置

出願人　ミクロ技研株式会社　（識別番号 500487837）

　　　　特許公開件数ランキング 11776 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9069 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7164865

公報発行日　2022年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7164865

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