特許 7178780 圧力センサー

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-17

(45)【発行日】2022-11-28

(54)【発明の名称】圧力センサー

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/14 20060101AFI20221118BHJP

【ＦＩ】

G01L19/14

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2017244834

(22)【出願日】2017-12-21

(65)【公開番号】P2019113333

(43)【公開日】2019-07-11

【審査請求日】2020-12-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000220505

【氏名又は名称】日本電産トーソク株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179969

【弁理士】

【氏名又は名称】駒井 慎二

(74)【代理人】

【識別番号】100173532

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 彰文

(73)【特許権者】

【識別番号】000005234

【氏名又は名称】富士電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179969

【弁理士】

【氏名又は名称】駒井 慎二

(72)【発明者】

【氏名】大澤 朝華

(72)【発明者】

【氏名】中村 俊晃

(72)【発明者】

【氏名】芦野 仁泰

【審査官】岡田 卓弥

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－３７０３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００６／０６４９０２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００４－６９５６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０３４６０４５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｌ ７／００－２３／３２

Ｇ０１Ｌ２７／００－２７／０２

Ｈ０１Ｌ２９／８４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子と、
一方側の第１主面と該第１主面に対向する他方側の第２主面とを有し、前記第１主面に前記センサー素子が搭載され、金属材料で構成されたセンサー支持部材と、
前記センサー素子に電気的に接続され、前記センサー支持部材を前記一方側から前記他方側に貫通した端子と、
前記センサー支持部材の前記第２主面を覆うと共に、前記センサー支持部材に取り付けられ、前記端子の一部を収納する貫通孔を有し、非金属材料で構成されたケースと、
前記センサー支持部材と前記ケースとの間に配置された接着剤層と、
を有する圧力センサーであって、
前記センサー支持部材の厚さ方向を軸方向とし、前記センサー支持部材および前記ケースの前記接着剤層を介して接合される部分は前記軸方向に対して傾斜した面を有し、
前記センサー支持部材および前記ケースのうち少なくとも一方の前記傾斜した面に凹部が形成され、
前記凹部に前記接着剤層の一部が入り込み、前記凹部の少なくとも前記他方側の面は、軸方向において前記センサー支持部材または前記ケースの少なくとも一方の一部に重なっていることを特徴とする圧力センサー。

【請求項2】

前記センサー支持部材の前記傾斜した面に形成された前記凹部の幅は、前記他方側から前記一方側に向かって広がっている請求項１に記載の圧力センサー。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力センサーに関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、液体、気体等の流体の圧力を検出する圧力センサーが知られている。例えば、特許文献１に記載の圧力センサーは、半導体圧力検出素子、ベース、ベースに対向して配置された受け部材、およびベースと受け部材との間に挟み込まれたダイアフラムを備え、これらがカバー内に収納されている。ここで、ベースとダイアフラムとの間には、オイルが封入される受圧空間が形成されている。半導体圧力検出素子は、受圧空間内に配置される状態でベースに備えられている。ベース、受け部材およびダイアフラムは、それぞれ金属製である。カバーは、ステンレス鋼等の金属製であり、受け部材の外周部とレーザー溶接により接合される。カバーの内部には、エポキシ系やウレタン系の樹脂が充填されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１６－４５１７２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の圧力センサーでは、カバーがステンレス鋼等の金属製であるため、軽量化を図ることが難しい。そこで、カバーを樹脂等の非金属製とすることが考えられる。しかし、特許文献１に記載の圧力センサーにおいて、カバーを非金属製とした場合、カバー内に充填された樹脂による接着力のみでカバーがベースに対して固定されることとなる。このような場合、当該接着力が低下すると、カバーがカバー内の樹脂および部品等と共にベースから外れてしまい、故障する可能性がある。

