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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-11-21
(45)【発行日】2022-11-30
(54)【発明の名称】検査装置及びそれを備えた塗布装置
(51)【国際特許分類】
G01N 21/956 20060101AFI20221122BHJP
G01J 3/46 20060101ALI20221122BHJP
G06T 1/00 20060101ALI20221122BHJP
【ＦＩ】
G01N21/956 B
G01J3/46 Z
G06T1/00 510
G06T1/00 305
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2019111211
(22)【出願日】2019-06-14
(65)【公開番号】P2020204487
(43)【公開日】2020-12-24
【審査請求日】2021-11-09
(73)【特許権者】
【識別番号】000010076
【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100115381
【弁理士】
【氏名又は名称】小谷 昌崇
(74)【代理人】
【識別番号】100127797
【弁理士】
【氏名又は名称】平田 晴洋
(72)【発明者】
【氏名】中島 努
【審査官】嶋田 行志
(56)【参考文献】
【文献】特開２００６－２０８３６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－３１１７１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－１３９４５２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０５４４４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１６７０５５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－１８８９４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－１０２２７０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－１１５８２２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１８５１７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－０７５５０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－１２１３６８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－１５３６２７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｊ ３／００－Ｇ０１Ｊ ３／５２
Ｇ０１Ｎ ２１／８４－Ｇ０１Ｎ ２１／９５８
Ｇ０１Ｎ ２１／００－Ｇ０１Ｎ ２１／６１
Ｇ０１Ｂ １１／００－Ｇ０１Ｂ １１／３０
Ｇ０６Ｔ １／００－Ｇ０６Ｔ ７／９０
ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０／ＪＳＴＣｈｉｎａ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板上の複数の塗布点に塗布物が塗布された検査基板の、前記各塗布点に対応した複数の検査領域における前記塗布物の塗布状態を検査する検査装置であって、前記検査基板上の前記各検査領域を撮像し、カラーの検査画像を前記検査領域毎に生成すると共に、前記塗布物が塗布される前の前記基板において前記各塗布点を撮像し、カラーの基板画像を前記塗布点毎に生成するカラー画像撮像カメラと、
前記検査領域毎の前記検査画像、及び前記塗布点毎の前記基板画像の各々に画像処理を施す画像処理部と、
前記画像処理部による前記画像処理において、前記検査画像上で前記塗布物を画像認識する条件である検査条件を特定し設定する検査条件設定部と、を備え、
前記画像処理部は、
前記基板画像の色を減らす減色処理を実行し、前記基板画像に対して減色された減色基板画像を生成する減色処理部と、
前記検査画像における前記塗布物の領域の画像を示す塗布物領域画像を特定する塗布物領域特定部と、
前記検査画像における前記塗布点の領域の画像を示す塗布点領域画像を、前記減色基板画像を用いて抽出して特定する塗布点領域特定部と、
前記塗布物領域画像及び前記塗布点領域画像の各々をＨＳＶ画像に変換すると共に、前記ＨＳＶ画像のＨ成分を示す色相の色相角を所定範囲で変化させた場合の各画像を、ＲＧＢ画像に変換する色空間変換部と、を含み、
前記検査条件設定部は、前記塗布物領域画像及び前記塗布点領域画像の各々に対応した特定の色成分の画像である特定色成分画像に基づいて、前記塗布物領域画像が前記塗布点領域画像に対して強調される場合の色相角を示す適合色相角を、前記検査条件として前記検査画像毎に特定する色相角特定部を含み、
前記塗布点領域特定部は、前記減色基板画像を色毎に複数の色領域に分割し、前記色領域毎に前記塗布点領域画像を抽出して、複数の前記塗布点領域画像を特定し、
前記色空間変換部は、前記ＲＧＢ画像として、前記塗布物領域画像に対応した塗布物ＲＧＢ画像と、前記複数の塗布点領域画像の各々に対応した複数の塗布点ＲＧＢ画像を生成し、
前記色相角特定部は、前記ＲＧＢ画像を構成する各色成分のうちの特定の色成分の画像である前記特定色成分画像としての、前記塗布物ＲＧＢ画像に対応した塗布物色成分画像と、前記複数の塗布点ＲＧＢ画像の各々に対応した複数の塗布点色成分画像とに基づいて、前記適合色相角を特定する、検査装置。
【請求項2】
前記塗布物領域特定部は、前記検査画像に対して前記基板画像を差し引いた差画像から、前記塗布物領域画像を抽出して特定する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項3】
前記カラー画像撮像カメラは、所定の塗布物認識部材に塗布された前記塗布物を撮像し、カラーの塗布物画像を生成するように構成され、前記塗布物領域特定部は、前記塗布物画像を用いて前記塗布物領域画像を抽出して特定する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項4】
前記色相角特定部は、前記複数の塗布点色成分画像の各々の画素群の輝度値から計算される代表値を示す塗布点輝度値と、前記塗布物色成分画像の画素群の輝度値から計算される代表値を示す塗布物輝度値との差分である複数の色相適用差分を、色相角毎に算出し、
当該色相角毎の複数の色相適用差分に基づいて、前記適合色相角を特定する、請求項１～３のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項5】
前記色相角特定部は、前記色相角毎の前記複数の色相適用差分において、最も小さい差分が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する、請求項４に記載の検査装置。
【請求項6】
前記色相角特定部は、前記色相角毎の前記複数の色相適用差分の総和が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する、請求項４に記載の検査装置。
【請求項7】
前記色相角特定部は、前記色相角毎の前記複数の色相適用差分の各々が、所定の基準輝度差以上となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する、請求項４に記載の検査装置。
【請求項8】
前記検査条件設定部は、彩度画像を、前記塗布物の画像認識の際に用いるか否かを判定する彩度判定部を、更に含み、前記彩度判定部は、前記彩度画像を用いた画像認識が前記適合色相角を用いた画像認識よりも、前記塗布点領域画像に対する前記塗布物領域画像の強調が可能となる場合に、前記塗布物の画像認識の際に前記彩度画像を用いると判定する、請求項１～７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項9】
前記色相角特定部は、前記塗布物及び前記塗布点の種類に応じて前記適合色相角を特定する、請求項１～８のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項10】
前記カラー画像撮像カメラは、前記検査基板上において、前記複数の検査領域から選択された所定の領域に関して前記検査画像を生成する、又は、前記複数の検査領域の全ての領域に関して前記検査画像を生成する、請求項１～９のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項11】
前記基板は、レジスト層と、シルク印刷により形成されたシルク部と、スルーホール部もしくはビアホール部と、電子部品の端子電極が接続されるランド部と、を有する、請求項１～１０のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項12】
複数の塗布点が設定された基板を搬送する搬送部と、前記基板上の前記複数の塗布点の各々に塗布物を塗布する塗布部と、
前記塗布部による塗布後の検査基板において、前記塗布物の塗布状態を検査する、請求項１～１１のいずれか１項に記載の検査装置と、を備える、塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板上に塗布された塗布物の状態を検査する検査装置、及びそれを備えた塗布装置に関する。
【背景技術】
【0002】
プリント配線板等の基板上に電子部品が搭載された部品搭載基板を生産する部品実装システムは、前記基板上の所定領域に半田や接着剤などの塗布物を塗布する塗布装置と、その塗布物の塗布状態を検査する検査装置と、を備えている。検査装置は、基板上に塗布された塗布物を撮像して検査画像を生成する検査カメラを備え、当該検査画像に基づいて塗布物の画像認識を行う。
【0003】
塗布物の画像認識の結果は、塗布物の塗布状態の検査判定に用いられる。このため、検査画像に基づく塗布物の画像認識には、高い認識精度が要求される。塗布物の高い認識精度を達成するためには、検査画像において塗布物の領域を示す塗布物領域が強調される画像処理を、検査画像に施す必要がある。
【0004】
特許文献１には、基板上の部品を画像認識する技術が開示されている。この特許文献１に開示される技術では、カメラにより取得された画像において、部品の領域が強調されるように、画像変換の画像処理が行われる。画像変換処理の処理条件は、色抽出フィルタを数値データとして表した変換テーブルを示すルックアップテーブルに基づく、オペレーターの入力操作によって設定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００１－１５３６２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
特許文献１に開示される技術を塗布物の検査装置に適用した場合、検査画像において塗布物領域を強調するための画像処理の処理条件は、オペレーターの入力操作によって設定されることとなる。画像処理条件の設定作業をオペレーターに委ねると、オペレーターの作業負担が増大するだけではなく、設定のばらつきが生じる虞がある。このため、塗布物の画像認識の精度が低下する虞がある。
【0007】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基板上に塗布された塗布物の画像認識を高精度に実施することが可能な検査装置、及びそれを備えた塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一の局面に係る検査装置は、基板上の複数の塗布点に塗布物が塗布された検査基板の、前記各塗布点に対応した複数の検査領域における前記塗布物の塗布状態を検査する装置である。この検査装置は、前記検査基板上の前記各検査領域を撮像し、カラーの検査画像を前記検査領域毎に生成すると共に、前記塗布物が塗布される前の前記基板において前記各塗布点を撮像し、カラーの基板画像を前記塗布点毎に生成するカラー画像撮像カメラと、前記検査領域毎の前記検査画像、及び前記塗布点毎の前記基板画像の各々に画像処理を施す画像処理部と、前記画像処理部による前記画像処理において、前記検査画像上で前記塗布物を画像認識する条件である検査条件を特定し設定する検査条件設定部と、を備える。前記画像処理部は、前記基板画像の色を減らす減色処理を実行し、前記基板画像に対して減色された減色基板画像を生成する減色処理部と、前記検査画像における前記塗布物の領域の画像を示す塗布物領域画像を特定する塗布物領域特定部と、前記検査画像における前記塗布点の領域の画像を示す塗布点領域画像を、前記減色基板画像を用いて抽出して特定する塗布点領域特定部と、前記塗布物領域画像及び前記塗布点領域画像の各々をＨＳＶ画像に変換すると共に、前記ＨＳＶ画像のＨ成分を示す色相の色相角を所定範囲で変化させた場合の各画像を、ＲＧＢ画像に変換する色空間変換部と、を含む。前記検査条件設定部は、前記塗布物領域画像及び前記塗布点領域画像の各々に対応した特定の色成分の画像である特定色成分画像に基づいて、前記塗布物領域画像が前記塗布点領域画像に対して強調される場合の色相角を示す適合色相角を、前記検査条件として前記検査画像毎に特定する色相角特定部を含む。前記塗布点領域特定部は、前記減色基板画像を色毎に複数の色領域に分割し、前記色領域毎に前記塗布点領域画像を抽出して、複数の前記塗布点領域画像を特定する。前記色空間変換部は、前記ＲＧＢ画像として、前記塗布物領域画像に対応した塗布物ＲＧＢ画像と、前記複数の塗布点領域画像の各々に対応した複数の塗布点ＲＧＢ画像を生成する。前記色相角特定部は、前記ＲＧＢ画像を構成する各色成分のうちの特定の色成分の画像である前記特定色成分画像としての、前記塗布物ＲＧＢ画像に対応した塗布物色成分画像と、前記複数の塗布点ＲＧＢ画像の各々に対応した複数の塗布点色成分画像とに基づいて、前記適合色相角を特定する。
【0009】
この検査装置によれば、塗布物領域特定部によって検査基板上の検査領域毎の検査画像に含まれる塗布物領域画像が特定され、塗布点領域特定部によって検査画像に含まれる塗布点領域画像が特定され、検査条件設定部によって塗布物を画像認識する際の検査条件が設定される。検査条件設定部は、検査画像をＨＳＶ画像に変換する際の適合色相角を検査条件として検査画像毎に特定する色相角特定部を含む。色相角特定部により特定される適合色相角は、塗布物領域画像が塗布点領域画像に対して強調される場合の色相角である。このようなＨ成分を示す色相の色相角が適合色相角とされたＨＳＶ画像に基づく画像認識によって、塗布物を高精度に認識することができる。ここで、塗布物を画像認識する際の検査条件となる適合色相角は、オペレーターの入力操作によって設定されるのではなく、色相角特定部によって自動的に特定される。このため、オペレーターの設定作業に起因した、検査条件の設定のばらつきが生じることが抑制される。
【0011】
