特許 7173298 セラミック基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-08

(45)【発行日】2022-11-16

(54)【発明の名称】セラミック基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 23/12 20060101AFI20221109BHJP

   H01L 23/08 20060101ALI20221109BHJP

【ＦＩ】

H01L23/12 D

H01L23/08 C

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021511243

(86)(22)【出願日】2020-02-28

(86)【国際出願番号】 JP2020008256

(87)【国際公開番号】W WO2020202941

(87)【国際公開日】2020-10-08

【審査請求日】2021-04-28

(31)【優先権主張番号】P 2019068267

(32)【優先日】2019-03-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】崔 弘毅

【審査官】多賀 和宏

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－０４２８９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０７２２１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２４３２２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１２６５９６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－０８４６４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－２４５５５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０４８８４４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２３／０８、２３／１２

Ｈ０５Ｋ ３／４６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上面に凹部を有するセラミック基板の製造方法であって、
焼成後に前記凹部が形成される凹部形成予定領域と重ならない位置で、かつ、焼成後に個片の前記セラミック基板に分割される分割予定ラインと重なる位置に、複数のセラミックグリーンシートのうち少なくとも１枚以上の前記セラミックグリーンシートに穴部を形成し、複数の前記セラミックグリーンシートを積層してマザー積層体を形成する工程と、
前記マザー積層体の前記凹部形成予定領域をプレス加工することで、焼成前の前記マザー積層体に前記凹部を形成する工程と、を有する
セラミック基板の製造方法。

【請求項2】

請求項１に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記凹部を形成する工程において、前記穴部は、前記セラミックグリーンシートの流動により内壁が密着して、前記分割予定ラインで前記マザー積層体は一体に形成される
セラミック基板の製造方法。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記穴部は、前記マザー積層体の上面から下面まで貫通して形成される
セラミック基板の製造方法。

【請求項4】

請求項１又は請求項２に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記穴部は、前記マザー積層体を構成する複数の前記セラミックグリーンシートのうち、前記マザー積層体の上面側に位置する一部の前記セラミックグリーンシートに形成される
セラミック基板の製造方法。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記上面に垂直な方向からの平面視で、前記穴部は、マトリクス状に設けられた前記分割予定ラインの交点と重なる位置に設けられる
セラミック基板の製造方法。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記上面に垂直な方向からの平面視で、前記穴部は、円形状である
セラミック基板の製造方法。

【請求項7】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記上面に垂直な方向からの平面視で、前記穴部は、前記分割予定ラインに沿って延在する矩形状である
セラミック基板の製造方法。

【請求項8】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記上面に垂直な方向からの平面視で、前記穴部は、十字状である
セラミック基板の製造方法。

【請求項9】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のセラミック基板の製造方法であって、
前記上面に垂直な方向からの平面視で、前記穴部は、各辺が湾曲した菱形形状である
セラミック基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、セラミック基板の製造方法及びセラミック基板に関する。

【背景技術】

【0002】

電子部品を実装する実装基板や、電子部品を収納するパッケージとしてセラミック基板が用いられる。特許文献１に記載されているセラミック基板（電子部品収納用パッケージ）では、セラミックグリーンシートの上面をプレス加工して、凹部を加工することによって、焼成後のセラミック基板に凹部が形成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１５－１７０７５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１では、プレス加工において、セラミックグリーンシートの凹部が形成される領域と、凹部が形成されない領域とで、セラミックグリーンシートに加えられる圧力が異なる。これにより、凹部が加工されたセラミックグリーンシートでは、平面内で密度の分布が生じる。このため、焼成後のセラミック基板において、反りが発生する可能性がある。

【0005】

本発明は、反りを好適に抑制することが可能なセラミック基板の製造方法及びセラミック基板を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面のセラミック基板の製造方法は、上面に凹部を有するセラミック基板の製造方法であって、焼成後に前記凹部が形成される凹部形成予定領域と重ならない位置で、かつ、焼成後に個片の前記セラミック基板に分割される分割予定ラインと重なる位置に、複数のセラミックグリーンシートのうち少なくとも１枚以上の前記セラミックグリーンシートに穴部を形成し、複数の前記セラミックグリーンシートを積層してマザー積層体を形成する工程と、前記マザー積層体の前記凹部形成予定領域をプレス加工することで、焼成前の前記マザー積層体に前記凹部を形成する工程と、を有する。

