特許 7170980 電子部品処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-07

(45)【発行日】2022-11-15

(54)【発明の名称】電子部品処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20221108BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 G

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2022119662

(22)【出願日】2022-07-27

【審査請求日】2022-07-28

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090697

【弁理士】

【氏名又は名称】中前 富士男

(74)【代理人】

【識別番号】100176142

【弁理士】

【氏名又は名称】清井 洋平

(72)【発明者】

【氏名】南 日出夫

(72)【発明者】

【氏名】上田 陵司

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－０６４６５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１９－００１７１８１（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２０２１－１９０５０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１０８０５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２３０２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－０４５５１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１１９４９４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ２１／６８

Ｂ６５Ｃ９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、
前記突出機構を前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｅに沿って移動させる第１の駆動機構と、
前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｆに沿って移動させる第２の駆動機構と、
前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる第３の駆動機構と、前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、
前記第１の駆動機構、前記第２の駆動機構及び前記第３の駆動機構を制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、
前記ピックアップユニットは、一回又は複数回の回転動作により回転軸回りに１８０°回転することによって、前記ピックアップ位置に配されていた前記部品支持部を前記受け位置に配される前記部品保持部に対向する渡し位置に移動させると共に、前記渡し位置に配されていた前記部品支持部を前記ピックアップ位置に移動させる回転部材と、前記部品支持部が前記ピックアップ位置に配された状態で前記Ｊ方向に配される仮想回転軸回りに、前記電子部品を取得した前記部品支持部を自転させる駆動回転部とを有し、
前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記第２の駆動機構及び前記駆動回転部を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにすることを特徴とする電子部品処理装置。

【請求項2】

ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、
前記突出機構を前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｅに沿って移動させる第１の駆動機構と、
前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｆに沿って移動させる第２の駆動機構と、
前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる第３の駆動機構と、
前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、
前記第１の駆動機構、前記第２の駆動機構及び前記第３の駆動機構を制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、
前記ピックアップユニットは、一回又は複数回の回転動作により回転軸回りに１８０°回転することによって、前記ピックアップ位置に配されていた前記部品支持部を前記受け位置に配される前記部品保持部に対向する渡し位置に移動させると共に、前記渡し位置に配されていた前記部品支持部を前記ピックアップ位置に移動させる回転部材を有し、
前記搬送ユニットは、前記部品保持部を自転させて、該部品保持部に取得された前記電子部品の前記搬送ユニットに対する向きを調整する駆動回転機構を有し、
前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記第２の駆動機構及び前記駆動回転機構を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにすることを特徴とする電子部品処理装置。

【請求項3】

ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、
前記突出機構を前記ウエハシートに平行なＧ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構αと、
前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記Ｇ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構βと、
前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる駆動機構γと、
前記ピックアップユニットの移動によりなされた前記電子部品の位置調整の方向に直交するＫ方向又は該Ｋ方向の反対方向に前記処理ユニットを移動させて、前記処理位置に配された前記電子部品に対する、該処理ユニットの前記Ｋ方向の位置を調整する駆動機構δと、
前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、
前記駆動機構α、前記駆動機構β及び前記駆動機構γを制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、
前記ピックアップユニットは、前記部品支持部が前記ピックアップ位置に配された状態で前記Ｊ方向に配される仮想回転軸回りに、前記電子部品を取得した前記部品支持部を自転させる駆動回転部を有し、
前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記駆動機構β、前記駆動機構δ及び前記駆動回転部を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにすることを特徴とする電子部品処理装置。

【請求項4】

ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、
前記突出機構を前記ウエハシートに平行なＧ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構αと、
前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記Ｇ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構βと、
前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる駆動機構γと、
前記ピックアップユニットの移動によりなされた前記電子部品の位置調整の方向に直交するＫ方向又は該Ｋ方向の反対方向に前記処理ユニットを移動させて、前記処理位置に配された前記電子部品に対する、該処理ユニットの前記Ｋ方向の位置を調整する駆動機構δと、
前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、
前記駆動機構α、前記駆動機構β及び前記駆動機構γを制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、
前記搬送ユニットは、前記部品保持部を自転させて、該部品保持部に取得された前記電子部品の前記搬送ユニットに対する向きを調整する駆動回転機構を有し、
前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記駆動機構β、前記駆動機構δ及び前記駆動回転機構を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにすることを特徴とする電子部品処理装置。

【請求項5】

請求項３又は４記載の電子部品処理装置において、前記回転体の回転軸に沿って見て、前記Ｇ方向は、前記回転体の回転中心と前記受け位置とを通る仮想直線Ｎに垂直であり、前記Ｋ方向は、前記回転体の回転中心と前記処理位置とを通る仮想直線Ｍに沿う方向であることを特徴とする電子部品処理装置。

【請求項6】

請求項１～４のいずれか１項に記載の電子部品処理装置において、前記部品支持部が取得した前記電子部品を撮像する撮像手段を備え、前記ずれ導出手段は、前記撮像手段が撮像した画像を基に前記ずれを検出することを特徴とする電子部品処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品に対し所定の処理を行う電子部品処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

外観検査ユニット等の処理ユニットにより電子部品に所定の処理を行う電子部品処理装置は、ウエハシートの前面に貼付された電子部品を吸着ノズル（ピックアップノズル）により順次取得するピックアップユニット（ロータリー式ピックアップ機構）と、ピックアップユニットから得た電子部品を処理ユニットが配置された処理位置まで搬送する搬送ユニット（ターンテーブル等からなるユニット）を備えている（特許文献１参照）。

【0003】

吸着ノズルは、ウエハシートの裏面がピン（突上げピン）に突かれてウエハシートの表側に突き出された電子部品を吸着して取得する。吸着ノズルに吸着された電子部品の吸着ノズルに対する位置は、突き出された吸着前の電子部品の吸着ノズルに対する位置等に影響される。そして、吸着ノズルに吸着された電子部品の吸着ノズルに対する位置は、搬送ユニットに取得された電子部品の搬送ユニットに対する位置に影響を与える。

【0004】

ここで、搬送ユニットにより処理位置に配された電子部品の処理ユニットに対する位置が予め定められた所定の位置となっていない場合、処理ユニットによる処理が適切に行われない等の問題が生じる。そのため、搬送ユニットに取得された電子部品は、処理位置に搬送される前に、アライメントユニットにより位置調整がなされる。アライメントユニットは搬送ユニットから電子部品を取得して位置を調整した後、搬送ユニットに電子部品を戻す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１２－１１９４９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、アライメントユニットによる電子部品の位置調整は、処理ユニットによる処理よりも長い時間を要し、結果として、電子部品の効率的な処理を妨げる等の問題があった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、搬送ユニットから電子部品を取得して電子部品を位置調整するアライメントユニットを用いることなく、処理位置における電子部品の処理ユニットに対する位置及び向きを予め定められた所定の位置及び向きにすることが可能な電子部品処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記目的に沿う第１の発明に係る電子部品処理装置は、ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、前記突出機構を前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｅに沿って移動させる第１の駆動機構と、前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｆに沿って移動させる第２の駆動機構と、前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる第３の駆動機構と、前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、前記第１の駆動機構、前記第２の駆動機構及び前記第３の駆動機構を制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、前記ピックアップユニットは、一回又は複数回の回転動作により回転軸回りに１８０°回転することによって、前記ピックアップ位置に配されていた前記部品支持部を前記受け位置に配される前記部品保持部に対向する渡し位置に移動させると共に、前記渡し位置に配されていた前記部品支持部を前記ピックアップ位置に移動させる回転部材と、前記部品支持部が前記ピックアップ位置に配された状態で前記Ｊ方向に配される仮想回転軸回りに、前記電子部品を取得した前記部品支持部を自転させる駆動回転部とを有し、前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記第２の駆動機構及び前記駆動回転部を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにする。

【0008】

前記目的に沿う第２の発明に係る電子部品処理装置は、ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、前記突出機構を前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｅに沿って移動させる第１の駆動機構と、前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記ウエハシートに平行な仮想平面Ｆに沿って移動させる第２の駆動機構と、前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる第３の駆動機構と、前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、前記第１の駆動機構、前記第２の駆動機構及び前記第３の駆動機構を制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、前記ピックアップユニットは、一回又は複数回の回転動作により回転軸回りに１８０°回転することによって、前記ピックアップ位置に配されていた前記部品支持部を前記受け位置に配される前記部品保持部に対向する渡し位置に移動させると共に、前記渡し位置に配されていた前記部品支持部を前記ピックアップ位置に移動させる回転部材を有し、前記搬送ユニットは、前記部品保持部を自転させて、該部品保持部に取得された前記電子部品の前記搬送ユニットに対する向きを調整する駆動回転機構を有し、前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記第２の駆動機構及び前記駆動回転機構を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにする。