基板上の塗布点に塗布物が塗布された検査基板においては、塗布物によって背景となる塗布点が隠れてしまう場合がある。この場合、検査基板の撮像により生成された検査画像から塗布点領域画像を適切に抽出することが困難となる虞がある。そこで、塗布点領域特定部は、塗布物が塗布される前の基板の撮像により生成された塗布点毎の基板画像を用いて塗布点領域画像を抽出する。これにより、塗布点領域特定部は、塗布点領域画像を適切に抽出して特定することができる。
また、上記の検査装置において、前記画像処理部は、前記基板画像の色を減らす減色処理を実行し、前記基板画像に対して減色された減色基板画像を生成する減色処理部を、更に含む。そして、前記塗布点領域特定部は、前記減色基板画像を用いて前記塗布点領域画像を抽出する。この態様では、基板画像に対して減色された減色基板画像に基づいて、塗布点領域画像の抽出処理が行われる。これにより、塗布点領域特定部による塗布点領域画像の抽出処理の効率化が図られる。
また、上記の検査装置において、前記画像処理部は、前記塗布物領域画像及び前記塗布点領域画像の各々をＨＳＶ画像に変換すると共に、前記ＨＳＶ画像のＨ成分を示す色相の色相角を所定範囲で変化させた場合の各画像を、ＲＧＢ画像に変換する色空間変換部を、更に含む。前記塗布点領域特定部は、前記減色基板画像を色毎に複数の色領域に分割し、前記色領域毎に前記塗布点領域画像を抽出して、複数の前記塗布点領域画像を特定する。前記色空間変換部は、前記ＲＧＢ画像として、前記塗布物領域画像に対応した塗布物ＲＧＢ画像と、前記複数の塗布点領域画像の各々に対応した複数の塗布点ＲＧＢ画像を生成する。そして、前記色相角特定部は、前記ＲＧＢ画像を構成する各色成分のうちの特定の色成分の画像である前記特定色成分画像としての、前記塗布物ＲＧＢ画像に対応した塗布物色成分画像と、前記複数の塗布点ＲＧＢ画像の各々に対応した複数の塗布点色成分画像とに基づいて、前記適合色相角を特定する。この態様では、色相角特定部は、適合色相角の特定の際に、減色基板画像における色領域毎の複数の塗布点領域画像を用いる。これにより、基板の塗布点が複数の色によって構成されている場合であっても、各色に応じて適切な適合色相角が特定される。
また、上記の検査装置において、前記画像処理部は、前記基板画像の色を減らす減色処理を実行し、前記基板画像に対して減色された減色基板画像を生成する減色処理部を、更に含む。そして、前記塗布点領域特定部は、前記減色基板画像を用いて前記塗布点領域画像を抽出する。この態様では、基板画像に対して減色された減色基板画像に基づいて、塗布点領域画像の抽出処理が行われる。これにより、塗布点領域特定部による塗布点領域画像の抽出処理の効率化が図られる。
また、上記の検査装置において、前記画像処理部は、前記塗布物領域画像及び前記塗布点領域画像の各々をＨＳＶ画像に変換すると共に、前記ＨＳＶ画像のＨ成分を示す色相の色相角を所定範囲で変化させた場合の各画像を、ＲＧＢ画像に変換する色空間変換部を、更に含む。前記塗布点領域特定部は、前記減色基板画像を色毎に複数の色領域に分割し、前記色領域毎に前記塗布点領域画像を抽出して、複数の前記塗布点領域画像を特定する。前記色空間変換部は、前記ＲＧＢ画像として、前記塗布物領域画像に対応した塗布物ＲＧＢ画像と、前記複数の塗布点領域画像の各々に対応した複数の塗布点ＲＧＢ画像を生成する。そして、前記色相角特定部は、前記ＲＧＢ画像を構成する各色成分のうちの特定の色成分の画像である前記特定色成分画像としての、前記塗布物ＲＧＢ画像に対応した塗布物色成分画像と、前記複数の塗布点ＲＧＢ画像の各々に対応した複数の塗布点色成分画像とに基づいて、前記適合色相角を特定する。この態様では、色相角特定部は、適合色相角の特定の際に、減色基板画像における色領域毎の複数の塗布点領域画像を用いる。これにより、基板の塗布点が複数の色によって構成されている場合であっても、各色に応じて適切な適合色相角が特定される。
【0012】
上記の検査装置において、前記塗布物領域特定部は、前記検査画像に対して前記基板画像を差し引いた差画像から、前記塗布物領域画像を抽出して特定する。
【0013】
この態様では、塗布物領域特定部は、検査画像に対して基板画像を差し引いた差画像に基づいて、塗布物領域画像を適切に抽出して特定することができる。
【0014】
上記の検査装置において、前記カラー画像撮像カメラは、所定の塗布物認識部材に塗布された前記塗布物を撮像し、カラーの塗布物画像を生成するように構成される。そして、前記塗布物領域特定部は、前記塗布物画像を用いて前記塗布物領域画像を抽出して特定する。
【0015】
この態様では、塗布物画像は、所定の塗布物認識部材に塗布された塗布物の撮像により生成されたものである。このため、塗布物画像において塗布物の領域を示す塗布物領域画像の背景となる領域は、塗布物認識部材に基づくものとなる。従って、塗布物領域特定部は、塗布物画像に基づいて塗布物領域画像を容易に抽出して特定することができる。
【0020】
上記の検査装置において、前記色相角特定部は、前記複数の塗布点色成分画像の各々の画素群の輝度値から計算される代表値を示す塗布点輝度値と、前記塗布物色成分画像の画素群の輝度値から計算される代表値を示す塗布物輝度値との差分である複数の色相適用差分を、色相角毎に算出し、当該色相角毎の複数の色相適用差分に基づいて、前記適合色相角を特定する。
【0021】
この態様では、色相角特定部により特定される適合色相角は、複数の塗布点色成分画像の各々の塗布点輝度値と、塗布物色成分画像の塗布物輝度値との差分である色相適用差分に基づくものである。これにより、塗布物領域画像が塗布点領域画像に対して適切に強調されたものとなる。このようなＨ成分を示す色相の色相角が適合色相角とされたＨＳＶ画像に基づく画像認識によって、塗布物を高精度に認識することができる。
【0022】
上記の検査装置において、前記色相角特定部は、前記色相角毎の前記複数の色相適用差分において、最も小さい差分が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する。
【0023】
また、上記の検査装置において、前記色相角特定部は、前記色相角毎の前記複数の色相適用差分の総和が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する。
【0024】
また、上記の検査装置において、前記色相角特定部は、前記色相角毎の前記複数の色相適用差分の各々が、所定の基準輝度差以上となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する。
【0025】
これらの態様では、基板の塗布点毎に、すなわち検査基板の検査領域毎に、塗布物を高精度に画像認識するための適切な適合色相角が、色相適用差分を用いて特定される。
【0026】
上記の検査装置において、前記検査条件設定部は、彩度画像を、前記塗布物の画像認識の際に用いるか否かを判定する彩度判定部を、更に含む。そして、前記彩度判定部は、前記彩度画像を用いた画像認識が前記適合色相角を用いた画像認識よりも、前記塗布点領域画像に対する前記塗布物領域画像の強調が可能となる場合に、前記塗布物の画像認識の際に前記彩度画像を用いると判定する。
【0027】
例えば、基板の塗布点に広範囲の色成分を含んだ色（白色）の領域が存在する場合を想定する。この場合、Ｈ成分を示す色相の色相角が適合色相角とされたＨＳＶ画像に基づき変換されたＲＧＢ画像において、塗布物領域画像が塗布点領域画像に対して強調されたものが得にくいことが想定される。このような場合には、彩度判定部は、塗布物の画像認識の際に彩度画像を用いると判定する。これにより、塗布物領域画像が塗布点領域画像に対して強調されたものを得ることができる。
【0028】
上記の検査装置において、前記色相角特定部は、前記塗布物及び前記塗布点の種類に応じて前記適合色相角を特定する。この態様では、塗布物及び塗布点の種類に応じて適切な適合色相角が特定される。
【0029】
上記の検査装置において、前記カラー画像撮像カメラは、前記検査基板上において、前記複数の検査領域から選択された所定の領域に関して前記検査画像を生成する、又は、前記複数の検査領域の全ての領域に関して前記検査画像を生成する。
【0030】
検査基板上の検査領域において、塗布物の種類が同じであり、且つ塗布点の構成要素が同じであるような領域が複数存在する場合を想定する。この場合、当該複数の領域から選択された所定の領域に関して検査画像が撮像される。この場合には、選択された所定領域の検査画像に基づいて、塗布物の画像認識が行われることとなる。これにより、検査基板に対する塗布物の画像認識の効率化が図られる。一方、検査基板上の全ての検査領域において、塗布物の種類が異なる、又は、塗布点の構成要素が異なるような場合を想定する。この場合、全ての検査領域に関して検査画像が撮像される。この場合には、全ての検査領域の検査画像に基づいて、塗布物の画像認識が行われることとなる。これにより、検査基板の全ての検査領域において、塗布物の高精度な画像認識が可能となる。
【0031】
上記の検査装置において、前記基板は、レジスト層と、シルク印刷により形成されたシルク部と、スルーホール部もしくはビアホール部と、電子部品の端子電極が接続されるランド部と、を有する。
【0032】
この態様では、基板は、レジスト層、シルク部、スルーホール部もしくはビアホール部、並びにランド部からなる複数の構成要素を有している。このような基板上に塗布物が塗布された検査基板であっても、塗布物の高精度な画像認識が可能である。
【0033】
本発明の他の局面に係る塗布装置は、複数の塗布点が設定された基板を搬送する搬送部と、前記基板上の前記複数の塗布点の各々に塗布物を塗布する塗布部と、前記塗布部による塗布後の検査基板において、前記塗布物の塗布状態を検査する、上記の検査装置と、を備える。
【0034】
この塗布装置によれば、塗布物の画像認識を高精度に実施することが可能な検査装置を備える。これにより、塗布部によって基板上に塗布された塗布物の塗布状態を精度よく検査することができる。
【発明の効果】
【0035】
以上説明したように、本発明によれば、基板上に塗布された塗布物の画像認識を高精度に実施することが可能な検査装置、及びそれを備えた塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】本発明の一実施形態に係る検査装置が適用された塗布装置の構成を示す平面図である。
【図2】検査装置の構成を示すブロック図である。
【図3】検査基板を示す図である。
【図4】カラー画像撮像カメラにより撮像された検査画像を示す図である。
【図5】検査基板における複数の検査領域の様子を示す図である。
【図6】カラー画像撮像カメラにより撮像された基板画像を示す図である。
【図7】カラー画像撮像カメラにより撮像された塗布物画像を示す図である。
【図8】画像変換処理部による画像変換処理を示す図である。
【図9】減色処理部による減色処理を示す図である。
【図10】塗布物領域特定部による塗布物領域画像の特定処理を示す図である。
【図11】塗布物領域特定部による塗布物領域画像の特定処理を示す図である。
【図12】塗布点領域特定部による塗布点領域画像の特定処理を示す図である。
【図13】ＨＳＶ画像のＨ成分を示す色相の色相角を説明する図である。
【図14】色空間変換部による塗布物領域画像に対する色空間変換処理を示す図である。
【図15】色空間変換部による塗布点領域画像に対する色空間変換処理を示す図である。
【図16】照明条件特定処理部による基板画像撮像時の照明条件の特定処理を示す図である。
【図17】照明条件特定処理部による検査画像又は塗布物画像撮像時の照明条件の特定処理を示す図である。
【図18A】色相角特定部の処理を説明するための図である。
【図18B】色相角特定部の処理を説明するための図である。
【図19】検査基板の特殊な状態を示す図である。
【図20】彩度判定部が彩度判定処理の実行時に使用する塗布物Ｓ成分画像及び塗布点Ｓ成分画像を説明する図である。
【図21】彩度判定部の彩度判定処理を説明するための図である。
【図22】検査装置により実行される検査処理の全体的な流れを示すフローチャートである。
【図23】基板画像生成処理の流れを示すフローチャートである。
【図24】検査画像生成処理の流れを示すフローチャートである。
【図25】塗布物画像生成処理の流れを示すフローチャートである。
【図26A】照明条件特定処理の流れを示すフローチャートである。
【図26B】照明条件特定処理の流れを示すフローチャートである。
【図27】塗布物領域特定処理の流れを示すフローチャートである。
【図28】塗布物領域特定処理の変形例を示すフローチャートである。
【図29】塗布点領域特定処理の流れを示すフローチャートである。
【図30】検査条件設定処理の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0037】
以下、本発明の実施形態に係る検査装置及び塗布装置について、図面に基づいて説明する。
【0038】
［塗布装置の構成］
図１は、本発明の一実施形態に係る塗布装置１の構成を示す平面図である。なお、図１では、水平面上のＸＹ直交座標軸を用いて、方向関係が示されている。Ｘ軸方向の一方向側を「＋Ｘ側」と称し、Ｘ軸方向の一方向側とは反対の他方向側を「－Ｘ側」と称する。また、Ｙ軸方向の一方向側を「＋Ｙ側」と称し、Ｙ軸方向の一方向側とは反対の他方向側を「－Ｙ側」と称する。
図１は、本発明の一実施形態に係る塗布装置１の構成を示す平面図である。なお、図１では、水平面上のＸＹ直交座標軸を用いて、方向関係が示されている。Ｘ軸方向の一方向側を「＋Ｘ側」と称し、Ｘ軸方向の一方向側とは反対の他方向側を「－Ｘ側」と称する。また、Ｙ軸方向の一方向側を「＋Ｙ側」と称し、Ｙ軸方向の一方向側とは反対の他方向側を「－Ｙ側」と称する。
【0039】
塗布装置１は、基板Ｐ１上の複数の塗布点ＰＰに塗布物ＣＰ（図３）を塗布する装置である。塗布物ＣＰは、塗布点ＰＰに電子部品を固定するためのものであり、半田や接着剤が挙げられる。塗布装置１は、本体フレーム２と、コンベア３と、塗布ヘッド４と、を備える。
【0040】
本体フレーム２は、塗布装置１を構成する各部が配置される構造体であり、鉛直上方から見た平面視で略矩形状に形成されている。
【0041】
コンベア３は、Ｘ軸方向に延び、本体フレーム２に配置されている。コンベア３は、Ｘ軸方向に沿った搬送方向に基板Ｐ１を搬送する搬送部である。基板Ｐ１は、コンベア３上を搬送されて、所定の作業位置（基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰに塗布物ＣＰが塗布される塗布位置）に位置決めされるようになっている。コンベア３は、基板Ｐ１が前記塗布位置に位置決めされるように当該基板Ｐ１を搬送する。
【0042】
塗布ヘッド４は、コンベア３によって前記塗布位置に搬送されてきた基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰに塗布物ＣＰを塗布する塗布部である。塗布ヘッド４は、移動フレーム４１に配設されている。移動フレーム４１は、Ｘ軸方向に延び、Ｙ軸方向に移動可能となるように本体フレーム２に支持される。移動フレーム４１は、第１駆動機構４２によってＹ軸方向に移動される。第１駆動機構４２は、例えば、駆動モーターと、Ｙ軸方向に延び、駆動モーターに連結されるボールねじ軸と、移動フレーム５Ａに配設されてボールねじ軸と螺合するボールナットと、を含んで構成される。このような構成の第１駆動機構４２は、駆動モーターによるボールねじ軸の回転駆動に伴ってボールナットがボールねじ軸に沿って進退することにより、移動フレーム４１をＹ軸方向に移動させる。
【0043】
