発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の流量制御弁によれば、第１の流路及び第２の流路内の流体の圧力による力が予め定められた値を越えた状態から予め定められた値以下まで減少すると、大きな流量から少ない流量へと流通させる流体の流量を変化させることができる。すなわち、流通する流体による力が所定の値を越えた状態を維持すると、大きな流量を確保し、流通する流体の圧力による力が所定の値以下まで低下すると、大きい流量から少ない流量へと変化させる流量制御弁が実現される。そこで、流体通路の開閉を行う開閉弁部と流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部とが共通の切換弁に接続されて切換弁を経て開閉弁部及び吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出が行われるサックバックバルブにおいて、流量制御弁の第１のポート及び第２のポートをそれぞれ切換弁と開閉弁部に接続する。すると、開閉弁部からの駆動流体の排出時において、最初は、第２のポートから第１のポートへ排出流量調整機構部と絞り部の両方を通して駆動流体を流通させながら、開閉弁部から切換弁に駆動流体を排出し、急速に開閉弁部内の駆動流体の圧力を低下させていくことができる。やがて、開閉弁部内の駆動流体の圧力が予め定められた値以下になると、第２のポートから第１のポートへ絞り部のみを通して駆動流体が開閉弁部内から排出されるようになる。この結果、開閉弁部内の駆動流体の圧力の低下が緩やかになり、開閉弁部による閉弁動作を緩やかにすることが可能となる。すなわち、閉弁状態になる直前まで大きな流量で駆動流体を開閉弁部から排出させ、閉弁状態になる直前に少ない流量で駆動流体を開閉弁部から排出させ、緩やかに閉弁動作を行って、液柱分離やウォーターハンマー現象の発生、さらには弁体及び弁座からの発塵（すなわちパーティクルの発生）を抑制することが可能となる。また、切換弁を経た駆動流体の供給及び排出により流体通路の開閉を行う開閉弁において、流量制御弁の第１のポート及び第２のポートをそれぞれ切換弁と開閉弁に接続すると、開閉弁内の駆動流体の圧力の低下が緩やかになり、開閉弁による閉弁動作を緩やかにすることが可能となるので、閉弁時に弁体が弁座に接触するときの衝撃が緩和され、発塵を抑制することが可能となる。