特許7178142サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するためのサンプル移送装置および方法

発明の名称　サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するためのサンプル移送装置および方法

出願人　キウトラ ゲーエムベーハー　（識別番号 521561570）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7178142

公報発行日　2022年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7178142

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