特許 7176045 特徴層構造なしの中継基板およびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-11

(45)【発行日】2022-11-21

(54)【発明の名称】特徴層構造なしの中継基板およびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/42 20060101AFI20221114BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20221114BHJP

   H05K 1/02 20060101ALI20221114BHJP

【ＦＩ】

H05K3/42 620Z

H05K3/00 B

H05K1/02 P

【請求項の数】 17

(21)【出願番号】P 2021096349

(22)【出願日】2021-06-09

(65)【公開番号】P2021197551

(43)【公開日】2021-12-27

【審査請求日】2021-06-09

(31)【優先権主張番号】202010536963.9

(32)【優先日】2020-06-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】521133551

【氏名又は名称】ズハイ アクセス セミコンダクター シーオー．，エルティーディー

【氏名又は名称原語表記】Ｚｈｕｈａｉ Ａｃｃｅｓｓ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｃｏ．， Ｌｔｄ

(74)【代理人】

【識別番号】100088904

【弁理士】

【氏名又は名称】庄司 隆

(74)【代理人】

【識別番号】100124453

【弁理士】

【氏名又は名称】資延 由利子

(74)【代理人】

【識別番号】100135208

【弁理士】

【氏名又は名称】大杉 卓也

(74)【代理人】

【識別番号】100163544

【弁理士】

【氏名又は名称】平田 緑

(74)【代理人】

【識別番号】100183656

【弁理士】

【氏名又は名称】庄司 晃

(72)【発明者】

【氏名】チェン ケンメイ

(72)【発明者】

【氏名】グ ミン

(72)【発明者】

【氏名】フアン ベンキア

(72)【発明者】

【氏名】フェン レイ

(72)【発明者】

【氏名】シェ ビンセン

【審査官】齊藤 健一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－１８８４７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２４４１６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－８５０４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－３３５６９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－３２９１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１２９５６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１４６７６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１５０２５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０３６８１５５９（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２３／１２―２３／１５

Ｈ０５Ｋ １／００―３／４６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

パッド構造なしの中継基板の製造方法であって、以下のステップを含み、
（ａ）一時支持板を用意することと、
（ｂ）前記一時支持板に対して縁取を作ることと、
（ｃ）一時支持板の上下面に絶縁材料をラミネートして絶縁層を形成することと、
（ｄ）前記絶縁層にスルーホールを開設することと、
（ｅ）金属で前記スルーホールを充填することと、
（ｆ）縁取を除去するとともに、一時支持板を除去することと、
を含むパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項2】

前記一時支持板は、上下面に２層銅箔がそれぞれ被覆される絶縁板を含む、請求項１に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項3】

前記一時支持板は、前記絶縁板の表面における第１の銅箔と前記第１の銅箔の表面における第２の銅箔を含み、前記第２の銅箔の厚さは０.８μｍ～５μｍである、請求項２に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項4】

ステップ（ｂ）は、２層銅箔のスリットをシールするために、被覆材料で前記一時支持板の周辺を被覆することを含む、請求項２に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項5】

ステップ（ｂ）における前記被覆材料は銅である、請求項４に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項6】

ステップ（ｃ）における前記絶縁材料は有機電気的絶縁材料を含む、請求項１に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項7】

ステップ（ｃ）における前記絶縁材料は、ポリイミド、エポキシ樹脂、ビスマレイミド／トリアジン樹脂、ポリフェニルエーテルまたはそれらのブレンド物を含む、請求項６に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項8】

ステップ（ｄ）は、前記絶縁層にレーザ、機械またはフォトリソグラフィの方式でスルーホールを開設することを含む、請求項１に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項9】

ステップ（ｅ）は電気めっきまたは化学めっきの方式で前記スルーホールを充填することを含む、請求項１に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項10】

ステップ（ｅ）における充填金属が銅であり、銅スルーホール柱を形成する、請求項１に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項11】

ステップ（ｆ）はエンドミルで前記縁取を削ることを含む、請求項１に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法。