【0007】

本発明の一側面のセラミック基板は、複数のセラミック層が積層されたセラミック基板であって、搭載面を有する基板底部と、前記基板底部の上に設けられ、前記搭載面を囲む壁部とを有し、複数の前記セラミック層の層間を示す粒界の配向が、前記搭載面及び前記壁部の内壁面に沿って湾曲し、かつ、前記基板底部及び前記壁部の外周面と交差しない。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、反りを好適に抑制することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、実施形態のセラミック基板を有するパッケージの構成を示す平面図である。

【図2】図２は、図１のＩＩ－ＩＩ’断面図である。

【図3】図３は、セラミック基板の製造方法を説明するための説明図である。

【図4】図４は、マザー積層体を示す平面図である。

【図5】図５は、マザー積層体を拡大して示す平面図である。

【図6】図６は、焼成後のマザー積層体を模式的に示す断面図である。

【図7】図７は、第１変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。

【図8】図８は、第２変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。

【図9】図９は、第３変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。

【図10】図１０は、第４変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。

【図11】図１１は、第５変形例に係るマザー積層体を拡大して示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、本発明のセラミック基板の製造方法及びセラミック基板の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。各実施の形態は例示であり、異なる実施の形態で示した構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。第２の実施の形態以降では第１の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。

【0011】

図１は、実施形態のセラミック基板を有するパッケージの構成を示す平面図である。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ’断面図である。なお、図１は、パッケージ１００の蓋体２を除いたセラミック基板１の平面図を示す。

【0012】

図１に示すように、パッケージ１００はセラミック基板１を有する。セラミック基板１は、基板底部１０と、壁部１２とを有する。壁部１２は、基板底部１０の搭載面１０ａを囲んで枠状に設けられている。言い換えると、セラミック基板１は、上面に凹部２０が設けられている。セラミック基板１は、平面視で、矩形状である。なお、以下の説明において、平面視とは、搭載面１０ａに垂直な方向から見た場合の配置関係を示す。

【0013】

電子部品２００は、セラミック基板１の凹部２０内に収納される。具体的には、電子部品２００は、水晶振動子である。基板底部１０の搭載面１０ａには電子部品２００を実装するための台座１４が設けられている。台座１４は、搭載面１０ａの隅部付近に設けられ、壁部１２から離隔して配置される。また、基板底部１０の搭載面１０ａには支持部１６が設けられる。支持部１６は、台座１４と反対側に配置される。電子部品２００の一端側は、台座１４の上に接合部材１８により接合される。電子部品２００の他端側は、支持部１６の上側に位置する。電子部品２００は、搭載面１０ａ、支持部１６及び壁部１２の内壁面１２ｂと離れて配置される。

【0014】

図２に示すように、台座１４の上面には、電子部品２００と電気的に接続される接続電極２２が設けられる。また、セラミック基板１の下面には、底面電極２４、２５が設けられている。接続電極２２と底面電極２４とは、基板底部１０に設けられたビア２３を介して電気的に接続される。

【0015】

壁部１２の上面１２ａには、メタライズ層３が設けられている。蓋体２は、メタライズ層３を介してセラミック基板１に接合される。これにより、基板底部１０と、壁部１２と、蓋体２とで囲まれた空間が気密封止される。

【0016】

次に、セラミック基板１の製造方法について説明する。図３は、セラミック基板の製造方法を説明するための説明図である。図３に示すように、セラミック基板１の製造方法は、複数のセラミックグリーンシート５１に穴部６１を形成し、複数のセラミックグリーンシート５１を積層してマザー積層体５を形成する工程（ステップＳＴ１）を含む。

【0017】

セラミックグリーンシート５１は、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）を主成分とするセラミック粉末と、有機バインダ及び熱可塑性樹脂等の樹脂材料とを含む。セラミックグリーンシート５１は、例えば、ドクターブレードやリップコータ等により塗布形成される。

【0018】

図３に示すように、穴部６１は、複数のセラミックグリーンシート５１の、それぞれ、分割予定ライン５４と重なる位置に形成される。分割予定ライン５４は、マザー積層体５が焼成後に個片のセラミック基板１に分割される予定の仮想線である。なお、図３では図示を省略するが、複数のセラミックグリーンシート５１のそれぞれには、穴部６１とともに、ビア２３や、接続電極２２、底面電極２４、２５等の各種電極が形成される。穴部６１が形成された複数のセラミックグリーンシート５１を積層することでマザー積層体５が形成される。複数のセラミックグリーンシート５１の穴部６１は、互いに重なる位置に設けられる。これにより、マザー積層体５は、上面から下面まで貫通して形成される穴部６１を有する。

