特許 7165250 顕微鏡用観察キャリア

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-25

(45)【発行日】2022-11-02

(54)【発明の名称】顕微鏡用観察キャリア

(51)【国際特許分類】

   G02B 21/34 20060101AFI20221026BHJP

   G02B 21/26 20060101ALI20221026BHJP

   H01J 37/20 20060101ALI20221026BHJP

   H01J 37/18 20060101ALI20221026BHJP

【ＦＩ】

G02B21/34

G02B21/26

H01J37/20 A

H01J37/18

【請求項の数】 10

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2021180136

(22)【出願日】2021-11-04

(65)【公開番号】P2022077987

(43)【公開日】2022-05-24

【審査請求日】2021-11-04

(31)【優先権主張番号】63/113,173

(32)【優先日】2020-11-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】110123382

(32)【優先日】2021-06-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】519101029

【氏名又は名称】邑流微測股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100093997

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 秀佳

(72)【発明者】

【氏名】彭 柏洋

(72)【発明者】

【氏名】梁 竣傑

(72)【発明者】

【氏名】頼 良訓

(72)【発明者】

【氏名】李 正宇

(72)【発明者】

【氏名】李 信宏

【審査官】殿岡 雅仁

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－２００４５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０３８９２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６０－１４４８９９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１３－０６１５７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１０７１２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１１／１１８５６４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００６－０３０４６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０６０５５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０５４１４５５６（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ２１／００ － ２１／３６

Ｇ０１Ｎ １／００ － １／４４

Ｃ１２Ｍ １／００ － ３／１０

Ｇ０１Ｎ ２１／０３ － ２１／１５

Ｈ０１Ｊ ３７／００ － ３７／３６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも１つの第１の位置決め部分を備える底部ベースと、
少なくとも１つの第２の位置決め部分および少なくとも１つの第３の位置決め部分を備える下部カバーであって、前記下部カバーが前記底部ベース上に取り外し可能に配置され、前記少なくとも１つの第２の位置決め部分を介して前記少なくとも１つの第１の位置決め部分と位置決めされる下部カバーと
少なくとも１つの第４の位置決め部分を含む上部カバーであって、前記上部カバーが、前記下部カバーが前記底部ベースと前記上部カバーとの間に位置するように前記底部ベース上に取り外し可能に配置され、前記上部カバーが、前記少なくとも１つの第４の位置決め部分を介して前記少なくとも１つの第３の位置決め部分と位置決めされ、観察領域が前記上部カバーと前記下部カバーとの間に形成され、前記観察領域が試料を担持するように適合されている上部カバーと、
前記上部カバーおよび前記下部カバーを前記底部ベース上に制限するように前記底部ベースに取り外し可能に配置された回転カバーであって、前記回転カバーが前記底部ベースに対して回転して前記底部ベースによってロックされるように、または前記底部ベースによって解除されるように適合されている回転カバーと、
を備える、顕微鏡用観察キャリア。

【請求項2】

前記回転カバーが回転軸に沿って前記底部ベースに対して回転するように適合され、前記少なくとも１つの第１の位置決め部分と前記少なくとも１つの第２の位置決め部分が、前記下部カバーが前記回転軸に沿って前記底部ベースに対して回転することを防止するように相互に位置決めされている、請求項１に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項3】

前記回転カバーが回転軸に沿って前記底部ベースに対して回転するように適合され、前記少なくとも１つの第３の位置決め部分と前記少なくとも１つの第４の位置決め部分が、前記上部カバーが前記回転軸に沿って前記下部カバーに対して回転することを防止するように相互に位置決めされている、請求項１に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項4】

前記少なくとも１つの第１の位置決め部分および前記少なくとも１つの第２の位置決め部分のうちの一方が突出しており、前記少なくとも１つの第１の位置決め部分および前記少なくとも１つの第２の位置決め部分のうちの他方がくぼんでいる、請求項１に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項5】

前記少なくとも１つの第３の位置決め部分および前記少なくとも１つの第４の位置決め部分のうちの一方が突出しており、前記少なくとも１つの第３の位置決め部分および前記少なくとも１つの第４の位置決め部分のうちの他方がくぼんでいる、請求項１に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項6】