塗布ヘッド４は、Ｘ軸方向に移動可能となるように、移動フレーム４１に配設される。すなわち、塗布ヘッド４は、移動フレーム４１の移動に伴ってＹ軸方向に移動可能であり、且つ、移動フレーム４１に沿ってＸ軸方向に移動可能である。塗布ヘッド４は、第２駆動機構４３によって移動フレーム４１に沿って移動される。第２駆動機構４３は、第１駆動機構４２と同様に、例えば、駆動モーターと、Ｘ軸方向に延び、駆動モーターに連結されるボールねじ軸と、塗布ヘッド４に配設されてボールねじ軸と螺合するボールナットと、を含んで構成される。このような構成の第２駆動機構４３は、駆動モーターによるボールねじ軸の回転駆動に伴ってボールナットがボールねじ軸に沿って進退することにより、塗布ヘッド４をＸ軸方向に移動させる。
【0044】
なお、第１駆動機構４２及び第２駆動機構４３は、当例では、駆動モーターによりボールねじ軸を介して移動フレーム４１及び塗布ヘッド４を移動させる構成である。しかし、例えばリニアモーターを駆動源として移動フレーム４１や塗布ヘッド４をダイレクトに駆動する構成であってもよい。
【0045】
また、塗布装置１は、本体フレーム２に配置された塗布物認識部材５と、塗布ヘッド４の下面に固定されたカラー画像撮像カメラ７と、を更に備える。塗布物認識部材５は、詳細については後述するが、塗布ヘッド４によって塗布物ＣＰが予備的に塗布される部材である。塗布物認識部材５は、単一色（例えば白色）のシート材である。カラー画像撮像カメラ７は、後記の検査装置６の一部を構成する。すなわち、本実施形態に係る塗布装置１は、検査装置６を備えている。
【0046】
［検査装置の構成］
図２は、検査装置６の構成を示すブロック図である。図３は、検査基板Ｐ２を示す図である。検査装置６は、基板Ｐ１上の複数の塗布点ＰＰに塗布物ＣＰが塗布された検査基板Ｐ２を検査する装置である。検査装置６は、基板Ｐ１の各塗布点ＰＰに対応した、検査基板Ｐ２の複数の検査領域ＲＩにおける塗布物ＣＰの塗布状態を検査する。
図２は、検査装置６の構成を示すブロック図である。図３は、検査基板Ｐ２を示す図である。検査装置６は、基板Ｐ１上の複数の塗布点ＰＰに塗布物ＣＰが塗布された検査基板Ｐ２を検査する装置である。検査装置６は、基板Ｐ１の各塗布点ＰＰに対応した、検査基板Ｐ２の複数の検査領域ＲＩにおける塗布物ＣＰの塗布状態を検査する。
【0047】
検査装置６の検査対象の検査基板Ｐ２は、塗布物ＣＰとしての半田ＣＰ１及び接着剤ＣＰ２と、塗布物ＣＰが塗布される前の基板Ｐ１の構成要素としてのランド部ＰＡ、スルーホール部（もしくはビアホール部）ＰＢ、シルク部ＰＣ及びレジスト層ＰＤとを含んでいる。ランド部ＰＡは、電子部品の端子電極が接続されるランドである。スルーホール部（もしくはビアホール部）ＰＢは、複数の層を重ねて１枚の基板としてつくられている基板Ｐ１において、上の層と下の層の電気配線パターンを繋ぐものである。最上層から最下層まで全層を貫いて電気配線パターンを繋いでいるのがスルーホール部であり、一部の層同士の電気配線パターンを繋いでいるのがビアホール部である。以下では、スルーホール部もしくはビアホール部を「スルーホール部ＰＢ」という。シルク部ＰＣは、シルク印刷により形成された部分である。レジスト層ＰＤは、レジストによって構成された層である。
【0048】
検査基板Ｐ２の複数の検査領域ＲＩの各々には、塗布物ＣＰと、当該塗布物ＣＰの下地となる基板Ｐ１の塗布点ＰＰとが含まれることとなる。更に、塗布点ＰＰにおいては、ランド部ＰＡ、スルーホール部ＰＢ、シルク部ＰＣ及びレジスト層ＰＤの少なくともいずれか１つの部分が含まれる。
【0049】
検査装置６は、カラー画像撮像カメラ７と、検査制御部８とを備える。
【0050】
＜カラー画像撮像カメラ＞
カラー画像撮像カメラ７は、フルカラー画像を生成可能なカメラであって、照明部７１とカラー画像撮像部７２とを含む。照明部７１は、例えばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｎｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）である。照明部７１は、カラー画像撮像カメラ７の撮像対象を照明するものであって、照明出力の変更が可能である。照明部７１は、照明出力の変更によって、撮像対象の照度を調整することができる。
カラー画像撮像カメラ７は、フルカラー画像を生成可能なカメラであって、照明部７１とカラー画像撮像部７２とを含む。照明部７１は、例えばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｎｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）である。照明部７１は、カラー画像撮像カメラ７の撮像対象を照明するものであって、照明出力の変更が可能である。照明部７１は、照明出力の変更によって、撮像対象の照度を調整することができる。
【0051】
カラー画像撮像部７２は、例えばＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ ｍｅｔａｌ－ｏｘｉｄｅ－ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）やＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ－ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅｓ）などの撮像素子を含む。カラー画像撮像部７２は、照明部７１によって照明された撮像対象を撮像し、当該撮像対象からの反射光に基づきＲＧＢ色空間で表現されやフルカラー画像を生成する。ＲＧＢ色空間は、原色をＲ（Ｒｅｄ；赤）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ；緑）及びＢ（Ｂｌｕｅ；青）とするＲＧＢ表色系によって構成される色空間である。
【0052】
ＲＧＢ色空間で表現されたフルカラー画像においては、２５６階調の場合、最大輝度の赤色を示す画素の画素値は（２５５，０，０）で表現され、最大輝度の緑色を示す画素の画素値は（０，２５５，０）で表現され、最大輝度の青色を示す画素の画素値は（０，０，２５５）で表現される。また、白色を示す画素の画素値は（２５５，２５５，２５５）で表現され、黒色を示す画素の画素値は（０，０，０）で表現される。また、黄色を示す画素の画素値は（２５５，２５５，０）で表現され、マゼンタ色を示す画素の画素値は（２５５，０，２５５）で表現され、シアン色を示す画素の画素値は（０，２５５，２５５）で表現される。
【0053】
本実施形態では、カラー画像撮像カメラ７は、検査基板Ｐ２上の各検査領域ＲＩを撮像し、基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰを撮像し、更に塗布物認識部材５に塗布された塗布物ＣＰを撮像するように構成されている。
【0054】
カラー画像撮像カメラ７は、検査基板Ｐ２上の各検査領域ＲＩを撮像し、図４に示す検査画像Ｇ１を検査領域ＲＩ毎に生成する。検査画像Ｇ１は、ＲＧＢ色空間で表現されたフルカラー画像である。検査画像Ｇ１は、塗布物ＣＰの領域の画像を示す塗布物領域画像ＧＣＰと、塗布点ＰＰの領域の画像を示す塗布点領域画像ＧＰＰと、を画像成分として含んでいる。
【0055】
図４においては、３つの検査画像Ｇ１が例示されている。図４の左方側の検査画像Ｇ１においては、塗布物領域画像ＧＣＰは半田ＣＰ１の画像を示す半田領域ＧＣＰ１を有し、塗布点領域画像ＧＰＰはランド部ＰＡの画像を示すランド領域ＧＰＰ１と、シルク部ＰＣの画像を示すシルク領域ＧＰＰ３と、レジスト層ＰＤの画像を示すレジスト領域ＧＰＰ４とを有する。図４の中央の検査画像Ｇ１においては、塗布物領域画像ＧＣＰは接着剤ＣＰ２の画像を示す接着剤領域ＧＣＰ２を有し、塗布点領域画像ＧＰＰはランド領域ＧＰＰ１、シルク領域ＧＰＰ３及びレジスト領域ＧＰＰ４を有する。図４の右方側の検査画像Ｇ１においては、塗布物領域画像ＧＣＰは半田領域ＧＣＰ１及び接着剤領域ＧＣＰ２を有し、塗布点領域画像ＧＰＰはランド領域ＧＰＰ１、シルク領域ＧＰＰ３及びレジスト領域ＧＰＰ４に加えてスルーホール部ＰＢの画像を示すスルーホール領域ＧＰＰ２を有する。
【0056】
図５は、検査基板Ｐ２における複数の検査領域ＲＩの様子を示す図である。図５に示す例では、検査基板Ｐ２は、第１～第５検査領域ＲＩ１～ＲＩ５を含んでいる。第１検査領域ＲＩ１内においては、塗布物ＣＰ及び塗布点ＰＰの構成要素が同じである。第２～第５検査領域ＲＩ２～ＲＩ５の各々の領域内においても、第１検査領域ＲＩ１の場合と同様である。更に、第１～第４検査領域ＲＩ１～ＲＩ４は、互いに塗布物ＣＰ及び塗布点ＰＰの構成要素が同じである。
【0057】
このように、検査基板Ｐ２上の検査領域ＲＩにおいて、塗布物ＣＰの種類が同じであり、且つ塗布点ＰＰの構成要素が同じであるような領域が複数存在する場合を想定する。この場合、カラー画像撮像カメラ７は、検査基板Ｐ２上において、複数の検査領域ＲＩ１～ＲＩ５から選択された所定の領域に関して検査画像Ｇ１を生成するように構成されてもよい。図５に示す例では、カラー画像撮像カメラ７は、第１～第５検査領域ＲＩ１～ＲＩ５から選択された第１検査領域ＲＩ１及び第５検査領域ＲＩ５に関して検査画像Ｇ１を生成する（図５（Ｂ）参照）。また、カラー画像撮像カメラ７は、第１～第５検査領域ＲＩ１～ＲＩ５の各々において、各領域内の例えば半分の部分について検査画像Ｇ１を生成する（図５（Ｃ）参照）。このような場合には、選択された所定領域の検査画像Ｇ１に基づいて、塗布物ＣＰの画像認識が行われることとなる。これにより、検査基板Ｐ２に対する塗布物ＣＰの画像認識の効率化が図られる。
【0058】
一方、検査基板Ｐ２上の全ての検査領域ＲＩにおいて、塗布物ＣＰの種類が異なる、又は、塗布点ＰＰの構成要素が異なるような場合を想定する。この場合、カラー画像撮像カメラ７は、全ての検査領域ＲＩに関して検査画像Ｇ１を生成する。この場合には、全ての検査領域ＲＩの検査画像Ｇ１に基づいて、塗布物ＣＰの画像認識が行われることとなる。これにより、検査基板Ｐ２の全ての検査領域ＲＩにおいて、塗布物ＣＰの高精度な画像認識が可能となる。
【0059】
なお、検査基板Ｐ２上の検査領域ＲＩにおいて、塗布物ＣＰの種類が同じであり、且つ塗布点ＰＰの構成要素が同じであるような領域が複数存在する場合であっても、カラー画像撮像カメラ７は、全ての検査領域ＲＩに関して検査画像Ｇ１を生成するように構成されてもよい（図５（Ａ）参照）。
【0060】
また、カラー画像撮像カメラ７は、基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰを撮像し、図６に示す基板画像Ｇ２を塗布点ＰＰ毎に生成する。基板画像Ｇ２は、ＲＧＢ色空間で表現されたフルカラー画像である。基板画像Ｇ２は、塗布点ＰＰの領域の画像を示す塗布点領域画像ＧＰＰを画像成分として含んでいる。
【0061】
図６においては、３つの基板画像Ｇ２が例示されている。図６の左方側の基板画像Ｇ２においては、塗布点領域画像ＧＰＰはランド領域ＧＰＰ１、シルク領域ＧＰＰ３及びレジスト領域ＧＰＰ４を有する。図６の中央の基板画像Ｇ２においては、塗布点領域画像ＧＰＰはランド領域ＧＰＰ１、シルク領域ＧＰＰ３及びレジスト領域ＧＰＰ４を有する。図６の右方側の基板画像Ｇ２においては、塗布点領域画像ＧＰＰはランド領域ＧＰＰ１、スルーホール領域ＧＰＰ２、シルク領域ＧＰＰ３及びレジスト領域ＧＰＰ４を有する。
【0062】
また、カラー画像撮像カメラ７は、塗布物認識部材５に塗布された塗布物ＣＰを撮像し、図７に示す塗布物画像Ｇ３を生成する。塗布物画像Ｇ３は、ＲＧＢ色空間で表現されたフルカラー画像である。塗布物画像Ｇ３は、塗布物ＣＰの領域の画像を示す塗布物領域画像ＧＣＰと、例えば単一色の塗布物認識部材５の領域の画像を示す背景領域画像ＧＷと、を画像成分として含んでいる。図７においては、２つの塗布物画像Ｇ３が例示されている。図７の上方側の塗布物画像Ｇ３においては、塗布物領域画像ＧＣＰは半田領域ＧＣＰ１を有する。図７の下方側の塗布物画像Ｇ３においては、塗布物領域画像ＧＣＰは接着剤領域ＧＣＰ２を有する。
【0063】
＜検査制御部＞
検査制御部８は、検査装置６の画像認識動作を統括的に制御する制御部を構成する。検査制御部８は、例えば、マイクロプロセッサやその周辺回路等で構成されている。検査制御部８は、カラー画像撮像カメラ７の撮像により生成された検査画像Ｇ１、基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３に基づく塗布物ＣＰの画像認識によって、塗布物ＣＰの塗布状態を検査する検査処理を実行する。
検査制御部８は、検査装置６の画像認識動作を統括的に制御する制御部を構成する。検査制御部８は、例えば、マイクロプロセッサやその周辺回路等で構成されている。検査制御部８は、カラー画像撮像カメラ７の撮像により生成された検査画像Ｇ１、基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３に基づく塗布物ＣＰの画像認識によって、塗布物ＣＰの塗布状態を検査する検査処理を実行する。
【0064】
検査制御部８は、中央処理部８１と、信号入出力部８２と、データ通信部８３と、記憶部８４と、画像処理部８５と、照明条件特定処理部８６と、検査条件設定部８７と、検査実行部８８とを含む。
【0065】
中央処理部８１は、検査制御部８において、検査画像Ｇ１、基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３に基づく検査処理を管理する部分であって、信号入出力部８２、データ通信部８３、記憶部８４、画像処理部８５、照明条件特定処理部８６、検査条件設定部８７及び検査実行部８８の各々と接続される。
【0066】
信号入出力部８２は、塗布装置１において塗布ヘッド４の移動動作などを制御する塗布制御装置等の外部装置からの信号の入力や、当該外部装置への信号の出力が行われるインターフェイス回路である。
【0067】
データ通信部８３は、撮像カメラ７によって生成された検査画像Ｇ１、基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３を示す画像データを撮像カメラ７から受信すると共に、後述の検査実行部８８の検査動作によって取得された検査結果を示す検査データを前記外部装置に送信するデータ通信を行う。
【0068】
記憶部８４は、検査実行部８８によって取得された前記検査データを記憶する。また、記憶部８４は、詳細については後述するが、検査条件設定部８７によって設定された適合色相角及びＳ成分画像適用情報などの検査条件、照明条件特定処理部８６によって特定された適合照明出力を、前記検査データに関連付けて記憶する。
【0069】
＜画像処理部＞
画像処理部８５は、検査領域ＲＩ毎の検査画像Ｇ１、塗布点ＰＰ毎の基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３に画像処理を施す。画像処理部８５は、画像変換処理部８５１と、減色処理部８５２と、塗布物領域特定部８５３と、塗布点領域特定部８５４と、色空間変換部８５５と、を含む。
画像処理部８５は、検査領域ＲＩ毎の検査画像Ｇ１、塗布点ＰＰ毎の基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３に画像処理を施す。画像処理部８５は、画像変換処理部８５１と、減色処理部８５２と、塗布物領域特定部８５３と、塗布点領域特定部８５４と、色空間変換部８５５と、を含む。
【0070】
（画像変換処理部）