【0019】

また、マザー積層体５は、壁部形成予定領域５５と、凹部形成予定領域５６とを有する。壁部形成予定領域５５は、マザー積層体５の焼成、分割後にセラミック基板１の壁部１２が形成される予定の領域である。凹部形成予定領域５６は、マザー積層体５の焼成、分割後にセラミック基板１の凹部２０が形成される予定の領域である。複数の穴部６１は、マザー積層体５の壁部形成予定領域５５に設けられる。すなわち、複数の穴部６１は、マザー積層体５の凹部形成予定領域５６と重ならない位置で、かつ、分割予定ライン５４と重なる位置に設けられる。

【0020】

図４は、マザー積層体を示す平面図である。図４に示すように、マザー積層体５において、分割予定ライン５３、５４はマトリクス状に設けられる。マザー積層体５は、焼成後に分割予定ライン５３、５４で、個片のセラミック基板１に分割される。つまり、分割予定ライン５３、５４で囲まれた領域が、１つのセラミック基板１に対応する。マザー積層体５には、分割予定ライン５３、５４と重なる位置に、分割用の溝が形成されてもよい。個片のセラミック基板１に分割する設備装置に、例えばローラーブレイク機を用いてもよく、ダイサーを用いてもよい。

【0021】

図５は、マザー積層体を拡大して示す平面図である。なお、図５では、複数のセラミックグリーンシート５１を積層後、プレス加工前のマザー積層体５を示す。図５に示すように、複数の穴部６１は、平面視でそれぞれ円形状であり、分割予定ライン５３、５４に沿って配列される。より具体的には、複数の穴部６１は、分割予定ライン５３と分割予定ライン５４との交点と重なる位置に設けられる。また、複数の穴部６１は、交点の間において、分割予定ライン５３、５４と重なる位置にも設けられる。

【0022】

次に、図３に示すように、加圧治具８は、マザー積層体５の凹部形成予定領域５６をプレス加工することで、マザー積層体５に凹部２０を形成する。加圧治具８は、上型８１と下型８２とを有する。マザー積層体５は、下型８２と上型８１との間に配置される。上型８１は、ベース８３と、凸部８４とを有する。

【0023】

上型８１はマザー積層体５の上面側からプレス加工する。これにより、まず、マザー積層体５の凹部形成予定領域５６が凸部８４により加圧される（ステップＳＴ２）。凸部８４から加えられる圧力により、複数のセラミックグリーンシート５１は、凸部８４の形状に沿って変形する。すなわち、凹部形成予定領域５６のセラミックグリーンシート５１が薄くなるとともに、矢印Ａに示す方向に押し出されて、壁部形成予定領域５５側に流動する。壁部形成予定領域５５では、凹部形成予定領域５６よりも厚くなり、セラミックグリーンシート５１の流動により穴部６１の幅が小さくなる。

【0024】

さらに、上型８１が加圧する（ステップＳＴ３）ことで、マザー積層体５が凸部８４の下面及び側面を覆うように変形し、壁部形成予定領域５５がベース８３の下面８３ａに接する。複数のセラミックグリーンシート５１は、凸部８４の下面、側面及びベース８３の下面８３ａに沿って湾曲する。これにより、マザー積層体５に凸部８４の形状が転写される。また、凹部形成予定領域５６のセラミックグリーンシート５１の流動により、穴部６１の内壁が密着し、分割予定ライン５４でマザー積層体５は一体に形成される。

【0025】

そして、加圧治具８を取り外すことで、凹部２０を有するマザー積層体５が得られる（ステップＳＴ４）。

【0026】

本実施形態のセラミック基板１の製造方法によれば、マザー積層体５に穴部６１が設けられているので、プレス加工におけるセラミックグリーンシート５１の流動性を向上させることができる。すなわち、加圧治具８によりセラミックグリーンシート５１に圧力が加えられた場合に、穴部６１により、凹部形成予定領域５６のセラミックグリーンシート５１が壁部形成予定領域５５側に流動しやすくなる。

【0027】

これにより、本実施形態では、穴部６１が形成されない場合に比べて、プレス加工におけるセラミックグリーンシート５１内の圧力の分布が緩和され、小さい圧力で凹部形成予定領域５６及び壁部形成予定領域５５を変形させて、凹部２０を形成することができる。あるいは、穴部６１が形成されない場合に比べて、同じ圧力でより深い凹部２０を形成することができる。

【0028】

したがって、プレス加工後のマザー積層体５において、凹部形成予定領域５６と壁部形成予定領域５５とで、セラミックグリーンシート５１の密度の差を抑制することができる。この結果、マザー積層体５を焼成、分割後に形成されるセラミック基板１の反りを抑制することができる。