前記下部カバーが第１の窓を有し、前記上部カバーが第２の窓を有し、前記観察領域が前記第１の窓と前記第２の窓との間に形成されている、請求項１に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項7】

第１のシールリングおよび第２のシールリングを備え、前記第１のシールリングが前記底部ベースと前記下部カバーとの間に配置され、前記観察領域を取り囲み、前記第２のシールリングが前記底部ベースと前記上部カバーとの間に配置され、前記観察領域を取り囲む、請求項１に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項8】

前記底部ベースが収容スペースを含み、前記収容スペースが前記下部カバー、前記上部カバー、および前記回転カバーを収容するように適合されている、請求項１に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項9】

前記収容スペースの内縁部が環状溝を備え、前記回転カバーの周縁部が少なくとも１つの突起部を備え、前記少なくとも１つの突起部が前記環状溝内に延在して前記回転カバーが前記底部ベースから分離することを防止するように適合されている、請求項８に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【請求項10】

前記底部ベースの上面が少なくとも１つの凹部を備え、前記少なくとも１つの凹部が前記環状溝と連通し、前記少なくとも１つの突起部が、前記回転カバーが回転するときに前記少なくとも１つの凹部に対応するように適合されている、請求項９に記載の顕微鏡用観察キャリア。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、観察キャリアに関し、詳しくは顕微鏡用観察キャリアに関する。

【背景技術】

【0002】

光学顕微鏡および電子顕微鏡を使用してナノスケールの試料を観察することができ、観察のためには、試料を観察試料台上に担持する必要がある。観察試料台は、少なくとも底部ベースおよびカバーを含む必要があり、試料は、観察のために底部ベースとカバーとの間の観察領域に配置される。現在の観察試料台に関する限り、底部ベースおよびカバーなどの構成要素は、ほとんどがねじロックによって組み立てられており、現在の観察試料台は、使いやすいものではない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

本開示は、比較的使いやすい顕微鏡用観察キャリアを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明の顕微鏡用観察キャリアは、底部ベースと、下部カバーと、上部カバーと、回転カバーと、を含む。底部ベースは、少なくとも１つの第１の位置決め部分を有する。下部カバーは、少なくとも１つの第２の位置決め部分および少なくとも１つの第３の位置決め部分を有する。下部カバーは、底部ベース上に取り外し可能に配置され、第２の位置決め部分を介して第１の位置決め部分と位置決めされている。上部カバーは、少なくとも１つの第４の位置決め部分を有する。上部カバーは、下部カバーが底部ベースと上部カバーとの間に位置するように、底部ベース上に取り外し可能に配置されている。上部カバーは、第４の位置決め部分を介して第３の位置決め部分と位置決めされている。上部カバーと下部カバーとの間には観察領域が形成され、この観察領域は、試料を担持するように適合されている。回転カバーは、上部カバーおよび下部カバーを底部ベース上に制限するように底部ベース上に取り外し可能に配置され、回転カバーは、底部ベースに対して回転して、底部ベースによってロックされ、または底部ベースによって解除されるように適合されている。

【0005】

本開示の一実施形態では、回転カバーは、回転軸に沿って底部ベースに対して回転するように適合され、少なくとも１つの第１の位置決め部分と少なくとも１つの第２の位置決め部分は、下部カバーが回転軸に沿って底部ベースに対して回転することを防止するように相互に位置決めされている。

【0006】

本開示の一実施形態では、回転カバーは、回転軸に沿って底部ベースに対して回転するように適合され、少なくとも１つの第３の位置決め部分と少なくとも１つの第４の位置決め部分は、上部カバーが回転軸に沿って下部カバーに対して回転することを防止するように相互に位置決めされている。

【0007】

本開示の一実施形態では、少なくとも１つの第１の位置決め部分および少なくとも１つの第２の位置決め部分のうちの一方は、突出しており、少なくとも１つの第１の位置決め部分および少なくとも１つの第２の位置決め部分のうちの他方は、くぼんでいる。