【0009】

前記目的に沿う第３の発明に係る電子部品処理装置は、ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、前記突出機構を前記ウエハシートに平行なＧ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構αと、前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記Ｇ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構βと、前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる駆動機構γと、前記ピックアップユニットの移動によりなされた前記電子部品の位置調整の方向に直交するＫ方向又は該Ｋ方向の反対方向に前記処理ユニットを移動させて、前記処理位置に配された前記電子部品に対する、該処理ユニットの前記Ｋ方向の位置を調整する駆動機構δと、前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、前記駆動機構α、前記駆動機構β及び前記駆動機構γを制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、前記ピックアップユニットは、前記部品支持部が前記ピックアップ位置に配された状態で前記Ｊ方向に配される仮想回転軸回りに、前記電子部品を取得した前記部品支持部を自転させる駆動回転部を有し、前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記駆動機構β、前記駆動機構δ及び前記駆動回転部を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにする。

【0010】

前記目的に沿う第４の発明に係る電子部品処理装置は、ウエハシートに貼付された電子部品を該ウエハシートに垂直なＪ方向に突き出す突出機構、前記Ｊ方向に突き出された前記電子部品を前記ウエハシートに対向するピックアップ位置で取得する部品支持部を有するピックアップユニット、受け位置で該ピックアップユニットから前記電子部品を取得する部品保持部が取り付けられた回転体の回転により該部品保持部が該電子部品と共に処理位置まで移動する搬送ユニット、及び、前記処理位置に配された前記電子部品に所定の処理を行う処理ユニットを備える電子部品処理装置において、前記突出機構を前記ウエハシートに平行なＧ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構αと、前記部品支持部で前記電子部品を支持した前記ピックアップユニットを前記Ｇ方向又は該Ｇ方向の反対方向に移動させる駆動機構βと、前記ウエハシートを含む仮想平面Ｑ内で該ウエハシートを移動させる駆動機構γと、前記ピックアップユニットの移動によりなされた前記電子部品の位置調整の方向に直交するＫ方向又は該Ｋ方向の反対方向に前記処理ユニットを移動させて、前記処理位置に配された前記電子部品に対する、該処理ユニットの前記Ｋ方向の位置を調整する駆動機構δと、前記部品支持部に取得された前記電子部品の基準位置及び基準向きに対するずれを検出するずれ導出手段と、前記駆動機構α、前記駆動機構β及び前記駆動機構γを制御して、前記ピックアップ位置に配された前記部品支持部、次に前記部品支持部に取得される前記電子部品及び前記突出機構の位置を調整する制御手段とを備え、前記搬送ユニットは、前記部品保持部を自転させて、該部品保持部に取得された前記電子部品の前記搬送ユニットに対する向きを調整する駆動回転機構を有し、前記制御手段は、前記ずれ導出手段が検出した前記ずれを基に前記駆動機構β、前記駆動機構δ及び前記駆動回転機構を制御して、前記電子部品が前記処理位置で前記処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにする。

【発明の効果】

【0011】

第１、第２、第３、第４の発明に係る電子部品処理装置によれば、電子部品を部品支持部や部品保持部で取得（支持）した状態で電子部品の位置及び向きを調整でき、搬送ユニットから電子部品を取得して電子部品を位置調整するアライメントユニットを用いることなく、処理位置における電子部品の処理ユニットに対する位置及び向きを予め定められた所定の位置及び向きにすることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１の実施の形態に係る電子部品処理装置の説明図である。

【図2】回転体に対する処理ユニット及びピックアップユニットの配置を示す説明図である。

【図3】ピックアップユニットによる電子部品の取得及び受け渡しの説明図である。

【図4】制御手段の接続を示すブロック図である。

【図5】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、渡し位置に配された電子部品に対するピックアップユニットの位置を示す説明図及び突出機構の説明図である。

【図6】ピックアップユニットの部品支持部の回転を示す説明図である。

【図7】電子部品取得処理の流れを示すフロー図である。

【図8】電子部品受渡し処理の流れを示すフロー図である。

【図9】本発明の第２の実施の形態に係る電子部品処理装置の説明図である。

【図10】回転体に対する処理ユニット及びピックアップユニットの配置を示す説明図である。

【図11】ピックアップユニットによる電子部品の取得及び受け渡しの説明図である。

【図12】制御手段の接続を示すブロック図である。

【図13】ピックアップユニットが移動する方向を示す説明図である。

【図14】ピックアップユニットの部品支持部の回転を示す説明図である。

【図15】電子部品取得処理の流れを示すフロー図である。

【図16】電子部品受渡し処理の流れを示すフロー図である。

【図17】処理ユニットによる電子部品の処理の流れを示すフロー図である。

【図18】駆動回転機構を有する変形例の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。

【0014】

図１、図２、図３に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る電子部品処理装置１０は、ウエハシートＨの表面（前面）に貼付された電子部品ＷをウエハシートＨに垂直なＪ方向にウエハシートＨの裏面（後面）側から突き出す突出機構１１、Ｊ方向に突き出された電子部品ＷをウエハシートＨに対向するピックアップ位置Ｐ１で取得する部品支持部１２を有するピックアップユニット１３、受け位置Ｐ２でピックアップユニット１３から電子部品Ｗを取得する部品保持部１４が取り付けられた回転体１５の回転により部品保持部１４が電子部品Ｗと共に処理位置Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１まで移動する搬送ユニット１６、及び、処理位置Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１に配された電子部品Ｗにそれぞれ所定の処理を行う処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１を備えている。以下、詳細に説明する。

【0015】

ピックアップユニット１３は、図１、図２、図３に示すように、回転体１５の下方に設けられ、支持体２１ａに回転自在に支持された回転軸２２と共に回転する円盤状の回転部材２３及びそれぞれ回転部材２３に対して半径方向に進退可能に設けられた複数の部品支持部１２を有している。部品支持部１２は複数あって、それぞれ筒状である。各部品支持部１２は、軸心が部品支持部１２の進退方向に一致するように放射状に設けられ、回転軸２２を中心とする仮想円の外縁に沿って等間隔に配されている。なお、部品支持部１２は筒状のものに限定されないのは言うまでもなく、例えば、直方体状や立方体状であってもよい。

【0016】

本実施の形態では、４つの部品支持部１２が回転部材２３を中心に９０°の間隔でそれぞれ３時位置、６時位置（１８０°位置）、９時位置、１２時位置（０°位置）に設けられている。各部品支持部１２の近傍には、図３に示すように、回転部材２３の中心に向かって移動した部品支持部１２に対し移動方向とは反対の方向に力を作用させるコイルばね２４が取り付けられている。なお、図２、図５（Ａ）では、部品支持部１２のコイルばね２４等の記載を省略している。

【0017】

本実施の形態において、各部品支持部１２は、真空圧（負圧）によって電子部品Ｗを吸着し、大気開放又は正圧によって電子部品Ｗの吸着状態を解除する吸着ノズルである。各部品支持部１２は、支持体２１ａ内に設けられた図４に示すモータ５１の作動及び停止の繰り返しによる回転部材２３の間欠的な回転に伴って、間欠的に円弧状の経路を９０°移動し、順次、多数（複数）の電子部品Ｗが表面に貼り付けられたウエハシートＨに対向するピックアップ位置Ｐ１（６時位置、１８０°位置）に配される。

【0018】

本実施の形態では、ピックアップユニット１３の直下のピックアップユニット１３から距離を有する位置にウエハシートＨが水平配置されている。電子部品Ｗは、例えば、ダイオード、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）である。図３、図６に示すように、電子部品Ｗは、平行な２つの面Ｗ１、Ｗ２を有し、面Ｗ１がウエハシートＨの表面に密着した状態でウエハシートＨに貼付されている。

【0019】

ピックアップユニット１３及び支持体２１ａは、図３、図５（Ａ）に示すように、支持体２１ａに取り付けられたＸ軸駆動手段２５の作動によりウエハシートＨに平行（本実施の形態では、水平）な面内のＸ軸方向に移動し、Ｘ軸駆動手段２５に取り付けられたＹ軸駆動手段２６の作動によりＸ軸駆動手段２５と共に、Ｘ軸駆動手段２５の作動によってピックアップユニット１３及び支持体２１ａが移動する方向に直交する方向（ウエハシートＨに平行な面内のＹ軸方向）に移動（本実施の形態では、水平移動）する。従って、ウエハシートＨに平行でピックアップユニット１３を通る仮想平面を仮想平面Ｆとして、本実施の形態では、ピックアップユニット１３を仮想平面Ｆに沿って（仮想平面Ｆ内で）自在に移動させる第２の駆動機構２７が、Ｘ軸駆動手段２５及びＹ軸駆動手段２６を有して構成されている。