【0029】

また、図５に示すように、複数の穴部６１は、凹部形成予定領域５６の周囲を囲むように設けられる。より好ましくは、複数の穴部６１は、凹部形成予定領域５６を挟んで対称となる位置に設けられる。これにより、加圧治具８によりプレス加工する際に、凹部形成予定領域５６のセラミックグリーンシート５１が、周囲の壁部形成予定領域５５側に均等に流動しやすくなる。

【0030】

図６は、焼成後のマザー積層体を模式的に示す断面図である。図６に示すように、焼成後のマザー積層体９において、複数のセラミック層９１の層間を示す粒界５８の配向は、プレス加工でのセラミックグリーンシート５１の流動により、搭載面１０ａ、壁部１２の内壁面１２ｂ及び上面１２ａに沿って湾曲する。

【0031】

また、穴部６１が設けられた分割予定ライン５４と重なる部分では、流動するセラミックグリーンシート５１同士が密着して、一体に形成される。このため、焼成後のマザー積層体９において、粒界５８が分割予定ライン５４に沿って配置される。これにより、焼成後のマザー積層体９を分割予定ライン５４で分割して、個片のセラミック基板１とした場合に、粒界５８は壁部１２及び基板底部１０の端面と交差しない。これにより、本実施形態では、個片に分割する工程におけるクラックの発生やセラミック粒子の脱落を抑制することができる。また、分割予定ライン５４におけるセラミック基板１の抗折強度が、他の部分のセラミック基板１の抗折強度より小さくできるため、ローラーブレイク機を用いてセラミック基板１が分割できる応力を小さくできる。

【0032】

（第１変形例）
図７は、第１変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同じ構成要素には、同じ参照符号を付して、説明を省略する。

【0033】

第１変形例では、上述した実施形態とは異なり、マザー積層体５において、分割予定ライン５３、５４の交点にのみ穴部６１が設けられている構成を説明する。より具体的には、図７に示すように、複数の穴部６１は、分割予定ライン５３、５４の交点の間において、分割予定ライン５３、５４と重なる位置には設けられていない。１つの凹部形成予定領域５６の周囲に４つの穴部６１が設けられる。

【0034】

第１変形例において、上述した実施形態に比べて穴部６１の数が少ない。この場合であっても、プレス加工において、穴部６１には、穴部６１の周囲に配置された４つの凹部形成予定領域５６のセラミックグリーンシート５１が流動する。これにより、第１変形例では、効果的にセラミックグリーンシート５１の流動性を向上させることができる。

【0035】

（第２変形例）
図８は、第２変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。第２変形例では、上述した実施形態及び第１変形例とは異なり、平面視で、穴部６１ａが、分割予定ライン５３、５４に沿って延在する矩形状である構成について説明する。

【0036】

より具体的には、図８に示すように、複数の穴部６１ａは、壁部形成予定領域５５を挟んで隣り合う２つの凹部形成予定領域５６の間に設けられる。複数の穴部６１ａは、分割予定ライン５３、５４の交点と重なる位置には設けられず、隣り合う交点の中央部に位置する。

【0037】

第２変形例では、１つの穴部６１ａの面積（体積）が、上述した実施形態及び第１変形例での穴部６１よりも大きい。このため、プレス加工において穴部６１ａに流動するセラミックグリーンシート５１の体積を増やすことができ、より良好にセラミックグリーンシート５１の流動性を向上させることができる。

【0038】

（第３変形例）
図９は、第３変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。第３変形例では、上述した実施形態、第１変形例及び第２変形例とは異なり、平面視で、穴部６１ｂが、十字状である構成について説明する。

【0039】

より具体的には、図９に示すように、十字状に形成された複数の穴部６１ｂは、分割予定ライン５３、５４の交点と重なる位置に設けられる。複数の穴部６１ｂは、分割予定ライン５３に沿って延在する矩形状の部分と、分割予定ライン５４に沿って延在する矩形状の部分と、が交差して十字状に形成される。

【0040】

第３変形例では、壁部形成予定領域５５の幅の増大を抑制しつつ、複数の穴部６１ｂの面積（体積）を確保することができる。隣り合う２つの凹部形成予定領域５６の間の壁部形成予定領域５５に穴部６１ｂを設けることができない場合や、壁部形成予定領域５５の幅が小さい場合でも、セラミックグリーンシート５１の流動性を向上させることができる。

【0041】

（第４変形例）
図１０は、第４変形例に係るマザー積層体を拡大して示す平面図である。第４変形例では、上述した実施形態及び第１変形例から第３変形例とは異なり、平面視で、穴部６１ｃが、各辺が湾曲した菱形形状である構成について説明する。