【請求項12】

請求項１～１１のいずれか１項に記載のパッド構造なしの中継基板の製造方法を用いて作製されるパッド構造なしの中継基板。

【請求項13】

絶縁層と前記絶縁層に埋め込まれたスルーホール柱層とを含む、請求項１２に記載のパッド構造なしの中継基板。

【請求項14】

前記絶縁層はポリイミド、エポキシ樹脂、ビスマレイミド／トリアジン樹脂、ポリフェニルエーテル、ポリアクリレート、半硬化シート、膜状有機樹脂またはそれらの組み合わせを含む、請求項１３に記載のパッド構造なしの中継基板。

【請求項15】

前記スルーホール柱層は少なくとも一つの銅スルーホール柱を含む、請求項１３に記載のパッド構造なしの中継基板。

【請求項16】

前記スルーホール柱層は異なるサイズのスルーホール柱を含む、請求項１３に記載のパッド構造なしの中継基板。

【請求項17】

前記スルーホール柱の端部は前記絶縁層と揃い、または前記絶縁層よりも高い、請求項１３に記載のパッド構造なしの中継基板。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は特徴層構造なしの中継基板およびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子業界、特に家電製品業界において、オーディオＰＡスイッチ、ＬＥＤ ｄｒｉｖｅｒ、無線周波数ＬＮＡ／ＧＰＳ／ＬＤＯ、ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒなどのような小さなマイクロ機能デバイスは、小型化に対する要求がますます高まっており、通常、ＩＯ（入出力）数を増やすことで小型化を図るが、通常のキャリアボード（有機キャリアボードとリードフレーム）は配線の限界に達しており、これ以上ＩＯ数を増やすことはできない。

【0003】

現在、業界では、ウエーハの３Ｄスタック構造に使用されている中継基板、例えばＴＧＶ（ｔｈｒｏｕｇｈｇｌａｓｓ ｖｉａ：スルーホールガラス中継基板）、ＴＳＶ（ｔｈｒｏｕｇｈｓｉｌｉｃｏｎｖｉａ：スルーホールシリコン中継基板）でも、パッケージ基板中継基板でも、スルーホールを利用して上下両層の特徴層からなる３層プレート構造を接続し、そのうち、特徴層は、ワイヤボンディングと半田ボールのパッドとして用いられる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような従来の中継基板について、特徴層間の最小ピッチ能力は、さらなる縮小の可能性を制限しており、図１は、従来の中継基板の一例を示す。図１は、スルーホール柱の穴開け後の電気めっき前のＳＥＭ写真であり、図１に示すように、スルーホール柱の直径が１００μｍのとき、穴と穴の間のピッチは４５μｍであり、スルーホール柱の直径が６０μｍに小さくなると、穴と穴の間のピッチは３０μｍである。しかし、特徴層を作り続けると、業界最高のレーザダイレクトイメージングＬＤＩ露光機を例として、現在、キャリアボード業界の位置合わせ能力は２０μｍであり、解析能力線幅／ラインピッチは１５／１５μｍであり、つまり、銅スルーホール柱の直径は１００μｍであり、穴と穴の間のピッチは４５μｍである場合、特徴層におけるパッドの直径は１４０μｍであり、隣り合うパッドのピッチは５μｍしかなく、このようなピッチは既に現在キャリアボード業界の設備による解析の最高能力を超えている。

【0005】

特徴層の最小ピッチがまだ設備の解析能力より小さい場合、唯一の方法は再配線により、パッドを外（周囲）に拡散することであり、その結果、製品サイズが大きくなり、市場の小型化の発展傾向に反する。相変わらず図１に示すように、特徴層がある場合、隣り合うパッドに必要な長さ寸法は１４０μｍ（一方のパッドの直径）＋１４０μｍ（他方のパッドの直径）＋１５μｍ（パッド間の最小ピッチ）＝２９５μｍである。しかし、特徴層を取り消すことができれば、隣り合うスルーホール柱の長さ寸法は１００μｍ＋１００μｍ＋４５μｍ＝２４５μｍであり、すなわち、単一方向から特徴層をキャンセルすることで１７％の長さ比例を効果的に節約できる。