【0005】

本発明の目的は、金属製のセンサー支持部材と非金属製のカバーとを互いに高い信頼性で固定することができる圧力センサーを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本願の例示的な発明は、流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子と、
一方側の第１主面と該第１主面に対向する他方側の第２主面とを有し、前記第１主面に前記センサー素子が搭載され、金属材料で構成されたセンサー支持部材と、
前記センサー素子に電気的に接続され、前記センサー支持部材を前記一方側から前記他方側に貫通した端子と、
前記センサー支持部材の前記第２主面を覆うと共に、前記センサー支持部材に取り付けられ、前記端子の一部を収納する貫通孔を有し、非金属材料で構成されたケースと、
前記センサー支持部材と前記ケースとの間に配置された接着剤層と、
を有する圧力センサーであって、
前記センサー支持部材の厚さ方向を軸方向とし、前記センサー支持部材および前記ケースの前記接着剤層を介して接合される部分は前記軸方向に対して傾斜した面を有し、
前記センサー支持部材および前記ケースのうち少なくとも一方の前記傾斜した面に凹部が形成され、
前記凹部に前記接着剤層の一部が入り込み、前記凹部の少なくとも前記他方側の面は、軸方向において前記センサー支持部材または前記ケースの少なくとも一方の一部に重なっていることを特徴とする圧力センサー。

【発明の効果】

【0007】

本願の例示的な発明によれば、接着剤層の厚い部分のケース側（他方側）に軸方向でセンサー支持部材の一部が重なっているため、接着剤層が優れたアンカー効果によりセンサー支持部材から剥がれ難くなる。そのため、金属製のセンサー支持部材と非金属製のカバーとを互いに高い信頼性で固定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサーの概略構成を示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。

【図2】図２は、センサー支持部材およびケースを示す縦断面図（図１を部分的に拡大した図）である。

【図3】図３は、センサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。

【図4】図４は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。

【図5】図５は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。

【図6】図６は、図５に示すセンサー支持部材の凹部の配置を示す平面図である。

【図7】図７は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材を模式的に示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の圧力センサーを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

【0010】

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサーの概略構成を示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。図２は、センサー支持部材およびケースを示す縦断面図（図１を部分的に拡大した図）である。まず、図１および図２に基づき、これらの図に示す圧力センサー１の概略を説明する。

【0011】

以下では、説明の便宜上、図１に示す軸線ａｘを適宜用いて説明を行う。ここで、軸線ａｘに平行な方向（図１中の上下方向）を「軸方向」、軸線ａｘに直交する方向を「径方向」、軸線ａｘを中心とする軸周りの方向を「周方向」と言う。また、軸方向において、後述する被取付体に近い側（取付部材２側）を「一方側」または「下側」、遠い側（取付部材２と反対側）を「他方側」または「上側」と言う。

【0012】

なお、軸線ａｘは、圧力センサー１の中心軸であり、後述するセンサー支持部材４の中心を通り、かつ、センサー支持部材４の厚さ方向に延びる線分である。また、「上側」および「下側」は、圧力センサー１が実際に被取付体に取り付けられたときの位置関係および方向を示すものではない。

【0013】

図１に示す圧力センサー１は、図示しない被取付体に取り付けられて用いられ、被取付体からの流体の圧力を検出するセンサーである。ここで、被取付体は、特に限定されないが、例えば、自動車の自動変速機（ＡＴ）または無段変速機（ＣＶＴ）に用いられる車載用のコントロールバルブである。また、流体（被計測流体）は、特に限定されず、気体および液体のいずれであってもよい。さらに、流体の種類、温度、圧力等の条件も限定されないが、例えば、被取付体が前述した車載用のコントロールバルブである場合、流体はＡＴＦ（Automatic Transmission Fluid）等のオイルである。

【0014】

圧力センサー１は、図１に示すように、被取付体に着脱自在に取り付けられる取付部材２と、取付部材２にダイアフラム３を介して接合されているセンサー支持部材４と、センサー支持部材４に搭載されているセンサー素子５と、センサー支持部材４に取り付けられているケース９と、を有する。