図８は、画像変換処理部８５１による画像変換処理を示す図である。画像変換処理部８５１は、ＲＧＢ色空間で表現された基板画像Ｇ２を第１モノクロ画像Ｇ４１に変換する画像変換処理を実行する（図８（Ａ）参照）。また、画像変換処理部８５１は、ＲＧＢ色空間で表現された検査画像Ｇ１を第２モノクロ画像Ｇ４２に変換する画像変換処理を実行する（図８（Ｂ）参照）。なお、画像変換処理部８５１は、ＲＧＢ色空間で表現された塗布物画像Ｇ３を前記第２モノクロ画像Ｇ４２に変換するようにしてもよい。第１モノクロ画像Ｇ４１及び第２モノクロ画像Ｇ４２は、白黒の濃淡を表現したグレースケール画像である。第１及び第２モノクロ画像Ｇ４１，Ｇ４２では、白黒の濃淡が例えば２５６階調で表現される。第１及び第２モノクロ画像Ｇ４１，Ｇ４２においては、黒色を示す画素の輝度値（画素値）は「０」で表現され、白色を示す画素の輝度値は「２５５」で表現され、黒色と白色との間の中間色を示す画素の輝度値は「０」から「２５５」までの間の数値で表現される。
図８は、画像変換処理部８５１による画像変換処理を示す図である。画像変換処理部８５１は、ＲＧＢ色空間で表現された基板画像Ｇ２を第１モノクロ画像Ｇ４１に変換する画像変換処理を実行する（図８（Ａ）参照）。また、画像変換処理部８５１は、ＲＧＢ色空間で表現された検査画像Ｇ１を第２モノクロ画像Ｇ４２に変換する画像変換処理を実行する（図８（Ｂ）参照）。なお、画像変換処理部８５１は、ＲＧＢ色空間で表現された塗布物画像Ｇ３を前記第２モノクロ画像Ｇ４２に変換するようにしてもよい。第１モノクロ画像Ｇ４１及び第２モノクロ画像Ｇ４２は、白黒の濃淡を表現したグレースケール画像である。第１及び第２モノクロ画像Ｇ４１，Ｇ４２では、白黒の濃淡が例えば２５６階調で表現される。第１及び第２モノクロ画像Ｇ４１，Ｇ４２においては、黒色を示す画素の輝度値（画素値）は「０」で表現され、白色を示す画素の輝度値は「２５５」で表現され、黒色と白色との間の中間色を示す画素の輝度値は「０」から「２５５」までの間の数値で表現される。
【0071】
第１モノクロ画像Ｇ４１は、基板画像Ｇ２と同様に、塗布点ＰＰの領域の画像を示す塗布点領域画像ＧＰＰを画像成分として含んでいる。図８（Ａ）に示す例では、塗布点領域画像ＧＰＰは、ランド領域ＧＰＰ１、シルク領域ＧＰＰ３及びレジスト領域ＧＰＰ４を有する。検査画像Ｇ１が画像変換された第２モノクロ画像Ｇ４２は、検査画像Ｇ１と同様に、塗布物ＣＰの領域の画像を示す塗布物領域画像ＧＣＰと、塗布点ＰＰの領域の画像を示す塗布点領域画像ＧＰＰとを画像成分として含んでいる。図８（Ｂ）に示す例では、塗布物領域画像ＧＣＰは半田領域ＧＣＰ１を有し、塗布点領域画像ＧＰＰはランド領域ＧＰＰ１、シルク領域ＧＰＰ３及びレジスト領域ＧＰＰ４を有する。なお、塗布物画像Ｇ３が画像変換された第２モノクロ画像Ｇ４２は、塗布物画像Ｇ３と同様に、塗布物領域画像ＧＣＰと背景領域画像ＧＷとを有する。
【0072】
（減色処理部）
図９は、減色処理部８５２による減色処理を示す図である。減色処理部８５２は、基板画像Ｇ２の色を減らす減色処理を実行し、基板画像Ｇ２に対して減色された減色基板画像Ｇ５を生成する。減色処理部８５２が実行する減色処理としては、メディアンカット法やＫ－ｍｅａｎｓ法などの公知の処理の適用が可能であるが、本実施形態では特異な減色処理が採用される。具体的には、減色処理部８５２は、図２に示すように、色分解部８５２１と、領域分割部８５２２と、階調数調整部８５２３と、減色画像生成部８５２４とを有する。
図９は、減色処理部８５２による減色処理を示す図である。減色処理部８５２は、基板画像Ｇ２の色を減らす減色処理を実行し、基板画像Ｇ２に対して減色された減色基板画像Ｇ５を生成する。減色処理部８５２が実行する減色処理としては、メディアンカット法やＫ－ｍｅａｎｓ法などの公知の処理の適用が可能であるが、本実施形態では特異な減色処理が採用される。具体的には、減色処理部８５２は、図２に示すように、色分解部８５２１と、領域分割部８５２２と、階調数調整部８５２３と、減色画像生成部８５２４とを有する。
【0073】
色分解部８５２１は、基板画像Ｇ２をＲＧＢの各色成分に分解する色成分分解処理を実行し、色成分毎の色成分画像となるＲ成分画像、Ｇ成分画像及びＢ成分画像を生成する。Ｒ成分画像、Ｇ成分画像及びＢ成分画像は、例えば２５６階調で濃淡が表現されたグレースケール画像である。領域分割部８５２２は、Ｒ成分画像、Ｇ成分画像及びＢ成分画像の各色成分画像について、画像を構成する各画素の輝度値に基づいて、色成分画像毎に複数の色成分分割領域に分割する領域分割処理を実行する。階調数調整部８５２３は、Ｒ成分画像、Ｇ成分画像及びＢ成分画像の各色成分画像において、色成分分割領域毎にその領域内の各画素の輝度値を、当該領域内の画素群の輝度値から計算される代表値（例えば平均輝度値）に変換する階調数調整処理を実行する。階調数調整部８５２３は、階調数調整処理の実行によって、階調数を減らした階調調整色成分画像となる階調調整Ｒ成分画像、階調調整Ｇ成分画像及び階調調整Ｂ成分画像を生成する。減色画像生成部８５２４は、ＲＧＢ色成分毎の階調調整Ｒ成分画像、階調調整Ｇ成分画像及び階調調整Ｂ成分画像を合成し、減色基板画像Ｇ５を生成する。
【0074】
図９に示すように、減色基板画像Ｇ５は、基板画像Ｇ２と同様に、塗布点ＰＰの領域の画像を示す塗布点領域画像ＧＰＰを画像成分として含んでいる。
【0075】
なお、他の実施形態において、減色処理部８５２は、色分解部８５２１、領域分割部８５２２、階調数調整部８５２３及び減色画像生成部８５２４が、以下に示す処理を実行するように構成されていてもよい。
【0076】
減色処理部８５２の他の実施形態において、色分解部８５２１は、基板画像Ｇ２をＨＳＶ画像に変換してＨＳＶの各色成分に分解し、色成分毎の色成分画像を生成する。領域分割部８５２２は、色分解部８５２１によって生成された各色成分画像について、画像を構成する各画素の輝度値に基づいて、色成分画像毎に複数の色成分分割領域に分割する。階調数調整部８５２３は、各色成分画像において、色成分分割領域毎にその領域内の各画素の輝度値を、当該領域内の画素群の輝度値から計算される代表値（例えば平均輝度値）に変換する階調数調整処理を実行する。階調数調整部８５２３は、階調数調整処理の実行によって、階調数を減らした階調調整色成分画像を生成する。そして、減色画像生成部８５２４は、ＨＳＶ成分毎の階調調整色成分画像をＲＧＢ画像に変換して合成し、減色基板画像Ｇ５を生成する。
【0077】
（塗布物領域特定部）
図１０及び図１１は、塗布物領域特定部８５３による塗布物領域画像ＧＣＰの特定処理を示す図である。塗布物領域特定部８５３は、検査画像Ｇ１又は塗布物画像Ｇ３に含まれている塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する。検査画像Ｇ１を用いる場合、塗布物領域特定部８５３は、検査画像Ｇ１に対して基板画像Ｇ２を差し引いた差画像Ｇ６を生成し、その差画像Ｇ６から塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する（図１０参照）。一方、塗布物画像Ｇ３を用いる場合、塗布物領域特定部８５３は、塗布物画像Ｇ３から塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する（図１１参照）。
図１０及び図１１は、塗布物領域特定部８５３による塗布物領域画像ＧＣＰの特定処理を示す図である。塗布物領域特定部８５３は、検査画像Ｇ１又は塗布物画像Ｇ３に含まれている塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する。検査画像Ｇ１を用いる場合、塗布物領域特定部８５３は、検査画像Ｇ１に対して基板画像Ｇ２を差し引いた差画像Ｇ６を生成し、その差画像Ｇ６から塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する（図１０参照）。一方、塗布物画像Ｇ３を用いる場合、塗布物領域特定部８５３は、塗布物画像Ｇ３から塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する（図１１参照）。
【0078】
（塗布点領域特定部）
図１２は、塗布点領域特定部８５４による塗布点領域画像ＧＰＰの特定処理を示す図である。塗布点領域特定部８５４は、基板画像Ｇ２に含まれている塗布点領域画像ＧＰＰを抽出して特定する。本実施形態では、塗布点領域特定部８５４は、基板画像Ｇ２に対して減色された減色基板画像Ｇ５から塗布点領域画像ＧＰＰを抽出して特定する。具体的には、塗布点領域特定部８５４は、減色基板画像Ｇ５を色毎に複数の色領域に分割し、当該色領域毎に塗布点領域画像ＧＰＰを抽出して、複数の塗布点領域画像ＧＰＰを特定する。この場合、塗布点領域特定部８５４は、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、色領域毎の複数の塗布点領域画像ＧＰＰを特定することとなる。
図１２は、塗布点領域特定部８５４による塗布点領域画像ＧＰＰの特定処理を示す図である。塗布点領域特定部８５４は、基板画像Ｇ２に含まれている塗布点領域画像ＧＰＰを抽出して特定する。本実施形態では、塗布点領域特定部８５４は、基板画像Ｇ２に対して減色された減色基板画像Ｇ５から塗布点領域画像ＧＰＰを抽出して特定する。具体的には、塗布点領域特定部８５４は、減色基板画像Ｇ５を色毎に複数の色領域に分割し、当該色領域毎に塗布点領域画像ＧＰＰを抽出して、複数の塗布点領域画像ＧＰＰを特定する。この場合、塗布点領域特定部８５４は、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、色領域毎の複数の塗布点領域画像ＧＰＰを特定することとなる。
【0079】
（色空間変換部）
図１３は、色空間変換部８５５により生成されるＨＳＶ画像のＨ成分を示す色相の色相角を説明する図である。図１４は、色空間変換部８５５による塗布物領域画像ＧＣＰに対する色空間変換処理を示す図である。図１５は、色空間変換部８５５による塗布点領域画像ＧＰＰに対する色空間変換処理を示す図である。
図１３は、色空間変換部８５５により生成されるＨＳＶ画像のＨ成分を示す色相の色相角を説明する図である。図１４は、色空間変換部８５５による塗布物領域画像ＧＣＰに対する色空間変換処理を示す図である。図１５は、色空間変換部８５５による塗布点領域画像ＧＰＰに対する色空間変換処理を示す図である。
【0080】
色空間変換部８５５は、塗布物領域画像ＧＣＰをＨＳＶ色空間で表現された塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１に変換する（図１４）と共に、塗布点領域画像ＧＰＰをＨＳＶ色空間で表現された塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２に変換する（図１５）第１色空間変換処理を実行する。なお、上記の通り、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して複数の塗布点領域画像ＧＰＰが特定されている。このため、色空間変換部８５５は、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、色領域毎の複数の塗布点領域画像ＧＰＰの各々を塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２に変換する。すなわち、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２が生成されることとなる。
【0081】
ＨＳＶ色空間は、Ｈ（Ｈｕｅ；色相）成分、Ｓ（Ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ；彩度）成分、及びＶ（Ｖａｌｕｅ；明度）の３成分からなる色空間である。ＨＳＶ色空間で表現された塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１は、Ｈ成分を示す色相の画像である塗布物Ｈ成分画像Ｇ７１Ｈと、Ｓ成分を示す彩度の画像である塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓと、Ｖ成分を示す明度の画像である塗布物Ｖ成分画像Ｇ７１Ｖとが組み合わされたものである。同様に、ＨＳＶ色空間で表現された塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２は、塗布点Ｈ成分画像Ｇ７２Ｈと、塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓと、塗布点Ｖ成分画像Ｇ７２Ｖとが組み合わされたものである。
【0082】
塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１及び塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２のＨ成分を示す色相は、図１３に示すように、０度から３６０度までの角度を用いて数値化することができる。色相の数値化された角度を「色相角」という。色相角が「０度又は３６０度」の場合は赤色の様相を示し、色相角が「１２０度」の場合は緑色の様相を示し、色相角が「２４０度」の場合は青色の様相を示す。また、色相角が「６０度」の場合は黄色の様相を示し、色相角が「１８０度」の場合はシアン色の様相を示し、色相角が「３００度」の場合はマゼンタ色の様相を示す。
【0083】
更に、色空間変換部８５５は、塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１のＨ成分を示す色相の色相角を所定範囲（例えば０度から３６０度までの範囲）で変化させた場合の各画像を、ＲＧＢ色空間で表現された塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１に変換する第２色空間変換処理を実行する（図１４参照）。塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１は、塗布物領域画像ＧＣＰに対応したものとなる。また、色空間変換部８５５は、第２色空間変換処理において、塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２のＨ成分を示す色相の色相角を所定範囲で変化させた場合の各画像を、ＲＧＢ色空間で表現された塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２に変換する（図１５参照）。塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２は、塗布点領域画像ＧＰＰに対応したものとなる。なお、上記の通り、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２が生成されている。このため、色空間変換部８５５は、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２の各々を塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２に変換する。すなわち、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２が生成されることとなる。
【0084】
＜照明条件特定処理部＞