【0006】

同時に、スルーホール柱と特徴層との間の位置合わせ能力の制限から、特徴層のサイズは必ずスルーホール柱のサイズより大きく、はみ出す部分は設備の位置合わせ能力によって決まり、「位置合わせリング幅」と称される。スイッチや無線周波数ＲＦなどのデバイスにおいて、接続／切断と周波数変換を繰り返すと必然的に寄生容量が発生するが、図２は従来技術における中継基板の構成説明図であり、図２に示すように、上方の特徴層をＭ１層、下方の特徴層をＭ２層に名付け、電流（または電気信号）がＭ１層からスルーホール銅柱を経由してＭ２層を流れる過程で、回路を図３に示すように等価することができる。

【0007】

寄生インダクタンスＬ１２の発生はデバイスの作動中に不要な発熱を招き、製品の作動温度が高いと間接的に製品の寿命を短くする。寄生容量Ｃ１とＣ２の発生は絶縁層内での電気信号の損失を招くとともに、寄生容量の充電過程は電気信号の伝達遅延を招く。寄生インダクタンスＬ１２は伝送線路が短くなるにつれて小さくなり、寄生容量Ｃ１とＣ２は位置合わせリング幅が小さくなるにつれて低減する。

【0008】

本発明の実施形態は、特徴層構造なしの中継基板の解決案を提供することに関する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の第一方面は特徴層構造なしの中継基板的製造方法に関し、
（ａ）一時支持板を用意することと、
（ｂ）前記一時支持板に対して縁取を作ることと、
（ｃ）一時支持板の上下面に絶縁層材料をラミネートして絶縁層を形成することと、
（ｄ）前記絶縁層にスルーホールを開設することと、
（ｅ）金属で前記スルーホールを充填することと、
（ｆ）縁取を除去するとともに、一時支持板を除去することと、を含む。

【0010】

ある実施の形態において、一時支持板は２層銅張積層板を含み、即ち、上下面には２層銅箔の絶縁板がそれぞれ被覆される。

【0011】

ある実施の形態において、一時支持板は、前記絶縁板の表面における第１の銅箔と前記第１の銅箔の表面における第２の銅箔とを含み、前記第２の銅箔の厚さは０.８μｍ～５μｍである。

【0012】

ある実施の形態において、ステップ（ｂ）は被覆材料で前記一時支持板の周辺を被覆することを含み、被覆材料は銅でもよい。

【0013】

ある実施の形態において、ステップ（ｃ）における絶縁層は、ポリイミド、エポキシ樹脂、ビスマレイミド／トリアジン樹脂、ポリフェニルエーテル、ポリアクリレート、半硬化シート、膜状有機樹脂またはそれらの組合せを含む。

