特許7179661ガスクラスターイオンビーム装置、分析装置

発明の名称　ガスクラスターイオンビーム装置、分析装置

出願人　アルバック・ファイ株式会社　（識別番号 596043379）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7179661

公報発行日　2022年11月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7179661

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