【0020】

また、ウエハシートＨ及びウエハシートＨが装着されたウエハリング２９は、図３に示すように、ウエハリング２９を支持するＸ軸駆動手段３０の作動によりウエハシートＨを含む仮想平面Ｑ内で（本実施の形態では、水平に）Ｘ軸方向に移動する。更に、ウエハシートＨ及びウエハリング２９はＸ軸駆動手段３０に取り付けられたＹ軸駆動手段３１の作動によりＸ軸駆動手段３０と共に、Ｘ軸駆動手段３０の作動によってウエハシートＨ及びウエハリング２９が移動する方向に直交するＹ軸方向に仮想平面Ｑ内で移動（本実施の形態では、水平移動）する。本実施の形態では、ウエハシートＨを仮想平面Ｑ内で自在に移動させる第３の駆動機構３５が、Ｘ軸駆動手段３０及びＹ軸駆動手段３１を有して構成されている。

【0021】

ウエハシートＨの直下に設けられた筒状部材３２の内側には、駆動源３３の作動によりウエハシートＨに対し垂直な方向に進退（本実施の形態では鉛直方向又は鉛直方向逆向きに移動）するピン３４が設けられている。駆動源３３には、図３、図５（Ｂ）に示すように、筒状部材３２、駆動源３３及びピン３４をウエハシートＨに平行（本実施の形態では、水平）な面内のＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動手段４６が取り付けられている。Ｘ軸駆動手段４６には、筒状部材３２、駆動源３３及びピン３４を、Ｘ軸駆動手段４６の作動により筒状部材３２、駆動源３３及びピン３４が移動する方向に直交するＹ軸方向（ウエハシートＨに平行）に移動（本実施の形態では、水平移動）させるＹ軸駆動手段４７が取り付けられている。

【0022】

本実施の形態では、筒状部材３２、駆動源３３及びピン３４を有して突出機構１１が形成されている。また、ウエハシートＨ及び仮想平面Ｆに平行で突出機構１１を通る仮想平面を仮想平面Ｅとして、突出機構１１を仮想平面Ｅに沿って（仮想平面Ｅ内で）移動させる第１の駆動機構４９がＸ軸駆動手段４６及びＹ軸駆動手段４７を有して形成されている。
なお、図３では、ウエハシートＨ、ウエハリング２９及びＸ軸駆動手段３０が断面図として記載され、図２、図５（Ａ）、（Ｂ）では、ウエハシートＨに貼付されている電子部品Ｗ、ウエハリング２９及びＸ軸駆動手段３０等の記載を省略している。

【0023】

Ｘ軸駆動手段３０及びＹ軸駆動手段３１の作動により、ウエハシートＨの表面に貼付されている多数の電子部品Ｗの内の一つの電子部品Ｗが、順次、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に取得される位置（以下、「被ピックアップ位置」と言う）に配される。ピン３４は、ウエハシートＨの裏側（本実施の形態では、下側）に位置し、表側に向けてＪ方向に移動（本実施の形態では、上昇）することによって、被ピックアップ位置に配された電子部品Ｗを、ウエハシートＨの表側に移動させ、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に接触させる。

【0024】

ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２は、部品支持部１２に接触した電子部品Ｗの面Ｗ２を吸着し、ピン３４のＪ方向逆向き（本実施の形態では、鉛直方向）の移動により電子部品ＷがウエハシートＨから離れることにより電子部品ＷをウエハシートＨから取得する。

【0025】

また、ピックアップユニット１３の近傍には、ピックアップ位置Ｐ１で電子部品Ｗを取得した部品支持部１２と共に移動して９時位置に配された電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像する撮像手段２８が設けられている。以下、電子部品Ｗが撮像手段２８により撮像される位置を「撮像位置」とも言う。図示しない支持部材に支持された撮像手段２８は撮像位置に配された電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像し電子部品Ｗの面Ｗ１を正面から撮像した画像を得る。撮像手段２８は部品支持部１２が支持している電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像できればよく、例えば、電子部品Ｗが７時３０分位置に一次停止する場合は、７時３０分位置に配された電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像するように撮像手段２８を配置してもよい。

【0026】

撮像手段２８には、図４に示すように、撮像手段２８が撮像した画像を取得するずれ導出手段２８ａが接続されている。ずれ導出手段２８ａは、撮像手段２８が撮像した画像から電子部品Ｗの位置及び向きを検出可能である。ずれ導出手段２８ａには、処理位置Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１に配された電子部品Ｗがそれぞれ処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１に対して予め定められた位置及び向きに配されるための撮像位置における電子部品Ｗの位置及び向き（以下、「電子部品Ｗの基準位置及び基準向き」）が記憶されている。

【0027】

ずれ導出手段２８ａは、撮像手段２８が撮像位置に配された電子部品Ｗを撮像する度に、撮像手段２８が撮像した画像から部品支持部１２に取得（支持）された状態で撮像された電子部品Ｗの位置及び向きを検出し、検出した電子部品Ｗの位置及び向きと、記憶している電子部品Ｗの基準位置及び基準向きとを比較して、当該電子部品Ｗの基準位置及び基準向きに対するずれ（当該電子部品Ｗの基準位置に対する位置のずれ及び当該電子部品Ｗの基準向きに対する向きのずれ）を検出し、そのずれを該当の電子部品Ｗに紐づけて記憶する。

【0028】

ピックアップユニット１３は、図６に示すように、回転部材２３の中心と部品支持部１２の間に駆動回転部５６を有している。駆動回転部５６は、部品支持部１２の軸心を通る仮想回転軸Ｒ回りに部品支持部１２を自転させることができる。部品支持部１２の軸心は、部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された際にＪ方向に配されることから、駆動回転部５６は、部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された状態でＪ方向に配される仮想回転軸Ｒ回りに部品支持部１２を自転させることとなる。

【0029】

また、搬送ユニット１６は、図１、図２に示すように、ベース台４５に固定されたモータ３６と、複数の部品保持部１４が外周に沿って等ピッチで取り付けられ、モータ３６の作動によって回転する回転体１５を有している。モータ３６は、回転体１５を間欠的に回転駆動させて、複数の部品保持部１４を間欠的に移動させる。回転体１５の一回の回転動作により、各部品保持部１４は部品保持部１４の配置ピッチ分移動する。

【0030】

各部品保持部１４は、鉛直方向に長く、回転体１５を貫通した状態で回転体１５に昇降可能に取り付けられている。各部品保持部１４は下端部で電子部品Ｗを吸着する吸着ノズルであり、真空圧（負圧）によって電子部品Ｗを吸着し、大気開放又は正圧によって電子部品Ｗの吸着状態を解除する。各部品保持部１４には、回転体１５より上側の領域に、下降した部品保持部１４に上向きの力を作用させるコイルばね３７が装着されている。

【0031】

回転体１５の上方には、モータ３６及び回転体１５を貫通する支持部材３８に固定された円盤状の板材３９が設けられている。水平配置された板材３９の外周には、それぞれモータ４０が固定された複数の保持部材４１が取り付けられ、各保持部材４１には鉛直に配された棒状の可動体４２が昇降自在に装着されている。各モータ４０の下方には、下降した可動体４２に対し上向きの力を与えるコイルばね４３が設けられている。モータ４０は、図４に示すように、Ｘ軸駆動手段２５、３０、４６、Ｙ軸駆動手段２６、３１、４７、撮像手段２８、ずれ導出手段２８ａ、駆動源３３、モータ３６、５１及び駆動回転部５６と共に制御手段５７に接続されている。

【0032】

本実施の形態では、モータ４０に、モータ４０の駆動によって昇降する出力軸４４が連結されており、可動体４２は下降する出力軸４４によって押し下げられる。回転体１５及び複数の部品保持部１４は、モータ３６が駆動するごとに、部品保持部１４の配置ピッチに相当する角度回転する。各可動体４２は、部品保持部１４が一時停止する位置の上方に配され、対応するモータ４０の作動により下降し、一時停止している部品保持部１４を押し下げる。なお、図１においては、部品保持部１４、モータ４０、保持部材４１、可動体４２及び出力軸４４等がそれぞれ２つずつ記載されているが、本実施の形態では、これらがそれぞれ３つ以上設けられている。

【0033】

部品保持部１４が一時停止する複数の位置の１つは、図２、図３に示すように、ピックアップユニット１３の上方の受け位置Ｐ２である。ピックアップ位置Ｐ１でウエハシートＨから電子部品Ｗを取得した部品支持部１２は、モータ５１の作動及び停止の繰り返しにより、電子部品Ｗと共に間欠的に移動して、受け位置Ｐ２の直下の渡し位置Ｐ３に停止した状態となる。