【0014】

ある実施の形態において、ステップ（ｄ）は前記絶縁層にレーザ穴開け、機械穴開けまたはフォトリソグラフィ穴開けの方式でスルーホールを開設することを含む。

【0015】

ある実施の形態において、ステップ（ｅ）は電気めっきまたは化学めっきの方式で前記スルーホールを充填することを含む。

【0016】

ある実施の形態において、ステップ（ｅ）における充填金属が銅であり、銅スルーホール柱を形成する。

【0017】

ある実施の形態において、ステップ（ｆ）はエンドミルで前記縁取を削ることを含む。

【0018】

本発明に係る他の方面により、上記したような特徴層構造なしの中継基板の製造方法を用いて作製された特徴層構造なしの中継基板を提供する。

【0019】

ある実施の形態において、前記中継基板は絶縁層と前記絶縁層に埋め込まれたスルーホール柱層とを含む。

【0020】

ある実施の形態において、前記絶縁層は、ポリイミド、エポキシ樹脂、ビスマレイミド／トリアジン樹脂、ポリフェニルエーテルまたはそれらのブレンド物を含む。

【0021】

ある実施の形態において、前記スルーホール柱層は少なくとも一つの銅スルーホール柱を含む。

【0022】

ある実施の形態において、前記スルーホール柱層は異なるサイズのスルーホール柱を含む。

【0023】

ある実施の形態において、前記スルーホール柱の端部は前記絶縁層と揃い、または前記絶縁層よりも高い。

【0024】

用語μｍとは１０^－６メートルを指す。

【図面の簡単な説明】

【0025】

本発明をよく理解し、本発明の実施の形態を示すために、以下、単に例を挙げて図面を参照する。具体的に図面を参照して、強調しなければならないのは、特定の図面が単なる例示であり、本発明の好ましい実施の形態を模式的に検討する目的であり、かつ、本発明の原理と概念を説明するには、最も役に立つとともに、最も理解しやすい図面と思われるという理由で図面を提供するものである。これについては、本発明の構造の詳細を、本発明の基本的な理解に必要な詳細レベルを超えて図示しようとはしなかった。図面の簡単な説明を参照して、当業者が本発明のいくつかの形態をどのように実際に実施するかを意識する。図面において、

【0026】

【図1】図１は従来の技術における中継基板を示し、スルーホール柱の穴開け後の電気めっき前のＳＥＭ写真を示す。

【図2】図２は従来の技術における中継基板の断面模式図である。

【図3】図３は図２における中継基板の回路等価模式図である。

【図4】図４は本発明の一つの実施の形態による特徴層構造なしの中継基板の断面模式図である。

【図5(a)】図５（ａ）は図４に示す特徴層構造なしの中継基板の製造ステップの断面図を示す。

【図5(b)】図５（ｂ）は図４に示す特徴層構造なしの中継基板の製造ステップの断面図を示す。

【図5(c)】図５（ｃ）は図４に示す特徴層構造なしの中継基板の製造ステップの断面図を示す。

【図5(d)】図５（ｄ）は図４に示す特徴層構造なしの中継基板の製造ステップの断面図を示す。

【図5(e)】図５（ｅ）は図４に示す特徴層構造なしの中継基板の製造ステップの断面図を示す。

【図5(f)】図５（ｆ）は図４に示す特徴層構造なしの中継基板の製造ステップの断面図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0027】

図４を参照し、本発明の特徴層構造なしの中継基板の断面模式図を示す。中継基板２００は絶縁層２０４と絶縁層２０４内に埋め込まれた銅スルーホール柱２０６とを含む。銅スルーホール柱２０６の端部と絶縁層２０４内に埋め込まれた部分とは基本的に同一のサイズを有する。銅スルーホール柱２０６の端部は絶縁層２０４と揃ってもよいし、絶縁層２０４よりも高くてもよい。通常、中継基板２００は、中継ＩＯチャネルとして複数の銅スルーホール柱２０６を有し、複数の銅スルーホール柱２０６のサイズは同一でも、異なってもよい。銅スルーホール柱２０６は絶縁層２０４内に間隔をおいて配置されており、その端部を接続パッドとして利用できる。

【0028】

図５を参照し、特徴層構造なしの中継基板を製造する方法は、ステップ５（ａ）：一時支持板２０１を用意することを含む。一時支持板２０１は、通常、上面２０１ａ、下面２０１ｂにそれぞれ２層銅箔が被覆される絶縁板であり、２層銅箔は物理的に圧着される第１の銅箔２０２ａと第２の銅箔２０２ｂを含み、第１の銅箔２０２ａが一時支持板２０１と接触し、第２の銅箔２０２ｂは第１の銅箔２０２ａの表面に貼着され、第２の銅箔２０２ｂの厚さは０.８μｍ～５μｍである。

【0029】

次に、ステップ５（ｂ）：前記一時支持板２０１に対して縁取２０３を作る。通常、一時支持板２０１の上面２０１ａ、下面２０１ｂの板周囲に金属で被覆して板周囲の隙間を封止する縁取を形成し、用いられる被覆材料は銅でもよい。縁取２０３を作ることによって、後工程での２層銅箔の分層、及び２層銅箔の境界面に薬液が残留することを防止できる。