【0008】

本開示の一実施形態では、少なくとも１つの第３の位置決め部分および少なくとも１つの第４の位置決め部分のうちの一方は、突出しており、少なくとも１つの第３の位置決め部分および少なくとも１つの第４の位置決め部分のうちの他方は、くぼんでいる。

【0009】

本発明の一実施形態では、下部カバーは第１の窓を有し、上部カバーは第２の窓を有し、観察領域は第１の窓と第２の窓との間に形成されている。

【0010】

本開示の一実施形態では、顕微鏡用観察キャリアは、第１のシールリングおよび第２のシールリングを含む。第１のシールリングは、底部ベースと下部カバーとの間に配置され、観察領域を取り囲み、第２のシールリングは、底部ベースと上部カバーとの間に配置され、観察領域を取り囲む。

【0011】

本発明の一実施形態では、底部ベースは収容スペースを有し、この収容スペースは、下部カバー、上部カバーおよび回転カバーを収容するように適合されている。

【0012】

本発明の一実施形態では、収容スペースの内縁部は環状溝を有し、回転カバーの周縁部は少なくとも１つの突起部を有し、この突起部は、環状溝内に延在して回転カバーが底部ベースから分離することを防止するように適合されている。

【0013】

本開示の一実施形態では、底部ベースの上面は少なくとも１つの凹部を有し、この少なくとも１つの凹部は環状溝と連通し、少なくとも１つの突起部は、回転カバーが回転するときに少なくとも１つの凹部に対応するように適合されている。

【発明の効果】

【0014】

要約すると、本開示の顕微鏡用観察キャリアでは、上部カバーおよび下部カバーは、回転カバーによって底部ベース上に位置が制限され、回転カバーは、それ自体の回転によって底部ベースにロックまたは底部ベースから分離される。したがって、回転カバーを回転させるだけで、底部ベース、上部カバー、下部カバーおよび回転カバーの分解および組み立てを完了することができ、分解および組み立ての際にねじロックが不要なため、本顕微鏡用観察キャリアは、比較的使いやすい。さらに、底部ベースと下部カバーは、第１の位置決め構造および第２の位置決め構造によって相互に位置決めされ、下部カバーと上部カバーは、第３の位置決め構造および第４の位置決め構造によって相互に位置決めされているため、回転カバーが回転中に下部カバーおよび／または上部カバーを駆動して不意に回転させることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本開示の一実施形態による顕微鏡用観察キャリアの斜視図である。

【0016】

【図2】図１の顕微鏡用観察キャリアの分解図である。

【0017】

【図3】図１の顕微鏡用観察キャリアの一部の構造の斜視図である。

【0018】

【図4】図３の顕微鏡用観察キャリアの側面図である。

【0019】

【図5】図１の底部ベースの斜視図である。

【0020】

【図6】図２の下部カバーの斜視図である。

【0021】

【図7】図１の上部カバーの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１は、本発明の一実施形態による顕微鏡用観察キャリアの斜視図である。図２は、図１の顕微鏡用観察キャリアの分解図である。図３は、図１の顕微鏡用観察キャリアの一部の構造の斜視図である。図４は、図３の顕微鏡用観察キャリアの側面図である。図１～図４を参照すると、本実施形態では、顕微鏡用観察キャリア１００は、底部ベース１１０と、下部カバー１２０と、上部カバー１３０とを含む。下部カバー１２０は、底部ベース１１０上に取り外し可能に配置され、上部カバー１３０は、下部カバー１２０が底部ベース１１０と上部カバー１３０との間に位置するように、底部ベース１１０上に取り外し可能に配置されている。上部カバー１３０と下部カバー１２０との間には観察領域Ｒが形成されている。観察領域Ｒは、試料を担持するように適合され、顕微鏡は、観察領域Ｒ内の試料を観察することができる。本開示では、底部ベース１１０の形状は、これに限定されない。図１および図２に示される形状に加えて、底部ベース１１０は、要件に応じて、異なるタイプまたはモデルの顕微鏡に適合するように他の形状も有することができる。

【0023】

本開示において、観察領域Ｒによって担持される試料の観察モードは限定されず、非動的観察モードであっても、液体が観察領域Ｒ内を流れる動的観察モードであってもよい。動的観察モードでは、液体が観察領域Ｒを流れるように、適切な流路を顕微鏡用観察キャリア１００に追加することができる。例えば、液体は、試料の代謝物を除去するために使用され、または測定に必要な試薬を試料に添加するための媒体として機能する。