【0015】

取付部材２は、センサー支持部材４に対して一方側（下側）に配置されており、軸方向に沿って貫通した貫通孔２１を有する。貫通孔２１には、下側から、被取付体からの流体が導入される。すなわち、貫通孔２１は、被取付体からの流体をセンサー素子５に向かって導く流路を構成する。また、取付部材２は、軸方向に沿って配置された雄ネジ部２２と、雄ネジ部２２の上側の端部に設けられている頭部２３と、を有する。雄ネジ部２２は、被取付体に設けられた雌ネジに螺合する。頭部２３は、例えば、軸方向から見たときに六角形をなしており、スパナ等の工具で挟むことが可能となっている。

【0016】

このような取付部材２を圧力センサー１が有することにより、圧力センサー１を被取付体に比較的簡単に取り付けることができる。また、圧力センサー１を被取付体から取り外してメンテナンス等を行うこともできる。また、雄ネジ部２２の頭部２３側の端部には、例えばゴム製のＯリング１４が配置されている。このＯリング１４により、圧力センサー１を被取付体に取り付けた状態で、圧力センサー１と被取付体との間の密封性を確保することができる。なお、取付部材２は、被取付体に取り付けることができればよく、前述した雄ネジ部２２を有する形態に限定されない。

【0017】

取付部材２は、金属材料で構成されている。かかる金属材料としては、特に限定されないが、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼が好適に用いられる。このような金属材料で取付部材２を構成することにより、取付部材２の耐熱性、流体に対する耐性等を高めることができる。取付部材２は、例えば、鋳造および切削により製造される。

【0018】

このような取付部材２の上側の端部には、ダイアフラム３を介してセンサー支持部材４が取り付けられている。ここで、ダイアフラム３およびセンサー支持部材４は、それぞれ、ステンレス鋼等の金属材料で構成されており、取付部材２に対して溶接により接合されている。

【0019】

このように、取付部材２、ダイアフラム３およびセンサー支持部材４のいずれもが金属材料で構成されていれば、例えば、被取付体が車載用のコントロールバルブである場合等、圧力センサー１の被計測流体が高温のオイルであっても、圧力センサー１は優れた耐久性を発揮することができる。

【0020】

ダイアフラム３は、板状またはシート状をなしており、取付部材２とセンサー支持部材４との間に配置され、前述した取付部材２の貫通孔２１の他方側の開口を塞いでいる。このため、ダイアフラム３に対して下側には、前述した取付部材２の貫通孔２１による第１室Ｓ１が形成されている。そして、ダイアフラム３は、第１室Ｓ１内の流体の圧力により撓み変形する。一方、ダイアフラム３に対して上側には、ダイアフラム３とセンサー支持部材４との間に、第２室Ｓ２が形成されている。第２室Ｓ２には、センサー素子５が収納されている共に、ダイアフラム３が第１室Ｓ１内の液体から受けた圧力をセンサー素子５に伝達する圧力伝達媒体が充填（収容）されている。

【0021】

このように、ダイアフラム３および圧力伝達媒体を用いて流体の圧力をセンサー素子５に伝達することにより、センサー素子５が流体に対する耐性を有していなくても、当該流体によるセンサー素子５の損傷を防止しつつ、流体の圧力を検出することができる。この圧力伝達媒体としては、液体が好適に用いられる。特に、センサー素子５への悪影響を小さくすると共に、温度変化等による圧力伝達媒体の特性変化を小さくする観点から、圧力伝達媒体には、例えば、シリコーンオイルのような液体を用いることが好ましい。シリコーンオイルは、良好な絶縁性、優れた化学的安定性および高い沸点を有するためである。なお、センサー素子５が流体に対する耐性を有する場合、ダイアフラム３および圧力伝達媒体を省略してもよい。