【0034】

本実施の形態では、回転部材２３（回転軸）を中心に渡し位置Ｐ３が１２時位置（０°位置）であり、回転部材２３が２回（複数回の一例）の９０°の回転動作により回転軸２２回りに１８０°回転することによって、ピックアップ位置Ｐ１に配されていた部品支持部１２を受け位置Ｐ３に配された部品保持部１４に対向する渡し位置Ｐ３に移動させると共に、渡し位置Ｐ３に配されていた部品支持部１２をピックアップ位置Ｐ１に移動させる。部品支持部１２が２つの場合、回転部材２３が一回の回転動作により１８０°回転することにより、ピックアップ位置Ｐ１に配されていた部品支持部１２を渡し位置Ｐ３に移動させ、渡し位置Ｐ３に配されていた部品支持部１２をピックアップ位置Ｐ１に移動させるようにすることができる。

【0035】

受け位置Ｐ２に配された部品保持部１４は、モータ４０の作動により可動体４２と共に下降して、渡し位置Ｐ３に配されている部品支持部１２に吸着された電子部品Ｗの面Ｗ１に接触し電子部品Ｗの面Ｗ１を吸着する。受け位置Ｐ２で電子部品Ｗを吸着した部品保持部１４は、電子部品Ｗの吸着を解除した部品支持部１２から電子部品Ｗを取得し、モータ４０の作動により可動体４２と共に上昇する。

【0036】

搬送ユニット１６の近傍には、図２に示すように、部品保持部１４に吸着された電子部品Ｗに対し、それぞれ所定の処理（外観検査、電気特性検査、レーザーマーキング等）を行う処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１が設けられている。
部品保持部１４に吸着された電子部品Ｗ及び部品保持部１４は、モータ３６の作動及び停止の繰り返しにより間欠的に移動して、処理ユニット１７による処理が行われる処理位置Ｐ７、処理ユニット１８による処理が行われる処理位置Ｐ８、処理ユニット１９による処理が行われる処理位置Ｐ９、処理ユニット２０による処理が行われる処理位置Ｐ１０、処理ユニット２１による処理が行われる処理位置Ｐ１１に順次停止する。

【0037】

また、制御手段５７には、図４に示すように、ウエハシートＨに貼付された状態で被ピックアップ位置又はその近傍に配された電子部品Ｗ及びその周囲の電子部品ＷをウエハシートＨの表面側から撮像する撮像手段５８と、撮像手段５８の撮像画像を基に被ピックアップ位置又はその近傍に配された電子部品Ｗの位置を検出する位置検出手段５９も接続されている。

【0038】

制御手段５７は、例えば、ＣＰＵ及びメモリ等によって構成でき、Ｘ軸駆動手段２５、３０、４７、Ｙ軸駆動手段２６、３１、４６、駆動源３３、モータ３６、４０、５１、撮像手段２８、５８及び駆動回転部５６を制御すること、並びに、ずれ導出手段２８ａ及び位置検出手段５９から電子データを取得することができる。

【0039】

ここで、処理ユニット１７は、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗが処理ユニット１７に対して予め定められた所定の位置及び向きに配されていることを前提として、電子部品Ｗに対して処理を行うように設計されている。そのため、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗが処理ユニット１７に対して所定の位置及び向きに配されていなければ、処理ユニット１７は電子部品Ｗに対して適切に処理が行えない等の問題が生じる。この点、処理位置Ｐ８に配された電子部品Ｗと処理ユニット１８、処理位置Ｐ９に配された電子部品Ｗと処理ユニット１９、処理位置Ｐ１０に配された電子部品Ｗと処理ユニット２０、及び、処理位置Ｐ１１に配された電子部品Ｗと処理ユニット２１についても同様である。

【0040】

そこで、本実施の形態では、以下に説明する工程により、電子部品Ｗが処理位置Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１で処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１に対しそれぞれ所定の位置及び向きに配されるようにする。

【0041】

＜準備処理＞
ピックアップユニット１３が予め定められた標準位置に配され、全ての部品支持部１２が電子部品Ｗを吸着していない状態で、モータ５１の間欠的な作動により、部品支持部１２を順次、撮像位置に配置し、撮像手段２８が撮像位置に配された部品支持部１２を撮像する。制御手段５７は、撮像手段２８の撮像画像を基に、各部品支持部１２について、部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された際の部品支持部１２の中心の位置を導出し記憶する。

【0042】

このような処理を行うのは、部品支持部１２の製造誤差等により、個々の部品支持部１２において部品支持部１２の中心位置が異なることを確認したためである。但し、個々の部品支持部１２の中心位置の差異は極僅かであることから、電子部品処理装置１０に求められる要求によっては、この準備処理は省略される。
なお、準備処理におけるモータ５１や撮像手段２８等の制御は、制御手段５７によりなされることについての記載は省略している。この点、以下の説明でも同様にすることがある。

【0043】

＜電子部品取得処理＞
準備処理が完了した後、図７に示すステップＳ１～ステップＳ６によって、ピックアップユニット１３が、ウエハシートＨから電子部品Ｗをピックアップする。

【0044】

ステップＳ１：制御手段５７は、図７に示すように、Ｘ軸駆動手段３０及びＹ軸駆動手段３１を制御し、一の電子部品Ｗをピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に対向する被ピックアップ位置に配置すべく、ウエハリング２９と共にウエハシートＨを予め定められたピッチ分移動させ、当該電子部品Ｗを撮像手段５８により撮像する。なお、ウエハリング２９及びウエハシートＨが予め定められたピッチ分移動する前に撮像手段５８による当該電子部品Ｗの撮像を行ってもよい。

【0045】

ステップＳ２：ウエハシートＨに貼付されている個々の電子部品Ｗの位置は、多少のばらつきがあることから、電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されていないことがあり得る。そこで、位置検出手段５９は撮像手段５８の撮像画像を基に当該電子部品Ｗの位置を検出し、当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されているか否かを判定する。
ステップＳ３：位置検出手段５９により当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されていると判定された場合、当該電子部品Ｗの移動は行われない。

【0046】

ステップＳ４：一方、位置検出手段５９により当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されていないと判定された場合、制御手段５７は当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されるように、Ｘ軸駆動手段３０及びＹ軸駆動手段３１を制御して、ウエハリング２９及びウエハシートＨと共に当該電子部品Ｗを移動させ、当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配されるようにする。

【0047】

ステップＳ５：制御手段５７は、ピックアップ位置Ｐ１（６時位置）に向かっている部品支持部１２に紐づけて記憶しているピックアップ位置Ｐ１における当該部品支持部１２の中心位置を基に、Ｘ軸駆動手段２５及びＹ軸駆動手段２６を作動させて、標準位置に配されたピックアップユニット１３を仮想平面Ｆに沿って移動させ、当該部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された際に、当該部品支持部１２の中心、被ピックアップ位置に配されている電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心が仮想直線（本実施の形態では、Ｊ方向に沿った仮想直線）上に配されるようにする。

【0048】

なお、ピックアップユニット１３の仮想平面Ｆに沿った移動は、部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された状態で行ってもよい。本実施の形態では、被ピックアップ位置に配されている電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心がＪ方向に沿った仮想直線上に配されるように設計されていることから、ステップＳ５で突出機構１１は移動させないが、当該電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心がＪ方向に沿った仮想直線上に配されていない場合、当該電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心がＪ方向に沿った仮想直線上に配されるように、Ｘ軸駆動手段４６及びＹ軸駆動手段４７の作動により突出機構１１の位置が調整される。

【0049】

即ち、制御手段５７は、第１の駆動機構４８、第２の駆動機構２７及び第３の駆動機構３５を制御（第１の駆動機構４８、第２の駆動機構２７及び第３の駆動機構３５のいずれか一つ又は複数を作動）して、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２、次に部品支持部１２に取得される電子部品Ｗ及び突出機構１１の位置を調整する。

【0050】

ここで、ステップＳ１～Ｓ５は、被ピックアップ位置に配された電子部品Ｗの中心を基準として、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２、被ピックアップ位置に配された（即ち、次に部品支持部１２に取得される）電子部品Ｗ及び突出機構１１を位置調整する手順であるが、当該位置調整の手順を、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２の中心を基準にして行うこともできる。その場合、ステップＳ２～Ｓ５の代わりに、下記のステップＳ２’～Ｓ３’がなされる。

【0051】

ステップＳ２’：位置検出手段５９は、ステップＳ１で撮像手段５８が電子部品Ｗを撮像した撮像画像を基に当該電子部品Ｗの位置を検出し、当該電子部品Ｗの中心の位置を記憶する。