【0024】

本実施形態では、下部カバー１２０は第１の窓１２２を有し、上部カバー１３０は第２の窓１３２を有する。第１の窓１２２と第２の窓１３２との間のマイクロ流体チャンバが観察領域Ｒを形成する。第２の窓１３２を通して反射型顕微鏡観察を行うことができ、または第２の窓１３２および第１の窓１２２を通して透過型顕微鏡観察を行うことができ、これは、本開示では限定されない。具体的には、第１の窓１２２および第２の窓１３２は、薄膜（例えば、窒化ケイ素薄膜）をそれぞれ含む。電子顕微鏡の観察の場合、薄膜は、特定のエネルギーの電子に対して透明であり、電子顕微鏡の電子ビームは、第１の窓１２２および第２の窓１３２を通過することができる。

【0025】

本実施形態では、顕微鏡用観察キャリア１００は、回転カバー１４０をさらに含む。回転カバー１４０は、上部カバー１３０および下部カバー１２０を底部ベース１１０上に制限するように底部ベース１１０上に取り外し可能に配置され、回転カバー１４０は、回転軸Ａ（図１に示す）に沿って底部ベース１１０に対して回転して、底部ベース１１０によってロックされ、または底部ベース１１０によって解除され得る。したがって、底部ベース１１０、上部カバー１３０、下部カバー１２０、および回転カバー１４０は、回転カバー１４０を回転させるだけで分解および組み立てすることができ、分解および組み立ての際にねじロックが不要となる。したがって、顕微鏡用観察キャリア１００は、比較的使いやすい。回転カバー１４０を分解し組み立てる方法は、以下の段落で詳細に説明される。

【0026】

本実施形態では、底部ベース１１０は、収容スペースＳ（図２および図５に示す）を有し、収容スペースＳは、下部カバー１２０、上部カバー１３０、および回転カバー１４０を収容するように適合されている。さらに、図２～図５に示すように、底部ベース１１０の収容スペースＳの内縁部は、環状溝１１０ａを有する。これに対応して、回転カバー１４０の周縁部は、少なくとも１つの突起部１４２（複数の突起部が図２に示されている）を有し、この突起部１４２は、環状溝１１０ａ内に延在して、回転カバー１４０が底部ベース１１０から分離することを防止するように適合されている。さらに、底部ベース１１０の上面は、少なくとも１つの凹部１１０ｂ（複数凹部が図１、図３、図４、および図５に示されている）を有し、この凹部１１０ｂは環状溝１１０ａと連通している。回転カバー１４０の突起部１４２は、回転カバー１４０が回転すると凹部１１０ｂにそれぞれ対応することができ、突起部１４２のそれぞれは、対応する凹部１１０ｂを介して環状溝１１０ａから離れることができ、回転カバー１４０を分解することができる。

【0027】

図５は図１の底部ベースの斜視図である。図６は図２の下部カバーの斜視図である。図７は図１の上部カバーの斜視図である。図２および図５～図７を参照すると、本実施形態では、底部ベース１１０は、少なくとも１つの第１の位置決め部分１１０１（２つの第１の位置決め部分が示されている）を有し、下部カバー１２０は、少なくとも１つの第２の位置決め部分１２０１（２つの第２の位置決め部分が示されている）および少なくとも１つの第３の位置決め部分１２０２（２つの第３の位置決め部分が示されている）を有し、上部カバー１３０は、少なくとも１つの第４の位置決め部分１３０１（２つの第４の位置決め部分が示されている）を有する。下部カバー１２０は、第２の位置決め部分１２０１を介して底部ベース１１０の第１の位置決め部分１１０１と位置決めされ、したがって、下部カバー１２０は、第１の位置決め部分１１０１と第２の位置決め部分１２０１との相互位置決めによって、回転軸Ａに沿って底部ベース１１０に対して回転することが防止され、上部カバー１３０は、第４の位置決め部分１３０１を介して下部カバー１２０の第３の位置決め部分１２０２と位置決めされ、したがって、上部カバー１３０は、第３の位置決め部分１２０２と第４の位置決め部分１３０１との相互位置決めによって、回転軸Ａに沿って下部カバー１２０に対して回転することが防止される。したがって、回転カバー１４０が回転中に下部カバー１２０および／または上部カバー１３０を駆動して不意に回転させることを防止することができる。