【0022】

また、センサー支持部材４は、軸方向を厚さ方向とする板材で構成され、例えばプレス加工により中央部が他方側（上側）に向かってドーム状となるように形成されている。センサー支持部材４は、一方側の第１主面４３と、第１主面４３に対向する他方側の第２主面４４と、を有する。第１主面４３は、ダイアフラム３との間に第２室Ｓ２を形成している。このような第１主面４３の中央部には、センサー素子５が搭載されている。ここで、センサー素子５は、第１主面４３に対して例えばフッ素系接着剤等の接着剤により接合されている。

【0023】

センサー素子５は、受圧に応じた信号を出力する素子である。センサー素子５は、図示しないが、例えば、ピエゾ抵抗素子が配置されているダイアフラムを有するシリコン基板と、このシリコン基板に接合されたガラス基板と、を有する。これらの基板間には、密閉された空間が形成されており、当該ダイアフラムは、当該空間内の圧力を基準として受圧により撓み変形する。そして、当該ピエゾ抵抗素子がこの撓み変形に応じた信号を出力する。なお、当該ダイアフラムの撓み変形を検出する方式は、ピエゾ抵抗素子を用いた方式に限定されず、例えば、静電容量方式等であってもよい。

【0024】

また、センサー支持部材４は、第１主面４３および第２主面４４に開口する複数の貫通孔４５を有する。複数の貫通孔４５には、それぞれ、端子６が貫通しており、貫通孔４５を規定している壁面と端子６との間の隙間には、封止材７が充填されている。端子６は、リードピンであり、例えば、鉄ニッケル合金等の金属材料で構成されている。複数の端子６のうちの少なくとも２つの端子６の下側の端部は、ボンディングワイヤーを介してセンサー素子５に接続されている。また、封止材７は、例えば、硼珪酸ガラス等のガラス材料で構成され、前述した隙間を封止している。

【0025】

センサー支持部材４の第２主面４４には、ケース９が取り付けられている。ここで、ケース９は、第２主面４４に対して、例えばエポキシ系接着剤等の接着剤層１５により接着されている。このように、センサー支持部材４とケース９とは、接着剤層１５を介して接合されている。これにより、センサー支持部材４に対してケース９を固定することができる。また、センサー支持部材４とケース９との間の隙間を接着剤層１５により埋めることで、ケース９内の密封性を高めることができる。

【0026】

ここで、図２に示すように、第２主面４４の接着剤層１５と接する部分には、周方向に沿って凹部４１が設けられている。そして、接着剤層１５は、凹部４１に入り込んで厚さの厚い部分を有する。これにより、接着剤層１５によるセンサー支持部材４とケース９との接着力をアンカー効果により高めることができる。なお、接着剤層１５およびこれに関連する事項については、後に詳述する。

【0027】

図２に示すように、ケース９は、下側に開口する有底筒状のケース本体９１を有する。ケース本体９１は、センサー支持部材４側に開口している凹部９３を備えている。また、図１に示すように、ケース９は、図示しないオス型のコネクターが挿入される凹部１３１と、凹部１３１内に突出している端子１２と、を有する。端子１２は、前述した端子６に電気的に接続されている。なお、端子１２は、直接端子６に接続されていてもよく、回路基板等の電子部品を介して端子６に接続されていてもよい。

【0028】

このようなケース９の構成材料は、ケース９の軽量化の観点から、非金属材料であればよく、セラミックス材料等でもよいが、樹脂材料であることが好ましい。ケース９を樹脂材料で構成することにより、ケース９の軽量化を図ることができるだけでなく、ケース９の形状が複雑であっても、例えば、ケース９を射出形成により簡単かつ高精度に形成することができる。また、ケース９の接着剤層１５による接着性を高めることもできる。かかる樹脂材料としては、特に限定されないが、例えば、耐熱性に優れたＰＰＳ（Polyphenylene sulfide）樹脂等が挙げられる。また、かかる樹脂材料には、ガラス繊維、炭素繊維等の繊維、アルミナ粒子、ジルコニア粒子等の無機フィラー等が添加されていてもよい。