【0042】

より具体的には、図１０に示すように、複数の穴部６１ｃは、分割予定ライン５３、５４の交点と重なる位置に設けられる。複数の穴部６１ｃの各辺は、菱形形状の中央部に向かって凹む湾曲形状である。言い換えると、複数の穴部６１ｃの各辺は、凹部形成予定領域５６の隅部から離れる方向に湾曲する。

【0043】

これにより、第４変形例では、複数の穴部６１ｃを効率よく配置することができ、壁部形成予定領域５５の幅の増大を抑制しつつ、複数の穴部６１ｃの面積（体積）を確保することができる。

【0044】

（第５変形例）
図１１は、第５変形例に係るマザー積層体を拡大して示す断面図である。第５変形例では、上述した実施形態及び第１変形例から第４変形例とは異なり、穴部６１ｄは、マザー積層体５を構成する複数のセラミックグリーンシート５１のうち、マザー積層体５の上面側に位置する一部のセラミックグリーンシート５１に形成される構成について説明する。

【0045】

具体的には、図１１に示すように、マザー積層体５の上面側に位置する２枚のセラミックグリーンシート５１に穴部６１ｄが形成され、下面側の２枚のセラミックグリーンシート５１には穴部６１ｄが形成されていない。穴部６１ｄは、マザー積層体５の上面に開口し、穴部６１ｄの底面にセラミックグリーンシート５１が設けられる。

【0046】

これにより、プレス加工において、穴部６１ｄが設けられた壁部形成予定領域５５の上部に、セラミックグリーンシート５１が流動しやすくなる。つまり、壁部形成予定領域５５で、下面側から上面側へのセラミックグリーンシート５１の流動性が向上するので、結果として、凹部形成予定領域５６でのセラミックグリーンシート５１の流動性が向上する。

【0047】

なお、図１１では、２枚のセラミックグリーンシート５１に穴部６１ｄが形成される例を示したが、これに限定されない。マザー積層体５を構成する複数のセラミックグリーンシート５１のうち、少なくとも１枚のセラミックグリーンシート５１に穴部６１ｄが形成されていればよい。

【0048】

上述した実施形態及び第１変形例から第５変形例の構成は適宜組み合わせることができる。例えば、実施形態及び第１変形例に示した穴部６１の配置と、第２変形例から第４変形例に示した穴部６１ａ、６１ｂ、６１ｃの平面視での形状とを組み合わせてもよい。また、実施形態及び第１変形例から第４変形例のそれぞれにおいて、第５変形例の構成を適用することもできる。

【0049】

なお、上述した実施形態及び第１変形例から第５変形例の構成は、あくまで一例であり、適宜変更することができる。例えば、マザー積層体５を構成する複数のセラミックグリーンシート５１の数は、４枚に限定されず、５枚以上であってもよく、３枚以下であってもよい。

【0050】

また、凹部２０の断面形状は、角部を有する矩形の一部の形状であるがこれに限定されない。凹部２０の内壁面１２ｂと搭載面１０ａとの接続部分が、湾曲した曲面で構成されていてもよい。あるいは、凹部２０の搭載面１０ａが曲面を有して形成されていてもよい。

【0051】

また、穴部６１の数や配置、平面視での形状は適宜変更できる。例えば、図５において、隣り合う交点の間に２つ以上の穴部６１が配列されていてもよい。あるいは、穴部６１の平面視での形状は、円形状、矩形状、菱形形状に限定されず、多角形状等、他の形状であってもよい。

【0052】

また、図１及び図２に示す電子部品２００は、水晶振動子に限定されず、他の電子部品であってもよい。

【0053】

なお、上記した実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれる。

【符号の説明】

【0054】

１ セラミック基板
２ 蓋体
３ メタライズ層
５ マザー積層体
８ 加圧治具
９ 焼成後のマザー積層体
１０ 基板底部
１０ａ 搭載面
１２ 壁部
１２ａ 上面
１２ｂ 内壁面
１４ 台座
１６ 支持部
１８ 接合部材
２０ 凹部
２２ 接続電極
２３ ビア
２４、２５ 底面電極
５１ セラミックグリーンシート
５３、５４ 分割予定ライン
５５ 壁部形成予定領域
５６ 凹部形成予定領域
５８ 粒界
６１、６１ａ、６１ｂ、６１ｃ、６１ｄ 穴部
８１ 上型
８２ 下型
８３ ベース
８４ 凸部
９１ セラミック層
１００ パッケージ
２００ 電子部品
Ａ 矢印

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】