【0052】

ステップＳ３’：制御手段５７は、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に紐づけて記憶しているピックアップ位置Ｐ１における当該部品支持部１２の中心位置、及び、位置検出手段５９に記憶された、次に部品支持部１２に所得される電子部品Ｗの中心位置を基に、Ｘ軸駆動手段３０、Ｙ軸駆動手段３１、Ｘ軸駆動手段４６及びＹ軸駆動手段４７を作動させ、ピックアップユニット１３が標準位置に配置された状態でピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２の中心に対して、次に部品支持部１２に所得される電子部品Ｗの中心位置及びピン３４の中心位置がＪ方向に沿った仮想直線上に配されるようにする。

【0053】

ステップＳ６：ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２、被ピックアップ位置に配された電子部品Ｗ及び突出機構１１の位置調整が完了した後、制御手段５７は、駆動源３３を作動させて、ピン３４をＪ方向に移動させ、被ピックアップ位置に配されていた電子部品Ｗをピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に接近させて吸着させ、ピン３４のＪ方向逆向きの移動により当該部品支持部１２に当該電子部品Ｗを取得させる。部品支持部１２の中心、電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心が直線的に並んだ状態で部品支持部１２による電子部品Ｗの取得が行われるため、部品支持部１２は電子部品Ｗを安定的に取得することができる。

【0054】

ステップＳ７：ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２による電子部品Ｗの取得が完了した後、ピックアップユニット１３が標準位置に配されていない場合、Ｘ軸駆動手段２５及びＹ軸駆動手段２６の作動によりピックアップユニット１３は標準位置に戻され、ウエハシートＨが標準位置に配されていない場合、Ｘ軸駆動手段３０及びＹ軸駆動手段３１の作動によりウエハシートＨは標準位置に戻され、突出機構１１が標準位置に配されていない場合、Ｘ軸駆動手段４６及びＹ軸駆動手段４７の作動により突出機構１１は標準位置に戻される。

【0055】

ここで、ステップＳ１は、ピックアップユニット１３及びウエハシートＨがそれぞれ標準位置に配されている状態で行われる。

【0056】

＜電子部品受渡し処理＞
ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２によりウエハシートＨから取得された電子部品Ｗは、図８に示すステップＳ１１～Ｓ１６を経てピックアップユニット１３から搬送ユニット１６に受け渡される。

【0057】

ステップＳ１１：ピックアップユニット１３が標準位置に配されている状態で、撮像手段２８は、図８に示すように、撮像位置で静止している電子部品Ｗを撮像する。
ステップＳ１２：ずれ導出手段２８ａは撮像手段２８の撮像画像を基に部品支持部１２に取得（支持）された状態で撮像された電子部品Ｗの位置及び向きを検出し、検出した電子部品Ｗの位置及び向きと記憶している電子部品Ｗの基準位置及び基準向きとを比較して、当該電子部品Ｗの基準位置及び基準向きに対するずれを検出し、検出した基準位置及び基準向きに対するずれを当該電子部品Ｗに紐づけて記憶する。

【0058】

ステップＳ１３：制御手段５７は、ずれ導出手段２８ａが当該電子部品Ｗに紐づけて記憶した当該電子部品Ｗの基準位置及び基準向きに対するずれを基に、１２時位置に配された電子部品Ｗの位置及び向きを調整する。具体的には、制御手段５７が、Ｘ軸駆動手段２５及びＹ軸駆動手段２６を作動させ、部品支持部１２で電子部品Ｗを支持したピックアップユニット１３を仮想平面Ｆに沿って移動させて、部品支持部１２に支持されて１２時位置に配された電子部品Ｗを位置調整して所定の位置に配すると共に、当該電子部品Ｗを支持している部品支持部１２に対応する駆動回転部５６を作動させて当該電子部品Ｗを仮想回転軸Ｒ回りに自転させて、当該電子部品Ｗの向きを調整して所定の向きに配置する。

【0059】

１２時位置に配された電子部品Ｗの位置調整後の位置が渡し位置Ｐ３である。
このステップＳ１３は、ステップＳ６の後に行っても良いし、ステップＳ６の前に行っても良い。ステップＳ６の後にステップＳ１３を行う場合、駆動回転部５６の作動による電子部品Ｗの向き調整は、電子部品Ｗが１２時位置に配される前に行うことができる。ステップＳ６の前にステップＳ１３を行う場合、Ｘ軸駆動手段２５、Ｙ軸駆動手段２６及び駆動回転部５６の作動による電子部品Ｗの位置及び向きの調整は、電子部品Ｗが１２時位置に向かっているタイミングで行うことができる。

【0060】

ステップＳ１４：制御手段５７は、受け位置Ｐ２の上方に設けられたモータ４０を作動させ、受け位置Ｐ２で静止していた部品保持部１４を下降させて、１２時位置で静止している部品支持部１２に支持された電子部品Ｗの面Ｗ１に接触させる。
ステップＳ１５：部品保持部１４が電子部品Ｗの面Ｗ１を吸着し、部品支持部１２は電子部品Ｗの面Ｗ２の吸着を解除する。ピックアップユニット１３は、部品支持部１２が電子部品Ｗの面Ｗ２の吸着を解除した後に、標準位置に戻される。

【0061】

ステップＳ１６：制御手段５７がモータ４０を作動させて部品保持部１４を上昇させることによって、部品保持部１４は部品支持部１２から電子部品Ｗを取得する。これにより、ピックアップユニット１３から搬送ユニット１６への電子部品Ｗの受け渡しが完了する。

【0062】

受け位置Ｐ２で部品支持部１２から電子部品Ｗを取得した部品保持部１４は、図２に示すように、モータ３６の作動（本実施の形態では、モータ３６の２回の作動）により、電子部品Ｗと共に移動して処理位置Ｐ７に配される。ここで、ステップＳ７でのＸ軸駆動手段２５、Ｙ軸駆動手段２６及び駆動回転部５６の作動による電子部品Ｗの位置及び向きの調整によって、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗは、処理ユニット１７に対して所定の位置及び向きに配された状態になる。よって、制御手段５７は、ずれ導出手段２８ａが検出したずれを基に第２の駆動機構２７及び駆動回転部５６を制御して、電子部品Ｗが処置位置Ｐ７で処理ユニット１７に対し所定の位置及び向きに配されるようにする。

【0063】

その後、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗに対して処理ユニット１７は所定の処理を行う。
モータ３６の作動による回転体１５の回転は、原則、回転部材２３の回転と同じタイミングでなされる。

【0064】

処理位置Ｐ８に配された電子部品Ｗに対する処理ユニット１８による処理、処理位置Ｐ９に配された電子部品Ｗに対する処理ユニット１９による処理、処理位置Ｐ１０に配された電子部品Ｗに対する処理ユニット２０による処理及び処理位置Ｐ１１に配された電子部品Ｗに対する処理ユニット２１による処理は、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗに対する処理ユニット１７による処理と同タイミングで行われる。処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１のいくつかは部品保持部１４が電子部品Ｗを支持した状態で電子部品Ｗに処理を行い、残りは部品保持部１４から電子部品Ｗを取得した後、電子部品Ｗに処理を行い、部品保持部１４に電子部品Ｗを戻す。

【0065】

次に、図９～図１７を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る電子部品処理装置７０について説明する。なお、電子部品処理装置７０において、電子部品処理装置１０と同様の構成については同じ符号を付して詳しい説明を省略する。
電子部品処理装置７０は、図９、図１０、図１１に示すように、ウエハシートＨの表面に貼付された電子部品ＷをウエハシートＨに垂直なＪ方向にウエハシートＨの裏面側から突き出す突出機構１１、Ｊ方向に突き出された電子部品ＷをウエハシートＨに対向するピックアップ位置Ｐ１で取得する部品支持部１２を有するピックアップユニット１３、受け位置Ｐ２でピックアップユニット１３から電子部品Ｗを取得する部品保持部１４が取り付けられた回転体１５の回転により部品保持部１４が電子部品Ｗと共に処理位置Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１まで移動する搬送ユニット１６、及び、処理位置Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１に配された電子部品Ｗにそれぞれ所定の処理を行う処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１を備えている。

【0066】

ピックアップユニット１３は、回転体１５の下方に設けられ、支持体７１に支持された回転軸２２及びそれぞれ回転部材２３に対して進退可能に設けられた４つ（複数）の部品支持部１２を有している。本実施の形態では、ウエハシートＨが、ピックアップユニット１３と略同一の高さ位置に鉛直に配されている。各部品支持部１２は、支持体７１内に設けられた図１２に示すモータ５１の作動及び停止の繰り返しによる回転部材２３の間欠的な回転に伴って９０度移動し、順次、ウエハシートＨに対向するピックアップ位置Ｐ１（３時位置）に配される。なお、図１０、図１３では、部品支持部１２に力を作用させるコイルばね２４等の記載を省略している。