図１６は、照明条件特定処理部８６による基板画像撮像時の照明条件の特定処理を示す図である。図１７は、照明条件特定処理部８６による検査画像撮像時又は塗布物画像撮像時の照明条件の特定処理を示す図である。照明条件特定処理部８６は、後述の検査条件設定部８７による検査条件の設定に適合した照明部７１の適合照明出力を特定する処理を実行する。照明条件特定処理部８６は、図２に示すように、照明領域抽出部８６１と照明出力特定部８６２とを有する。
図１６は、照明条件特定処理部８６による基板画像撮像時の照明条件の特定処理を示す図である。図１７は、照明条件特定処理部８６による検査画像撮像時又は塗布物画像撮像時の照明条件の特定処理を示す図である。照明条件特定処理部８６は、後述の検査条件設定部８７による検査条件の設定に適合した照明部７１の適合照明出力を特定する処理を実行する。照明条件特定処理部８６は、図２に示すように、照明領域抽出部８６１と照明出力特定部８６２とを有する。
【0085】
（照明領域抽出部）
照明領域抽出部８６１は、図１６に示すように、画像変換処理部８５１によって生成された第１モノクロ画像Ｇ４１を構成する各画素の輝度値に基づいて、当該第１モノクロ画像Ｇ４１において、所定の第１照明特定閾値ＴＩ１よりも大きい輝度値の画素群からなる第１照明特定領域としてシルク領域ＧＰＰ３を抽出する。図１６に示す例では、照明領域抽出部８６１は、第１モノクロ画像Ｇ４１を構成する画素群の輝度値分布を表す第１照明特定用ヒストグラムＨＩ１に基づいて、第１照明特定閾値ＴＩ１を決定する。第１モノクロ画像Ｇ４１は、第１照明特定閾値ＴＩ１以下の輝度値の画素群からなるランド領域ＧＰＰ１及びレジスト領域ＧＰＰ４と、第１照明特定閾値ＴＩ１よりも大きい輝度値の画素群からなるシルク領域ＧＰＰ３とを含んでいる。照明領域抽出部８６１は、第１モノクロ画像Ｇ４１に含まれているシルク領域ＧＰＰ３を抽出することになる。
照明領域抽出部８６１は、図１６に示すように、画像変換処理部８５１によって生成された第１モノクロ画像Ｇ４１を構成する各画素の輝度値に基づいて、当該第１モノクロ画像Ｇ４１において、所定の第１照明特定閾値ＴＩ１よりも大きい輝度値の画素群からなる第１照明特定領域としてシルク領域ＧＰＰ３を抽出する。図１６に示す例では、照明領域抽出部８６１は、第１モノクロ画像Ｇ４１を構成する画素群の輝度値分布を表す第１照明特定用ヒストグラムＨＩ１に基づいて、第１照明特定閾値ＴＩ１を決定する。第１モノクロ画像Ｇ４１は、第１照明特定閾値ＴＩ１以下の輝度値の画素群からなるランド領域ＧＰＰ１及びレジスト領域ＧＰＰ４と、第１照明特定閾値ＴＩ１よりも大きい輝度値の画素群からなるシルク領域ＧＰＰ３とを含んでいる。照明領域抽出部８６１は、第１モノクロ画像Ｇ４１に含まれているシルク領域ＧＰＰ３を抽出することになる。
【0086】
また、照明領域抽出部８６１は、図１７に示すように、画像変換処理部８５１によって生成された第２モノクロ画像Ｇ４２を構成する各画素の輝度値に基づいて、当該第２モノクロ画像Ｇ４２において、所定の第２照明特定閾値ＴＩ２よりも大きい輝度値の画素群からなる第２照明特定領域としてシルク領域ＧＰＰ３を抽出する。図１７に示す例では、照明領域抽出部８６１は、第２モノクロ画像Ｇ４２を構成する画素群の輝度値分布を表す第２照明特定用ヒストグラムＨＩ２に基づいて、第２照明特定閾値ＴＩ２を決定する。第２モノクロ画像Ｇ４２は、第２照明特定閾値ＴＩ２以下の輝度値の画素群からなる半田領域ＧＣＰ１、ランド領域ＧＰＰ１及びレジスト領域ＧＰＰ４と、第２照明特定閾値ＴＩ２よりも大きい輝度値の画素群からなるシルク領域ＧＰＰ３とを含んでいる。照明領域抽出部８６１は、第２モノクロ画像Ｇ４２に含まれているシルク領域ＧＰＰ３を抽出することになる。
【0087】
なお、第１モノクロ画像Ｇ４１及び第２モノクロ画像Ｇ４２の各々においてシルク領域ＧＰＰ３には、最大輝度領域ＧＰＰ３１と、それ以外の領域とが含まれている。最大輝度領域ＧＰＰ３１は、シルク領域ＧＰＰ３において、所定の輝度値を超える輝度値（例えば最大輝度値（２５５））を示す注目画素の画素群からなる領域である。
【0088】
（照明出力特定部）
照明出力特定部８６２は、第１モノクロ画像Ｇ４１における第１照明特定領域としてのシルク領域ＧＰＰ３内の各画素において、最大輝度領域ＧＰＰ３１を構成する注目画素の画素数の、シルク領域ＧＰＰ３内の画素の総画素数に対する比率である第１照明特定比率を演算する（図１６参照）。そして、照明出力特定部８６２は、前記第１照明特定比率が所定の基準比率以下となる場合の照明部７１の照明出力を、第１照明判定値として特定する。ここで、照明出力特定部８６２は、明るさが異なる複数の第１モノクロ画像Ｇ４１の各々について前記第１照明特定比率を演算し、前記第１照明判定値を特定する。前記複数の第１モノクロ画像Ｇ４１は、照明部７１の照明出力を複数の条件で切替えてカラー画像撮像部７２により撮像された複数の基板画像Ｇ２が画像変換処理部８５１によって画像変換されたものであってもよいし、照明部７１の照明出力の変化を疑似的に再現して明るさが調整されたものであってもよい。
照明出力特定部８６２は、第１モノクロ画像Ｇ４１における第１照明特定領域としてのシルク領域ＧＰＰ３内の各画素において、最大輝度領域ＧＰＰ３１を構成する注目画素の画素数の、シルク領域ＧＰＰ３内の画素の総画素数に対する比率である第１照明特定比率を演算する（図１６参照）。そして、照明出力特定部８６２は、前記第１照明特定比率が所定の基準比率以下となる場合の照明部７１の照明出力を、第１照明判定値として特定する。ここで、照明出力特定部８６２は、明るさが異なる複数の第１モノクロ画像Ｇ４１の各々について前記第１照明特定比率を演算し、前記第１照明判定値を特定する。前記複数の第１モノクロ画像Ｇ４１は、照明部７１の照明出力を複数の条件で切替えてカラー画像撮像部７２により撮像された複数の基板画像Ｇ２が画像変換処理部８５１によって画像変換されたものであってもよいし、照明部７１の照明出力の変化を疑似的に再現して明るさが調整されたものであってもよい。
【0089】
また、照明出力特定部８６２は、第２モノクロ画像Ｇ４２における第２照明特定領域としてのシルク領域ＧＰＰ３内の各画素において、最大輝度領域ＧＰＰ３１を構成する注目画素の画素数の、シルク領域ＧＰＰ３内の画素の総画素数に対する比率である第２照明特定比率を演算する（図１７参照）。そして、照明出力特定部８６２は、前記第２照明特定比率が所定の基準比率以下となる場合の照明部７１の照明出力を、第２照明判定値として特定する。ここで、照明出力特定部８６２は、第１モノクロ画像Ｇ４１の場合と同様に、明るさが異なる複数の第２モノクロ画像Ｇ４２の各々について前記第２照明特定比率を演算し、前記第２照明判定値を特定する。
【0090】
第１モノクロ画像Ｇ４１に基づく前記第１照明判定値と、第２モノクロ画像Ｇ４２に基づく前記第２照明判定値とが特定されると、照明出力特定部８６２は、前記第１照明判定値と前記第２照明判定値との平均値を、前記適合照明出力として特定する。照明出力特定部８６２によって特定された前記適合照明出力は、検査データに関連付けられて記憶部８４に記憶される。
【0091】
＜検査条件設定部＞
検査条件設定部８７は、画像処理部８５による検査画像Ｇ１、基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３に対する画像処理において、塗布物ＣＰを画像認識する条件である検査条件を特定して設定する。検査条件設定部８７は、図２に示すように、色相角特定部８７１と彩度判定部８７２とを含む。
検査条件設定部８７は、画像処理部８５による検査画像Ｇ１、基板画像Ｇ２及び塗布物画像Ｇ３に対する画像処理において、塗布物ＣＰを画像認識する条件である検査条件を特定して設定する。検査条件設定部８７は、図２に示すように、色相角特定部８７１と彩度判定部８７２とを含む。
【0092】
（色相角特定部）
色相角特定部８７１は、塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１のＨ成分の色相角の変化に応じて生成された塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１と、塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２のＨ成分の色相角の変化に応じて生成された塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２とを用いて、検査条件としての適合色相角を検査画像Ｇ１毎（基板画像Ｇ２毎）に特定する。適合色相角は、検査画像Ｇ１において塗布物領域画像ＧＣＰが塗布点領域画像ＧＰＰに対して強調される場合の色相角を示す。この色相角特定部８７１の処理について、図１４及び図１５に加えて図１８Ａ及び図１８Ｂを参照して説明する。図１８Ａ及び図１８Ｂは、色相角特定部８７１の処理を説明するための図である。
色相角特定部８７１は、塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１のＨ成分の色相角の変化に応じて生成された塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１と、塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２のＨ成分の色相角の変化に応じて生成された塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２とを用いて、検査条件としての適合色相角を検査画像Ｇ１毎（基板画像Ｇ２毎）に特定する。適合色相角は、検査画像Ｇ１において塗布物領域画像ＧＣＰが塗布点領域画像ＧＰＰに対して強調される場合の色相角を示す。この色相角特定部８７１の処理について、図１４及び図１５に加えて図１８Ａ及び図１８Ｂを参照して説明する。図１８Ａ及び図１８Ｂは、色相角特定部８７１の処理を説明するための図である。
【0093】
色相角特定部８７１は、塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１について、ＲＧＢの各色成分に分解し、色成分毎の塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒ、塗布物Ｇ成分画像Ｇ８１Ｇ及び塗布物Ｂ成分画像Ｇ８１Ｂを生成する（図１４参照）。塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒ、塗布物Ｇ成分画像Ｇ８１Ｇ及び塗布物Ｂ成分画像Ｇ８１Ｂは、例えば２５６階調で濃淡が表現されたグレースケール画像である。また、色相角特定部８７１は、塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２について、ＲＧＢの各色成分に分解し、色成分毎の塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒ、塗布点Ｇ成分画像Ｇ８２Ｇ及び塗布点Ｂ成分画像Ｇ８２Ｂを生成する（図１５参照）。塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒ、塗布点Ｇ成分画像Ｇ８２Ｇ及び塗布点Ｂ成分画像Ｇ８２Ｂは、例えば２５６階調で濃淡が表現されたグレースケール画像である。
【0094】
色相角特定部８７１は、塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒ、塗布物Ｇ成分画像Ｇ８１Ｇ及び塗布物Ｂ成分画像Ｇ８１Ｂのうちの特定色成分画像である塗布物色成分画像と、塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒ、塗布点Ｇ成分画像Ｇ８２Ｇ及び塗布点Ｂ成分画像Ｇ８２Ｂのうちの特定色成分画像である塗布点色成分画像と、に基づいて、前記適合色相角を検査画像Ｇ１毎に特定する。本実施形態では、色相角特定部８７１は、塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒを前記塗布物色成分画像として認識し、塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒを前記塗布点色成分画像として認識する。なお、上記の通り、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２が生成されている。このため、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、すなわち１つの検査画像Ｇ１（基板画像Ｇ２）に対応して、複数の塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒが抽出されることとなる。従って、色相角特定部８７１は、１つの検査画像Ｇ１について、塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１に対応した塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒと、複数の塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２の各々に対応した複数の塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒとに基づいて、前記適合色相角を特定することとなる。
【0095】
色相角特定部８７１は、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、複数の塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒの各々の画素群の輝度値から計算される代表値（例えば平均輝度値）を示す塗布点輝度値（以下、「塗布点平均輝度値」という）と、塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒの画素群の輝度値から計算される代表値（例えば平均輝度値）を示す塗布物輝度値（以下、「塗布物平均輝度値」という）との差分である複数の色相適用差分を、色相角毎に演算する。色相角特定部８７１は、演算によって求められた色相角毎の複数の色相適用差分に基づいて、前記適合色相角を特定する。
【0096】
図１８Ａ及び図１８Ｂに示す例では、色相角特定部８７１によって演算された色相角毎の複数の色相適用差分は、色相角「０度」については「７，１２０，８０，１０６」であり、色相角「６０度」については「１０，７６，６８，１２０」であり、色相角「１２０度」については「２２，１０８，２１，１６８」である。同様に、色相角「１８０度」については「２３，１０８，２１，１６８」であり、色相角「２４０度」については「２３，１５０，３４，１５５」であり、色相角「３００度」については「８，１１７，８０，１０７」である。
【0097】
色相角特定部８７１は、色相角毎の複数の色相適用差分において、最も小さい差分が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する。図１８Ａ及び図１８Ｂに示す例では、色相角が「２４０度」の場合において、最も小さい色相適用差分「２３」が、他の色相角の場合の最も小さい色相適用差分よりも大きく、最大となる。この場合、色相角特定部８７１は、色相角「２４０度」を前記適合色相角として特定する。
【0098】