【0029】

以上、圧力センサー１の概略を説明した。この圧力センサー１は、前述したように、流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子５と、センサー素子５が搭載されたセンサー支持部材４と、センサー支持部材４を一方側から他方側に貫通した端子６と、センサー支持部材４に取り付けられたケース９と、センサー支持部材４とケース９との間に配置された接着剤層１５と、を有する。

【0030】

ここで、センサー支持部材４は、一方側の第１主面４３と該第１主面４３に対向する他方側の第２主面４４とを有し、金属材料で構成されている。そして、センサー素子５は、第１主面４３の中央部に搭載されている。また、端子６は、センサー支持部材４を一方側から他方側に貫通している。一方、ケース９は、センサー支持部材４の第２主面４４を覆い、非金属材料で構成されている。そして、接着剤層１５は、一部に他の部分より厚さが厚い部分１５１を有し、厚い部分１５１のケース９側（他方側）には、軸方向でセンサー支持部材４の一部が重なっている。これにより、接着剤層１５が優れたアンカー効果によりセンサー支持部材４から剥がれ難くなる。そのため、金属製のセンサー支持部材４と非金属製のケース９とを互いに高い信頼性で固定することができる。以下、図３に基づいて、接着剤層１５およびこれに関連する事項について詳述する。

【0031】

図３は、センサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。
図３に示すように、センサー支持部材４の第２主面４４は、中央部分が軸方向上側に向かってドーム状となるような形状をなしている。そして、接着剤層１５を介してケース９に接合される第２主面４４の部分は、軸方向に対して傾斜した側面を有する。当該側面には、軸線ａｘを含む平面で切断した断面（以下、「縦断面」と言う）における形状が略矩形をなす凹部４１が設けられている。そして、凹部４１内には、接着剤層１５の一部が入り込んでいる。これにより、接着剤層１５は、厚さｔ１の他の部分よりも厚い部分１５１（厚さｔ２）を有する。なお、厚さｔ１、ｔ２は、接着剤層１５を挟む領域（接着領域）におけるセンサー支持部材４とケース９との対向方向での接着剤層１５の長さである。

【0032】

このように、センサー支持部材４は、厚い部分１５１の一部を収納する凹部４１を有する。これにより、接着剤層１５とセンサー支持部材４との接触面積を大きくすることができる。そのため、センサー支持部材４に対する接着剤層１５のアンカー効果を高めることができる。なお、凹部４１の縦断面形状は、図示の形状に限定されない。

【0033】

ここで、凹部４１は、径方向外側に開口しており、厚い部分１５１の上側には、センサー支持部材４の一部が上下方向に重なっている。これにより、厚い部分１５１がセンサー支持部材４よりも上側に移動するのを阻止することができる。そのため、接着剤層１５をセンサー支持部材４から剥がれ難くすることができる。また、径方向外側に開口した凹部４１は、旋盤削り、プレス加工等の加工により容易に成形することができるという利点もある。

【0034】

凹部４１（厚い部分１５１）は、センサー支持部材４の周方向での少なくとも一部に配置されていればよいが、当該周方向に沿って延びていることが好ましい。これにより、接着剤層とケースとの接触面積を大きくすることができる。そのため、ケースに対する接着剤層のアンカー効果を高めることができる。このアンカー効果を高める観点からすると、凹部４１は、当該周方向の全域にわたって配置されていることが好ましい。なお、凹部４１をセンサー支持部材４の周方向での一部に配置する場合、軸方向から見たとき直線状をなす複数の凹部４１（溝）をセンサー支持部材４の側面に配置する構成とすることができる。

【0035】

厚い部分１５１の厚さｔ２、言い換えると、接着剤層１５の他の部分の厚さｔ１と凹部４１の深さとの合計は、特に限定されないが、接着剤層１５の他の部分の厚さｔ１に対して、１．１倍以上５倍以下であることが好ましく、１．２倍以上３倍以下であることが好ましい。これにより、前述したアンカー効果を高めることができる。これに対し、厚さｔ２が薄すぎると、前述したアンカー効果が急激に小さくなる傾向を示す。一方、厚さｔ２が厚すぎても、前述したアンカー効果がそれ以上高くならず、センサー支持部材４の製造が難しくなったり、センサー支持部材４の機械的強度を低下させたりする。