【0030】

その後、ステップ５（ｃ）：一時支持板２０１の上下面に絶縁材料をラミネートして絶縁層２０４を形成する。通常、在一時支持板２０１の上面２０１ａ、下面２０１ｂにそれぞれ絶縁材料をラミネートして絶縁層を形成する。用いられる絶縁材料はポリマー材料でもよく、例えばポリイミド、エポキシ樹脂、ビスマレイミド／トリアジン樹脂（ＢＴ）、ポリフェニルエーテル、ポリアクリレート、半硬化シート（ＰＰ）、膜状有機樹脂（ＡＢＦ）またはそれらのブレンド物でもよく、感光型絶縁材料でもよい。

【0031】

次に、ステップ５（ｄ）：前記絶縁層２０４にスルーホール２０５を開設する。

【0032】

絶縁層２０４にスルーホール２０５を開設するステップ５（ｄ）は、レーザ穴開け、機械穴開けまたはフォトリソグラフィ穴開けの方式で絶縁層２０４にスルーホール２０５を開設してもよい。

【0033】

その後、ステップ５（ｅ）：前記スルーホール２０５を充填する。通常、電気めっきまたは化学めっきの方式で金属でスルーホール２０５を充填し、金属スルーホール柱２０５を形成できる。電気めっき時に用いられる金属は銅でもよく、銅スルーホール柱２０６を形成する。

【0034】

次に、ステップ５（ｆ）：縁取２０３を除去するとともに、一時支持板２０１を除去する。銅スルーホール柱２０６と絶縁層２０４を用いて構造２００に剛性を有させた後、一時支持板２０１を除去してもよい。通常、一時支持板２０１を除去する前に、先に縁取２０３を除去する必要があり、エンドミル２０７で縁取２０３を削ってから、一時支持板２０１を除去するように第１と第２の銅箔を分離させてもよい。

【0035】

一時支持板２０１を除去した後、エッチングにより第２の銅箔２０２ｂを除去して特徴層なしの中継基板２００を取得できる。電気めっきで銅スルーホール柱２０６を作製する過程で応力を生じることで、特徴層なしの中継基板２００は一時支持板２０１の反対方向へ反り、第２の銅箔２０２ｂを除去した後でベイクにより応力を解放して板面を平坦にすることができる。その後、板面を研磨して、ソルダーレジストを施すとともに、スルーホール柱の端部を露出させてパッドとすることができる。

【0036】

本発明は従来の技術における中継基板における特徴層を省略して、コアレス基板におけるスルーホール柱を中継ＩＯチャンネルとパッドとして利用することで、中継基板のパッドピッチを設備の解析能力を克服してさらに縮小可能にすることによって、中継基板の面積当たりのＩＯチャンネル数を著しく増やし、ＰＣＢ基板におけるスペースをさらに節約し、より高い集積密度を実現する。

【0037】

当業者は、本発明が上記の具体的な図示と説明の内容に限らないことを意識する。そして、本発明の範囲は別紙の特許請求の範囲によって限定され、上記の各技術的特徴の組み合わせとサブ組み合わせ、およびその変化と改善を含めて、当業者は上記の説明を読んだ後、このような組み合わせ、変化と改善を予見し得る。

【0038】

特許請求の範囲において、「含む」という用語および「包含」、「含有」のようなその変体とは、列挙される部材が含まれているが、他の部材を一般的に除外しないことを指す。

【符号の説明】

【0039】

２００ 中継基板、２０１ 一時支持板、２０１ａ 上面、２０１ｂ 下面、２０２ａ 第１の銅箔、２０２ｂ 第２の銅箔、２０３ 縁取、２０４ 絶縁層、２０５ スルーホール、２０６ 銅スルーホール柱、２０７ エンドミル、Ｃ１，Ｃ２ 寄生容量、Ｌ１２ 寄生インダクタンス。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5(a)】

【図5(b)】

【図5(c)】

【図5(d)】

【図5(e)】

【図5(f)】