また、色相角特定部８７１は、色相角毎の複数の色相適用差分の総和が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定するように構成されていてもよい。図１８Ａ及び図１８Ｂに示す例では、色相角毎の複数の色相適用差分の総和は、色相角「０度」が「３１３」であり、色相角「６０度」が「２７４」であり、色相角「１２０度」が「３１９」であり、色相角「１８０度」が「３２０」であり、色相角「２４０度」が「３６２」であり、色相角「３００度」が「３１２」である。この場合、複数の色相適用差分の総和が最大となる色相角は「２４０度」であるから、色相角特定部８７１は、色相角「２４０度」を前記適合色相角として特定する。
【0099】
また、色相角特定部８７１は、色相角毎の複数の色相適用差分の各々が、所定の基準輝度差以上となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定するように構成されていてもよい。所定の基準輝度差を例えば「２３」に設定した場合、図１８Ａ及び図１８Ｂに示す例では、複数の色相適用差分の各々が、所定の基準輝度差「２３」以上となる場合の色相角は、「２４０度」である。この場合、色相角特定部８７１は、色相角「２４０度」を前記適合色相角として特定する。
【0100】
また、色相角特定部８７１は、上記の３種の特定方法を組み合わせた方法によって、前記適合色相角を特定するように構成されていてもよい。
【0101】
図１９は、検査基板Ｐ２の特殊な状態を示す図である。図１９に示す例では、検査基板Ｐ２は、特殊領域ＰＳを含んでいる。特殊領域ＰＳは、例えばオペレーターによってペンなどでマーキングされた領域部分である。検査基板Ｐ２において、特殊領域ＰＳが含まれる検査領域ＲＩは、当該特殊領域ＰＳが含まれない他の検査領域ＲＩとは、塗布物ＣＰの画像認識に差が生じることが想定される。また、塗布物ＣＰの種類によっても、画像認識に差が生じることが想定される。そこで、色相角特定部８７１は、塗布物ＣＰ及び塗布点ＰＰの種類に応じて前記適合色相角を特定する。すなわち、検査基板Ｐ２上の各検査領域ＰＩにおいて、塗布物ＣＰの種類が同じであり、且つ塗布点ＰＰの構成要素が同じである場合には、色相角特定部８７１は、前記適合色相角を同一の値に設定する。一方、塗布物ＣＰの種類が異なる場合や、特殊領域ＰＳが存在する等で塗布点ＰＰの構成要素が異なる場合には、色相角特定部８７１は、塗布物ＣＰ及び塗布点ＰＰの種類に応じて前記適合色相角を個別に設定する。これにより、塗布物ＣＰ及び塗布点ＰＰの種類に応じて適切な適合色相角が特定される。
【0102】
色相角特定部８７１によって特定された前記適合色相角は、検査データに関連付けられて記憶部８４に記憶される。
【0103】
（彩度判定部）
図２０は、彩度判定部８７２が彩度判定処理の実行時に使用する塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを説明する図である。図２１は、彩度判定部８７２の彩度判定処理を説明するための図である。
図２０は、彩度判定部８７２が彩度判定処理の実行時に使用する塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを説明する図である。図２１は、彩度判定部８７２の彩度判定処理を説明するための図である。
【0104】
彩度判定部８７２は、塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓと塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓとを、塗布物ＣＰの画像認識に用いるか否かを判定する。塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓは、塗布物領域画像ＧＣＰに対応した塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１のＳ成分を示す彩度画像である。塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓは、塗布点領域画像ＧＰＰに対応した塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２のＳ成分を示す彩度画像である。なお、上記の通り、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点領域画像ＧＰＰが生成されている。このため、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、すなわち１つの検査画像Ｇ１（基板画像Ｇ２）に対応して、複数の塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓが存在する。
【0105】
彩度判定部８７２は、塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び複数の塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いた画像認識が前記適合色相角を用いた画像認識よりも、塗布点領域画像ＧＣＰに対する塗布物領域画像ＧＰＰの強調が可能となる場合に、塗布物ＣＰの画像認識の際に塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いると判定する。
【0106】
彩度判定部８７２は、図２１に示すように、複数の塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓの各々の画素群の輝度値から計算される代表値（例えば平均輝度値）を示す塗布点平均輝度値と、塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓの画素群の輝度値から計算される代表値（例えば平均輝度値）を示す塗布物平均輝度値との差分である複数の彩度適用差分を演算する。そして、彩度判定部８７２は、前記彩度適用差分が前記適合色相角に対応した前記色相適用差分よりも全体として大きい場合に、塗布物ＣＰの画像認識の際に塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いると判定し、その判定結果を示すＳ成分画像適用情報を出力する。
【0107】
彩度判定部８７２から前記Ｓ成分画像適用情報が出力された場合には、そのＳ成分画像適用情報は、検査データに関連付けられて記憶部８４に記憶される。
【0108】
＜検査実行部＞
検査実行部８８は、検査基板Ｐ２における複数の検査領域ＲＩの各々での塗布物ＣＰの塗布状態を検査する。検査実行部８８は、検査領域ＲＩ毎の塗布物ＣＰの塗布状態を検査する際に、照明条件特定処理部８６により特定された適合照明出力と、検査条件設定部８７により特定された検査条件（適合色相角、Ｓ成分画像適用情報）とを参照する。これにより、塗布ヘッド４によって基板Ｐ１上に塗布された塗布物ＣＰの塗布状態を精度よく検査することができる。
検査実行部８８は、検査基板Ｐ２における複数の検査領域ＲＩの各々での塗布物ＣＰの塗布状態を検査する。検査実行部８８は、検査領域ＲＩ毎の塗布物ＣＰの塗布状態を検査する際に、照明条件特定処理部８６により特定された適合照明出力と、検査条件設定部８７により特定された検査条件（適合色相角、Ｓ成分画像適用情報）とを参照する。これにより、塗布ヘッド４によって基板Ｐ１上に塗布された塗布物ＣＰの塗布状態を精度よく検査することができる。
【0109】
検査実行部８８の検査動作によって取得された検査結果を示す検査データは、記憶部８４に記憶される。
【0110】
［検査装置の検査処理について］
次に、図２２のフローチャートを参照して、検査装置６が実行する検査処理を説明する。まず、中央処理部８１は、信号入出力部８２を介した基板搬送信号の入力を把握する（ステップｓ１）。基板搬送信号は、コンベア３によって基板Ｐ１が所定の塗布位置に搬送されたことを示す信号である。この基板搬送信号は、塗布ヘッド４による基板Ｐ１に対する塗布物ＣＰの塗布が実行される前に、塗布装置１の塗布制御装置から検査装置６に向けて送信される。
次に、図２２のフローチャートを参照して、検査装置６が実行する検査処理を説明する。まず、中央処理部８１は、信号入出力部８２を介した基板搬送信号の入力を把握する（ステップｓ１）。基板搬送信号は、コンベア３によって基板Ｐ１が所定の塗布位置に搬送されたことを示す信号である。この基板搬送信号は、塗布ヘッド４による基板Ｐ１に対する塗布物ＣＰの塗布が実行される前に、塗布装置１の塗布制御装置から検査装置６に向けて送信される。
【0111】
信号入出力部８２を介して基板搬送信号が入力されると、中央処理部８１は、基板画像生成処理（ステップｓ２）を実行する。このステップｓ２の基板画像生成処理は、基板Ｐ１の塗布点ＰＰ毎の基板画像Ｇ２を生成する処理であって、詳細については後述する。次に、中央処理部８１は、信号入出力部８２を介して塗布案内信号を塗布制御装置に向けて出力する（ステップｓ３）。塗布案内信号は、塗布ヘッド４による基板Ｐ１及び塗布物認識部材５に対する塗布物ＣＰの塗布を案内する信号である。塗布案内信号が塗布制御装置に入力されると、塗布ヘッド４は、基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰに塗布物ＣＰを塗布すると共に、塗布物認識部材５上に塗布物ＣＰを塗布する。
【0112】
基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰ、及び塗布物認識部材５に塗布物ＣＰが塗布されると、中央処理部８１は、検査画像生成処理（ステップｓ４）、塗布物画像生成処理（ステップｓ５）、照明条件特定処理（ステップｓ６）、塗布物領域特定処理（ステップｓ７）、塗布点領域特定処理（ステップｓ８）、検査条件設定処理（ステップｓ９）、及び検査実行処理（ステップｓ１０）を順次実行する。中央処理部８１がステップｓ２、並びにステップｓ４からステップｓ１０までの各処理を実行した場合、その中央処理部８１の制御によって、カラー画像撮像カメラ７、信号入出力部８２、データ通信部８３、記憶部８４、画像処理部８５、照明条件特定処理部８６、検査条件設定部８７、及び検査実行部８８の各構成要素が動作する。
【0113】
＜基板画像生成処理＞
中央処理部８１が実行するステップｓ２の基板画像生成処理について、図２３のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ２の基板画像生成処理は、照明部７１の照明出力を変化させた条件下で、基板Ｐ１の塗布点ＰＰ毎の基板画像Ｇ２を生成する処理である。まず、中央処理部８１は、移動指令信号を出力する（ステップｓ２１）。中央処理部８１から出力された移動指令信号は、塗布ヘッド４の移動を指令する信号であって、信号入出力部８２を介して塗布制御装置に向けて送信される。移動指令信号を受信した塗布制御装置は、カラー画像撮像カメラ７が基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰの直上付近に配置されるように、塗布ヘッド４を移動させる。
中央処理部８１が実行するステップｓ２の基板画像生成処理について、図２３のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ２の基板画像生成処理は、照明部７１の照明出力を変化させた条件下で、基板Ｐ１の塗布点ＰＰ毎の基板画像Ｇ２を生成する処理である。まず、中央処理部８１は、移動指令信号を出力する（ステップｓ２１）。中央処理部８１から出力された移動指令信号は、塗布ヘッド４の移動を指令する信号であって、信号入出力部８２を介して塗布制御装置に向けて送信される。移動指令信号を受信した塗布制御装置は、カラー画像撮像カメラ７が基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰの直上付近に配置されるように、塗布ヘッド４を移動させる。
【0114】
基板Ｐ１上の一の塗布点ＰＰの直上付近に配置されると、カラー画像撮像カメラ７は、照明部７１の照明出力を最大値に設定する（ステップｓ２２）。そして、カラー画像撮像カメラ７は、基板Ｐ１上の一の塗布点ＰＰを撮像し、図６に示す基板画像Ｇ２を生成する（ステップｓ２３）。撮像後の基板画像Ｇ２は、記憶部８４に一時保存される（ステップｓ２４）。次に、カラー画像撮像カメラ７は、基板Ｐ１上の一の塗布点ＰＰでの撮像において、照明部７１の照明出力の変更が終了したか否かを判定する（ステップｓ２５）。一の塗布点ＰＰでの撮像における照明出力の変更が終了していない場合には、カラー画像撮像カメラ７は、照明出力を変更し（ステップｓ２５１）、ステップｓ２３からステップｓ２５までの各処理を繰り返す。一の塗布点ＰＰでの撮像における照明出力の変更が終了した場合（ステップｓ２５で「ＹＥＳ」）を想定する。この場合、カラー画像撮像カメラ７は、基板Ｐ１上の全ての塗布点ＰＰにおいて、照明出力を変化させた条件下での撮像が終了したか否かを判定し（ステップｓ２６）、撮像が終了したと判定した場合には基板画像生成処理を終了する。
【0115】
＜検査画像生成処理＞
中央処理部８１が実行するステップｓ４の検査画像生成処理について、図２４のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ４の検査画像生成処理は、塗布ヘッド４による基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰへの塗布物ＣＰの塗布後に実行される。検査画像生成処理は、照明部７１の照明出力を変化させた条件下で、検査基板Ｐ２の検査領域ＲＩ毎の検査画像Ｇ１を生成する処理である。まず、中央処理部８１は、移動指令信号を出力する（ステップｓ４１）。中央処理部８１から出力された移動指令信号は、信号入出力部８２を介して塗布制御装置に向けて送信される。移動指令信号を受信した塗布制御装置は、カラー画像撮像カメラ７が検査基板Ｐ２上の各検査領域ＲＩの直上付近に配置されるように、塗布ヘッド４を移動させる。
中央処理部８１が実行するステップｓ４の検査画像生成処理について、図２４のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ４の検査画像生成処理は、塗布ヘッド４による基板Ｐ１上の各塗布点ＰＰへの塗布物ＣＰの塗布後に実行される。検査画像生成処理は、照明部７１の照明出力を変化させた条件下で、検査基板Ｐ２の検査領域ＲＩ毎の検査画像Ｇ１を生成する処理である。まず、中央処理部８１は、移動指令信号を出力する（ステップｓ４１）。中央処理部８１から出力された移動指令信号は、信号入出力部８２を介して塗布制御装置に向けて送信される。移動指令信号を受信した塗布制御装置は、カラー画像撮像カメラ７が検査基板Ｐ２上の各検査領域ＲＩの直上付近に配置されるように、塗布ヘッド４を移動させる。
【0116】
検査基板Ｐ２上の一の検査領域ＲＩの直上付近に配置されると、カラー画像撮像カメラ７は、照明部７１の照明出力を最大値に設定する（ステップｓ４２）。そして、カラー画像撮像カメラ７は、検査基板Ｐ２上の一の検査領域ＲＩを撮像し、図４に示す検査画像Ｇ１を生成する（ステップｓ４３）。撮像後の検査画像Ｇ１は、記憶部８４に一時保存される（ステップｓ４４）。次に、カラー画像撮像カメラ７は、検査基板Ｐ２上の一の検査領域ＲＩでの撮像において、照明部７１の照明出力の変更が終了したか否かを判定する（ステップｓ４５）。一の検査領域ＲＩでの撮像における照明出力の変更が終了していない場合には、カラー画像撮像カメラ７は、照明出力を変更し（ステップｓ４５１）、ステップｓ４３からステップｓ４５までの各処理を繰り返す。一の検査領域ＲＩでの撮像における照明出力の変更が終了した場合（ステップｓ４５で「ＹＥＳ」）を想定する。この場合、カラー画像撮像カメラ７は、検査基板Ｐ２上の全ての検査領域ＲＩにおいて、照明出力を変化させた条件下での撮像が終了したか否かを判定し（ステップｓ４６）、撮像が終了したと判定した場合には検査画像生成処理を終了する。