【0028】

本実施形態では、例えば、第１の位置決め部分１１０１および第３の位置決め部分１２０２が突出しており、第２の位置決め部分１２０１および第４の位置決め部分１３０１がこれに対応してくぼんでいる。他の実施形態では、第１の位置決め部分１１０１および第３の位置決め部分１２０２がくぼんでいてもよく、第２の位置決め部分１２０１および第４の位置決め部分１３０１がこれに対応して突出している。本開示は、各位置決め部分の特定の形態を限定しない。

【0029】

図２～図４を参照すると、本実施形態では、顕微鏡用観察キャリア１００は、第１のシールリング１５０および第２のシールリング１６０をさらに含む。第１のシールリング１５０は、底部ベース１１０と下部カバー１２０との間に配置され、観察領域Ｒを取り囲み、第２のシールリング１６０は、底部ベース１１０と上部カバー１３０との間に配置され、観察領域Ｒを取り囲む。例えば、第１のシールリング１５０および第２のシールリング１６０は、ゴムリングまたは他の弾性シール材料であり、観察領域Ｒを外部から隔離して観察を容易にする。さらに、回転カバー１４０を回転軸Ａに沿って回転させ、押し下げて底部ベース１１０にロックすると、平均的な押圧力を同時に生成することができるため、底部ベース１１０および下部カバー１２０に接触する第１のシールリング１５０、ならびに底部ベース１１０および上部カバー１３０に接触する第２のシールリング１６０は、観察領域の検査対象試料を外部から隔離するシール効果を生み出す。さらに、第１のシールリング１５０および第２のシールリング１６０は、押圧力を緩衝する機能も有する。

【0030】

図４に示すように、上部カバー１３０は、下部カバー１２０を完全に覆うように構成され、上部カバー１３０の外周縁部は、回転カバー１４０のための配置スペースを大きくするために傾斜１３０ａを有し、したがって構造全体の厚さが効果的に低減されている。他の実施形態では、下部カバー１２０、上部カバー１３０、および回転カバー１４０は、他の適切な形状を有してもよく、本開示はこれに限定されない。

【0031】

要約すると、本発明の顕微鏡用観察キャリアでは、上部カバーおよび下部カバーは、回転カバーによって底部ベース上に位置が制限され、回転カバーは、それ自体の回転によって底部ベースにロックまたは底部ベースから分離される。したがって、回転カバーを回転させるだけで、底部ベース、上部カバー、下部カバーおよび回転カバーの分解および組み立てを完了することができ、分解および組み立ての際にねじロックが不要なため、本顕微鏡用観察キャリアは比較的使いやすい。さらに、底部ベースと下部カバーは、第１の位置決め構造および第２の位置決め構造によって相互に位置決めされ、下部カバーと上部カバーは、第３の位置決め構造および第４の位置決め構造によって相互に位置決めされているため、回転カバーが回転中に下部カバーおよび／または上部カバーを駆動して不意に回転させることを防止することができる。

【産業上の利用可能性】

【0032】

本開示の顕微鏡用観察キャリアは、観察キャリアに適用することができる。

【符号の説明】

【0033】

１００ 観察キャリア
１１０ 底部ベース
１１０１ 第１の位置決め部分
１１０ａ 環状溝
１１０ｂ 凹部
１２０ 下部カバー
１２０１ 第２の位置決め部分
１２０２ 第３の位置決め部分
１２２ 第１の窓
１３０ 上部カバー
１３０ａ 傾斜
１３０１ 第４の位置決め部分
１３２ 第２の窓
１４０ 回転カバー
１４２ 突起部
１５０ 第１のシールリング
１６０ 第２のシールリング
Ａ 回転軸
Ｒ 観察領域
Ｓ 収容スペース

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】