【0067】

支持体７１は、図９、図１１に示すように、ベース台７２上に平行に設けられたガイドレール７３、７４に移動可能に取り付けられている。支持体７１の近傍には、図１０、図１３に示すように、作動により動力伝達部７５を介して支持体７１に力を与え、ピックアップユニット１３をガイドレール７３、７４に沿って水平移動させる駆動源７６が設置されている。

【0068】

本実施の形態では、ピックアップユニット１３が、ウエハシートＨに平行なＧ方向又はＧ方向の反対方向に移動する。平面視して（回転体１５の回転軸に沿って見て）、Ｇ方向は、図１３に示すように、回転体１５の回転中心と受け位置Ｐ２とを通る仮想直線Ｎに垂直である。ピックアップユニット１３をＧ方向又はＧ方向の反対方向に移動させる駆動機構βの一例である駆動機構７７が、ガイドレール７３、７４、動力伝達部７５及び駆動源７６を有して構成されている。

【0069】

また、ウエハシートＨ及びウエハシートＨを装着するウエハリング２９は、図１１に示すように、ウエハリング２９を支持する垂直駆動手段７８の作動により鉛直方向正側及び負側に移動する。更に、ウエハシートＨ及びウエハリング２９は垂直駆動手段７８に取り付けられた水平駆動手段７９の作動により垂直駆動手段７８と共に水平に移動する。垂直駆動手段７８に取り付けられた筒状部材３２の内側には、駆動源３３の作動により水平に進退するピン３４が設けられている。本実施の形態では、ウエハシートＨを含む仮想平面Ｑ内でウエハシートＨを自在に移動させる駆動機構８０（駆動機構γの一例）が垂直駆動手段７８及び水平駆動手段７９を有して構成されている。

【0070】

なお、図１１では、ウエハシートＨ、ウエハリング２９及び垂直駆動手段７８を断面図として記載している。垂直駆動手段７８及び水平駆動手段７９の作動により、ウエハシートＨの表面に貼付されている多数の電子部品Ｗの内の一つの電子部品Ｗが、順次、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に取得される被ピックアップ位置に配される。

【0071】

ウエハシートＨの近傍に設けられた筒状部材３２の内側には、駆動源３３の作動によりウエハシートＨに対し垂直な方向（水平方向）に進退（Ｊ方向又はＪ方向逆向きに移動）するピン３４が設けられている。ピン３４は、ウエハシートＨの裏側に位置し、前進（Ｊ方向に移動）することによって、ピックアップ位置に配された電子部品Ｗを、ウエハシートＨの表側に移動させ（Ｊ方向に突き出し）、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に接触させる。

【0072】

駆動源３３には、図１１、図１３に示すように、筒状部材３２、駆動源３３及びピン３４を有して形成されている突出機構１１を、ウエハシートＨに平行なＧ方向又はＧ方向の反対方向に移動させる水平駆動手段８１（駆動機構αの一例）が取り付けられている。

【0073】

また、ピックアップユニット１３の近傍には、ピックアップ位置Ｐ１で電子部品Ｗを取得した部品支持部１２と共に移動して６時位置に配された電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像する撮像手段８２が設けられている。以下、「６時位置」を「撮像位置」とも言う。撮像手段８２はプリズム８３を介して撮像位置に配された電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像し電子部品Ｗの面Ｗ１を正面から撮像した画像を得る。撮像手段８２は部品支持部１２が支持している電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像できればよく、例えば、９時位置に配された電子部品Ｗの面Ｗ１を撮像するように撮像手段８２を配置してもよい。

【0074】

撮像手段８２には、図１２に示すように、撮像手段８２が撮像した画像を取得するずれ導出手段８４が接続されている。ずれ導出手段８４は、撮像手段８２が撮像した画像から電子部品Ｗの位置及び向きを検出可能である。ずれ導出手段８４には、電子部品Ｗの基準位置及び基準向きが記憶されている。ずれ導出手段８４は、撮像手段８２が撮像位置に配された電子部品Ｗを撮像する度に、撮像された電子部品Ｗについて検出した電子部品Ｗの位置及び向きと、記憶している電子部品Ｗの基準位置及び基準向きとを比較して、電子部品Ｗの基準位置及び基準向きに対するずれを検出し、検出した基準位置及び基準向きに対するずれを該当の電子部品Ｗに紐づけて記憶する。

【0075】

駆動回転部５６は、図１４に示すように、部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された状態でＪ方向に配される仮想回転軸Ｒ回りに部品支持部１２を自転させることができる。
本実施の形態では、図１１、図１４に示すように、回転部材２３（回転軸２２）を中心に渡し位置Ｐ３が１２時位置であり、回転部材２３が３回の９０°回転動作により２７０°回転することによって、ピックアップ位置Ｐ１に配されていた部品支持部１２が渡し位置Ｐ３に配される。

【0076】

また、図１０に示すように、平面視して（回転体１５の回転軸に沿って見て）回転体１５の中心と処理位置Ｐ７を通る仮想直線を仮想直線Ｍとし、仮想直線Ｍに沿って処理位置Ｐ７から回転体１５の中心に向けての方向をＫ方向（即ち、Ｋ方向は仮想直線Ｍに沿う方向である）として、処理ユニット１７には、Ｋ方向又はＫ方向の反対方向に移動させる駆動機構８７（駆動機構δの一例）が連結されている。

【0077】

同様に、平面視して回転体１５の中心と処理位置Ｐ８を通る水平な仮想直線を仮想直線Ｍとし、仮想直線Ｍに沿って処理位置Ｐ８から回転体１５の中心に向けての方向をＫ方向とし、平面視して回転体１５の中心と処理位置Ｐ９を通る水平な仮想直線を仮想直線Ｍとし、仮想直線Ｍに沿って処理位置Ｐ９から回転体１５の中心に向けての方向をＫ方向とし、平面視して回転体１５の中心と処理位置Ｐ１０を通る水平な仮想直線を仮想直線Ｍとし、仮想直線Ｍに沿って処理位置Ｐ１０から回転体１５の中心に向けての方向をＫ方向とし、平面視して回転体１５の中心と処理位置Ｐ１１を通る水平な仮想直線を仮想直線Ｍとし、仮想直線Ｍに沿って処理位置Ｐ１１から回転体１５の中心に向けての方向をＫ方向として、処理ユニット１８、１９、２０、２１にはそれぞれ、Ｋ方向又はＫ方向の反対方向に移動させる駆動機構８８、８９、９０、９１（それぞれ駆動機構δの一例）が連結されている。なお、図１０では、処理ユニット１７及び処理位置Ｐ７に対応する仮想直線Ｍ以外の仮想直線Ｍの記載を省略している。

【0078】

駆動機構８７、８８、８９、９０、９１は、図１２に示すように、駆動源７６、垂直駆動手段７８、水平駆動手段７９、駆動源３３、モータ３６、４０、５１、撮像手段５８、８２、位置検出手段５９、ずれ導出手段８４及び駆動回転部５６と共に制御手段５７ａに接続されている。
制御手段５７ａは、駆動源３３、７６、モータ３６、４０、５１、駆動回転部５６、撮像手段５８、８２、垂直駆動手段７８、水平駆動手段７９、８１、駆動機構８７、８８、８９、９０、９１を制御すること、並びに、位置検出手段５９及びずれ導出手段８４から電子データを取得することができる。

【0079】

本実施の形態では、電子部品処理装置１０に行った準備処理と同様の準備処理を行った後、以下に記す処理により、電子部品Ｗが処理位置Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１で処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１に対しそれぞれ所定の位置及び向きに配されるようにする。

【0080】

＜電子部品取得処理＞
準備処理が完了した後、図１５に示すステップＳ２１～ステップＳ２７によって、ピックアップユニット１３が、ウエハシートＨから電子部品Ｗをピックアップする。

【0081】

ステップＳ２１：制御手段５７ａは、図１５に示すように、垂直駆動手段７８及び水平駆動手段７９を制御し、一の電子部品Ｗをピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に対向する被ピックアップ位置に配置すべく、ウエハリング２９と共にウエハシートＨを予め定められたピッチ分移動させ、当該電子部品Ｗを撮像手段５８により撮像する。なお、ウエハリング２９及びウエハシートＨが予め定められたピッチ分移動する前に撮像手段５８による当該電子部品Ｗの撮像を行ってもよい。

【0082】

ステップＳ２２：位置検出手段５９が撮像手段５８の撮像画像を基に当該電子部品Ｗの位置を検出し、当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されているか否かを判定する。
ステップＳ２３：位置検出手段５９により当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されていると判定された場合、当該電子部品Ｗの移動は行われない。