【0036】

また、凹部４１の軸方向での長さは、特に限定されないが、前述したアンカー効果を高める観点から、厚さｔ２に対して、０．１倍以上５倍以下であることが好ましく、１倍以上３倍以下であることがより好ましい。

【0037】

また、前述したアンカー効果を高める観点から、センサー支持部材４およびケース９の表面は、接着領域に粗面化されていることが好ましい。この粗面化の方法は、特に限定されないが、例えば、ブラスト処理、エッチング処理、切削等が挙げられる。

【0038】

接着剤層１５の構成材料（接着剤）は、特に限定されないが、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤等の硬化性（熱硬化性、光硬化性、嫌気硬化性等）接着剤を用いることが好ましく、特に、熱硬化性接着剤を用いることが好ましい。すなわち、接着剤層１５は、硬化性樹脂を含むことが好ましい。これにより、接着剤層１５の耐久性、接着性等を優れたものとすることができる。なお、接着剤層１５には、ガラス繊維、炭素繊維等の繊維、アルミナ粒子、ジルコニア粒子等の無機フィラー等が添加されていてもよい。

【0039】

＜第２実施形態＞
図４は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。以下、図４に示す第２実施形態について説明するが、前述した第１実施形態と同様の事項については、その説明を省略する。なお、図４において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

【0040】

図４に示す圧力センサー１Ａは、第１実施形態のケース９に代えて、ケース９Ａを有し、センサー支持部材４とケース９Ａとが接着剤層１５Ａを介して接合されている以外は、前述した第１実施形態と同様に構成されている。接着剤層１５を介してセンサー支持部材４に接合されるケース９Ａの部分は、軸方向に対して傾斜した側面である第１面と、軸方向に直交する第２面と、を有する。第１面には、縦断面が直角三角形をなす凹部９４が設けられ、第２面には、縦断面が二等辺三角形をなす凹部９５が設けられている。そして、凹部９４、９５内には、それぞれ、接着剤層１５Ａの一部が入り込んでいる。これにより、接着剤層１５Ａは、厚さｔ１の他の部分よりも厚い部分１５２（厚さｔ３）と、厚さｔ１の他の部分よりも厚い部分１５３（厚さｔ４）と、を有する。

【0041】

このように、ケース９Ａは、接着剤層１５Ａの一部を収納する凹部９４、９５を有する。これにより、接着剤層１５Ａとケース９Ａとの接触面積を大きくすることができる。そのため、ケース９Ａに対する接着剤層１５Ａのアンカー効果を高めることができる。なお、図示の構成では、凹部９４と凹部４１との軸方向での位置および範囲が互いに一致しているが、これに限定されず、これらの位置が軸方向にずれていてもよいし、これらの範囲が互いに異なっていてもよい。

【0042】

以上のような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様、金属製のセンサー支持部材４と非金属製のケース９とを互いに高い信頼性で固定することができる。

【0043】

＜第３実施形態＞
図５は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。図６は、図５に示すセンサー支持部材の凹部の配置を示す平面図である。以下、図５および図６に示す第３実施形態について説明するが、前述した第１実施形態と同様の事項については、その説明を省略する。なお、図５および図６において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