【0117】
＜塗布物画像生成処理＞
中央処理部８１が実行するステップｓ５の塗布物画像生成処理について、図２５のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ５の塗布物画像生成処理は、塗布ヘッド４による塗布物認識部材５への塗布物ＣＰの塗布後に実行される。塗布物画像生成処理は、照明部７１の照明出力を変化させた条件下で、塗布物認識部材５上の塗布物ＣＰ毎の塗布物画像Ｇ３を生成する処理である。まず、中央処理部８１は、移動指令信号を出力する（ステップｓ５１）。中央処理部８１から出力された移動指令信号は、信号入出力部８２を介して塗布制御装置に向けて送信される。移動指令信号を受信した塗布制御装置は、カラー画像撮像カメラ７が塗布物認識部材５上の各塗布物ＣＰの直上付近に配置されるように、塗布ヘッド４を移動させる。
中央処理部８１が実行するステップｓ５の塗布物画像生成処理について、図２５のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ５の塗布物画像生成処理は、塗布ヘッド４による塗布物認識部材５への塗布物ＣＰの塗布後に実行される。塗布物画像生成処理は、照明部７１の照明出力を変化させた条件下で、塗布物認識部材５上の塗布物ＣＰ毎の塗布物画像Ｇ３を生成する処理である。まず、中央処理部８１は、移動指令信号を出力する（ステップｓ５１）。中央処理部８１から出力された移動指令信号は、信号入出力部８２を介して塗布制御装置に向けて送信される。移動指令信号を受信した塗布制御装置は、カラー画像撮像カメラ７が塗布物認識部材５上の各塗布物ＣＰの直上付近に配置されるように、塗布ヘッド４を移動させる。
【0118】
塗布物認識部材５上の一の塗布物ＣＰの直上付近に配置されると、カラー画像撮像カメラ７は、照明部７１の照明出力を最大値に設定する（ステップｓ５２）。そして、カラー画像撮像カメラ７は、塗布物認識部材５上の一の塗布物ＣＰを撮像し、図７に示す塗布物画像Ｇ３を生成する（ステップｓ５３）。撮像後の塗布物画像Ｇ３は、記憶部８４に一時保存される（ステップｓ５４）。次に、カラー画像撮像カメラ７は、塗布物認識部材５上の一の塗布物ＣＰでの撮像において、照明部７１の照明出力の変更が終了したか否かを判定する（ステップｓ５５）。一の塗布物ＣＰでの撮像における照明出力の変更が終了していない場合には、カラー画像撮像カメラ７は、照明出力を変更し（ステップｓ５５１）、ステップｓ５３からステップｓ５５までの各処理を繰り返す。一の塗布物ＣＰでの撮像における照明出力の変更が終了した場合（ステップｓ５５で「ＹＥＳ」）を想定する。この場合、カラー画像撮像カメラ７は、塗布物認識部材５上の全ての塗布物ＣＰにおいて、照明出力を変化させた条件下での撮像が終了したか否かを判定し（ステップｓ５６）、撮像が終了したと判定した場合には塗布物画像生成処理を終了する。
【0119】
＜照明条件特定処理＞
中央処理部８１が実行するステップｓ６の照明条件特定処理について、図２６Ａ及び図２６Ｂのフローチャートを参照して説明する。ステップｓ６の照明条件特定処理は、照明出力を変化させた場合の基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１（又は塗布物画像Ｇ３）を用いて、照明部７１の適合照明出力を特定する処理である。
中央処理部８１が実行するステップｓ６の照明条件特定処理について、図２６Ａ及び図２６Ｂのフローチャートを参照して説明する。ステップｓ６の照明条件特定処理は、照明出力を変化させた場合の基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１（又は塗布物画像Ｇ３）を用いて、照明部７１の適合照明出力を特定する処理である。
【0120】
まず、照明条件特定処理部８６は、基板Ｐ１上の一の塗布点ＰＰを照明条件の特定対象に設定する（ステップｓ６１）。次に、照明条件特定処理部８６は、設定した特定対象に対応した、すなわち、一の塗布点ＰＰに対応した照明出力が最大値の場合の基板画像Ｇ２を、記憶部８４から読み出す（ステップｓ６２）。基板画像Ｇ２が記憶部８４から読み出されると、画像変換処理部８５１は、当該基板画像Ｇ２を図８（Ａ）に示す第１モノクロ画像Ｇ４１に変換する（ステップｓ６３）。次に、照明領域抽出部８６１は、第１モノクロ画像Ｇ４１において、所定の第１照明特定閾値ＴＩ１よりも大きい輝度値の画素群からなる第１照明特定領域（図１６に示す例ではシルク領域ＧＰＰ３）を抽出する（ステップｓ６４）。そして、照明出力特定部８６２は、第１照明特定領域としてのシルク領域ＧＰＰ３内の各画素において、最大輝度領域ＧＰＰ３１を構成する注目画素の画素数の、シルク領域ＧＰＰ３内の画素の総画素数に対する比率である第１照明特定比率を演算する。照明出力特定部８６２は、演算によって求めた第１照明特定比率が所定の基準比率以下であるか否かを判定する（ステップｓ６５）。
【0121】
照明出力特定部８６２は、前記第１照明特定比率が基準比率以下である場合（ステップｓ６５で「ＹＥＳ」の場合）には、その場合の照明部７１の照明出力を、一の塗布点ＰＰでの第１照明判定値として特定する。照明出力特定部８６２によって特定された第１照明判定値は、記憶部８４に一時保存される（ステップｓ６６）。一方、前記第１照明特定比率が基準比率以下ではない場合（ステップｓ６５で「ＮＯ」の場合）を想定する。この場合、照明条件特定処理部８６は、一の塗布点ＰＰに対応した、照明出力が最大値から変更された場合の基板画像Ｇ２を、記憶部８４から読み出す（ステップｓ６５１）。照明出力が変更された場合の基板画像Ｇ２が読み出されると、前記第１照明特定比率が基準比率以下となるまでステップｓ６３からステップｓ６５までの各処理が繰り返される。
【0122】
一の塗布点ＰＰでの第１照明判定値が記憶部８４に一時保存されると、照明条件特定処理部８６は、基板Ｐ１上における全ての塗布点ＰＰでの第１照明判定値の特定が終了したか否かを判定する（ステップｓ６７）。全ての塗布点ＰＰでの第１照明判定値の特定が終了していない場合には、ステップｓ６１からステップｓ６６までの各処理が繰り返される。
【0123】
全ての塗布点ＰＰでの第１照明判定値の特定が終了した場合（ステップｓ６７で「ＹＥＳ」）、照明条件特定処理部８６は、検査基板Ｐ２上の一の検査領域ＲＩを照明条件の特定対象に設定する（ステップｓ６８）。次に、照明条件特定処理部８６は、設定した特定対象に対応した、すなわち、一の検査領域ＲＩに対応した照明出力が最大値の場合の検査画像Ｇ１を、記憶部８４から読み出す（ステップｓ６９）。検査画像Ｇ１が記憶部８４から読み出されると、画像変換処理部８５１は、当該検査画像Ｇ１を図８（Ｂ）に示す第２モノクロ画像Ｇ４２に変換する（ステップｓ６Ａ）。次に、照明領域抽出部８６１は、第２モノクロ画像Ｇ４２において、所定の第２照明特定閾値ＴＩ２よりも大きい輝度値の画素群からなる第２照明特定領域（図１７に示す例ではシルク領域ＧＰＰ３）を抽出する（ステップｓ６Ｂ）。そして、照明出力特定部８６２は、第２照明特定領域としてのシルク領域ＧＰＰ３内の各画素において、最大輝度領域ＧＰＰ３１を構成する注目画素の画素数の、シルク領域ＧＰＰ３内の画素の総画素数に対する比率である第２照明特定比率を演算する。照明出力特定部８６２は、演算によって求めた第２照明特定比率が所定の基準比率以下であるか否かを判定する（ステップｓ６Ｃ）。
【0124】
照明出力特定部８６２は、前記第２照明特定比率が基準比率以下である場合（ステップｓ６Ｃで「ＹＥＳ」の場合）には、その場合の照明部７１の照明出力を、一の検査領域ＲＩでの第２照明判定値として特定する。照明出力特定部８６２によって特定された第２照明判定値は、記憶部８４に一時保存される（ステップｓ６Ｄ）。一方、前記第２照明特定比率が基準比率以下ではない場合（ステップｓ６Ｃで「ＮＯ」の場合）を想定する。この場合、照明条件特定処理部８６は、一の検査領域ＲＩに対応した、照明出力が最大値から変更された場合の検査画像Ｇ１を、記憶部８４から読み出す（ステップｓ６Ｃ１）。照明出力が変更された場合の検査画像Ｇ１が読み出されると、前記第２照明特定比率が基準比率以下となるまでステップｓ６Ａからステップｓ６Ｃまでの各処理が繰り返される。
【0125】
一の検査領域ＲＩでの第２照明判定値が記憶部８４に一時保存されると、照明条件特定処理部８６は、検査基板Ｐ２上における全ての検査領域ＲＩでの第２照明判定値の特定が終了したか否かを判定する（ステップｓ６Ｅ）。全ての検査領域ＲＩでの第２照明判定値の特定が終了していない場合には、ステップｓ６８からステップｓ６Ｄまでの各処理が繰り返される。
【0126】
全ての検査領域ＲＩでの第２照明判定値の特定が終了した場合（ステップｓ６Ｅで「ＹＥＳ」）を想定する。この場合、照明出力特定部８６２は、記憶部８４に一時保存されている第１照明判定値と第２照明判定値との平均値を、適合照明出力として特定する（ステップｓ６Ｆ）。照明出力特定部８６２によって特定された適合照明出力は、検査データに関連付けられて記憶部８４に記憶される（ステップｓ６Ｇ）。
【0127】
記憶部８４に適合照明出力が記憶されると、照明出力特定部８６２は、適合照明出力に対して所定値以上の差の第１照明判定値又は第２照明判定値が存在するか否かを判定する（ステップｓ６Ｈ）。適合照明出力に対して所定値以上の差の第１照明判定値又は第２照明判定値が存在する場合には、照明出力特定部８６２は、当該第１照明判定値又は第２照明判定値を、個別照明出力として特定する。照明出力特定部８６２によって特定された個別照明出力は、検査データに関連付けられて記憶部８４に記憶される（ステップｓ６Ｈ１）。適合照明出力に対して所定値以上の差の第１照明判定値又は第２照明判定値が存在しない場合には、照明条件特定処理を終了する。
【0128】
＜塗布物領域特定処理＞
中央処理部８１が実行するステップｓ７の塗布物領域特定処理について、図２７及び図２８のフローチャートを参照して説明する。図２７のフローチャートは、基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１を用いて塗布物領域画像ＧＣＰを特定する場合の塗布物領域特定処理を示す。図２８のフローチャートは、塗布物画像Ｇ３を用いて塗布物領域画像ＧＣＰを特定する場合の塗布物領域特定処理を示す。
中央処理部８１が実行するステップｓ７の塗布物領域特定処理について、図２７及び図２８のフローチャートを参照して説明する。図２７のフローチャートは、基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１を用いて塗布物領域画像ＧＣＰを特定する場合の塗布物領域特定処理を示す。図２８のフローチャートは、塗布物画像Ｇ３を用いて塗布物領域画像ＧＣＰを特定する場合の塗布物領域特定処理を示す。
【0129】
まず、図２７のフローチャートを参照して塗布物領域特定処理を説明する。塗布物領域特定部８５３は、検査基板Ｐ２上の一の検査領域ＲＩを塗布物領域画像ＧＣＰの特定対象に設定する（ステップｓ７１）。次に、塗布物領域特定部８５３は、設定した特定対象に対応した、すなわち、一の検査領域ＲＩに対応した、適合照明出力での基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１を、記憶部８４から読み出す（ステップｓ７２）。適合照明出力の条件下で撮像された基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１は、塗布物領域特定処理で利用されると共に、当該塗布物領域特定処理後の後述の塗布点領域特定処理、検査条件設定処理の実行時に利用される。これにより、過照度の照明に由来した色飛び（白飛び）の発生が抑制された基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１に基づいて、塗布物領域画像ＧＣＰの特定や、塗布点領域画像ＧＰＰの特定、検査条件の設定を行うことができる。
【0130】
基板画像Ｇ２及び検査画像Ｇ１が読み出されると、図１０に示すように、塗布物領域特定部８５３は、検査画像Ｇ１に対して基板画像Ｇ２を差し引いた差画像Ｇ６を生成し、その差画像Ｇ６から塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する（ステップｓ７３）。塗布物領域特定部８５３は、検査画像Ｇ１に対して基板画像Ｇ２を差し引いた差画像Ｇ６に基づいて、塗布物領域画像ＧＣＰを適切に抽出して特定することができる。
【0131】
一の検査領域ＲＩに対応した塗布物領域画像ＧＣＰが特定されると、塗布物領域特定部８５３は、検査基板Ｐ２上における全ての検査領域ＲＩでの塗布物領域画像ＧＣＰの特定が終了したか否かを判定する（ステップｓ７４）。全ての検査領域ＲＩでの塗布物領域画像ＧＣＰの特定が終了していない場合には、ステップｓ７１からステップｓ７３までの各処理が繰り返される。全ての検査領域ＲＩでの塗布物領域画像ＧＣＰの特定が終了した場合には、塗布物領域特定処理を終了する。
【0132】
次に、図２８のフローチャートを参照して塗布物領域特定処理を説明する。塗布物領域特定部８５３は、塗布物認識部材５上の一の塗布物ＣＰを塗布物領域画像ＧＣＰの特定対象に設定する（ステップｓ７Ａ）。次に、塗布物領域特定部８５３は、設定した特定対象に対応した、すなわち、一の塗布物ＣＰに対応した、適合照明出力での塗布物画像Ｇ３を、記憶部８４から読み出す（ステップｓ７Ｂ）。
【0133】
塗布物画像Ｇ３が読み出されると、図１１に示すように、塗布物領域特定部８５３は、塗布物画像Ｇ３から塗布物領域画像ＧＣＰを抽出して特定する（ステップｓ７Ｃ）。塗布物画像Ｇ３は、単一色の塗布物認識部材５に塗布された塗布物ＣＰの撮像により生成されたものである。このため、塗布物画像Ｇ３において塗布物ＣＰの領域を示す塗布物領域画像ＧＣＰの背景となる領域は、単一色の背景領域となる。従って、塗布物領域特定部８５３は、塗布物画像Ｇ３に基づいて塗布物領域画像ＧＣＰを容易に抽出して特定することができる。
【0134】
一の塗布物ＣＰに対応した塗布物領域画像ＧＣＰが特定されると、塗布物領域特定部８５３は、塗布物認識部材５上における全ての塗布物ＣＰでの塗布物領域画像ＧＣＰの特定が終了したか否かを判定する（ステップｓ７Ｄ）。全ての塗布物ＣＰでの塗布物領域画像ＧＣＰの特定が終了していない場合には、ステップｓ７Ａからステップｓ７Ｃまでの各処理が繰り返される。全ての塗布物ＣＰでの塗布物領域画像ＧＣＰの特定が終了した場合には、塗布物領域特定処理を終了する。
【0135】
＜塗布点領域特定処理＞
中央処理部８１が実行するステップｓ８の塗布点領域特定処理について、図２９のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ８の塗布点領域特定処理は、基板画像Ｇ２を用いて塗布点領域画像ＧＰＰを特定する処理である。
中央処理部８１が実行するステップｓ８の塗布点領域特定処理について、図２９のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ８の塗布点領域特定処理は、基板画像Ｇ２を用いて塗布点領域画像ＧＰＰを特定する処理である。