【0083】

ステップＳ２４：一方、位置検出手段５９により当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されていないと判定された場合、制御手段５７ａは当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配置されるように、垂直駆動手段７８及び水平駆動手段７９を制御して、ウエハリング２９及びウエハシートＨと共に当該電子部品Ｗを移動させ、当該電子部品Ｗが被ピックアップ位置に配されるようにする。

【0084】

ステップＳ２５：制御手段５７ａは、ピックアップ位置Ｐ１（３時位置）に向かっている部品支持部１２に紐づけて記憶しているピックアップ位置Ｐ１における当該部品支持部１２の中心位置を基に、駆動源７６を作動させ、標準位置に配されたピックアップユニット１３をＧ方向又はＧ方向の反対方向に移動させて、当該部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された際に、当該部品支持部１２の中心、被ピックアップ位置に配されている電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心が仮想直線（本実施の形態では、Ｊ方向に沿った仮想直線）上に配されるようにする。

【0085】

なお、ピックアップユニット１３のＧ方向又はＧ方向の反対方向への移動は、部品支持部１２がピックアップ位置Ｐ１に配された状態で行ってもよい。本実施の形態では、被ピックアップ位置に配されている電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心がＪ方向に沿った仮想直線上に配されるように設計されていることから、ステップＳ２５で突出機構１１は移動させないが、当該電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心がＪ方向に沿った仮想直線上に配されていない場合、当該電子部品Ｗの中心及びピン３４の中心がＪ方向に沿った仮想直線上に配されるように、水平駆動手段８１の作動により突出機構１１の位置が調整される。

【0086】

即ち、制御手段５７ａは、駆動機構α、駆動機構β及び駆動機構γを制御（駆動機構α、駆動機構β及び駆動機構γのいずれか一つ又は複数を作動）して、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２、次に部品支持部１２に取得される電子部品Ｗ及び突出機構１１の位置を調整する。

【0087】

ここで、ステップＳ２１～Ｓ２５は、被ピックアップ位置に配された電子部品Ｗの中心を基準として、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２、被ピックアップ位置に配された（即ち、次に部品支持部１２に取得される）電子部品Ｗ及び突出機構１１を位置調整する手順であるが、当該位置調整の手順を、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２の中心を基準にして行うこともできる。その場合、ステップＳ２２～Ｓ２５の代わりに、下記のステップＳ２２’～Ｓ２３’がなされる。

【0088】

ステップＳ２２’：位置検出手段５９は、ステップＳ２１で撮像手段５８が電子部品Ｗを撮像した撮像画像を基に当該電子部品Ｗの位置を検出し、当該電子部品Ｗの中心の位置を記憶する。

【0089】

ステップＳ２３’：制御手段５７ａは、ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に紐づけて記憶しているピックアップ位置Ｐ１における当該部品支持部１２の中心位置、及び、位置検出手段５９に記憶された、次に部品支持部１２に所得される電子部品Ｗの中心位置を基に、水平駆動手段７９、８１を作動させ、ピックアップユニット１３が標準位置に配置された状態でピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２の中心に対して、次に部品支持部１２に所得される電子部品Ｗの中心位置及びピン３４の中心位置がＪ方向に沿った仮想直線上に配されるようにする。

【0090】

ステップＳ２６：ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２、被ピックアップ位置に配された電子部品Ｗ及び突出機構１１の位置調整が完了した後、制御手段５７ａは、駆動源３３を作動させて、ピン３４をＪ方向に移動させ、被ピックアップ位置に配されていた電子部品Ｗをピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２に接近させて吸着させ、ピン３４のＪ方向逆向きの移動により当該部品支持部１２に当該電子部品Ｗを取得させる。

【0091】

ステップＳ２７：ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２による電子部品Ｗの取得が完了した後、ピックアップユニット１３が標準位置に配されていない場合、駆動源７６の作動によりピックアップユニット１３は標準位置に戻され、ウエハシートＨが標準位置に配されていない場合、水平駆動手段７９の作動によりウエハシートＨは標準位置に戻され、突出機構１１が標準位置に配されていない場合、水平駆動手段８１の作動により突出機構１１は標準位置に戻される。

【0092】

ここで、ステップＳ２１は、ピックアップユニット１３及びウエハシートＨがそれぞれ標準位置に配されている状態で行われる。

【0093】

＜電子部品受渡し処理＞
ピックアップ位置Ｐ１に配された部品支持部１２によりウエハシートＨから取得された電子部品Ｗは、図１６に示すステップＳ３１～Ｓ３６を経てピックアップユニット１３から搬送ユニット１６に受け渡される。

【0094】

ステップＳ３１：ピックアップユニット１３が標準位置に配されている状態で、撮像手段８２は、図１６に示すように、撮像位置で静止している電子部品Ｗを撮像する。
ステップＳ３２：ずれ導出手段８４は、撮像手段８２の撮像画像を基に部品支持部１２に取得（支持）された状態で撮像された電子部品Ｗの位置及び向きを検出し、検出した電子部品Ｗの位置及び向きと記憶している電子部品Ｗの基準位置及び基準向きとを比較して、当該電子部品Ｗの基準位置及び基準向きに対するずれを検出し、そのずれを当該電子部品Ｗに紐づけて記憶する。

【0095】

ステップＳ３３：制御手段５７ａは、ずれ導出手段８４が当該電子部品Ｗに紐づけて記憶した当該電子部品Ｗの基準位置及び基準向きに対するずれを基に、１２時位置に配された電子部品Ｗの位置及び向きを調整する。具体的には、制御手段５７ａが、駆動源７６を作動させ、部品支持部１２で電子部品Ｗを支持したピックアップユニット１３をＧ方向又はＧ方向の反対方向に移動させて、部品支持部１２に支持されて１２時位置に配された電子部品ＷのＧ方向の位置を調整して所定の位置に配すると共に、当該電子部品Ｗを支持している部品支持部１２に対応する駆動回転部５６を作動させて当該電子部品Ｗを仮想回転軸Ｒ回りに自転させて、当該電子部品Ｗの向きを調整して所定の向きに配置する。

【0096】

１２時位置に配された電子部品Ｗの位置調整後の位置が渡し位置Ｐ３である。
このステップＳ３３は、ステップＳ２６の後に行っても良いし、ステップＳ２６の前に行っても良い。ステップＳ２６の後にステップＳ３３を行う場合、駆動回転部５６の作動による電子部品Ｗの向き調整は、電子部品Ｗが１２時位置に配される前に行うことができる。ステップＳ２６の前にステップＳ３３を行う場合、駆動源７６及び駆動回転部５６の作動による電子部品Ｗの位置及び向きの調整は、電子部品Ｗが１２時位置に向かっているタイミングで行うことができる。

【0097】

１２時位置で位置及び向きが調整された電子部品Ｗは、電子部品処理装置１０による電子部品Ｗに対する処理と同様の処理がなされてピックアップユニット１３の部品支持部１２から搬送ユニット１６の部品保持部１４に受け渡され、搬送ユニット１６の部品保持部１４に支持された電子部品Ｗに対して、以下に示す工程により処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１による所定の処理がなされる。

【0098】

＜処理ユニットの処理＞
受け位置Ｐ２で部品支持部１２から電子部品Ｗを取得した部品保持部１４は、モータ３６の作動により、電子部品Ｗと共に移動して処理位置Ｐ７の１つ上流側の停止領域に配される。その後、図１７に示すステップＳ４１～Ｓ４２により、電子部品Ｗ及び処理ユニット１７の回転体１５の半径方向の位置調整が行われる。モータ３６の作動による回転体１５の回転及び部品保持部１４の移動は、原則として、回転部材２３の回転及び部品支持部１２の移動と同じタイミングでなされる。

【0099】

ステップＳ４１：制御手段５７ａは、モータ３６を作動させて電子部品Ｗ及び部品保持部１４を処理位置Ｐ７に移動させると共に、ステップＳ２６でずれ導出手段８４が当該電子部品Ｗに紐づけて記憶した基準位置及び基準向きに対するずれを基に、処理ユニット１７をＫ方向又はＫ方向の反対方向のいずれに移動させるか、及び、その移動距離を決定して、駆動機構８７を作動させる。

【0100】

駆動機構８７の作動により、処理ユニット１７はＫ方向又はＫ方向の反対方向に移動し、処理ユニット１７が、仮想直線Ｍ方向の位置において、処理位置Ｐ７に配される電子部品Ｗに対し予め定められた位置に配されるようにする。従って、駆動機構８７は、ピックアップユニット１３の移動によりなされた電子部品Ｗの位置調整の方向に直交するＫ方向又はＫ方向の反対方向に移動させて、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗに対する、処理ユニット１７のＫ方向の位置を調整することとなる。