【0044】

図５および図６に示す圧力センサー１Ｂは、第１実施形態のセンサー支持部材４に代えて、センサー支持部材４Ｂを有し、センサー支持部材４Ｂとケース９とが接着剤層１５Ｂを介して接合されている以外は、前述した第１実施形態と同様に構成されている。接着剤層１５Ｂを介してケース９に接合されるセンサー支持部材４Ｂの第２主面４４の部分は、軸方向に対して傾斜した側面である第１面と、軸方向に直交する第２面と、を有する。このような第１面および第２面には、複数の凹部４２が設けられている。各凹部４２は、第１面と第２面とに跨って配置されている。また、図６に示すように、複数の凹部４２は、周方向に並んで配置されている。そして、各凹部４２内には、接着剤層１５Ｂの一部が入り込んでいる。これにより、接着剤層１５Ｂは、厚さｔ１の他の部分よりも厚い部分１５４（厚さｔ５）を有する。

【0045】

このように、センサー支持部材４Ｂは、厚い部分１５４の一部を収納する凹部４２を有する。これにより、接着剤層１５Ｂとセンサー支持部材４Ｂとの接触面積を大きくすることができる。そのため、センサー支持部材４Ｂに対する接着剤層１５Ｂのアンカー効果を高めることができる。なお、図６では、凹部４２の数が４つであるが、これに限定されず、凹部４２の数が１つ以上３つ以下または５つ以上であってもよい。また、図６では、凹部４２が周方向に沿って等角度間隔で配置されているが、凹部４２の配置は、これに限定されない。また、凹部４２の形状も図示の形状に限定されない。

【0046】

ここで、凹部４２は、開口側に向けて幅が狭くなっている部分４２１を有する。言い換えると、凹部４２の幅は、凹部４２の底部に向けて幅が広がる部分を有する。これにより、接着剤層１５Ｂの当該部分がセンサー支持部材４Ｂの凹部４２から抜けにくくなる。そのため、センサー支持部材４Ｂに対する接着剤層１５Ｂのアンカー効果を高めることができる。

【0047】

以上のような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様、金属製のセンサー支持部材４と非金属製のケース９Ｂとを互いに高い信頼性で固定することができる。

【0048】

＜第４実施形態＞
図７は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材を模式的に示す平面図である。以下、図７に示す第４実施形態について説明するが、前述した第１実施形態と同様の事項については、その説明を省略する。なお、図７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

【0049】

図７に示す圧力センサー１Ｃは、第３実施形態のセンサー支持部材４Ｂに代えて、センサー支持部材４Ｃを有する以外は、前述した第３実施形態と同様に構成されている。センサー支持部材４Ｃは、第３実施形態の凹部４２に代えて、凹部４７を有する以外は、第３実施形態のセンサー支持部材４Ｂと同様である。

【0050】

凹部４７は、軸方向から見たとき円形をなしており、凹部４７の幅は、凹部４７の底部に向けて幅が広がる部分４７１を有する。これにより、前述した第１実施形態の凹部４２と同様の効果を奏する。なお、凹部４７の形状、配置、数等は、図示の平面視形状、配置、数等に限定されない。

【0051】

以上のような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様、金属製のセンサー支持部材４と非金属製のケース９とを互いに高い信頼性で固定することができる。

【0052】

以上、本発明の圧力センサーを図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。

【符号の説明】

【0053】

１…圧力センサー
１Ａ…圧力センサー
１Ｂ…圧力センサー
１Ｃ…圧力センサー
２…取付部材
３…ダイアフラム
４…センサー支持部材
４Ｂ…センサー支持部材
４Ｃ…センサー支持部材
５…センサー素子
６…端子
７…封止材
９…ケース
９Ａ…ケース
９Ｂ…ケース
１２…端子
１４…Ｏリング
１５…接着剤層
１５Ａ…接着剤層
１５Ｂ…接着剤層
２１…貫通孔
２２…雄ネジ部
２３…頭部
４１…凹部
４２…凹部
４３…第１主面
４４…第２主面
４５…貫通孔
４７…凹部
９１…ケース本体
９３…凹部
９４…凹部
９５…凹部
１３１…凹部
１５１…部分
１５２…部分
１５３…部分
１５４…部分
４２１…部分
４７１…部分
Ｓ１…第１室
Ｓ２…第２室
ａｘ…軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】