特許7171092成膜制御装置、成膜装置及び成膜方法

発明の名称　成膜制御装置、成膜装置及び成膜方法

出願人　株式会社シンクロン　（識別番号 390007216）

　　　　特許公開件数ランキング 30662 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5618 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7171092

公報発行日　2022年11月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7171092

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