【0101】

その結果、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗは処理ユニット１７に対して所定の位置及び向きに配される。従って、制御手段５７ａは、ずれ導出手段８４が検出したずれを基に駆動機構７７、８７及び駆動回転部５６を制御して、電子部品Ｗが処理位置Ｐ７で処理ユニット１７に対し所定の位置及び向きに配されるようにする。
本実施の形態では、処理ユニット１７のＫ方向又はＫ方向の反対方向の移動を、電子部品Ｗが処理位置Ｐ７に配される前に終えるようにしているが、電子部品Ｗが処理位置Ｐ７に配された後に処理ユニット１７のＫ方向又はＫ方向の反対方向の移動を終えるようにしてもよい。

【0102】

ここで、処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗに対して、処理ユニット１７の位置調整が行われているタイミングで、処理位置Ｐ８に配されている電子部品Ｗに対して、処理ユニット１８の位置調整が行われ、処理位置Ｐ９に配されている電子部品Ｗに対して、処理ユニット１９の位置調整が行われ、処理位置Ｐ１０に配されている電子部品Ｗに対して、処理ユニット２０の位置調整が行われ、処理位置Ｐ１１に配されている電子部品Ｗに対して、処理ユニット２１の位置調整が行われる。

【0103】

更に、本実施の形態では、同タイミングで、ステップＳ２７におけるピックアップユニット１３の移動による電子部品ＷのＧ方向の位置調整及び電子部品Ｗの仮想回転軸Ｒ回りの向き調整が行われる。従って、処理ユニット１７を処理位置Ｐ７に配された電子部品Ｗに対し予め定められた位置及び向きに配するために行われる各処理を効果的に行うことができ、結果として、電子部品処理装置７０による単位時間当たりの電子部品Ｗの処理数を多くすることが可能である。

【0104】

また、平面視して、モータ３６を中心に配されている処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１の各間には、充分な空き領域がないため、処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１をそれぞれＫ方向に垂直な方向に移動させることはスペース的に問題となるが、本実施の形態では、処理ユニット１７、１８、１９、２０、２１がそれぞれＫ方向のみに移動させるのでこの問題を回避できる。

【0105】

ステップＳ４２：回転体１５の半径方向の移動を終えた処理ユニット１７は、処理位置Ｐ７に配されて静止している電子部品Ｗに対して所定の処理を行い、本実施の形態では、略同じタイミングで、処理位置Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１に配されている各電子部品Ｗに対して処理ユニット１８、１９、２０、２１によりそれぞれ所定の処理が行われる。

【0106】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、ウエハシートは鉛直又は水平に配されている必要はない。

【0107】

また、ピックアップユニットが駆動回転部を有する代わりに、図１８に示す変形例のように、搬送ユニット１００が部品保持部１０１を自転させる駆動回転機構１０２を有することによって、電子部品Ｗの向きを調整するようにしてもよい。駆動回転機構１０２は、図１８に示すように、電子部品Ｗを取得した部品保持部１０１が処理位置に配される前に当該部品保持部１０１を自転させて、部品保持部１０１に取得された（部品支持部１２が支持している）電子部品Ｗの搬送ユニットに対する向きを調整する。

【0108】

この場合、制御手段は、ずれ導出手段が検出したずれを基に第２の駆動機構及び駆動回転機構１０２（又は駆動機構β、駆動機構δ及び駆動回転機構１０２）を制御して、電子部品Ｗが処理位置で処理ユニットに対し所定の位置及び向きに配されるようにする。駆動回転機構１０２を採用する場合、ピックアップユニット１０３に駆動回転部を設ける必要はない。

【0109】

ここで、回転体の回転方向に沿って最も上流側の処理位置が電子部品の向きの正確な調整を要さない処理ユニット（例えば、撮像手段を用いた電子部品の外観検査を行う処理ユニット）に対応し、上流側から２番目の処理位置が電子部品の向きの正確な調整を要する処理ユニット（例えば、電子部品の電気特性検査を行う処理ユニット）に対応する場合、駆動回転機構１０２による電子部品Ｗの向き調整は、上流側から２番目の処理位置に配される前（例えば、部品保持部１０１が最も上流側の処理位置から２番目の処理位置に移動しているタイミング）で行っても良いし、上流側から２番目の処理位置に配された状態で行っても良い。
なお、駆動回転機構１０２は、例えば、モータを有して構成することができる。図１８に示す変形例において電子部品処理装置１０、７０と同様の構成については同じ符号を付して詳しい説明を省略する。

【0110】

更に、第１の駆動機構は、突出機構を移動させる方向が異なる２つの駆動手段を有すればよく、突出機構を移動させる方向が直交するＸ軸駆動手段及びＹ軸駆動手段を有する必要はない。これは、ピックアップユニットを移動させる第２の駆動機構、ウエハシートを移動させる第３の駆動機構、及び、ウエハシートを移動させる駆動機構γについても同様である。

【0111】

そして、搬送ユニットの回転体は鉛直な回転軸を中心に回転する必要はなく、例えば、搬送ユニットの回転体が水平な回転軸を中心に回転するようにしてもよい。搬送ユニットの回転体が水平な回転軸を中心に回転する場合、同回転体の回転軸に沿って見て同回転体の中心と処理位置を通る仮想直線Ｍは、処理位置が配される仮想鉛直面上に配されることとなる。

【0112】

更に、ピックアップユニットと搬送ユニットの間にピックアップユニットから電子部品を取得して搬送ユニットに与える中継ユニットを設けてもよい。
そして、部品支持部に取得された電子部品の位置及び向きの検出を、撮像手段が撮像した画像を基に行う必要はなく、例えば、当該検出をレーザセンサの計測値を基に行うようにしてもよい。

【符号の説明】

【0113】

１０：電子部品処理装置、１１：突出機構、１２：部品支持部、１３：ピックアップユニット、１４：部品保持部、１５：回転体、１６：搬送ユニット、１７、１８、１９、２０、２１：処理ユニット、２１ａ：支持体、２２：回転軸、２３：回転部材、２４：コイルばね、２５：Ｘ軸駆動手段、２６：Ｙ軸駆動手段、２７：第２の駆動機構、２８：撮像手段、２８ａ：ずれ導出手段、２９：ウエハリング、３０：Ｘ軸駆動手段、３１：Ｙ軸駆動手段、３２：筒状部材、３３：駆動源、３４：ピン、３５：第３の駆動機構、３６：モータ、３７：コイルばね、３８：支持部材、３９：板材、４０：モータ、４１：保持部材、４２：可動体、４３：コイルばね、４４：出力軸、４５：ベース台、４６：Ｘ軸駆動手段、４７：Ｙ軸駆動手段、４９：第１の駆動機構、５１：モータ、５６：駆動回転部、５７、５７ａ：制御手段、５８：撮像手段、５９：位置検出手段、７０：電子部品処理装置、７１：支持体、７２：ベース台、７３、７４：ガイドレール、７５：動力伝達部、７６：駆動源、７７：駆動機構、７８：垂直駆動手段、７９：水平駆動手段、８０：駆動機構、８１：水平駆動手段、８２：撮像手段、８３：プリズム、８４：ずれ導出手段、８７、８８、８９、９０、９１：駆動機構、１００：搬送ユニット、１０１：部品保持部、１０２：駆動回転機構、１０３：ピックアップユニット、Ｈ：ウエハシート、Ｍ、Ｎ：仮想直線、Ｐ１：ピックアップ位置、Ｐ２：受け位置、Ｐ３：渡し位置、Ｐ７、Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０、Ｐ１１：処理位置、Ｒ：仮想回転軸、Ｗ：電子部品、Ｗ１、Ｗ２：面

【要約】

【課題】電子部品の処理ユニットに対する位置及び向きを所定の位置及び向きにする電子部品処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハシートに貼付された電子部品ＷをＪ方向に突き出す突出機構、Ｊ方向に突き出された電子部品Ｗをピックアップ位置Ｐ１で取得する部品支持部１２を有するピックアップユニット１３、受け位置Ｐ２でピックアップユニット１３から電子部品Ｗを取得する部品保持部１４が取り付けられた回転体１５の回転により部品保持部１４が処理位置Ｐ７～Ｐ１１まで移動する搬送ユニット、及び、処理位置Ｐ７～Ｐ１１に配された電子部品Ｗに所定の処理を行う処理ユニット１７～２１を備える電子部品処理装置１０において、突出機構をウエハシートに平行に移動させる第１の駆動機構と、ピックアップユニット１３をウエハシートに平行に移動させる第２の駆動機構２７と、ウエハシートをウエハシートに沿って移動させる第３の移動機構を備える。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】