【0136】
塗布点領域特定部８５４は、基板Ｐ１上の全ての塗布点ＰＰに対応した、適合照明出力での全ての基板画像Ｇ２を、記憶部８４から読み出す（ステップｓ８１）。記憶部８４から全ての基板画像Ｇ２が読み出されると、減色処理部８５２は、当該基板画像Ｇ２の各々の色を減らす減色処理を実行し、図９に示す減色基板画像Ｇ５を基板画像Ｇ２毎に生成する（ステップｓ８２）。減色処理部８５２は、フルカラー画像である基板画像Ｇ２に対する直接的な減色処理によって減色基板画像Ｇ５を生成するものではなく、ＲＧＢの色成分画像毎に階調数を減らす処理を施して減色基板画像Ｇ５を生成する。これにより、例えば５１２色のフルカラー画像を２５６色に減色し、更に２５６色から１２８色へと減色するような減色処理を繰り返す必要がなくなるから、減色処理部８５２による減色処理の効率化が図られる。
【0137】
基板画像Ｇ２毎の減色基板画像Ｇ５が生成されると、塗布点領域特定部８５４は、減色基板画像Ｇ５を色毎に複数の色領域に分割し、当該色領域毎に塗布点領域画像ＧＰＰを抽出して、複数の塗布点領域画像ＧＰＰを特定する（ステップｓ８３）。基板Ｐ１上の全ての塗布点ＰＰについて、色領域毎の複数の塗布点領域画像ＧＰＰが特定されると、塗布点領域特定処理を終了する。
【0138】
基板Ｐ１上の塗布点ＰＰに塗布物ＣＰが塗布された検査基板Ｐ２においては、塗布物ＣＰによって背景となる塗布点ＰＰが隠れてしまう場合がある。この場合、検査基板Ｐ２の撮像により生成された検査画像Ｇ２から塗布点領域画像ＧＰＰを適切に抽出することが困難となる虞がある。そこで、塗布点領域特定部８５４は、塗布物ＣＰが塗布される前の基板Ｐ１の撮像により生成された塗布点ＰＰ毎の基板画像Ｇ２から塗布点領域画像ＧＰＰを抽出する。これにより、塗布点領域特定部８５４は、塗布点領域画像ＧＰＰを適切に抽出して特定することができる。
【0139】
また、基板画像Ｇ２に対して減色された減色基板画像Ｇ５に基づいて、塗布点領域画像ＧＰＰの抽出処理が行われる。これにより、塗布点領域特定部８５４による塗布点領域画像ＧＰＰの抽出処理の効率化が図られる。
【0140】
＜検査条件設定処理＞
中央処理部８１が実行するステップｓ９の検査条件設定処理について、図３０のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ９の検査条件設定処理は、塗布物領域画像ＧＣＰ及び塗布点領域画像ＧＰＰを用いて、塗布物ＣＰを画像認識する際の検査条件を特定して設定する処理である。
中央処理部８１が実行するステップｓ９の検査条件設定処理について、図３０のフローチャートを参照して説明する。ステップｓ９の検査条件設定処理は、塗布物領域画像ＧＣＰ及び塗布点領域画像ＧＰＰを用いて、塗布物ＣＰを画像認識する際の検査条件を特定して設定する処理である。
【0141】
色相角特定部８７１は、一の塗布点領域画像ＧＰＰ及び塗布物領域画像ＧＣＰを検査条件の特定対象に設定する（ステップｓ９１）。次に、色空間変換部８５５は、図１４及び図１５に示すように、塗布物領域画像ＧＣＰを塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１に変換すると共に、塗布点領域画像ＧＰＰを塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２に変換する（ステップｓ９２）。なお、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して複数の塗布点領域画像ＧＰＰが特定されている。このため、色空間変換部８５５は、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、色領域毎の複数の塗布点領域画像ＧＰＰの各々を塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２に変換する。
【0142】
次に、色空間変換部８５５は、塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１のＨ成分を示す色相の色相角を０度から３６０度までの範囲で変化させ（ステップｓ９３）、この場合の各画像を塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１に変換する（ステップｓ９４）。また、色空間変換部８５５は、塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２のＨ成分を示す色相の色相角を０度から３６０度までの範囲で変化させ（ステップｓ９３）、この場合の各画像を塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２に変換する（ステップｓ９４）。なお、上記の通り、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２が生成されている。このため、色空間変換部８５５は、基板Ｐ１上の１つの塗布点ＰＰに対応して、複数の塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２の各々を塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２に変換する。
【0143】
次に、色相角特定部８７１は、塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１の塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒと、複数の塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２の各々の塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒとに基づいて、色相適用差分を色相角毎に演算する（ステップｓ９５）。具体的には、色相角特定部８７１は、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、複数の塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒの各々の画素群の塗布点平均輝度値と、塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒの画素群の塗布物平均輝度値との差分である複数の色相適用差分を、色相角毎に演算する。
【0144】
一の塗布点領域画像ＧＰＰ及び塗布物領域画像ＧＣＰに対応した色相適用差分が演算されると、色相角特定部８７１は、全ての塗布点領域画像ＧＰＰ及び塗布物領域画像ＧＣＰに対する演算が終了したか否かを判定する（ステップｓ９６）。全ての演算が終了していない場合（ステップｓ９６で「ＮＯ」）、ステップｓ９１からステップｓ９５までの各処理が繰り返される。
【0145】
一方、全ての色相適用差分の演算が終了した場合、色相角特定部８７１は、演算によって求められた色相角毎の複数の色相適用差分に基づいて、適合色相角を特定する（ステップｓ９７）。具体的には、色相角特定部８７１は、色相角毎の複数の色相適用差分において、最も小さい差分が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する。或いは、色相角特定部８７１は、色相角毎の複数の色相適用差分の総和が最大となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する。或いは、色相角特定部８７１は、色相角毎の複数の色相適用差分の各々が、所定の基準輝度差以上となる場合の色相角を、前記適合色相角として特定する。
【0146】
色相角特定部８７１により特定される前記適合色相角は、塗布物領域画像ＧＣＰが塗布点領域画像ＧＰＰに対して強調される場合の色相角である。このようなＨ成分を示す色相の色相角が適合色相角とされた塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１及び塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２に基づく画像認識によって、塗布物ＣＰを高精度に認識することができる。ここで、塗布物ＣＰを画像認識する際の検査条件となる適合色相角は、オペレーターの入力操作によって設定されるのではなく、色相角特定部８７１によって自動的に特定される。このため、オペレーターの設定作業に起因した、検査条件の設定のばらつきが生じることが抑制される。
【0147】
また、色相角特定部８７１は、適合色相角の特定の際に、減色基板画像Ｇ５における色領域毎の複数の塗布点領域画像ＧＰＰを用いる。これにより、基板Ｐ１の塗布点ＰＰが複数の色によって構成されている場合であっても、各色に応じて適切な適合色相角が特定される。
【0148】
また、色相角特定部８７１により特定される適合色相角は、複数の塗布点Ｒ成分画像Ｇ８２Ｒの各々の塗布点平均輝度値と、塗布物Ｒ成分画像Ｇ８１Ｒの塗布物平均輝度値との差分である色相適用差分に基づくものである。これにより、塗布物領域画像ＧＣＰが塗布点領域画像ＧＰＰに対して適切に強調されたものとなる。このようなＨ成分を示す色相の色相角が適合色相角とされた塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１及び塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２に基づく画像認識によって、塗布物ＣＰを高精度に認識することができる。
【0149】
次に、彩度判定部８７２は、図２０に示す塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓと塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓとを、塗布物ＣＰの画像認識に用いるか否かを判定する（ステップｓ９８）。彩度判定部８７２は、塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いた画像認識が前記適合色相角を用いた画像認識よりも、塗布点領域画像ＧＣＰに対する塗布物領域画像ＧＰＰの強調が可能となる場合に、塗布物ＣＰの画像認識の際に塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いると判定する。具体的には、彩度判定部８７２は、図２１に示すように、複数の塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓの各々の画素群の平均輝度値を示す塗布点平均輝度値と、塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓの画素群の平均輝度値を示す塗布物平均輝度値との差分である複数の彩度適用差分を演算する。そして、彩度判定部８７２は、前記彩度適用差分が前記適合色相角に対応した前記色相適用差分よりも全体として大きい場合に、塗布物ＣＰの画像認識の際に塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いると判定し、その判定結果を示すＳ成分画像適用情報を出力する。彩度判定部８７２からＳ成分画像適用情報が出力された場合には、その情報が検査データと関連付けられて記憶部８４に記憶される（ステップｓ９８１）。
【0150】
一方、再度判定部ｂ８７２によって塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いないと判定された場合（ステップｓ９８で「ＮＯ」）、ステップｓ９７において色相角特定部８７１によって特定された適合色相角が、検査データと関連付けられて記憶部８４に記憶される（ステップｓ９９）。
【0151】
例えば、基板Ｐ１の塗布点ＰＰに広範囲の色成分を含んだ色（白色）の領域が存在する場合を想定する。この場合、Ｈ成分を示す色相の色相角が適合色相角とされた塗布物ＨＳＶ画像Ｇ７１及び塗布点ＨＳＶ画像Ｇ７２に基づき変換された塗布物ＲＧＢ画像Ｇ８１及び塗布点ＲＧＢ画像Ｇ８２において、塗布物領域画像ＧＣＰが塗布点領域画像ＧＰＰに対して強調されたものが得にくいことが想定される。このような場合には、彩度判定部８７２は、塗布物ＣＰの画像認識の際に塗布物Ｓ成分画像Ｇ７１Ｓ及び塗布点Ｓ成分画像Ｇ７２Ｓを用いると判定する。これにより、塗布物領域画像ＧＣＰが塗布点領域画像ＧＰＰに対して強調されたものを得ることができる。
【0152】
以上説明の通り、照明条件特定処理部８６によって適合照明出力が特定され、検査条件設定部８７によって検査条件（適合色相角、Ｓ成分画像適用情報）が設定されると、図２２のフローチャートに示すステップｓ１０の検査実行処理が実行される。
【0153】
検査実行処理において、検査実行部８８は、検査基板Ｐ２における複数の検査領域ＲＩの各々での塗布物ＣＰの塗布状態を検査する。検査実行部８８は、検査領域ＲＩ毎の塗布物ＣＰの塗布状態を検査する際に、照明条件特定処理部８６により特定された適合照明出力と、検査条件設定部８７により特定して設定された検査条件（適合色相角、Ｓ成分画像適用情報）とを参照する。これにより、塗布ヘッド４によって基板Ｐ１上に塗布された塗布物ＣＰの塗布状態を精度よく検査することができる。
【符号の説明】
【0154】
１ 塗布装置
２ 本体フレーム
３ コンベア（搬送部）
４ 塗布ヘッド（塗布部）
５ 塗布物認識部材
６ 検査装置
７ カラー画像撮像カメラ
８ 検査制御部
８５ 画像処理部
８５１ 画像変換処理部
８５２ 減色処理部
８５３ 塗布物領域特定部
８５４ 塗布点領域特定部
８５５ 色空間変換部
８６ 照明条件特定処理部
８７ 検査条件設定部
８７１ 色相角特定部
８７２ 彩度判定部
８８ 検査実行部
ＣＰ 塗布物
Ｇ１ 検査画像
Ｇ２ 基板画像
Ｇ３ 塗布物画像
Ｇ５ 減色基板画像
Ｇ６ 差画像
Ｇ７１ 塗布物ＨＳＶ画像
Ｇ７２ 塗布点ＨＳＶ画像
Ｇ８１ 塗布物ＲＧＢ画像
Ｇ８２ 塗布点ＲＧＢ画像
ＧＣＰ 塗布物領域画像
ＧＰＰ 塗布点領域画像
Ｐ１ 基板
Ｐ２ 検査基板
ＰＡ ランド部
ＰＢ スルーホール部
ＰＣ シルク部
ＰＤ レジスト層
ＰＰ 塗布点
ＲＩ 検査領域
２ 本体フレーム
３ コンベア（搬送部）
４ 塗布ヘッド（塗布部）
５ 塗布物認識部材
６ 検査装置
７ カラー画像撮像カメラ
８ 検査制御部
８５ 画像処理部
８５１ 画像変換処理部
８５２ 減色処理部
８５３ 塗布物領域特定部
８５４ 塗布点領域特定部
８５５ 色空間変換部
８６ 照明条件特定処理部
８７ 検査条件設定部
８７１ 色相角特定部
８７２ 彩度判定部
８８ 検査実行部
ＣＰ 塗布物
Ｇ１ 検査画像
Ｇ２ 基板画像
Ｇ３ 塗布物画像
Ｇ５ 減色基板画像
Ｇ６ 差画像
Ｇ７１ 塗布物ＨＳＶ画像
Ｇ７２ 塗布点ＨＳＶ画像
Ｇ８１ 塗布物ＲＧＢ画像
Ｇ８２ 塗布点ＲＧＢ画像
ＧＣＰ 塗布物領域画像
ＧＰＰ 塗布点領域画像
Ｐ１ 基板
Ｐ２ 検査基板
ＰＡ ランド部
ＰＢ スルーホール部
ＰＣ シルク部
ＰＤ レジスト層
ＰＰ 塗布点
ＲＩ 検査領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18A】
【図18B】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26A】
【図26B】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】